KR102503634B1 - 기판 지지장치 및 기판 지지방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이송유닛에 의해 운반되는 기판이 안착될 수 있는 기판 지지장치로서, 베이스 플레이트; 상기 기판은 안착되고 상기 이송유닛은 통과할 수 있도록, 상기 베이스 플레이트 상에 이격되어 설치되는 복수개의 제1 안착부재를 구비하는 제1 안착부; 적어도 일부가 상기 제1 안착부재들 사이에 배치되어 상하로 이동할 수 있도록, 상기 베이스 플레이트 상에 설치되는 제2 안착부; 및 상측으로 이동한 위치에서 상기 제2 안착부를 고정해줄 수 있는 고정부;를 포함하고, 기판의 로딩 및 언로딩 작업을 신속하게 수행하면서 기판을 안정적으로 지지해줄 수 있다.

Description

기판 지지장치 및 기판 지지방법{SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS AND METHOD}
본 발명은 기판 지지장치 및 기판 지지방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 로딩 및 언로딩 작업을 신속하게 수행하면서 기판을 안정적으로 지지해줄 수 있는 기판 지지장치 및 기판 지지방법에 관한 것이다.
차세대 디스플레이로 플렉서블 디스플레이(Flexible Display)에 대한 연구가 많이 진행되고 있다. 플렉시블 디스플레이는 얇고 가벼울 뿐만 아니라 충격에도 강하며 휘거나 굽힐 수 있는 다양한 형태로 제작할 수 있는 장점이 있다.
이때, 플렉서블 디스플레이를 구현하는 한 가지 방법으로, 박막 트랜지스터 (TFT: Thin Film Transistor) 회로와 발광 소자인 유기발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes)를 특정한 구조로 필름 상에 형성하는데, 필름의 취급성이 용이하지 않아 캐리어 글라스(Carrier Glass)에 필름을 붙인 상태에서 박막 트랜지스터 형성 공정을 진행한다. 따라서, 필름상에 박막 트랜지스터를 형성한 후, 레이저 리프트 오프(LLO: Laser Lift Off) 장치를 이용하여, 캐리어 글라스로부터 필름을 떼어내는 공정을 수행한다. 즉, 레이저의 조사에 의해 캐리어 글라스와 필름 사이의 접착제에 에너지를 가해 접착력을 감소시키고, 캐리어 글라스와 필름을 분리하여 제거할 수 있다.
종래에는 흡착기를 이용하여, 캐리어 글라스를 레이저 리프트 오프 장치에 구비되는 테이블(Table)에 로딩 또는 언로딩하는 작업을 수행하였다. 예를 들어, 캐리어 글라스를 로딩하는 작업은, 캐리어 글라스를 지지하는 이송로봇을 흡착기의 하측으로 이동시키는 과정, 캐리어 글라스를 상측으로 이동시켜 흡착기에 흡착시키는 과정, 이송로봇을 흡착기의 외측으로 이동시키는 과정, 흡착기를 하측으로 이동시켜 캐리어 글라스를 테이블에 안착시키는 과정, 흡착기와 캐리어 글라스를 분리하고 흡착기를 상측으로 이동시키는 과정 순으로 수행된다. 캐리어 글라스를 언로딩하는 작업은, 캐리어 글라스를 로딩하는 작업의 역순으로 수행된다.
이처럼 캐리어 글라스를 로딩 또는 언로딩할 때, 흡착기에 캐리어 글라스를 흡착시키거나 분리시키는 작업을 수행해야 하기 때문에, 캐리어 글라스를 로딩 또는 언로딩하는 작업을 수행하는데 많은 시간이 소요된다. 따라서, 레이저 리프트 오프 처리 공정이 지연되는 문제가 있다.
KR 2017-0121944 A
본 발명은 기판의 로딩 및 언로딩 작업을 신속하게 수행할 수 있는 기판 지지장치 및 기판 지지방법을 제공한다.
본 발명은 기판을 안정적으로 지지해줄 수 있는 기판 지지장치 및 기판 지지방법을 제공한다.
본 발명은 기판을 처리하는 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 기판 지지장치 및 기판 지지방법을 제공한다.
본 발명은 이송유닛에 의해 운반되는 기판이 안착될 수 있는 기판 지지장치로서, 베이스 플레이트; 상기 기판은 안착되고 상기 이송유닛은 통과할 수 있도록, 상기 베이스 플레이트 상에 이격되어 설치되는 복수개의 제1 안착부재를 구비하는 제1 안착부; 적어도 일부가 상기 제1 안착부재들 사이에 배치되어 상하로 이동할 수 있도록, 상기 베이스 플레이트 상에 설치되는 제2 안착부; 및 상측으로 이동한 위치에서 상기 제2 안착부를 고정해줄 수 있는 고정부;를 포함한다.
상기 제2 안착부는, 복수개가 구비되어 서로 이격되고, 상기 제1 안착부재들 사이에 각각 배치되는 제2 안착부재; 상기 제2 안착부재들과 연결되는 연결부재; 및 상기 연결부재를 상하로 이동시킬 수 있도록, 상기 베이스 플레이트와 상기 연결부재 사이에 설치되는 구동부재;를 포함한다.
상기 고정부는, 상기 제2 안착부와 함께 상하로 이동할 수 있도록, 상기 제2 안착부에 연결되는 기둥부재; 및 상기 기둥부재를 클램핑할 수 있도록, 상기 기둥부재가 이동하는 경로에 배치되는 클램프;를 포함한다.
상기 클램프는, 상기 기둥부재가 관통할 수 있는 관통구를 가지는 블록부재; 및 상기 관통구 내부로 삽입된 기둥부재에 밀착될 수 있도록, 상기 블록부재의 내부공간에 이동 가능하게 설치되는 밀착부재;를 포함한다.
상기 밀착부재는 상기 기둥부재의 이동방향과 교차하는 방향으로 이동 가능하고,
상기 기둥부재와 상기 밀착부재 중 어느 하나의 적어도 일부에 홈이 형성되고, 다른 하나의 적어도 일부가 상기 홈에 삽입될 수 있다.
상기 홈은 상기 밀착부재가 이동하는 방향에 대해 경사를 가지거나 오목하게 형성된다.
상기 제1 안착부재들과 상기 제2 안착부재들의 레벨링할 수 있는 레벨조절부를 더 포함한다.
상기 레벨조절부는, 상기 제1 안착부재들 각각의 상하방향 위치를 조절할 수 있도록 설치되는 제1 레벨조절부재; 및 상기 제2 안착부재들 각각의 상하방향 위치를 조절할 수 있도록, 상기 연결부재와 상기 제2 안착부재 사이에 설치되는 제2 레벨조절부재;를 포함한다.
상기 제1 안착부는, 상기 제1 안착부재를 지지하도록, 상기 베이스 플레이트에 설치되는 지지대를 더 포함하고,
상기 제1 레벨조절기는, 상기 베이스 플레이트와 상기 제1 안착부재 사이의 간격을 조절할 수 있도록, 상기 베이스 플레이트와 상기 제1 안착부재 사이에 설치되는 제1 레벨기; 및 상기 지지대와 상기 제1 안착부재 사이의 간격을 조절할 수 있도록, 상기 지지대와 상기 제1 안착부재 사이에 설치되는 제2 레벨기;를 포함한다.
