KR102528797B1 - 기판 이송 어셈블리 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 어셈블리 및 방법으로서, 전방 이동 경로로 광을 방출하고 방출된 광에 의해 형성되는 상의 형태를 촬영한 촬영 영상을 기초로 충돌 위험 정도를 파악할 수 있는 방안에 대한 것이다.

Description

기판 이송 어셈블리 및 방법{Assembly and method for transferring substrate}
본 발명은 기판 이송 어셈블리 및 방법으로서, 보다 상세하게는 전방 이동 경로의 광을 방출하고 방출된 광에 의해 형성되는 상(image)의 형태를 촬영한 촬영 영상을 기초로 충돌 위험 정도를 파악할 수 있는 방안에 대한 것이다.
반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판 상으로 감광액을 공급하는 포토리소그라피, 식각, 이온주입, 증착 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정이 수행되는 과정에서 기판은 하나의 장치에서 다른 장치로 이송된다. 이와 같은 이송 과정에서 기판의 핸들링은 이송로봇 등의 기판 이송 어셈블리에 의해 수행될 수 있다.
일반적으로, 예를 들면, 스피너 시스템이나 스크러버 등의 반도체 제조 설비는 복수의 처리 유닛들을 가지며, 웨이퍼를 이송 로봇에 의해 처리 유닛으로 이송한다. 처리 유닛은 각각의 공정을 진행하고, 다시 이송 로봇에 의해 웨이퍼는 외부로 이송된다.
이러한 이송 로봇을 통한 기판 이송 중 여러 물체들과의 충돌 위험이 존재하고 있으며, 심한 충돌 발생시 반도체 제조 설비 자체의 작동을 정지시켜야 되는 상황이 발생될 수 있고, 약한 충돌이 발생할지라도 이송 중인 기판에 손상이 발생되는 문제가 있다.
아울러 이송 로봇의 충돌 방지는 소프트웨어적으로 구현되고 있는데, 기판 이송에 대한 티칭 데이터(Teaching Data) 등에 이상이 있는 경우 비정상 위치로 기판을 이송시킴으로써 충돌 위험이 더욱 커지는 문제가 있다.
나아가서 카메라로 전방을 촬영한 영상을 기초로 충돌 위험 판단하는 기술들이 제시된 바 있으나, 이러한 종래 기술들의 경우 촬영 영상에 존재하는 모든 물체들에 대한 분석이 요구되므로 신속성과 신뢰성이 떨어지는 문제가 있다.
아울러 광을 방출하고 반사 광의 수광을 통해 충돌 위험을 판단하는 기술들도 제시된 바 있으나, 이러한 종래 기술들의 경우 전방의 전영역으로 광을 방출하고 반사 광을 수광할 수 없는 문제가 있기에 전방에 존재하는 다양한 장애물들은 모두 파악할 수 없으며 미쳐 광이 도달하지 않는 영역에 위치된 장애물과의 충돌을 방지할 수 없는 문제가 존재한다.
한국 등록특허공보 제10-1909181호
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 기판 이송 로봇을 통한 기판 이송시 안정적이고 신뢰성 높은 충돌 방지 방안을 제시하고자 한다.
특히, 이송 로봇의 충돌 방지가 소프트웨어적으로 구현됨에 따라 기판 이송에 대한 티칭 데이터(Teaching Data) 등에 이상이 있는 경우 비정상 위치로 기판을 이송시킴으로써 충돌 위험이 더욱 커지는 문제를 해결하고자 한다.
또한 카메라로 전방을 촬영한 영상을 기초로 충돌 위험 판단시 영상에 존재하는 모든 물체들에 대한 분석이 요구되므로 신속성과 신뢰성이 떨어지는 문제를 해소하고자 한다.
아울러 광을 방출하고 반사 광의 수광을 통해 충돌 위험을 판단하는 경우, 전방에 존재하는 다양한 장애물들은 모두 파악할 수 없기에 미쳐 광이 도달하지 않는 영역에 위치된 장애물과의 충돌을 방지할 수 없는 문제를 해결하고자 한다.
본 발명의 목적은 전술한 바에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 일실시예는, 기판을 이송하는 기판 이송 어셈블리에 있어서, 기판을 이송하기 위해 이동하는 로봇 몸체; 상기 로봇 몸체에 배치되어 전방으로 하나 이상의 광을 방출하는 광 방출 수단; 상기 로봇 몸체에 배치되어 방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 촬영하는 촬영 수단; 및 촬영 영상에 존재하는 상을 기초로 기판의 이송을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
일례로서, 상기 광 방출 수단은, 상기 로봇 몸체의 중심부로부터 이격된 일측부에 배치되어 타측부의 전방을 향해 전방 이동 경로의 사선 방향으로 광을 방출할 수 있다.
바람직하게는 상기 제어부는, 상기 촬영 영상을 복수의 영역으로 구획하고, 상이 위치된 영역을 기초로 기판의 이송을 제어할 수 있다.
일례로서, 상기 광 방출 수단은, 상기 로봇 몸체의 중심부에 배치되어 전방 이동 경로 방향으로 제1 광을 방출하는 제1 광 방출부; 및 상기 로봇 몸체의 중심부로부터 이격된 일측부에 배치되어 타측부의 전방을 향해 전방 이동 경로의 사선 방향으로 제2 광을 방출하는 제2 광 방출부를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 촬영 영상에서 상기 제1 광에 의한 제1 상과 상기 제2 광에 의한 제2 상의 상대적 위치를 기초로 기판의 이송을 제어할 수 있다.
