KR102467601B1 - 자석을 이용하는 프로브장치 - Google Patents

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KR102467601B1
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Abstract

본 발명은, 피검사체가 안착되는 베이스플레이트; 및 베이스플레이트 상에 배치되고, 검사신호를 피검사체의 단자에 입력시키는, 적어도 하나 이상의 헤드플레이트셋을 포함하고, 헤드플레이트셋은, 베이스플레이트 상에 고정되는 헤드블록; 및 헤드블록과 슬라이딩 결합하여 수직(z축) 방향으로 변위하는 바디블록을 포함하고, 헤드블록 및 바디블록은, 검사신호 입력 시 자기력을 이용하여 단자에 압력을 가하도록 구성되는, 프로브장치를 개시한다. 본 발명에 따르면, 자기력을 이용하여 프로브장치의 접촉압력이 반영구적으로 형성될 수 있다.

Description

자석을 이용하는 프로브장치{PROBE UNIT BASED ON MAGNET}
본 발명은 자석을 이용하는 프로브장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자석을 이용하여 접촉압력을 형성하는 프로브장치에 관한 것이다.
전자부품검사 기능의 프로브장치는 예컨대 디스플레이의 패널의 에이징 테스트를 위한 장치이다. 에이징은 디스플레이 패널의 제조 과정 중에 수행되는 공정으로, 디스플레이 패널이 제대로 구동되는지 확인하기 위한 신뢰성을 실험하는 공정이다.
이러한 에이징 공정에서는 에이징 챔버 내에 디스플레이 패널을 베이스 플레이트에 결합된 복수 개의 블록에 프로브를 장착한 상태에서, 일정 시간 동안 전기적 신호를 인가하여 디스플레이가 정상적으로 작동하는지 검사한다.
프로브장치에는 복수 개의 프로브블록이 정렬되어 배치될 수 있다. 각각의 프로브블록에는 디스플레이 패널과 접촉하는 접촉블록이 장착된다. 접촉블록과 디스플레이 패널의 접촉 위치는 정렬되어야 한다. 다만, 디스플레이 패널의 종류 및 크기에 따라 접촉 위치가 상이할 수 있다.
접촉블록은 피검사체, 즉 디스플레이 패널의 단자 상에 일정한 압력을 가하여 프로브핀을 접촉하도록 구성될 수 있다. 접촉압력의 형성에 종래의 기술에서는 탄성체가 사용되었으나, 내구연한으로 인하여 탄성체가 주기적으로 교체되어야 하는 문제점이 있었다.
본 발명과 관련된 기술로서, 대한민국 등록 특허 공보에 개시된, 디스플레이 패널의 테스트 장치는 제1 블록, 제2 블록 및 패널과 접촉하는 프로브를 포함하는 테스트 장치를 개시한다. 이 관련 기술은 복원력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 점에서, 자기력을 이용하여 접촉압력을 형성하는 본 발명의 실시예에 따른 프로브장치의 구성 및 효과와 구별된다.
대한민국 등록 특허 제10-1961691호(2019.03.26. 공고)
본 발명이 해결하고자 하는 일 과제는, 접촉압력 형성에 사용되던 스프링의 내구연한을 극복할 수 있는 프로브장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 과제는, 자기력을 이용하는 프로브장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 과제는, 자기력을 이용하여 접촉압력을 형성하는 프로브장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 과제에 국한되지 않으며 여기서 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브장치는, 피검사체가 안착되는 베이스플레이트(base plate); 및 베이스플레이트 상에 배치되고, 검사신호(test signal)를 상기 피검사체(test subject)의 단자에 입력시키는, 적어도 하나 이상의 헤드플레이트셋(head plate set)을 포함하고, 헤드플레이트셋은, 베이스플레이트 상에 고정되는 헤드블록; 및 헤드블록과 슬라이딩 결합하여 수직(z축) 방향으로 변위하는 바디블록을 포함하고, 헤드블록 및 바디블록은, 검사신호 입력 시 자기력을 이용하여 압력을 형성하도록 구성될 수 있다.
