KR102469830B1 - 멀티 포인트 다이아몬드 툴 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스크라이브 함으로써 포인트가 마모되어도 툴의 교환 횟수를 줄이는 것을 과제로 한다.
또한, 다이아몬드 툴(10)의 베이스(11)의 모서리에 대해서 베이스의 양측으로부터 경사면을 형성하여 능선의 양측을 포인트로 한다. 이 다이아몬드 툴(10)의 어느 한 포인트를 기판에 접촉시켜서 전동시키지 않고 스크라이브 한다. 포인트가 스크라이브에 의해 마모된 경우에는, 다이아몬드 툴(10)을 회전시켜서 다른 포인트를 이용하여 스크라이브 한다. 이에 따라, 1개의 다이아몬드 툴로 복수의 포인트를 사용할 수 있어, 다이아몬드 툴의 교환 빈도를 줄일 수 있다.

Description

멀티 포인트 다이아몬드 툴{MULTI-POINT DIAMOND TOOLS}

본 발명은 유리 기판이나 실리콘 웨이퍼 등의 취성 재료 기판을 다이아몬드 포인트로 스크라이브 하기 위한 멀티 포인트 다이아몬드 툴에 관한 것이다.

종래 유리 기판이나 실리콘 웨이퍼를 스크라이브 하기 위해서, 스크라이빙 휠이나 단결정 다이아몬드에 의한 다이아몬드 포인트를 이용한 툴이 이용되고 있다. 유리 기판에 대해서는, 주로 기판에 대해 전동(轉動)시키는 스크라이빙 휠이 이용되어 왔지만, 스크라이브 후의 기판의 강도가 향상하는 등의 이점으로부터, 고정날인 다이아몬드 포인트의 사용도 검토되고 있다. 특허문헌 1, 2에는 사파이어 웨이퍼나 알루미나 웨이퍼 등 경도가 높은 기판을 스크라이브 하기 위한 포인트 커터가 제안되어 있다. 이들 특허문헌에는 각뿔의 능선상에 절단 포인트를 설치한 툴이나, 선단이 원추로 된 툴이 이용되고 있다. 또, 특허문헌 3에는 유리판을 스크라이브 하기 위해서 원추형의 선단을 갖는 유리 스크라이버를 이용한 스크라이브 장치가 제안되어 있다.

특허문헌 1: 일본 공개특허출원 2003－183040호 공보 특허문헌 2: 일본 공개특허출원 2005－079529호 공보 특허문헌 3: 일본 공개특허출원 2013－043787호 공보

종래의 고정날인 툴로 스크라이브를 진행하면 포인트가 마모되기 때문에, 포인트를 변경할 필요가 있다. 각뿔형이나 원추형의 툴로는 사용 가능한 정점이 되는 포인트는 2곳 또는 최대 4곳이다. 따라서, 2곳 또는 4곳의 포인트를 변경하면 툴을 교환할 필요가 있어서, 교환 빈도가 높아진다고 하는 문제점이 있었다. 또, 툴에 의한 스크라이브에 있어서는, 포인트가 기판에 대해서 적절한 각도로 접촉할 필요가 있다. 그러나 종래의 툴로는, 포인트를 변경하는 경우 툴을 축방향으로 회전시킬 필요가 있어서, 이 접촉각도를 정밀도 좋게 조정하는 것이 쉽지 않았다.

본 발명은 이러한 종래의 문제점에 입각하여 이루어진 것으로, 스크라이브에 사용하고 있는 포인트가 마모되어도 쉽게 포인트 위치를 변경해서 교환 빈도를 줄일 수 있는 다이아몬드 툴을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 멀티 포인트 다이아몬드 툴은 대향하는 2개의 측면과, 복수의 외주면을 갖는 다각형의 판상 베이스와, 상기 베이스 중 적어도 1개의 모서리에 대해서, 상기 베이스의 일방의 측면으로부터 이웃하는 2개의 상기 외주면을 향해서 형성된 제1 경사면과, 상기 베이스의 타방의 측면으로부터 이웃하는 2개의 상기 외주면을 향해서 형성된 제2 경사면과, 상기 제1, 제2 경사면이 교차하는 능선을 구비하고, 적어도 상기 능선을 포함하는 부분이 다이아몬드로 형성되어 있으며, 상기 능선의 양단을 포인트로 하는 것이다.