다른 일례로서, 상기 촬영 수단은, 방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 주기적으로 촬영하며, 상기 제어부는, 주기적으로 촬영된 복수의 영상을 대비하여 상의 변동 요소를 기초로 기판의 이송을 제어할 수 있다.
또는 상기 촬영 수단은, 방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 실시간 촬영하며, 상기 제어부는, 실시간 촬영된 동영상에서 상의 변동 요소를 기초로 기판의 이송을 제어할 수도 있다.
나아가서 상기 촬영 수단은, 각기 다른 각도에서 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 촬영하는 복수의 촬영부를 포함하며, 상기 제어부는, 복수의 상기 촬영부에 촬영된 복수의 영상을 대비하여 기판의 이송을 제어할 수도 있다.
한걸음 더 나아가서 상기 제어부는, 상기 촬영 영상에 복수의 영역을 구획한 영역 레이어를 매칭시켜 합성 영상을 생성하고, 상이 위치된 영역을 기초로 기판의 이송을 제어할 수 있다.
일례로서, 상기 광 방출 수단은, 동일색을 갖는 하나 이상의 광을 방출하거나 각기 다른 색을 갖는 두 개 이상의 광을 방출할 수 있다.
바람직하게는 상기 로봇 몸체로부터 전방으로 돌출되어 배치되며 수평 방향으로 기판을 지지하는 기판 지지부를 더 포함할 수 있다.
일례로서, 상기 광 방출 수단은, 상기 기판 지지부에 안착된 기판을 벗어나도록 광을 방출할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 상기의 기판 이송 어셈블리에 의한 기판 이송 방법은, 전방으로 광을 방출하는 광 방출 단계; 방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 촬영하는 전방 촬영 단계; 및 촬영 영상에 존재하는 상을 기초로 기판의 이송을 제어하는 기판 이송 제어 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는 상기 기판 이송 제어 단계는, 상기 촬영 영상에 존재하는 상의 위치 또는 형태 중 어느 하나 이상을 기초로 전방 물체와의 거리를 판단할 수 있다.
일례로서, 상기 광 방출 단계는, 전방 이동 경로의 사선 방향으로 광을 방출하며, 상기 기판 이송 제어 단계는, 상기 촬영 영상을 복수의 영역으로 구획하고, 상이 위치된 영역을 기초로 전방 물체와의 충돌 위험 정도를 판단할 수 있다.
다른 일례로서, 상기 광 방출 단계는, 전방 이동 경로 방향의 제1 광 및 전방 이동 경로의 사선 방향의 제2 광을 방출하며, 상기 기판 이송 제어 단계는, 상기 촬영 영상에서 상기 제1 광에 의한 제1 상과 상기 제2 광에 의한 제2 상의 상대적 위치를 기초로 기판의 이송을 제어할 수 있다.
일례로서, 상기 광 방출 단계는 지속적으로 수행되고, 상기 전방 촬영 단계는 주기적으로 수행되며, 상기 기판 이송 제어 단계는, 주기적으로 촬영된 복수의 영상을 대비하여 상의 변동 요소를 기초로 기판의 이송을 제어할 수 있다.
다른 일례로서, 상기 광 방출 단계와 상기 전방 촬영 단계를 실시간 연속적으로 수행하며, 상기 기판 이송 제어 단계는, 실시간 촬영 영상에서 상의 변동 요소를 기초로 기판의 이송을 제어할 수 있다.
나아가서 상기 기판 이송 제어 단계는, 실시간 상기 촬영 영상에 복수의 영역을 구획한 영역 레이어를 매칭시키고, 복수의 영역 간을 이동하는 상의 위치를 기초로 충돌 위험 정도를 판단할 수 있다.
한걸음 더 나아가서 상기 전방 촬영 단계는, 동일 시간대의 다른 각도 또는 다른 위치에서 상을 촬영하여 복수의 촬영 영상을 생성하며, 상기 기판 이송 제어 단계는, 복수의 촬영 영상을 대비하여 상을 추출하고 상의 위치나 크기를 파악하여 기판의 이송을 제어할 수 있다.
본 발명에 따른 바람직한 일실시예에 따른 기판 이송 어셈블리는, 기판을 이송하기 위해 이동하는 로봇 몸체; 상기 로봇 몸체로부터 전방으로 돌출되어 배치되며 수평 방향으로 기판을 지지하는 기판 지지부; 상기 로봇 몸체의 중심부로부터 이격된 일측부에 배치되어 타측부의 전방을 향해 전방 이동 경로의 사선 방향으로 광을 방출하는 광 방출 수단; 상기 로봇 몸체에 배치되어 방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 촬영하는 촬영 수단; 및 촬영 영상을 복수의 영역으로 구획하고 상이 위치된 영역을 기초로 위험 요소를 판단하여 기판의 이송을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 기판 이송 로봇을 통한 기판 이송시 안정적이고 신뢰성 높게 전방 물체와의 충돌을 방지할 수 있게 된다.
특히, 광을 방출하고 반사 광을 수광하여 전방 물체를 인식하는 방식의 경우에 전방의 넓은 모든 영역에 대한 인식이 어려운 문제를 해소할 수 있고, 또한 전방 촬영 영상으로 전방 물체를 인식하는 방식의 경우에 촬영 영상에 존재하는 모든 물체에 대한 분석이 요구되기에 신속하고 즉각적인 반응이 어려운 문제를 해결할 수 있다.
본 발명의 효과는 위에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명이 적용되는 기판 처리 시스템의 일실시예를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 일실시예에 대한 구성도를 도시한다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 제어부에 대한 일실시예의 구성도를 도시한다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 일례를 도시한다.
