KR102407238B1 - Bga 패키지를 위한 세척장치 - Google Patents

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김성우
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주식회사 윈테크
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Abstract

본 발명의 일측면은 BGA 패키지를 이동시키는 컨베이어장치(100); 상기 BGA 패키지의 일측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-1 세척모듈(200); 상기 BGA 패키지의 타측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-2 세척모듈(300);을 포함하고, 상기 컨베이어장치(100)는, 상기 BGA 패키지의 상부 일측면에 밀착되는 제 1 상부컨베이어(110); 상기 BGA 패키지의 하부 일측면에 밀차되는 제 1 하부컨베이어(120); 상기 BGA 패키지의 상부 타측면에 밀착되는 제 2 상부컨베이어(130); 및 상기 BGA 패키지의 하부 타측면에 밀착되는 제 2 하부컨베이어(140);를 포함하고, 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 2 상부컨베이어(130) 사이에 제 1 간격(105)이 형성되고, 상기 제 1 간격(105)을 따라 상기 BGA 패키지가 세워져 이송되고, 상기 제 1-1 세척모듈(200)이 세워져 이송되는 상기 BGA 패키지의 일측면에 제 1 유체를 분사하여 세척을 제공하고, 상기 제 1-2 세척모듈(300)이 세워져 이동되는 상기 BGA 패키지의 타측면에 제 1 유체를 분사하여 세척을 제공하는 BGA 패키지를 위한 세척장치를 제공한다.

Description

BGA 패키지를 위한 세척장치{Washing machine for Ball Grid Array Semi-Conductor Package}
본 발명은 BGA 패키지를 위한 세척장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 BGA 패키지를 효과적으로 세척할 수 있는 BGA 패키지를 위한 세척장치에 관한 것이다.
일반적으로 볼 그리드 어레이 반도체 BGA 패키지(Ball Grid Array Semi-Conductor Package ; 이하 BGA 패키지라 한다)의 제조 공정은 인쇄회로기판의(Printed Circuit Board ; 이하 PCB라 한다)에 반도체칩(Semi- Conductor Chip)을 접착시키는 반도체칩 접착단계와, 상기 PCB에 형성된 배선과 반도체칩의 입/출력선과 패드(Input/Output Pad)를 와이어(Wire)로 본딩 (Bonding)하는 와이어 본딩 단계와, 상기 반도체칩 등을 외부의 환경으로 부터 보호하기 위해 봉지재(Encapsulant)를 이용하여 몰딩(Molding)하는 몰딩 단계와, 상기 BGA 패키지를 마더보드(Mother Board) 등에 실장시켜 전기적 동작이 가능하도록 PCB에 입/출력 단자인 솔더볼(Solder Ball)을 안착시키는 솔더볼 안착 단계와, 상기 안착된 솔더볼을 퍼니스(Furnace; 화로)에서 리플로우(Reflow ; 용착)시키는 리플로우 단계 등으로 구성된다.
여기서 상기 BGA 패키지에 솔더블을 안착시킬 때 그 구성품의 하나인 PCB에 플럭스(Flux)를 도포한다.
상기 플럭스(Flux)는 상기 PCB에서 솔더볼을 임시로 움직이지 않게 하기 위한 목적과 리플로우시 솔더볼들이 서로 단락되지 않게 하기 위함이다.
그러나 리플로우단계가 완료되고, 솔더블이 상기 PCB에서 완전하게 안착된 BGA 패키지에서, 상기 플럭스가 필요하지 않기 때문에, 상기 BGA 패키지의 표면에 묻은 플럭스 및 각종 이물질 등을 제거하기 위해 세척 과정이 필요하다.
종래에는 상기의 세척 작업을 위해 다수의 BGA 패키지를 매거진(Magazine)에 담고 상기 매거진을 세탁기와 비슷한 원심 분리형의 세척기에 넣고 물과 세제를 함께 넣어서 세척하는 방법을 이용하였다.
그러나 이러한 방법은 상기 BGA 패키지에 손상을 가져을 확률이 크고, 수율이 저하됨은 물론 생산량이 저하되고 또한 BGA 패키지의 신뢰성을 떨어뜨리는 요인이 되었다.
대한민국 등록특허 10-0201382호 대한민국 공개특허 10-2004-0040623호 대한민국 등록특허 10-0790450호 대한민국 등록실용신안 20-0237690호
본 발명은 BGA 패키지의 양면을 모두 효과적으로 세척할 수 있는 BGA 패키지를 위한 세척장치를 제공하는데 목적이 있다.
본 발명의 일측면은 BGA 패키지를 이동시키는 컨베이어장치(100); 상기 BGA 패키지의 일측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-1 세척모듈(200); 상기 BGA 패키지의 타측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-2 세척모듈(300);을 포함하고, 상기 컨베이어장치(100)는, 상기 BGA 패키지의 상부 일측면에 밀착되는 제 1 상부컨베이어(110); 상기 BGA 패키지의 하부 일측면에 밀차되는 제 1 하부컨베이어(120); 상기 BGA 패키지의 상부 타측면에 밀착되는 제 2 상부컨베이어(130); 및 상기 BGA 패키지의 하부 타측면에 밀착되는 제 2 하부컨베이어(140);를 포함하고, 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 2 상부컨베이어(130) 사이에 제 1 간격(105)이 형성되고, 상기 제 1 간격(105)을 따라 상기 BGA 패키지가 세워져 이송되고, 상기 제 1-1 세척모듈(200)이 세워져 이송되는 상기 BGA 패키지의 일측면에 제 1 유체를 분사하여 세척을 제공하고, 상기 제 1-2 세척모듈(300)이 세워져 이동되는 상기 BGA 패키지의 타측면에 제 1 유체를 분사하여 세척을 제공하는 BGA 패키지를 위한 세척장치를 제공한다.