여기서 상기 베이스의 외주면으로부터 상기 능선의 양단을 향해서 연마한 윗면을 갖도록 해도 좋다.

이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 멀티 포인트 다이아몬드 툴은 대향하는 2개의 측면과, 복수의 외주면을 갖는 다각형의 판상 베이스와, 상기 베이스 중 적어도 1개의 모서리에 대해서 상기 베이스의 일방의 측면으로부터 형성된 제1, 제2 경사면과, 상기 베이스의 타방의 면으로부터 형성된 제3, 제4 경사면과, 상기 제1, 제3 경사면이 교차하여 베이스의 면과 평행한 제1 능선과, 상기 제2, 제4 경사면이 교차하여 베이스의 면과 평행한 제2 능선을 구비하고, 적어도 상기 제1, 제2 능선을 포함하는 부분이 다이아몬드로 형성되어 있으며, 상기 제1, 제2 능선의 외측의 양단을 포인트로 하는 것이다.

여기서 상기 베이스의 외주면으로부터 상기 제1, 제2 능선의 양단을 향해 연마한 윗면를 갖도록 해도 좋다.

여기서 상기 각 경사면은 레이저 가공에 의해 형성된 것이어도 좋다.

상기 각 윗면은 기계 가공에 의해 형성된 것이어도 좋다.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 다이아몬드 툴의 주위에 다수의 포인트를 설치할 수가 있다. 따라서, 1개의 포인트가 마모되어도 다이아몬드 툴의 고정 각도를 변화시킴으로써 새로운 포인트를 사용할 수 있어, 다이아몬드 툴의 교환 빈도를 줄일 수 있다고 하는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 기판에 대해서 툴의 설치 각도를 일정하게 한 채로 포인트를 변경할 수 있기 때문에, 포인트의 접촉각도를 용이하게 조정할 수가 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 멀티 포인트 다이아몬드 툴의 측면도 및 정면도이다.
도 2는 제1 실시형태의 변형예에 따른 멀티 포인트 다이아몬드 툴의 측면도 및 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다이아몬드 툴을 이용한 스크라이브를 나타내는 측면도 및 그 확대도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다이아몬드 툴을 이용한 스크라이브를 나타내는 정면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 다이아몬드 툴을 이용한 스크라이브를 나타내는 측면도 및 그 확대도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 다이아몬드 툴의 측면도 및 정면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시형태의 변형예에 따른 다이아몬드 툴의 측면도 및 정면도이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 다이아몬드 툴의 측면도 및 정면도이다.
도 9는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 다이아몬드 툴의 주요부를 확대한 측면도 및 정면도이다.