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 일실시예에 대한 주요 부분의 상부 평면도와 측면도를 도시한다.
도 6은 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 다른 일례에 대한 주요 부분의 상부 평면도를 도시한다.
도 7은 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 일실시예에 대한 흐름도를 도시한다.
도 8은 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 위험 요소 판단에 대한 제1 실시예를 나타낸다.
도 9는 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 위험 요소 판단에 대한 제1 실시예의 변형예를 나타낸다.
도 10은 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 위험 요소 판단에 대한 제2 실시예를 나타낸다.
도 11은 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 위험 요소 판단에 대한 제3 실시예를 나타낸다.
도 12는 본 발명에 따른 기판 이송 방법에서 촬영 영상에 영역 레이어를 매칭시켜 합성 영상을 생성하는 일례를 도시한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 한정되거나 제한되는 것은 아니다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 설명하기 위하여 이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하고 이를 참조하여 살펴본다.
먼저, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니며, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 또한 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
본 발명은 기판 이송 어셈블리의 전방 이동 경로의 광을 방출하고 방출된 광에 의해 형성되는 상의 형태를 촬영한 촬영 영상을 기초로 충돌 위험 정도를 파악할 수 있는 방안에 대한 것이다.
도 1은 본 발명이 적용되는 기판 처리 시스템의 일실시예를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
본 발명이 적용되는 기판 처리 시스템(1)은 인덱스부(10)와 공정 처리부(20)를 포함할 수 있다. 인덱스부(10)와 공정 처리부(20)는 일렬로 배치될 수 있다.
인덱스 모듈(11)은 공정 모듈(13)로 기판을 반입하고, 공정 모듈(13)에서 공정 처리가 완료된 기판을 인출하는 역할을 수행한다. 인덱스 모듈(11)과 공정 모듈(13)의 사이에는 로딩 모듈(12)이 구비될 수 있다. 인덱스 모듈(11)은 로딩 모듈(12)을 통하여 공정 모듈(13)로 기판을 반입하거나 로딩 모듈(12)에서 기판을 인출할 수 있다.
인덱스부(10)는 로드 포트(12) 및 이송 프레임(14)을 포함할 수 있다.
로드 포트(12)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(11)가 안착될 수 있다. 로드 포트(12)는 복수 개가 제공되며 일렬로 배치될 수 있으며, 로드 포트(12)의 개수는 기판 처리 시스템(1)의 공정 효율 및 풋 프린트 조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다.
캐리어(11)로는 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unifed Pod; FOUP)가 사용될 수 있다. 캐리어(11)에는 기판들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯이 형성될 수 있다.
이송 프레임(14)은 로드 포트(12)와 이웃하여 배치될 수 있으며, 바람직하게는 로드 포트(12)와 공정 처리부(20)의 버퍼부(30) 사이에 배치될 수 있다. 이송 프레임(14)은 인덱스 레일(15) 및 인덱스 로봇(17)을 포함할 수 있다. 인덱스 레일(15) 상에 인덱스 로봇(17)이 안착될 수 있다. 인덱스 로봇(17)은 버퍼부(30)와 캐리어(11)간에 기판(W)을 이송할 수 있다. 인덱스 로봇(17)은 인덱스 레일(15)을 따라 직선 이동하거나 축을 기준으로 회전할 수 있다.
공정 처리부(20)는 인덱스부(10)에 이웃하여 기판 처리 시스템(1)의 후방에 배치될 수 있다.
공정 처리부(20)는 버퍼부(30), 이동 통로(40), 메인 이송 로봇(50) 그리고 기판 처리 장치(60)를 포함할 수 있다.
버퍼부(30)는 공정 처리부(20)의 전방에 배치될 수 있으며, 기판 처리 장치(100)와 캐리어(11) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 일시적으로 수납되어 대기하는 장소가 될 수 있다. 버퍼부(30)는 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공되며, 슬롯(미도시)들은 서로 간에 이격되도록 복수 개 제공될 수 있다.
이동 통로(40)는 버퍼부(30)와 대응되게 배치될 수 있으며, 메인 이송 로봇(50)이 이동하는 통로를 제공할 수 있다. 이동 통로(40)의 양측에는 기판 처리 장치(100)들이 서로 마주보며 배치될 수 있다. 이동 통로(40)에는 메인 이송 로봇(50)이 이동하며, 기판 처리 장치(60)의 상하층, 그리고 버퍼부(30)의 상하층으로 승강할 수 있는 이동 레일이 설치될 수 있다.
메인 이송 로봇(50)은 이동 통로(40)에 설치되며, 기판 처리 장치(60) 및 버퍼부(30) 간에 또는 각 기판 처리 장치(60) 간에 기판(W)을 이송할 수 있다. 메인 이송 로봇(50)은 이동 통로(40)을 따라 직선 이동하거나, 축을 기준으로 회전할 수 있다.
기판 처리 장치(60)는 복수개 배치될 수 있으며, 이동 통로(30)을 중심으로 양측에 배치될 수 있다. 기판 처리 장치(60)들 중 일부는 이동 통로(30)의 길이 방향을 따라 배치될 수 있고, 기판 처리 장치(60)들 중 일부는 서로 적층되게 배치될 수 있다. 기판 처리 장치(60)의 배치 위치나 개수는 필요에 따라 변경될 수 있다. 일례로서, 기판 처리 장치(60)는 이동 통로(30)의 일측에만 제공될 수도 있고, 또한 기판 처리 장치(60)는 이동 통로(30)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수도 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리는 상기의 기판 처리 시스템(1) 등에 배치될 수 있는데, 일례로서, 인덱스 로봇(17) 또는 메인 이송 로봇(50) 등에 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리가 적용될 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리에 대하여 실시예를 통해 살펴본다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 일실시예에 대한 구성도를 도시한다.