상기 제1 안착부와 상기 제2 안착부는 상기 베이스 플레이트의 상부면에 연결되고,
상기 레벨조절부는, 상기 베이스 플레이트의 위치별 높이를 조절할 수 있는 제3 레벨조절부재; 및 상기 베이스 플레이트와 상기 제1 안착부재 사이의 간격을 위치별로 조절할 수 있는 제4 레벨조절부재;를 포함한다.
상기 레벨조절부는, 상기 제1 안착부재들과 상기 제2 안착부재들 각각의 수평상태를 감지할 수 있는 감지기를 더 포함한다.
상기 베이스 플레이트가 배치되는 높이를 조절할 수 있는 높이조절부를 더 포함한다.
상기 높이조절부는, 상기 베이스 플레이트의 하부에 연결되는 지지부재; 상기 지지부재를 상하로 이동시킬 수 있도록, 상기 지지부재와 연결되는 승강부재; 및 상기 기판의 두께에 따라 상기 승강부재의 작동을 제어할 수 있는 제어기를 포함한다.
본 발명은 이송유닛에 의해 운반되는 기판을 기판 지지장치에 지지시키는 방법으로서, 서로 이격되는 복수개의 제1 안착부재보다, 상기 제1 안착부재들 사이에 설치되는 제2 안착부재의 위치가 낮아지도록, 상기 제2 안착부재를 일방향으로 이동시키는 과정; 상기 제1 안착부재들 사이의 공간으로 상기 이송유닛을 통과시키면서, 상기 이송유닛에 지지된 기판을 상기 제1 안착부재들 상으로 전달하는 과정; 상기 제1 안착부재들 사이의 공간 외측으로 상기 이송유닛을 이동시키는 과정; 일방향과 반대방향으로 상기 제2 안착부재를 이동시켜, 상기 제2 안착부재를 기판에 접촉시키는 과정; 및 기판과 접촉한 위치에 상기 제2 안착부를 고정시키는 과정;을 포함한다.
상기 제2 안착부재를 고정시키는 과정은, 상기 제2 안착부재와 함께 이동하는 기둥부재를 클램핑하여, 상기 제2 안착부재의 이동을 제한하는 과정을 포함한다.
상기 제1 안착부재들 상에 기판을 안착시키기 전에, 상기 제1 안착부재들과 상기 제2 안착부재의 수평상태를 검사하는 과정; 및 상기 제1 안착부재들과 상기 제2 안착부재를 레벨링하는 과정;을 더 포함한다.
상기 제2 안착부를 고정시킨 후, 상기 기판 지지장치 상측에 배치되어 기판을 처리하는 기판 처리장치와, 상기 제1 안착부재 및 상기 제2 안착부 상에 안착된 기판 사이의 거리를 조절하는 과정을 더 포함한다.
본 발명의 실시 예들에 따르면, 이송로봇에서 기판 지지장치로 바로 기판을 안착시키거나, 기판 지지장치에서 이송로봇으로 바로 기판을 운반할 수 있다. 이에, 기판의 로딩 및 언로딩 작업을 신속하게 수행할 수 있다. 따라서, 기판을 신속하게 처리하여, 기판을 처리하는 공정의 효율성이 향상될 수 있다.
또한, 기판 지지장치가 안정적으로 기판을 지지해줄 수 있다. 이에, 기판을 처리하는 공정이 수행될 때, 기판 지지장치 상에서 기판의 위치가 변하는 것을 억제하거나 방지할 수 있다. 따라서, 기판을 처리하는 공정의 불량 발생률이 감소하여, 기판을 처리하는 공정의 효율성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지장치의 작동구조를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 제1 안착부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 제2 안착부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 고정부의 작동구조를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 레벨조절부가 제1 안착부에 설치되는 구조를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 레벨조절부가 제1 안착부에 설치되는 구조를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 레벨조절부가 제2 안착부에 설치되는 구조를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 높이조절부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지방법을 나타내는 플로우 차트이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 발명을 상세하게 설명하기 위해 도면은 과장될 수 있고, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지장치의 작동구조를 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 제1 안착부의 구조를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 제2 안착부의 구조를 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 고정부의 작동구조를 나타내는 도면이다. 하기에서는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지장치에 대해 설명하기로 한다.
기판 지지장치는, 이송유닛에 의해 운반되는 기판이 안착될 수 있는 기판 지지장치이다. 도 1을 참조하면, 기판 지지장치(100)는, 베이스 플레이트(110), 제1 안착부(120), 제2 안착부(130), 및 고정부(140)를 포함한다.
이때, 기판 지지장치(100)는 레이저 리프트 오프 설비에 구비될 수 있다. 기판 지지장치(100) 상측에 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사장치가 설치될 수 있다. 이에, 기판 지지장치(100)에 기판이 안착되면, 레이저 조사장치가 기판에 레이저빔을 조사하여 기판을 처리할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 기판을 처리하는 다른 설비들에도 기판 지지장치가 구비되어 사용될 수 있다.
이송유닛(50)은 포크 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어, 이송유닛(50)은 전후방향으로 연장되어, 좌우방향으로 이격되는 복수개의 지지바를 구비할 수 있다. 따라서, 지지바들 상에 기판이 안착되어 지지될 수 있다.
베이스 플레이트(110)는 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 베이스 플레이트(110)는 상부에서 제1 안착부(120)와 제2 안착부(130)를 지지할 수 있다.
제1 안착부(120)는 베이스 플레이트(110)의 상부면에 설치된다. 도 1 및 도 2를 참조하면 제1 안착부(120) 상에 기판이 안착되어 지지될 수 있다. 제1 안착부(120)는 복수개의 제1 안착부재(121)를 포함한다.
제1 안착부재(121)는 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 제1 안착부재(121)는 전후방향으로 연장될 수 있다. 즉, 제1 안착부재(121)는 이송유닛(50)의 지지바와 동일한 방향으로 연장될 수 있다. 제1 안착부재(121)의 상부면에 기판이 안착되어 지지될 수 있다.
또한, 제1 안착부재(121)들은 베이스 플레이트(110) 상에서 좌우방향으로 서로 이격될 수 있다. 이에, 제1 안착부재(121)들 사이사이에, 포크 형태의 이송유닛(50)이 통과할 수 있는 공간이 형성될 수 있다. 즉, 제1 안착부재(121)들 사이의 공간은 지지바의 연장방향을 따라 연장되어 지지바의 형상에 대응하기 때문에, 지지바가 제1 안착부재(121)들 사이의 공간으로 들어갈 수 있다. 기판을 지지하는 이송유닛(50)의 작동을 제어하여 제1 안착부재(121)들 사이를 통과시키면, 기판은 제1 안착부재(121)들 사이를 통과하지 못하고, 제1 안착부재(121)들 상에 안착될 수 있다. 따라서, 이송유닛(50)에서 기판이 분리될 수 있고, 기판을 처리하는 공정을 수행할 수 있다.
한편, 제1 안착부(120)는 지지대(122)를 더 포함할 수도 있다. 지지대(122)는 상하방향으로 연장될 수 있다. 지지대(122)의 하단부는 베이스 플레이트(110)와 연결되고, 지지대(122)의 상단부는 제1 안착부재(121)와 연결된다. 이에, 지지대(122)가 제1 안착부재(121)를 지지해줄 수 있다. 따라서, 지지대(122)는 베이스 플레이트(110)와 제1 안착부재(121) 사이를 상하로 이격시킬 수 있다.
