KR102515961B1 - 모터 제어 방법, 모터 구동 장치, 산업용 로봇의 제어 방법 및 산업용 로봇 - Google Patents

모터 제어 방법, 모터 구동 장치, 산업용 로봇의 제어 방법 및 산업용 로봇 Download PDF

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마사시 하나오카
히로카츠 오쿠무라
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

위치 검출 시의 이상 발생 시에 모터(22)를 비상 정지시키는 것에 의한 암의 부적절한 동작의 발생을 회피한다.
위치 명령값과, 모터(22)에 탑재된 인코더(30)로부터 발신되는 위치 검출값에 기초하여, 모터(22)를 검출 위치 피드백 제어에 의해 구동하는 스텝(셀렉터(25, 32, 34)에서 0을 선택)과, 위치 검출값의 이상의 유무를 검출하는 스텝(인코더 통신 이상 판정부(38))을 구비하고, 또한 구동 중인 모터(22)에 흐르는 전류를 검출하는 스텝(전류 검출부(31))과, 위치 검출값의 이상이 검출된 경우에, 모터(22)의 제어 방식을, 검출 위치 피드백 제어로부터, 3상 전류 검출값에 기초하여 모터(22)의 회전 위치를 추정한 결과(위치 추정값)에 기초하여 모터(22)를 구동하는 센서리스 벡터 제어(셀렉터(25, 32, 34)에서 1을 선택)로 전환하는 스텝을 구비한다.

Description

모터 제어 방법, 모터 구동 장치, 산업용 로봇의 제어 방법 및 산업용 로봇{MOTOR CONTROL METHOD, MOTOR DRIVE DEVICE, INDUSTRIAL ROBOT CONTROL METHOD, AND INDUSTRIAL ROBOT}
본 발명은, 모터 제어 방법, 모터 구동 장치, 산업용 로봇의 제어 방법 및 산업용 로봇에 관한 것이다.
종래, 회전 위치 명령 신호와, 모터에 탑재된 회전 위치 검출기로부터 발신되는 회전 위치 신호에 기초하여, 모터를 피드백 제어에 의해 구동하는 스텝과, 회전 위치 신호의 이상의 유무를 검출하는 스텝을 구비하는 모터 제어 방법이 알려져 있다.
예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 모터 제어 방법에서는, 다음과 같이 하여 모터를 구동한다. 즉, 모터에 탑재된 회전 위치 검출기로서의 인코더로부터 출력되는 검출 위치 정보(회전 위치 신호)와, 컨트롤러로부터 출력되는 명령 위치 정보(회전 위치 명령 신호)에 기초하는 피드백 제어에 의해 모터를 구동한다. 모터의 구동 중에는, 명령 위치 정보(회전 위치 명령 신호)와 검출 위치 정보(회전 위치 신호)의 차에 대하여 소정값 이상인지 여부를 판정하고, 소정값 이상인 경우에는, 인코더의 이상을 검출한 것으로 하고, 구동용 전원을 차단하여 모터를 비상 정지시킨다. 특허문헌 1에 의하면, 이러한 모터 제어 방법에 의하면, 인코더의 이상이 발생한 경우에 모터를 비상 정지하여, 모터를 구동원으로 하는 로봇의 동작을 정지할 수 있게 된다.
WO2018-079075호 공보
그러나, 특허문헌 1에 기재된 모터 제어 방법에서는, 인코더의 고장이나 통신선의 단선 등에 의해 검출 위치 정보에 이상이 발생한 때에 모터를 비상 정지시키면, 모터를 구동원으로 하는 로봇에 부적절한 동작을 시켜 버릴 우려가 있다. 구체적으로는, 암 전체를 제1 모터의 구동에 의해 연직 방향을 축으로 하여 회전시키면서, 암의 팔꿈치를 제2 모터의 구동에 의해 굽힘 신장으로써, 암의 손끝을 소정의 궤도를 따르게 하여 이동시키는 로봇이 알려져 있다. 이러한 구성의 로봇에 있어서, 예를 들어 제2 모터의 회전 위치를 검출하는 인코더로부터 출력되는 회전 위치 정보(회전 위치 신호)에 이상이 발생한 것에 기초하여 제1 모터 및 제2 모터의 구동을 비상 정지시킨 것으로 한다. 그러면, 암의 손끝을, 소정의 궤도로부터 벗어난 위치로 이동시켜 주변의 기기나 구조물에 부딪쳐 버릴 우려가 있다. 암의 손끝이 소정의 궤도로부터 벗어난 위치로 이동해 버리는 것은, 이어서 설명하는 이유에 의한다. 즉, 제1 모터와 제2 모터가 서로 다른 구동량으로 회전함으로써, 암의 손끝이 소정의 궤도를 따라 이동하는 경우에, 2개의 모터가 동시에 정지하면, 구동량의 균형이 깨져 암의 손끝이 소정의 궤도로부터 벗어나 버리는 것이다.
본 발명은, 이상의 배경을 감안하여 이루어진 것이고, 그 목적으로 하는 점은, 다음과 같은 모터 제어 방법, 모터 구동 장치, 산업용 로봇의 제어 방법 및 산업용 로봇을 제공하는 것이다. 즉, 회전 위치 신호의 이상 발생 시에 모터를 비상 정지시키는 것에 의한 피조작체(예를 들어, 산업용 로봇의 암)의 부적절한 동작의 발생을 회피할 수 있는 모터 제어 방법 등이다.
본원의 제1 발명은, 회전 위치 명령 신호와, 모터에 탑재된 회전 위치 검출기로부터 발신되는 회전 위치 신호에 기초하여, 상기 모터를 피드백 제어에 의해 구동하는 스텝과, 상기 회전 위치 신호의 이상의 유무를 검출하는 스텝을 구비하는 모터 제어 방법에 있어서, 구동 중의 상기 모터에 흐르는 전류를 검출하는 스텝과, 상기 회전 위치 신호의 이상이 검출된 경우에, 상기 모터의 제어 방식을, 상기 회전 위치 신호에 기초하는 피드백 제어로부터, 상기 전류의 검출 결과에 기초하여 상기 모터의 회전 위치를 추정한 결과에 기초하여 상기 모터를 구동하는 센서리스 벡터 제어로 전환하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본원의 제2 발명은, 모터의 구동을 제어하는 모터 구동 장치이며, 제1 발명의 모터 제어 방법에 의해 상기 모터의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본원의 제3 발명은, 복수의 모터의 구동을 개별로 제어하여 산업용 로봇의 암의 위치를 변화시키는 산업용 로봇의 제어 방법이며, 복수의 모터에 있어서의 각각의 구동을, 제1 발명의 모터 제어 방법에 의해 제어하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본원의 제4 발명은, 복수의 모터의 구동을 개별로 제어하여 암의 위치를 변화시키는 산업용 로봇이며, 복수의 모터에 있어서의 각각의 구동을, 제2 발명의 모터 구동 장치에 의해 제어하는 것을 특징으로 하는 것이다.
