KR102522241B1 - 모터 제어 시스템 - Google Patents

Abstract

본 모터 제어 시스템은 모터를 제어하는 복수의 모터 제어 장치와 콘트롤러가 통신선을 통해서 접속된다. 콘트롤러는, 동작 지령을 포함하는 통신 신호를 생성해서, 소정의 통신 주기로 각 모터 제어 장치에 송신한다. 복수의 모터 제어 장치는 제 1 그룹의 2개의 모터 제어 장치와 제 2 그룹의 모터 제어 장치를 포함한다. 제 1 그룹의 모터 제어 장치는 데이터 송수신부와 모터 제어부와 보정부와 동기 타이밍 생성부를 구비한다. 데이터 송수신부는 장치 자신에 대한 동작 지령과 제 2 그룹의 모터 제어 장치에 있어서의 동작 정보를 수신한다. 모터 제어부는 동작 지령에 근거해서, 모터를 제어하기 위한 토크 지령 신호를 생성한다. 보정부는 동작 정보에 근거해서 토크 보정 신호를 생성해서, 토크 지령 신호를 보정한다. 동기 타이밍 생성부는 제 1 그룹의 모터 제어부 간의 처리 타이밍을 맞추는 타이밍 신호를 생성한다.

Description

모터 제어 시스템

본 발명은, 각각의 축에 장착된 모터를 제어하는, 복수의 모터 제어 장치를 구비하는 모터 제어 시스템에 관한 것이다.

근년, 상위에 위치 부여되는 콘트롤러(호스트 콘트롤러)와, 각각의 축에 장착되는 모터를 제어하는 복수의 모터 제어 장치를, 통신 회선을 통해서 접속하는 모터 제어 시스템이 이용되고 있다. 모터 제어 시스템은 각종의 공작 기계나 로봇 등에 이용된다.

예를 들면, 모터 제어 시스템은, 콘트롤러와, X축에 장착된 X축 모터를 제어하는 X축 모터 제어 장치와, Y축에 장착된 Y축 모터를 제어하는 Y축 모터 제어 장치를 구비하는 것이 있다.

모터 제어 시스템에 있어서, 한쪽의 축 상에서 변화가 생긴 경우, 다른 쪽의 축의 특성에 크게 영향을 미치는 경우가 있다. 구체적으로는, X축 상에 위치하는 물체(object)를 이동시키기 위해, X축에 장착된 X축 모터를 제어한 경우, Y축 모터를 동작시키기 위해서 이용되는 기계 시스템의 특성에, 변화가 생기는 경우가 있다. 따라서, Y축 모터를 제어할 때에, Y축 모터 제어 장치에는, Y축 모터에 가해지는 토크가, X축 상의 부하 위치에 따라 너무 많거나 너무 적거나 한다. 따라서, 모터 제어 시스템에는, 진동을 억제하는 성능의 저하 등이 생긴다.

이러한 문제점에 대한 방법으로서, 종래, 다음의 모터 제어 시스템이 개시되어 있다. 즉, 이 종래의 모터 제어 시스템에 있어서, 제어 대상 축의 모터 제어 장치에는, 자신 축의 위치 정보와 함께, 타축의 위치 정보, 기계의 부하 관성, 혹은, 중량 중 적어도 어느 하나에 관한 정보가 전달된다. 그리고, 제어 대상 축의 모터 제어 장치는, 전달된 정보에 근거해서 제어 파라미터를 순서대로 변화시키면서, 제어 대상 축에 장착된 모터를 제어한다. 따라서, 이 종래의 모터 제어 시스템에서는, 어느 축에 있어서, 기계 시스템의 특성이 크게 변동한 경우에도, 타축의 제어에 주는 영향을 억제해서, 진동을 억제하는 기능을 확보하고 있다(예를 들면, 특허문헌 1).

또, 종래의 다른 모터 제어 시스템으로서, 콘트롤러와, 각각의 축에 장착된 모터를 제어하는 복수의 모터 제어 장치가, 데이지 체인(Daisy　Chain) 접속되는 것이 개시되어 있다.

이 종래의 모터 제어 시스템은 동기 카운터를 갖는다. 이 모터 제어 시스템에서는, 콘트롤러로부터 각 모터 제어 장치에 송신되는 지령 데이터를 수신한 타이밍에 동기 카운터가 초기화된다. 이 종래의 구성의 모터 제어 시스템이 구비하는 복수의 모터 제어 장치는 콘트롤러로부터 송신되는 지령 데이터를 동시에 수신한다. 동기 카운터는 카운트업 속도가 모두 동일하다. 따라서, 복수의 모터 제어 장치는 수신한 지령 데이터를 동시에 각 모터의 제어에 반영한다(예를 들면, 특허문헌 2).

그런데, 특허문헌 1에 나타내는, 각각의 모터 제어 장치에 있어서, 제어 파라미터의 변경은, 통신 주기와 대응하지 않고, 임의의 타이밍에 행해진다. 즉, 각각의 모터 제어 장치는, 서로 동기하지 않고, 제어 파라미터를 변경하고 있다. 따라서, X축과 Y축이 기계적으로 결합하고 있지 않는 경우, 1개의 X축을 제어하는 X축 모터 제어 장치와, 1개의 Y축을 제어하는 Y축 모터 제어 장치로 구성되는 모터 제어 시스템에서는, 다음의 제어가 가능하다고 생각된다. 즉, 예를 들면, X축 상에서 생기는 변화를 반영하기 위해서, Y축 상을 이동하는 물체를 제어하는 Y축 모터 제어 장치에서는, X축 상에서 생긴 변화에 얽매이지 않고, 제어 파라미터를 변경한다. 이러한 제어를 실시해도, 종래의 모터 제어 시스템에서는, 진동을 억제하는 성능은 저하하지 않는다.

이것에 대해, X축과 Y축이 기계적으로 결합한 구성으로서, 예를 들면 갠트리(Gantry) 기구를 들 수 있다. 이러한 갠트리 기구를 갖는 모터 제어 시스템은, 예를 들면, X축 부하가 그 위를 이동하는 헤드와, 이 헤드 양단부 등을 Y축 방향으로 병렬 구동하는 한 쌍의 레일을 갖는다. Y축은 병행해서 위치하는 Y1축 및 Y2축을 포함한다. 즉, 갠트리 기구를 갖는 모터 제어 시스템은, X축을 제어하는 1개의 X축 모터 제어 장치와, Y1축 및 Y2축을 제어하는 2개의 Y축 모터 제어 장치를 갖는다. 또한, 병렬 구동은 탠덤(tandem) 구동이라고도 한다.

이 구성에 있어서, 언밸런스한 제어의 억제를 목적으로 해서, 헤드 상의 X축 부하의 위치 정보를 Y1축 및 Y2축에 반영시키기 위해서, Y1축 모터 제어 장치와 Y2축 모터 제어 장치가 각각의 타이밍에 제어 파라미터를 변경한다.

일본 공개 특허 공보 제2004-070790호 일본 공개 특허 공보 제2003-189654호

그런데, 각각의 제어 장치가, 적절히 임의의 타이밍에, 제어 파라미터를 변경한 경우, 다음의 문제점이 생기는 경우가 있다. 즉, Y1축과 Y2축을 제어하는, 각각의 Y축 모터 제어 장치의 사이에는, 헤드 상의 X축 부하가 존재하는 위치에 기인해서 필요하게 되는 토크를 각각의 모터에 반영시키는 타이밍이 어긋난다. 따라서, 기계적으로 결합된 Y1축과 Y2축 사이에는, 비틀림(torsion)이 생긴다. 그리고, 이러한 비틀림이 X축 부하의 위치 결정 정밀도의 열화나 진동 억제 성능의 열화를 초래하고, 나아가서는, 안전성의 저하를 초래하거나 고장의 원인이 되거나 한다.

본 발명에 따른 모터 제어 시스템은, 복수의 모터 제어 장치와 콘트롤러가 통신선을 통해서 접속된다.

복수의 모터 제어 장치는 각각에 접속된 모터를 각각 제어한다. 콘트롤러는 각각의 모터를 제어하기 위해서, 각각의 동작 지령을 포함한 통신 신호를 생성한다. 콘트롤러는 생성한 통신 신호를 복수의 모터 제어 장치의 각각에 대해서, 소정의 통신 주기로 송신한다.

복수의 모터 제어 장치는 제 1 그룹의 2개의 모터 제어 장치와 제 2 그룹의 모터 제어 장치를 포함한다.

제 1 그룹의 모터 제어 장치는, 각각, 데이터 송수신부와, 모터 제어부와, 보정부와, 동기부를 구비한다.

데이터 송수신부는, 통신 신호 중 장치 자신에 대한 동작 지령과, 통신 신호 중 제 2 그룹의 모터 제어 장치에 있어서의 동작 정보를 수신한다.

모터 제어부는, 장치 자신에 대한 동작 지령에 근거해서, 접속된 모터를 제어하기 위한 토크 지령 신호를 생성한다.

보정부는 제 2 그룹의 모터 제어 장치의 동작 정보에 근거해서 토크 보정 신호를 생성하고, 이 토크 보정 신호를 이용해서, 장치 자신의 토크 지령 신호를 보정한다.

동기 타이밍 생성부는 제 1 그룹의 모터 제어부 간의 처리 타이밍을 맞추는 타이밍 신호를 생성한다.

본 발명의 모터 제어 시스템에 따르면, 다음의 작용 효과를 기대할 수 있다.