기판 이송 어셈블리(100)는 광 방출 수단(110), 촬영 수단(120), 제어부(130), 구동부(140)를 포함할 수 있다. 물론, 기판 이송을 위한 기본적인 구성을 더 포함한다.
광 방출 수단(110)은 전방으로 하나 이상의 광을 방출할 수 있다. 여기서 광 방출 수단(110)은 전방으로 수직 라인 형태의 광이나 원형 또는 다각형 형태의 광을 방출할 수 있다.
일례로서, 광 방출 수단(110)은 전방 이동 경로의 사선 방향으로 광을 방출할 수 있다. 또는 광 방출 수단(110)은 전방 이동 경로 방향으로 제1 광과 전방 이동 경로의 사선 방향으로 제2 광을 방출할 수 있다. 이러한 광 방출 수단(110)에서 방출하는 광의 개수와 광 방출 방향 및 각도는 적절하게 변경될 수 있다.
바람직하게는 광 방출 수단(110)은 색을 갖는 레이저 광을 방출할 수 있으며, 복수개의 광을 방출시 동일한 색의 레이저 광을 방출할 수도 있고 또는 각기 다른 색의 레이저 광을 방출할 수도 있다.
보다 바람직하게는 광 방출 수단(110)은 이송을 위해 전방에 안착된 기판을 벗어나도록 광을 방출할 수 있다.
촬영 수단(120)은 카메라를 구비하여 광 방출 수단(110)에서 방출된 광에 의해 전방 물체 등에 형성되는 상(image)을 촬영하여 촬영 영상을 생성할 수 있다.
촬영 수단(120)은 일정 시간 간격 또는 근접 센서의 인지 등에 따른 이벤트 발생시 등 다양한 조건으로 전방을 촬영하여 정지 영상을 생성할 수 있다. 또는 촬영 수단(120)은 지속적으로 전방을 촬영하여 실시간 촬영 영상을 생성할 수도 있다.
또한 촬영 수단(120)은 복수개의 카메라를 구비하여 복수개의 촬영 영상을 생성할 수도 있으며, 이경우 각기 다른 각도에서 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상을 촬영하도록 각각의 카메라의 배치 위치가 조정될 수 있다.
구동부(130)는 안착된 기판을 승강시키거나 전방 또는 후방으로 이동시켜 대상 위치로 이송할 수 있다.
제어부(140)는 촬영 수단(120)이 생성한 촬영 영상을 기초로 기판 이송을 제어할 수 있다. 제어부(140)는 촬영 영상에 존재하는 상의 위치를 파악하고 이를 기초로 기판 이송을 제어할 수 있다. 여기서 제어부(140)는 기판 이송 어셈블리(100)의 내부 구성으로 배치될 수도 있고 또는 별도로 분리되어 기판 이송 어셈블리(100)의 외부 구성으로 배치될 수도 있다.
제어부(140)에 대한 일례로서, 도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 제어부에 대한 일실시예의 구성도를 도시한다.
제어부(140)는, 영상 분석부(141), 위험 판단부(143), 이송 제어부(145) 등을 포함할 수 있다.
영상 분석부(141)는 촬영 수단(120)으로부터 촬영 영상을 제공받고 영상 처리를 통해 상을 파악할 수 있다. 여기서 촬영 수단(120)으로부터 제공되는 영상은 정지 영상일 수도 있고 실시간 동영상일 수도 있다.
영상 분석부(141)는 촬영 영상에 대한 영상 처리를 통해 상을 추출하고 상의 위치나 크기를 파악할 수 있으며, 동영상의 경우 상의 이동을 추적할 수 있다. 아울러 영상 분석부(141)는 촬영 영상에 복수의 영역을 구획한 영역 레이어를 매칭시켜 구획 영역이 표시된 합성 영상을 생성할 수도 있다.
또한 복수의 카메라를 통해 촬영 수단(120)이 복수의 촬영 영상을 생성하는 경우, 영상 분석부(141)는 동일 시간대의 다른 각도 또는 다른 위치에서 촬영된 촬영 영상을 대비하여 상을 추출하고 상의 위치나 크기를 파악할 수도 있다.
위험 판단부(143)는 영상 분석부(141)에서 파악된 상의 위치나 크기 또는 이동 등을 기초로 충돌 위험 정도를 판단할 수 있다.
예를 들어 위험 판단부(143)는, 영상 분석부(141)에서 분석한 상이 위치하는 영역, 상의 크기 또는 복수의 상 사이 간격 등을 기초로 기판 이송에 대한 위험 정도를 판단할 수 있다. 또한 위험 판단부(143)는, 촬영 영상이 동영상인 경우 영상 분석부(141)에서 추적하는 상의 이동 방향, 이동 위치, 복수의 상 사이 간격 변동 정도 등을 기초로 기판 이송에 대한 위험 정도를 판단할 수도 있다.
위험 판단부(143)는 기판 이송 상황별로 충돌 위험, 충돌 주의, 이송 안전 등으로 구분하여 판단할 수 있다.
이송 제어부(145)는 위험 판단부(143)의 판단 결과를 기초로 기판 이송을 제어할 수 있다. 예를 들어 위험 판단부(143)가 충돌 위험으로 판단하는 경우, 이송 제어부(155)는 구동부(140)를 제어하여 기판 이송을 정지시킬 수 있다. 또한 위험 판단부(143)가 충돌 위험으로 판단하는 경우, 충돌 주의로 판단하는 경우, 이송 제어부(145)는 구동부(130)를 제어하여 기판 이송 속도를 줄이거나 안전 영역으로 회피할 수 있다.