이들 발명에 의하면, 회전 위치 신호의 이상 발생 시에 모터를 비상 정지시키는 것에 의한 피조작체의 부적절한 동작의 발생을 회피할 수 있다는 우수한 효과를 발휘한다.
도 1은 실시 형태에 관한 산업용 로봇을 도시하는 사시도이다.
도 2는 동 산업용 로봇을 도시하는 평면도이다.
도 3은 동 산업용 로봇에 탑재된 모터 구동 장치의 제어 구성을, 모터 등과 함께 도시하는 블록선도이다.
도 4는 동 모터 구동 장치의 제어 모드 선택부에 의해 실행되는 모드값 선택 처리의 처리 플로를 도시하는 흐름도이다.
도 5는 동 모터 구동 장치의 오픈 루프 제어 전기각 생성부의 제어 구성을 도시하는 블록선도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태에 관한 모터 제어 방법을 사용하는 모터 구동 장치 및 산업용 로봇의 실시 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 도면에 있어서는, 각 구성을 알기 쉽게 하기 위해, 실제의 구조, 그리고 각 구조에 있어서의 축척 및 수 등을 상이하게 하는 경우가 있다.
먼저, 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 기본적인 구성에 대하여 설명한다. 도 1은, 실시 형태에 관한 산업용 로봇(1)을 도시하는 사시도이다. 도 2는, 산업용 로봇(1)을 도시하는 평면도이다. 산업용 로봇(1)은, 유리 기판을 반송하기 위한 로봇이고, 암(2), 가대(3) 및 승강부(4)를 구비한다. 승강부(4)는, 가대(3)에 보유 지지되고, 도시하지 않은 승강 모터의 구동에 의해 상하 방향(도 1의 화살표 방향)으로 승강한다. 암(2)은, 유리 기판을 적재하는 수부(2A), 전완부(2B) 및 상완부(2C)를 구비하고, 승강부(4)에 의해 보유 지지된다.
상완부(2C)에 있어서의 승강부(4)와의 접속부인 견관절(2D)은, 제1 모터(22A)의 구동에 의해 수평 방향을 따라 회동하는 것이 가능하다. 구체적으로는, 제1 모터(22A)의 회전 구동력이 제1 벨트(2E)를 통해 견관절(2D)로 전달됨으로써, 견관절(2D)이 수평 방향으로 회동한다. 또한, 상완부(2C)와 전완부(2B)의 접속부인 팔꿈치 관절(2F)은, 제2 모터(22B)의 구동에 의해 수평 방향을 따라 회동하는 것이 가능하다. 구체적으로는, 제2 모터(22B)의 회전 구동력이 제2 벨트(2G)를 통해 팔꿈치 관절(2F)로 전달됨으로써, 팔꿈치 관절(2F)이 수평 방향으로 회동한다. 또한, 전완부(2B)와 수부(2A)의 접속부인 손목 관절은, 제2 모터(22B)의 구동력을 벨트를 통해 받음으로써, 수평 방향을 따라 회동하는 것이 가능하다.
산업용 로봇(1)에 있어서, 수부(2A)를 도 2의 일점쇄선으로 나타나는 궤도를 따라 화살표 방향으로 똑바로 이동시키기 위해서는, 견관절(2D)와 팔꿈치 관절(2F)의 각도를 1대 2의 비율로 하여 양 관절을 회전시킬 필요가 있다. 그것을 위해서는, 제1 모터(22A)와 제2 모터(22B)를 서로 다른 구동량으로 구동할 필요가 있다. 제1 모터(22A), 제2 모터(22B)의 각각의 회전 위치를 제어하지 않고 양 모터를 정지시킨 경우, 양 모터의 구동량의 밸런스를 무너뜨려 수부(2A)를 일점쇄선으로 나타나는 궤도로부터 벗어난 위치에서 정지시켜 버린다. 그러면, 수부(2A)가 주위의 구조물이나 장치에 부딪쳐 버릴 우려가 있다.
이어서, 실시 형태에 관한 모터 제어 방법을 사용하는 모터 구동 장치에 대하여 설명한다.
도 3은, 실시 형태에 관한 산업용 로봇(1)에 탑재된 모터 구동 장치(20)의 제어 구성을, 모터(32) 등과 함께 도시하는 블록선도이다. 또한, 산업용 로봇(1)은, 도 3에 도시되는 모터 구동 장치(20)로서, 암(2)의 견관절(2D)을 회동시키기 위한 모터 구동 장치(20), 암(2)의 팔꿈치 관절(2F) 및 손목 관절을 회동시키기 위한 모터 구동 장치(20) 및 승강부(4)를 승강시키기 위한 모터 구동 장치(20)의 3개를 구비한다.
3개의 모터 구동 장치(20)의 각각은, 모터(22)의 구동의 제어 방식으로서, 검출 위치 피드백 제어, 센서리스 벡터 제어 및 오픈 루프 제어의 3개를 전환하여 실행할 수 있다.
산업용 로봇(1)은, 3개의 모터 구동 장치(20)로 명령을 보내는 상위 컨트롤러(100)를 구비한다. 상위 컨트롤러(100)는, 기억 매체에 기억시키고 있는 제어 프로그램에 기초하여, 3개의 모터 구동 장치(20)의 각각에 대하여 위치 명령값(위치 명령 신호)을 송신한다. 3개의 모터 구동 장치(20)의 각각은, 상위 컨트롤러(100)로부터 보내져 오는 위치 명령값에 대응하는 회전 위치까지 모터(22)의 로터를 회전시키는 제어를 실행한다. 이 제어에 의해, 산업용 로봇(1)의 암(2)이 전술한 제어 프로그램에 기초한 동작을 행한다.