상기 제 1 상부컨베이어(110)의 하단 및 제 1 하부컨베이어(120) 상단 사이에 제 1 노출간격(106a)이 형성되어 상기 BGA 패키지의 일측면이 노출되고, 상기 제 2 상부컨베이어(130)의 하단 및 제 2 하부컨베이어(140) 상단 사이에 제 2 노출간격(106b)이 형성되어 상기 BGA 패키지의 타측면이 노출될 수 있다.
상기 제 1 상부컨베이어(110)는, 상기 BGA 패키지(10)와 접촉되고 상기 BGA 패키지(10)를 이송시키는 제 1 상부이송부(111) 및 상기 BGA 패키지(10)를 이송시킨 후 입구(101) 측으로 회수되는 제 1 상부회수부(112);를 포함하고, 상기 제 2 상부컨베이어(130)는, 상기 BGA 패키지(10)와 접촉되고 상기 BGA 패키지(10)를 이송시키는 제 2 상부이송부(131); 및 상기 BGA 패키지(10)를 이송시킨 후 입구 측으로 회수되는 제 2 상부회수부(132);를 포함하며, 상기 제 1 상부이송부(111) 및 제 2 상부이송부(131) 사이에 제 1 간격(105)이 형성되고, 상기 제 1 간격(105)이 상기 BGA 패키지의 두께보다 좁게 형성될 수 있다.
상기 제 1-1 세척모듈(200)은, 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120) 사이에 배치되고, 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120)의 길이 방향으로 길게 연장되게 배치되어 순환되는 제 1-1 세척컨베이어(230); 인가된 전원에 의해 작동되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)에 구동력을 제공하는 제 1-1 세척구동모터(250); 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 이동시키는 제 1-1 세척입구휠(210); 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)의 출구 측에 배치되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 이동시키는 제 1-1 세척출구휠(220); 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 따라 복수개 배치되고, 제 1 유체를 토출시키는 제 1-1 분사모듈(500);을 포함할 수 있다.
상기 제 1-2 세척모듈(300)은, 상기 제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140) 사이에 배치되고, 상기 제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140)의 길이 방향으로 길게 연장되게 배치되어 순환되는 제 1-2 세척컨베이어(330); 인가된 전원에 의해 작동되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)에 구동력을 제공하는 제 1-2 세척구동모터(350); 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 이동시키는 제 1-2 세척입구휠(310); 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)의 출구 측에 배치되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 이동시키는 제 1-2 세척출구휠(320); 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 따라 복수개 배치되고, 제 1 유체를 토출시키는 제 1-2 분사모듈(502);을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면은, 이동되는 BGA 패키지(10)의 양측면을 동시에 세척하는 제 1 세척어셈블리(901) 및 제 2 세척어셈블리(902)를 포함하고, 상기 제 1 세척어셈블리(901) 및 제 2 세척어셈블리(902)는, BGA 패키지를 이동시키는 컨베이어장치(100); 상기 BGA 패키지의 일측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-1 세척모듈(200); 상기 BGA 패키지의 타측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-2 세척모듈(300);을 포함하고, 상기 컨베이어장치(100)는, 상기 BGA 패키지의 상부 일측면에 밀착되는 제 1 상부컨베이어(110); 상기 BGA 패키지의 하부 일측면에 밀차되는 제 1 하부컨베이어(120); 상기 BGA 패키지의 상부 타측면에 밀착되는 제 2 상부컨베이어(130); 및 상기 BGA 패키지의 하부 타측면에 밀착되는 제 2 하부컨베이어(140);를 각각 포함하고, 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 2 상부컨베이어(130) 사이에 제 1 간격(105)이 형성되고, 상기 제 1 간격(105)을 따라 상기 BGA 패키지가 세워져 이송되고, 상기 제 1 세척어셈블리(901)의 제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)이 세워져 이송되는 상기 BGA 패키지(10)와 반대 방향으로 이동되면서 상기 BGA 패키지(10)의 양측면에 제 1 유체를 분사하여 세척을 제공하고, 상기 제 2 세척어셈블리(902)의 제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)이 세워져 이송되는 상기 BGA 패키지(10)와 같은 방향으로 이동되면서 상기 BGA 패키지(10)의 양측면에 제 1 유체를 분사하여 세척을 제공하는 BGA 패키지를 위한 세척장치를 제공한다.
첫째, 본 발명은 BGA 패키지를 세로로 세워 이동시키고, BGA 패키지의 양측에 각각의 세척모듈을 배치하여 BGA 패키지의 양면을 동시에 세척할 수 있는 장점이 있다.
둘째, 본 발명은 상부컨베이어의 하단 및 하부컨베이어 상단 사이의 노출간격으로 BGA 패키지의 양면이 동시에 노출되기 때문에, BGA 패키지의 양측에 각각의 세척모듈을 배치하고, 상기 노출간격으로 제 1 유체를 분사하여 BGA 패키지의 양면을 동시에 세척할 수 있는 장점이 있다.
셋째, 본 발명은 BGA 패키지가 제 1 세척유닛을 통과할 때에는 각각의 세척모듈이 역방향으로 이동하면서 BGA 패키지의 양면을 동시에 역방향 세척하고, 제 2 세척유닛을 통과할 때에는 각각의 세척모듈이 정방향으로 이동하면서 BGA 패키지의 양면을 세척하기 때문에, BGA 패키지의 굴곡으로 인한 사각지역도 효과적으로 세척할 수 있는 장점이 있다.
넷째, 본 발명은 BGA 패키지의 정방향 세척 시, 컨베이어장치의 이동속도보다 세척모듈의 이동속도를 더 빠르게 하여 BGA 패키지의 양면에 뭍은 제 1 유체 및 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 BGA 패키지를 위한 세척장치의 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제 1 세척유닛 내부가 도시된 개략 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제 1 세척유닛 내부가 도시된 개략 배면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제 1 세척유닛 내부가 도시된 개략 평면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 제 1-1 세척모듈의 개략 정면도이다.