본 발명의 제1 실시형태에 대해서 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 멀티 포인트 다이아몬드 툴(이하, 다이아몬드 툴이라고 한다)(10)의 일 예를 나타내는 측면도 및 정면도이다. 이 다이아몬드 툴(10)은 일정한 두께로 회전 대칭하는 임의의 수의 변으로 이루어지는 다각형 판재를 베이스로 한다. 이 실시형태에서는, 일정한 두께의 판 모양으로 정사각형의 베이스(11)를 단결정 다이아몬드로 구성하고, 그 중심에 관통홀(12)을 가지고 있다. 이 베이스(11)에 대해서 도 1에 나타내듯이, 사방 모서리 부분의 양측으로부터 V자형으로 연마한다. 즉, 일방의 측면(11a)으로부터 베이스의 외주면을 향해서 베이스(11) 두께의 1/2 이상이 될 때까지 잘라내어 제1 경사면(13a)을 형성한다. 이 때, 제1 경사면(13a)과 베이스(11) 2개가 서로 이웃하는 외주면(16, 19)이 각각 이루는 각이 같아지도록 잘라내는 것이 바람직하다. 마찬가지로, 같은 측면(11a)으로부터 다른 모서리에 대해서도 제1 경사면(13b~13d)을 형성한다. 그 다음, 베이스(11)의 타방의 측면(11b)으로부터 마찬가지로, 베이스(11)의 2개가 서로 이웃하는 외주면(16, 19)을 향해서 베이스(11) 두께의 1/2 정도가 될 때까지 잘라내고, 사다리꼴이 되는 제2 경사면(14a~14d)을 형성한다. 이러한 경사면은 레이저 가공에 의해 쉽게 형성할 수 있다. 또, 레이저 가공 후에 추가로 기계 연마하여, 능선을 형성하는 부분을 보다 정밀한 연마면으로 해도 좋다. 이렇게 하면 동일한 모서리에 대한 한 쌍의 제1, 제2 경사면(13a 와 14a)이 교차하여 베이스(11) 두께 방향의 중간, 바람직하게는 도 1(b)에 나타내듯이 중앙 위치에 베이스의 측면(11a, 11b)에 평행하게, 그리고 측면시에서의 베이스의 대각선에 대해서 수직인 능선(15a)이 형성된다. 마찬가지로, 제1, 제2 경사면(13b와 14b, 13c와 14c, 13d와 14d)이 교차하여 각각 베이스(11)의 두께 방향의 중간, 바람직하게는 중앙 위치에, 베이스의 측면(11a, 11b)에 평행한 능선(15b, 15c, 15d)이 구성되어, 베이스의 대각선에 대해서 수직인 4개의 능선이 베이스(11)의 모서리 부분에 형성되게 된다. 여기서 베이스(11) 사방의 외주면은 윗면(16, 17, 18, 19)이 된다. 여기서 윗면이란, 능선을 형성하는 제1, 제2 경사면에 접하여 능선의 일단을 공유하는 면을 말한다. 1개의 능선(15a)이 윗면(16, 19)과 접하는 능선의 양단, 즉 제1 경사면(13a), 제2 경사면(14a)과 윗면(16, 19)의 교점을 포인트(P1, P2)로 한다. 이 포인트(P1, P2)에서의 윗면과 능선이 이루는 각도(α)는 약 135°가 된다. 그 외 6곳의 경사면에 대해서도 마찬가지이며, 능선(15b~15d) 양단의 윗면과 접하는 점, 즉 제1 경사면(13b~13d), 제2 경사면(14b~14d)과 윗면(16~19)의 교점을 각각 포인트(P3~P8)로 한다. 이와 같이 능선(15a~15d)의 양단을 포인트(P1~P8)로 함으로써, 도 1(a)에 나타내듯이 측면시에 팔각형이 된 다이아몬드 툴(10)에 대해 주위에 8곳의 포인트를 형성할 수 있다.

그 다음, 제1 실시형태의 변형예에 따른 다이아몬드 툴(20)에 대해서 설명한다. 도 2는 이 변형예의 측면도 및 정면도로서, 제1 실시형태와 동일한 부분에는 동일 부호를 부여하고 있다. 이 변형예에서는 제1 경사면(13a~13d), 제2 경사면(14a~14d)을 형성한 후, 도 2에 나타내듯이 각 능선(15a~15d)에 대해 각각의 양단 부분으로부터 더욱 외주면을 향해 연마하고, 베이스(11) 사방의 외주면과는 다른 면을 형성하여 윗면으로 한 것이다. 즉, 도 2(b)에 나타내는 삼각형의 작은 연마면이 윗면(21a, 21b, 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b)이 되고, 윗면과 능선이 이루는 각도(α)는 제1 실시형태의 135°보다 커진다. 따라서, 이 경우에는 윗면을 기계가공을 통해 고정밀도로 가공할 수 있어, 포인트의 위치를 정밀하게 가공할 수 있다. 또, 윗면과 능선의 최소 각도는 스크라이브의 대상이 되는 취성 재료 기판의 종류나 두께에 맞추어 135°보다 큰 수치로 조정할 수가 있다.

이 실시형태의 다이아몬드 툴(10 또는 20)을 이용하여 스크라이브 하는 경우에 대해, 도 3~도 5를 이용하여 설명한다. 스크라이브 할 때에는, 도 3(a)에 나타내듯이 다이아몬드 툴(10 또는 20)의 하나의 포인트(P1)를 기판(25)에 접촉시켜서, 다이아몬드 툴(10)을 포인트(P1)에서의 능선 방향인 도시된 화살표A 방향으로 이동시켜 스크라이브 한다. 다이아몬드 툴(10)은 전동시키지 않기 때문에, 같은 포인트로 스크라이브 할 수 있다. 이 때, 도 3(b)에 포인트(P1) 주변의 확대도를 나타내듯이, 능선과 취성 재료 기판이 이루는 각도(θ)가 바람직하게는 2~10°, 더욱 바람직하게는 3~7°가 되도록 다이아몬드 툴(10)을 접촉시킨다. 도 4는 화살표A 방향에서 보아 스크라이브 하는 상태를 나타내는 도면이다. 본 도면에 나타내듯이, 스크라이빙 휠은 얇은 판 모양의 베이스를 가공한 것이기 때문에, 기판(25)의 상면에 부품(26) 등이 존재하는 경우라도, 부품 사이의 좁은 틈새에 다이아몬드 툴을 이동시켜서 스크라이브 할 수 있다.