도 4 및 도 5 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 일례를 도시한다.
상기 도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 일실시예에 대한 사시도를 도시하고, 상기 도 5는 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 일실시예에서 주요 부분에 대한 상부 평면도와 측면도를 도시한다.
기판 이송 어셈블리(100)는 로봇 몸체(150), 기판 지지부(160), 광 방출 수단(110), 촬영 수단(120), 제어부(140) 등을 포함할 수 있다.
로봇 몸체(150)는 아암(151)과 지지 몸체(155) 등을 포함할 수 있다. 아암(151)은 다수의 관절이 구비되어 전방과 후방으로 그 길이가 신장되거나 수축될 수 있으며, 지지 몸체(155)는 레일 등을 통해 이동과 회전이 가능할 수 있다. 로봇 몸체(150)의 이동과 회전 및 신장과 수축은 제어부(140)의 구동부(130)에 대한 제어를 통해 수행될 수 있다.
아암(151)의 끝단에는 기판 지지부(160)가 배치되며, 기판 지지부(160)에는 이송되는 기판이 안착될 수 있다. 기판 지지부(160)는 엔드 이펙터(End Effector)로서 웨이퍼 등의 기판이 안정적으로 안착되어 이송될 수 있는 다양한 형태가 적용될 수 있다.
아암(151)의 끝단 상부면에는 광 방출 수단(110)과 촬영 수단(120)이 배치될 수 있다.
상기 실시예에서 보는 바와 같이 광 방출 수단(110)은 아암(151)의 끝단 상부면 상에서 중심부로부터 이격된 일측부에 배치되어 타측부를 향해 전방 이동 경로의 사선 방향으로 수직 라인 형태의 광(P)을 방출할 수 있다. 방출된 광(P)에 의해 안착된 기판에 영향이 미치지 않도록 기판 지지부(160)에 안착된 기판을 벗어나도록 광 방출 수단(110)의 광 방출 각도와 크기는 조절될 수 있다.
나아가서 상기 실시예에서는 광 방출 수단(110)이 아암(151)의 끝단 상부면에 배치되는 것으로 도시하였으나, 필요에 따라서는 아암(151)의 끝단 옆 측면에 배치될 수도 있다.
광 방출 수단(110)에서 방출되는 광(P)은 수직 라인 형태일 수 있으나 필요에 따라서는 원형 또는 다각형 형태로 그 크기와 모양이 다양하게 조절될 수 있다.
광 방출 수단(110)은 다양한 파장 대역의 광이 선택되어 방출될 수 있으며, 바람직하게는 레이저 광이 방출될 수 있다. 이때 방출되는 레이저 광은 상을 보다 명확하게 인식할 수 있도록 색을 가질 수 있다.
촬영 수단(120)은 광 방출 수단(110)으로부터 광이 방출되는 전방 방향을 촬영할 수 있다. 바람직하게는 촬영 수단(120)은 광 방출 수단(110)으로부터 방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상을 촬영하여 촬영 영상을 생성할 수 있다.
상기 실시예에서는 촬영 수단(120)이 하나의 카메라를 포함하여 아암(110)의 끝단 상부면에 배치되는 것으로 도시하였으나, 촬영 수단(120)이 배치되는 위치와 카메라의 개수는 필요에 따라 변경될 수 있다. 예를 들어 촬영 수단(120)는 서로 이격되어 각기 다른 각도에서 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상을 촬영할 수도 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 각 구성 배치와 개수는 다양하게 변형될 수 있는데, 도 6은 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 다른 일례에 대한 주요 부분의 상부 평면도를 도시한다
상기 도 6의 일례에서, 광 방출 수단(110)은 복수의 광 방출부를 포함할 수 있다. 로봇 몸체(150)의 중심부에 배치되어 전방 이동 경로 방향으로 제1 광(P1)을 방출하는 제1 광 방출부(110b)와 로봇 몸체(150)의 중심부로부터 이격된 일측부에 배치되어 타측부의 전방을 향해 전방 이동 경로의 사선 방향으로 제2 광(P2)을 방출하는 제2 광출부(110a)를 포함할 수 있다. 여기서 광 방출 수단이 배치되는 로봇 몸체(150)의 부분은 상기 실시예와 같이 아암(151)의 끝단 부분이 될 수 있다.
상기 실시예에서 보는 바와 같이 제1 광 방출부(110b)에서 방출되는 제1 광(P1)과 제2 광출부(110a)에서 방출되는 제2 광(P2)은 서로 교차하여 전방으로 진행할 수 있다.
나아가서 제1 광 방출부(110b)에서 방출되는 제1 광(P1)과 제2 광출부(110a)에서 방출되는 제2 광(P2)에는 색이 부여될 수 있으며, 모두 동일한 색의 레이저 광이 적용될 수도 있으나 보다 바람직하게는 각기 다른 색의 레이저 광이 적용될 수 있다.
제1 광 방출부(110b)와 제2 광출부(110b)의 배치 위치와 방출되는 광의 방향 등은 다양하게 변형될 수 있다.
촬영 수단(120)은 제1 광 방출부(110b)와 제2 광출부(110b)에서 방출된 제1 광(P1)과 제2 광(P2)에 의해 형성되는 상을 촬영하여 촬영 영상을 생성할 수 있다.
또한 본 발명에서는 상기에서 살펴본 기판 이송 어셈블리를 통한 기판 이송 방법을 제시한다. 이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송 방법에 대하여 실시예를 통해 살펴보는데, 앞서 설명한 본 발명에 따른 기판 이송 어셈블리의 실시예를 함께 참조하여 설명한다.
