KR102576740B1 - 플라즈마 처리장치를 위한 c링 어셈블리 - Google Patents

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KR102576740B1
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Abstract

본 발명은 샤워 헤드 어셈블리(40)를 통해 가스를 토출하고, 토출된 가스를 플라즈마 상태로 이온화시키는 플라즈마 처리장치에 있어서, 상기 샤워 헤드 어셈블리(40)는, 어퍼플레이트(110); 상기 어퍼플레이트(110)의 저면에 배치되는 로어플레이트(120); 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)에 조립되고, 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)를 이격된 상태로 유지시키는 고정장치(200); 상기 로어플레이트(120) 및 지지플레이트(34)를 조립시키고, 배기부(80)와 연통되어 잔류된 플라즈마를 상기 배기부(80)로 안내하는 씨링어셈블리(400);를 포함하고, 상기 씨링어셈블리(400)는, 상기 로어플레이트(120)에 조립되는 어퍼링(500); 상기 어퍼링(500)의 하단에 밀착되고, 플라즈마 배출을 위해 복수개의 슬릿(650)이 형성된 로어링(600); 상기 어퍼링(500) 및 로어링(600)을 분리가능하게 조립시키는 조립부재(700);를 포함하는 플라즈마 처리장치를 제공한다.
본 발명은 플라즈마가 배출되는 로어링이 어퍼링과 조립부재를 통해 분리가능하게 조립되기 때문에, 플라즈마에 의해 로어링의 슬릿에 마모가 발생되는 경우, 로어링만을 분리하여 교체할 수 있는 장점이 있다.

Description

플라즈마 처리장치를 위한 C링 어셈블리{C type ring assembly for plasma etching system}
본 발명은 플라즈마 처리장치를 위한 씨링어셈블리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마를 배출할 수 있도록 슬릿이 형성된 플라즈마 처리장치를 위한 씨링어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 복수의 단위 공정들을 통해 제조될 수 있다. 단위 공정들은 박막 증착 공정, 포토 공정, 및 식각 공정을 포함할 수 있다. 그 중에 식각 공정은 플라즈마 반응을 이용한 건식 식각 공정을 포함할 수 있다. 건식 식각 장치는 기판을 수납하는 정전 척을 포함할 수 있다. 정전 척은 기판을 정 전기력으로 고정할 수 있다.
많은 형태의 반도체 장치들은 플라즈마-기반 에칭 기술을 사용하여 제조될 수 있다. 예를 들면, 정전 용량형 플라즈마 식각 장치 등과 같은 플라즈마 식각 장치는 챔버 내부에 플라즈마를 생성하여 식각 공정을 수행할 수 있다.
종래 기술에 따른 반도체 장치는 웨이터를 지지하기 위해 플레이트에 C 타입 링 어셈블리가 배치되고, 상기 C 타입 링 어셈블리에 상하 방향으로 관통되는 플라즈마 슬릿이 형성된다.
상기 플라즈마 슬릿을 통해 상기 가공 후 잔류된 플라즈마가 외부로 배출되고, 플라즈마의 작동 시간이 증가됨에 따라, 플라즈마 슬릿의 규격이 변형되었다.
그래서 유효 사용시간을 초과하는 경우 플라즈마 슬릿이 형성된 C 타입 링 어셈블리 전체를 교체해야 했다.
그러나 종래와 같이 플라즈마 슬릿이 형성된 C 타입 링 어셈블리 전체를 교체하는 경우, 교체에 따른 비용이 큰 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허 10-2020-0059570호 대한민국 공개특허 10-2021-0114188호 대한민국 등록특허 10-2443036호 대한민국 공개특허 10-2022-0141360호 대한민국 등록특허 10-1256120호
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 플라즈마 슬릿이 형성된 씨링 어셈블리의 교체비용을 절감할 수 있는 플라즈마 처리장치를 위한 씨링어셈블리를 제공하는데 목적이 있다.
본 발명은 샤워 헤드 어셈블리(40)를 통해 가스를 토출하고, 토출된 가스를 플라즈마 상태로 이온화시키는 플라즈마 처리장치에 있어서, 상기 샤워 헤드 어셈블리(40)는, 어퍼플레이트(110); 상기 어퍼플레이트(110)의 저면에 배치되는 로어플레이트(120); 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)에 조립되고, 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)를 이격된 상태로 유지시키는 고정장치(200); 상기 로어플레이트(120) 및 지지플레이트(34)를 조립시키고, 배기부(80)와 연통되어 잔류된 플라즈마를 상기 배기부(80)로 안내하는 씨링어셈블리(400);를 포함하고, 상기 씨링어셈블리(400)는, 상기 로어플레이트(120)에 조립되는 어퍼링(500); 상기 어퍼링(500)의 하단에 밀착되고, 플라즈마 배출을 위해 복수개의 슬릿(650)이 형성된 로어링(600); 상기 어퍼링(500) 및 로어링(600)을 분리가능하게 조립시키는 조립부재(700);를 포함하는 플라즈마 처리장치를 제공한다.
상기 어퍼링(500)은, 수평하게 배치되고, 내측에 상하 방향으로 개구된 어퍼개구부(515)가 형성되며, 상기 로어플레이트(120)에 조립되는 어퍼수평부(510); 상기 어퍼수평부(510)의 외측 가장자리에서 하측으로 절곡되게 형성된 어퍼수직부(520); 상기 어퍼수직부(520)의 어퍼외주면(522)에서 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 조립부재(700)가 삽입되는 어퍼조립홈(530);을 포함할 수 있다.
상기 로어링(600)은, 링형상으로 형성되는 로어바디(610); 상기 로어바디(610)의 가장자리에 배치되고, 상기 어퍼수직부(520)이 하단(521)에 밀착되는 보더홈(620); 상기 로어바디(610)의 내측에 배치되고, 상하 방향으로 개구된 로어개구부(615); 상기 로어바디(610)를 상하 방향으로 관통하는 복수개의 상기 슬릿(650); 상기 로어바디(610)의 로어외주면(612)에서 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 조립부재(700)가 삽입되는 로어조립홈(630);을 포함할 수 있다.
상기 어퍼조립홈(530)은, 상기 어퍼수직부(520)의 어퍼외주면(522)에서 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 어퍼수직부(520)의 하단(521)으로 개구되게 형성된 제 1 어퍼조립홈(531); 상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 상단에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성된 제 2 어퍼조립홈(532);을 포함하고, 상기 로어조립홈(630)은, 상기 로어바디(610)의 로어외주면(612)에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상측 및 하측으로 각각 개구되게 형성된 제 1 로어조립홈(631); 상기 제 1 로어조립홈(631)의 하단에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성된 제 2 로어조립홈(632);을 포함할 수 있다.
상기 조립부재(700)는, 상기 제 2 어퍼조립홈(532)에 삽입되는 어퍼조립부(710); 상기 제 2 로어조립홈(632)에 삽입되는 로어조립부(730); 상기 어퍼조립부(710) 및 로어조립부(730)를 연결하고, 상기 제 1 어퍼조립홈(531) 및 제 1 로어조립홈(631)에 삽입되는 조립바디(720);를 포함할 수 있다.
첫째, 본 발명은 플라즈마가 배출되는 로어링이 어퍼링과 조립부재를 통해 분리가능하게 조립되기 때문에, 플라즈마에 의해 로어링의 슬릿에 마모가 발생되는 경우, 로어링만을 분리하여 교체할 수 있는 장점이 있다.
둘째, 본 발명은 조립부재가 어퍼링의 어퍼조립홈 및 로어링의 로어조립홈에 수평방향으로 삽입되어 상기 어퍼링 및 로어링을 고정하기 때문에, 상기 어퍼링 및 로어링의 상하 정밀도를 유지할 수 있는 장점이 있다.
셋째, 본 발명은 로어링 및 조립부재 사이에 가압패드가 설치되어 로어링 및 조립부재 사이에 마찰력을 제공할 수 있고, 상기 가압부재가 조립부재를 관통하여 가압패드를 가압함으로써 상기 조립부재의 반경방향 이동을 억제할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 처리 장치의 개략정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 고정장치의 정단면도이다.
도 3은 도 2의 확대도이다.
도 4는 도 2에 도시된 어퍼체결부재들의 분해 사시도이다.
도 5는 도 2에 도시된 로어체결부재들의 분해 사시도이다.
도 6은 도 1에 도시된 씨링어셈블리의 정단면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 어퍼링의 평면도이다.
도 8은 도 6에 도시된 어퍼링의 저면도이다.
도 9는 도 6에 도시된 로어링의 저면도이다.
도 10은 도 6에 도시된 어퍼링의 하단 및 로어링의 분해 단면도이다.
도 11은 도 6의 조립홈에 조립부재가 설치된 정단면도이다.
도 12는 도 8의 일부 확대도이다.
도 13은 도 9의 일부 확대도이다.
도 14는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조립부재의 사시도이다.
도 15는 도 14의 하부 사시도이다.
도 16은 도 14의 우측에서 본 사시도이다.