도 6은 도 4에 도시된 제 1-2 세척모듈의 개략 배면도이다.
도 7은 도 5에 도시된 세척컨베이어의 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 체인블럭어셈블리의 평면도이다.
도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 BGA 패키지를 위한 세척장치의 제어방법이 도시된 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 BGA 패키지를 위한 세척장치의 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 제 1 세척유닛 내부가 도시된 개략 정면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 제 1 세척유닛 내부가 도시된 개략 배면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 제 1 세척유닛 내부가 도시된 개략 평면도이고, 도 5는 도 3에 도시된 제 1-1 세척모듈의 개략 정면도이고, 도 6은 도 4에 도시된 제 1-2 세척모듈의 개략 배면도이고, 도 7은 도 5에 도시된 세척컨베이어의 사시도이고, 도 8은 도 7에 도시된 체인블럭의 평면도이다.
본 실시예에 따른 세척장치는, 제 1 유체를 BGA 패키지에 분사하여 이물질을 제거하는 제 1 세척유닛(1)과, 제 2 유체를 상기 BGA 패키지에 분사하여 이물질 및 제 1 유체를 제거하는 제 2 세척유닛(2)과, 상기 BGA 패키지에 고온을 제공하여 상기 제 1 유체 또는 제 2 유체 중 적어도 어느 하나를 증발시키는 기화유닛(3)을 포함한다.
상기 제 1 세척유닛(1)은, BGA 패키지를 이동시키는 컨베이어장치(100)와, 상기 BGA 패키지의 일측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-1 세척모듈(200)과, 상기 BGA 패키지의 타측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-2 세척모듈(300)을 포함한다.
상기 컨베이어장치(100), 제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)을 제 1 세척어셈블리(901)라 정의한다. 상기 제 1 세척유닛(1) 내부에 상기 세척어셈블리(901)(902)가 일렬로 복수개 배치될 수 있다.
상기 컨베이어장치(100)는 복수개의 BGA 패키지(10)를 순차이동시킬 수 있다. 상기 컨베이어장치(100)는, BGA 패키지(10)를 수직하게 세워 이동시키는 특징이 있다.
상기 BGA 패키지(10)는 판형태로 형성되어 세워진 상태로 이동될 수 있고, 본 실시예에서 일측면이 좌측면(11)이고, 타측면이 우측면(12)이다.
BGA 패키지(10)를 수직하게 세워 이동시킬 경우, 세척과정에서 유체가 자중에 의의 하측으로 이동되게 할 수 있기 때문에, BGA 패키지의 표면에 잔류되는 유체를 최소화할 수 있다.
상기 컨베이어장치(100)는, 상기 BGA 패키지(10)의 상부 일측면(본 실시예에서 좌측면(11))에 밀착되는 제 1 상부컨베이어(110)와, 상기 BGA 패키지의 하부 일측면에 밀차되는 제 1 하부컨베이어(120)와, 상기 BGA 패키지의 상부 타측면(본 실시예에서 우측면(12))에 밀착되는 제 2 상부컨베이어(130)와, 상기 BGA 패키지의 하부 타측면에 밀착되는 제 2 하부컨베이어(140)를 포함한다.
상부컨베이어(110)(130)의 하단 및 하부컨베이어(120)(140) 상단 사이의 간격을 노출간격(106)이라 정의한다.
구체적으로 제 1 상부컨베이어(110)의 하단 및 제 1 하부컨베이어(120) 상단 사이의 간격을 제 1 노출간격(106a)이라 하고, 제 2 상부컨베이어(130)의 하단 및 제 2 하부컨베이어(140) 상단 사이의 간격을 제 2 노출간격(106b)이라 한다.
상기 노출간격(106)을 통해 상기 BGA 패키지의 양 측면이 노출된다.
상기 컨베이어장치(100)에서 BGA 패키지(10)가 진입되는 쪽을 입구(101)라 정의하고, 배출되는 쪽을 출구(102)라 정의한다. 본 실시예에서 도 4를 기준으로 후방 측에 입구(101)가 배치되고, 전방 측에 출구(102)가 배치된다.
상기 제 1 세척유닛(1) 내부에 제 1 세척어셈블리(901) 및 제 2 세척어셈블리(902)가 일렬로 배치될 수 있다. 제 1 세척어셈블리(901)의 출구 전방에 상기 제 2 세척어셈블리(902)의 입구가 배치될 수 있고, 상기 제 1 세척어셈블리(901)의 출구 및 제 2 세척어셈블리(902)의 입구 사이의 간격이 상기 BGA 패키지의 전후 길이보다 짧게 형성될 수 있다.
이를 통해 제 1 세척어셈블리(901) 출구에서 배출된 BGA 패키지(10)가 제 2 세척어셈블리(902)의 입구에 자동진입할 수 있다.
상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 2 상부컨베이어(130)가 BGA 패키지를 가운데 두고 서로 마주보게 배치되고, 상기 제 1 하부컨베이어(120) 및 제 2 하부컨베이어(140)가 BGA 패키지를 가운데 두고 서로 마주보게 배치된다.
상기 제 1 상부컨베이어(110)는 상기 BGA 패키지(10)와 접촉되고 상기 BGA 패키지(10)를 이송시키는 제 1 상부이송부(111)와, 상기 BGA 패키지(10)를 이송시킨 후 입구(101) 측으로 회수되는 제 1 상부회수부(112)를 포함한다.
상기 제 2 상부컨베이어(130)는 상기 BGA 패키지(10)와 접촉되고 상기 BGA 패키지(10)를 이송시키는 제 2 상부이송부(131)와, 상기 BGA 패키지(10)를 이송시킨 후 입구 측으로 회수되는 제 2 상부회수부(132)를 포함한다.