즉, 각각의 축이 서로 기계적으로 결합되는 등, 영향을 서로 미치는 모터 제어 시스템에 있어서, 각각의 모터는, 동기해서 구동되는 것이 요구된다.

그래서, 본 발명의 모터 제어 시스템을 이용하면, 각각의 모터 구동에는, 타축의 위치 정보와 같은 동작 정보를 반영할 수 있다. 더욱이, 본 발명의 모터 제어 시스템을 이용하면, 각각의 모터 제어 장치는 각각의 모터를 동기하도록 구동한다.

따라서, 본 발명의 모터 제어 시스템이, 예를 들면 갠트리 기구에 적용되는 경우, 각각의 모터 제어 장치에서 생기는 부하 특성에 따라서, 원활히 위치 결정을 행할 수 있다.

예를 들면, 갠트리 기구의 구성에 있어서, 병행 동작하는 2축의 부하 특성에 대해서, 2축과는 다른 축의 부하의 위치에 의해 변동이 생긴 경우, 양축 사이에서, 비틀림이 생기는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 이러한 비틀림에 근거하는 X축 부하의 위치 결정 정밀도나 진동 억제 성능의 열화를 억제할 수 있음과 아울러, 안전성의 확보나 고장 요인의 저감을 도모할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 모터 제어 시스템의 구성도이다.
도 2는 동 모터 제어 시스템의 제 1 그룹의 모터 제어 장치의 블럭도이다.
도 3은 동 모터 제어 시스템의 주요부의 상세한 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 4는 동 모터 제어 시스템에 있어서 갠트리 기구를 제어하는 동작을 설명하기 위한 구성도이다.
도 5는 동 모터 제어 시스템의 타이밍 차트이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 모터 제어 시스템의 구성도이다.
도 7은 본 발명의 실시 형태 3에 있어서의 모터 제어 시스템의 구성도이다.
도 8은 동 모터 제어 시스템의 제 1 그룹의 모터 제어 장치의 블럭도이다.
도 9는 동 모터 제어 시스템의 주요부의 상세한 구성을 나타내는 블럭도이다.

본 발명의 실시 형태에 있어서의 모터 제어 시스템에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태는 본 발명을 구현화한 일례이며, 본 발명의 기술적 범위를 제한하는 것은 아니다.

(실시 형태 1)

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 모터 제어 시스템의 구성도이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 모터 제어 시스템(100)은, 1개의 제어 대상 기구(33)와, 복수의 모터(30)와, 복수의 모터 제어 장치(10)와, 1개의 모터 제어 장치(20)와, 1개의 콘트롤러(80)를 구비한 구성이다. 콘트롤러(80)와, 모터 제어 장치(10, 20)의 각각은, 통신선(81)을 통해서, 통신 접속되어 있다. 그리고, 모터(30)의 제어의 대상이 되는 제어 대상 기구(33)는 복수의 축을 갖는 구성이며, 각 축에 대해서, 1개의 모터(30)와 모터 제어 장치(10, 20) 중 어느 1개의 조합의 모터 장치가 대응하고 있다. 그러한 모터 장치에 있어서, 모터(30)가 모터 제어 장치(10, 20)로부터의 지령에 따라 구동 제어되고, 1개의 축의 부하가 그 축 상을 이동한다.

본 실시 형태에서는, 이러한 복수축의 시스템의 일례로서, 상술한 갠트리 기구인 제어 대상 기구(33)를 제어하는 모터 제어 시스템(100)을 들고 있다. 더욱이, 본 실시 형태에서는, 제어 대상 기구(33)의 복수 축에 있어서의 메인 축으로서 X축 및 Y축으로 하는 2축으로 구성되고, Y축이, 또한 메인 축 아래의 서브 축으로서 Y1축 및 Y2 축으로 하는 2축으로 구성되는 시스템의 일례를 나타내고 있다. 즉, 본 실시 형태는 복수의 메인 축으로 구성되고, 그 중의 하나의 메인 축이 또한 복수의 서브 축으로 구성되는 시스템에 적용할 수 있다.

이러한 복수축을 제어하는 시스템으로 하기 위해, 모터 제어 시스템(100)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제 1 그룹으로 하는 페어, 즉 2개의 모터 제어 장치(10)와, 제 2 그룹으로 하는 1개의 모터 제어 장치(20)를 포함하는 구성이다. 제 1 그룹의 모터 제어 장치(10)는 메인 축인 Y축을 제 1 그룹으로서, Y1축과 Y2축의 페어인 2축의 모터(30)를 각각 제어한다. 그리고, 제 2 그룹의 모터 제어 장치(20)는 X축의 하나의 모터(30)를 제어한다. 이상, 본 실시 형태에서는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제 1 그룹의 제 1 모터 제어 장치(10)에는 Y1축용의 모터(30)가 접속되고, 제 1 그룹의 제 2 모터 제어 장치(10)에는 Y2축용의 모터(30)가 접속되고, 제 2 그룹의 모터 제어 장치(20)에는 X축의 모터(30)가 접속되도록 구성되어 있다.

또, 갠트리 구조의 제어 대상 기구(33)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 2개의 레일(34)과, 양 레일(34) 간을 넘도록 배치되는 헤드(35)와, 헤드(35)에 탑재된 부하(36)로 구성되어 있다. 2개의 레일(34)은, 각각 Y1축과 Y2축에 대응지어져 서로 병행하도록 배치되어 있다. 또, 헤드(35)는 그 양단부가 레일(34) 각각에 탑재되어, Y축 방향으로 이동 가능하도록, 배치되어 있다. 그리고, 부하(36)는 헤드(35)에 탑재되어, X축 방향으로 이동 가능하도록, 배치되어 있다.

이상과 같은 구성에 의해, 제 1 모터 제어 장치(10)가, 모터(30)를 제어해서 Y1축 상에 배치된 헤드(35)의 일단부의 위치를 제어한다. 제 2 모터 제어 장치(10)가, 모터(30)를 제어해서 Y2축 상에 배치된 헤드(35)의 타단부의 위치를 제어한다. 이러한 위치 제어에 의해, 이상시 등을 제외하고, 부하(36)를 탑재한 헤드(35)의 양측이 레일(34) 상을 Y축 방향으로 동일한 위치를 유지하면서 동일한 속도로 이동한다. 즉, 이것에 의해, Y1축의 부하 및 Y2축의 부하가 되는 헤드(35)가 양 레일(34)로 구성된 Y축 상을 이동한다. 또, 제 2 그룹의 모터 제어 장치(20)의 접속된 X축의 모터(30)는, X축의 부하(36)가 헤드(35) 상을 X축 방향으로 이동하도록, 위치 제어한다.

다음으로, 본 실시 형태에서는, 이러한 모터 제어 장치(10, 20)에 대해서, 제어 파라미터를 설정하거나 동작 지령을 주거나 하기 위해서, 모터 제어 장치(10, 20)에 통신 접속된 콘트롤러(80)를 마련하고 있다. 이 통신 접속에 있어서의 구체적인 통신 방법으로서는, 예를 들면, RS232C/485 등의 시리얼 통신 규격이나, USB(Uniｖersal　Serial　Bus) 규격에 대응한 데이터 통신이거나 혹은 FA 네트워크 전용의 통신 사양인 RTEX(Realtime　Express)나 EtherCAT 통신이어도 좋다.

또, 통신 내용으로서, 본 실시 형태에서의 파라미터 설정 등에 대해서는, 시스템의 개시시나 시스템의 동작을 변경하는 경우 등에 있어서 실행된다. 또, 제어 파라미터로서는, 제어 게인이나 필터의 특성에 관한 설정치 등이 있다. 또한, 이러한 파라미터 설정에 더해서, 콘트롤러(80)는, 모터(30)가 소망의 움직임 동작을 하도록, 모터 제어 장치(10, 20)에 대한 동작 지령 등을 포함한 각종 정보를 송출함과 아울러, 모터 제어 장치(10, 20)로부터 각종 정보를 수신한다.

특히, 파라미터 설정에 대해서는 초기 설정시 등 부정기인 것에 대해, 동작 지령에 대해서는, 순차, 시스템 내에서의 동작을 지시할 필요가 있다. 이 때문에, 본 실시 형태에서는, 동작 지령을 송출하는 기준 주기를 설정하고 있다. 즉, 콘트롤러(80)는, 이 기준 주기로서의 통신 주기마다, 위치 지령이나 속도 지령 등의 동작 지령을 포함하는 지령 신호를 송출하고 있다. 또, 모터 제어 장치(10, 20)의 각각은, 수신한 지령 신호에 근거해서, 모터(30)의 동작을 제어한다. 또한, 모터 제어 장치(10, 20)의 각각은, 통신 주기마다 콘트롤러(80)에 대해서, 동작 상태 등의 동작 정보를 포함하는 답신 신호를 송신한다. 그리고, 상세한 것에 대해서는 이하에 설명하지만, 콘트롤러(80)로부터는, 또한 통신 주기마다 통신 타이밍 신호(St)가 송신되고 있다. 도 1에서는, 통신선(81)을 통해서, 이들 지령 신호, 답신 신호 및 통신 타이밍 신호(St)를 포함한, 통신 주기마다 송출되는 신호를, 통신 신호(Cm)로서 나타내고 있다. 한편, 본 실시 형태에서는, 모터 제어 장치(10, 20)에 의해 모터(30)의 위치를 제어하는 구성예를 들고 있고, 콘트롤러(80)는, 목표로 하는 위치를 지령하기 위한 위치 지령을 지령 신호에 포함시켜 모터 제어 장치(10, 20)에 통지하고 있다.