그리고 기판(25)에 접하고 있는 포인트(P1)가 마모로 열화한 경우에는, 도 5에 나타내듯이 관통홀(12)을 중심으로 다이아몬드 툴(10)을 회전시켜서 인접하는 포인트(P2)를 기판(25)에 접촉시키고, 마찬가지로 포인트(P2)에서의 능선 방향인 화살표B 방향으로 스크라이브 한다. 도 5(b)는 포인트(P2)의 주변을 나타내는 확대도이다. 이 때, 회전 각도는 능선과 취성 재료 기판이 이루는 각도에 따라서 결정된다. 즉, 능선과 취성 재료 기판이 이루는 각도(θ)가 포인트(P2)를 이용하여 스크라이브 하는 경우와 포인트(P1)를 이용하는 경우에 동일해지도록 한다. 이를 반복하면, 포인트가 마모에 의해 열화되어도 원판의 주위에 형성한 포인트 수만큼 새로운 포인트로 스크라이브를 할 수가 있다. 또, 다이아몬드 툴(10)을 회전시켜도, 다이아몬드 툴(10)의 측면시에 날 끝의 능선이 기판에 접촉하는 각도는 변함없기 때문에, 포인트의 기판에 대한 접촉각도를 조정하는 것이 용이하다.

또한, 동일한 방향으로 다이아몬드 툴(10)을 이용하는 경우에는, 포인트(P1)가 마모되면 다이아몬드 툴(10)을 90°씩 회전시켜서 포인트(P3, P5, P7)를 차례대로 이용하고, 4곳의 포인트가 모두 마모되면 다이아몬드 툴(10)을 반전시킨다. 그리고 능선과 취성 재료 기판이 이루는 각도(θ)가 일정하게 되도록 포인트(P2, P4, P6, P8)를 차례대로 접촉시켜서, 반전 후에도 총 4회 포인트 위치를 변화시켜서 스크라이브 한다. 이와 같이 하면, 총 8회 포인트를 변화시켜서 스크라이브 할 수 있다. 다이아몬드 툴(20)을 이용한 경우에도, 마찬가지로 8회 포인트를 변화시켜서 스크라이브 할 수 있다.

그 다음, 본 발명의 제2 실시형태에 대해서 도 6을 이용하여 설명한다. 제2 실시형태의 다이아몬드 툴(30)은 단결정 다이아몬드에 의한 육각형 베이스(31)의 중심에 관통홀(32)을 설치하고, 베이스(31) 모서리의 양측으로부터 제1 실시형태와 마찬가지로 V자형으로 연마하여 제1 경사면(33a~33f), 제2 경사면(34a~34f)을 형성하고 있다. 이렇게 하면, 경사면(33a와 34a, 33b와 34b…) 사이에 능선(35a~35f)이 형성된다. 각 능선(35a~35f)의 양단은 포인트(P1~P12)로 되어 있다. 이러한 경사면은 레이저 가공으로 용이하게 형성할 수 있다. 또, 레이저 가공 후에 추가로 기계 연마를 하여, 능선을 형성하는 부분에 의해 정밀한 경사면을 형성해도 좋다. 여기서 베이스(31)의 측면은 윗면(36~41)이 되어 있다. 그리고 능선(35a~35f)의 양단을 포인트로 하여 12곳의 포인트를 형성할 수 있다. 이 경우, 윗면과 능선의 각도는 150°가 된다.

그 다음, 제2 실시형태의 변형예에 따른 다이아몬드 툴(50)에 대해서 설명한다. 도 7은 이 변형예의 정면도 및 측면도로서, 제2 실시형태와 동일한 부분에는 동일 부호를 부여하고 있다. 이 실시형태에서도 상술한 제1 실시형태의 변형예와 마찬가지로, 도 7에 나타내듯이 능선(35a~35f) 양단 부분의 측방으로부터 더욱 연마하고, 베이스(11)의 사방의 외주면과는 다른 면을 형성하여 윗면으로 한다. 이 경우, 능선(35a~35f)의 양단 부분의 측방으로부터 포인트(P1~P12)를 향해서 삼각형의 작은 연마면이 윗면(51a, 51b, 52a, 52b…56a, 56b)이 되고, 윗면과 능선이 이루는 각도(θ)는 제2 실시형태의 150°보다 커진다. 따라서 포인트(P1~P12)의 위치가 변화하게 되어 능선이 조금 짧아진다. 이 경우에는 작은 윗면를 연마함으로써 고정밀도로 가공할 수 있고, 포인트의 위치도 정밀하게 가공할 수 있다. 또, 윗면과 능선의 각도를 150°보다 크게 할 수가 있어서 기판에 맞추어 적절한 각도로 조정할 수 있다.