도 7은 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 일실시예에 대한 흐름도를 도시한다.
기판 이송 어셈블리(100)는 기판 이송을 위한 이동 중에 또는 기판 이송을 위한 이동에 앞서서 광 방출부(110)를 통해 전방으로 광을 방출(S110)하고, 방출된 광이 전방 물체에 도달하여 형성되는 상을 촬영 수단(120)을 통해 촬영(S130)하여 촬영 영상을 획득할 수 있다.
촬영 수단(120)에서 생성한 촬영 영상은 제어부(140)로 제공되며, 제어부(140)는 촬영 영상을 분석(S150)하여 촬영 영상에 존재하는 상을 기초로 위험 요소를 판단(S170)할 수 있다. 그리고 판단된 위험 요소에 따라 제어부(140)는 구동부(130)를 제어하여 기판 이송을 제어(S190)할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 기판 이송 방법을 다양한 예시를 들어서 살펴보기로 한다.
도 8은 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 위험 요소 판단에 대한 제1 실시예를 나타낸다.
상기 제1 실시예는 전방 이동 경로의 사선 방향으로 수직 라인의 광을 방출하여 전방을 촬영한 촬영 영상을 기초로 위험 요소를 판단하는 일례이다.
전방에 물체가 존재하는 경우, 전방을 촬영한 촬영 영상(210a, 210b, 210c)에는 방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(215a, 215b, 215c)이 존재하며, 상의 위치, 형태, 크기 등을 기초로 위험 요소를 판단할 수 있다.
가령, 촬영 영상(210a, 210b, 210c)을 복수의 영역으로 구획하여 위험 영역(211a, 211b, 211c), 주의 영역(212a, 212b, 212c), 안전 영역(213a, 213b, 213c) 등으로 구분하고 어느 영역에 상이 위치되는지에 따라 위험 요소를 판단할 수 있다. 즉, 전방 이동 경로의 사선 방향으로 광을 방출함으로써 전방 물체에 인접하는 정도에 따라 상은 촬영 영상의 외각 부위로부터 중심 부위에 가까워지도록 형성될 수 있다.
상기 도 8의 (a)와 같은 경우, 수직 라인의 상(215a)이 중심 부위에 인접한 위험 영역(211a)에 위치되어 있으므로, 전방 물체와의 충돌 위험 거리에 있다고 판단할 수 있으며, 이러한 경우 기판 이송을 정지하도록 제어할 수 있다.
상기 도 8의 (b)와 같은 경우, 수직 라인의 상(215b)이 중심 부위로부터 일정 거리 이격된 주의 영역(212b)에 위치하고 있으므로, 전방 물체와의 충돌 주의 거리에 있다고 판단할 수 있으며, 이러한 경우 기판 이송의 속도를 늦추거나 전방 물체를 회피 이동하도록 제어할 수 있다.
상기 도 8의 (c)와 같은 경우, 수직 라인의 상(215c)이 중심 부위로부터 충분히 이격된 안전 영역(213c)에 위치되어 있으므로, 전방 물체와의 충돌 위험이 적은 안전 거리에 있다고 판단할 수 있으며, 이러한 경우 기판 이송을 유지하도록 제어할 수 있다.
도 9는 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 위험 요소 판단에 대한 제1 실시예의 변형예를 나타낸다.
상기 변형예는, 상기 제1 실시예와 마찬가지로 전방 이동 경로의 사선 방향으로 수직 라인의 광을 방출하여 전방을 촬영한 촬영 영상을 기초로 위험 요소를 판단하는 일례이다.
상기 변형예의 촬영 영상(220)에서 수직 라인의 상(225)은 비록 안전 영역(213)에 위치되어 있으나, 전방에 웨이퍼 기판(W2)이 위치하고 있으며, 전방에 위치된 웨이퍼 기판(W2) 상부에 방출된 광에 의해 상(227)이 형성된다.
이러한 경우, 전방에 사선 라인의 상(227)의 위치와 사선 라인의 각도를 기초로 위험 요소를 판단할 수 있다. 즉, 사선 라인의 상 일부분이 위험 영역(221)에 위치하거나 또는 사선 라인의 상 각도가 일정 수준 이상을 갖는 경우 전방 물체와의 충돌 위험 거리에 있다고 판단할 수 있으며, 이러한 경우 기판 이송을 정지하도록 제어할 수 있다.
도 10은 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 위험 요소 판단에 대한 제2 실시예를 나타낸다.
상기 제2 실시예는, 전방 이동 경로 방향으로 수직 라인의 제1 광을 방출하여 형성되는 제1 상(231a, 231b, 231c)과 전방 이동 경로의 사선 방향으로 수직 라인의 제2 광을 방출하여 형성되는 제2 상(233a, 233b, 233c,)을 촬영한 촬영 영상(230a, 230b, 230c)을 기초로 위험 요소를 판단하는 일례이다.
제1 광과 제2 광은 전방에서 서로 교차되어 전방 물체에 제1 상과 제2 상을 형성하게 되는데, 제1 상과 제2 상의 거리가 가까울수록 그만큼 전방 물체가 인접한 거리에 있다고 판단할 수 있다. 즉 촬영 영상(230a, 230b, 230c)에서 제1 상(231a, 231b, 231c)과 제2 상(233a, 233b, 233c,) 간의 이격 거리를 기초로 위험 요소를 판단할 수 있다.