도 2는 본 실시 형태에 있어서의 모터 제어 시스템(100)의 제 1 그룹의 모터 제어 장치(10)의 상세한 구성을 나타내는 블럭도이다. 또, 도 3은 모터 제어부(14)의 추가적인 상세한 구성을 포함한 모터 제어 장치(10)의 주요부의 상세한 구성을 나타내는 블럭도이다.

다음으로, 도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면서, 모터 제어 장치(10)의 상세한 구성에 대해 설명한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 모터 제어 장치(10)는, 통신 처리부(12)와, 제어 파라미터 설정부(13)와, 모터 제어부(14)와, 구동부(15)와, 동기 타이밍 생성부(16)와, 토크 보정부(17)를 구비하고 있다.

모터 제어 장치(10)에 있어서, 통신 처리부(12)는 통신선(81)에 통신 접속되고 있고, 콘트롤러(80)로부터, 제어 파라미터나 동작 지령 등을 포함한 각종 정보를 수신함과 아울러, 콘트롤러(80)에 대해서, 모터 제어 장치(10) 내에서의 각종 정보를 송신한다.

통신 처리부(12)는, 예를 들면 시스템을 개시하는 초기 설정시 등에 있어서, 제어 파라미터인 1군의 데이터를 콘트롤러(80)로부터 수취해서, 제어 파라미터 설정부(13)에 전송한다. 여기서, 제어 파라미터로서는, 각종 게인이나 필터 정수 등과 함께, 본 실시 형태에서는, 토크 보정 기준치(Cor)가 포함되어 있다.

또, 콘트롤러(80)는, 초기 설정 등이 완료하면, 통신 주기마다, 통신 신호(Cm)에서의 지령 신호로서, 동작 지령을 포함하는 정보를 송출하고, 그 정보를 통신 처리부(12)가 수취한다. 본 실시 형태에서는, 동작 지령으로서, 모터 제어 장치(10) 자신에 대해서 지령된 위치를 나타내는 위치 지령(Pc)에 더해서, 부하(36)의 X축 방향의 위치 정보인 타축의 동작 정보도 통지되는 예를 들고 있다. 여기서, 본 실시 형태에서는, 부하(36)의 X축 방향의 위치 정보로서, X축을 제어하는 모터 제어 장치(20)에 대해서 지령하는 위치를 나타내는 위치 지령인 X축 위치 지령(Pcx)이 통지된다. 즉, 제 1 그룹인 모터 제어 장치(10)는, 통신 처리부(12)에 있어서, 통신 신호(Cm) 중 자신에 대한 동작 지령으로서 이 위치 지령(Pc)를 제 1 위치 지령으로서 수취한다. 이것과 함께, 모터 제어 장치(10)는, 통신 신호(Cm) 중에서의 제 2 그룹의 모터 제어 장치(20)에 있어서의 동작 정보로서, 이 X축 위치 지령(Pcx)을 제 2 위치 지령으로서 수취한다.

위치 지령(Pc)은 모터 제어부(14)에 통지되고, 모터 제어부(14)에 의해, 이 위치 지령(Pc)에 추종하는 위치 제어가 실행된다. 또, X축 위치 지령(Pcx)은 토크 보정부(17)에 통지되고, 토크 보정부(17)에 의해, 보정된 토크 지령이 생성된다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는, 동작 지령으로서 위치 지령(Pc)과, 동작 정보로서 X축 위치 지령(Pcx)이 통지되는 예를 들어 설명하지만, 당연하게, 동작 지령이나 동작 정보로서 이들에 더해서 추가적으로 다른 정보나 데이터가 통지되어도 좋다.

또, 통신 처리부(12)에는, 모터 제어 장치(10) 내에서의 각 부로부터 각종 정보가 통지된다. 본 실시 형태에서는, 모터 제어부(14)로부터 통신 처리부(12)에 대해서, 모터 제어부(14)에서 검출된 Y축에 있어서의 모터의 위치 정보인 검출 위치 정보(Pdy)가 통지된다. 그리고, 통신 처리부(12)는, 콘트롤러(80)에 대해, 통신 신호(Cm)에서의 답신 신호로서 검출 위치 정보(Pdy)를 통지한다.

더욱이, 상술한 바와 같이, 콘트롤러(80)로부터는, 통신 주기마다, 통신 신호(Cm)에 포함된 통신 타이밍 신호(St)가 송신되고 있다. 통신 처리부(12)는, 이 통신 타이밍 신호(St)를 검출해서, 동기 타이밍 생성부(16)에 통지한다. 여기서, 위치 지령(Pc) 등은 데이터가 되는 신호인 것에 대해, 통신 타이밍 신호(St)는 주기적인 타이밍을 나타내기 위한 펄스 신호이다. 즉, 상세한 것에 대해서는 이하에 설명하지만, 본 실시 형태에서는, 이 통신 타이밍 신호(St)를 동기 신호로서 이용하고, 동기 타이밍 생성부(16)에 있어서, 통신 타이밍 신호(St)의 주기가 동기한 클록 신호(Ck)를 생성하고 있다.

통신 처리부(12)는 이들의 처리를 실행하기 위해, 도 2에 나타내는 바와 같이, 통신 인터페이스(이하, 적당, 통신 I/F라고 한다)(22)와 데이터 송수신부(23)를 갖고 있다. 통신 I/F(22)는 콘트롤러(80)와의 통신 접속에 있어서의 통신 사양에 근거한 변복조기이다. 통신 I/F(22)는 복조한 데이터를 데이터 송수신부(23)에 전송함과 아울러, 데이터 송수신부(23)로부터의 데이터를 통신 사양에 근거해 변조해서 콘트롤러(80)에 송신한다. 또한, 통신 I/F(22)는 통신 신호(Cm)에 포함되는 통신 타이밍 신호(St)를 추출해서, 동기 타이밍 생성부(16)에 공급한다. 또, 데이터 송수신부(23)는 통신 I/F(22)가 변복조하는 데이터를 일시 보존한다.

다음으로, 모터 제어 장치(10)에 있어서, 제어 파라미터 설정부(13)는, 1군의 데이터로 구성되는 제어 파라미터군(Prm)을, 통신 처리부(12)로부터 예를 들면 시스템 개시시에 수취한다. 제어 파라미터 설정부(13)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 예를 들면, 제어 파라미터 메모리(132)와 파라미터 처리부(133)를 갖고 있다.

제어 파라미터 설정부(13)는, 수취한 제어 파라미터군(Prm)을 제어 파라미터 메모리(132)에 기억함과 아울러, 파라미터 처리부(133)의 처리에 의해, 기억한 제어 파라미터를 소정의 기능부에 설정한다. 즉, 예를 들면 도 3에 나타내는 바와 같이, 제어 파라미터군(Prm)에 포함되는 게인(Kvff, Kpp, Ktff)나 정수 등은, 모터 제어부(14)에 있어서의 제어나 처리의 기능부에 설정된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제어 파라미터군(Prm)에 포함되는, 토크 보정 기준치(Cor)가 토크 보정부(17)에 설정된다.

다음으로, 모터 제어 장치(10)에 있어서, 동기 타이밍 생성부(16)는, 상술한 바와 같이 통신 타이밍 신호(St)의 주기에 동기한 클록 신호(Ck)나, 또한, 그 클록 신호(Ck)로부터 PWM 캐리어 신호(Sc)를 생성하고 있다. 특히, 본 실시 형태에서는, Y1축에 대응하는 제 1 모터 제어 장치(10)와 Y2축에 대응하는 제 2 모터 제어 장치(10)가 동기해서 처리되도록, 이러한 동기 타이밍 생성부(16)를 마련한 구성으로 하고 있다. 즉, 제 1 및 제 2 모터 제어 장치(10)는, 각각 통신 타이밍 신호(St)의 타이밍을 기준으로 해서 처리가 실행된다. 이와 같이, 동기 타이밍 생성부(16)는 제 1 그룹의 모터 제어 장치(10) 간의 처리 타이밍을 맞추는 타이밍 신호를 생성하고 있다.

동기 타이밍 생성부(16)는, 이들 신호를 생성하기 위해, 도 2에 나타내는 바와 같이, 클럭 생성부(62)와, 분주 카운터(frequency division counter)(63)와, 위상 비교기(64)와, PWM 캐리어 생성부(65)를 갖고 있다. 여기서, 클럭 생성부(62)와, 분주 카운터(63)와, 위상 비교기(64)에 의해, 이른바 PLL(Phase　Locked　Loop) 회로를 구성하고 있다. 클럭 생성부(62)는 제어 신호(Dp)에 따른 클럭 주파수의 클록 신호(Ck)를 생성한다. 분주 카운터(63)는 클록 신호(Ck)를 분주(dividing)한 펄스 신호(Pfs)를 생성한다. 여기서, 펄스 신호(Pfs)의 주기가 통신 타이밍 신호(St)의 주기와 거의 동일해지도록, 분주 카운터(63)의 분주비(division ratio)를 설정하고 있다. 위상 비교기(64)는 이러한 펄스 신호(Pfs)와 통신 타이밍 신호(St)의 위상을 비교하고, 그 비교에 근거하는 제어 신호(Dp)를 생성한다. 그리고, 이 제어 신호(Dp)가 클럭 생성부(62)에 공급된다. 이러한 구성에 의해, PLL의 원리에 근거해서, 클록 신호(Ck)가 통신 타이밍 신호(St)에 로킹(lock)되고, 클록 신호(Ck)가 통신 타이밍 신호(St)에 동기한다. 클록 신호(Ck)는, 주지와 같이, 모터 제어 장치(10) 내의 디지털 처리에 이용된다.