3개의 모터 구동 장치(20)의 구성은 서로 마찬가지이다. 따라서, 이하, 3개의 모터 구동 장치(20) 중, 1개만에 대하여, 구성을 상세하게 설명한다.
모터 구동 장치(20)는, 제어 모드 선택부(21), 위치 속도 제어부(23), 벡터 제어 DQ축 전류 명령 생성부(24), 제1 셀렉터(25), 전류 제어부(26), DQ 역변환부(27), PWM 제어부(28) 및 인버터(29)를 구비한다. 모터 구동 장치(20)에 의해 구동되는 모터(22)는, 상술한 제1 모터(22A), 제2 모터(22B), 또는 제3 모터이다. 모터 구동 장치(20)는, 전류 검출부(31), 제2 셀렉터(32), 벡터 제어 전기각 생성부(33), 제3 셀렉터(34), 위치 추정부(35) 및 오픈 루프 제어 전기각 생성부(36)를 구비한다. 또한, 모터 구동 장치(20)는, 오픈 루프 제어 DQ축 전류 명령 생성부(37), 인코더 통신 이상 판정부(38) 및 DQ 변환부(39)를 구비한다. 모터 유닛은, 모터(22) 및 로터리 인코더(30)를 구비한다.
상위 컨트롤러(100)로부터 출력되는 위치 명령값은, 모터 구동 장치(20)의 위치 속도 제어부(23) 및 오픈 루프 제어 전기각 생성부(36)에 입력된다.
산업용 로봇(1)의 암(2)에 있어서의 선회 동작(견관절(2D)의 회동), 관절 굽힘 신장 동작(견관절(2D), 팔꿈치 관절(2F) 및 손목 관절의 회동), 또는 승강 동작의 구동원인 모터(22)는, 삼상(U상, V상, W상) 교류의 PM(Permanent Magnet) 모터로 이루어진다. 모터(22)에 탑재된 회전 위치 검출기로서의 로터리 인코더(30)는, 주지의 기술에 의해 모터(22)의 로터의 회전 위치를 검출하고, 검출 결과의 정보를 위치 검출값(회전 위치 신호)으로서 출력한다. 출력된 위치 검출값은, 인코더 통신 이상 판정부(38), 제어 모드 선택부(21)에 입력된다. 또한, 위치 검출값은, 제2 셀렉터(32)를 통해 위치 속도 제어부(23)에도 입력된다.
또한, 이하, 모터(22)의 로터의 회전을, 모터(22)의 회전이라고 표현하는 경우가 있다.
인코더 통신 이상 판정부(38)는, 로터리 인코더(30)로부터 보내져 오는 위치 검출값에 대하여 이상의 유무를 검출하고, 이상을 검출한 경우에는 이상 발생 신호를 제어 모드 선택부(21) 및 상위 컨트롤러(100)로 송신한다. 인코더 통신 이상 판정부(38)에 의해 위치 검출값의 이상을 검출하는 방법의 일례로서, 위치 검출값의 시간 변화량이 소정의 역치를 초과한 경우(혹은 역치 이상인 경우)에, 이상으로서 검출하는 방법을 들 수 있다. 단, 이 방법에 한정되는 것은 아니다. 또한, 위치 검출값의 이상을 검출하는 방법으로서, 로터리 인코더(30)의 이상을 위치 검출값의 이상으로서 검출하는 방법을 채용해도 된다.
제어 모드 선택부(21)는, 로터리 인코더(30)로부터 보내져 오는 위치 검출값의 단위 시간당에 있어서의 변화량에 기초하여 모터(22)의 각속도를 산출하고, 산출 결과와, 위치 검출값의 이상의 유무에 기초하여 제어 모드값을 선택하여 출력한다.
도 4는, 제어 모드 선택부(21)에 의해 실행되는 모드값 선택 처리의 처리 플로를 도시하는 흐름도이다. 모드값 선택 처리에서는, 먼저, 인코더 통신 이상 판정부(38)로부터 필요에 따라 발신되는 이상 발생 신호에 대하여, 수신했는지 여부가 판정된다(S(스텝) 1). 그리고, 이상 발생 신호가 수신되지 않는 경우에는(S1에서 N), 제어 모드값으로서 「0」이 선택되고 제어 모드 선택부(21)로부터 출력된다(S2). 그 후, 처리 플로가 S1로 복귀된다.
한편, 이상 발생 신호가 수신된 경우에는(S1에서 Y), 이어서, 모터(22)의 각속도에 대하여, 소정값 이상인지 여부(혹은 소정값을 초과하는지 여부)가 판정된다(S3). 그리고, 각속도가 소정값 이상인 경우에는(S3에서 Y), 제어 모드값으로서 「1」이 선택되고 제어 모드 선택부(21)로부터 출력된다(S4). 한편, 소정값 이상이 아닌 경우(혹은 소정값을 초과하지 않는 경우)에는(S3에서 N), 제어 모드값으로서 「2」가 선택되고 제어 모드 선택부(21)로부터 출력된다.
이상과 같이 하여, 제어 모드값 선택 처리에서는, 위치 검출값의 이상이 발생하고 있지 않은 경우에는 제어 모드값으로서 「0」이 선택된다. 또한, 위치 검출값의 이상이 발생하고 또한 각속도가 소정값 이상인 경우에는 제어 모드값으로서 「1」이 선택되고, 위치 검출값의 이상이 발생하고 또한 각속도가 소정값 이상이 아닌 경우에는 제어 모드값으로서 「2」가 선택된다.
또한, 전술한 소정값은, 예를 들어 모터(22)의 정격 각속도의 10〔％〕이다.
상위 컨트롤러(100)는, 모터 구동 장치(20)로부터 이상 발생 신호가 보내져 오면, 3개의 모터 구동 장치(20)로 송신하는 위치 명령값을, 암(2)을 소정의 궤도 상에서 이동시키면서 암(2) 및 모터(22)를 감속 정지시키는 패턴으로 변화시킨다. 이로써, 암(2)은, 소정의 궤도 상에서 정지한다.