상기 제 1 하부컨베이어(120)는 상기 BGA 패키지(10)와 접촉되고 상기 BGA 패키지(10)를 이송시키는 제 1 하부이송부(미도시)와, 상기 BGA 패키지(10)를 이송시킨 후 입구 측으로 회수되는 제 1 하부회수부(122)를 포함한다.
상기 제 2 하부컨베이어(140)는 상기 BGA 패키지(10)와 접촉되고 상기 BGA 패키지(10)를 이송시키는 제 2 하부이송부(미도시)와, 상기 BGA 패키지(10)를 이송시킨 후 입구 측으로 회수되는 제 2 하부회수부(142)를 포함한다.
상기 제 1 상부이송부(111) 및 제 2 상부이송부(131) 사이의 간격은 제 1 간격(105)라 정의하고, 상기 제 1 간격(105)으로 BGA 패키지(10)가 삽입되어 이동된다. 상기 제 1 간격(105)의 상측 및 하측이 개구된다.
상기 제 1 간격(105)이 상기 BGA 패키지의 두께보다 좁게 형성된다.
컨베이어장치(100)는 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120)를 동시에 구동시키는 제 1 구동장치(150)과, 상기 제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140)를 동시에 구동시키는 제 2 구동장치(160)를 더 포함한다.
제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120)가 상기 BGA 패키지(10)의 좌측에 배치되고, 상기 제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140)가 상기 BGA 패키지(10)의 우측에 배치된다.
제 1 상부컨베이어(110)가 BGA 패키지의 일측면(본 실시예에서 좌측면) 상부 가장자리에 밀착되고, 제 1 하부컨베이어(120)가 상기 BGA 패키지의 일측면(본 실시예에서 좌측면) 하부 가장자리에 밀착된다.
상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120) 사이로 BGA 패키지의 일측면 세척부분이 노출된다.
제 2 상부컨베이어(130)가 BGA 패키지의 타측면(본 실시예에서 우측면) 상부 가장자리에 밀착되고, 제 2 하부컨베이어(140)가 BGA 패키지의 타측면(본 실시예에서 우측면) 하부 가장자리에 밀착된다.
제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140) 사이로 BGA 패키지의 타측면 세척부분이 노출된다.
즉, 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 2 상부컨베이어(130)가 BGA 패키지의 상측 양면을 가압하여 고정하고, 제 1 하부컨베이어(120) 및 제 2 하부컨베이어(140)가 BGA 패키지(10)의 하측 양면을 가압하여 고정한다.
제 1 구동장치(150)는 상기 BGA 패키지(10)의 좌측에 배치되고, 제 2 구동장치(160)는 상기 BGA 패키지(10)의 우측에배치 된다.
제 1 구동장치(150)는, 상기 제 1 상부컨베이어(110)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 1 상부컨베이어(110)를 이동시키는 제 1 상부입구휠(151)과, 상기 제 1 상부컨베이어(110)의 출구(102) 측에 배치되고, 상기 제 1 상부컨베이어(110)를 이동시키는 제 1 상부출구휠(152)과, 상기 제 1 하부컨베이어(120)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 1 하부컨베이어(120)를 이동시키는 제 1 하부입구휠(153)과, 상기 제 1 하부컨베이어(120)의 출구 측에 배치되고, 상기 제 1 하부컨베이어(120)를 이동시키는 제 1 하부출구휠(154)과, 상기 제 1 상부입구휠(151) 및 제 1 하부입구휠(153)과 결합되어 회전되는 제 1 입구샤프트(156)와, 상기 제 1 상부출구휠(152) 및 제 1 하부출구휠(154)과 결합되어 회전되는 제 1 출구샤프트(157)와, 상기 제 1 입구샤프트(156) 또는 제 1 출구샤프트(157)에 연결되어 인가된 전원에 의해 구동력을 제공하는 제 1 모터(158)를 포함한다.
상기 제 1 입구샤프트(156) 및 제 1 출구샤프트(157)가 수직하게 배치되고, 본 실시예에서 서로 평행하게 배치된다.
상기 제 1 상부입구휠(151) 및 제 1 하부입구휠(153)이 상하 방향으로 서로 대향되게 배치되고, 상기 제 1 입구샤프트(156)에 의해 결합되어 회전된다.
상기 제 1 상부출구휠(152) 및 제 1 하부출구휠(154)이 상하 방향으로 서로 대향되게 배치되고, 제 1 출구샤프트(157)에 의해 결합되어 회전된다.
본 실시예에서 상기 제 1 모터(158)가 상기 제 1 상부입구휠(151)의 상측에 배치된다.
상기 제 1 모터(158)가 제 1 세척유닛(1) 내부의 어퍼프레임(20)에 결합되고, 모터축이 하측을 향하도록 배치된다.
제 2 구동장치(160)는, 상기 제 2 상부컨베이어(130)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 2 상부컨베이어(130)를 이동시키는 제 2 상부입구휠(161)과, 상기 제 2 상부컨베이어(130)의 출구 측에 배치되고, 상기 제 2 상부컨베이어(130)를 이동시키는 제 2 상부출구휠(162)과, 상기 제 2 하부컨베이어(140)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 2 하부컨베이어(140)를 이동시키는 제 2 하부입구휠(163)과, 상기 제 2 하부컨베이어(140)의 출구 측에 배치되고, 상기 제 2 하부컨베이어(140)를 이동시키는 제 2 하부출구휠(164)과, 상기 제 2 상부입구휠(161) 및 제 2 하부입구휠(163)과 결합되어 회전되는 제 2 입구샤프트(166)와, 상기 제 2 상부출구휠(162) 및 제 2 하부출구휠(164)과 결합되어 회전되는 제 2 출구샤프트(167)와, 상기 제 2 입구샤프트(166) 또는 제 2 출구샤프트(167)에 연결되어 인가된 전원에 의해 구동력을 제공하는 제 2 모터(168)를 포함한다.