또, PWM 캐리어 생성부(65)에는, 분주 카운터(63)로부터 캐리어 생성용의 펄스가 공급된다. 이 캐리어 생성용의 펄스는, 통신 타이밍 신호(St)에 동기한 클록 신호(Ck)를 소정의 분주비로 분주한 듀티 50%의 신호이다. PWM 캐리어 생성부(65)는 이러한 캐리어 생성용의 펄스를 예를 들면 적분 회로로 적분함으로써, 삼각파인 PWM 캐리어 신호(Sc)를 생성한다. PWM 캐리어 신호(Sc)는 구동부(15)에 공급되고, PWM(펄스폭 변조)를 이용한 구동 전압(Vd)을 생성하는데 이용된다. 또, 캐리어 생성용의 펄스는 서보 기동 타이밍 신호(Sst)로서 모터 제어부(14)에 공급되고, 이 캐리어 생성용의 펄스의 주기는 모터 제어부(14)에서의 제어의 기준 주기로서 이용된다.

다음으로, 모터 제어 장치(10)에 있어서, 모터 제어부(14)와 구동부(15)는 모터(30)의 동작을 제어하기 위해서 마련되어 있다. 여기서, 도 2에서는, 모터(30)에 대해, UVW상의 3상 구동의 브러시리스 모터로 한 예를 들고 있다. 즉, 모터(30)는 각 상에 대응하는 권선(31)을 구비한 스테이터(stator)와 영구 자석을 보유한 로터를 포함한 구성이다. 이 스테이터의 각 권선(31)에, 서로의 위상이 120도 어긋난 구동 전압(Vd)을 더함으로써 권선(31)이 통전되고, 권선(31)에 전류가 흘러 로터가 회전한다. 그리고, 로터의 회전에 따라서, 그 로터에 접속된 대응 축이 위치 제어된다. 또, 모터(30)에는 로터의 회전 위치를 검출하기 위한 위치 센서(32)가 장착되어 있다. 위치 센서(32)로부터는, 로터의 회전 위치에 대응하는 위치 센서 신호(Pd)가 출력되고, 그 위치 센서 신호(Pd)가 모터 제어부(14)에 통지된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 이러한 회전 동작을 하는 모터(30)에 의해 부하를 직선적으로 위치 제어하는 예를 들어 설명하지만, 부하에 대해서 직접 직선적 위치 제어하는 리니어 모터이어도 좋다.

이러한 모터(30)를 구동 제어하기 위해, 모터 제어부(14)는 모터(30)의 위치, 속도나 토크를 제어한다. 그리고, 구동부(15)는 모터(30)의 권선(31)을 통전 구동한다.

모터 제어부(14)는, 이러한 제어를 실행하기 위해, 도 2에 나타내는 바와 같이, 위치 검출부(42), 위치 제어부(43), 속도 제어부(44), 토크 피드포워드(이하, 토크 FF라고 한다) 처리부(45), 및 토크 제어부(46)를 구비하고 있다. 이들 각 부는 제어 파라미터 설정부(13)에 의해, 제어 파라미터군(Prm)에 포함되는 게인이나 정수가 설정되어 있다. 또, 모터 제어부(14)에는, 통신 처리부(12)의 데이터 송수신부(23)로부터, 통신 주기마다, Y축 방향에 있어서의 위치 지령(Pc)이 통지된다. 그리고, 위치 검출부(42)에 대해서, 위치 센서(32)로부터 위치 센서 신호(Pd)가 통지되고, 위치 검출부(42)에 의해 Y축 방향에 있어서의 검출 위치 정보(Pdy)가 생성된다. 이 검출 위치 정보(Pdy)는 통신 처리부(12)에도 통지되고, 추가로 답신 신호의 하나의 정보로서 콘트롤러(80)에 통지된다.

모터 제어부(14)는, 이러한 구성에 의해, 위치 센서 신호(Pd)에 근거하는 검출 위치 정보(Pdy)를 이용한 피드백 제어에 의해, 콘트롤러(80)로부터의 위치 지령(Pc)에 Y축 방향의 부하 위치가 추종하도록, 움직임 동작을 제어하고 있다.

모터 제어부(14)에 의해 상술한 피드백 제어를 실시하기 위해, 우선, 도 3에 나타내는 바와 같이, 위치 제어부(43)에 있어서, 감산기(432)에 의해, 위치 지령(Pc)과 검출 위치 정보(Pdy)의 차인 위치 편차(dP)가 산출된다. 또한, 위치 비례부(433)가 그 위치 편차(dP)에 대해서 위치 게인(Kpp)을 곱셈하는 등의 연산을 행한다. 또한, 도 3에서는, 위치 제어부(43)에 있어서, 추가로 속도 피드포워드(이하, 속도 FF라고 한다)부(434)를 포함한 예를 나타내고 있다. 속도 FF부(434)는 위치 지령(Pc)에 대해서 미분 연산과 함께, 속도 FF 게인(Kvff)을 곱셈하는 등의 연산을 행한다. 도 3의 예에서는, 위치 제어부(43)는, 가산기(435)에 의해, 위치 비례부(433)의 출력에 속도 FF부(434)의 출력을 가산한 값을, 속도 지령(Vc)으로서 출력하고 있다. 그 속도 지령(Vc)은 속도의 지령으로서 속도 제어부(44)에 통지된다.

다음으로, 도 3에 나타내는 속도 제어부(44)에 있어서, 우선, 속도 검출부(442)가 속도를 검출하고, 검출 속도(Vdy)로서 출력한다. 속도 검출부(442)는, 속도를 검출하기 위해, 예를 들면, 검출 위치 정보(Pdy)에 대해서 미분 연산을 행함으로써 속도를 검출하고 있다. 또한, 감산기(443)에 의해, 공급된 속도 지령(Vc)과 검출 속도(Vdy)의 차인 속도 편차(dV)를 산출한다. 또한 그 속도 편차(dV)에 대해서, 속도 비례부(444)가 속도 게인(Kvp)을 곱셈하는 등의 비례 연산을 행한다. 또한, 속도 적분부(445)가 그 속도 편차(dV)에 대해서 적분을 행하고, 추가로 적분 게인(Kvi)을 곱셈한다. 그리고, 가산기(446)에 의해, 속도 비례부(444)의 출력과 속도 적분부(445)의 출력이 가산됨으로써, 속도 연산에 근거하는 구동 토크량이 산출된다. 이 속도 제어부(44)에 있어서 산출된 구동 토크량은 속도 연산에 근거하는 토크 지령(Tr)으로서 출력된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 모터 제어부(14)에 있어서, 토크 FF 처리부(45) 및 토크 제어부(46)를 포함하는 예를 나타내고 있다. 토크 FF 처리부(45)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 토크 FF부(452)를 갖고 있다. 토크 FF부(452)는 위치 지령(Pc)에 대해서, 1차 미분이나 2차 미분 처리를 행하고, 추가로 그 미분치에 대해서 토크 FF 게인(Ktff)을 곱셈하는 연산을 행하고, 토크 FF치(Trf)로서 출력한다. 또 토크 제어부(46)에는, 속도 제어부(44)로부터의 토크 지령(Tr)과 토크 FF 처리부(45)로부터의 토크 FF치(Trf)가 공급된다. 토크 제어부(46)는, 가산기(462)에 의해 토크 지령(Tr)과 토크 FF치(Trf)를 가산한다. 본 실시 형태에서는, 이와 같이, 속도 연산에 근거하는 토크 지령(Tr)에 토크 FF치(Trf)를 가산함으로써 구한 값을, 모터(30)를 작동시키려고 하는 기준의 구동 토크량으로 하고, 토크 지령(Tc)으로서 출력된다.

그리고, 본 실시 형태에서는, 이상과 같은 모터 제어부(14)의 처리에서 구한 토크 지령(Tc)에 대해서 추가로 보정하고, 그 보정한 토크 지령(Tcc)에 근거해서, 제 1 그룹에서의 모터(30)를 구동하는 것을 특징으로 하고 있다.

이러한 토크 지령(Tcc)를 생성하기 위해, 본 실시 형태에서는, 토크 보정부(17)를 마련하고 있다. 토크 보정부(17)는, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 보정량 산출부(72)와 가산기(76)를 갖고 있다. 보정량 산출부(72)에는, 제어 파라미터 설정부(13)로부터 제어 파라미터군(Prm)에 포함되는 토크 보정 기준치(Cor)가 통지된다. 또한, 보정량 산출부(72)에는, 통신 처리부(12)로부터, X축을 제어하는 모터 제어 장치(20)에 대한 위치 지령인 X축 위치 지령(Pcx)이 통지된다. 보정량 산출부(72)는 이들 토크 보정 기준치(Cor)와 X축 위치 지령(Pcx)에 근거해서, 토크 지령(Tc)에 대한 보정량인 토크 보정치(Cot)를 산출하고 있다. 즉, 토크 보정부(17)에 공급된 토크 지령(Tc)에는, 가산기(76)에 의해 토크 보정치(Cot)가 가산되고, 토크 보정부(17)는 그 가산 결과를, 보정한 토크 지령(Tcc)으로서 출력한다.