또한, 헤드블록 및 바디블록은 자기력을 발생시키는 자석을 각각 포함하도록 구성될 수 있다.
또한, 헤드블록 및 바디블록은 서로 척력 관계의 자석을 포함하도록 구성될 수 있다.
또한, 자석은, 자석의 수량, 두께 및 크기 중에서 적어도 하나 이상의 변화를 통해 척력의 세기가 조절되도록 구성될 수 있다.
또한, 베이스플레이트는 피검사체가 안착되는 패드(pad); 및 패드가 안착되는 제1베이스플레이트(first base plate)를 포함하되, 패드는, 상기 패드 상의 불순물이 아래로 빠지도록 메쉬(mesh) 형상으로 구성되고, 상기 제1베이스플레이트의 바닥은 상기 불순물을 모으도록 형성될 수 있다.
또한, 베이스플레이트는, 제1베이스플레이트가 안착되는 제2베이스플레이트(second base plate)를 더 포함하고, 제2베이스플레이트 상에, 상기 베이스플레이트 하부에 설치된 카메라를 통해 상기 피검사체와 상기 헤드플레이트셋의 상대적 위치가 확인되도록 하는 비전홀(vision hole)이 형성되게 구성될 수 있다.
또한, 바디블록은, 헤드블록에 형성된 크로스 레일을 따라 미끄러지는 크로스가이드(cross guide)를 이용하여 z축 방향으로 변위하는 T형블록(T-type block); T형블록의 변위를 일으키는 힘이 작용되는 레버조립체(lever assembly); 및 검사신호를 상기 피검사체의 단자에 입력시키는 프로브블록(probe block)을 포함하도록 구성될 수 있다.
또한, 레버조립체는, T형블록을 작용점(load)으로 하는 레버(lever); 레버의 받침점(fulcrum) 기능을 돕는 레버가이드(lever guide); 레버에 힘이 작용한 후 원상 회복을 돕는 탄성체(elastomer); 및 탄성체를 고정시키는 레버브라켓(lever bracket)을 포함하도록 구성될 수 있다.
또한, 프로브블록은, T형블록에 결합하는 슬라이딩블록(sliding block); 단자에 접촉하는 프로브핀(probe pin); 프로브핀을 가압하는 접촉블록(contact block); 및 프로브핀을 상기 슬라이딩블록에 고정시키는 언더블록(under block)을 포함하되, 접촉블록은, 스프링스틸(spring steel)을 매개로 상기 슬라이딩블록에 탄력지게 결합하도록 구성될 수 있다.
또한, 접촉블록은, 복수의 상기 단자가 배열된 방향으로 경사진 상기 피검사체에 대해, 상기 단자를 나누어 좌측단자(left terminal)와 우측단자(right terminal)를 독립적으로 접촉하는 좌측접촉블록(left contact block) 및 우측접촉블록(right contact block)을 포함하도록 구성될 수 있다.
기타 실시 예의 구체적인 사항은 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 및 첨부 "도면"에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 각종 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다.
그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 각 실시 예의 구성만으로 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로도 구현될 수도 있으며, 단지 본 명세서에서 개시한 각각의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐임을 알아야 한다.
본 발명에 의하면, 자기력을 이용하여 프로브장치의 접촉압력이 반영구적으로 형성될 수 있다.
또한, 자석을 이용하여 프로브장치의 접촉압력이 형성될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브장치의 분해도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브장치에 포함된 바디블록의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브장치의 자석의 위치를 설명하기 위한 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 바디블록의 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 바디블록의 우측면의 일부를 묘사한 예시도이다.
도 7을 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브블록의 분해도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 자석의 크기, 가우스 값 및 자력을 도시한 예시표이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 베이스플레이트의 예시도이다.
본 발명을 상세하게 설명하기 전에, 본 명세서에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 무조건 한정하여 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 발명자가 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 각종 용어의 개념을 적절하게 정의하여 사용할 수 있고, 더 나아가 이들 용어나 단어는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 함을 알아야 한다.