도 17은 도 14의 단면 사시도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. "및/또는"이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 문서에서, "~하도록 구성된(또는 설정된)(configured to)"은 상황에 따라, 예를 들면, 하드웨어적 또는 소프트웨어적으로 "~에 적합한," "~하는 능력을 가지는," "~하도록 변경된," "~하도록 만들어진," "~를 할 수 있는," 또는 "~하도록 설계된"과 상호 호환적으로(interchangeably) 사용될 수 있다. 어떤 상황에서는, "~하도록 구성된 장치"라는 표현은, 그 장치가 다른 장치 또는 부품들과 함께 "~할 수 있는" 것을 의미할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명을 설명함에 있어 전체적인 이해를 용이하게 하기 위하여 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 처리 장치의 개략정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 고정장치의 정단면도이고, 도 3은 도 2의 확대도이고, 도 4는 도 2에 도시된 어퍼체결부재들의 분해 사시도이고, 도 5는 도 2에 도시된 로어체결부재들의 분해 사시도이고, 도 6은 도 1에 도시된 씨링어셈블리의 정단면도이고, 도 7은 도 6에 도시된 어퍼링의 평면도이고, 도 8은 도 6에 도시된 어퍼링의 저면도이고, 도 9는 도 6에 도시된 로어링의 저면도이고, 도 10은 도 6에 도시된 어퍼링의 하단 및 로어링의 분해 단면도이고, 도 11은 도 6의 조립홈에 조립부재가 설치된 정단면도이고, 도 12는 도 8의 일부 확대도이고, 도 13은 도 9의 일부 확대도이고, 도 14는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조립부재의 사시도이고, 도 15는 도 14의 하부 사시도이고, 도 16은 도 14의 우측에서 본 사시도이고, 도 17은 도 14의 단면 사시도이다.
본 실시예에 따른 플라즈마 처리 장치(10)는 챔버(20), 하부 전극(32)을 갖는 기판 스테이지(30), 상부 전극을 포함하는 샤워 헤드 어셈블리(40), 파워 공급부(50, 60)를 포함할 수 있다. 또한, 플라즈마 처리 장치(10)는 가스 공급부, 배기부(80) 등을 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 플라즈마 처리 장치(10)는 용량 결합형 플라즈마(CCP, capacitively coupled plasma) 챔버 내에 배치된 반도체 웨이퍼(W)와 같은 기판 상의 식각 대상막을 식각하기 위한 장치일 수 있다.
하지만, 상기 플라즈마 처리 장치에 의해 생성된 플라즈마는 용량 결합형 플라즈마에 제한되지는 않으며, 예를 들면, 유도 결합형 플라즈마, 마이크로웨이브형 플라즈마일 수 있다. 또한, 상기 플라즈마 처리 장치는 반드시 식각 장치로 제한되지 않으며, 예를 들면, 증착 장치, 세정 장치 등으로 사용될 수 있다. 여기서, 상기 기판은 반도체 기판, 유리 기판 등을 포함할 수 있다.
챔버(20) 내부에는 상기 기판을 지지하기 위한 기판 스테이지(30)가 배치될 수 있다. 예를 들면, 기판 스테이지(30)는 웨이퍼(W)를 지지하기 위한 서셉터로서의 역할을 수행할 수 있다.
기판 스테이지(30)는 상부에 웨이퍼(W)를 정전 흡착력으로 유지하기 위한 정전 전극을 갖는 지지 플레이트(34)를 포함할 수 있다. 상기 정전 전극은 온-오프(ON-OFF)되는 스위치(도시되지 않음)를 거쳐 직류 전원으로부터 공급되는 직류 전압에 의해, 정전력으로 웨이퍼(W)를 흡착 및 유지할 수 있다.
기판 스테이지(30)는 지지 플레이트(34) 하부에 원판 형상의 하부 전극(32)을 포함할 수 있다. 하부 전극(32)은 구동부(도시되지 않음)에 의해 상하로 이동 가능하도록 설치될 수 있다. 기판 스테이지(30)는 지지 플레이트(34)의 둘레를 따라 웨이퍼(W)의 가장자리 영역을 지지하는 포커스 링을 포함할 수 있다.
도면에 도시되지는 않았지만, 기판 스테이지(30)는 내부에 히터, 복수 개의 유로들이 형성될 수 있다. 상기 히터는 전원과 전기적으로 연결되어 지지 플레이트(34)를 통해 웨이퍼(W)를 가열시킬 수 있다. 상기 히터는 나선형상의 코일을 포함할 수 있다. 상기 유로는 열 전달 가스가 순환하는 통로로 제공될 수 있다. 상기 유로는 지지 플레이트(34) 내부에 나선 형상으로 형성될 수 있다.
챔버(20)의 측벽에는 웨이퍼(W)의 출입을 위한 게이트(도시되지 않음)가 설치될 수 있다. 상기 게이트를 통해 웨이퍼(W)가 상기 기판 스테이지 상으로 로딩 및 언로딩될 수 있다.
상기 배기부는 챔버(20)의 하부에 설치된 배기 포트(22)에 배기관을 통해 연결될 수 있다. 상기 배기부는 터보분자 펌프와 같은 진공 펌프를 포함하여 챔버(20) 내부의 처리 공간을 원하는 진공도의 압력으로 조절할 수 있다.
또한, 챔버(20) 내에 발생된 공정 부산물들 및 잔여 공정 가스들을 배기 포트(22)를 통하여 배출될 수 있다.
샤워 헤드 어셈블리(40)는 하부 전극(32)과 대향하도록 기판 스테이지(30) 상부에 배치될 수 있다. 샤워 헤드 어셈블리(40)는 상기 기판을 향하여 가스를 분사할 수 있다.
샤워 헤드 어셈블리(40)는 상부 전극으로서의 전극플레이트를 포함할 수 있다. 상기 상부 전극과 하부 전극(32) 사이의 챔버 공간은 플라즈마 발생 영역으로 사용 될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 파워 공급부는 제1 파워 공급부(50) 및 제2 파워 공급부(60)를 포함할 수 있다.
제1 파워 공급부(50)는 하부 전극(32)에 플라즈마 전력, 예를 들면, 정현파 전력을 인가하여 챔버(20) 내에 플라즈마를 형성할 수 있다. 제2 파워 공급부(60)는 상기 상부 전극에 그라운드 전위를 인가할 수 있다. 이와 다르게, 제2 파워 공급부(60)는 상기 상부 전극에 정현파 또는 비정현파 파워를 인가할 수 있다.
챔버(20) 내로 공급된 가스는 상기 정현파 파워의 전계 에너지에 의해 여기되어 방전형 플라즈마가 형성될 수 있다. 생성된 플라즈마에 의해 웨이퍼(W)에 식각 공정이 수행될 수 있다.
샤워 헤드 어셈블리(40)는 어퍼플레이트(110)와, 상기 어퍼플레이트(110)의 저면에 배치되는 로어플레이트(120)와, 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)에 조립되고, 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)를 이격된 상태로 유지시키는 고정장치(200)와, 상기 로어플레이트(120) 및 지지플레이트(34)를 조립시키고, 상기 배기부(80)와 연통되어 잔류된 플라즈마를 상기 배기부(80)로 안내하는 씨링어셈블리(400)를 포함한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 어퍼플레이트(110)는 챔버(20) 상부에서 절연 차폐 부재(도시되지 않음)에 의해 지지될 수 있다. 어퍼플레이트(110)는 원형 형상의 전극 플레이트를 포함하는 전극 지지 플레이트일 수 있다.
상기 상부 전극은 챔버(20) 내부로 가스를 공급하기 위한 샤워 헤드의 일부로서 제공될 수 있다.
어퍼플레이트(110)는 기판 스테이지(30) 상의 웨이퍼(W)를 향하는 하부면을 가질 수 있다. 어퍼플레이트(110)는 관통 형성되어 챔버(20) 내부로 기판 스테이지(30) 상의 웨이퍼(W)를 향하여 가스를 공급하기 위한 복수 개의 분사 홀들(44)을 가질 수 있다.
어퍼플레이트(110)는 내부에 가스 확산실(43)을 포함할 수 있다. 가스 확산실(43)은 반경 방향으로 연장하고, 가스 확산실(43)은 분사 홀들(44)과 연통될 수 있다. 어퍼플레이트(110)는 알루미늄과 같은 도전 물질을 포함하고, 수냉 구조를 가질 수 있다.
상기 가스 공급부는 가스 공급 엘리먼트들로서, 가스 공급관(72), 및 가스 공급원(70)을 포함할 수 있다. 가스 공급관(72)은 어퍼플레이트(110)의 가스 확산실(43)과 연결되고, 유량 제어기(도시되지 않음)는 가스 공급관(72)을 통하여 챔버(20) 내부로 유입되는 가스의 공급 유량을 제어할 수 있다.
상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)는 상하 방향으로 이격되어 배치되고, 상기 로어플레이트(120)가 상기 고정장치(200)에 거치된 상태로 이격거리를 유지한다.
상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)를 플레이트어셈블리라 정의한다.
