KR102531086B1 - 연마 장치 및 연마 방법 - Google Patents

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강지용
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Abstract

본 발명의 일 실시예는 연마휠부와, 연마휠부의 회전 중심축에 대하여 연마휠부에 회전 동력을 전달하는 회전부를 구비하는 연마부 및 연마부의 선형 운동을 제어하는 구동유닛을 포함하고, 구동유닛은, 선형 동력을 발생시키는 구동본체부와, 연마부의 이동 경로를 가이드하는 이동부와, 구동본체부와 이동부를 연결하며 연마부로 선형 동력을 전달하는 링크부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치 및 연마 방법을 제공한다.

Description

연마 장치 및 연마 방법{Polishing apparatus and polishing method}
본 발명의 실시예들은 연마 장치 및 연마 방법에 관한 것이다.
최근 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 컴퓨터, 대형 TV와 같은 각종 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 평면 디스플레이 장치에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평면 디스플레이 장치에는 현재 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이러한 평면 디스플레이 장치 등에 사용되는 기판은 일반적으로 그 강도가 증가된 강화 유리 재질로 제작되지만, 그럼에도 불구하고 원판(mother glass)에서 휠(wheel)에 의한 절단 과정 중 기계적 커팅 공정으로 인해 절단면에서 미세 크랙 등이 발생하여 그 강도가 떨어지는 문제가 있었다.
특히, 이러한 미세 크랙 등은 절단된 기판의 에지 라인을 따라 주로 발생하게 되는데, 발생된 미세 크랙 등을 숫돌과 같은 장비를 이용하여 그라인딩(grinding) 처리함으로써 에지 라인의 강도를 강화시키고 있다. 하지만 최근에는 기판의 두께가 점차 얇아지고 있어 에지 라인의 강도 문제가 더욱 부각되고 있어, 이를 해결하기 위해 그라인딩 공정 후 별도의 폴리싱(polishing) 공정을 통해 에지 라인의 강도를 더욱 강화하고 있다.
종래 그라인딩 공정 후 통상 그라인딩 공정 후 폴리싱 공정이 진행되는데, 그라인딩 공정 시 에지 라인을 균일하게 그라인딩하기 위해 일정하게 그라인더를 이동시키더라도 기판의 정렬오차, 비젼카메라의 정렬오차 등으로 인해 에지 라인이 불균일하게 그라인딩 되는 문제점이 있고 이에 따라 후속 공정인 폴리싱 공정에서 에지 라인이 불균일하게 폴리싱 되는 문제점이 있었다.
또한, 연마부에 동력을 전달하는 구동부 내에서 발생하는 조립 부하로 인하여 일정 힘(N) 이하에서 폴리싱 공정을 수행하지 못하는 문제점이 있었다.
본 발명의 실시예들은 연마부에 선형 동력 전달 시 발생하는 조립 부하를 최소화하여 작은 힘으로도 연마 대상체에 가해지는 접촉력을 정밀하게 제어할 수 있는 연마 장치 및 연마 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 연마휠부와; 상기 연마휠부의 회전 중심축에 대하여 상기 연마휠부에 회전 동력을 전달하는 회전부;를 구비하는 연마부; 및 상기 연마부의 선형 운동을 제어하는 구동유닛;을 포함하고, 상기 구동유닛은, 선형 동력을 발생시키는 구동본체부와; 상기 연마부의 이동 경로를 가이드하는 이동부와; 상기 구동본체부와 상기 이동부를 연결하며 상기 연마부로 선형 동력을 전달하는 링크부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 연마부에 연마대상체의 연마를 위해 가해지는 힘의 설정값을 입력하는 단계; 구동유닛에서 선형 동력을 발생시켜 상기 연마부에 전달하는 단계; 상기 연마 중 상기 연마부와 상기 연마대상체 사이의 접촉력을 측정하는 단계; 접촉력의 측정값과 상기 설정값을 비교하는 단계; 및 상기 측정값과 상기 설정값 사이의 차이가 소정 범위 이내를 만족하도록 상기 구동유닛의 구동을 제어하는 단계;를 포함하고, 상기 구동유닛은, 선형 동력을 발생시키는 구동본체부와; 상기 연마부의 이동 경로를 가이드하는 이동부와; 상기 구동본체부와 상기 이동부를 연결하며 상기 연마부로 선형 동력을 전달하는 링크부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 방법를 제공한다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치 및 연마 방법은 링크부로 인하여 연마부에 선형 동력 전달 시 발생하는 조립 부하를 최소화하여 작은 힘으로도 연마 대상체에 가해지는 접촉력을 정밀하게 제어할 수 있는 효과가 있다.
또한, 연마대상체에 대해 연마부가 느끼는 접촉력을 실시간으로 감지하여 접촉력의 크기에 따라 연마부 위치를 제어할 수 있다.
또한, 링크부로 인하여 접촉력 센서부가 연마대상체에 대한 연마부의 접촉력을 측정함에 있어, x, y, z축에 대해 발생하는 조립 부하를 최소화함으로 인하여 보다 적은 힘으로도 연마부에 선형 동력을 전달할 수 있고, 연마대상체를 연마 가공함에 있어 미세한 힘으로 제어할 수 있는 효과가 있다.
또한, 부싱부에 기체가 공급되며, 부싱부와 가이드샤프트 사이에 이격 공간이 형성됨으로 인하여 부싱부와 가이드샤프트가 직접 면접촉하는 것에 비하여 이동부의 이동 시 부싱부와 가이드샤프트 사이의 접촉으로 인한 마찰 저항을 최소화할 수 있다.