즉, 본 명세서에서 사용된 용어는 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하기 위해서 사용되는 것일 뿐이고, 본 발명의 내용을 구체적으로 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니며, 이들 용어는 본 발명의 여러 가지 가능성을 고려하여 정의된 용어임을 알아야 한다.
또한, 본 명세서에서, 단수의 표현은 문맥상 명확하게 다른 의미로 지시하지 않는 이상, 복수의 표현을 포함할 수 있으며, 유사하게 복수로 표현되어 있다고 하더라도 단수의 의미를 포함할 수 있음을 알아야 한다.
본 명세서의 전체에 걸쳐서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소를 "포함"한다고 기재하는 경우에는, 특별히 반대되는 의미의 기재가 없는 한 임의의 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 임의의 다른 구성 요소를 더 포함할 수도 있다는 것을 의미할 수 있다.
더 나아가서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"라고 기재한 경우에는, 이 구성 요소가 다른 구성 요소와 직접적으로 연결되어 있거나 접촉하여 설치되어 있을 수 있고, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있을 수도 있으며, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있는 경우에 대해서는 해당 구성 요소를 다른 구성 요소에 고정 내지 연결하기 위한 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재할 수 있으며, 이 제 3의 구성 요소 또는 수단에 대한 설명은 생략될 수도 있음을 알아야 한다.
반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결"되어 있다거나, 또는 "직접 접속"되어 있다고 기재되는 경우에는, 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재하지 않는 것으로 이해하여야 한다.
마찬가지로, 각 구성 요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 " ~ 사이에"와 "바로 ~ 사이에", 또는 " ~ 에 이웃하는"과 " ~ 에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지의 취지를 가지고 있는 것으로 해석되어야 한다.
또한, 본 명세서에서 "일면", "타면", "일측", "타측", "제 1", "제 2" 등의 용어는, 사용된다면, 하나의 구성 요소에 대해서 이 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소로부터 명확하게 구별될 수 있도록 하기 위해서 사용되며, 이와 같은 용어에 의해서 해당 구성 요소의 의미가 제한적으로 사용되는 것은 아님을 알아야 한다.
또한, 본 명세서에서 "상", "하", "좌", "우" 등의 위치와 관련된 용어는, 사용된다면, 해당 구성 요소에 대해서 해당 도면에서의 상대적인 위치를 나타내고 있는 것으로 이해하여야 하며, 이들의 위치에 대해서 절대적인 위치를 특정하지 않는 이상은, 이들 위치 관련 용어가 절대적인 위치를 언급하고 있는 것으로 이해하여서는 아니된다.
또한, 본 명세서에서는 각 도면의 각 구성 요소에 대해서 그 도면 부호를 명기함에 있어서, 동일한 구성 요소에 대해서는 이 구성 요소가 비록 다른 도면에 표시되더라도 동일한 도면 부호를 가지고 있도록, 즉 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지시하고 있다.
본 명세서에 첨부된 도면에서 본 발명을 구성하는 각 구성 요소의 크기, 위치, 결합 관계 등은 본 발명의 사상을 충분히 명확하게 전달할 수 있도록 하기 위해서 또는 설명의 편의를 위해서 일부 과장 또는 축소되거나 생략되어 기술되어 있을 수 있고, 따라서 그 비례나 축척은 엄밀하지 않을 수 있다.
또한, 이하에서, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 구성, 예를 들어, 종래 기술을 포함하는 공지 기술에 대해 상세한 설명은 생략될 수도 있다.
이하, 본 발명의 실시 예에 대해 관련 도면들을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 베이스플레이트(base plate)(100) 및 적어도 하나 이상의 헤드플레이트셋(head plate set)(200)을 포함하는 프로브장치(10)가 묘사되어 있다. 적어도 하나 이상의 헤드플레이트셋(200)은 베이스플레이트(100) 상의 일측에 일(y축) 방향으로 열을 지어 배치될 수 있다. 베이스플레이트(base plate)(100) 상의 타측에 피검사체(test subject)(미도시)가 안착되는 자리가 마련될 수 있다.