또, 보정량 산출부(72)는, 토크 보정치(Cot)를 산출하기 위해, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 보정량 테이블(73)과 승산기(74)를 갖고 있다. 보정량 테이블(73)은 X축 위치 지령(Pcx)을 보정 비율로 변환하는 변환 테이블이다. 즉, 이 보정량 테이블(73)에 X축 위치 지령(Pcx)이 공급됨으로써, 보정량 테이블(73)로부터 보정 비율(Rc)이 출력된다. 승산기(74)는, 토크 보정 기준치(Cor)에 대해서, 이 보정 비율(Rc)을 곱셈함으로써 토크 보정치(Cot)를 구하고 있다.

이하에 추가로 상세한 것에 대하여 설명하지만, 보정량 테이블(73)에서는, X축 위치 지령(Pcx)에 근거해서, 다음과 같은 보정 비율(Rc)이 되도록 테이블이 설정되어 있다. 즉, 갠트리 구조의 제어 대상 기구(33)에 있어서, 부하(36)가 자신의 레일(34)에 가까워질수록, 보정 비율(Rc)이 커지도록, 테이블을 설정하고 있다. 환언하면, X축 위치 지령(Pcx)이 자신의 레일(34)에 가까운 지령일수록, 보정 비율(Rc)을 크게 하고 있다. 이것에 의해, 부하(36)가 자신의 레일(34)에 가까울수록, 토크량이 커지도록 토크 지령(Tc)을 보정하고, Y1축과 Y2축의 구동력의 밸런스를 도모하고 있다. 즉, X축 방향에 있어서의 부하(36)의 위치에 따른 언밸런스에 대해, 부하(36)가 자신의 레일(34)에 가까울수록, 구동력이 커지도록 보정하고 있다.

마지막으로, 모터 제어 장치(10)에 있어서, 구동부(15)는 토크 보정부(17)로부터 공급된 토크 지령(Tcc)에 근거하는 구동 전압(Vd)을 생성한다. 구동부(15)는 구동 전압(Vd)을 생성하기 위해, 도 2에 나타내는 바와 같이, 구동 파형 생성부(52), PWM 처리부(53) 및 인버터(54)를 구비하고 있다.

구동 파형 생성부(52)에는, 토크 지령(Tcc)이 통지된다. 구동 파형 생성부(52)는, 토크 지령(Tcc)의 크기에 따른 파형의 신호를 생성한다. 보다 구체적으로는, 예를 들면, 모터(30)의 각 상의 권선(31)을 정현파 구동하는 경우, 구동 파형 생성부(52)는, 토크 지령(Tcc)의 크기에 따른 진폭의 정현파 파형을 상마다 생성하고, 구동 파형 신호(Dr)로서 PWM 처리부(53)에 공급한다.

PWM 처리부(53)에는, PWM 처리부(53)로부터 구동 파형 신호(Dr)가 공급됨과 아울러, 동기 타이밍 생성부(16)의 PWM 캐리어 생성부(65)로부터 PWM 캐리어 신호(Sc)가 공급된다. PWM 처리부(53)는 삼각파인 PWM 캐리어 신호(Sc)와 구동 파형 신호(Dr)의 진폭 비교를 행함으로써 펄스폭 변조(PWM)를 행한다. 이것에 의해, PWM 처리부(53)는 구동 파형 신호(Dr)의 레벨에 따른 펄스폭, 혹은 듀티비의 펄스 열(列)로 구성되는 PWM 신호(Dp)를 상마다 생성하고 있다.

인버터(54)는 PWM 처리부(53)로부터의 각 상의 PWM 신호(Dp)를 받아 구동 전압(Vd)을 생성하고, 모터(30)의 각각의 권선(31)에 인가한다. 인버터(54)는 스위칭 소자 및 다이오드 등의 전력 변환 소자로 구성된다. 인버터(54)는 스위칭 소자를 이용해서, 전원으로부터 공급된 전압을 PWM 신호(Dp)에 따라서 스위칭, 즉 온/오프 함으로써 구동 전압(Vd)을 생성하고 있다.

이상, 모터 제어 장치(10)는, 이와 같이 생성한 구동 전압(Vd)을 모터(30)의 권선(31)에 가함으로써 권선(31)이 통전되고, 모터(30)가 토크 지령(Tcc)에 따른 토크를 출력한다. 이러한 제 1 그룹의 모터 제어 장치(10)에 의한 제어 및 구동에 의해, 콘트롤러(80)로부터의 위치 지령(Pc)에 추종하도록, 헤드(35)의 일단부가 레일(34) 상을 Y축 방향으로 이동한다. 그리고, 제 1 그룹에 있어서의 제 1 모터 제어 장치(10)와 제 2 모터 제어 장치(10)가, 콘트롤러(80)로부터, 마찬가지의 위치 지령(Pc)으로 위치 제어됨으로써, 부하(36)를 탑재한 헤드(35)의 양단이 레일(34) 상을 Y축 방향으로 동일한 위치를 유지하면서 동일한 속도로 이동한다. 특히, 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 양 모터 제어 장치(10)에서도, 콘트롤러(80)로부터의 통신 타이밍 신호(St)에 동기해서 처리가 실행된다. 이 때문에, 양 모터 제어 장치 간에 있어서도, 서로 동기해서 처리가 실행되게 된다.

다음으로, 모터 제어 장치(20)의 구성에 대해 설명한다.

모터 제어 장치(20)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 모터 제어 장치(10)와 마찬가지로, 통신 처리부(12)와, 제어 파라미터 설정부(13)와, 모터 제어부(14)와, 구동부(15)를 구비하고, 추가로 타이밍 생성부(162)를 구비하고 있다. 여기서, 모터 제어 장치(10)와 마찬가지의 구성 요소에 대해서는, 상세한 설명을 생략한다. 또, 타이밍 생성부(162)는, 콘트롤러(80)로부터의 통신 타이밍 신호(St)가 동기하는 기능을 갖지 않는 것을 제외하고, 동기 타이밍 생성부(16)와 마찬가지이다. 즉, 타이밍 생성부(162)는 자체 주행(free-running)의 클록 신호(Ck)나 PWM 캐리어 신호(Sc)를 생성하고 있다. 또, 모터 제어 장치(20)에 있어서나, 모터 제어 장치(10)와 마찬가지로 동기 타이밍 생성부(16)를 사용해, 통신 타이밍 신호(St)의 주기가 동기한 클록 신호(Ck) 등을 생성하는 구성으로 해도 좋다. 요컨데, 본 실시 형태에서는, 제 1 모터 제어 장치(10)와 제 2 모터 제어 장치(10)가, 상술한 바와 같이 동기하는 것이 필수 요건이다.

모터 제어 장치(20)에는, 콘트롤러(80)로부터, 통신 신호(Cm)에 포함되어 X축 위치 지령(Pcx)이 통지된다. 상술한 바와 같이, X축 위치 지령(Pcx)은 헤드(35)에 탑재되어 있는 부하(36)의 X축 방향의 위치 지령이다. 모터 제어 장치(20)의 모터 제어부(14)는, X축 위치 지령(Pcx)에 따른 부하(36)의 위치가 되도록 토크 지령(Tc)을 생성한다. 그리고, 모터 제어 장치(20)의 구동부(15)는 토크 지령(Tc)에 따른 구동 전압(Vd)을 모터(30)의 권선(31)에 인가한다. 이와 같이 해서, 부하(36)에 대한 위치 제어가 실행된다. 또한, 모터 제어 장치(20)에 있어서 위치 센서 신호(Pd)에 근거해서 생성된 검출 위치 정보(Pdx)는 통신 처리부(12)로부터 콘트롤러(80)에 대해, 답신 신호의 하나의 정보로서 통지된다.

도 4는 본 실시 형태에 있어서의 모터 제어 시스템(100)에 있어서, 갠트리 기구를 제어하는 동작을 설명하기 위한 구성도이다.

다음으로, 도 4, 표 1을 이용해서, 토크 보정부(17)에 의한 토크 보정의 처리에 대해, 추가로 상세하게 설명한다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서, 도면 내, X축은 좌우 방향으로 정한다. 헤드(35)에는, X축 상, 좌측에 위치하는 위치 0을 원점으로 해서, 우측에 위치하는 위치 10까지의 눈금이 정해진다. 위치 5는 헤드(35)의 중앙부가 된다.

본 구성에 있어서, X축 부하(36)의 위치와, Y1축용의 보정된 토크 지령(Tcc1)과, Y2축용의 보정된 토크 지령(Tcc2)이 표 1에 나타내는 관계를 충족하면, 헤드(35)는 Y축 방향에 대해 원활히 이동한다.

즉, X축 부하(36)가 위치 5에 있을 때, Y1축용의 보정된 토크 지령(Tcc1)과, Y2축용의 보정된 토크 지령(Tcc2)는 모두 보정 없음의 토크 지령(Tc)이 된다.

X축 부하(36)가 위치 0을 향해 이동하면, Y1축용의 보정된 토크 지령(Tcc1)은 +1 가산하고, Y2축용의 보정된 토크 지령(Tcc1)은 -1 감산한다. 이 결과, X축 부하(36)가 위치 0에 있을 때, Y1축용의 보정된 토크 지령(Tcc1)은 (Tc＋5), Y2축용의 보정된 토크 지령(Tcc2)은 (Tc-5)로 된다.