상기 어퍼플레이트(110)는 어퍼상측면(111)에서 어퍼하측면(112) 방향으로 관통되게 형성된 어퍼홀이 형성된다.
상기 어퍼홀은 상기 어퍼상측면(111)을 통해 상측으로 개구되고, 제 1 직경(C1)을 갖는 원통형의 제 1 어퍼홀(113)과, 상기 제 1 어퍼홀(113)의 하측에 배치되고, 상기 제 1 어퍼홀(113)과 연통되며, 장축이 제 1 직경(D1)을 형성하는 타원형의 제 2 어퍼홀(114)과, 상기 제 2 어퍼홀(114)과 연통되고, 상기 어퍼하측면(112)을 통해 하측으로 개구되며, 상기 제 1 직경(D1) 보다 작은 제 2 직경(D2)으로 형성된 원통형의 제 3 어퍼홀(115)을 포함한다.
탑뷰로 볼 때, 상기 제 2 어퍼홀(114)이 방향성을 갖는 도형형상일 수 있다. 예를 들어 상기 제 2 어퍼홀(114)이 삼각형, 사각형, 육각형, 팔각형 등의 형상으로 형성되어도 무방하다.
상기 제 2 어퍼홀(114) 및 제 3 어퍼홀(115)의 직경 차이로 인해 상기 제 2 어퍼홀(114)의 하측에 어퍼지지면(117)이 형성된다. 상기 어퍼지지면(117)에 후술하는 제 2 어퍼체결부재(220)가 지지될 수 있다. 본 실시예에서 상기 어퍼지지면(117) 타원형상이다.
상기 로어플레이트(120)는 상기 어퍼플레이트(110)의 어퍼하측면(112)과 대향되게 배치되는 로어상측면(121)과, 상기 기판스테이지(30)를 향하게 배치되는 로어하측면(122)과, 상기 로어상측면(121)에서 상기 로어하측면(122) 방향으로 오목하게 형성된 로어홈을 포함한다.
상기 로어홈은 상기 로어상측면(121)을 통해 상측으로 개구되고, 제 2 직경(D2)을 갖는 원통형의 제 1 로어홈(123)과, 상기 제 1 로어홈(123)의 하측에 배치되고. 상기 제 1 로어홈(123)과 연통되며, 장축이 제 3 직경(D3)를 형성하는 타원형의 제 2 로어홈(124)을 포함한다.
탑뷰로 볼 때, 상기 제 2 로어홈(124)이 방향성을 갖는 도형형상일 수 있다. 예를 들어 상기 제 2 로어홈(124)이 삼각형, 사각형, 육각형, 팔각형 등의 형상으로 형성되어도 무방하다.
상기 제 2 로어홈(124)의 저면을 로어지지면(127)이라 정의한다. 상기 로어지지면(127)에 후술하는 제 2 로어체결부재(320)가 지지된다.
상기 제 3 어퍼홀(115)의 하측에 상기 제 1 로어홈(123)이 배치된다.
상기 제 3 직경(D3)이 상기 제 2 직경(D2) 보다 크게 형성된다.
상측에서 하측 방향으로 상기 제 1 어퍼홀(113), 제 2 어퍼홀(114), 제 3 어퍼홀(115), 제 1 로어홈(123) 및 제 2 로어홈(124)이 순서대로 배치된다.
탑뷰로 볼 때, 상기 제 1 어퍼홀(113), 제 3 어퍼홀(115), 제 1 로어홈(123)의 원의 중심과, 제 2 어퍼홀(114) 및 제 2 로어홈(124)의 타원중심이 일치된다.
상기 원의 중심 및 타원의 중심을 관통하는 축을 중심축(C)이라 정의한다.
상기 고정장치(200)는, 상기 어퍼플레이트(110)을 관통하여 상기 로어플레이트(120)에 하단이 삽입되게 배치되는 장축볼트(250)와, 상기 로어플레이트(120)의 로어홈에 배치되고, 상기 로어플레이트(120)와 조립되고, 상기 장축볼트(250)가 상하 방향으로 관통하게 배치되는 제 1 로어체결부재(310)와, 상기 제 1 로어체결부재(310)의 하측에 배치되고, 상기 제 1 로어체결부재(310)를 관통한 상기 장축볼트(250)의 하단과 조립되고, 제 2 로어체결부재(320)와, 상기 어퍼플레이트(110)의 어퍼홀에 배치되고, 하단이 상기 어퍼플레이트(110)에 지지되며, 상기 장축볼트(250)와 조립되는 제 1 어퍼체결부재(210)와, 상기 제 1 어퍼체결부재(210)의 상측에 배치되고, 하단이 상기 제 1 어퍼체결부재(210)에 지지되고 상단이 상기 장축볼트(250)에 지지되며, 상기 장축볼트(250)와 조립되어 상기 제 1 어퍼체결부재(210)가 상기 장축볼트(250)의 외주면에 밀착되도록 가압하는 제 2 어퍼체결부재(220)를 포함한다.
상기 제 1 로어체결부재(310)가 상기 제 1 로어홈(123)에 삽입되어 배치되고, 상기 제 2 로어체결부재(320)가 상기 제 2 로어홈(124)에 삽입되어 배치된다.
상기 장축볼트(250)는 상단이 상기 제 1 어퍼홀(113)에 배치되고, 중간부분이 상기 제 2 어퍼홀(114) 및 제 3 어퍼홀(115)을 관통하며, 하단이 상기 제 1 로어홈(123)을 관통하여 상기 제 2 로어홈(123)에 배치된 제 2 로어체결부재(320)와 체결결합된다.
상기 장축볼트(250)는, 원기둥형태로 형성된 볼트바디(252)와, 상기 볼트바디(252)의 상단에 배치된 볼트헤드(254)와, 상기 볼트헤드(254) 및 볼트바디(252) 사이에 배치되고, 상기 볼트바디(252)보다 큰 직경으로 형성된 볼트플랜지(256)을 포함한다.
본 실시예에서 상기 볼트헤드(254)는 육각형 형태로 형성된다.
상기 볼트바디(252)의 외주면에 볼트나사산(255)이 길이 방향으로 형성된다.
상기 볼트플랜지(256)는 상기 볼트바디(252)의 외주면에서 반경방향 외측으로 확장되게 형성되고, 바텀뷰로 볼 때 상기 볼트바디(252)와 단을 형성하는 링형상으로 형성된다.
상기 볼트플랜지(256)가 상기 제 2 어퍼체결부재(220)에 삽입된다.
상기 제 1 어퍼체결부재(210)는, 상기 볼트바디(252)가 관통되는 제 1 어퍼관통홀(211)이 형성된 제 1 어퍼바디(212)와, 상기 제 1 어퍼바디(212)의 상측면에서 하측으로 오목하게 형성되고, 상기 제 1 어퍼관통홀(211)과 연통되며, 상기 볼트플랜지(256)이 삽입되는 플랜지가드(216)와, 상기 제 1 어퍼바디(212)의 내주면에 배치되고, 상기 제 1 어퍼관통홀(211)을 확장하게 형성되며, 상기 제 2 어퍼체결부재(220)가 삽입되는 어퍼경사면(214)을 포함한다.
상기 플랜지가드(216)가 상기 볼트플랜지(256)의 외주면을 감싸게 형성된다. 본 실시예에서 상기 플랜지가드(216)는 링형태로 형성되고, 4개로 분할되어 형성된다.
상기 플랜지가드(216) 내측에 상기 볼트플랜지(256)가 삽입되어 지지되는 플랜지홈(217)이 형성된다. 탑뷰로 볼 때, 상기 플랜지홈(217)이 원형으로 형성된다.
상기 제 1 어퍼바디(212)는 내측에 길이 방향으로 제 1 어퍼관통홀(211)이 형성된 원통형상으로 형성된다.
상기 제 1 어퍼관통홀(211)을 형성하는 제 1 어퍼바디(212)의 내주면에 어퍼나사산(215)이 형성된다. 상기 어퍼나사산(215)이 상기 볼트나사산(255)와 치합된다.
상기 장축볼트(250)의 회전 시, 상기 볼트플랜지(256)가 상기 제 1 어퍼바디(212)를 상기 제 2 어퍼체결부재(220) 측으로 가압할 수 있다.
상기 어퍼경사면(214)은 상측이 뾰족한 원추형상일 수 있다. 즉, 상기 어퍼경사면(214)은 상측으로 갈수록 상기 평단면이 좁아지는 형태이다.
상기 어퍼경사면(214)은 하단(214b)이 상단(214a) 보다 상기 중심축(C)과 멀게 형성된다.
상기 어퍼나사산(215)의 하측에 상기 어퍼경사면(214)이 배치된다.
상기 제 2 어퍼체결부재(220)는, 상기 볼트바디(252)가 관통되는 제 2 어퍼관통홀(221)이 형성된 제 2 어퍼바디(222)와, 상기 제 2 어퍼바디(222)의 상측면에서 상측으로 돌출되고, 상기 볼트바디(252)의 일측 외주면에 밀착되는 제 1 가압바디(230)와, 상기 제 1 가압바디(230)와 대향되게 배치되고, 상기 제 2 어퍼바디(222)의 상측면에서 상측으로 돌출되며, 상기 볼트바디(252)의 타측 외주면에 밀착되는 제 2 가압바디(240)를 포함한다.