헤드플레이트셋(head plate set)(200)은 베이스플레이트(100) 상에 배치될 수 있다. 헤드플레이트셋(200)이 베이스플레이트(100) 상에 배치되고, 피검사체가 베이스플레이트(100) 상에 안착되면, 피검사체에 마련된 피검사체의 단자는 베이스플레이트(100)와 헤드플레이트셋(200) 사이에 배치될 수 있다. 헤드플레이트셋(200)은 검사신호(test signal)를 피검사체의 단자에 입력시키는 기능을 갖는다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브장치의 분해도이다.
도 2를 참조하면, 베이스플레이트(100)는 패드(pad)(130), 제1베이스플레이트(first base plate)(120), 제2베이스플레이트(second base plate)(110), 글라스(glass)(140) 및 글라스브라켓(glass bracket)(150)을 포함하도록 구성될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 베이스플레이트의 예시도이다.
도 3을 참조하면, 피검사체가 패드(130) 상에 안착되고, 패드(130)는 제1베이스플레이트(first base plate)(120) 상에 배치되고, 제1베이스플레이트(110)는 제2베이스플레이트(120) 상의 타측 영역에 배치될 수 있다.
패드(130)는, 패드(130) 상의 불순물이 아래로 빠지도록 메쉬(mesh) 형상으로 구성될 수 있다. 제1베이스플레이트(110)의 바닥은 불순물을 모으도록 형성될 수 있다. 예를 들어 제1 베이스플레이트(120)의 바닥에는 골이 형성될 수 있다.
제2베이스플레이트(120) 상에, 베이스플레이트(100) 하부에 설치된 카메라를 통해 피검사체와 헤드플레이트셋(200)의 상대적 위치가 확인되도록 하는 비전홀(vision hole)이 형성될 수 있다.
글라스(140)는 비전홀을 덮을 수 있도록 제1베이스플레이트(110) 상에 배치될 수 있다. 글라스브라켓(150)은 글라스(140)를 제1베이스플레이트(110) 상에 고정시키는 기능을 갖는다.
도 2를 다시 참조하면, 헤드플레이트셋(200)은, 헤드블록(head block)(210) 및 바디블록(body block)(210)을 포함하도록 구성될 수 있다. 헤드블록(210)은 베이스플레이트(100) 상에 고정되고, 바디블록(220)은 헤드블록(210)과 슬라이딩(sliding) 결합하여 수직(z축) 방향으로 변위하도록 구성될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브장치에 포함된 바디블록의 사시도이다.
도 4를 참조하면, 바디블록(220)은 T형블록(221), 크로스가이드(222), 크로스가이드브라켓(223), 크로스레일(224), 자석(225) 레버조립체(230) 및 프로브블록(250)을 포함하도록 구성될 수 있다.
크로스가이드(222), 크로스가이드브라켓(223), 및 크로스레일(224)은 선형운동블록(linear movement block)을 이용하여 구현될 수 있다. 크로스가이드(222) 및 크로스레일(224) 중에서 어느 하나는 고정된 헤드블록(210)에 나머지 하나는 변위하는 T형블록(221)에 결합될 수 있다. 도 4는 헤드블록(210)에 크로스레일(224)이 결합된 것으로 묘사한다.
T형블록(T-type block)(221)은, 헤드블록(210)에 형성된 크로스레일(224)을 따라 미끄러지는 크로스가이드(cross guide)(222)를 이용하여 z축 방향으로 변위하는 기능을 갖는다.