또한, 지지대(122)는 복수개가 구비될 수 있다. 예를 들어, 전후방향으로 이격되는 지지대(122)들이 한 세트를 이루어 하나의 제1 안착부재(121)를 지지해줄 수 있다. 세트는 복수개가 구비되어 좌우방향으로 이격될 수 있다. 이에, 각 세트에 지지되는 제1 안착부재(121)들도 서로 좌우방향으로 이격될 수 있다. 그러나 제1 안착부(120)의 구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
제2 안착부(130)는 베이스 플레이트(110)의 상부면에 설치된다. 제2 안착부(130)는 적어도 일부가 제1 안착부재(121)들 사이에 배치되어 상하로 이동할 수 있다. 제2 안착부(130)는 제1 안착부(120)와 함께 기판을 지지해줄 수 있다. 도 1 및 도 3을 참조하면 제2 안착부(130)는 제2 안착부재(131), 연결부재(132), 및 구동부재(133)를 포함한다.
제2 안착부재(131)는 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 제2 안착부재(131)는 전후방향으로 연장될 수 있다. 즉, 제2 안착부재(131)는 제1 안착부재(121)와 동일한 방향으로 연장되고, 제1 안착부재(121)들 사이 공간의 평면 형상을 따라 형성될 수 있다.
또한, 제2 안착부재(131)는 복수개가 구비될 수 있다. 제2 안착부재(131)들은 좌우방향으로 서로 이격되어, 제1 안착부재(121)들 사이사이에 각각 배치될 수 있다. 이에, 제1 안착부재(121)와 제2 안착부재(131)가 교대로 배치될 수 있다. 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 상부면의 상하방향 위치가 같아지면, 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 상부면이 한 면을 이루어 기판을 지지해줄 수 있다.
연결부재(132)는 프레임 형태로 형성될 수 있다. 연결부재(132)는 제2 안착부재(131)들이 이격되는 방향과 교차하는 방향(또는, 좌우방향)으로 연장될 수 있다. 이에, 연결부재(132)가 복수개의 제2 안착부재(131)와 연결되어, 제2 안착부재(131)들을 지지해줄 수 있다. 따라서, 연결부재(132)에 의해 제2 안착부재(131)들이 일체로 상하 이동을 할 수 있다.
이때, 연결부재(132)는 지지대(122)들 사이의 공간을 관통하여 배치될 수 있다. 따라서, 연결부재(132)가 제2 안착부재(131)들을 연결해주면서, 제2 안착부재(131)들과 함께 상하로 이동할 수 있다.
또한, 연결부재(132)는 복수개가 구비될 수 있다. 연결부재(132)는 전후방향으로 서로 이격되어, 서로 다른 위치에서 제2 안착부재(131)들과 연결될 수 있다. 이에, 제2 안착부재(131)들이 연결부재(132)들에 의해 안정적으로 결합된 상태를 유지할 수 있다.
구동부재(133)는 베이스 플레이트(110)와 연결부재(132) 사이에 설치된다. 구동부재(133)는 연결부재(132)를 상하로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 구동부재(133)는 실린더일 수 있으며, 구동부재(133)의 본체가 베이스 플레이트(110)에 설치되고, 구동부재(133)의 로드 부분이 연결부재(132)와 연결될 수 있다. 이에, 연결부재(132)가 상하로 이동하면, 연결부재(132)와 연결된 제2 안착부재(131)들도 상하로 이동할 수 있다. 따라서, 구동부재(133)의 작동을 제어하여 제2 안착부재(131)들을 상하로 이동시킬 수 있다.
이때, 구동부재(133)는 하나만 구비될 수 있다. 제2 안착부재(131)들이 연결부재(132)에 의해 서로 연결되어 있기 때문에, 연결부재(132)를 상하로 이동시키면, 복수개의 제2 안착부재(131)도 함께 상하로 이동할 수 있다. 따라서, 하나의 구동부재(133)로 제2 안착부재(131)들을 상하로 이동시킬 수 있기 때문에, 제2 안착부재(131)들을 상하로 이동시키기 위해 구동부재들을 많이 구비할 필요가 없어질 수 있다.
또는, 구동부재(133)는 복수개가 구비될 수도 있다. 이에, 구동부재(133)들이 서로 다른 연결부재(132)와 연결될 수 있다. 제2 안착부재(131)와 연결부재(132)의 하중이 구동부재(133)들에 분산되기 때문에, 구동부재(133)들에 걸리는 부하를 감소시키고, 제2 안착부재(131)들의 수평상태를 안정적으로 유지하면서 상하로 이동시킬 수 있다. 그러나 제2 안착부(130)의 구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
이때, 구동부재(133)는 이송유닛(50)의 위치에 따라 작동이 제어될 수 있다. 예를 들어, 이송유닛(50)에 지지된 기판을 제1 안착부재(121)들에 안착시키는 작업을 수행할 때는, 구동부재(133)가 제2 안착부재(131)들을 하측으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 제1 안착부재(121)들 사이의 공간으로 이송유닛(50)이 통과할 수 있고, 기판은 제1 안착부재(121) 상에 안착될 수 있다. 이송유닛(50)이 제1 안착부재(121)들 사이의 공간에서 빠져나가면, 구동부재(133)가 제2 안착부재(131)들을 상측으로 이동시킬 수 있다. 이에, 제2 안착부재(131)들이 기판의 하부면과 접촉하여, 제1 안착부재(121)들과 함께 기판을 안정적으로 지지해줄 수 있다.
반대로, 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들에 안착된 기판을 이송유닛(50)에 지지시키는 작업을 수행할 때는, 구동부재(133)가 제2 안착부재(131)들을 하측으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 제1 안착부재(121)들 사이의 공간으로 이송유닛(50)이 이동할 수 있다. 이송유닛(50)이 상측으로 이동하면, 기판을 들어올리면서 기판과 제1 안착부재(121)들을 분리시킬 수 있다. 기판은 이송유닛(50)에 지지되어 운반될 수 있다.
이처럼 흡착기를 사용하지 않고, 이송유닛(50)에서 기판 지지장치(100)로 바로 기판을 안착시키거나, 기판 지지장치(100)에서 이송유닛(50)으로 바로 기판을 운반할 수 있다. 따라서, 기판의 로딩 및 언로딩 작업을 신속하게 수행할 수 있다. 이에, 기판을 신속하게 처리하여, 기판을 처리하는 공정의 효율성이 향상될 수 있다.
도 1 내지 도 4를 참조하면 고정부(140)는 상측으로 이동한 위치에서 제2 안착부(130)를 고정해줄 수 있다. 즉, 제2 안착부재(131)들의 위치를 고정해줄 수 있다. 이에, 기판을 지지하는 상태의 제2 안착부재(131)들이 하측으로 이동하여 기판과 분리되는 것을 억제하거나 방지할 수 있다. 고정부(140)는 기둥부재(142), 및 클램프(144)를 포함한다.
기둥부재(142)는 막대 형태로 형성될 수 있고, 제2 안착부(130)에 연결된다. 이에, 기둥부재(142)는 제2 안착부(130)와 함께 상하로 이동할 수 있고, 기둥부재(142)의 상하 이동을 제한하면 제2 안착부(130)의 상하 이동도 제한될 수 있다.