탑뷰로 볼 때, 상기 제 2 어퍼바디(222)가 방향성을 갖는 형상으로 형성된다. 본 실시예에서 상기 제 2 어퍼바디(222)가 상기 제 2 어퍼홀(114)에 대응되는 타원형으로 형성된다. 그래서 상기 제 2 어퍼바디(222)가 상기 제 2 어퍼홀(114)에 삽입된 경우 수평방향 회전에 억제된다.
상기 제 2 어퍼바디(222)의 장축이 제 1 직경(D1)으로 형성되고, 상기 제 2 어퍼바디(222)는 상기 제 1 직경(D1) 보다 짧은 단축을 갖는다. 상기 장축 및 단축이 90도 교차되게 배치된다.
상기 제 2 어퍼바디(222)의 높이가 상기 제 1 어퍼홀(114)의 높이와 같게 형성된다. 상기 제 2 어퍼바디(222)의 외측면(223)이 상기 제 1 어퍼홀(114)에 삽입될 경우, 외측면(223)이 상기 제 1 어퍼홀(114)의 내측면(114a)에 밀착되고, 이로 인해 상기 제 2 어퍼체결부재(220)가 수평방향으로 회전되는 것을 차단한다.
상기 제 1 가압바디(230) 및 제 2 가압바디(240)는 상기 중심축(C)을 기준으로 대칭되게 배치되고, 상기 중심축(C)을 기준으로 이격되어 가압간격(P)을 형성한다.
상기 제 2 어퍼관통홀(221)은 상기 제 2 어퍼바디(222)를 상하 방향으로 관통하고, 상기 제 1 가압바디(230) 및 제 2 가압바디(240)를 사이를 관통하게 배치된다.
상기 제 1 가압바디(230)는, 상기 제 2 어퍼바디(222)의 상측면에서 상측으로 돌출되는 제 1 가압로어바디(232)와, 상기 제 1 가압로어바디(232)에서 상측으로 돌출되고, 평단면이 축소되게 형성되며, 내측에 상기 제 2 어퍼관통홀(221)이 배치되고, 외측면이 상기 제 1 어퍼체결부재(210)의 어퍼경사면(214)에 밀착되는 제 1 가압경사바디(234)를 포함한다.
상기 제 1 가압로어바디(232) 및 제 1 가압경사바디(234)의 내주면이 원통형상으로 형성되어 상기 제 2 어퍼관통홀(221)을 형성한다.
탑뷰로 볼 때, 상기 제 1 가압로어바디(232)는 하프링 형태로 형성된다.
상기 제 1 가압로어바디(232)의 직경이 상기 제 2 어퍼바디(222)의 단축 보다 짧게 형성된다.
상기 제 1 가압바디(230)의 내주면에 상기 볼트나사산(255)과 치합되는 제 1 가압나사산(235)이 형성된다. 본 실시예에서 상기 제 1 가압나사산(235)은 상기 제 2 어퍼바디(222) 및 제 1 가압로어바디(232)까지 연장되지 않고, 상기 제 1 가압경사바디(234)의 내주면에만 형성된다.
이와 같은 구조를 통해 상기 제 1 어퍼체결부재(210)에 의해 상기 제 1 가압바디(230)가 상기 중심축(C) 방향으로 휨변형될 수 있고, 상기 제 1 가압나사산(235) 및 볼트나사산(255)을 보다 밀착시켜 유격을 최소화할 수 있고, 이를 통해 상기 장축볼트(250)의 회전을 억제할 수 있다.
상기 제 1 가압로어바디(232)는 원통형의 외주면을 형성되는 제 1 가압외주면(232a)을 더 포함한다. 상기 제 1 가압외주면(232a)의 상단이 상기 제 1 가압경사바디(234)의 하단과 연결된다.
상기 제 1 가압경사바디(234)는 상기 중심축(C)을 향해 단면이 좁아지는 형상이다. 상기 제 1 가압경사바디(234)의 외측면은 상단이 상기 중심축(C)을 향해 가까워지는 경사면으로 형성되고, 이를 제 1 가압외주면(234a)이라 정의한다.
상기 제 2 가압바디(240)는, 상기 제 2 어퍼바디(222)의 상측면에서 상측으로 돌출되는 제 2 가압로어바디(242)와, 상기 제 2 가압로어바디(242)에서 상측으로 돌출되고, 평단면이 축소되게 형성되며, 내측에 상기 제 2 어퍼관통홀(221)이 배치되고, 외측면이 상기 제 1 어퍼체결부재(210)의 어퍼경사면(214)에 밀착되는 제 2 가압경사바디(244)를 포함한다.
상기 제 2 가압로어바디(242) 및 제 2 가압경사바디(244)의 내주면이 원통형상으로 형성되어 상기 제 2 어퍼관통홀(221)을 형성한다.
탑뷰로 볼 때, 상기 제 2 가압로어바디(242)는 하프링 형태로 형성된다.
상기 제 1 가압로어바디(242) 및 제 2 가압로어바디(242)가 가압간격(P) 만큼 이격된다. 상기 제 1 가압로어바디(242) 및 제 2 가압로어바디(242)가 상기 중심축(C)을 기준으로 대칭되게 형성된다.
상기 제 2 가압로어바디(242)의 직경이 상기 제 2 어퍼바디(222)의 단축 보다 짧게 형성된다.
상기 제 2 가압바디(240)의 내주면에 상기 볼트나사산(255)과 치합되는 제 2 가압나사산(245)이 형성된다. 본 실시예에서 상기 제 2 가압나사산(245)은 상기 제 2 어퍼바디(222) 및 제 2 가압로어바디(242)까지 연장되지 않고, 상기 제 2 가압경사바디(244)의 내주면에만 형성된다.
이와 같은 구조를 통해 상기 제 2 어퍼체결부재(220)에 의해 상기 제 2 가압바디(240)가 상기 중심축(C) 방향으로 휨변형될 수 있고, 상기 제 2 가압나사산(245) 및 볼트나사산(255)을 보다 밀착시켜 유격을 최소화할 수 있고, 이를 통해 상기 장축볼트(250)의 회전을 억제할 수 있다.
상기 제 1 어퍼체결부재(210)가 상기 제 2 어퍼체결부재(220)를 하측으로 가압할 경우, 상기 제 1 가압경사바디(234) 및 제 2 가압경사바디(244)가 상기 중심축(C)과 가까워지게 휨변형될 수 있다.
상기 제 2 가압로어바디(242)는 원통형의 외주면을 형성되는 제 2 가압외주면(242a)을 더 포함한다. 상기 제 2 가압외주면(242a)의 상단이 상기 제 2 가압경사바디(244)의 하단과 연결된다.
상기 제 2 가압경사바디(244)는 상기 중심축(C)을 향해 단면이 좁아지는 형상이다. 상기 제 2 가압경사바디(244)의 외측면은 상단이 상기 중심축(C)을 향해 가까워지는 경사면으로 형성되고, 이를 제 2 가압외주면(244a)이라 정의한다.
상기 제 1 가압외주면(242a) 및 제 2 가압외주면(244a)가 원뿔대 외측면 일부를 형성할 수 있다.
상기 제 1 로어체결부재(310)는, 원통형상으로 형성된 제 1 로어체결바디(312)와, 상기 제 1 로어체결바디(312)의 내주면을 형성하고, 상기 제 1 로어체결바디(312)를 길이 방향으로 관통하게 배치된 로어관통홀(311)과, 상기 제 1 로어체결바디(312)의 외주면을 형성하고, 상기 제 1 로어홈(123)에 형성된 로어홈나사산(125)가 나사결합되는 로어체결나사산(315)을 포함한다.
상기 제 1 로어체결부재(310)는 상기 제 2 로어홈(124)에 삽입되지 않고, 상기 제 1 로어홈(123)의 하측면에 지지되고, 상기 제 2 로어홈(124)의 상측에 배치된다.
상기 제 1 로어홈(123)을 형성하는 제 1 로어체결바디(312)의 내주면에 로어홈나사산(125)이 형성되고, 상기 로어홈나사산(125) 및 로어체결나사산(315)의 체결결합을 통해 상기 제 1 로어체결바디(312)가 상기 로어플레이트(120)에 체결고정된다.
특히 상기 로어홈나사산(125) 및 로어체결나사산(315)의 체결결합을 통해 상기 제 1 로어체결바디(312)의 저면이 상기 제 2 로어체결부재(320)를 하측으로 가압하여 고정하고, 상기 제 2 로어체결부재(320)의 회전, 상하 이동을 억제한다.