상기 도 10의 (a)와 같은 경우, 촬영 영상(230a)에서 제1 상(231a)과 제2 상(233a) 간의 이격 거리 L1은 충분한 이격 거리로서 안전 영역에 위치한다고 판단할 수 있으며, 이러한 경우 기판 이송을 유지하도록 제어할 수 있다.
상기 도 10의 (b)와 같은 경우, 촬영 영상(230b)에서 제1 상(231b)과 제2 상(233b) 간의 이격 거리 L2은 일정 수분 범위의 이격 거리로서 주의 영역에 위치한다고 판단할 수 있으며, 이러한 경우 기판 이송의 속도를 늦추거나 전방 물체를 회피 이동하도록 제어할 수 있다.
상기 도 10의 (c)와 같은 경우, 촬영 영상(230c)에서 제1 상(231c)과 제2 상(233c) 간의 이격 거리 L3은 일정 수준 범위 이하의 이격 거리로서 위험 영역에 위치한다고 판단할 수 있으며, 이러한 경우 기판 이송을 정지하도록 제어할 수 있다.
나아가서 상기 도 10의 제2 실시예의 경우에도 앞서 상기 도 8과 상기 도 9에서 살펴본 바와 같이 촬영 영상의 영역을 구분하여 충돌 위험 정도를 파악할 수도 있다.
도 11은 본 발명에 따른 기판 이송 방법의 위험 요소 판단에 대한 제3 실시예를 나타낸다.
상기 제3 실시예는, 전방 이동 경로의 사선 방향으로 수직 라인의 광을 방출하여 형성되는 상을 실시간 촬영한 동영상을 기초로 위험 요소를 판단하는 경우이다.
실시간 촬영된 동영상(240a, 240b)에서 수직 라인의 상(241a, 241b)에 대한 위치뿐만 아니라 이동 방향과 이동 속도 등 다양한 변동 요소를 기초로 위험 요소를 판단할 수 있다.
나아가서 주기적으로 촬영된 복수의 정지 영상에서 수직 라인의 상에 대한 위치 변화, 이동 방향, 이동 속도 등 다양한 변동 요소를 기초로 위험 요소를 판단할 수도 있다.
상기 도 11의 (a)와 같은 경우, 실시간 촬영된 동영상(240a)에서 제1 위치의 상(241a)이 중심 부위를 향해 제2 위치로 이동하여 상(243a)을 형성한다. 이러한 경우, 점차적으로 충돌 위험 가능성이 높아진 것으로 판단할 수 있으며, 아울러 외각 부위로부터 중심 부위로 향할수록 점차적으로 상의 이동 속도가 줄어들게 되어 상의 이동 속도를 기초로 충돌 위험 정도를 판단할 수도 있다.
상기 도 11의 (b)와 같은 경우, 실시간 촬영된 동영상(240b)에서 제1 위치의 상(241b)이 외각 부위를 향해 제2 위치로 이동하여 상(243b)을 형성한다. 이러한 경우, 충돌 위험 가능성은 낮아진 것으로 판단할 수 있으며, 아울러 중심 부위로부터 외각 부위를 향할수록 점차적으로 상의 이동 속도가 커지게 되어 상의 이동 속도를 기초로 충돌 위험 정도를 판단할 수도 있다.
나아가서 상기 도 11의 제3 실시예의 경우에도 앞서 상기 도 8과 상기 도 9에서 살펴본 바와 같이 촬영 영상의 영역을 구분하여 충돌 위험 정도를 파악할 수도 있다.
촬영 영상의 영역을 구분하여 충돌 위험 정도를 파악하는 경우, 제어부(140)의 영상 분석부(141)는 도 12에 도시된 바와 같이 실시간 촬영 영상(250)에 복수의 영역(261, 262, 263)을 구획한 영역 레이어(260)를 매칭시켜 합성 영상(270)을 생성하고, 합성 영상(270)에서 복수의 영역(261, 262, 263) 간을 이동하는 상(275)의 위치를 기초로 충돌 위험 정도를 판단할 수도 있다.
이러한 복수의 영역(261, 262, 263)을 구획한 영역 레이어(260)를 촬영 영상에 매칭시켜 합성 영상을 생성하고 이를 통해 보다 용이하게 충돌 위험 정도를 판단하는 방식은 앞서 살펴본 상기 제1 실시예와 상기 제2 실시예에도 적용될 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의하면 기판 이송 로봇을 통한 기판 이송시 안정적이고 신뢰성 높게 전방 물체와의 충돌을 방지할 수 있게 된다.
특히, 광을 방출하고 반사 광을 수광하여 전방 물체를 인식하는 방식의 경우에 전방의 넓은 모든 영역에 대한 인식이 어려운 문제를 해소할 수 있고, 또한 전방 촬영 영상으로 전방 물체를 인식하는 방식의 경우에 촬영 영상에 존재하는 모든 물체에 대한 분석이 요구되기에 신속하고 즉각적인 반응이 어려운 문제를 해결할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 기재된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상이 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의해서 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 기판 이송 어셈블리,
110, 110a, 110b : 광 방출 수단,
120 : 촬영 수단,
130 : 구동부,
140 : 제어부,
141 : 영상 분석부,
143 : 위험 판단부,
145 : 이송 제어부,
150 : 로봇 몸체,
160 : 기판 지지부.