상기 제 2 입구샤프트(166) 및 제 2 출구샤프트(167)가 수직하게 배치되고, 본 실시예에서 서로 평행하게 배치된다.
상기 제 2 상부입구휠(161) 및 제 2 하부입구휠(163)이 상하 방향으로 서로 대향되게 배치되고, 상기 제 2 입구샤프트(166)에 의해 결합되어 회전된다.
상기 제 2 상부출구휠(162) 및 제 2 하부출구휠(164)이 상하 방향으로 서로 대향되게 배치되고, 제 2 출구샤프트(167)에 의해 결합되어 회전된다.
본 실시예에서 상기 제 2 모터(168)가 상기 제 2 하부출구휠(164)의 하측에 배치된다.
상기 제 2 모터(168)가 제 1 세척유닛(1) 내부의 로어프레임(30)에 결합되고, 모터축이 상측을 향하도록 배치된다.
상기 제 1 세척유닛(1)은 입구(101)에서 상기 BGA 패키지(10)를 감지할 수 있는 입구감지센서(171)와, 출구(102)에서 상기 BGA 패키지(10)를 판단할 수 있는 출구감지센서(172)를 더 포함할 수 있다.
상기 입구감지센서(171)는 어퍼프레임(20) 또는 로어프레임(30) 중 적어도 어느 하나에 배치될 수 있다. 상기 출구감지센서(172)도 어퍼프레임(20) 또는 로어프레임(30) 중 적어도 어느 하나에 배치될 수 있다.
본 실시예에서 상기 입구감지센서(171)는 로어프레임(30)에 배치되고, 상기 출구감지센서(172)는 어퍼프레임(20)에 배치된다.
상기 입구감지센서(171)는 탑뷰로 볼 때, 제 1 상부입구휠(151) 및 제 2 상부입구휠(161) 사이에 배치되고, 사이드뷰로 볼 때, 제 1 상부입구휠(151) 및 제 2 상부입구휠(161) 보다 높게 배치된다.
상기 출구감지센서(172)는 탑뷰로 볼 때, 제 1 상부출구휠(152) 및 제 2 상부출구휠(162) 사이에 배치되고, 사이드뷰로 볼 때, 제 1 상부출구휠(152) 및 제 2 상부출구휠(162) 보다 낮게 배치된다.
상기 제 1 모터(158) 및 제 2 모터(168)가 전방 측 또는 후방 측에 치우쳐 배치될 경우, 반대편의 장력이 느슨해져서 BGA 패키지(10)의 압력이 저하될 수 있고, 이로 인해 BGA 패키지(10)가 낙하될 수 있다.
본 실시예에서는 상기 제 1 모터(158)가 입구측(본 실시예에서 후방측)에 배치되고, 제 2 모터가(168)가 출구측(본 실시예에서 전방측)에 배치되기 때문에, 제 1 상부컨베이어(110), 제 2 상부컨베이어(130), 제 1 하부컨베이어(120) 및 제 2 하부컨베이어(140)의 장력을 전후 방향에 대해 대칭으로 형성할 있고, 이를 통해 BGA 패키지(10)의 양면에 균일한 압력을 제공할 수 있다.
본 실시예에서 상기 제 1-1 세척모듈(200)이 상기 BGA 패키지의 좌측면(11)에 제 1 유체를 분사하고, 상기 제 1-2 세척모듈(300)이 상기 BGA 패키지의 타측면(12)에 제 1 유체를 분사한다.
본 실시예에서 상기 제 1 유체가 액체상태의 물 또는 용제일 수 있고, 제 2 유체가 기체상태의 공기 또는 질소일 수 있다.
제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)은 BGA 패키지(10)의 양면에 물을 분사하여 BGA 패키지(10)의 양면에 잔류된 이물질을 분리 또는 제거할 수 있다.
제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)의 각 구성을 구분할 필요가 있을 경우, "1-1" 또는 "1-2"의 접두사를 붙여 구분하겠다.
상기 제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)의 구성이 동일하고, 좌우 대칭이다.
상기 제 1-1 세척모듈(200)은, 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120)의 높이 사이에 배치되고, 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120) 사이로 노출된 BGA 패키지(10)의 좌측면을 향해 제 1 유체를 분사한다.
상기 제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)이 상기 노출간격(106)의 높이 내에 배치된다.
상기 제 1-1 세척모듈(200)은, 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120) 사이에 배치되고, 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120)의 길이 방향으로 길게 연장되게 배치되어 순환되는 제 1-1 세척컨베이어(230)와, 인가된 전원에 의해 작동되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)에 구동력을 제공하는 제 1-1 세척구동모터(250)와, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 이동시키는 제 1-1 세척입구휠(210)과, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)의 출구 측에 배치되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 이동시키는 제 1-1 세척출구휠(220)과, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 따라 복수개 배치되고, 제 1 유체를 토출시키는 제 1-1 분사모듈(500)을 포함한다.
상기 제 1-1 세척구동모터(250)는 상기 제 1-1 세척입구휠(210) 또는 제 1-1 세척출구휠(220) 중 적어도 어느 하나에 구동력을 제공할 수 있다.
상기 제 1-1 세척구동모터(250)는 어퍼프레임(20) 또는 로어프레임(30)에 결합될 수 있다.
제 1-1 세척모듈(200)의 세척구동모터가 로어프레임(30)에 배치되는 경우, 제 1-2 세척모듈(300)의 세척구동모터는 어퍼프레임(20)에 배치되고, 이와 같이 서로 반대방향에 배치됨으로써 다른 구조물과의 간섭을 최소화할 수 있다.
본 실시예에서 제 1-1 세척구동모터(250)의 회전속도를 감속하기 위한 기어박스(260)가 더 배치될 수 있다.
본 실시예에서 제 1-1 세척모듈(200)의 세척구동모터는 세척입구휠에 구동력을 제공하고, 제 1-2 세척모듈(300)의 세척구동모터는 세척출구휠에 구동력을 제공한다.