또한, 이동부에서 발생되는 마찰 저항이 최소화됨으로 인하여 보다 적은 힘으로도 구동본체부에서 연마부에 선형 동력을 전달할 수 있고 미세한 힘으로 연마부에 선형 동력을 전달할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동유닛을 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동본체부를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이동부를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동부를 부분적으로 도시한 평단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 링크부를 도시한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부를 도시한 정단면도이다.
도 9는 본 발명의 연마부가 기울어진 상태를 도시한 측면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부를 도시한 블록구성도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 방법을 도시한 순서도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 정면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동유닛을 도시한 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동본체부를 도시한 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이동부를 도시한 사시도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동부를 부분적으로 도시한 평단면도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 링크부를 도시한 사시도이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부를 도시한 정단면도이다. 도 9는 본 발명의 연마부가 기울어진 상태를 도시한 측면도이다. 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부를 도시한 블록구성도이다.
도 1 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1)는 연마부(100), 구동유닛(200)을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 연마부(100)는 회전부(150)의 말단부(도 1 기준 하측)에 연마플레이트(P)에 배치되는 연마대상체(M)를 연마하기 위한 연마휠부(110)가 장착되고, 회전부(150)를 이용하여 연마휠부(110)를 회전시켜 연마대상체(M)를 연마할 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마부(100)는 연마플레이트(P)에 배치되는 연마대상체(M)의 측면 에지(edge)에 연마휠부(110)를 접촉시켜 연마할 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 회전부(150)는 스핀들 모터로 형성되어 회전 동력을 발생시킬 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 연마부(100)는 연마휠부(110) 및 회전부(150)를 제2방향으로 이동시키는 제2방향 이송부(도면 미도시), 연마휠부(110) 및 회전부(150)를 제3방향으로 이동시키는 제3방향 이송부(도면 미도시)를 더 포함할 수 있다.
제2방향 이송부 및 제3방향 이송부는 각각 제2방향(도 1 기준 x축 방향), 제3방향(도 1 기준 z축 방향)에 대하여 연마휠부(110) 및 회전부(150)를 이동시킬 수 있는, 모터, 유압 또는 공압 실린더, 리니어 액츄에이터 등으로 동력을 발생시킬 수 있다.
여기서 '제2방향'은 연마대상체(M)의 측면에 평행한 방향을 의미하며, 도 1에서는 x축 방향일 수 있다. 이와 달리 연마부(100)가 도 1에 도시된 측면에 수직한 다른 측면을 연마하는 경우에는 제2방향은 y방향을 의미할 수 있다.
즉, 연마부(100)는 제2방향을 따라 이동하면서 연마대상체(M)의 측면을 연마할 수 있고, 필요에 따라 제3방향(도 1 기준 z축 방향)으로 위치를 조절할 수 있는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
도 1, 도 2, 도 8, 도 9, 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마부(100)는 뒤에 설명할 구동유닛(200)에 연결되며, 구동유닛(200)으로부터 동력을 전달받아 연마대상체(M) 측으로 이동되고, 회전 동력을 발생시켜 연마대상체(M)와의 연마를 수행하는 것으로, 연마휠부(110), 회전부(150), 틸팅부(170)를 포함할 수 있다.
도 1, 도 2, 도 8, 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마휠부(110)는 회전 중심축(AX)을 기준으로 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전이 가능한 것으로, 회전부(150)에서 발생되는 회전 동력을 전달받아 연마대상체(M)와의 접촉 시 연마를 수행할 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예예 따른 연마휠부(110)는 회전 중심축(AX)에 대하여 회전하는 휠바디(111)와, 휠바디(111)의 원주면에 배치되는 지립부(115), 휠바디(111)와 지립부(115) 사이에 배치되는 버퍼부(113)를 포함할 수 있다.
도 8, 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 휠바디(111)는 연마휠부(110)의 골격을 이루는 구성요소로서, 디스크(disc) 형상으로 형성될 수 있다.
다만, 휠바디(111)는 지립부(115)와 결합되어 외주면이 휠의 형상을 형성하게 되므로, 반드시 디스크 형상으로 형성될 필요는 없고, 회전 중심축(AX)를 기준으로 회전될 수 있는 기술적 사상 안에서 다양한 형상으로 형성되는 등 변형실시가 가능하다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 지립부(115)는 연마대상체(M)와 직접 접촉하는 부분으로서 주성분이 탄화규소(SiC)인 연마재와, 주성분이 우레탄인 충진재 및 주성분이 산화크롬(CrO), 세륨옥사이드(Ce20), 레진파우더(Resin powder), 탄산칼슘(CaCO3), 산화칼슘(CaO), 산화철(Fe203) 및 이들의 조합 중 어느 하나를 선택하여 이루어지는 광택재 등으로 형성될 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼부(113)는 휠바디(111)와 지립부(115) 사이에 배치되는 것으로, 탄성 변형이 가능한 재질로 형성될 수 있다. 버퍼부(113)는 연마휠부(110)의 회전 중심축을 기준으로 둘레를 따라 형성될 수 있고, 연마휠부(110)와 연마대상체(M) 사이에 일정한 탄성력을 부여함으로써 연마대상체(M)에 대한 연마부(100)의 밀착력을 향상시킬 수 있다.
이로 인하여 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1)는 고품질의 연마 가공을 구현할 수 있는 효과가 있다.
도 1, 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 틸팅부(170)는 연마휠부(110)의 회전 중심축(AX)의 기울기를 조절하는 것으로, 연마부(100)는 연마대상체(M)를 향하는 제1방향(도 1 기준 y축 방향)에 교차하는 제2방향(도 9 기준 x축 방향)을 따라 이동하면서 연마대상체(M)의 측면을 연마하게 되는데, 이때 틸팅부(170)는 제2방향(도 9 기준 x축 방향)에 대한 연마휠부(110)의 회전 중심축(AX)의 기울기를 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 틸팅부(170)는 제2방향(도 9 기준 x축 방향)에 대한 연마부(100)의 회전 중심축(AX)의 각도가 0 내지 45도 범위에서 선택된 값을 가지도록 기울기를 조절할 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1)는 연마휠부(110)의 원주 방향과 연마대상체(M)의 측면이 연장되는 방향(도 1 기준 x축 방향)이 평행하도록 연마부(100)를 기울이지 않은 상태에서 연마 공정을 수행할 수 있다.