이 다이아몬드 툴(30 또는 50)에서도, 스크라이브 할 때에 1개의 포인트(P1)를 기판(25)에 접촉시켜 스크라이브 한다. 그리고 이 포인트가 마모되었을 경우에는, 제1 실시형태와 마찬가지로 다이아몬드 툴(30 또는 50)의 관통홀에 삽입한, 도시하지 않은 축을 따라서 회전시키고, 인접하는 포인트를 접촉시켜서 스크라이브를 한다. 이 경우에도, 능선과 취성 재료 기판이 이루는 각도(θ)가 일정하게 되도록 한다. 이를 반복함으로써 합계 12곳의 포인트에서 스크라이브를 할 수 있다.

이어서, 본 발명의 제3 실시형태에 대해서 도 8 및 도 9를 이용하여 설명한다. 이 실시형태의 다이아몬드 툴(60)도 제1 실시형태와 마찬가지로, 단결정 다이아몬드에 의한 정사각형으로 일정한 두께의 판 모양의 베이스(61)의 중심에 관통홀(62)을 가지고 있다. 이 실시형태에서는 베이스(61)의 모서리를 형성하는 일방의 측면(61a)으로부터 외주면을 향해서 제1, 제2 경사면(62a, 62b)을 형성한다. 이 때, 제1, 제2 경사면은 각각 베이스(61)의 다각형의 대각선에 대해서 수직으로 예를 들면 5° 기울여서 연마됨으로써 서로 교차한다. 마찬가지로, 타방의 측면(61b)으로부터 제3, 제4 경사면(63a, 63b)을 형성한다. 그리고 제1, 제3 경사면의 교선을 제1 능선(64a)으로 하고, 제2, 제4 경사면(62b, 63b)의 교선을 제2 능선(64b)으로 한다. 이 2개의 능선(64a, 64b)은 베이스(61)의 측면(61a, 61b)에 평행하게 되는 것이 바람직하다. 제1 능선(64a), 제2 능선(64b)은, 제1, 제2 실시형태에서의 능선(35a)에 대해서, 각각 예를 들면 약 5°씩 기울여서 형성된다. 따라서, 제1 능선과 제2 능선이 이루는 각도는 예를 들면 약 170°가 된다.

또, 이 모서리에 인접하는 다른 1개의 모서리에 대해서는, 마찬가지로 베이스(61)의 일방의 측면으로부터 제1, 제2 경사면(65a, 65b), 타방의 측면으로부터 제3, 제4 경사면(66a, 66b)을 형성하고, 경사면(65a, 66a)의 교선을 제1 능선(67a), 경사면(65b, 66b)의 교선을 제2 능선(67b)으로 한다. 다른 1개의 모서리에 대해서도 마찬가지로 하여 각각 제1~제4 경사면(68a, 68b, 69a, 69b)을 형성하고, 경사면의 교선을 제1 능선(70a), 제2 능선(70b)으로 한다. 나머지 모서리에 대해서도 제1~제4 경사면(71a, 71b, 72a, 72b)을 형성하고, 경사면의 교선을 제1 능선(73a), 제2 능선(73b)으로 한다.

그 다음, 도 8(b), 도 9(b)에 나타내듯이, 베이스(61)의 외주면으로부터 제1 능선(64a), 제2 능선(64b)을 향해서 연마하여 윗면(74a, 74b)을 형성한다. 이렇게 하면 제1, 제3 경사면(62a, 63a)과 윗면(74a)으로 1개의 정점을 형성할 수 있고, 이를 포인트(P1)로 한다. 마찬가지로, 제2, 제4 경사면(62b, 63b)과 측방으로부터 연마한 윗면(74b)으로 정점을 형성할 수 있고, 이를 포인트(P2)로 한다. 이렇게 하면 베이스(61)의 하나의 모서리에 대해서 2개의 포인트를 형성할 수 있다.