Claims (20)

  1. 기판을 이송하는 기판 이송 어셈블리에 있어서,
    기판을 이송하기 위해 이동하는 로봇 몸체;
    상기 로봇 몸체에 배치되어 기판을 이송하는 전방 이동 경로를 향해 하나 이상의 광을 방출하는 광 방출 수단;
    상기 로봇 몸체에 배치되어 방출된 광이 전방 이동 경로에 대응되어 전방 물체의 표면에 맺혀서 형성되는 상(image)을 촬영하는 촬영 수단; 및
    촬영 영상에 존재하는 상을 기초로 전방 이동 경로 상의 위험 요소를 판단하고 기판의 이송을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 방출 수단은,
    상기 로봇 몸체의 중심부로부터 이격된 일측부에 배치되어 타측부의 전방을 향해 전방 이동 경로의 사선 방향으로 광을 방출하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 촬영 영상을 복수의 영역으로 구획하고, 상이 위치된 영역을 기초로 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 방출 수단은,
    상기 로봇 몸체의 중심부에 배치되어 전방 이동 경로 방향으로 제1 광을 방출하는 제1 광 방출부; 및
    상기 로봇 몸체의 중심부로부터 이격된 일측부에 배치되어 타측부의 전방을 향해 전방 이동 경로의 사선 방향으로 제2 광을 방출하는 제2 광 방출부를 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 촬영 영상에서 상기 제1 광에 의한 제1 상과 상기 제2 광에 의한 제2 상의 상대적 위치를 기초로 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 촬영 수단은,
    방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 주기적으로 촬영하며,
    상기 제어부는,
    주기적으로 촬영된 복수의 영상을 대비하여 상의 변동 요소를 기초로 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 촬영 수단은,
    방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 실시간 촬영하며,
    상기 제어부는,
    실시간 촬영된 동영상에서 상의 변동 요소를 기초로 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 촬영 수단은,
    각기 다른 각도에서 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 촬영하는 복수의 촬영부를 포함하며,
    상기 제어부는,
    복수의 상기 촬영부에 촬영된 복수의 영상을 대비하여 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 촬영 영상에 복수의 영역을 구획한 영역 레이어를 매칭시켜 합성 영상을 생성하고, 상이 위치된 영역을 기초로 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 방출 수단은,
    동일색을 갖는 하나 이상의 광을 방출하거나 각기 다른 색을 갖는 두 개 이상의 광을 방출하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 로봇 몸체로부터 전방으로 돌출되어 배치되며 수평 방향으로 기판을 지지하는 기판 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 광 방출 수단은,
    상기 기판 지지부에 안착된 기판을 벗어나도록 광을 방출하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항의 기판 이송 어셈블리에 의한 기판 이송 방법에 있어서,
    기판을 이송하는 전방 이동 경로를 향해 광을 방출하는 광 방출 단계;
    방출된 광이 전방 이동 경로에 대응되어 전방 물체의 표면에 맺혀서 형성되는 상(image)을 촬영하는 전방 촬영 단계; 및
    촬영 영상에 존재하는 상을 기초로 전방 이동 경로 상의 위험 요소를 판단하고 기판의 이송을 제어하는 기판 이송 제어 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 기판 이송 제어 단계는,
    상기 촬영 영상에 존재하는 상의 위치 또는 형태 중 어느 하나 이상을 기초로 전방 물체와의 거리를 판단하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 광 방출 단계는,
    전방 이동 경로의 사선 방향으로 광을 방출하며,
    상기 기판 이송 제어 단계는,
    상기 촬영 영상을 복수의 영역으로 구획하고, 상이 위치된 영역을 기초로 전방 물체와의 충돌 위험 정도를 판단하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 광 방출 단계는,
    전방 이동 경로 방향의 제1 광 및 전방 이동 경로의 사선 방향의 제2 광을 방출하며,
    상기 기판 이송 제어 단계는,
    상기 촬영 영상에서 상기 제1 광에 의한 제1 상과 상기 제2 광에 의한 제2 상의 상대적 위치를 기초로 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 광 방출 단계는 지속적으로 수행되고, 상기 전방 촬영 단계는 주기적으로 수행되며,
    상기 기판 이송 제어 단계는,
    주기적으로 촬영된 복수의 영상을 대비하여 상의 변동 요소를 기초로 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 광 방출 단계와 상기 전방 촬영 단계를 실시간 연속적으로 수행하며,
    상기 기판 이송 제어 단계는,
    실시간 촬영 영상에서 상의 변동 요소를 기초로 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 기판 이송 제어 단계는,
    실시간 상기 촬영 영상에 복수의 영역을 구획한 영역 레이어를 매칭시키고, 복수의 영역 간을 이동하는 상의 위치를 기초로 충돌 위험 정도를 판단하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  19. 제 12 항에 있어서,
    상기 전방 촬영 단계는,
    동일 시간대의 다른 각도 또는 다른 위치에서 상을 촬영하여 복수의 촬영 영상을 생성하며,
    상기 기판 이송 제어 단계는,
    복수의 촬영 영상을 대비하여 상을 추출하고 상의 위치나 크기를 파악하여 기판의 이송을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  20. 기판을 이송하는 기판 이송 어셈블리에 있어서,
    기판을 이송하기 위해 이동하는 로봇 몸체;
    상기 로봇 몸체로부터 전방으로 돌출되어 배치되며 수평 방향으로 기판을 지지하는 기판 지지부;
    상기 로봇 몸체의 중심부로부터 이격된 일측부에 배치되어 타측부의 전방을 향해 전방 이동 경로의 사선 방향으로 광을 방출하는 광 방출 수단;
    상기 로봇 몸체에 배치되어 방출된 광에 의해 전방 물체에 형성되는 상(image)을 촬영하는 촬영 수단; 및
    촬영 영상을 복수의 영역으로 구획하고 상이 위치된 영역을 기초로 위험 요소를 판단하여 기판의 이송을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 어셈블리.
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