도 2와 같이 연마 공정을 수행하는 경우, 연마대상체(M)의 연마면에는 연마대상체(M)의 측면이 연장되는 방향과 평행하게 연마가공선(흔적, 도면 미도시)이 형성될 수 있다.
이와 달리 도 9와 같이 연마 공정을 수행하는 경우, 연마 장치(1)는 연마휠부(110)의 원주 방향과 연마대상체(M)의 측면이 연장되는 방향(도 9 기준 x축 방향) 사이에 설정된 각도(θ)를 가지도록 틸팅부(170)를 이용하여 연마부(100)를 기울인 상태에서 연마 공정을 수행할 수 있다.
다시 말하여 틸팅부(170)는 제2방향(도 9 기준 x축 방향)에 대하여 연마부(100)의 회전 중심축(AX)을 일정 각도(θ)로 기울임으로써, 연마휠부(110)가 연마대상체(M)의 측면에 대해 기울어진 상태에서 연마 공정을 수행할 수 있게 한다.
이로 인하여 연마대상체(M)의 측면과 연마휠부(110)가 상호 접촉하는 접촉면적이 증가되어, 동일한 연마휠부(110)를 사용하더라도 연마 효율을 극대화시킬 수 있다.
도 9와 같은 연마 공정을 수행하는 경우, 연마대상체(M)의 연마면에는 연마대상체(M)의 측면이 연장되는 방향에 교차하는 방향으로 연마가공선(흔적, 도면 미도시)이 형성될 수 있다.
이때 연마대상체(M)의 측면에 연장되는 방향과 연마가공선 사이의 각도는 연마휠부(110)의 원주 방향과 연마대상체(M)의 측면이 연장되는 방향(도 9 기준 x축 방향) 사이의 각도(θ)와 동일하게 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 7, 도 9, 도 10를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동유닛(200)은 연마부(100)와 연결되는 것으로, 연마대상체(M)와 연마부(100)가 접촉하는 면에 있어 상호 접촉하는 힘이 연마 진행 방향을 따라 균일하게 적용되도록 연마부(100)의 선형 운동을 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 구동유닛(200)은 연마대상체(M)를 향하는 제1방향(도 1 기준 y축 방향)에 대하여 연마부(100)가 연마대상체(M)에 사전에 입력된 설정값으로 일정한 힘을 인가하도록 제1방향에 대한 연마부(100)의 선형 운동을 제어할 수 있다.
본 명세서에서 '제1방향'은 연마대상체(M)를 향하는 방향(도 1 기준 y축 방향)이며, 구체적으로 제2방향(도 1 기준 x축 방향)과 수직을 이룰 수 있다.
도 1을 참조하면, 제1방향은 y축 방향이고, 제2방향은 x축 방향일 수 있으며, 연마부(100)가 도면에서와 같이 접촉하는 측면에 수직한 측면을 연마하는 경우에는 제1방향은 x축 방향이고, 제2방향은 y축 방향일 수 있다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1방향이 y축 방향이고, 제2방향이 x축 방향인 경우를 예를 들어 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 7, 도 9, 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동유닛(200)은 베이스부(210), 구동본체부(230), 이동부(250), 링크부(270), 제어부(290)를 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 베이스부(210)는 구동본체부(230) 및 이동부(250)가 설치되는 것으로, 외부 장치와 연결되며 제2방향(도 1 기준 x축 방향), 제3방향(도 1 기준 z축 방향)으로 이동이 가능하다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 베이스부(210)는 플레이트 형상으로 형성될 수 있고, 구동본체부(230)의 제1고정부(231), 이동부(250)의 제2고정부(251)가 위치 고정될 수 있다.
도 3, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동본체부(230)는 선형 동력을 발생시키는 것으로, 제1고정부(231), 구동샤프트(233), 액추에이터(235), 구동전달부(237)를 포함할 수 있다.
도 3, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1고정부(231)는 베이스부(210)에 배치되는 것으로, 복수 개가 구비될 수 있다. 본 발명에서는 한 쌍이 구비되며, 구동샤프트(233)의 양단부에 각각 연결되며, 구동샤프트(233)의 위치를 고정시킬 수 있다.
도 3, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동샤프트(233)는 길이 방향 중심축을 따라 연장 형성되는 것으로, 액추에이터(235)와 연결되며, 액추에이터(235)의 선형 이동 경로를 제공할 수 있다.
본 발명에서 구동샤프트(233)는 마그넷 샤프트(magnet shaft)로 형성될 수 있고, 구동샤프트(233)와 액추에이터(235) 간의 상대 운동으로 인하여 제1방향(도 1 기준 y축 방향)으로 이동이 가능하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 구동샤프트(233)는 위치가 고정되며, 액추에이터(235)가 구동샤프트(233) 상에서 제1방향을 따라 선형 운동하나, 이에 한정하는 것은 아니고 액추에이터(235)의 위치가 고정되고, 액추에이터(235)의 내부에서 구동샤프트(233)가 제1방향을 따라서 선형 운동하는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 구동샤프트(233) 및 액추에이터(235)는 리니어 모터(linear motor)로 형성될 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니고, 연마대상체(M)를 향하는 제1방향(도 1 기준 y축 방향)을 따라 선형 동력을 발생시킬 수 있는 기술적 사상 안에서 유압 실린더, 공압 실린더, 기타 모터 등으로 형성되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동본체부(230)로 인하여 발생되는 선형 동력, 즉, 액추에이터(235)가 구동샤프트(233) 상에서 제1방향(도 4 기준 y축 방향)으로 이동됨에 따라 링크부(270)를 통해 이동부(250)로 선형 동력을 전달하고, 이동부(250), 구체적으로 이동플레이트(259)와 연결되는 연마부(100)를 연마대상체(M)에 형성되는 연마면을 향해 이동시킬 수 있다.