레버조립체(lever assembly)(230)는 T형블록(221)의 변위를 일으키는 힘이 작용되는 부위이다. 레버조립체(230)는, T형블록(221)을 작용점(load)으로 하는 레버(lever)(231), 레버(231)의 받침점(fulcrum) 기능을 돕는 레버가이드(lever guide)(232), 레버(231)에 힘이 작용한 후 원상 회복을 돕는 탄성체(elastmoer)(234) 및 탄성체(234)를 고정시키는 레버브라켓(lever bracket)(234)을 포함하도록 구성될 수 있다. 지그(jig)(미도시)가 레버(231)에 하방의 힘을 작용시킬 수 있다. 레버(231)에 힘이 가해지면 T형블록(221)은 헤드블록(210)에 대해 z축 방향으로 상승 변위를 하고, T형블록(221)이 상승되어 있는 동안, 지그(jig)에 의해 피검사체가 새롭게 교체될 수 있다. 피검사체의 교체가 끝나면 새로운 피검사체에 대한 검사를 위해 지그(jig)에 의해 레버(231)가 릴리즈되고, T형블록(221)은 다시 z축 방향으로 하강 변위를 한다. T형블록(221)의 하강 변위 시에 고정된 상태의 상부자석(225a, 225c)이 척력을 이용하여 하강하는 하부자석(225b, 225d)을 더욱 빠른 속도로 밀어내고, 이 때 작용하는 척력이 프로브블록(240), 즉 접촉블록(244)에 접촉압력으로 전달된다.
프로브블록(probe block)(240)은 검사신호를 피검사체의 단자에 입력시키는 기능을 갖는다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브장치의 자석의 위치를 설명하기 위한 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 바디블록의 정면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 바디블록의 우측면의 일부를 묘사한 예시도이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 프로브장치(10)는 복수의 자석을 포함하도록 구성될 수 있다. 헤드블록(210) 및 바디블록(211)은 자기력을 발생시키는 자석(225)을 각각 포함하도록 구성될 수 있다. 특히 헤드블록(210) 및 바디블록(211)은 척력을 형성하는 자석(225)을 포함하도록 구성될 수 있다. 즉 헤드블록(210)에 포함된 자석(225a, 225c)과 바디블록(211)에 포함된 자석(225a, 225d)은 서로 척력의 자기력을 발생시킨다.
바디블록(220)에 포함된 프로브블록(240)이 피검사체의 단자에 접촉할 때, 프로브핀(probe pin)이 단자를 일정 크기 이상의 힘으로 누루기 위해 일정 크기의 압력이 필요하다. 이 접촉압력은 T형블록(221)이 헤드블록(210)에 대해 z축 방향의 하강 변위하는 때에 프로브블록(240)을 통해 단자에 전달된다.
헤드블록(210) 및 바디블록(220)은, 검사신호 입력 시 자기력을 이용하여 단자에 접촉압력을 가하도록 구성될 수 있다. 즉 척력이 단자에 접촉압력으로 작용한다. 자석(255)은, 자석의 수량, 두께 및 크기 중에서 적어도 하나 이상의 변화를 통해 상기 척력의 세기가 조절되도록 구성될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 자석의 크기, 가우스 값 및 자력을 도시한 예시표이다.
도 8을 참조하면, 자석의 지름과 개수에 따른 가우스 값 및 자력이 묘사되어 있다. 자력은 T형블록(221)이 하강 시에 필요한 압력으로, T형블록(221)과 프로브블록(240)의 중량, 탄성체(234)의 탄성도, 및 크로스가이드(222)와 크로스레일(224) 간의 마찰력에 의해 좌우된다.
복수의 자석은 좌우 균형을 위해 헤드블록(210)의 내부의 좌측영역에 배치되는 자석(225a)과 우측영역(225c)에 배치되는 자석들, 이들 자석의 수직 아래에 배치되는 자석으로 T형블록(221)의 좌측 날개 영역의 내부에 배치되는 자석(225b) 및 우측 날개 영역의 내부에 배치되는 자석(225d)을 포함할 수 있다.
복수의 자석으로 네오디움 자석이 사용될 수 있다. 자석들은 해당 위치에 압입으로 고정될 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브블록의 분해도이다.