클램프(144)는 기둥부재(142)가 이동하는 경로에 배치된다. 상세하게는, 기둥부재(142)가 제2 안착부(130)와 함께 최상측으로 이동할 수 있는 위치에 클램프(144)가 위치할 수 있다. 이에, 기둥부재(142)가 최상측으로 이동했을 때, 클램프(144)가 기둥부재(142)를 클램핑하여 제2 안착부(130)를 고정시킬 수 있다. 따라서, 제2 안착부(130)의 상부면이 제1 안착부재(121)의 상부면과 동일한 높이에 위치하는 상태를 안정적으로 유지할 수 있다. 클램프(144)는 블록부재(144a), 및 밀착부재(144b)를 포함한다.
블록부재(144a)는 블록 형태로 형성될 수 있다. 블록부재(144a)는 내부공간을 가지며, 하부에 기둥부재(142)가 관통할 수 있는 관통구가 형성될 수 있다. 이에, 기둥부재(142)가 상측으로 이동하면 관통구를 통해 블록부재(144a)의 내부공간으로 이동할 수 있고, 기둥부재(142)가 하측으로 이동하면 블록부재(144a)의 외부로 이동할 수 있다.
밀착부재(144b)는 블록부재(144a)의 내부공간에 배치될 수 있다. 밀착부재(144b)는 기둥부재(142)의 이동방향과 교차하는 방향으로 내부공간에서 이동할 수 있다. 이에, 기둥부재(142)가 블록부재(144a)의 내부공간에 삽입되었을 때, 기둥부재(142)를 향하여 밀착부재(144b)를 이동시키면 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)에 밀착될 수 있다. 따라서, 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)를 파지하여 기둥부재(142)의 이동을 제한할 수 있다.
또한, 밀착부재(144b)는 복수개가 구비될 수 있다. 이에, 복수의 위치에서 밀착부재(144b)들이 기둥부재(142)와 접촉하면서 기둥부재(142)를 잡아줄 수 있다. 따라서, 기둥부재(142)의 위치가 고정되면서 기둥부재(142)와 함께 이동하는 제2 안착부재(131)도 고정될 수 있다.
이때, 기둥부재(142)와 밀착부재(144b) 중 어느 하나의 적어도 일부에 홈이 형성되고, 다른 하나의 적어도 일부가 상기 홈에 삽입될 수 있다. 예를 들어, 기둥부재(142)의 둘레 적어도 일부에 밀착부재(144b)가 끼워질 수 있는 홈이 형성될 수 있다. 또는, 요철 형태로 형성될 수 있다. 따라서, 밀착부재(144b)를 기둥부재(142) 향해 밀착시키면, 밀착부재(144b)가 홈이 끼워질 수 있다. 이에, 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)를 더 안정적으로 고정시킬 수 있다.
또한, 홈은 밀착부재(144b)가 이동하는 방향에 대해 경사를 가지거나 오목하게 형성될 수 있다. 즉, 기둥부재(142)의 외측에서 내측으로 갈수록 홈의 폭이 좁아지게 형성될 수 있다. 홈의 폭이 최대인 부분은, 홈으로 삽입되는 밀착부재(144b)의 부분보다 폭이 클 수 있다. 이에, 밀착부재(144b)와 기둥부재(142)의 위치가 조금 틀어지더라도, 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)에 형성된 홈에 안정적으로 삽입될 수 있다.
한편, 밀착부재(144b)와 기둥부재(142)의 위치가 맞지 않는 경우, 홈에 구비되는 경사 또는 오목한 부분에 의해, 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)의 홈에 삽입될 때, 기둥부재(142)를 상하로 밀어내어 이동시킬 수 있다. 이에, 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)의 상하방향 위치를 정렬해줄 수도 있다.
이때, 밀착부재(144b)는 구 형태로 형성되거나 기둥부재(142)를 향하는 부분이 볼록하게 형성될 수 있다. 따라서, 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)에 밀착될 때, 충격이 발생하는 것을 감소시킬 수 있다. 그러나 밀착부재(144b)의 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
한편, 클램프(144)는 가스공급기(144c)를 더 포함할 수 있다. 가스공급기(144c)는 블록부재(144a)와 연결된다. 가스공급기(144c)는 블록부재(144a)의 내부공간으로 가스를 공급해줄 수 있다. 이에, 가스공급기(144c)가 공급하는 가스가 밀착부재(144b)를 가압하여, 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)에 밀착될 수 있다. 따라서, 가스공급기(144c)가 블록부재(144a)의 내부공간으로 가스를 공급하면 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)를 고정시키고, 가스공급기(144c)가 블록부재(144a)의 내부공간으로 가스를 공급하지 않으면 밀착부재(144b)가 기둥부재(142)를 가압하지 못해 기둥부재(142)가 상하로 이동할 수 있다. 그러나 기둥부재(142)에 밀착부재(144b)를 가압하는 방식은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
또한, 고정부(140)는 제1 받침대(141), 및 제2 받침대(143)를 더 포함할 수 있다. 제1 받침대(141)와 제2 받침대(143)에 의해 기둥부재(142)와 클램프(144)가 각각 지지될 수 있다.
제1 받침대(141)는 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 제1 받침대(141)는 연결부재(132)의 외측을 향하여 돌출될 수 있다. 예를 들어, 제1 받침대(141)는 연결부재(132)에서 전후방향으로 돌출되어 연결부재(132)에 연결될 수 있다. 따라서, 연결부재(132)가 상하로 이동하면 제1 받침대(141)도 함께 상하로 이동할 수 있다.
또한, 제1 받침대(141)는 복수개가 구비될 수 있다. 이에, 각 연결부재(132)마다 1개 이상의 제1 받침대(141)가 설치될 수 있다.
이때, 기둥부재(142)는 제1 받침대(141) 상부에서 상측으로 돌출될 수 있다. 따라서, 제1 받침대(141)에 의해, 기둥부재(142)가 제2 안착부(130)의 연결부재(132)와 연결될 수 있다. 이에, 기둥부재(142)가 연결부재(132) 및 제2 안착부재(131)와 함께 상하로 이동할 수 있다. 기둥부재(142)는 제1 받침대(141)가 구비되는 개수만큼 구비될 수 있다.