도 3, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동전달부(237)는 액추에이터(235)와 연결되는 것으로, 구동샤프트(233) 상에서 선형 이동하는 액추에이터(235)의 이동에 연동되어 함께 이동할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 구동전달부(237)는, 액추에이터(235) 또는 구동샤프트(233) 중 어느 하나와 연결되며, 연결되는 액추에이터(235) 또는 구동샤프트(233) 중 어느 하나와 링크부(270) 사이에 배치되는 것으로, 도 4를 참조하면, 본 발명에서는 구동샤프트(233)의 위치가 고정되고, 구동샤프트(233) 상에서 액추에이터(235)가 이동가능함에 따라 구동전달부(237)가 액추에이터(235)와 연결되며, 액추에이터(235)와 링크부(270) 사이에 배치될 수 있다.
그러나 이에 한정하는 것은 아니고 액추에이터(235)의 위치가 고정되고, 구동샤프트(233)가 액추에이터(235)의 내측에서 제1방향을 따라 이동가능한 경우에 구동전달부(237)는 구동샤프트(233)와 연결되며, 구동샤프트(233)와 링크부(270) 사이에 배치되는 등 다양한 변형실시가 가능하다.
이하에서는 도 4에 도시된 바와 같이, 구동샤프트(233)의 위치가 고정되고, 구동샤프트(233) 상에서 액추에이터(235)가 이동하는 경우를 기준으로 설명한다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동전달부(237)는 일측에서는 액추에이터(235)와 연결되고, 타측에서는 링크부(270)와 연결될 수 있다. 구동전달부(237)는 링크부(270), 구체적으로 제1링크(271)와 연결되며, 링크부(270)를 통해 뒤에 설명할 이동부(250)로 선형 동력을 전달할 수 있다.
도 4를 참조하면, 구동전달부(237)는 링크부(270), 구체적으로 제1링크(271)와 제1연결부재(도면부호 미설정)로 연결될 수 있고, 제1연결부재는 y축 방향(도 4 기준)을 제1연결축(CX1) 방향으로 하여 구동전달부(237)와 연결되고, x축 방향(도 4 기준)을 제2연결축(CX2) 방향으로 하여 제1링크(271)와 연결되며, 구동전달부(237)와 제1링크(271)를 연결시킬 수 있다.
도 3, 도 5, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동부(250)는 구동본체부(230), 링크부(270)와 연결되는 것으로, 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력을 전달받아 이동하는 연마부(100)의 이동 경로를 가이드할 수 있다.
도 3, 도 5, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동부(250)는 제2고정부(251), 가이드샤프트(253), 부싱부(255), 기체공급부(257), 이동플레이트(259)를 포함할 수 있다.
도 3, 도 5, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2고정부(251)는 베이스부(210)에 위치 고정되는 것으로, 복수 개가 구비될 수 있다. 본 발명에서 제2고정부(251)는 한 쌍이 구비되며, 가이드샤프트(253)의 양단부에 각각 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제2고정부(251)로 인하여 가이드샤프트(253)의 위치를 고정시키고, 가이드샤프트(253)의 길이 방향 중심축을 안정적으로 유지시킬 수 있는 효과가 있다.
도 3, 도 5, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드샤프트(253)는, 일 방향으로 연장 형성되는 것으로, 양단부의 위치가 고정될 수 있다. 가이드샤프트(253)의 양단부는 제2고정부(251)에 각각 위치 고정될 수 있다.
가이드샤프트(253)의 길이 방향은 제1방향(도 1 기준 y축 방향)과 나란하게 형성될 수 있다. 가이드샤프트(253)의 길이 방향이 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 운동의 방향과 동일하게 형성됨으로 인하여, 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력을 전달받는 연마부(100)의 이동 경로를 가이드할 수 있는 효과가 있다.
도 3을 참조하면, 가이드샤프트(253)는 복수 개가 구비되며, 병렬 배치될 수 있다. 가이드샤프트(253)가 복수 개 배치됨에 따라 가이드샤프트(253) 상에서 이동가능한 부싱부(255)도 이에 대응되도록 복수 개가 구비될 수 있다.
가이드샤프트(253), 부싱부(255)가 복수 개가 구비되며 병렬 배치됨으로 인하여 가이드샤프트(253)의 길이 방향을 따라 이동플레이트(259) 및 이동플레이트(259)에 연결되는 연마부(100)가 안정적으로 제1방향(도 1 기준 y축 방향)을 따라 이동할 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 3, 도 5, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 부싱부(255)는 가이드샤프트(253) 상에서 선형 이동이 가능한 것으로, 뒤에 설명할 이동플레이트(259)와 연결될 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력이 링크부(270)를 통하여 이동부(250), 구체적으로 이동플레이트(259)로 전달되고, 연마부(100)와 연결되는 이동플레이트(259)에 선형 동력이 전달되면, 이동플레이트(259)와 연결되는 부싱부(255)가 가이드샤프트(253) 상에서 이동될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 부싱부(255)는 탄성 변형이 가능한 재질로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 부싱부(255)는 뒤에 설명할 기체공급부(257)와 연결되며, 기체공급부(257)로부터 기체(G)를 공급받아 가이드샤프트(253)의 외주면과 부싱부(255)의 내주면 사이에 이격 공간(SA)을 형성할 수 있다.