제 1-1 세척모듈(200)의 세척구동모터는 제 1 모터(158)와의 간섭을 최소화하기 위해, 로어프레임(30)에 조립되고, 제 1-2 세척모듈(300)의 세척구동모터는 제 2 모터(168)와의 간섭을 최소화하기 위해 어퍼프레임(20)에 조립된다.
상기 제 1-1 세척컨베이어(230)의 외주면에 상기 제 1-1 분사모듈(500)이 조립되고, 상기 제 1-1 분사모듈(500)은 외측을 향해 제 1 유체를 분사할 수 있다.
상기 제 1-1 분사모듈(500)은 복수개가 배치되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)의 길이 방향을 따라 이격되게 배치될 수 있다.
상기 제 1-1 세척구동모터(250)의 선택적 작동에 따라 상기 제 1-1 분사모듈(500)이 정지 또는 이동 상태에서 제 1 유체를 분사할 수 있다.
또한, 상기 제 1-1 세척구동모터(250)의 구동속도를 제어하여, 상기 제 1-1 분사모듈(500)이 상기 BGA 패키지(10)와 같은 속도로 이동되거나 상기 BGA 패키지(10)와 속도차 또는 가속도차를 형성할 수 있다.
또한, 상기 제 1-1 세척구동모터(250)의 구동방향을 제어하여 상기 제 1-1 분사모듈(500)이 상기 BGA 패키지(10)와 같은 방향으로 이동되거나 반대방향으로 이동되면서 제 1 유체를 분사할 수 있다.
예를 들어, 제 1 세척어셈블리(901)에서 BGA 패키지(10)의 이동방향과 반대로, 제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)이 순환되고, 제 2 세척어셈블리(902)에서 BGA 패키지(10)의 이동방향과 같은 방향으로 제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)이 순환될 수 있다.
상기 제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)이 상기 BGA 패키지(10)의 이동방향과 같은 방향으로 이동되면서 진행하는 세척을 정방향 세척이라 하고,
상기 제 1-1 세척모듈(200) 및 제 1-2 세척모듈(300)이 상기 BGA 패키지(10)의 이동방향과 반대 방향으로 이동되면서 진행하는 세척을 역방향 세척이라 정의한다.
상기 제 1-1 분사모듈(500)은 좌우방향 및 상하 방향 모두에 대해 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120) 사이에 배치될 수 있다.
즉, 탑뷰로 볼 때(도 4 참조), 상기 BGA 패키지(10)를 향하게 배치되는 제 1-1 분사모듈(500)의 외측단(501)이 상기 제 1 상부이송부(111) 및 제 1 상부회수부(112) 사이에 배치되기 때문에, 상기 BGA 패키지(10)의 일측면에 보다 근접될 수 있고, 상기 제 1 유체의 토출압력을 작게 형성하여도 충분한 효과를 기대할 수 있다.
상기 제 1-2 세척모듈(300)은, 상기 제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140) 사이에 배치되고, 상기 제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140)의 길이 방향으로 길게 연장되게 배치되어 순환되는 제 1-2 세척컨베이어(330)와, 인가된 전원에 의해 작동되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)에 구동력을 제공하는 제 1-2 세척구동모터(350)와, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 이동시키는 제 1-2 세척입구휠(310)과, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)의 출구 측에 배치되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 이동시키는 제 1-2 세척출구휠(320)과, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 따라 복수개 배치되고, 제 1 유체를 토출시키는 제 1-2 분사모듈(502)을 포함한다.
제 1-2 세척모듈(300)의 세척구동모터(350)는 어퍼프레임(20)에 배치된다.
본 실시예에서 제 1-2 세척구동모터(350)의 회전속도를 감속하기 위한 기어박스(360)가 더 배치될 수 있다.
본 실시예에서 상기 제 1-2 세척구동모터(350)는 제 1-2 세척출구휠(320)에 구동력을 제공한다. 제 1-2 세척구동모터(350)는 제 2 모터(168)와의 간섭을 최소화하기 위해, 어퍼프레임(20)에 조립된다.
상기 제 1-2 세척컨베이어(330)의 외주면에 상기 제 1-2 분사모듈(502)이 조립되고, 상기 제 1-2 분사모듈(502)은 외측을 향해 제 1 유체를 분사할 수 있다.
상기 제 1-2 분사모듈(502)은 복수개가 배치되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)의 길이 방향을 따라 이격되게 배치될 수 있다.
상기 제 1-2 세척구동모터(350)의 선택적 작동에 따라 상기 제 1-2 분사모듈(503)이 정지 또는 이동 상태에서 제 1 유체를 분사할 수 있다.
또한, 상기 제 1-2 세척구동모터(350)의 구동속도를 제어하여, 상기 제 1-2 분사모듈(502)이 상기 BGA 패키지(10)와 같은 속도로 이동되거나 상기 BGA 패키지(10)와 속도차 또는 가속도차를 형성할 수 있다.
또한, 상기 제 1-2 세척구동모터(350)의 구동방향을 제어하여 상기 제 1-2 분사모듈(502)이 상기 BGA 패키지(10)와 같은 방향으로 이동되거나 반대방향으로 이동되면서 제 1 유체를 분사할 수 있다.
상기 제 1-2 분사모듈(502)은 좌우방향 및 상하 방향 모두에 대해 상기 제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140) 사이에 배치될 수 있다.
즉, 탑뷰로 볼 때(도 4 참조), 상기 BGA 패키지(10)를 향하게 배치되는 제 1-2 분사모듈(502)의 외측단(503)이 상기 제 2 상부이송부(131) 및 제 2 상부회수부(132) 사이에 배치되기 때문에, 상기 BGA 패키지(10)의 타측면에 보다 근접될 수 있고, 상기 제 1 유체의 토출압력을 작게 형성하여도 충분한 효과를 기대할 수 있다.