이 모서리에 인접하는 다른 1개의 모서리에 대해서도, 베이스(61)의 외주면으로부터 제1 능선(67a), 제2 능선(67b)을 향해서 연마하여 윗면(75a, 75b)을 형성한다. 이렇게 하면 제1, 제3 경사면(65a, 66a)과 윗면(75a)으로 1개의 정점을 형성할 수 있고, 이를 포인트(P3)로 한다. 마찬가지로, 제2, 제4 경사면(65b, 66b)과 측방으로부터 연마한 윗면(75b)으로 정점을 형성할 수 있고, 이를 포인트(P4)로 한다.

또, 베이스(61)의 외주면으로부터 능선(70a, 70b)을 향해서 연마하여 윗면(76a, 76b)을 형성한다. 이렇게 하면 제1, 제3 경사면(68a, 69a)과 윗면(76a)으로 1개의 정점을 형성할 수 있고, 이를 포인트(P5)로 한다. 마찬가지로, 제2, 제4 경사면(68b, 69b)과 측방으로부터 연마한 윗면(76b)으로 정점을 형성할 수 있고, 이를 포인트(P6)로 한다.

또, 베이스(61)의 외주면으로부터 능선(73a, 73b)을 향해서 연마하여 윗면(77a, 77b)을 형성한다. 이렇게 하면 제1, 제3 경사면(62a, 63a)과 윗면(77a)으로 1개의 정점을 형성할 수 있고, 이를 포인트(P7)로 한다. 마찬가지로, 제2, 제4 경사면(62b, 63b)과 측방으로부터 연마한 윗면(77b)으로 정점을 형성할 수 있고, 이를 포인트(P8)로 한다. 이 실시형태에서는, 각 포인트를 구성하는 윗면과 2개의 경사면이 모두 다른 포인트를 구성하는 것이 아니라 독립하고 있기 때문에, 다른 포인트에 영향을 미치지 않고 정밀한 연마가 가능해진다. 이렇게 하면 베이스 주위에 8개의 포인트(P1~P8)를 형성할 수 있다.

또, 제3 실시형태에서는 제1, 제3과 제2, 제4 경사면으로 형성된 2개의 능선의 끝에 대해서 측면으로부터 더욱 연마하여 삼각형의 윗면을 형성하지만, 베이스(61)의 외주면을 그대로 윗면으로 하여, 경사면(62a, 63a)과 측면, 경사면(62b, 63b)과 외주면에 의해 형성되는 정점을 각각 포인트로서 형성하도록 해도 좋다. 다른 모서리의 포인트에 대해서도 마찬가지이다.

이 다이아몬드 툴(60)을 이용하여 스크라이브 할 때에도, 1개의 포인트(P1)를 기판에 접촉시켜서 스크라이브 한다. 그 위치가 마모되었을 경우에는 다이아몬드 툴(60)을 회전시켜서 인접하는 포인트를 이용한다. 이 때, 능선과 취성 재료 기판이 이루는 각도(θ)가 스크라이브 할 때에 일정하게 되도록 한다. 이렇게 하면 8회 포인트 위치를 변화시켜서 스크라이브를 할 수 있다. 또, 포인트(P1)가 마모되면 다이아몬드 툴을 90°씩 회전시켜서 포인트(P3, P5, P7)를 이용하고, 4곳의 포인트가 모두 마모되면 다이아몬드 툴을 반전시켜서 능선과 취성 재료 기판이 이루는 각도(θ)가 일정하게 되도록 조정하여 4곳의 포인트(P2, P4, P6, P8)를 사용하여 총 8회의 포인트를 사용하도록 해도 좋다.

상술한 각 실시형태에서는 주위에 8 또는 12곳의 포인트를 설치하고 있지만, 적어도 1개의 모서리에 포인트를 설치하면 되고, 반드시 모든 모서리에 경사면과 포인트를 설치할 필요는 없다. 그러나 인접하는 포인트가 서로 간섭하지 않는 범위에서 외주부에는 가능한 한 많은 포인트를 설치해 놓는 것이 바람직하다. 이에 따라, 각 포인트가 마모되었을 때에 다이아몬드 툴을 회전시키는 것만으로 포인트를 교환할 수 있어서, 다이아몬드 툴의 교환 빈도를 줄일 수가 있다. 또, 베이스의 형상은 사각형 및 육각형에 한정되지 않고, 임의의 다각형으로 할 수 있다.