도 3에 있어서, 제어 모드 선택부(21)로부터 출력되는 제어 모드값은, 제1 셀렉터(25), 제2 셀렉터(32) 및 제3 셀렉터(34)(이하, 이것들을 통합하여 3개의 셀렉터(25, 32, 34)라고도 한다)의 각각에 입력된다. 3개의 셀렉터(25, 32, 34)의 각각은, 0번 입력 단자, 1번 입력 단자 및 2번 입력 단자를 구비하고, 제어 모드 선택부(21)로부터 보내져 오는 제어 모드값에 기초하여, 출력 신호를 전환한다. 구체적으로는, 3개의 셀렉터(25, 32, 34)의 각각은, 제어 모드값이 「0」인 경우에는 0번 입력 단자에 입력되는 신호를 출력하고, 「1」인 경우에는 1번 입력 단자에 입력되는 신호를 출력하고, 「2」인 경우에는 2번 입력 단자에 입력되는 신호를 출력한다.
이러한 구성의 3개의 셀렉터(25, 32, 34)의 각각으로부터는, 다음과 같은 신호가 출력된다. 즉, 위치 검출값의 이상이 발생하고 있지 않은 경우(제어 모드값＝0)에는, 모터(22)를, 위치 검출값에 의해 나타나는 위치로부터, 위치 명령값에 의해 나타나는 위치까지 회전시키는 검출 위치 피드백 제어를 실행하기 위한 신호가 출력된다. 또한, 위치 검출값의 이상이 발생하고, 또한 모터(22)의 각속도가 소정값 이상(혹은 소정값을 초과한다)인 경우(제어 모드값＝1)에는, 후술하는 센서리스 벡터 제어에 의해 모터(22)를 구동하기 위한 신호가 출력된다. 또한, 위치 검출값의 이상이 발생하고, 또한 모터(22)의 각속도가 소정값 미만(혹은 소정값 이하)인 경우(제어 모드값＝2)에는, 후술하는 오픈 루프 제어에 의해 모터(22)를 구동하기 위한 신호가 출력된다.
상술한 3개의 제어 방식 중, 먼저, 검출 위치 피드백 제어에 대하여 설명한다.
로터리 인코더(30)로부터 출력되는 위치 검출값의 이상이 없는 경우에는, 모터 구동 장치(20)가 검출 위치 피드백 제어에 의해 모터(22)를 구동한다. 구체적으로는, 위치 검출값의 이상이 없는 경우에는, 제2 셀렉터(32)로부터 위치 검출값이 출력되고, 위치 피드백값으로서 위치 속도 제어부(23) 및 벡터 제어 전기각 생성부(33)에 입력된다. 위치 속도 제어부(23)는, 모터(22)를 위치 피드백값에 의해 나타나는 위치로부터 위치 명령값에 의해 나타나는 위치까지 회전시키는 데 필요한 토크값을 산출하여 벡터 제어 DQ축 전류 명령 생성부(24)에 출력한다. 또한, 벡터 제어 전기각 생성부(33)는, 위치 피드백값에 기초하여 전기각을 생성한다. 이 전기각은, 제3 셀렉터(34)를 통해 DQ 변환부(39)에 입력된다.
벡터 제어 DQ축 전류 명령 생성부(24)는, 입력된 토크값과 동일한 토크를 발생시키는 데 필요한 D축 전류 및 Q축 전류를 모터(22) 내에서 발생시키기 위한 D축 전류 명령값 및 Q축 전류 명령값(이하, 이것들을 DQ축 전류 명령값이라고도 한다)을 생성한다. D축 전류는, 모터(22)에 흐르는 전류 중 영구 자석의 자속에 평행한 성분이다. 또한, Q축 전류는, 모터(22)에 흐르는 전류 중 영구 자석의 자속에 직교하는 성분이다.
벡터 제어 DQ축 전류 명령 생성부(24)로부터 출력되는 DQ축 전류 명령값은, 제1 셀렉터(25)의 0번 입력 단자 및 1번 입력 단자에 입력된다. 검출 위치 피드백 제어가 실행되는 경우(제어 모드값＝0) 및 센서리스 벡터 제어가 실행되는 경우(제어 모드값＝1)에는, 벡터 제어 DQ축 전류 명령 생성부(24)에 의해 생성된 DQ축 전류 명령값이 제1 셀렉터(25)로부터 출력된다. 이 DQ축 전류 명령값은, 전류 제어부(26)에 입력된다.
DQ 변환부(39)는, 제3 셀렉터(34)로부터 보내져 오는 전기각에 기초하여 D축 전류 피드백값 및 Q축 전류 피드백값(이하, DQ축 전류 피드백값이라고도 한다)을 생성하여 전류 제어부(26)에 출력한다. 또한, 후술하는 센서리스 벡터 제어 시에 있어서는, DQ 변환부(39)가, 제3 셀렉터(34)로부터 보내져 오는 전기각과, 전류 검출부(31)로부터 보내져 오는 3상 전류 검출값에 기초하여 DQ축 전류 피드백값을 생성한다.
전류 제어부(26)는, 제1 셀렉터(25)로부터 보내져 오는 DQ축 전류 명령값과, DQ 변환부(39)로부터 보내져 오는 DQ축 전류 피드백값에 기초하여, DQ축 전압 명령값을 생성하여 DQ 역변환부(27)에 출력한다.
DQ 역변환부(27)는, 제3 셀렉터(34)로부터 보내져 오는 전기각과, 전류 제어부(26)로부터 보내져 오는 DQ축 전압 명령값에 기초하여, 요구되는 D축 전류 및 Q축 전류를 모터(22) 내에 발생시키기 위한 U상 전압 명령값, V상 전압 명령값 및 W상 전압 명령값(이하, 삼상 전압 명령값이라고도 한다)을 생성하여 출력한다. DQ 역변환부(27)로부터 출력되는 삼상 전압 명령값은, PWM 제어부(28)에 입력된다. PWM 제어부(28)는, U상 전압 명령값, V상 전압 명령값, W상 전압 명령값에 의해 나타나는 U상 전압, V상 전압, W상 전압을 인버터(29)로부터 출력시키기 위한 PWM 신호로 이루어지는 U상 게이트 신호, V상 게이트 신호, W상 게이트 신호를 출력한다. 인버터(29)는, U상 게이트 신호, V상 게이트 신호, W상 게이트 신호에 기초하는 U상 전압, V상 전압, W상 전압을 모터(22)에 공급하여, 모터(22)를 회전시킨다.