상기 제 2 로어체결부재(320)는, 상기 제 2 로어홈(124)에 삽입되는 제 2 로어체결바디(322)와, 상기 제 로어체결바디(322)에서 상측으로 연장되고, 상기 제 1 로어체결부재(310)의 제 1 로어관통홀(311)에 삽입되는 로어삽입부(330)와, 상기 로어삽입부(330)의 상단에서 하측으로 오목하게 형성되고, 상기 장축볼트(250)와 체결결합되는 로어나사홈(335)을 포함한다.
상기 제 2 로어체결바디(322)는 상기 제 2 어퍼바디(222)와 같은 형상일 수 있다. 본 실시예에서 상기 제 2 로어체결바디(322)가 방향성을 갖는 타원형태이고, 상기 제 2 로어홈(124)이 상기 제 2 로어체결바디(322)와 같은 형상이다.
상기 제 2 로어체결바디(322)는 장축이 제 3 직경(D3)를 형성하는 타원형으로 형성되고, 상기 제 2 로어홈(124)에 삽입된다.
그래서 상기 제 2 로어홈(124)에 상기 제 2 로어체결바디(322)가 삽입될 경우, 수평방향으로 회전이 억제되고, 이를 통해 상기 장축볼트(250)와의 상대 회전을 억제할 수 있다.
상기 제 2 로어체결부재(320) 및 장축볼트(250)가 상대회전될 경우 나사결합에 따라 상측 또는 하측으로 변위가 발생될 수 있다.
상기 장축볼트(250)를 회전시키는 힘이 직업 가해지지 않더라도, 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)에 전달되는 진동에 의해서도 상기 제 2 로어체결부재(320) 및 장축볼트(250)의 상대회전이 발생될 수 있지만, 본 실시예에서는 상기 제 2 로어홈(124)에 상기 제 2 로어체결바디(322)를 방향을 갖는 도형으로 형성시켜 상술한 문제를 억제할 수 있다.
상기 로어삽입부(330)는 원통형태로 형성된다.
상기 로어삽입부(330)는 상기 로어관통홀(311)의 하측에서 상측 방향으로 삽입된다. 상기 로어삽입부(330) 및 로어관통홀(311)이 곡면으로 형성되기 때문에, 상기 제 1 로어체결부재(310) 및 제 2 로어체결부재(320)는 상하 방향으로 상대이동될 수 있다.
그래서 본 실시예에서는 상기 로어홈나사산(125) 및 로어체결나사산(315)의 나사결합을 통해 상기 제 1 로어체결부재(310)가 상기 제 2 로어체결부재(320)를 하측으로 가압하여 밀착시킬 수 있다.
상기 볼트나사산(255)이 상기 로어나사홈(335)의 상측으로 삽입되어 상기 제 2 로어체결부재(320)와 나사결합된다.
상기 장축볼트(250)는 상기 제 3 어퍼홀(115)과는 상호 간섭을 형성하지 않는다. 상기 제 3 어퍼홀(115)은 상기 장축볼트(250)의 직경보다 크게 형성된다.
상기 어퍼하측면(112) 및 로어상측면(121)을 밀착시키는 구조일 경우, 단순나사결합을 통해 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)를 결합시킬 수 있다.
본 실시예에서는 상기 제 2 로어홈(124)에 상기 제 2 로어체결부재(320)를 삽입하고, 상기 제 2 로어체결부재(320)의 상측에 제 1 로어체결부재(310)를 체결결합하여, 상기 제 2 로어체결부재(320)를 상기 제 2 로어홈(124)의 로어지지면(127)에 밀착시킬 수 있다.
이후, 상기 제 1 어퍼홀(113)에 상기 제 2 어퍼체결부재(220)를 삽입하고, 상기 제 2 어퍼체결부재(220)의 상측에 상기 제 1 어퍼체결부재(210)를 거치한다.
그리고 상기 장축볼트(250)를 상기 제 1 어퍼체결부재(210), 제 2 어퍼체결부재(220)를 관통시키고, 상기 장축볼트(250)의 하단을 상기 제 2 로어체결부재(320)와 나사결합하여 상기 어퍼하측면(112) 및 로어상측면(121)을 이격시킨 상태로 고정할 수 있다.
상기 씨링어셈블리(400)는 전체적으로 도넛 형상으로 형성된다.
상기 씨링어셈블리(400)는, 상기 로어플레이트(120)에 조립되는 어퍼링(500)과, 상기 어퍼링(500)의 하단에 밀착되고, 플라즈마 배출을 위해 복수개의 슬릿(650)이 형성된 로어링(600)과, 상기 어퍼링(500) 및 로어링(600)을 분리가능하게 조립시키는 조립부재(700)를 포함한다.
상기 어퍼링(500)은, 수평하게 배치되고, 내측에 상하 방향으로 개구된 어퍼개구부(515)가 형성되며, 상기 로어플레이트(120)에 조립되는 어퍼수평부(510)와, 상기 어퍼수평부(510)의 외측 가장자리에서 하측으로 절곡되게 형성된 어퍼수직부(520)를 포함한다.
탑뷰로 볼 때, 상기 어퍼수평부(510)는 링형상으로 형성된다. 상기 어퍼수평부(510)의 내측에 원형의 어퍼개구부(515)가 형성된다. 상기 어퍼개구부(515)의 직경을 어퍼개구부직경(RD1)이라 정의한다.
상기 어퍼수평부(510)의 원의 중심에 상하 방향으로 가상의 링중심축(RC)이 형성된다.
상기 어퍼수평부(510)의 원주방향을 따라 복수개의 어퍼체결홀(511)이 형성된다. 본 실시예에서 상기 어퍼체결홀(511)은 8개가 배치되고, 상기 링중심축(RC)을 기준으로 45도 간격으로 배치된다.
상기 어퍼수평부(510)의 하측면이 상기 로어플레이트(120)의 상측면에 거치되어 지지될 수 있다.
바텀뷰로 볼 때, 상기 어퍼수직부(520)가 링형상으로 형성된다.
상기 어퍼수평부(510)의 상하 방향 두께와, 상기 어퍼수직부(520)의 수평방향 두께가 동일하게 형성될 수 있다.
상기 어퍼수직부(520)가 상기 어퍼수평부(510)의 외측 가장자리에서 하측으로 연장된다. 그래서 상기 어퍼수직부(520)의 상단이 상기 어퍼수평부(510)의 외측단과 일체로 연결된다.
상기 어퍼수직부(520)의 하단(521)이 상기 어퍼수평부(510)보다 낮게 위치된다.
상기 어퍼수직부(520)가 상기 로어플레이트(120)의 측면에 밀착될 수 있다.
상기 어퍼수직부(520)의 내경을 어퍼수직부직경(RD2)이라 정의한다. 상기 어퍼수직부직경(RD2)는 상기 어퍼수직부(520)의 내주면(523)을 연결하는 최단거리이다. 상기 제 2 직경(D2)이 상기 어퍼개구부직경(RD1) 보다 크게 형성된다.
상기 어퍼수직부(520)의 외측면에 상기 조립부재(700)의 조립을 위한 어퍼조립홈(530)이 형성된다.
본 실시예에서 상기 어퍼조립홈(530)이 상기 어퍼수직부(520)의 외주면에서 반경방향 내측으로 오목하게 형성된다.
본 실시예에서 어퍼조립홈(530)이 복수개 배치되고, 복수개의 상기 어퍼조립홈(530)이 상기 링중심축(RC)를 기준으로 방사상으로 배치된다.
본 실시예에서 어퍼조립홈(530)이 9개가 배치되고, 상기 링중심축(RC)을 기준으로 40도 간격으로 배치된다.
구분이 필요할 경우, 제 1 어퍼조립홈, 제 2 어퍼조립홈, 제 3 어퍼조립홈, 제 4 어퍼조립홈, 제 5 어퍼조립홈, 제 6 어퍼조립홈, 제 7 어퍼조립홈, 제 8 어퍼조립홈, 제 9 어퍼조립홈이라 한다.
상기 어퍼조립홈(530)은, 상기 어퍼수직부(520)의 어퍼외주면(522)에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 어퍼수직부(520)의 하단(521)으로 개구되게 형성된 제 1 어퍼조립홈(531)과, 상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 상단에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성된 제 2 어퍼조립홈(532)을 포함한다.
상기 제 2 어퍼조립홈(532)이 상기 제 1 어퍼조립홈(531) 보다 상측에 배치된다. 상기 제 1 어퍼조립홈(531) 및 제 2 어퍼조립홈(532)이 상기 어퍼외주면(522) 보다 내측으로 오목하게 형성된다.
상기 어퍼외주면(522)에서 상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 가장 깊은 깊이를 제 1 어퍼깊이(t1)라 정의하고, 상기 어퍼외주면(522)에서 상기 제 2 어퍼조립홈(532)의 가장 깊은 깊이를 제 2 어퍼깊이(t2)라 정의한다.
바텀뷰로 볼 때, 상기 제 1 어퍼조립홈(531)이 대체로 사각형 형상일 수 있다. 상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 내측면(531a)이 직선으로 형성될 수 있다.
