JP2010105158A - ボイスコイルを用いた線形加圧搬送研削 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削ユニットに連結された空気軸受滑動部材200が、リニア駆動モータ204によりy軸に沿ってレール部材202の上を滑動するように構成されている。研磨機支持部材304が空気軸受滑動部材200に接続され、研削砥石300を駆動するように構成されているスピンドルモータ302が、研磨機支持部材304に固定され支持されている。研削砥石300に近接して配置された真空チャックが、ガラス基板を研削砥石300に対して三次元にアラインメントし保持するように構成されている。
【選択図】図6
Description
アライメントされた位置にあるときに前記少なくとも1つのエッジから所定量の材料を除去するように構成された研削ユニット、
前記研削ユニットに連結され、ゼロ摩擦負荷界面を与える加圧空気の薄い膜上で所定の軸に沿って滑動するように構成されている空気軸受滑動システム、および、
前記空気軸受滑動システムに連結され、前記研削ユニットをアライメントされていない位置からアライメントされた位置へと動かすように前記空気軸受滑動システムの動きを制御するよう構成されているリニア駆動モータ、
を備え、前記研削ユニットが前記少なくとも1つのエッジに垂直な所定の力を加え、該所定の力が、前記所定量に正比例し、かつガラス基板を破損させることとなる垂直力よりも小さいことを特徴とする装置。
加圧空気の連続流を供給するように構成された加圧空気ユニット、
前記加圧空気ユニットに連結され、実質的に均一な圧力を呈する前記加圧空気の薄い膜を生成するように構成された多孔質媒体を含むレール部材、
前記レール部材上に配置され、前記研削ユニットを支持するように構成された滑動部材、をさらに備え、前記薄い膜が、前記滑動部材および前記レール部材を研削動作中に分離させることを特徴とするC1記載の装置。
前記空気軸受滑動システムに連結され、該空気軸受滑動システムの軸受け区域上に配置された支持ブラケット、
前記支持ブラケットに接続され、かつ該支持ブラケットに支持され、前記少なくとも1つのエッジを研削または研磨するように構成されている研削器具、
をさらに備えたことを特徴とするC1からC3のいずれか一項記載の装置。
前記支持ブラケットに支持的に接続されたスピンドルモータ、および、
前記スピンドルモータに作動的に連結され、所望の早さで動作するように前記スピンドルモータによって駆動される研削砥石、
をさらに備えたことを特徴とするC4またはC5記載の装置。
前記研削および/または研磨プロセスの工程中に前記ガラス基板を固定の位置に保持するための真空チャック、
前記真空チャックに連結され、該真空チャックを前記研削ユニットに対して直線方向に所定の速さで動かすか、または逆に前記真空チャックに対して前記研削ユニットを動かすように構成されたコンベヤ、および、
前記研削ユニットと前記少なくとも1つのエッジとの界面に近接して配置された冷却液機構、
をさらに備えたことを特徴とするC13記載の装置。
ゼロ摩擦負荷界面を与える加圧空気の薄い膜上で所定の軸に沿って滑動するように構成された空気軸受滑動システムを提供する工程、
アライメントされた位置にあるときに前記少なくとも1つのエッジから所定量の材料を除去するように構成された研削ユニットを、前記空気軸受滑動システムに連結する工程、
前記研削ユニットをアライメントされていない位置からアライメントされた位置へと動かすように前記空気軸受滑動システムの動きを制御する工程、
前記少なくとも1つのエッジに垂直な所定の力を加える工程であって、該所定の力が前記所定量に正比例し、かつガラス基板を破損させることとなる垂直力よりも小さいものである工程、および、
前記少なくとも1つのエッジから前記所定量の材料を除去するために、前記ガラス基板を前記研削ユニットに対して接線方向に動かすか、または逆に前記ガラスに対して前記研削ユニットを動かす工程、
を備えたことを特徴とする方法。
20 空気軸受支持構造
22 空気軸受シリンダ
30 研削ユニット
32 支持台
34 研削砥石
38 空気軸受モータ
40 空気圧シリンダ
50 冷却液ノズル
60 真空チャック
200 空気軸受滑動部材
202 レール部材
204 リニア駆動モータ
300 研削砥石
302 スピンドルモータ
Claims (9)
- ガラス基板の少なくとも1つのエッジを研削または研磨するための装置であって、
アライメントされた位置にあるときに前記少なくとも1つのエッジから所定量の材料を除去するように構成された研削ユニット、
前記研削ユニットに連結され、ゼロ摩擦負荷界面を与える加圧空気の薄い膜上で所定の軸に沿って滑動するように構成されている空気軸受滑動システム、および、
前記空気軸受滑動システムに連結され、前記研削ユニットをアライメントされていない位置からアライメントされた位置へと動かすように前記空気軸受滑動システムの動きを制御するよう構成されているリニア駆動モータ、
を備え、前記研削ユニットが前記少なくとも1つのエッジに垂直な所定の力を加え、該所定の力が、前記所定量に正比例し、かつガラス基板を破損させることとなる垂直力よりも小さいことを特徴とする装置。 - 前記空気軸受滑動システムが、
加圧空気の連続流を供給するように構成された加圧空気ユニット、
前記加圧空気ユニットに連結され、実質的に均一な圧力を呈する前記加圧空気の薄い膜を生成するように構成された多孔質媒体を含むレール部材、
前記レール部材上に配置され、前記研削ユニットを支持するように構成された滑動部材、をさらに備え、前記薄い膜が、前記滑動部材および前記レール部材を研削動作中に分離させることを特徴とする請求項1記載の装置。 - 前記滑動部材に接続された支持ブラケットをさらに備え、該支持ブラケットが前記研削ユニットを支持するように構成されていることを特徴とする請求項2記載の装置。
- 前記研削ユニットが、
前記空気軸受滑動システムに連結され、該空気軸受滑動システムの軸受け区域上に配置された支持ブラケット、
前記支持ブラケットに接続され、かつ該支持ブラケットに支持され、前記少なくとも1つのエッジを研削または研磨するように構成されている研削器具、
をさらに備えたことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の装置。 - 前記研削器具が、
前記支持ブラケットに支持的に接続されたスピンドルモータ、および、