전류 검출부(31)는, 인버터(29)로부터 모터(22)로 흐르는 U상 전류, V상 전류 및 W상 전류(이하, 이것들을 3상 전류라고도 한다)를 검출하고, 검출 결과를 U상 전류 검출값, V상 전류 검출값, W상 전류 검출값(이하, 3상 전류 검출값이라고도 한다)으로서 출력한다. 또한, 삼상의 전류값을 검출하는 것 대신에, 삼상 중, 2상의 전류값만을 검출하고, 나머지 1상의 전류값에 대해서는, 2상의 전류값 검출 결과에 기초하여 산출해도 된다.
로터리 인코더(30)로부터 출력되는 위치 검출값의 이상이 없는 경우에는, 이상과 같은 검출 위치 피드백 제어에 의해 모터(22)가 구동된다.
이어서, 센서리스 벡터 제어에 대하여 설명한다. 센서리스 벡터 제어가 실행되는 경우, 즉, 위치 검출값의 이상이 있고, 또한 이상 발생 직전의 모터(22)의 각속도가 소정값 이상인(혹은 소정값을 초과하는) 경우(제어 모드값＝1)에는, 이하와 같이 하여 모터(22)가 구동된다. 즉, 전류 검출부(31)로부터 출력되는 3상 전류 검출값은, DQ 변환부(39)에 입력된다. DQ 변환부(39)는, 3상 전류 검출값과, 제3 셀렉터(34)로부터 보내져 오는 전기각에 기초하여, DQ축 전류 피드백값을 생성하여 출력한다. 출력된 DQ축 전류 피드백값은, 전류 제어부(26) 및 위치 추정부(35)에 입력된다.
전류 제어부(26)는, 제1 셀렉터(25)로부터 보내져 오는 DQ축 전류 명령값과, DQ 변환부로부터 보내져 오는 DQ축 전류 피드백값에 기초하여, DQ축 전압 명령값을 생성하여 출력한다. 위치 추정부(35)는, 전류 제어부(26)로부터 보내져 오는 DQ축 전압 명령값과, DQ 변환부(39)로부터 보내져 오는 DQ축 전류 피드백값에 기초하여, 모터(22)의 회전 위치를 추정한다.
위치 추정부(35)는, DQ 변환부(39)로부터 보내져 오는 DQ축 전류 피드백값과, 전류 제어부(26)로부터 보내져 오는 DQ축 전압 명령값에 기초하여, 위치 추정값과, 전기각 추정값을 구한다. 그리고, 위치 추정부(35)는, 위치 추정값을 제2 셀렉터(32)의 1번 입력 단자에 출력하고, 또한 전기각 추정값을 제3 셀렉터의 1번 입력 단자에 출력한다.
위치 추정부(35)로부터 출력되는 위치 추정값은, 제2 셀렉터(32)를 통해, 위치 피드백값으로서 위치 속도 제어부(23)에 입력된다. 위치 속도 제어부(23)는, 위치 피드백값으로서 위치 추정값을 사용하는 점 외에는 검출 위치 피드백 제어와 마찬가지로 하여 토크 명령값을 출력한다. 이 토크 명령값에 기초하는 U상 게이트 신호, V상 게이트 신호, W상 게이트 신호로서 인버터(29)에 입력될 때까지의 처리는, 검출 위치 피드백 제어와 마찬가지이다. 즉, 센서리스 벡터 제어에서는, 위치 검출값 대신에, 모터(22) 내에서 발생하는 유기 전압에 기초하는 위치 추정값을 위치 피드백값으로서 위치 속도 제어부(23)에 피드백하는 점 외에는, 검출 위치 피드백 제어와 동일한 처리가 행해진다.
또한, 모터 구동 장치(20)는, 센서리스 벡터 제어에 있어서, 검출 위치 피드백 제어에 비해 위치 속도 제어의 제어 루프 게인을 저하시킨다. 제어 루프 게인을 저하시키는 방법의 일례로서, 상위 컨트롤러(100)의 명령에 의해 제어 루프 게인을 저하시키는 방법을 들 수 있다. 암(2)의 궤도를 고정밀도로 유지하기 위해서는, 위치 검출값의 이상이 발생한 모터 구동 장치(20)뿐만 아니라, 다른 모터 구동 장치(20)의 위치 속도 제어의 제어 루프 게인도 저하시키는 것이 바람직하다. 상위 컨트롤러(100)의 명령에 의하면, 모든 모터 구동 장치(20)에 있어서의 위치 속도 제어의 제어 루프 게인을 적절하게 저하시키는 것이 가능하다.
모터 구동 장치(20)의 위치 속도 제어의 제어 루프 게인을 저하시키는 다른 일례로서, 위치 검출값의 이상을 일으킨 모터 구동 장치(20)의 처리에 의해, 그 모터 구동 장치(20)의 위치 속도 제어의 제어 루프 게인만 저하시키는 방법을 들 수 있다. 이 방법의 처리의 일례로서는, P-PI 제어에 의해 위치와 속도를 제어하는 구성에 있어서, 속도 루프 게인, 위치 루프 게인 및 속도 루프 적분 게인의 각각을 저하시키는 방법을 들 수 있다. 또한, 다른 일례로서, 예를 들어 일본 특허 공개 제2002-229604호 공보에 기재한 바와 같은 RPP 제어에 의해 위치와 속도를 제어하는 구성에 있어서, ω2 게인, ω1 게인, ωq 게인을 저하시키는 방법을 들 수 있다. 또한, 또 다른 일례로서, RPP 제어에 의해 위치와 속도를 제어하는 구성에 있어서, 이너셔 노미널 설정값을 저하시키는 방법을 들 수 있다. 이너셔 노미널 설정값을 저하시킴으로써, ω2 게인, ω1 게인을 근사적으로 저하시키는 것이 가능하다. 이 방법에 의하면, 제어 루프 게인을 저하시키기 위한 전용 프로그램을 구축하지 않고, 제어 루프 게인을 적절하게 저하시킬 수 있다.