바텀뷰로 볼 때, 상기 제 2 어퍼조립홈(532)이 호형상으로 형성되고, 원의 일부 형상으로 형성된다. 상기 제 2 어퍼조립홈(532)의 곡률중심이 상기 어퍼외주면(522) 바깥에 배치된다.
바텀뷰로 볼 때, 상기 제 2 어퍼조립홈(532)이 상기 제 1 어퍼조립홈(531) 보다 더 넓은 면적으로 형성되고, 상기 제 1 어퍼조립홈(531)이 상기 제 2 어퍼조립홈(532) 내에 배치된다.
그래서 도시된 바와 같이 상기 제 1 어퍼조립홈(531) 및 제 2 어퍼조립홈(532)이 겹쳐질 경우, 상기 제 2 어퍼조립홈(532)이 상기 링중심축(RC)을 향해 더 깊게 형성될 수 있다.
상기 제 1 어퍼조립홈(531) 및 제 2 어퍼조립홈(532)의 면적차이로 인해 상기 어퍼단(535)이 형성된다. 상기 어퍼단(535)에 상기 조립부재(700)가 거치될 수 있다.
상기 제 2 어퍼조립홈(532)의 상측면이 막히게 형성되고, 이를 어퍼상측벽(532b)이라 하고, 상기 어퍼상측벽(532b)이 상기 어퍼단(535)과 대향되게 배치된다.
상기 어퍼상측벽(532b)이 상기 어퍼단(535) 보다 넓게 형성된다.
탑뷰로 볼 때, 상기 어퍼단(535)이 호형상으로 형성된다.
상기 로어링(600)은 상기 어퍼수직부(520)의 하단(521)에 밀착되고, 상기 조립부재(700)를 통해 상기 어퍼링(500)과 조립된다.
바텀뷰로 볼 때, 상기 로어링(600)은 링형상으로 형성되고, 내측에 로어개구부(615)가 형성된다. 상기 로어개구부(615)의 내경을 로어개구부직경(RD3)이라 한다.
상기 로어개구부(615)의 로어개구부직경(RD3)이 상기 어퍼개구부(515)의 어퍼개구부직경(RD1) 보다 작게 형성되고, 상기 로어개구부(165) 및 어퍼개구부(515)의 각 중심이 상기 링중심축(RC) 상에 배치된다.
상기 로어링(600)은, 링형상으로 형성되는 로어바디(610)와, 상기 로어바디(610)의 가장자리에 배치되고, 상기 어퍼수직부(520)이 하단(521)에 밀착되는 보더홈(620)와, 상기 로어바디(610)의 내측에 배치되고, 상하 방향으로 개구된 로어개구부(615)와, 상기 로어바디(610)를 상하 방향으로 관통하는 복수개의 슬릿(650)과, 상기 로어바디(610)의 로어외주면(612)에서 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 조립부재(700)가 삽입되는 로어조립홈(630)을 포함한다.
상기 로어바디(610)는 상기 어퍼수평부(510)와 대향되게 배치되고, 상기 어퍼수평부(510)의 하부에 이격되어 배치된다. 또한, 상기 로어바디(610)는 상기 로어플레이트(120)의 하부에 이격되어 배치될 수 있다.
상기 로어바디(610)의 외측 가장자리가 상기 어퍼수직부(520)의 하단에 밀착된다.
바텀뷰로 볼 때, 상기 로어개구부(615)가 원형으로 형성된다.
본 실시예에서 상기 로어바디(610)의 내측 가장자리에서 하측으로 절곡된 로어절곡부(640)가 더 형성된다. 상기 로어절곡부(640)는 링형상으로 형성되고, 상기 로어바디(610) 보다 하측으로 돌출된다. 상기 지지 플레이트(34)의 상단이 상기 로어절곡부(640) 상측에 거치되어 배치될 수 있고, 상기 지지 플레이트(34)에 상기 웨이퍼(W)가 거치될 수 있다.
상기 슬릿(650)은 복수개가 형성되고, 상기 링중심축(RC)을 중심으로 복수개의 슬릿(650)이 방사상으로 배치된다.
복수개의 상기 슬릿(650)은 반경방향으로 길게 연장되게 형성되고, 상기 로어바디(610)를 상하 방향으로 관통한다.
복수개의 상기 슬릿(650)을 통해 내부의 플라즈마가 상기 배기 포트(22)를 통해 배기부(80)로 배출될 수 있다.
식각을 위해 반복적으로 플라즈마가 생성 및 배출됨에 따라 상기 슬릿(650)의 형상에 마모가 발생될 수 있고, 본 실시예에서는 상기 로어링(600)만을 분리하여 교체할 수 있다.
상기 슬릿(650)의 내측단이 상기 로어절곡부(640) 보다 반경방향 외측에 배치되고, 상기 슬릿(650)의 외측단이 상기 보더홈(620) 보다 반경방향 내측에 배치된다.
특히, 상기 슬릿(650)의 길이 내에 상기 어퍼수평부(510)가 배치된다. 즉, 상기 어퍼수평부(510)의 내측 가장자리(512)의 하측에 상기 슬릿(650)이 위치된다.
탑뷰로 볼 때, 상기 어퍼개구부(515)를 상기 통해 상기 슬릿(650)의 외측 일부 및 상기 로어바디(610)의 내측 일부가 노출된다.
상기 보더홈(620)은 상기 로어바디(610)의 상측면에서 하측으로 오목하게 형성되고, 상기 로어바디(610)의 외측 가장자리를 따라 형성될 수 있다. 본 실시예에서 상기 보더홈(620)이 링형상으로 형성된다.
상기 보더홈(620)에 상기 어퍼수직부(520)의 하단(521)이 삽입되고, 상기 어퍼수직부(520)의 내측면(523)이 상기 보더홈(620)의 내측면(623)에 밀착된다.
상기 보더홈(620)의 상측면(621)에 상기 어퍼수직부(520)의 하단(521)이 밀착된다.
상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 반경방향 외측면(531a)에서 상기 내측면(523)까지의 최단 길이를 제 1 어퍼홈두께(UT1)이라 정의하고, 상기 제 2 어퍼조립홈(532)의 내부수직면(532a)에서 상기 내측면(523)까지의 최단 길이를 제 2 어퍼홈두께(UT2)라 정의한다.
탑뷰로 볼 때, 상기 내부수직면(532a)이 원의 일부일 호 형상으로 형성된다.
상기 제 1 어퍼깊이(t1) 및 제 1 어퍼홈두께(UT1)의 합이 상기 어퍼수직부(520)의 반경방향 두께이고, 상기 제 2 어퍼깊이(t2) 및 제 2 어퍼홈두께(UT2)의 합이 상기 어퍼수직부(520)의 반경방향 두께이다.
본 실시예에서 상기 보더홈(620)의 반경방향 길이가 상기 제 1 어퍼홈두께(UT1)로 형성되고, 상기 하단(521) 전체가 상기 보더홈(620)에 지지될 수 있고, 상기 어퍼수직부(520)의 내측면(523)이 상기 보더홈(620) 내측면(623)에 밀착되어 상기 어퍼링(610) 및 로어링(620)의 이격, 비틀림, 진동을 억제할 수 있으며, 이를 통해 플라즈마를 통한 가공정밀도를 향상시킬 수 있다.
본 실시예에서 로어조립홈(630)이 어퍼조립홈(530)의 개수에 대응하여 9개가 배치되고, 상기 링중심축(RC)을 기준으로 40도 간격으로 배치된다.
구분이 필요할 경우, 제 1 로어조립홈, 제 2 로어조립홈, 제 3 로어조립홈, 제 4 로어조립홈, 제 5 로어조립홈, 제 6 로어조립홈, 제 7 로어조립홈, 제 8 로어조립홈, 제 9 로어조립홈이라 한다.
상기 로어조립홈(630)은, 상기 로어바디(610)의 로어외주면(612)에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상측 및 하측으로 각각 개구되게 형성된 제 1 로어조립홈(631)과, 상기 제 1 로어조립홈(631)의 하단에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성된 제 2 로어조립홈(632)을 포함한다.
상기 제 1 로어조립홈(631)이 상기 제 2 로어조립홈(632) 보다 상측에 배치된다. 상기 제 1 로어조립홈(631) 및 제 2 로어조립홈(632)이 상기 로어외주면(612) 보다 내측으로 오목하게 형성된다.
본 실시예에서 상기 제 1 로어조립홈(631)의 가장 깊은 깊이가 상기 제 1 어퍼깊이(t1)로 형성된다.
상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 하측에 상기 제 1 로어조립홈(631)이 배치되고, 상기 어퍼링(500) 및 로어링(600)의 결합 시 상기 제 1 어퍼조립홈(531) 및 제 1 로어조립홈(631)이 상하방향으로 연통된다.
상기 제 1 로어조립홈(631)의 내측면(631a)과 상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 내측면(531a)이 연속된 면을 형성할 수 있다.
상기 로어외주면(612)에서 상기 제 2 로어조립홈(632)의 가장 깊은 깊이를 제 3 어퍼깊이(t3)라 정의한다.
본 실시예에서 상기 제 3 어퍼깊이(t3)가 상기 제 2 어퍼깊이(t2) 보다 깊게 형성된다.