상기 토크 지령이면, 헤드(35)는 Y1축과 Y2축 사이에 비틀림을 발생시키지 않고, 원활히 이동한다.

그런데, 본 실시 형태에 있어서의 모터 제어 시스템(100)에 있어서, 적절히 X축 부하(36)와 Y축 부하인 헤드(35)는 콘트롤러(80)로부터의 지시에 의해, 이동하고 있다. 따라서, 예를 들면, 양 모터 제어 장치(10)가 헤드(35)를 보다 원활히 이동시키기 위해서, 다음의 제어가 행해진다.

즉, 콘트롤러(80)는, 모터 제어 장치(10)에 대해서, 자신에게의 위치 지령(Pc)에 더해서, X축 부하(36)의 최신의 위치 지령(Pcx)도 송신한다.

이 결과, 모터 제어 시스템(100)에 있어서, 예를 들면 X축 부하(36)가 위치 0 방향으로 ＋1 이동할 때마다, Y1축측에서는, 토크 지령(Tc)에 대한 토크 보정치(Cot)로서 ＋1이 생긴다. 이때, Y2축측에서는, 토크 지령(Tc)에 대한 토크 보정치(Cot)로서 -1이 생긴다.

반대로, 모터 제어 시스템(100)에 있어서, X축 부하(36)가 위치 10 방향으로 ＋1 이동할 때마다, Y1축측에서는, 토크 지령(Tc)에 대한 토크 보정치(Cot)로서 -1이 생긴다. 이때, Y2축측에서는, 토크 지령(Tc)에 대한 토크 보정치(Cot)로서 ＋1이 생긴다.

상술한 바와 같이, 본 모터 제어 시스템(100)은, 토크 보정부(17)를 이용해서, 보정된 토크 지령(Tcc1, Tcc2)이 표 1을 충족하도록 연산한다. 환언하면, 보정된 토크 지령(Tcc1, Tcc2)은 항상, X축 부하(36)가 탑재된 헤드(35)를 원활히 이동시키는 값이 된다.

따라서, 본 모터 제어 시스템(100)이, 갠트리 기구인 제어 대상 기구(33)에 이용되었다고 해도, X축 부하(36)의 위치에 기인해서, 비틀림이 생기는 것을 억제할 수 있다.

도 4에서의 예에서는, 헤드(35) 상을 이동하는 X축 부하(36)는, X축 상, 위치 8의 눈금 상에 위치한다. 따라서, Y1축에 반영되는 토크 보정치(Cot)는 -3이 된다. 한편, Y2축에 반영되는 토크 보정치(Cot)는 ＋3이 된다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 토크 보정부(17)는 산출한 토크 보정치(Cot)를 모터 제어부(14)에서 생성한 토크 지령(Tc)에 반영한다. 따라서, 토크 보정부(17)에서는, 보정된 토크 지령(Tcc)이 도출된다. 보정된 토크 지령(Tcc)는 구동부(15)에 통지된다. 이와 같이, 보정된 토크 지령(Tcc)은 모터 제어부(14)에서 생성한 토크 지령(Tc)에 대해서, 산출한 토크 보정치(Cot)를 가산한다. X축 부하(36)가 위치 8의 위치에 있는 경우, Y1축에 있어서의 보정된 토크 지령(Tcc)은 (Tc-3)이 된다.

마찬가지로, X축 부하(36)가 위치 8의 위치에 있는 경우, Y2축에 있어서의 보정된 토크 지령(Tcc)은 (Tc＋3)이 된다.

이와 같이 보정된 토크 지령(Tcc)에 근거해서, 구동부(15)에 있어서, 모터(30)를 구동하는 구동 전압(Vd)이 생성된다. 생성된 구동 전압(Vd)은 서보 기동 타이밍 신호(Sst)에 따라, 모터(30)의 권선(31)에 출력된다. 모터(30)는 공급된 구동 전압(Vd)에 따라 구동된다.

도 5는 본 실시 형태에 있어서의 모터 제어 시스템(100)의 타이밍 차트이다.

다음으로, 도 5를 이용해서, 모터 제어 장치(10)가 동기해서 제어 및 구동 처리를 실행하는 것을 중심으로, 모터 제어 시스템(100)의 각 부의 동작에 대해, 설명한다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 모터 제어 장치(10)는 콘트롤러(80)로부터 송신되는 통신 신호(Cm)에 포함되는 대상 축(subject axis)의 위치 지령(Pc)에 근거해서, 적절히 제어된다. 이때, X축 부하(36)를 이동시키는 위치 지령(Pcx)도, 콘트롤러(80)로부터 모터 제어 장치(10)에 송신된다.

이하, 도면을 이용해서, X축 부하(36)에 생긴 이동을 반영하면서, 모터 제어 장치(10) 각각이 동기해서 동작하는 것에 대하여 설명한다.

도 5 내, 상단 측에는, 통신 신호(Cm)와 함께, 동기 타이밍 생성부(16)가 생성하는 펄스의 타이밍을 나타낸다. 또, 중단에는, Y1축에 대응하는 제 1 모터 제어 장치(10)에 관한 타이밍, 하단 측에는, Y2축에 대응하는 제 2 모터 제어 장치(10)에 관한 타이밍을 나타낸다.

시각 t1에 있어서, 모터 제어 장치(10)에는, 각각, 통신선(81)을 통해서 콘트롤러(80)로부터, 자신 축에 대한 위치 지령(Pc)과 X축에 대한 위치 지령(Pcx)을 포함하는 데이터가 통신 신호(Cm)에 중첩되어 송신된다.

콘트롤러(80)로부터의 송신에 이어서, 모터 제어 장치(10)는, 각각의 축에 장착된 모터(30)에 대해, 현재의 위치 정보인 검출 위치 정보(Pdy)를, 통신선(81)을 통해서 콘트롤러(80)에 송신한다. 즉, 검출 위치 정보(Pdy)는, 도 5에서의 확대 부분에 나타내는 통신 신호(Cm) 중의 송신 데이터에 포함되어, Y1축, Y2축의 순서로 콘트롤러(80)에 송신된다.

그 후, 시각 t2에 있어서, 콘트롤러(80)로부터는, 도 5에 나타내는 펄스 형상의 통신 타이밍 신호(St)가 송출된다. 모터 제어 장치(10)의 통신 처리부(12)는 통신 타이밍 신호(St)를 통신 신호(Cm)로부터 추출해서, 동기 타이밍 생성부(16)에 송신한다. 여기서, 통신 처리부(12)는, 다음의 점을 고려해서, 모터 제어 장치(10)에서 실행되는 모터 구동의 타이밍이 동일해지도록, 통신 타이밍 신호(St)를 동기 타이밍 생성부(16)에 송신한다. 즉, 고려하는 점은 통신선(81)을 통해서 수신한 신호의 프레임 길이, 프레임의 순번, 비트 레이트, 노드의 접속 순서 등이다.

동기 타이밍 생성부(16)는, 상술한 바와 같이, 클럭 생성부(62)와 분주 카운터(63)와 위상 비교기(64)를 갖는 PLL 회로를 구비하고 있다. 동기 타이밍 생성부(16)는, 이 PLL 회로를 이용해서, 도 5에 나타내는 바와 같이, 통신 타이밍 신호(St)의 하강 에지와 분주 카운터(63)로부터 출력되는 분주 펄스(Pfs)의 하강 에지의 위상이 일치하도록, 클럭 생성부(62)의 클록 신호(Ck)의 주파수나 위상을 제어한다. 이것에 의해, 통신 타이밍 신호(St)에 동기한 클록 신호(Ck)나 분주 펄스(P6fs)가 생성된다. 그리고, 통신 타이밍 신호(St)에 동기한 분주 펄스(P6fs)로부터, 소정의 타이밍만큼 지연된 펄스인 서보 기동 타이밍 신호(Sst)가 생성된다. 또한, PWM 캐리어 신호(Sc)는 서보 기동 타이밍 신호(Sst)의 타이밍에 근거해서 생성되고 있다. 여기서, 이와 같이 생성된 서보 기동 타이밍 신호(Sst)나 PWM 캐리어 신호(Sc)도 통신 타이밍 신호(St)에 동기하고 있다.

이와 같이, 동기 타이밍 생성부(16)는 통신 처리부(12)로부터 통신 타이밍 신호(St)가 송신되었을 때, 다음의 목적을 달성하기 위해서, PWM 캐리어 신호 등의 위상이 통신 타이밍 신호(St)에 동기하도록 클록 신호(Ck)를 조정한다. 즉, 달성하려는 목적은, 동기 타이밍 생성부(16)가 통신 타이밍 신호(St)를 수신하고 나서, 소정의 타이밍만큼 지연된 시간에, 미리 설정된 주기의 서보 기동 타이밍 신호(Sst)를 출력하는 것이다. 본 실시 형태에 있어서, 미리 설정된 주기는 통신 주기의 1/n배(n는 정수)이다.

여기서, PWM 캐리어 신호(Sc)에 대해 설명한다.