가이드샤프트(253)의 외주면과 부싱부(255)의 내주면 사이에 이격 공간(SA)이 형성됨에 따라 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력을 전달받아 연마부(100)와 연결되는 이동부(250)가 이동할 때에 가이드샤프트(253)와 부싱부(255) 사이의 마찰로 인한 저항을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
이로 인하여 가이드샤프트(253)를 따라 이동플레이트(259) 및 이동플레이트(259)에 연결되는 연마부(100)가 제1방향(도 1 기준 y축 방향)을 따라 안정적으로 이동될 수 있도록 할 수 있다.
이에 더하여 마찰 저항을 최소화시킬 수 있어 구동본체부(230)에서 상대적으로 작은 선형 동력(force)을 발생시켜도 링크부(270), 이동부(250)를 통해 연마부(100)에 전달될 수 있도록 하여 연마면을 연마부(100)로 연마함에 있어서 작은 힘으로도 연마 공정을 수행할 수 있는 효과가 있다.
도 3, 도 5, 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기체공급부(257)는 부싱부(255)와 연통되는 것으로, 외부로부터 부싱부(255)의 내측으로 기체(G)를 공급할 수 있다.
도 6을 참조하면, 기체공급부(257)에서 부싱부(255)로 고압의 가스 등의 기체(G)를 공급할 수 있다. 기체공급부(257)를 통해 부싱부(255)의 내측으로 유입되는 기체(G)는 가이드샤프트(253)와 부싱부(255) 사이에 이격 공간(SA)을 형성시킬 수 있고, 상기 이격 공간(SA)이 형성됨으로 인하여 가이드샤프트(253)와 부싱부(255) 사이의 마찰로 인해 발생되는 저항을 최소화시킬 수 있는 효과가 있다.
이에 더하여 가이드샤프트(253)와 부싱부(255) 사이의 마찰을 최소화함으로 인하여 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력에서 마찰 등으로 인한 손실이 발생되지 않고, 이를 이동부(250) 및 이동부(250)와 연결되는 연마부(100)로 전달할 수 있는 효과가 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2고정부(251), 가이드샤프트(253), 부싱부(255), 기체공급부(257)는 복수 개가 구비될 수 있고, 복수 개의 가이드샤프트(253)의 길이 방향 중심축이 평행을 이루며 병렬 배치될 수 있다.
도 3, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동플레이트(259)는 부싱부(255), 링크부(270) 및 연마부(100)와 연결되는 것으로, 링크부(270)를 통해 구동본체부(230)로부터 발생되는 선형 동력을 전달받을 수 있다.
이동플레이트(259)는 링크부(270)를 통해 구동본체부(230)로부터 선형 동력을 전달받아 제1방향을 따라 이동하게 되고, 이동플레이트(259)와 연결되는 부싱부(255)가 가이드샤프트(253) 상에서 제1방향을 따라 이동됨에 따라 이동 경로를 안정적으로 제공받을 수 있다.
이동플레이트(259)는 연마부(100)와 연결되며, 이로 인하여 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력이, 링크부(270), 이동부(250)를 거쳐 연마부(100)에 전달할 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 3, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동플레이트(259)는 플레이트 형상으로 형성되나, 이에 한정하는 것은 아니고 이동플레이트(259)와 연마부(100)가 연결되며 이동이 연동될 수 있는 기술적 사상 안에서 다양한 변형실시가 가능하다.
이동플레이트(259)는 뒤에 설명할 링크부(270), 구체적으로 제2링크(275)와 연결되는 브릿지부(259a)를 구비할 수 있다.
도 3, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동플레이트(259)는 일측에서는 부싱부(255)와 연결되고, 타측에서는 링크부(270)와 연결될 수 있다. 이동플레이트(259)에 구비되는 브릿지부(259a)는 링크부(270), 구체적으로 제2링크(275)와 연결될 수 있다.
도 3, 도 5를 참조하면, 이동플레이트(259)는 링크부(270), 구체적으로 제2링크(275)와 제2연결부재(도면부호 미설정)로 연결될 수 있고, 제2연결부재는 z축 방향(도 5 기준)을 제3연결축(CX3)으로 하여 이동플레이트(259), 구체적으로 브릿지부(259a)와 제2링크(275)를 연결시킬 수 있다.
도 3, 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 링크부(270)는 구동본체부(230)와 이동부(250)를 연결하는 것으로, 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력을 이동부(250) 및 이동부(250)와 연결되는 연마부(100)로 전달할 수 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 링크부(270)는 제1링크(271), 접촉력 센서부(273), 제2링크(275)를 포함할 수 있다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1링크(271)는 구동본체부(230)와 연결되는 것으로, 구체적으로 구동전달부(237)와 연결될 수 있다. 제1링크(271)는 제1연결부재로 구동전달부(237)와 연결될 수 있고, 제1연결부재는 x축 방향(도 4 기준)을 제2연결축(CX2) 방향으로 하여 제1링크(271)와 구동전달부(237)를 연결시킬 수 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2링크(275)는 이동부(250), 구체적으로 이동플레이트(259)에 구비되는 브릿지부(259a)와 연결될 수 있다. 제2링크(275)는 제2연결부재로 브릿지부(259a)와 연결될 수 있고, 제2연결부재는 y축 방향(도 5 기준)을 제3연결축(CX3) 방향으로 하여 제2링크(275)와 브릿지부(259a)를 연결시킬 수 있다.