이어서, 오픈 루프 제어에 대하여 설명한다. 오픈 루프 제어가 실행되는 경우, 즉, 위치 검출값의 이상이 있고, 또한 모터(22)의 각속도가 소정값 미만인(혹은 소정값 이하인) 경우(제어 모드값＝2)에는, 이하와 같이 하여 모터(22)가 구동된다. 즉, 오픈 루프 제어 전기각 생성부(36)는, 상위 컨트롤러(100)로부터 보내져 오는 위치 명령값에 기초하여 모터(22)의 자극을 끌어당기는 회전 위치(이하, 강제 동기 위치 명령값이라고 한다)를 산출하여 오픈 루프 제어 DQ축 전류 명령 생성부(37)에 출력한다. 또한, 위치 명령값에 기초하여 전기각을 산출하여 제3 셀렉터(34)에 출력한다.
도 5는, 오픈 루프 제어 전기각 생성부(36)의 회로 구성을 도시하는 블록선도이다. 오픈 루프 제어 전기각 생성부(36)는, 제어기(36a)와, 기계계의 모델(36b)과, 전기각 산출부(36c)를 구비한다. 제어기(36a)는, 도 3의 위치 속도 제어부(23)와 동일한 구성의 위치 속도 제어부를 구비하고, 상위 컨트롤러(100)로부터 보내져 오는 위치 명령값에 기초하여 토크 명령값을 생성하여 출력한다.
기계계의 모델(36b)은, 모터의 모델과, 모터에 대한 부하의 모델을 구비한다. 또한, 도 5에서는 편의상, 도시가 생략되어 있지만, 기계계의 모델(36b)은, 인버터의 모델과, 로터리 인코더의 모델과, 전류 검출부의 모델을 구비한다. 이들 모델은, 실제의 산업용 로봇(1)을 사용한 실험에 기초하여 구축된 모델이고, 토크 명령값이 변화 전의 값으로부터 변화 후의 값으로 변화된 경우에, 모터(22)의 회전 위치가 어떻게 변화되는지를 시뮬레이션하는 알고리즘을 구비한다. 기계계의 모델(36b)은, 제어기(36a)로부터 보내져 오는 토크 명령값을 알고리즘에 대입함으로써, 모터(22)의 회전 위치를 위치 시뮬레이션값으로서 생성하여 출력한다. 출력된 위치 시뮬레이션값은, 제어기(36a)에 입력된다. 또한, 위치 시뮬레이션값은, 도 3의 오픈 루프 제어 DQ축 전류 명령 생성부(37)에 강제 동기 위치 명령값으로서 입력된다. 또한, 위치 시뮬레이션값은, 전기각 산출부(36c)에 입력된다. 전기각 산출부(36c)는, 위치 시뮬레이션값에 기초하여 전기각 추정값을 산출하고, 산출 결과를, 도 3의 제3 셀렉터(4)를 통해 DQ 변환부(39) 및 DQ 역변환부(27)에 출력한다.
<구성 1>
(1) 이상의 구성의 산업용 로봇(1)에 사용되는 모터 제어 방법의 구성 1은, 위치 명령값(회전 위치 명령 신호)과, 모터(22)에 탑재된 로터리 인코더(30)(회전 위치 검출기)로부터 발신되는 위치 검출값(회전 위치 신호)에 기초하여, 모터(22)를 검출 위치 피드백 제어에 의해 구동하는 스텝을 구비한다. 이 스텝은, 위치 속도 제어부(23), 벡터 제어 DQ축 전류 명령 생성부(24), 벡터 제어 전기각 생성(33), DQ 변환부(39), 전류 제어부(26), DQ 역변환부(27), PWM 제어부(28), 인버터(29) 및 로터리 인코더(30) 등에 의한 처리에 의해 실현된다. 또한, 구성 1은, 회전 위치 신호의 이상의 유무를 검출하는 스텝(인코더 통신 이상 판정부(38))과, 구동 중인 모터(22)에 흐르는 3상 전류를 검출하는 스텝(전류 검출부(31))을 구비한다. 또한, 구성 1은, 위치 검출값의 이상이 검출된 경우에, 모터(22)의 제어 방식을, 검출 위치 피드백 제어로부터, 3상 전류 검출값에 기초하여 모터(22)의 회전 위치를 추정한 결과에 기초하여 모터(22)를 구동하는 센서리스 벡터 제어로 전환하는 스텝(도 4의 S3에서 Y→S4)을 구비한다.
<구성 1의 작용 효과>
구성 1에 있어서는, 위치 검출값에 이상이 발생한 경우에, 센서리스 벡터 제어에 의해, 모터(22)에 흐르는 3상 전류 검출값에 기초하여 모터(22)의 회전 위치를 추정하고, 추정 결과(위치 추정값)에 기초하여 모터(22)의 회전 동작을 적절하게 제어한다. 이때, 상위 컨트롤러(100)로부터, 산업용 로봇(1)의 암(2)을 적절한 궤도를 따라 감속 정지시키는 신호 패턴으로 보내져 오는 위치 명령값(회전 위치 명령 신호)에 따라 모터(22)를 감속시킨다. 이로써, 위치 검출값의 이상 발생 시에 모터(22)를 비상 정지시키는 것에 의한 암(2)의 부적절한 동작의 발생을 회피할 수 있다. 따라서, 구성 1에 의하면, 암(2)을 산업용 로봇(1)의 주변의 기기나 구조물에 충돌시키지 않고, 목표의 궤도를 따라 이동시키면서 감속, 정지시킬 수 있다.
<구성 2>
구성 2는, 위치 명령값과, 모터(22)에 탑재된 로터리 인코더(30)로부터 발신되는 위치 검출값에 기초하여, 모터(22)를 검출 위치 피드백 제어에 의해 구동하는 스텝을 구비한다. 또한, 구성 2는, 위치 검출값의 이상의 유무를 검출하는 스텝과, 위치 검출값의 이상이 검출된 경우에, 모터(22)의 제어 방식을, 검출 위치 피드백 제어로부터, 전류 인입법에 의한 오픈 루프 제어로 전환하는 스텝(도 4의 S3에서 N→S5)을 구비한다.
<구성 2의 작용 효과>
구성 2에 있어서는, 위치 검출값에 이상이 발생한 경우에, 전류 인입법에 의한 오픈 루프 제어에 의해 모터(22)의 회전 동작을 적절하게 제어한다. 이때, 상위 컨트롤러(100)로부터, 암(2)을 적절한 궤도를 따라 감속 정지시키는 신호 패턴으로 보내져 오는 위치 명령값에 따라 모터(22)를 감속 정지시킨다. 이로써, 위치 검출값의 이상 발생 시에 모터(22)를 비상 정지시키는 것에 의한 암(2)의 부적절한 동작의 발생을 회피할 수 있다. 따라서, 구성 2에 의하면, 암(2)을 산업용 로봇(1)의 주변의 기기나 구조물에 충돌시키지 않고, 목표의 궤도를 따라 이동시키면서 감속, 정지시킬 수 있다.