도 9를 참조하면, 프로브블록(240)은, T형블록(221)에 결합하는 슬라이딩블록(sliding block)(241), 단자에 접촉하는 프로브핀(probe pin)(미도시), 프로브핀을 가압하는 접촉블록(contact block)(244) 및 프로브핀을 슬라이딩블록(241)에 고정시키는 언더블록(under block)(243)을 포함하도록 구성될 수 있다. 그리고 접촉블록(244)은, 스프링스틸(spring steel)(242)을 매개로 슬라이딩블록(241)에 탄력지게 결합하도록 구성될 수 있다.
도 7을 다시 참조하면, 접촉블록(244)은 스프링스틸(242)을 매개로 슬라이딩블록(241)에 결합할 수 있다. 스프링스틸(242)과 슬라이딩블록(241) 사이에 간격(245)을 두어 스프링스틸(242)이 변형될 수 있는 영역이 확보될 수 있다.
도 9를 다시 참조하면, 접촉블록(244)은, 수평 또는 복수의 단자가 배열된 방향으로 경사진 피검사체에 대해, 단자를 좌측단자(left terminal)와 우측단자(right terminal)로 나누어 독립적으로 접촉하는 좌측접촉블록(left contact block)(244L) 및 우측접촉블록(right contact block)(244R)을 포함하도록 구성될 수 있다.
피검사체의 문제로 인해 Y축 방향으로 배열된 피검사체의 복수의 단자와 접촉블록(244)이 평행하지 않은 경우, 접촉블록(244)이 전체 단자를 일시에 접촉하는 경우 프로브핀과 접촉블록(244)에 불균형의 압력 전달로 인해 마모도가 증가하거나 접촉 불량이 발생될 수 있다. 접촉블록(244)을 2개로 나누어 좌측접촉블록(244L)과 우측접촉블록(244R)이 좌측단자와 우측단자를 서로 나누어 접촉함으로써 이러한 문제가 해결될 수 있다.
이상으로 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브장치(10)에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 살펴보았다.
전술된 본 발명의 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의해 나타내어질 것이다. 그리고 이 특허청구범위의 의미 및 범위는 물론 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형 가능한 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
이와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 자기력을 이용하여 프로브장치의 접촉압력이 반영구적으로 형성될 수 있다.
또한, 자석을 이용하여 프로브장치의 접촉압력이 형성될 수 있다.
이상, 일부 예를 들어서 본 발명의 바람직한 여러 가지 실시 예에 대해서 설명하였지만, 본 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 항목에 기재된 여러 가지 다양한 실시 예에 관한 설명은 예시적인 것에 불과한 것이며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이상의 설명으로부터 본 발명을 다양하게 변형하여 실시하거나 본 발명과 균등한 실시를 행할 수 있다는 점을 잘 이해하고 있을 것이다.
또한, 본 발명은 다른 다양한 형태로 구현될 수 있기 때문에 본 발명은 상술한 설명에 의해서 한정되는 것이 아니며, 이상의 설명은 본 발명의 개시 내용이 완전해지도록 하기 위한 것으로 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것일 뿐이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항에 의해서 정의될 뿐임을 알아야 한다.