탑뷰로 볼 때, 상기 제 1 로어조립홈(631)이 대체로 사각형 형상일 수 있다. 상기 제 1 로어조립홈(631)의 내측면(631a)이 직선으로 형성될 수 있다.
바텀뷰로 볼 때, 상기 제 2 로어조립홈(632)이 호형상으로 형성되고, 원의 일부 형상일 수 있다. 구체적으로 바텀뷰로 볼 때, 상기 제 2 로어조립홈(632)의 내부수직면(632a)이 호형상으로 형성되고, 정단면으로 볼 때 수직하게 형성된다.
상기 제 2 로어조립홈(632)의 곡률중심이 상기 로어외주면(612) 바깥에 배치된다.
바텀뷰로 볼 때, 상기 제 2 로어조립홈(632)의 직경돠 상기 제 1 로어조립홈(631)의 원주방향 폭이 같게 형성된다.
본 실시예에서 상기 제 2 로어조립홈(632)의 곡률반경이 상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 곡률반경보다 작게 형성된다. 이러한 형상을 통해 상기 조립부재(700)가 상기 로어조립홈(630) 내에서 상하 방향으로 상대이동될 수 있고, 상기 로어링(600)을 상측의 어퍼링(500) 측으로 용이하게 가압할 수 있는 특징이 있다.
상기 제 1 로어조립홈(631)이 상기 제 2 로어조립홈(632)이 겹쳐질 경우, 상기 제 2 로어조립홈(632)이 상기 링중심축(RC)을 향해 더 깊게 형성될 수 있다.
상기 제 1 로어조립홈(631)이 상기 제 2 로어조립홈(632)의 면적차이로 인해 상기 제 2 로어조립홈(632)의 상측에 로어단(635)이 형성된다. 상기 로어단(635)에 상기 조립부재(700)가 지지될 수 있다.
바텀뷰로 볼 때, 상기 로어단(635)이 호형상으로 형성된다.
본 실시예에서 상기 로어바디(610) 중 보더홈(620), 제 1 로어조립홈(631) 및 제 2 로어조립홈(632)에 의해 둘러싸인 부분을 조립돌출부(660)라 정의한다.
상기 조립돌출부(660)가 상기 보더홈(620)의 하측을 형성하고, 상기 제 1 로어조립홈(631)의 내측을 형성하며, 상기 제 2 로어조립홈(632)의 상측을 형성한다.
상기 본 실시예에서 상기 보더홈(620)의 내측면(623) 보다 상기 제 1 로어조립홈(631)의 내측면(631a)이 반경방향 내측에 배치된다.
이와 같은 배치를 통해 상기 조리부재(450)의 조립 시, 상기 조립돌출부(660)의 휨변형을 억제할 수 있다.
상기 조립돌출부(660)의 상측면이 상기 보더홈(620)의 상측면(621)이고,
본 실시예에서 상기 조립돌출부(660)의 외측면이 상기 제 1 로어조립홈(631)의 로어내측면(631a)이며, 상기 조립돌출부(660)의 하측면이 상기 로어단(635)이다.
상기 조립부재(700)는, 상기 제 2 어퍼조립홈(532)에 삽입되는 어퍼조립부(710)와, 상기 제 2 로어조립홈(632)에 삽입되는 로어조립부(730)와, 상기 어퍼조립부(710) 및 로어조립부(730)를 연결하고, 상기 제 1 어퍼조립홈(531) 및 제 1 로어조립홈(631)에 삽입되는 조립바디(720)를 포함한다.
상기 조립부재(700)는 상기 로어조립부(730)의 상측면(733)에 배치되고, 상기 제 2 로어조립홈(632)에 삽입되어 배치되는 가압패드(740)와, 상기 로어조립부(730)를 관통하게 배치되고, 상기 가압패드(740)를 상측으로가압하는 가압부재(750)를 더 포함한다.
상기 조립부재(700)의 어퍼조립부(710), 조립바디(720) 및 로어조립부(730)가 일체로 제작된다.
상기 어퍼조립부(710) 및 조립바디(720)가 직교하게 배치되고, 상기 로어조립부(730) 및 조립바디(720)가 직교하게 배치된다.
상기 어퍼조립부(710) 및 로어조립부(730)가 수평방향으로 배치되고, 상기 조립바디(720)가 수직방향으로 배치된다.
상기 조립바디(720)가 상기 어퍼조립부(710) 및 로어조립부(730)에 동시 삽입되고, 내측면(721)이 상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 내측면(531a) 및 제 1 로어조립홈(631)의 내측면(631a)에 밀착된다.
상기 조립바디(720)의 외측면(722)이 상기 어퍼수직부(520)의 어퍼외주면(522) 및 로어바디(610)의 로어외주면(612)과 연속된 면을 형성한다.
상기 조립바디(720)의 외측면(722)이 곡면일 수 있다.
탑뷰로 볼 경우, 상기 어퍼조립부(710)가 원의 일부인 호 형상으로 형성된다.
상기 어퍼조립부(710)의 외측면(712)이 상기 조립바디(720)의 외측면(722)과 연속된 면을 형성하고, 상기 어퍼조립부(710)의 내측면(711)이 상기 제 2 어퍼조립홈(532)에 삽입되어 상기 내부수직면(532a)에 밀착된다.
상기 어퍼조립부(710)가 상기 제 2 어퍼조립부(532)에 대응하는 호형상으로 형성된다.
상기 어퍼조립부(710)의 상측면(713)이 상기 어퍼상측벽(532b)에 밀착되고, 상기 어퍼조립부(710)의 하측면(714)이 상기 어퍼단(535)에 지지된다.
상기 어퍼조립부(710)의 삽입깊이가 상기 제 2 어퍼깊이(t2)로 형성된다.
상기 어퍼조립부(710)가 상기 조립바디(720) 보다 넓게 형성되기 때문에, 상기 조립바디(720)의 좌측 및 우측으로 각각 돌출된다.
상기 조립바디(720)의 좌측면보다 좌측으로 돌출된 상기 어퍼조립부(710)를 제 1 돌출부(710a)라 하고, 상기 조립바디(720)의 우측면보다 우측으로 돌출된 상기 어퍼조립부(710)를 제 2 돌출부(710b)라 한다.
상기 로어조립부(730)가 상기 제 2 로어조립홈(632)에 삽입된다.
상기 로어조립부(730)의 외측면(732)이 상기 조립바디(720)의 외측면(722)과 연속된 면을 형성하고, 상기 로어조립부(730)의 내측면(731)이 상기 제 2 로어조립홈(632)에 삽입되어 상기 내부수직면(632a)에 밀착된다.
상기 로어조립부(730)가 상기 제 2 로어조립홈(632)에 대응되는 호형상으로 형성된다.
상기 로어조립부(730)의 상측면(733)이 상기 로어단(635)와 대향되게 배치되고, 상기 로어단(635)과 이격되어 하측에 배치된다.
상기 로어조립부(730)의 하측면(734)이 로어바디(610)의 하측면과 연속된 평면을 형성한다.
상기 가압패드(740)가 상기 로어조립부(730)의 상측면(733)에 거치되고, 상기 로어단(635)에 밀착된다.
상기 가압부재(750)를 설치하기 위해, 상기 로어조립부(730)를 상하 방향으로 관통하는 가압부재홀(760)이 형성된다.
상기 가압부재홀(760)은, 상기 로어조립부(730)의 하측면(734)에서 상측면(733)을 향해 형성된 제 1 가압부재홀(761)과, 상기 로어조립부(730)의 상측면(733)에서 하측면(734)을 향해 형성되고, 상기 제 1 가압부재홀(761)과 연통되는 제 2 가압부재홀(762)을 포함한다.
상기 제 1 가압부재홀(761) 및 제 2 가압부재홀(762)이 서로 다른 직경으로 형성되고, 상기 제 1 가압부재홀(761)이 제 2 가압부재홀(762) 보다 큰 직경으로 형성된다.
상기 제 1 가압부재홀(761)의 직경을 제 1 홀직경이라 하고, 상기 제 2 가압부재홀(762)의 직경을 제 2 홀직경이라 한다.
상기 제 1 가압부재홀(761)이 하측으로 개구되고, 상기 제 2 가압부재홀(762)이 상측으로 개구된다.
상기 제 2 가압부재홀(762)의 내주면에 나사산이 형성되고, 이를 홀나사산(766)이라 한다.
상기 가압패드(740)의 저면이 상기 제 2 가압부재홀(762)을 통해 노출되고, 상기 가압부재(750)가 상기 제 2 가압부재홀(762)을 관통하여 상기 가압패드(740)를 상측으로 가압할 수 있다.
상기 어퍼조립부(710)의 하측면(714)에서 상기 로어조립부(730)의 상측면(733)까지의 거리를 제 1 거리(S1)이라 한다.
상기 어퍼링(500) 및 로어링(600)이 밀착되어 상기 어퍼수직부(520)의 하단(521)이 상기 보더홈(620)에 밀착될 때, 상기 어퍼단(535)에서 로어단(635) 까지의 거리를 제 2 거리(S2)라 한다.