제2 받침대(143)는 베이스 플레이트(110)에 설치된다. 제2 받침대(143)는 베이스 플레이트(110)의 상측으로 클램프(144)를 이격시켜 지지해줄 수 있다. 예를 들어, 제2 받침대(143)는 상하방향으로 연장되는 제1 부재, 및 제1 부재의 상부에서 전후방향으로 연장되어 돌출되어 클램프(144)와 연결되는 제1 부재를 포함할 수 있다. 따라서, 베이스 플레이트(110)와 클램프(144) 사이에 제1 받침대(141)와 기둥부재(142)가 상하로 이동할 수 있는 공간이 형성될 수 있다. 그러나 제2 받침대(143)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
이때, 클램프(144)는 제2 받침대(143)에 설치된다. 상세하게는 제2 받침대(143)에 구비되는 제2 부재의 하부에 클램프(144)가 지지될 수 있다. 이에, 클램프(144)는 기둥부재(142)가 이동하는 경로에 배치될 수 있다. 따라서, 상하로 이동하는 기둥부재(142)를 클램프(144)가 클램핑하여 고정할 수 있다. 그러나 기둥부재(142)와 클램프(144)가 지지되는 방식은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
이처럼 고정부(140)가 기판을 지지하는 제2 안착부(130)의 위치를 고정시켜줄 수 있다. 따라서, 기판을 처리하는 공정이 수행될 때, 기판 지지장치(100) 상에서 기판의 위치가 변하는 것을 억제하거나 방지할 수 있다. 이에, 기판을 처리하는 공정의 불량 발생률이 감소하여, 기판을 처리하는 공정의 효율성이 향상될 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 레벨조절부가 제1 안착부에 설치되는 구조를 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 레벨조절부가 제1 안착부에 설치되는 구조를 나타내는 도면이고, 도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 레벨조절부가 제2 안착부에 설치되는 구조를 나타내는 도면이다. 하기에서는 본 발명의 실시 예에 따른 레벨조절부에 대해 설명하기로 한다.
도 5 및 도 7을 참조하면, 기판 지지장치(100)는 레벨조절부를 더 포함할 수도 있다. 레벨조절부는 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들을 레벨링할 수 있다. 이에, 레벨조절부로 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 수평을 맞춰줄 수 있다. 레벨조절부는 제1 레벨조절부재(150), 및 제2 레벨조절부재(160)를 포함한다.
제1 레벨조절부재(150)는 제1 안착부재(121)들의 상하방향 위치를 각각 조절할 수 있도록 설치된다. 제1 레벨조절부재(150)는 제1 레벨기(151), 및 제2 레벨기(152) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
제1 레벨기(151)는 베이스 플레이트(110)와 제1 안착부재(121) 사이에 설치될 수 있다. 이에, 제1 레벨기(151)는 제1 안착부재(121)를 지지해주면서, 베이스 플레이트(110)와 제1 안착부재(121) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 따라서, 제1 안착부재(121)의 상하방향 위치가 조절될 수 있다.
또한, 제1 레벨기(151)는 복수개가 구비될 수 있다. 제1 레벨기(151)들은 서로 다른 제1 안착부재(121)들과 연결될 수도 있고, 하나의 제1 안착부재(121)에 복수개의 제1 레벨기(151)가 연결될 수도 있다. 예를 들어, 제1 레벨기(151)가 제1 안착부재(121)의 연장방향을 따라 이격되어 배치될 수 있다. 따라서, 제1 레벨기(151)들이 하나의 제1 안착부재(121)의 서로 다른 부분의 높이를 조절할 수 있기 때문에, 제1 안착부재(121)의 기울기가 조절될 수 있다.
이때, 제1 레벨기(151)는 위치에 따라 설치구조가 달라질 수 있다. 베이스 플레이트(110)의 중심부 상부에 배치되는 제1 안착부재(121)와 연결되는 제1 레벨기(151)는 베이스 플레이트(110)를 관통해서 설치될 수 있고, 베이스 플레이트(110)의 외곽부 상부에 배치되는 제1 안착부재(121)와 연결되는 제1 레벨기(151)는 베이스 플레이트(110)의 측면에 설치될 수 있다. 제1 레벨기(151)는 제1 바디(151a), 제2 바디(151c), 지지체(151g), 고정핀(151b), 제1 고정너트(151d), 제2 고정너트(151e), 및 조절볼트(151f)를 포함할 수 있다.
제1 바디(151a)는 블록 형태로 형성될 수 있다. 고정핀(151b)은 제1 안착부재(121)와 제1 바디(151a)를 고정시켜줄 수 있고, 고정볼트가 제1 안착부재(121)와 제1 바디(151a)를 결합해줄 수 있다. 이에, 제1 바디(151a)가 제1 안착부재(121)와 연결될 수 있다.
지지체(151g)는 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 베이스 플레이트(110)의 중심부 상부에 배치되는 제1 안착부재(121)와 마주보는 지지체(151g)는 베이스 플레이트(110)의 하부로 돌출되어 배치될 수 있고, 베이스 플레이트(110)의 외곽부 상부에 배치되는 제1 안착부재(121)와 마주보는 지지체(151g)는 베이스 플레이트(110)의 측면 하부에 설치될 수 있다. 이에, 제1 안착부재(121)와 지지체(151g) 사이가 상하로 이격될 수 있다.
제2 바디(151c)는 블록 형태로 형성될 수 있다. 제2 바디(151c)는 지지체(151g)에 설치되어 제1 바디(151a)와 상하로 이격되어 마주보게 배치될 수 있다.
제1 고정너트(151d)는 제1 바디(151a)에 설치될 수 있고, 제2 고정너트(151e)는 제2 바디(151c)에 설치될 수 있다. 이에, 조절볼트(151f)가 제1 고정너트(151d)와 제2 고정너트(151e)에 체결될 수 있다.
조절볼트(151f)는 제1 바디(151a)와 제2 바디(151c)를 관통하여 고정너트들에 체결될 수 있다. 조절볼트(151f)가 조여지는 정도에 따라 제1 바디(151a)와 제2 바디(151c)가 이격되는 정도가 조절될 수 있다. 즉, 제1 바디(151a)의 상하방향 위치를 조절할 수 있다. 이에, 조절볼트(151f)가 조여지는 정도를 조절하여, 제1 바디(151a)와 연결된 제1 안착부재(121)의 높이를 조절해줄 수 있다. 그러나 제1 레벨기(151)가 설치되는 방식이나, 제1 레벨기(151)의 구성요소는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
제2 레벨기(152)는 지지대(122)와 제1 안착부재(121) 사이에 설치된다. 이에, 지지대(122)와 제1 안착부재(121)가 제2 레벨기(152)에 의해 서로 연결될 수 있고, 제2 레벨기(152)는 지지대(122)와 제1 안착부재(121) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 제2 레벨기(152)는 제1 레벨기(151)와 다른 위치에서 제1 안착부재(121)의 높이를 조절해줄 수 있다. 이에, 제1 레벨기(151)와 제2 레벨기(152)를 이용하여 제1 안착부재(121)의 기울기를 조절하여 제1 안착부재(121)의 수평상태를 조절할 수 있다.
또한, 제2 레벨기(152)는 복수개가 구비될 수 있다. 제2 레벨기(152)들은 서로 다른 제1 안착부재(121)들과 연결될 수도 있고, 하나의 제1 안착부재(121)에 복수개의 제2 레벨기(152)가 연결될 수도 있다. 예를 들어, 제2 레벨기(152)가 제1 안착부재(121)의 연장방향을 따라 이격되어 배치될 수 있다. 따라서, 제1 레벨기(152)들이 하나의 제1 안착부재(121)의 서로 다른 부분의 높이를 조절할 수 있기 때문에, 제1 안착부재(121)의 기울기가 조절될 수 있다.
이때, 제2 레벨기(152)는 제1 레벨기(151)보다 사이즈가 작기 때문에, 제1 레벨기(151)가 설치되기 어려운, 지지대(122)와 제1 안착부재(121) 사이에 설치될 수 있다. 그러나 제2 레벨기(152)가 제1 레벨기(151)보다 높이를 조절할 수 있는 범위가 작기 때문에, 제1 레벨기(151)는 제1 안착부재(121)의 높이를 먼저 조절한 후, 제2 레벨기(152)를 이용하여 제1 안착부재(121)의 수평상태를 정밀하게 조절할 수 있다. 제2 레벨기(152)는 조절스크류(152a), 조절블록(152b), 와셔(152c), 및 고정볼트(152d)를 포함할 수 있다.