10: 프로브장치(probe unit)
100: 베이스플레이트(base plate)
110: 제1베이스플레이트(first base plate)
120: 제2베이스플레이트(second base plate)
130: 패드(pad)
140: 글라스(glass)
150: 글라스브라켓(glass bracket)
200: 헤드플레이트셋(head plate set)
210: 헤드블록(head block)
220: 바디블록(body block)
221: T형블록(housing block)
222: 크로스가이드(cross guide)
223: 크로스가이드브라켓(cross guide bracket)
224: 크로스레일(cross rail)
225: 자석(magnet)
225a: 좌측상부자석(left upper magnet)
225b: 좌측하부자석(left lower magnet)
225c: 우측상부자석(right upper magnet)
225d: 우측하부자석(right lower magnet)
230: 레버조립체(lever assembly)
231: 레버(lever)
232: 레버가이드(lever guide)
233: 레버브라켓(lever bracket)
234: 탄성체(elastomer)
240: 프로브블록(probe block)
241: 슬라이딩블록(sliding block)
242: 스프링스틸(spring steel)
243: 언더블록(under block)
244: 접촉블록(contact block)

Claims (10)

  1. 피검사체(test subject)가 안착되는 베이스플레이트(base plate); 및
    상기 베이스플레이트 상에 배치되고, 검사신호(test signal)를 상기 피검사체의 단자에 입력시키는, 적어도 하나 이상의 헤드플레이트셋(head plate set)을 포함하고,
    상기 베이스플레이트는,
    상기 피검사체가 안착되는 패드(pad); 및
    상기 패드가 안착되는 제1베이스플레이트(first base plate)를 포함하되,
    상기 패드는, 상기 패드 상의 불순물이 아래로 빠지도록 메쉬(mesh) 형상으로 구성되고, 상기 제1베이스플레이트의 바닥은 상기 불순물을 모으도록 형성되고,
    상기 헤드플레이트셋은,
    상기 베이스플레이트 상에 고정되는 헤드블록(head block); 및
    상기 헤드블록과 슬라이딩(sliding) 결합하여 수직(z축) 방향으로 변위하는 바디블록(body block)을 포함하고,
    상기 헤드블록은, 상기 검사신호 입력 시, 하강 변위하는 상기 바디블록을 통해 자기력을 이용하여 상기 단자에 압력을 가하도록 구성되는,
    프로브장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 헤드블록 및 상기 바디블록은 상기 자기력을 발생시키는 자석을 각각 포함하도록 구성되는,
    프로브장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 헤드블록 및 상기 바디블록은 척력을 형성하는 상기 자석을 포함하도록 구성되는,
    프로브장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 자석은, 상기 자석의 수량, 두께 및 크기 중에서 적어도 하나 이상의 변화를 통해 상기 척력의 세기가 조절되도록 구성되는,
    프로브장치.
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 베이스플레이트는,
    상기 제1베이스플레이트가 안착되는 제2베이스플레이트(second base plate)를 더 포함하고,
    상기 제2베이스플레이트 상에, 상기 베이스플레이트 하부에 설치된 카메라를 통해 상기 피검사체와 상기 헤드플레이트셋의 상대적 위치가 확인되도록 하는 비전홀(vision hole)이 형성되게 구성되는,
    프로브장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 바디블록은,
    상기 헤드블록에 형성된 크로스 레일을 따라 미끄러지는 크로스가이드(cross guide)를 이용하여 z축 방향으로 변위하는 T형블록(T-type block);
    상기 T형블록의 변위를 일으키는 힘이 작용되는 레버조립체(lever assembly); 및
    상기 검사신호를 상기 피검사체의 단자에 입력시키는 프로브블록(probe block)을 포함하도록 구성되는,
    프로브장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 레버조립체는,
    상기 T형블록을 작용점(load)으로 하는 레버(lever);
    상기 레버의 받침점(fulcrum) 기능을 돕는 레버가이드(lever guide);
    상기 레버에 힘이 작용한 후 원상 회복을 돕는 탄성체(elastmoer); 및
    상기 탄성체를 고정시키는 레버브라켓(lever bracket)을 포함하도록 구성되는,
    프로브장치.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 프로브블록은,
    상기 T형블록에 결합하는 슬라이딩블록(sliding block);
    상기 단자에 접촉하는 프로브핀(probe pin);
    상기 프로브핀을 가압하는 접촉블록(contact block); 및
    상기 프로브핀을 상기 슬라이딩블록에 고정시키는 언더블록(under block)을 포함하되,
    상기 접촉블록은, 스프링스틸(spring steel)을 매개로 상기 슬라이딩블록에 탄력지게 결합하도록 구성되는,
    프로브장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 접촉블록은,
    수평 또는 복수의 상기 단자가 배열된 방향으로 경사진 상기 피검사체에 대해, 상기 단자를 좌측단자(left terminal)와 우측단자(right terminal)로 나누어 독립적으로 접촉하는 좌측접촉블록(left contact block) 및 우측접촉블록(right contact block)을 포함하도록 구성되는,
    프로브장치.
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