상기 제 2 거리(S2)가 상기 제 1 거리(S1) 보다 짧게 형성된다.
상기 제 2 거리(S2)에 상기 가압패드(740)의 두께가 더 해질 경우, 상기 제 1 걸리(S1)를 형성할 수 있다.
상기 제 1 거리(S1) 및 제 2 거리(S2)의 차가 상기 가압패드(740)의 두께일 수 있고, 이를 여유간격(P)으로 정의한다. 상기 여유간격은 상기 로어단(635)에서 상기 로어조립부(730)의 상측면(733)까지의 최단거리 일 수 있다.
그래서 상기 가압패드(740)가 상기 로어조립부(730)의 상측면에 배치된 상태로 상기 조립부재(700)를 상기 어퍼조립홈(530) 및 로어조립홈(630)에 끼워 고정할 수 있다.
상기 어퍼조립부(710)가 상기 어퍼링(500)과 상하 방향에 대해 상호 걸림을 형성하고, 상기 로어조립부(730)가 상기 로어링(600)과 상하 방향에 대해 상호 걸림을 형성한다.
상기 가압부재(750)는 상기 가압패드(740)를 상하 방향으로 가압하여 상기 조립부재(700)의 반경방향 이동을 억제한다.
본 실시예에서 상기 가압부재(750)가 상기 조립돌출부(660)와 나사결합되지 않는다. 상기 가압부재(750)가 로어링(600)의 일부 구성인 조립돌출부(660)와 나사결합될 경우, 진동 등에 의해 나사결합이 헐거워질 수 있고, 이로 인해 상기 어퍼링(500)과 상하 방향 이격이 형성될 수 있고, 이러한 이격이 플라즈마 식각 시 가공불량을 유발할 수 있다.
본 실시예에서는 조립부재(700)가 상호 걸림을 통해 어퍼링(500) 및 로어링(600)과 상호 걸림을 형성하고, 가압패드(740)가 로어단(635) 및 로어조립부(730) 사이에 끼워져 고정되기 때문에 상하 이격을 억제할 수 있고, 이를 통해 신뢰성 있는 조립정밀도를 확보할 수 있다.
상기 조립부재(700)가 9개소에 배치되고, 상기 가압부재(750)가 각각의 상기 제 2 가압부재홀(762)를 통해 삽입되어 조립부재(700)의 반경방향 이동을 억제하여 조립부재(700)의 조립상태를 유지시킬 수 있다.
플라즈마 식각에 의해 상기 슬릿(650)이 노후 또는 마모되는 경우, 상기 각 조립부재(700)를 분리하여 로어링(600)을 어퍼링(500)에서 분리시킬 수 있고, 상기 로어링(600) 만을 교체할 수 있다.
상기 가압부재(750)는, 원판형상의 가압헤드(751)와, 상기 가압헤드(751)에서 상측으로 돌출된 원기둥형태의 가압바디(752)와, 상기 가압바디(752)의 외주면에 형성된 가압나사산(756)을 포함한다.
상기 가압헤드(751)가 상기 제 1 가압부재홀(761)에 삽입되고, 수평방향으로 회전될 수 있다.
상기 가압바디(752)가 상기 제 2 가압부재홀(762)에 삽입되고, 삽입 시 상기 가압나사산(756)이 상기 홀나사산(766)과 나사결합된다.
상기 가압헤드(761)의 저면에 조작력 전달을 위한 툴홈(755)이 형성된다.
본 실시예에서 상기 툴홈(755)은 "-" 형상이다.
툴을 상기 툴홈(755)에 삽입하여 상기 가압부재(750)를 회전시킬 수 있고, 상기 가압바디(752)의 상단을 상기 가압패드(740) 저면에 밀착시킬 수 있으며, 상기 가압패드(740)가 상기 로어단(635)에 밀착되어 상기 로어링(600)과의 결합력을 확보할 수 있다.
상기 가압부재(750)를 과도하게 회전시키거나 적게 회전시키더라도 상기 로어링(600)의 높낮이에 영향을 주지않는 장점이 있다.
본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며 후술하는 특허청구의 범위뿐만 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
40 : 샤워 헤드 어셈블리 110 : 어퍼플레이트
111 : 어퍼상측면 112 : 어퍼하측면
113 : 제 1 어퍼홀 114 : 제 2 어퍼홀
115 : 제 3 어퍼홀 120 : 로어플레이트
121 : 로어상측면 122 : 로어하측면
123 : 제 1 로어홀 124 : 제 2 로어홀
200 : 고정장치
210 : 제 1 어퍼체결부재 220 : 제 2 어퍼체결부재
230 : 제 1 가압바디 240 : 제 2 가압바디
250 : 장축볼트 310 : 제 1 로어체결부재
320 : 제 2 로어체결부재 330 : 로어삽입부
400 : 씨링어셈블리 500 : 어퍼링
510 : 어퍼수평부 520 : 어퍼수직부
530 : 어퍼조립홈 535 : 어퍼단
600 : 로어링 610 : 로어바디
515 : 어퍼개구부 615 : 로어개구부
620 : 보더홈 630 : 로어조립홈
640 : 로어절곡부 650 : 슬릿
660 : 조립돌출부 700 : 조립부재
710 : 어퍼조립부 720 : 조립바디
730 : 로어조립부 740 : 가압패드
750 : 가압부재 751 : 가압헤드
752 : 가압바디 756 : 가압나사산

Claims (5)

  1. 샤워 헤드 어셈블리(40)를 통해 가스를 토출하고, 토출된 가스를 플라즈마 상태로 이온화시키는 플라즈마 처리장치에 있어서,
    상기 샤워 헤드 어셈블리(40)는,
    어퍼플레이트(110); 상기 어퍼플레이트(110)의 저면에 배치되는 로어플레이트(120); 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)에 조립되고, 상기 어퍼플레이트(110) 및 로어플레이트(120)를 이격된 상태로 유지시키는 고정장치(200); 상기 로어플레이트(120) 및 지지플레이트(34)를 조립시키고, 배기부(80)와 연통되어 잔류된 플라즈마를 상기 배기부(80)로 안내하는 씨링어셈블리(400);를 포함하고,
    상기 씨링어셈블리(400)는,
    상기 로어플레이트(120)에 조립되는 어퍼링(500);
    상기 어퍼링(500)의 하단에 밀착되고, 플라즈마 배출을 위해 복수개의 슬릿(650)이 형성된 로어링(600);
    상기 어퍼링(500) 및 로어링(600)을 분리가능하게 조립시키는 조립부재(700);를 포함하고,
    상기 어퍼링(500)은,
    수평하게 배치되고, 내측에 상하 방향으로 개구된 어퍼개구부(515)가 형성되며, 상기 로어플레이트(120)에 조립되는 어퍼수평부(510);
    상기 어퍼수평부(510)의 외측 가장자리에서 하측으로 절곡되게 형성된 어퍼수직부(520);
    상기 어퍼수직부(520)의 어퍼외주면(522)에서 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 조립부재(700)가 삽입되는 어퍼조립홈(530);을 포함하고,
    상기 어퍼조립홈(530)은,
    상기 어퍼수직부(520)의 어퍼외주면(522)에서 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 어퍼수직부(520)의 하단(521)으로 개구되게 형성된 제 1 어퍼조립홈(531);
    상기 제 1 어퍼조립홈(531)의 상단에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성된 제 2 어퍼조립홈(532);을 포함하고,
    상기 로어링(600)은,
    링형상으로 형성되는 로어바디(610);
    상기 로어바디(610)의 로어외주면(612)에서 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상기 조립부재(700)가 삽입되는 로어조립홈(630);을 포함하고,
    상기 로어조립홈(630)은,
    상기 로어바디(610)의 로어외주면(612)에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성되고, 상측 및 하측으로 각각 개구되게 형성된 제 1 로어조립홈(631);
    상기 제 1 로어조립홈(631)의 하단에서 상기 링중심축(RC)을 향해 반경방향 내측으로 오목하게 형성된 제 2 로어조립홈(632);을 포함하는 플라즈마 처리장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 로어링(600)은,
    상기 로어바디(610)의 가장자리에 배치되고, 상기 어퍼수직부(520)이 하단(521)에 밀착되는 보더홈(620);
    상기 로어바디(610)의 내측에 배치되고, 상하 방향으로 개구된 로어개구부(615);
    상기 로어바디(610)를 상하 방향으로 관통하는 복수개의 상기 슬릿(650);을 더 포함하는 플라즈마 처리장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 조립부재(700)는,
    상기 제 2 어퍼조립홈(532)에 삽입되는 어퍼조립부(710);
    상기 제 2 로어조립홈(632)에 삽입되는 로어조립부(730);
    상기 어퍼조립부(710) 및 로어조립부(730)를 연결하고, 상기 제 1 어퍼조립홈(531) 및 제 1 로어조립홈(631)에 삽입되는 조립바디(720);를 포함하는 플라즈마 처리장치.
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