또, 상술한 실시형태에서는 베이스 전체를 단결정 다이아몬드로 구성하고 있지만, 취성 재료 기판과 접촉하는 표면 부분이 다이아몬드이면 충분하기 때문에, 초경합금이나 소결 다이아몬드제를 이용하여 형성된 베이스의 외주면 및 능선의 표면에 다결정 다이아몬드층을 형성하고, 이것을 더욱 정밀하게 연마하여 포인트를 형성해도 좋다. 또, 붕소 등의 불순물을 도프하여 도전성을 갖게 한 단결정 또는 다결정 다이아몬드를 사용해도 좋다. 도전성을 갖는 다이아몬드를 이용함으로써, 방전 가공에 의해 경사면이나 관통홀을 용이하게 형성할 수 있다.

또, 상술한 실시형태에서는 다이아몬드 툴을 각 포인트에서의 능선 방향으로 이동시켜서 스크라이브 하는 것으로 하고 있지만, 각 포인트의 윗면 방향으로 이동시켜서 스크라이브 해도 좋다.

본 발명의 멀티 포인트 다이아몬드 툴은 취성 재료 기판을 스크라이브 하는 스크라이브 장치에 이용할 수 있고, 특히 다이아몬드 툴의 마모가 많아지는 경도 높은 스크라이브 대상에도 유효하게 사용할 수가 있다.

10, 30, 50, 60 멀티 포인트 다이아몬드 툴 　
11, 31, 51, 61 베이스 　
11a, 11b, 61a, 61b　측면 　
12, 32, 52, 62 관통홀 　
13, 33, 43 연마면 　
13a~13d, 14a~14d, 33a~33f, 34a~34f, 62a, 62b, 63a, 63b, 65a, 65b, 66a, 66b, 68a, 68b, 69a, 69b, 72a, 71b, 72a, 72b　경사면
15a~15d, 35a~35f, 64a, 64b, 67a, 67b, 70a, 70b, 73a, 73b　능선 　
16~19, 21a, 21b, 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 36~41, 51a~56b, 74a~77b　윗면 　
P1~P12　포인트

Claims (6)

1. 대향하는 2개의 측면과, 복수의 외주면을 갖는 다각형의 판상 베이스와,
   상기 베이스 중 적어도 1개의 모서리에 대해서,
   상기 베이스의 일방의 측면으로부터 이웃하는 2개의 상기 외주면을 향해서 형성된 제1 경사면과,
   상기 베이스의 타방의 측면으로부터 이웃하는 2개의 상기 외주면을 향해서 형성된 제2 경사면과,
   상기 제1, 제2 경사면의 교선인 능선을 구비하고,
   적어도 상기 능선을 포함하는 부분이 다이아몬드로 형성되어 있으며,
   상기 능선의 양단을 포인트로 하는 멀티 포인트 다이아몬드 툴.
2. 제1항에 있어서,
   상기 외주면으로부터 상기 능선의 양단을 향해서 연마한 연마면을 갖는 멀티 포인트 다이아몬드 툴.
3. 대향하는 2개의 측면과, 복수의 외주면을 갖는 다각형의 판상 베이스와,
   상기 베이스 중 적어도 1개의 모서리에 대해서,
   상기 베이스의 일방의 측면으로부터 형성되어, 서로 교차하는 제1, 제2 경사면과,
   상기 베이스의 타방의 면으로부터 형성되어, 서로 교차하는 제3, 제4 경사면과,
   상기 제1, 제3 경사면이 교차하는 제1 능선과, 상기 제2, 제4 경사면이 교차하는 제2 능선을 구비하고,
   적어도 상기 제1, 제2 능선을 포함하는 부분이 다이아몬드로 형성되어 있으며,
   상기 제1, 제2 능선의 외측 양단을 포인트로 하는 멀티 포인트 다이아몬드 툴.
4. 제3항에 있어서,
   상기 베이스의 외주면으로부터 상기 제1, 제2 능선의 양단을 향해서 연마한 연마면을 갖는 멀티 포인트 다이아몬드 툴.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 각 경사면은 레이저 가공에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 멀티 포인트 다이아몬드 툴.
6. 제2항 또는 제4항에 있어서,
   상기 각 연마면은 기계 가공에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 멀티 포인트 다이아몬드 툴.

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