본 실시예에서 제 1-1 세척컨베이어(230) 및 제 1-2 세척컨베이어(330)는 동일한 구조이다.
상기 제 1-1 세척컨베이어(230) 및 제 1-2 세척컨베이어(330)는, 세척입구휠(210)(310) 및 세척출구휠(220)(320)과 치합되는 복수개의 체인블럭(440)과, 상기 체인블럭(440)에 회전가능하게 삽입되는 제 1 회전바(410) 및 제 2 회전바(420)와, 인접한 상기 체인블럭(440)들의 상기 제 1 회전바(410) 및 제 2 회전바(420)를 각각 회전가능하게 연결하는 체인링크(430)를 포함한다.
상기 체인블럭(440), 제 1 회전바(410), 제 2 회전바(420) 및 체인링크(430)가 조립된 것을 체인블럭어셈블리라 정의한다.
상기 체인블럭(440)은, 상기 제 1-1 분사모듈(500) 또는 제 1-2 분사모듈(502)이 배치되는 블럭베이스(450)와, 상기 블럭베이스(450)와 연결되고, 상기 세척입구휠(210)(310) 또는 세척출구휠(220)(320)의 치형에 삽입되어 상호 걸림을 형성하고, 상기 제 1 회전바(410)가 회전가능하게 삽입되는 제 1 간섭바(460)와, 상기 블럭베이스(450)와 연결되고, 상기 세척입구휠(210)(310) 또는 세척출구휠(220)(320)의 치형에 삽입되어 상호 걸림을 형성하고, 상기 제 2 회전바(420)가 회전가능하게 삽입되는 제 2 간섭바(470)를 포함한다.
상기 블럭베이스(450)는, 상기 분사모듈(500)(502)이 배치되는 베이스부(452)와, 상기 베이스부(452) 및 제 1 간섭부(460)를 연결하는 제 1 연결부(454)와, 상기 베이스부(452) 및 제 2 간섭부(470)를 연결하는 제 2 연결부(456)와, 상기 제 1 간섭부(460) 및 제 2 간섭부(470)를 연결하는 제 3 연결부(458)를 포함한다.
상기 베이스부(452)의 외측면(452a)은 평평하게 형성되고, 상기 외측면(452a)에 상기 분사모듈(500)(502)이 배치될 수 있다.
상기 외측면(452a)이 BGA 패키지(10)를 향하게 배치되고, 내측면(452b)이 세척입구휠(210)(310) 또는 세척출구휠(220)(320)을 향하게 배치된다.
상기 제 1 연결부(454)는 상기 내측면(452b) 및 제 1 간섭부(460)의 외측면을 연결한다. 상기 제 2 연결부(456)는 상기 내측면(452b) 및 제 2 간섭부(470)의 외측면을 연결한다. 상기 제 3 연결부(458)는 상기 제 1 간섭부(460)의 외측면 및 제 2 간섭부(470)의 외측면을 연결한다.
상기 제 1 연결부(454), 제 2 연결부(456) 및 제 3 연결부(458)은 호 형상으로 형성되어 하중을 효과적으로 분산시킬 수 있다.
상기 제 1 간섭부(460)는 상기 제 1 회전바(410)가 삽입될 수 있도록 중공이 형성되고, 상기 제 2 간섭부(470)도 상기 제 2 회전바(420)가 삽입될 수 있도록 중공이 형성된다.
본 실시예에서 상기 제 1 간섭부(460)는 중공이 형성된 원통형으로 형성되고, 상기 제 2 간섭부(470)도 중공이 형성된 원통형으로 형성된다.
상기 제 1 간섭부(460) 및 제 2 간섭부(470)는 서로 평행하게 배치된다.
상기 제 1 회전바(410) 및 제 2 회전바(420)는 원기둥형태로 형성된다.
상기 제 1 회전바(410)가 상기 제 1 간섭부(460)에 삽입될 경우, 양단이 상기 제 1 간섭부(460)의 외측으로 돌출되고, 돌출된 양단에 각각 체인링크(430)가 조립된다.
상기 제 2 회전바(420)가 상기 제 2 간섭부(470)에 삽입될 경우, 양단이 상기 제 2 간섭부(470)의 외측으로 돌출되고, 돌출된 양단에 각각 체인링크(430)가 조립된다.
상기 체인링크(430)는 인접한 2개의 체인블럭(440)을 연결하기 위한 것이다.
본 실시예에서 상기 체인블럭(440)의 상측 및 하측에 각각 체인블럭(440)이 배치되고, 이에 대한 구분이 필요할 경우, 상측 체인링크 또는 하측 체인링크이라 하겠다.
상기 체인링크(430)는 인접한 체인블럭(440)의 제 1 회전바(410) 및 인접한 체인블럭(440)의 제 2 회전바(420)를 연결시켜 인접한 2개의 체인블럭(440)을 소정각도 각회전 가능하게 연결한다.
상기 체인링크(430)가 인접한 2개의 회전바(410)(420)에 조립되기 때문에, 인접한 2개의 체인블럭(440)이 결합된 상태를 유지할 수 있다.
이러한 방식으로 상기 체인블럭(440)이 상기 세척입구휠(210)(310) 및 세척출구휠(220)(320)을 감싸게 배치되고, 상기 세척입구휠(210)(310) 및 세척출구휠(220)(320)의 회전에 의해 순환된다.
상기 분사모듈(500)(502)은 상기 베이스부(452)의 외측면(452a)과 직교하게 배치된다. 상기 분사모듈(500)(502)에 제 1 유체를 공급하는 공급관(600)은 상기 외측면(452a)과 나란하게 배치될 수 있고, 상기 외측면(452a) 및 분사모듈의 외측단(501)(503) 사이에 위치될 수 있다.
상기 공급관(600)은 상기 분사모듈(500)(502)의 상측 또는 하측에 배치될 수 있다.