또한, 위치 검출값의 이상 발생 시에 있어서, 암(2)(피조작체)의 동작을 정지시키기 위해 상위 컨트롤러(100)로부터 보내져 오는 위치 명령값의 변화 패턴은, 모터(22)의 구동을 단순하게 감속 정지시키는 패턴에 한정되지 않는다. 암(2)의 구조에 따라서는, 모터(22)를 감속 정지시킨 직후에, 모터(22)를 역회전시켜 역방향의 가속과 감속을 차례로 행함으로써, 암(2)을 적절한 궤도를 따라 정지시키는 것이 가능한 경우도 있을 수 있다.
<구성 3>
구성 3은, 구성 1에 더하여, 다음의 구성 요소를 구비한다. 즉, 위치 검출값의 이상이 검출된 경우에, 소정의 고속 각속도 영역(소정값 이상)에서는, 센서리스 벡터 제어에 의해 모터(22)를 구동한다(도 4의 S3에서 Y→S4). 또한, 고속 각속도 영역보다도 낮은 저속 각속도 영역(소정값 미만)에서는, 전류 인입법에 의한 오픈 루프 제어에 의해 모터를 구동한다(도 4의 S3에서 N→S5).
<구성 3의 작용 효과>
구성 3에 있어서, 모터(22)가 비교적 높은 속도로 회전하고 있을 때에는, 센서리스 벡터 제어에 의해, 모터(22) 내에서 양호하게 발생하는 유기 전압을 추정하고, 추정된 유기 전압으로부터 모터(22)의 회전 위치를 추정하고, 추정 결과에 기초하여 모터(22)를 구동한다. 이로써, 모터(22)의 회전 동작을 적절하게 제어한다. 센서리스 벡터 제어에 의해, 모터(22) 내에서 충분한 유기 전압을 발생시키지 않게 될 정도까지 모터(22)의 각속도를 저하시키면, 모터(22)의 구동 제어를, 센서리스 벡터 제어로부터 오픈 루프 제어로 전환하고, 전류 인입법에 의해 모터(22)의 회전 동작을 적절하게 제어한다. 이들 제어에 의해, 모터(22)가 비교적 높은 속도로 회전하고 있을 때에 위치 검출값에 이상이 발생한 경우에, 센서리스 벡터 제어와 오픈 루프 제어를 차례로 실시하고, 모터(22)의 회전 동작을 적절하게 제어하면서 모터(22)를 서서히 감속하여 정지시킬 수 있다.
또한, 모터(22)가 비교적 낮은 속도로 회전하고 있을 때에 위치 검출값에 이상이 발생한 경우에는, 센서리스 벡터 제어는 실행되지 않고, 오픈 루프 제어만에 의해 모터(22)가 감속 정지된다.
또한, 위치 검출값의 이상 발생 시에 있어서, 암(2)의 동작을 정지시키기 위해 상위 컨트롤러(100)로부터 보내져 오는 위치 명령값의 변화 패턴은, 모터(22)의 구동을 단순하게 감속 정지시키는 패턴에 한정되지 않는다. 암(2)의 구조에 따라서는, 다음과 같은 패턴에 의해, 암(2)을 적절한 궤도를 따라 감속 정지시키는 것이 가능한 경우도 있을 수 있다. 즉, 먼저, 센서리스 벡터 제어와 오픈 루프 제어에 의해 모터(22)의 구동을 정지시킨다. 그 직후에, 오픈 루프 제어에 의해 모터(22)를 역회전시킨 후, 센서리스 벡터 제어에 의해 역방향으로의 가속과 감속을 행하고 나서, 오픈 루프 제어에 의해 모터를 감속 정지시킨다는 패턴이다.
<구성 4>
구성 4는, 구성 1 또는 3에 추가하여, 센서리스 벡터 제어에서는, 검출 위치 피드백 제어에 비해, 위치 속도 제어의 제어 루프 게인을 저하시키는 구성을 구비한다.
<구성 4의 작용 효과>
구성 4에 의하면, 이어서 설명하는 이유에 의해, 센서리스 벡터 제어에 의해 모터를 구동할 때의 모터(22)의 진동을 억제할 수 있다. 즉, 검출 위치 피드백 제어에 있어서의 위치 속도 제어 루프는, 위치 명령값과 위치 검출값에 기초하는 토크 명령값(토크 명령 신호)이 위치 속도 제어부(23)로부터 출력되고 나서, 토크 명령값에 응답한 모터(22)의 위치 검출값이 위치 속도 제어부(23)로 전해질 때까지의 루프이다. 또한, 센서리스 벡터 제어에 있어서의 위치 속도 제어 루프는, 위치 명령값과 위치 검출값에 기초하는 토크 명령값이 위치 속도 제어부(23)로부터 출력되고 나서, 토크 명령값에 응답한 모터(22)의 위치 추정값의 신호가 위치 속도 제어부(23)로 전해질 때까지의 루프이다. 센서리스 벡터 제어에 있어서, 회전 위치의 추정의 정밀도가 양호하지 않은 경우에는, 위치 속도 제어 루프의 주파수 응답 특성이, 검출 위치 피드백 제어의 위치 속도 제어 루프의 주파수 응답 특성과는 다른 것에 기인하여 모터(22)의 진동이 발생해 버린다. 구성 4에서는, 센서리스 벡터 제어에 있어서 위치 속도 제어 루프의 개방 루프 게인을 검출 위치 피드백 제어에 비해 낮춤으로써, 위치 속도 제어 루프의 주파수 응답 특성이 다른 것에 의한 모터(22)의 진동을 억제할 수 있다.
<구성 5>
구성 5는, 모터(22)의 구동을 제어하는 모터 구동 장치(20)이며, 구성 1 내지 4의 어느 모터 제어 방법에 의해 모터(22)의 구동을 제어하는 것이다.