도 3 내지 도 5, 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 링크부(270)에서 제2연결축(CX2), 제3연결축(CX3)으로 구동본체부(230), 이동부(250)와 각각 연결됨으로 인하여, 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력이 이동부(250) 및 이동부(250)에 연결되는 연마부(100)에 전달됨에 있어 조립 시 발생되는 부하를 최소화할 수 있는 효과가 있다.
도 3을 참조하면, 구동본체부(230), 구체적으로 구동전달부(237)와 제1연결부재가 제1연결축(CX1)으로 연결됨으로 인하여, y축 방향으로의 모멘트를 최소화할 수 있고, 제1연결부재가 제1링크(271)와 제2연결축(CX2)으로 연결됨으로 인하여 x축 방향으로의 모멘트를 최소화할 수 있으며, 제2연결부재가 제2링크(275)와 제3연결축(CX3)으로 연결됨으로 인하여 z축 방향으로의 모멘트를 최소화할 수 있는 효과가 있다.
즉, 링크부(270)로 인하여, x, y, z축 각 직교 방향에서 발생하는 모멘트를 최소화하여, 구동본체부(230)와 이동부(250)가 직접 연결되는 것에 비하여 접촉력 센서부(273)에서 측정되는 구동력(선형 동력)에 있어 조립 부하를 최소화할 수 있다.
이에 더하여 조립 부하가 최소화됨에 따라 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력을 이동부(250) 및 이동부(250)에 연결되는 연마부(100)에 전달함에 있어, 상대적으로 작은 선형 동력이 발생되어도 전달이 가능하여 미세한 힘으로 연마대상체(M)에 가해지는 힘을 제어할 수 있는 효과가 있다.
도 3, 도 7, 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉력 센서부(273)는 제1링크(271)와 제2링크(275) 사이에 배치되는 것으로, 연마대상체(M)에 대한 연마부(100)의 힘을 측정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 접촉력 센서부(273)는 제1방향(도 1 기준 y축 방향)에 교차하는 제2방향(도 1 기준 x축 방향)으로 연마부(100)가 이동하면서 연마대상체(M)를 연마하는 동안, 연마부(100)와 연마대상체(M) 사이의 힘인 접촉력을 감지할 수 있다.
접촉력 센서부(273)는 연마대상체(M)에 대해 연마부(100)가 느끼는 힘을 감지하는 것으로서, 로드셀 (load cell) 등 압력을 감지할 수 있는 압력 센서로 형성될 수 있다.
접촉력 센서부(273)는 연마부(100)가 연마대상체(M)를 연마하는 동안 실시간으로 접촉력을 감지하여 이에 관한 정보를 제어부(290)로 전달할 수 있다.
도 10을 참조하면, 제어부(290)는 연마대상체(M)에 대한 연마부(100)의 접촉력에 관한 정보를 접촉력 센서부(273)로부터 실시간으로 전달받고, 미리 설정되는 접촉력이 가해지도록 구동본체부(230)의 구동을 제어할 수 있다.
제어부(290)에는 연마부(100)가 연마대상체(M)에 인가할 힘의 설정값이 사전에 입력되어 저장될 수 있고, 사전에 입력된 설정값과 연마 공정에서 측정되는 측정값을 비교하여, 설정값과 측정값의 차이가 미리 설정되는 범위를 초과하는 경우에 구동본체부(230)로 전기적 신호를 전달하여 연마부(100)의 제1방향(도 1 기준 x축 방향)에 대한 위치를 변경하도록 구동본체부(230)를 제어할 수 있다.
이로 인하여 연마대상체(M)의 에지에 해당하는 연마면이 평탄하지 않고 굴곡이 형성되는 경우에, 구동본체부(230)의 구동에 따라 연마부(100)의 제1방향(도 1 기준 x축 방향)으로의 위치가 조절될 수 있고, 연마면의 형상에 관계없이 일정한 힘으로 연마부(100)가 연마대상체(M)에 접촉하여 연마 공정을 수행할 수 있도록 하여 제1방향(도 1 기준 x축 방향)과 직교하는 제2방향(도 1 기준 y축 방향)을 따라 균일하게 연마 가공을 수행할 수 있도록 하는 효과가 있다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1)를 이용한 연마 방법에 관하여 설명한다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 방법은, 연마부에 연마 대상체의 연마를 위해 가해지는 힘의 설정값을 입력하는 단계(S10), 구동유닛에서 선형 동력을 발생시켜 연마부에 전달하는 단계(S20), 이동부에 기체를 공급하는 단계(S30), 연마 중 연마부와 연마대상체 사이의 접촉력을 측정하는 단계(S40), 접촉력의 측정값과 설정값을 비교하는 단계(S50), 측정값과 설정값 사이의 차이가 소정 범위 이내를 만족하도록 구동유닛의 구동을 제어하는 단계(S60)를 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1)는 연마부(100), 구동유닛(200)을 포함할 수 있다.
연마부(100)에 연마 대상체의 연마를 위해 가해지는 힘의 설정값을 입력하는 단계(S10)에서는 제1방향(도 1 기준 y축 방향)으로의 연마부(100)의 연마대상체(M)에 대한 접촉력에 관한 설정값이 입력될 수 있다. 여기서 설정값은 상수값일 수 있다.
도 10을 참조하면, 구동유닛(200)에서 선형 동력을 발생시켜 연마부(100)에 전달하는 단계(S20)에서는 설정값에 따라 연마대상체(M)에 대한 연마부(100)의 접촉력이 가해지도록 구동유닛(200), 구체적으로 구동본체부(230)에서 선형 동력을 발생시킬 수 있다.
구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력은 링크부(270)를 통해 이동부(250)로 전달될 수 있고, 이동부(250), 구체적으로 이동플레이트(259)와 연결되는 연마부(100)로 선형 동력을 전달할 수 있다.