PWM 캐리어 신호(Sc)는 토크 지령(Tcc)의 크기에 상응한 구동 파형을 펄스폭 변조하는데 사용되는 삼각파이다. 즉, PWM 캐리어 신호(Sc)에 동기한 서보 기동 타이밍 신호(Sst)는, 모터(30)에 공급하는 구동 전압(Vd)을 조정하는 타이밍의 트리거라고도 할 수 있다. 따라서, 서보 기동 타이밍 신호(Sst)의 타이밍에 근거해서 각각의 모터 제어 장치(10)에서 행해지는 제어 처리는 PWM 캐리어 신호(Sc)의 주기에 맞춰 실행된다. 이와 같이, 모터 제어 장치(10)에 있어서, 모터(30)에 전류를 공급하는 타이밍이나, 모터 제어 장치(10) 내에서 실행되는 제어 처리의 타이밍은, 동기 타이밍 생성부(16)에 의해 통신 타이밍 신호(St)에 동기하도록 조정되고 있다.

본 실시 형태에 있어서, 미리, 통신 주기는 1 주기가 0.6ms(600㎲)로 설정되어 있다. 또한, PWM 캐리어 신호(Sc)나 서보 기동 타이밍 신호(Sst)는 1 주기가 통신 주기의 1/6로 설정되어 있다. 여기서, 클록 신호(Ck)의 클럭 주파수를 1 MHz로 한 경우, 분주 카운터(63)의 분주비로서 600 분주로 설정함으로써, 1 주기가 0.6ms의 분주 펄스 신호(Pfs)를 생성할 수 있다. 또, 분주 카운터(63)의 분주비로서 100 분주로 설정함으로써, 서보 기동 타이밍 신호(Sst)와 동일하게 1 주기가 0.1ms(100㎲)의 분주 펄스 신호(P6fs)를 생성할 수 있다. 또, 도 5에서는, PWM 캐리어 신호가 0일 때, 서보 기동 타이밍 신호(Sst)가 출력되는 위상 관계의 예를 나타내고 있다. 또, 도 5에서는, 서보 기동 타이밍 신호(Sst)는, 통신 타이밍 신호(St)의 하강 타이밍으로부터 10㎲ 후에 출력되는 예를 나타내고 있다.

환언하면, 동기 타이밍 생성부(16)에서 PWM 캐리어 신호(Sc) 등이, 통신 타이밍 신호(St)에 동기하도록 조정된다. 그리고, 이와 같이 조정된 결과, 서보 기동 타이밍 신호(Sst)의 타이밍에 있어서, 모터 제어 장치(10) 각각이, 동일 타이밍에서, 모터 제어부(14), 토크 보정부(17)이나 구동부(15)의 처리가 실행된다.

모터 제어 장치(10)에서는, 토크 보정부(17)에서, X축의 위치 지령(Pcx)에 따른 토크 보정치(Cot)가 산출된다. 토크 보정부(17)에서는, 산출된 토크 보정치(Cot)가, 모터 제어부(14)에서 생성한 자신 축의 토크 지령(Tc)에 가산된다. 따라서, 각각, 보정된 토크 지령(Tcc)이 산출된다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 이렇게 해서 얻어진 보정된 토크 지령(Tcc)이, 다음 주기의 서보 기동 타이밍 신호(Sst)의 타이밍에 있어서, 토크 보정부(17)로부터 구동부(15)에 송신된다.

구동부(15)에서는, 보정된 토크 지령(Tcc)에 따라서, 모터(30)에 공급하는 구동 전압(Vd)이 생성된다. 구동 전압(Vd)은, 그 후 발생하는 서보 기동 타이밍 신호(Sst)의 타이밍에 맞춰서, 구동부(15)로부터 모터(30)에 공급된다.

이와 같이 해서, 각각의 콘트롤러(80)와 모터 제어 장치(20)에 지시된 내용은, 콘트롤러(80)의 각각에 접속된 모터(30)에 대해서, 동기해서 반영된다.

즉, 본 구성에 있어서, 모터 제어부(14)를 포함한, 각 처리 공정에 있어서, 각각의 연산 공정에 시간적 격차가 생겼다고 해도, 각각의 모터 제어 장치(10)에 지시된 지령 내용은, 다음의 이유에 의해, 동기해서 모터(30)에 반영된다. 즉, 각각의 모터 제어 장치(10)에 지시된 지령 내용은 서보 기동 타이밍 신호(Sst)가 출력되는 타이밍마다 실행된다. 환언하면, 콘트롤러(80)로부터 각각의 모터 제어 장치(10)에 송신되는 제어 신호의 1 단위와, 서보 기동 타이밍 신호(Sst)의 주기를 동기시킴으로써, 모터 제어 장치(10) 각각이 수신한 제어 신호를 동일 타이밍에서 실행할 수 있다.

또한, 모터 제어 장치(10)가 모터(30)에 공급하는 구동 전압(Vd)에는, 최신의 X축 부하(36)의 위치 지령(Pcx)이 반영되어 있다. 따라서, 본 실시 형태에 있어서의 모터 제어 시스템(100)을 갠트리 기구에 이용했다고 해도, X축 부하(36)의 위치에 기인하는 비트림이 생기지 않는다.

이 결과, 본 모터 제어 시스템(100)은 모터 제어 장치(10, 20)의 각각에서 생기는 부하 특성에 따라서, 원활히 위치 결정을 행할 수 있다.

(실시 형태 2)

도 6은 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 모터 제어 시스템(102)의 블럭도이다.

도 6에 있어서, 실시 형태 1에 있어서의 모터 제어 시스템(100)과 마찬가지의 구성에 대해서는, 동일 부호를 부여해서, 설명을 원용한다.

도 1에 나타내는 실시 형태 1에 있어서의 모터 제어 시스템(100)과의 비교에 있어서, 도 6에 나타내는 모터 제어 시스템(102)에서는, 토크 보정부(17)에 대해서, X축에 있어서의 검출한 위치를 나타내는 검출 위치 정보(Pdx)가 공급되고 있고, 이 구성이 실시 형태 1과 상이하다.

도 5에서 설명한 바와 같이, 통신 신호(Cm)에는, 모터 제어 장치(10)로부터 송신되는 데이터나 모터 제어 장치(20)로부터 송신되는 데이터가 포함되어 있다. 이들 데이터에는, 모터 제어 장치(10)의 검출 위치 정보(Pdy)나 모터 제어 장치(20)의 검출 위치 정보(Pdx)가 포함되어 있다. 그래서, 제 1 그룹인 모터 제어 장치(10)는, 제 2 그룹의 모터 제어 장치(20)에 있어서의 동작 정보로서 통신 주기마다 통신 신호(Cm)에 포함되는 검출 위치 정보(Pdx)를 추출하고 있다. 그리고, 모터 제어 장치(10)에 있어서, 통신 처리부(12)로부터 토크 보정부(17)에 대해서, X축에 있어서의 검출 위치 정보(Pdx)가 공급된다.

이 검출 위치 정보(Pdx)는, X축 위치 지령(Pcx)과 마찬가지로, X축 부하(36)의 실제 위치에 대응하고 있다.

이로부터, 예를 들면, 표 1에서의 위치로서 X축 위치 지령(Pcx) 대신에, 검출 위치 정보(Pdx)로 하는 것에 의해서도 토크 보정치(Cot)를 구할 수 있다.

(실시 형태 3)

도 7은 본 발명의 실시 형태 3에 있어서의 모터 제어 시스템(103)의 블럭도이다.

도 7에 있어서, 실시 형태 1에 있어서의 모터 제어 시스템(100)과 마찬가지의 구성에 대해서는, 동일 부호를 부여해서, 설명을 원용한다.

도 1에 나타내는 실시 형태 1에 있어서의 모터 제어 시스템(100)과의 비교에 있어서, 도 7에 나타내는 모터 제어 시스템(103)에서는, 모터 제어 장치(10)에 있어서, 토크 보정부(17) 대신에 FF 게인 보정부(18)를 구비하고 있다. 또한, 이 FF 게인 보정부(18)에는, 통신 처리부(12)로부터 X축 위치 지령(Pcx)과 함께, 토크 FF 게인 기준치(Ktfr)가 공급된다. 그리고, 이 FF 게인 보정부(18)로부터, 모터 제어부(14)의 토크 FF 처리부(45)에 대해서, 토크 FF 게인(Ktff)이 공급된다.

즉, 실시 형태 1에서는, 토크 FF 게인(Ktff)은 제어 파라미터의 하나로서 예를 들면 초기 설정시 등에 공급된 것에 대해, 본 실시 형태에서는, FF 게인 보정부(18)가 토크 FF 게인(Ktff)을 산출하고 있다. FF 게인 보정부(18)는 통신 처리부(12)로부터 통신 주기마다 공급되는 X축 위치 지령(Pcx)과 토크 FF 게인 기준치(Ktfr)에 근거해서, 이 토크 FF 게인(Ktff)을 산출하고 있다.

또, 본 실시 형태는, 실시 형태 1과 같은 토크 지령을 보정하는 구성은 아니기 때문에, 모터 제어부(14)에서 생성된 토크 지령(Tc)을 구동부(15)에 공급하고 있다.

이와 같이 모터 제어 장치(10)에 있어서 토크 FF 게인(Ktff)을 산출하기 위해, 본 실시 형태에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 보정량 산출부(82)를 갖는 FF 게인 보정부(18)를 마련하고 있다. 보정량 산출부(82)에는, 통신 처리부(12)로부터 통신 주기마다, X축을 제어하는 모터 제어 장치(20)에 대한 위치 지령인 X축 위치 지령(Pcx), 및 토크 FF부(452)에 있어서의 토크 FF 게인의 기준치로 하기 위한 토크 FF 게인 기준치(Ktfr)가 통지된다. 보정량 산출부(82)는, 이들 토크 FF 게인 기준치(Ktfr)와 X축 위치 지령(Pcx)에 근거해서, 토크 FF 게인(Ktff)을 산출하고 있다.