조절스크류(152a)는 지지대(122)를 관통하여 설치되고, 제1 안착부재(121)의 하부와 접촉할 수 있다. 조절블록(152b)은 지지대(122)를 관통하여 설치되고, 조절스크류(152a)의 하부에 위치할 수 있다. 와셔(152c)는 조절블록(152b)의 하부에 설치될 수 있다. 이에, 조절블록(152b)을 조절하여, 조절스크류(152a)가 제1 안착부재(121)의 높이(또는, 제1 안착부재(121)가 지지되는 높이)를 조절할 수 있다. 따라서, 지지대(122)와 제1 안착부재(121) 사이의 상하 이격거리가 조절될 수 있다.
고정볼트(152d)는 조절블록(152b)과 조절스크류(152a)를 관통하여 제1 안착부재(121)에 체결될 수 있다. 이에, 고정볼트(152d)에 의해 지지대(122)와 제1 안착부재(121)가 연결될 수 있다. 그러나 제2 레벨기(152)가 설치되는 방식이나, 제2 레벨기(152)의 구성요소는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
제2 레벨조절부재(160)는 제2 안착부재(131)들의 상하방향 위치를 각각 조절할 수 있도록 설치된다. 제2 레벨조절부재(160)는 복수개가 구비되어 연결부재(132)와 제2 안착부재(131)들 사이에 설치될 수 있다. 즉, 제2 레벨조절부재(160)의 하부는 연결부재(132)와 연결되고, 상부는 제2 안착부재(131)에 연결될 수 있다.
또한, 제2 레벨조절부재(160)가 설치되는 공간은 제1 레벨기(151)가 설치되는 공간보다 좁을 수 있다. 이에, 제2 레벨조절부재(160)는 좁은 공간에 설치되기 용이한 제2 레벨기(152)와 같은 구조로 형성될 수 있다.
한편, 레벨조절부는 감지기(미도시)를 더 포함할 수도 있다. 감지기는 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 수평상태를 점검할 수 있다. 예를 들어, 감지기는 변위센서일 수 있다. 따라서, 감지기를 이용하여 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 위치를 확인하면서, 제1 레벨조절부재(150)들과 제2 레벨조절부재(160)들을 조절할 수 있다. 이에, 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 수평을 맞추어, 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들 상에 기판이 안정적으로 안착될 수 있다.
이때, 제1 레벨기(151)와 제2 레벨기(152)는 실린더일 수도 있다. 따라서, 감지기의 감지결과에 따라 제1 레벨기(151)와 제2 레벨기(152)의 작동을 제어하여, 제1 안착부재(121)의 수평상태를 자동으로 조절할 수도 있다.
한편, 레벨조절부는 도 6과 같이 다른 구조를 가질 수도 있다. 레벨조절부는, 제3 레벨조절부재(153), 및 제4 레벨조절부재(154)를 포함할 수도 있다. 이때, 제1 안착부(120)와 제2 안착부(130)는 베이스 플레이트(110)의 상부면에 직접 연결되어 지지될 수 있다.
제3 레벨조절부재(153)는 베이스 플레이트(110)의 위치별 높이를 조절할 수 있다. 즉, 복수개의 제3 레벨조절부재(153)가 구비되어, 서로 다른 위치에서 베이스 플레이트(110)의 높이를 조절할 수 있다. 이에, 제3 레벨조절부재(153)들의 작동에 의해, 베이스 플레이트(110)의 평탄도가 조절될 수 있고, 베이스 플레이트(110)에 연결된 제1 안착부(120)와 제2 안착부(130)의 전체 평탄도도 함께 조절될 수 있다.
제4 레벨조절부재(154)는 베이스 플레이트(110)와, 제1 안착부재(121) 사이의 간격을 위치별로 조절할 수 있다. 즉, 복수개의 제4 레벨조절부재(154)가 구비되어, 서로 다른 위치에서 제1 안착부재(121)의 높이를 조절할 수 있다. 이에, 제4 레벨조절부재(154)들의 작동에 의해, 제1 안착부재(121)들의 평탄도가 개별적으로 조절될 수 있다. 따라서, 제3 레벨조절부재(153)의 작동을 제어하여 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 전체적인 레벨링을 수행하고, 안착부재(121)들 중 수평상태가 불량인 제1 안착부재(121)가 있으면, 수평상태가 불량인 제1 안착부재(121)만 제4 레벨조절부재(154)를 이용하여 개별적으로 수평을 올바로 맞춰줄 수 있다.
이처럼 레벨조절부로 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 수평상태를 조절할 수 있다. 따라서, 기판을 안착시키기 전에, 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 수평을 맞출 수 있고, 기판이 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 상부면에 안정적으로 접촉하면서 안착될 수 있다. 이에, 기판의 수평상태도 맞춰져 기판을 처리하는 공정의 정확성이 향상될 수 있다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 높이조절부의 구조를 나타내는 도면이다. 하기에서는 본 발명의 실시 예에 따른 높이조절부(170)에 대해 설명하기로 한다.
도 8을 참조하면 기판 지지장치(100)는 높이조절부(170)를 더 포함할 수도 있다. 높이조절부(170)는 베이스 플레이트(110)가 배치되는 높이를 조절할 수 있다. 이에, 베이스 플레이트(110) 상의 제1 안착부(120)와 제2 안착부(130) 전체가 배치되는 높이도 함께 조절될 수 있다. 따라서, 제1 안착부(120)와 제2 안착부(130) 상에 안착된 기판(S)과, 기판(S)을 처리하는 레이저 조사장치(80) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 높이조절부(170)는 지지부재(171), 승강부재(172), 및 제어기(173)를 포함한다.
지지부재(171)는 프레임 형태로 형성될 수 있다. 지지부재(171)는 베이스 플레이트(110)의 하부에 연결된다. 이에, 베이스 플레이트(110)는 지지부재(171)에 의해 지지될 수 있다.
승강부재(172)는 지지부재(171)의 하부에 연결된다. 승강부재(172)는 지지부재(171)를 상하로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 서보모터와 LM 가이드를 구비할 수 있다. 따라서, 서보모터의 작동을 제어하여 베이스 플레이트(110)의 높이를 정밀하게 조절할 수 있다.
또한, 승강부재(172)는 복수개가 구비될 수 있다. 이에, 승강부재(172)들이 베이스 플레이트(110)의 수평상태를 유지하면서, 베이스 플레이트(110)를 안정적으로 상하 이동시킬 수 있다. 따라서, 기판(S)도 수평상태를 유지하면서 레이저 조사장치(80)와 간격이 조절될 수 있다. 그러나 승강부재(172)의 작동구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.
제어기(173)는 기판(S)의 두께에 따라 승강부재(172)의 작동을 제어할 수 있다. 제어기(173)는 입력모듈, 비교모듈, 및 제어모듈을 포함한다.
입력모듈에는 기판(S)의 두께 정보가 입력될 수 있다. 기판(S)의 두께 정보는 작업자가 입력할 수 있다.