도 3, 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 링크부(270)는 제1링크(271), 제2링크(275), 접촉력 센서부(273)를 포함할 수 있다. 제1링크(271)는 제2연결축(CX2)으로 제1연결부재와 구동본체부(230), 구체적으로 구동전달부(237)와 연결될 수 있고, 제2링크(275)는 제3연결축(CX3)으로 제2연결부재와 이동플레이트(259)에 구비되는 브릿지부(259a)와 연결될 수 있다.
접촉력 센서부(273)는 제1링크(271)와 제2링크(275) 사이에 배치되며, 연마대상체(M)에 대한 연마부(100)의 힘을 실시간으로 측정할 수 있다.
링크부(270)로 인하여, x, y, z축 각 직교 방향에서 발생하는 모멘트를 최소화하여, 구동본체부(230)와 이동부(250)가 직접 연결되는 것에 비하여 접촉력 센서부(273)에서 측정되는 구동력(선형 동력)에 있어 조립 부하를 최소화할 수 있다.
이에 더하여 조립 부하가 최소화됨에 따라 구동본체부(230)에서 발생되는 선형 동력을 이동부(250) 및 이동부(250)에 연결되는 연마부(100)에 전달함에 있어, 상대적으로 작은 선형 동력이 발생되어도 전달이 가능하여 미세한 힘으로 연마대상체(M)에 가해지는 힘을 제어할 수 있는 효과가 있다.
구동본체부(230)에서 선형 동력이 발생됨과 동시에 구동유닛(200)에는 기체가 공급(S30)될 수 있다.
구체적으로 기체공급부(257)를 통해 외부에서 기체(G)가 부싱부(255)의 내부로 유입되고, 부싱부(255)와 가이드샤프트(253) 사이에 이격 공간(SA)이 형성됨으로 인하여 구동본체부(230)로부터 발생되는 선형 동력이 이동부(250) 및 이동부(250)와 연결되는 연마부(100)에 전달됨에 있어 이동 시 발생하는 마찰 저항을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
도 10을 참조하면, 연마 중 연마부(100)와 연마대상체(M) 사이의 접촉력을 측정하는 단계(S40)에서는, 링크부(270), 구체적으로 접촉력 센서부(273)가 실시간으로 연마 중 연마대상체(M)와 연마부(100) 사이의 접촉력을 측정하여 제어부(290)로 전달할 수 있다.
제어부(290)에서는 측정값과 설정값을 비교(S50)하고, 측정값과 설정값 사이의 차이가 소정 범위 이내를 초과하여 벗어나게 되면 소정 범위 이내를 만족하도록 구동유닛(200)의 구동을 제어(S60)하고, 구동유닛(200), 구체적으로 구동본체부(230)의 위치를 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치(1) 및 연마 방법은, 연마대상체(M)의 측면을 균일하게 연마 가공하기 위한 것으로, 구동유닛(200)에 의해 연마대상체(M)에 대해 연마부(100)가 느끼는 접촉력을 실시간으로 감지하여 접촉력의 크기에 따라 연마부(100), 구체적으로 연마휠부(110)의 위치를 제어할 수 있다.
또한, 링크부(270)가 구동본체부(230)와 이동부(250)를 연결함으로 인하여 접촉력 센서부(273)가 연마대상체(M)에 대한 연마부(100)의 접촉력을 측정함에 있어, x, y, z축에 대해 발생하는 조립 부하를 최소화함으로 인하여 보다 적은 힘으로도 연마부(100)에 선형 동력을 전달할 수 있고, 연마대상체(M)를 연마 가공함에 있어 미세한 힘으로 제어할 수 있는 효과가 있다.
또한, 부싱부(255)에 기체가 공급되며, 부싱부(255)와 가이드샤프트(253) 사이에 이격 공간(SA)이 형성됨으로 인하여 부싱부(255)와 가이드샤프트(253)가 직접 면접촉하는 것에 비하여 이동부(250)의 이동 시 부싱부(255)와 가이드샤프트(253) 사이의 접촉으로 인한 마찰 저항을 최소화할 수 있다.
또한, 이동부(250)에서 발생되는 마찰 저항이 최소화됨으로 인하여 보다 적은 힘으로도 구동본체부(230)에서 연마부(100)에 선형 동력을 전달할 수 있고 미세한 힘으로 연마부(100)에 선형 동력을 전달할 수 있는 효과가 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
실시예에서 설명하는 특정 실행들은 일 실시 예들로서, 어떠한 방법으로도 실시 예의 범위를 한정하는 것은 아니다. 또한, "필수적인", "중요하게" 등과 같이 구체적인 언급이 없다면 본 발명의 적용을 위하여 반드시 필요한 구성 요소가 아닐 수 있다.
실시예의 명세서(특히 특허청구범위에서)에서 "상기"의 용어 및 이와 유사한 지시 용어의 사용은 단수 및 복수 모두에 해당하는 것일 수 있다. 또한, 실시 예에서 범위(range)를 기재한 경우 상기 범위에 속하는 개별적인 값을 적용한 발명을 포함하는 것으로서(이에 반하는 기재가 없다면), 상세한 설명에 상기 범위를 구성하는 각 개별적인 값을 기재한 것과 같다. 마지막으로, 실시 예에 따른 방법을 구성하는 단계들에 대하여 명백하게 순서를 기재하거나 반하는 기재가 없다면, 상기 단계들은 적당한 순서로 행해질 수 있다. 반드시 상기 단계들의 기재 순서에 따라 실시 예들이 한정되는 것은 아니다. 실시 예에서 모든 예들 또는 예시적인 용어(예들 들어, 등등)의 사용은 단순히 실시 예를 상세히 설명하기 위한 것으로서 특허청구범위에 의해 한정되지 않는 이상 상기 예들 또는 예시적인 용어로 인해 실시 예의 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 당업자는 다양한 수정, 조합 및 변경이 부가된 특허청구범위 또는 그 균등물의 범주 내에서 설계 조건 및 팩터에 따라 구성될 수 있음을 알 수 있다.