<구성 5의 작용 효과>
구성 5에 의하면, 구성 1 내지 4의 어느 모터 제어 방법에 의해 모터(22)의 회전을 정지시킴으로써, 모터(22)를 비상 정지시키는 것에 의한 암의 부적절한 동작의 발생을 회피할 수 있다. 따라서, 암(2)을 산업용 로봇(1)의 주변의 기기나 구조물에 충돌시키지 않고, 목표의 궤도를 따라 이동시키면서 감속, 정지시킬 수 있다.
<구성 6>
구성 6은, 복수의 모터(22)의 구동을 개별로 제어하여 산업용 로봇(1)의 암(2)의 위치를 변화시키는 산업용 로봇(1)의 제어 방법이며, 복수의 모터(22)에 있어서의 각각의 구동을, 구성 1 내지 4의 어느 모터 제어 방법에 의해 제어하는 것이다.
<구성 7>
구성 7은, 복수의 모터(22)의 구동을 개별로 제어하여 암(2)의 위치를 변화시키는 산업용 로봇(1)이며, 복수의 모터(22)에 있어서의 각각의 구동을, 구성 5의 모터 구동 장치(20)에 의해 제어하는 것이다.
<구성 6, 7의 작용 효과>
구성 6, 7에 있어서는, 암(2)의 구동원으로 되는 복수의 모터(22) 중, 위치 검출값의 이상이 발생한 모터(22)의 회전 동작을 센서리스 벡터 제어 또는 오픈 루프 제어에 의해 적절하게 제어하면서, 다른 모터(22)의 회전 동작을 검출 위치 피드백 제어에 의해 적절하게 제어하여, 모든 모터(22)의 회전을 적절하게 정지시킨다. 이러한 구성에 의하면, 복수의 모터(22) 중 적어도 어느 하나의 모터(22)에 있어서 위치 검출값의 이상이 발생한 때에, 모든 모터(22)를 비상 정지시키는 것에 의한 암(2)의 부적절한 동작의 발생을 회피할 수 있다. 따라서, 암(2)을 산업용 로봇(1)의 주변의 기기나 구조물에 충돌시키지 않고, 목표의 궤도를 따라 이동시키면서 감속, 정지시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은, 실시 형태에 한정되지 않고, 그 요지의 범위 내에서 다양한 변형 및 변경이 가능하다. 실시 형태는, 발명의 범위 및 요지에 포함되는 동시에, 특허 청구범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함된다.
1: 산업용 로봇
2: 암
20: 모터 구동 장치
21: 제어 모드 선택부
22: 모터
23: 위치 속도 제어부
24: 벡터 제어 DQ축 전류 명령 생성부
25: 제1 셀렉터
26: 전류 제어부
27: DQ 역변환부
28; PWM 제어부
29: 인버터
30: 로터리 인코더(회전 위치 검출기)
31: 전류 검출부
32: 제2 셀렉터
33: 벡터 제어 전기각 생성부
34: 제3 셀렉터
35: 위치 추정부
36: 오픈 루프 제어 전기각 생성부
37: 오픈 루프 제어 DQ축 전류 명령 생성부
38: 인코더 통신 이상 판정부
39: DQ 변환부
100: 상위 컨트롤러

Claims (8)

  1. 회전 위치 명령 신호와, 모터에 탑재된 회전 위치 검출기로부터 발신되는 회전 위치 신호에 기초하여, 상기 모터를 피드백 제어에 의해 구동하는 스텝과, 상기 회전 위치 신호의 이상의 유무를 검출하는 스텝을 구비하는 모터 제어 방법에 있어서,
    구동 중의 상기 모터에 흐르는 전류를 검출하는 스텝과,
    상기 회전 위치 신호의 이상이 검출된 경우에, 상기 모터의 제어 방식을, 상기 회전 위치 신호에 기초하는 피드백 제어로부터, 상기 전류의 검출 결과에 기초하여 상기 모터의 회전 위치를 추정한 결과에 기초하여 상기 모터를 구동하는 센서리스 벡터 제어로 전환하는 스텝을 구비하고,
    상기 회전 위치 신호의 이상이 검출된 경우에, 소정의 각속도 영역에서는 상기 센서리스 벡터 제어에 의해 상기 모터를 구동하는 한편, 상기 소정의 각속도 영역보다도 낮은 각속도 영역에서는 전류 인입법에 의한 오픈 루프 제어에 의해 상기 모터를 구동하고,
    상기 전류 인입법에 의한 오픈 루프 제어는 상기 모터를 감속 정지시키는 것을 특징으로 하는 모터 제어 방법.
  2. 회전 위치 명령 신호와, 모터에 탑재된 회전 위치 검출기로부터 발신되는 회전 위치 신호에 기초하여, 상기 모터를 피드백 제어에 의해 구동하는 스텝과, 상기 회전 위치 신호의 이상의 유무를 검출하는 스텝을 구비하는 모터 제어 방법에 있어서,
    상기 회전 위치 신호의 이상이 검출된 경우에, 상기 모터의 제어 방식을, 상기 회전 위치 신호에 기초하는 피드백 제어로부터, 전류 인입법에 의한 오픈 루프 제어로 전환하는 스텝을 구비하고,
    상기 전류 인입법에 의한 오픈 루프 제어는 상기 모터를 감속 정지시키는 것을 특징으로 하는 모터 제어 방법.
  3. 제1항에 있어서, 센서리스 벡터 제어에서는, 상기 회전 위치 신호에 기초하는 피드백 제어에 비해, 위치 속도 제어의 제어 루프 게인을 저하시키는 것을 특징으로 하는 모터 제어 방법.
  4. 모터의 구동을 제어하는 모터 구동 장치이며,
    제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 모터 제어 방법에 의해 상기 모터의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 모터 구동 장치.
  5. 복수의 모터의 구동을 개별로 제어하여 산업용 로봇의 암의 위치를 변화시키는 산업용 로봇의 제어 방법이며,
    복수의 모터에 있어서의 각각의 구동을, 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 모터 제어 방법에 의해 제어하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 제어 방법.
  6. 복수의 모터의 구동을 개별로 제어하여 암의 위치를 변화시키는 산업용 로봇이며,
    복수의 모터에 있어서의 각각의 구동을, 제4항에 기재된 모터 구동 장치에 의해 제어하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  7. 삭제
  8. 삭제
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