前記スピンドルモータに作動的に連結され、所望の早さで動作するように前記スピンドルモータによって駆動される研削砥石、
をさらに備えたことを特徴とする請求項4記載の装置。 - 前記所定の力が実質的に1Nから6Nの範囲内であり、かつ前記所定量が実質的に25マイクロメートルから150マイクロメートルの範囲内であることを特徴とする請求項8記載の装置。
- 前記リニア駆動モータが、研削砥石の磨耗によって前記所定の垂直力を変化させるようにプログラミングされていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の装置。
- ガラス基板の少なくとも1つのエッジを研削または研磨する方法であって、
ゼロ摩擦負荷界面を与える加圧空気の薄い膜上で所定の軸に沿って滑動するように構成された空気軸受滑動システムを提供する工程、
アライメントされた位置にあるときに前記少なくとも1つのエッジから所定量の材料を除去するように構成された研削ユニットを、前記空気軸受滑動システムに連結する工程、
前記研削ユニットをアライメントされていない位置からアライメントされた位置へと動かすように前記空気軸受滑動システムの動きを制御する工程、
前記少なくとも1つのエッジに垂直な所定の力を加える工程であって、該所定の力が前記所定量に正比例し、かつガラス基板を破損させることとなる垂直力よりも小さいものである工程、および、
前記少なくとも1つのエッジから前記所定量の材料を除去するために、前記ガラス基板を前記研削ユニットに対して接線方向に動かすか、または逆に前記ガラスに対して前記研削ユニットを動かす工程、
を備えたことを特徴とする方法。 - 前記所定の力が実質的に1Nから6Nの範囲内であり、かつ前記所定量が実質的に25マイクロメートルから150マイクロメートルの範囲内であることを特徴とする請求項8記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11018408P | 2008-10-31 | 2008-10-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010105158A true JP2010105158A (ja) | 2010-05-13 |
JP2010105158A5 JP2010105158A5 (ja) | 2012-12-20 |
Family
ID=42131988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009251802A Pending JP2010105158A (ja) | 2008-10-31 | 2009-11-02 | ボイスコイルを用いた線形加圧搬送研削 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8585467B2 (ja) |
JP (1) | JP2010105158A (ja) |
KR (1) | KR20100048951A (ja) |
CN (3) | CN103223633B (ja) |
TW (1) | TWI412430B (ja) |
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- 2009-10-20 US US12/582,103 patent/US8585467B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-10-28 TW TW098136606A patent/TWI412430B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-10-30 CN CN201310131751.2A patent/CN103223633B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-10-30 CN CN200920266114.5U patent/CN202292332U/zh not_active Expired - Lifetime
- 2009-10-30 CN CN200910211813.4A patent/CN101829938B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-11-02 JP JP2009251802A patent/JP2010105158A/ja active Pending
- 2009-11-02 KR KR1020090105090A patent/KR20100048951A/ko not_active Application Discontinuation
-
2013
- 2013-10-04 US US14/046,202 patent/US8814633B2/en not_active Expired - Fee Related
-
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- 2014-07-22 US US14/337,350 patent/US20140335764A1/en not_active Abandoned
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20100112910A1 (en) | 2010-05-06 |
US20140030959A1 (en) | 2014-01-30 |
CN202292332U (zh) | 2012-07-04 |
KR20100048951A (ko) | 2010-05-11 |
TWI412430B (zh) | 2013-10-21 |
US8814633B2 (en) | 2014-08-26 |
CN103223633B (zh) | 2015-09-09 |
US8585467B2 (en) | 2013-11-19 |
CN101829938B (zh) | 2013-05-22 |
CN103223633A (zh) | 2013-07-31 |
CN101829938A (zh) | 2010-09-15 |
US20140335764A1 (en) | 2014-11-13 |
TW201032951A (en) | 2010-09-16 |
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