1: 연마 장치
CX1, CX2, CX3: 연결축 G: 가스
M: 연마대상체 P: 연마플레이트
SA: 이격 공간 100: 연마부
110: 연마휠부 111: 휠바디
113: 버퍼부 115: 지립부
150: 회전부 170: 틸팅부
200: 구동유닛 210: 베이스부
230: 구동본체부 231: 제1고정부
233: 구동샤프트 235: 액추에이터
237: 구동전달부 250: 이동부
251: 제2고정부 253: 가이드샤프트
255: 부싱부 257: 기체공급부
259: 이동플레이트 259a: 브릿지부
270: 링크부 271: 제1링크
273: 접촉력 센서부 275: 제2링크
290: 제어부

Claims (15)

  1. 연마휠부와; 상기 연마휠부의 회전 중심축에 대하여 상기 연마휠부에 회전 동력을 전달하는 회전부;를 구비하는 연마부; 및
    상기 연마부의 선형 운동을 제어하는 구동유닛;을 포함하고,
    상기 구동유닛은, 선형 동력을 발생시키는 구동본체부와; 상기 연마부의 이동 경로를 가이드하는 이동부와; 상기 구동본체부와 상기 이동부를 연결하며 상기 연마부로 선형 동력을 전달하는 링크부;를 포함하고,
    상기 이동부는,
    일 방향으로 연장 형성되며, 양단부의 위치가 고정되는 가이드샤프트;
    상기 가이드샤프트 상에서 선형 이동이 가능한 부싱부;
    상기 부싱부, 상기 링크부 및 상기 연마부와 연결되며, 상기 연마부를 이동시키는 이동플레이트; 및
    상기 부싱부와 연통되고, 외부로부터 상기 부싱부의 내측으로 기체를 공급하는 기체공급부;를 포함하며,
    상기 부싱부는, 상기 기체공급부로부터 기체를 공급받아 상기 가이드샤프트의 외주면과 상기 부싱부의 내주면 사이에 이격 공간을 형성가능한 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동본체부는,
    일 방향으로 연장 형성되며, 양단부의 위치가 고정되는 구동샤프트;
    상기 구동샤프트와 상대 이동가능한 액추에이터; 및
    상기 구동샤프트 또는 상기 액추에이터 중 어느 하나와 상기 링크부 사이에 배치되는 구동전달부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동샤프트는 위치가 고정되고, 상기 액추에이터가 상기 구동샤프트 상에서 이동하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 액추에이터는 위치가 고정되고, 상기 구동샤프트가 상기 액추에이터 상에서 이동하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 구동유닛은,
    상기 구동본체부 및 상기 이동부가 설치되는 베이스부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 가이드샤프트 및 상기 부싱부는 복수 개가 구비되는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 링크부는,
    상기 구동본체부와 연결되는 제1링크;
    상기 이동부와 연결되는 제2링크; 및
    상기 제1링크와 상기 제2링크 사이에 배치되며, 연마대상체에 대한 연마부의 힘을 측정하는 접촉력 센서부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 연마부는, 상기 연마휠부의 회전 중심축의 기울기를 조절하는 틸팅부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 연마휠부는 내부에 상기 연마휠부의 회전 중심축을 기준으로 둘레를 따라 형성되며, 탄성 재질로 형성되는 버퍼부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  12. 연마부에 연마대상체의 연마를 위해 가해지는 힘의 설정값을 입력하는 단계;
    구동유닛에서 선형 동력을 발생시켜 상기 연마부에 전달하는 단계;
    상기 연마 중 상기 연마부와 상기 연마대상체 사이의 접촉력을 측정하는 단계;
    접촉력의 측정값과 상기 설정값을 비교하는 단계; 및
    상기 측정값과 상기 설정값 사이의 차이가 소정 범위 이내를 만족하도록 상기 구동유닛의 구동을 제어하는 단계;를 포함하고,
    상기 구동유닛은, 선형 동력을 발생시키는 구동본체부와; 상기 연마부의 이동 경로를 가이드하는 이동부와; 상기 구동본체부와 상기 이동부를 연결하며 상기 연마부로 선형 동력을 전달하는 링크부;를 포함하고,
    상기 이동부에 기체를 공급하는 단계;를 더 포함하며,
    상기 이동부는,
    일 방향으로 연장 형성되며, 양단부의 위치가 고정되는 가이드샤프트;
    상기 가이드샤프트 상에서 선형 이동이 가능한 부싱부;
    상기 부싱부, 상기 링크부 및 상기 연마부와 연결되며, 상기 연마부를 이동시키는 이동플레이트; 및
    상기 부싱부와 연통되고, 외부로부터 상기 부싱부의 내측으로 기체를 공급하는 기체공급부;를 포함하며,
    상기 이동부에 기체를 공급하는 단계에서, 상기 부싱부는, 상기 기체공급부로부터 기체를 공급받아 상기 가이드샤프트의 외주면과 상기 부싱부의 내주면 사이에 이격 공간을 형성가능한 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  13. 삭제
  14. 제12항에 있어서,
    상기 연마부는, 연마휠부와; 상기 연마휠부의 회전 중심축에 대하여 상기 연마휠부에 회전 동력을 전달하는 회전부와; 상기 연마휠부의 회전 중심축의 기울기를 조절하는 틸팅부;를 포함하고, 상기 연마휠부의 회전에 따라 상기 연마대상체를 연마하는 연마 방법.
  15. 제12항에 따른 연마 방법에 의해 가공된 연마면을 구비하는 연마대상체.
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