비교모듈은 입력모듈과 신호를 주고받을 수 있게 연결된다. 비교모듈에는 기판(S)의 두께들에 대응하여, 기판(S)과 레이저 조사장치(80)의 적정간격에 대한 정보들이 미리 저장될 수 있다. 이에, 비교모듈은 미리 저장된 정보들 중, 입력모듈에 입력된 기판(S)의 두께에 대응하는 정보를 찾아 선택할 수 있다.
제어모듈은 비교모듈과 신호를 주고받을 수 있게 연결된다. 제어모듈은 비교모듈에서 선택된 정보에 따라 기판(S)과 레이저 조사장치(80)의 간격이 조절되도록 승강부재(172)의 작동을 제어할 수 있다. 이에, 레이저 조사장치(80)에서 조사되는 레이저빔이 포커싱을 맞출 수 있는 위치로, 기판(S)의 높이가 조절될 수 있다.
이처럼 기판(S)의 두께에 따라 기판(S)과 레이저 조사장치(80)의 간격을 조절할 수 있다. 따라서, 레이저 조사장치(80)를 이동시키지 않으면서, 레이저 조사장치(80)에서 조사되는 레이저빔의 포커싱을 기판(S)의 표면에 맞춰줄 수 있다. 이에, 레이저 조사장치(80)의 위치를 조절하지 않으면서, 다양한 두께의 기판을 처리할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지방법을 나타내는 플로우 차트이다. 하기에서는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지방법에 대해 설명하기로 한다.
기판 지지방법은 이송유닛에 의해 운반되는 기판을 기판 지지장치에 지지시키는 방법이다. 도 9를 참조하면, 기판 지지방법은, 서로 이격되는 복수개의 제1 안착부재보다, 제1 안착부재들 사이에 설치되는 제2 안착부재의 위치가 낮아지도록, 제2 안착부재를 일방향으로 이동시키는 과정(S110), 제1 안착부재들 사이의 공간으로 이송유닛을 통과시키고, 이송유닛에 지지된 기판을 제1 안착부재들 상에 안착시키는 과정(S120), 제1 안착부재들 사이의 공간 외측으로 이송유닛을 이동시키는 과정(S130), 일방향과 반대방향으로 제2 안착부재를 이동시켜, 제2 안착부재를 기판에 접촉시키는 과정(S140), 및 기판과 접촉한 위치에 제2 안착부를 고정시키는 과정(S150)을 포함한다.
이때, 기판 지지장치는 도 1 내지 도 8과 같은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지장치(100)일 수 있다. 기판 처리장치는 기판에 레이저빔을 조사하는 레이저 조사장치(80)일 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 기판을 처리하는 다른 설비들에도 기판 지지방법이 실시될 수 있다.
우선, 제1 안착부재(121)들 사이에 설치되는 제2 안착부재(131)들을 일방향(또는, 하측)으로 이동시킬 수 있다. 이에, 제2 안착부재(131)들의 위치가 제1 안착부재(121)들의 위치보다 낮아지면서, 이송유닛(50)이 삽입될 수 있는 공간이, 제1 안착부재(121)들 사이에 생성될 수 있다.
또한, 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)의 상측에, 기판을 지지하는 이송유닛(50)을 이동시켜 위치시킬 수 있다. 이때, 이송유닛(50)을 이동시키는 작업은, 제2 안착부재(131)를 하측으로 이동시키는 작업과 동시에 수행될 수도 있고, 수행되는 순서가 바뀔 수도 있다.
그 다음, 이송유닛(50)을 하측으로 이동시킬 수 있다. 이에, 이송유닛(50)의 지지바는 제1 안착부재(121)들 사이의 공간을 통과하고, 이송유닛(50)에 지지되었던 기판은 제1 안착부재(121)들을 통과하지 못하여 제1 안착부재(121)들 상에 안착될 수 있다. 따라서, 이송유닛(50)에서 기판이 분리될 수 있다.
한편, 제1 안착부재(121)들 상에 기판을 안착시키기 전에, 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 수평상태를 검사할 수 있다. 예를 들어, 변위센서를 이용하여 제1 안착부재(121)들 각각의 수평상태와, 제2 안착부재(131)들 각각의 수평상태를 점검할 수 있다.
제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들 중 수평상태가 불량인 부분이 발견되면, 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들을 레벨링하는 작업을 수행할 수 있다. 즉, 제1 레벨조절부재(150)와 제2 레벨조절부재(160)를 이용하여 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들이 기울기를 조절할 수 있다. 이에, 제1 안착부재(121)들과 제2 안착부재(131)들의 상부면이 평평하게 동일한 높이에 위치할 수 있다. 따라서, 기판을 안착시킬 때, 기판이 제1 안착부재(121)와 제2 안착부재(131)의 상부면과 안정적으로 접촉할 수 있다.
기판이 제1 안착부재(121)들의 상부면에 안착되면, 이송유닛(50)을 제1 안착부재(121)들 사이 공간의 외측으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 이송유닛(50)을 전후방향으로 이동시켜 제1 안착부재(121)들 사이의 공간에서 빼낼 수 있다.
그 다음, 제2 안착부재(131)들을 일방향과 반대방향(또는, 상측)으로 이동시킬 수 있다. 이에, 제2 안착부재(131)들의 상부면이 기판의 하부면과 접촉할 수 있다. 따라서, 제2 안착부재(131)들이 제1 안착부재(121)들과 함께 기판을 안정적으로 지지해줄 수 있다.
이때, 이송유닛(50)에서 기판 지지장치(100)로 바로 기판을 안착시킬 수 있다. 즉, 별도의 흡착기를 구비하여 이송유닛(50)에서 흡착기에 기판을 흡착시키고, 흡착기에서 기판 지지장치(100)로 기판을 운반하는 작업을 생략할 수 있다. 따라서, 기판을 신속하게 처리하여, 기판을 처리하는 공정의 효율성이 향상될 수 있다.
그 다음, 기판과 접촉한 위치에 제2 안착부재(131)들을 고정시킬 수 있다. 즉, 제2 안착부재(131)들이 상측으로 이동한 위치에서, 고정부(140)를 이용하여 제2 안착부재(131)들의 위치를 고정해줄 수 있다. 예를 들어, 제2 안착부재(131)와 함께 이동하게 설치되는 기둥부재(142)를 클램핑하여, 제2 안착부재(131)의 이동을 제한할 수 있다. 따라서, 기판이 처리되는 동안 제2 안착부재(131)들이 고정되어, 제2 안착부재(131)들이 제1 안착부재(121)들과 안정적으로 한 면을 이룰 수 있기 때문에, 기판이 안정적으로 안착된 상태를 유지할 수 있다.
제2 안착부재(131)를 고정시킨 후, 레이저 조사장치(80)와, 제1 안착부재(121)들 및 제2 안착부재(131)들 상에 안착된 기판 사이의 거리를 조절하는 작업을 수행할 수 있다. 즉, 높이조절부(170)를 이용하여, 기판의 두께에 따라 기판(S)과 레이저 조사장치(80)의 간격을 조절할 수 있다. 이에, 레이저 조사장치(80)를 이동시키지 않으면서, 레이저 조사장치(80)에서 조사되는 레이저빔의 포커싱을 기판의 표면에 맞춰줄 수 있다. 따라서, 레이저 조사장치(80)의 위치를 조절하지 않으면서, 다양한 두께의 기판을 처리할 수 있다.