또, 보정량 산출부(82)는, 토크 FF 게인(Ktff)를 산출하기 위해, 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 보정량 테이블(83)과 승산기(74)를 갖고 있다. 보정량 테이블(83)은 X축 위치 지령(Pcx)을 보정 비율로 변환하는 변환 테이블이다. 즉, 이 보정량 테이블(83)에 X축 위치 지령(Pcx)이 공급됨으로써, 보정량 테이블(83)으로부터 보정 비율(Rc)이 출력된다. 승산기(74)는, 토크 FF 게인 기준치(Ktfr)에 대해서, 이 보정 비율(Rc)을 승산함으로써 토크 FF 게인(Ktff)을 구하고 있다.

여기서, 본 실시 형태에서의 보정량 테이블(83)에서는, X축 위치 지령(Pcx)에 근거해서, 다음과 같은 보정 비율(Rc)이 되도록 테이블이 설정되어 있다. 즉, 갠트리 구조의 제어 대상 기구(33)에 있어서, 부하(36)가 자신의 레일(34)에 가까워질수록, 보정 비율(Rc)이 커지도록, 테이블을 설정하고 있다. 환언하면, X축 위치 지령(Pcx)이 자신의 레일(34)에 가까워지는 지령일수록, 보정 비율(Rc)을 크게 하고 있다. 이것에 의해, 부하(36)가 자신의 레일(34)에 가까울수록, 토크 FF에 의한 토크량, 즉, 토크 FF부(452)로부터 출력되는 토크 FF치(Trf)가 커지도록 토크 지령(Tr)을 보정하고, Y1축과 Y2축의 구동력의 밸런스를 도모하고 있다. 즉, X축 방향에 있어서의 부하(36)의 위치에 의한 언밸런스에 대해, 부하(36)가 자신의 레일(34)에 가까울수록, 구동력이 커지도록 보정하고 있다.

이와 같이, 본 실시 형태에서도, 부하(36)의 위치에 의한 언밸런스를 보정할 수 있기 때문에, 예를 들면 갠트리 기구의 구성에 있어서도, 헤드의 위치에 의해 병행 동작하는 2축의 부하 특성에 변동이 생긴 경우, 양 축 사이에서, 비틀림이 생기는 것을 억제할 수 있다.

또한, 실시 형태 2에서도 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에서도, X축 위치 지령(Pcx) 대신에 검출 위치 정보(Pdx)를 이용해도 좋다.

본 발명의 모터 제어 시스템은, 각각의 축에 장착된 모터를 제어하는, 복수의 모터 제어 장치를 구비하는 모터 제어 시스템의 제어에 유용하다.

10, 20 모터 제어 장치
12　　통신 처리부
13　　제어 파라미터 설정부
14　　모터 제어부
15　　구동부
16　　동기 타이밍 생성부
17　　토크 보정부
18　　FF 게인 보정부
23　　데이터 송수신부
30　　모터
31　　코일
32　　위치 센서
33　　제어 대상 기구
34　　레일
35　　헤드
36　　부하
42　　위치 검출부
43　　위치 제어부
44　　속도 제어부
45　　토크 FF 처리부
46　　토크 제어부
50　　듀티
52　　구동 파형 생성부
53　　PWM 처리부
54　　인버터
62　　클럭 생성부
63　　분주 카운터
64　　위상 비교기
65　　PWM 캐리어 생성부
72, 82 보정량 산출부
73, 83 보정량 테이블
74　　승산기
76, 435, 446, 462 가산기
80　　콘트롤러
81　　통신선
100, 102, 103 모터 제어 시스템
132　　제어 파라미터 메모리
133　　파라미터 처리부
162　　타이밍 생성부
432, 443 감산기
433　　위치 비례부
434　　속도 FF부
442　　속도 검출부
444　　속도 비례부
445　　속도 적분부
452　　토크 FF부

Claims (6)

1. 모터를 각각 제어하는 복수의 모터 제어 장치와, 각각의 상기 모터를 제어하기 위한 각각의 동작 지령을 포함하는 통신 신호를 생성하고, 생성한 통신 신호를 상기 복수의 모터 제어 장치의 각각에 대해서, 소정의 통신 주기로 송신하는 콘트롤러를, 통신선을 통해서 통신 접속하는 모터 제어 시스템으로서,
   상기 복수의 모터 제어 장치는 제 1 그룹의 2개의 모터 제어 장치와 제 2 그룹의 모터 제어 장치를 포함하고,
   상기 제 1 그룹의 모터 제어 장치의 각각은,
   상기 통신 신호 중 장치 자신에 대한 동작 지령과, 상기 통신 신호 중 상기 제 2 그룹의 모터 제어 장치에 있어서의 동작 정보와, 게인 또는 정수와 토크 보정 기준치를 포함하는 제어 파라미터를, 상기 통신선을 거쳐서 상기 콘트롤러로부터 수신하는 제 1 데이터 송수신부와,
   상기 동작 지령에 근거해서, 상기 모터를 제어하기 위한 토크 지령 신호 Tc를 생성하는 모터 제어부와,
   상기 동작 정보에 근거해서 토크 보정 신호를 생성하고, 상기 토크 보정 신호를 이용해서, 상기 토크 지령 신호 Tc를 보정해서 보정된 토크 지령 Tcc를 출력하는 보정부와,
   상기 제 1 데이터 송수신부에서 수신한 상기 게인과 상기 정수의 적어도 어느 하나를 상기 모터 제어부에 설정하고, 또한 상기 토크 보정 기준치를 상기 보정부에 설정하는 제어 파라미터 설정부와,
   상기 보정부로부터 공급된 상기 보정된 토크 지령 Tcc에 근거해서 구동 전압을 생성하고, 상기 제 1 그룹의 모터의 각각으로 공급하는 구동부와,
   상기 제 1 그룹의 상기 모터 제어부 간의 처리 타이밍을 맞추는 타이밍 신호를 생성하는 동기 타이밍 생성부
   를 구비하는 모터 제어 시스템.
   
2. 모터를 각각 제어하는 복수의 모터 제어 장치와, 각각의 상기 모터를 제어하기 위한 각각의 동작 지령을 포함하는 통신 신호를 생성하고, 생성한 통신 신호를 상기 복수의 모터 제어 장치의 각각에 대해서, 소정의 통신 주기로 송신하는 콘트롤러를, 통신선을 통해서 통신 접속하는 모터 제어 시스템으로서,
   상기 복수의 모터 제어 장치는 제 1 그룹의 2개의 모터 제어 장치와 제 2 그룹의 모터 제어 장치를 포함하고,
   상기 제 1 그룹의 모터 제어 장치의 각각은,
   상기 통신 신호 중 장치 자신의 상기 모터를 구동하기 위해서 위치를 지령하는 위치 지령과, 상기 통신 신호 중 상기 제 2 그룹의 모터 제어 장치에 있어서의 동작 정보와, 게인과 정수를 포함하는 제어 파라미터를, 상기 통신선을 거쳐서 수신하는 제 1 데이터 송수신부와,
   상기 위치 지령에 근거해서, 상기 모터를 제어하기 위한 토크 지령을 생성하는 모터 제어부와,
   상기 제 1 그룹의 상기 모터 제어부 간의 처리 타이밍을 맞추는 타이밍 신호를 생성하는 동기 타이밍 생성부와,
   상기 제 1 데이터 송수신부에서 수신한 상기 정수를 상기 모터 제어부에 설정하는 제어 파라미터 설정부와,
   상기 위치 지령에 대해서 토크 피드포워드 게인을 이용해서 토크 피드포워드 처리를 행하는 토크 피드포워드 처리부와,
   상기 동작 정보와 상기 게인에 기초해서, 상기 토크 피드포워드 게인을 변경하는 보정부를 구비하는
   모터 제어 시스템.
   
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 동기 타이밍 생성부는, 상기 통신 주기에 동기하는 상기 타이밍 신호를 생성하고, 상기 타이밍 신호에 근거해서, 상기 모터 제어부가 처리를 실행하는, 모터 제어 시스템.
   
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 동작 지령은 장치 자신의 상기 모터를 구동하기 위해서 위치를 지령하는 위치 지령이며,
   상기 동작 정보는 상기 제 2 그룹의 모터 제어 장치에 대한 위치를 지령하는 위치 지령과, 상기 제 2 그룹의 모터 제어 장치에 있어서 검출한 위치를 나타내는 위치 정보 중 어느 하나인
   모터 제어 시스템
   
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 동작 정보는,
   상기 제 2 그룹의 모터 제어 장치에 있어서 검출한 위치를 나타내는 위치 정보이고,
   상기 제 2 그룹의 모터 제어 장치는,
   상기 통신선을 거쳐 상기 제 1 그룹의 모터 제어 장치와 통신 접속되고, 위치 센서로부터 출력된 위치 센서 신호에 근거해서 상기 위치 정보를 생성하고, 상기 위치 정보를 상기 동작 정보로서 출력하는 제 2 데이터 송수신부를 갖는
   모터 제어 시스템.
   
6. 제 1 항, 제 2 항 및 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수의 모터 제어 장치가 제어하는 각각의 상기 모터는 갠트리 기구(gantry mechanism)를 구성하는 부하를 위치 제어하는, 모터 제어 시스템.
   
   

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