이처럼 기판의 로딩 및 언로딩 작업을 신속하게 수행하면서 기판 지지장치(100)에 기판을 안정적으로 지지시킬 수 있다. 따라서, 기판을 처리하는 공정에 소용되는 단축하고, 기판을 처리하는 공정의 정확성을 향상시킬 수 있기 때문에, 기판을 처리하는 공정의 효율성이 향상될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 아래에 기재될 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 기판 지지장치 110: 베이스 플레이트
120: 제1 안착부 130: 제2 안착부
140: 고정부 150: 제1 레벨조절부재
160: 제2 레벨조절부재 170: 높이조절부

Claims (17)

  1. 이송유닛에 의해 운반되는 기판이 안착될 수 있는 기판 지지장치로서,
    베이스 플레이트;
    상기 기판은 안착되고 상기 이송유닛은 통과할 수 있도록, 상기 베이스 플레이트 상에 이격되어 설치되는 복수개의 제1 안착부재를 구비하는 제1 안착부;
    적어도 일부가 상기 제1 안착부재들 사이에 배치되어 상하로 이동할 수 있도록, 상기 베이스 플레이트 상에 설치되는 제2 안착부; 및
    상측으로 이동한 위치에서 상기 제2 안착부를 고정해줄 수 있는 고정부;를 포함하고,
    상기 고정부는,
    상기 제2 안착부와 함께 상하로 이동할 수 있도록, 상기 제2 안착부에 연결되는 기둥부재, 및
    상기 기둥부재를 클램핑할 수 있도록, 상기 기둥부재가 이동하는 경로에 배치되는 클램프를 포함하는 기판 지지장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 안착부는,
    복수개가 구비되어 서로 이격되고, 상기 제1 안착부재들 사이에 각각 배치되는 제2 안착부재;
    상기 제2 안착부재들과 연결되는 연결부재; 및
    상기 연결부재를 상하로 이동시킬 수 있도록, 상기 베이스 플레이트와 상기 연결부재 사이에 설치되는 구동부재;를 포함하는 기판 지지장치.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 클램프는,
    상기 기둥부재가 관통할 수 있는 관통구를 가지는 블록부재; 및
    상기 관통구 내부로 삽입된 기둥부재에 밀착될 수 있도록, 상기 블록부재의 내부공간에 이동 가능하게 설치되는 밀착부재;를 포함하는 기판 지지장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 밀착부재는 상기 기둥부재의 이동방향과 교차하는 방향으로 이동 가능하고,
    상기 기둥부재와 상기 밀착부재 중 어느 하나의 적어도 일부에 홈이 형성되고, 다른 하나의 적어도 일부가 상기 홈에 삽입될 수 있는 기판 지지장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 홈은 상기 밀착부재가 이동하는 방향에 대해 경사를 가지거나 오목하게 형성되는 기판 지지장치.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 안착부재들과 상기 제2 안착부재들의 레벨링할 수 있는 레벨조절부를 더 포함하는 기판 지지장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 레벨조절부는,
    상기 제1 안착부재들 각각의 상하방향 위치를 조절할 수 있도록 설치되는 제1 레벨조절부재; 및
    상기 제2 안착부재들 각각의 상하방향 위치를 조절할 수 있도록, 상기 연결부재와 상기 제2 안착부재 사이에 설치되는 제2 레벨조절부재;를 포함하는 기판 지지장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1 안착부는,
    상기 제1 안착부재를 지지하도록, 상기 베이스 플레이트에 설치되는 지지대를 더 포함하고,
    상기 제1 레벨조절부재는,
    상기 베이스 플레이트와 상기 제1 안착부재 사이의 간격을 조절할 수 있도록, 상기 베이스 플레이트와 상기 제1 안착부재 사이에 설치되는 제1 레벨기; 및
    상기 지지대와 상기 제1 안착부재 사이의 간격을 조절할 수 있도록, 상기 지지대와 상기 제1 안착부재 사이에 설치되는 제2 레벨기;를 포함하는 기판 지지장치.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 제1 안착부와 상기 제2 안착부는 상기 베이스 플레이트의 상부면에 연결되고,
    상기 레벨조절부는,
    상기 베이스 플레이트의 위치별 높이를 조절할 수 있는 제3 레벨조절부재; 및
    상기 베이스 플레이트와 상기 제1 안착부재 사이의 간격을 위치별로 조절할 수 있는 제4 레벨조절부재;를 포함하는 기판 지지장치.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 레벨조절부는,
    상기 제1 안착부재들과 상기 제2 안착부재들 각각의 수평상태를 감지할 수 있는 감지기를 더 포함하는 기판 지지장치.
  12. 청구항 1, 청구항 2, 및 청구항 4 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트가 배치되는 높이를 조절할 수 있는 높이조절부를 더 포함하는 기판 지지장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 높이조절부는,
    상기 베이스 플레이트의 하부에 연결되는 지지부재;
    상기 지지부재를 상하로 이동시킬 수 있도록, 상기 지지부재와 연결되는 승강부재; 및
    상기 기판의 두께에 따라 상기 승강부재의 작동을 제어할 수 있는 제어기를 포함하는 기판 지지장치.
  14. 이송유닛에 의해 운반되는 기판을 기판 지지장치에 지지시키는 방법으로서,
    서로 이격되는 복수개의 제1 안착부재보다, 상기 제1 안착부재들 사이에 설치되는 제2 안착부재의 위치가 낮아지도록, 상기 제2 안착부재를 일방향으로 이동시키는 과정;
    상기 제1 안착부재들 사이의 공간으로 상기 이송유닛을 통과시키면서, 상기 이송유닛에 지지된 기판을 상기 제1 안착부재들 상으로 전달하는 과정;
    상기 제1 안착부재들 사이의 공간 외측으로 상기 이송유닛을 이동시키는 과정;
    일방향과 반대방향으로 상기 제2 안착부재를 이동시켜, 상기 제2 안착부재를 기판에 접촉시키는 과정; 및
    기판과 접촉한 위치에 상기 제2 안착부를 고정시키는 과정;을 포함하고,
    상기 제2 안착부재를 고정시키는 과정은,
    상기 제2 안착부재와 함께 이동하는 기둥부재를, 상기 기둥부재의 이동경로에 배치되는 클램프로 클램핑하여 상기 제2 안착부재의 이동을 제한하는 과정을 포함하는 기판 지지방법.
  15. 삭제
  16. 청구항 14에 있어서,
    상기 제1 안착부재들 상에 기판을 안착시키기 전에,
    상기 제1 안착부재들과 상기 제2 안착부재의 수평상태를 검사하는 과정; 및
    상기 제1 안착부재들과 상기 제2 안착부재를 레벨링하는 과정;을 더 포함하는 기판 지지방법.
  17. 청구항 14에 있어서,
    상기 제2 안착부를 고정시킨 후,
    상기 기판 지지장치 상측에 배치되어 기판을 처리하는 기판 처리장치와, 상기 제1 안착부재 및 상기 제2 안착부 상에 안착된 기판 사이의 거리를 조절하는 과정을 더 포함하는 기판 지지방법.
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