상기 제 2 세척유닛(2)은 상기 제 1 세척유닛(1)의 구조와 유사하다.
상기 제 2 세척유닛(2)은 상기 제 1 세척유닛(1)과 달리 기체상태의 제 2 유체를 토출한다. 상기 제 2 세척유닛(2)은 제 1 세척유닛(1)과 달리 제 1 세척어셈블리(901)만 배치된다.
상기 제 2 세척유닛(2)의 제 1 분사모듈(500) 및 제 2 분사모듈(502)은 BGA 패키지(10)의 양면에 기체 상태의 제 2 유체를 토출하고, 상기 BGA 패키지(10)의 양면에 잔류된 제 1 유체 및 이물질을 BGA 패키지에서 분리시킬 수 있다.
특히, 상기 제 2 세척유닛(2)의 제 1 분사모듈(500) 및 제 2 분사모듈(502)은 BGA 패키지(10)에 역방향 세척을 제공하기 때문에 BGA 패키지에서 분리된 제 1 유체 또는 이물질이 제 3 세척유닛(3)으로 이동되는 것을 차단할 수 있다.
도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 BGA 패키지를 위한 세척장치의 제어방법이 도시된 순서도이다.
본 실시예에 따른 BGA 패키지를 위한 세척장치의 제어방법은, BGA 패키지(10)가 제 1 세척어셈블리(901)의 입구(101)로 진입되는 단계(S10)과, 상기 S10 단계 이후에, 상기 제 1 세척어셈블리(901)의 제 1 구동장치(150) 및 제 2 구동장치(160)를 구동시켜 상기 BGA 패키지(10)를 상기 컨베이어장치(100)의 입구(101)에서 출구(102) 방향으로 이송시키는 단계(S20)와, 상기 S20 단계가 실행될 때, 상기 제 1 세척어셈블리(901)의 제 1-1 세척구동모터(250)를 구동시켜, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 상기 컨베이어장치(100)와 반대 방향으로 작동시키는 단계(S30)와, 상기 S20 단계가 실행될 때, 상기 제 1 세척어셈블리(901)의 제 1-2 세척구동모터(350)를 구동시켜, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 상기 컨베이어장치(100)와 반대 방향으로 작동시키는 단계(S40)와, 상기 S30 단계 및 S40 단계 이후에, 상기 제 2 세척어셈블리(902)의 제 1 구동장치(150) 및 제 2 구동장치(160)를 구동시켜 상기 BGA 패키지(10)를 상기 컨베이어장치(100)의 입구(101)에서 출구(102) 방향으로 이송시키는 단계(S50)와, 상기 S50 단계가 실행될 때, 상기 제 2 세척어셈블리(902)의 제 1-1 세척구동모터(250)를 구동시켜, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 상기 컨베이어장치(100)와 같은 방향으로 작동시키는 단계(S60)와, 상기 S50 단계가 실행될 때, 상기 제 2 세척어셈블리(902)의 제 1-2 세척구동모터(350)를 구동시켜, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 상기 컨베이어장치(100)와 같은 방향으로 작동시키는 단계(S70)를 포함한다.
본 실시예에 따른 BGA 패키지를 위한 세척장치의 제어방법은, 상기 S30 단계에서 상기 제 1 세척어셈블리(901)의 제 1-1 분사모듈(500)을 통해 제 1 유체를 토출시키는 단계(S32)와, 상기 S40 단계에서 상기 제 1 세척어셈블리(901)의 제 1-2 분사모듈(502)을 통해 제 1 유체를 토출시키는 단계(S42)와, 상기 S60 단계에서 상기 제 2 세척어셈블리(902)의 제 1-2 분사모듈(500)을 통해 제 1 유체를 토출시키는 단계(S62)와, 상기 S70 단계에서 상기 제 2 세척어셈블리(902)의 제 1-2 분사모듈(502)을 통해 제 1 유체를 토출시키는 단계(S72)를 더 포함할 수 있다.
상기 S20 단계에서, 상기 제 1 세척어셈블리(901)의 컨베이어장치(100)는 제 1 속도로 작동되고, 상기 BGA 패키지(10)를 입구(101)에서 출구(102) 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 S30 단계에서, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)는 상기 S20 단계에서의 방향과 반대로 순환된다.
상기 S40 단계에서, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)는 상기 S20 단계에서의 방향과 반대로 순환된다.
상기 S20 단계 내지 S40 단계를 통해 BGA 패키지(10)의 이동방향과 반대로 제 1 유체를 BGA 패키지(10)의 양면에 분사하여 역방향 세척을 진행할 수 있다.
역방향 세척 시, 제 1-1 분사모듈(500) 및 제 1-2 분사모듈(502)이 BGA 패키지(10)의 양면에 동시에 제 1 유체를 분사하기 때문에, BGA 패키지(10)가 좌측 또는 우측으로 치우치는 것을 최소화할 수 있고, 이를 통해 컨베이어장치(100)에서 낙하를 것을 방지할 수 있다.
이와 같은 분사구조를 통해 상기 제 1-1 분사모듈(500) 및 제 1-2 분사모듈(502)에서 고압의 제 1 유체를 분사하여도 상기 BGA 패키지(10)가 컨베이어장치(100)의 경로에서 이탈되는 것을 최소화할 수 있다.
본 실시예에서 상기 제 1-1 분사모듈(500) 및 제 1-2 분사모듈(502)에서 토출되는 제 1 유체의 토출압력이 동일하게 설정된다.
또한 하나의 BGA 패키지(10)가 이동될 때, 복수개의 제 1-1 분사모듈(500)이 BGA 패키지(10)의 좌측면을 간헐적으로 세척하고, 복수개의 제 1-2 분사모듈(502)이 BGA 패키지(10)의 우측면을 간헐적으로 세척하기 때문에, BGA 패키지(10)의 표면에 부착된 이물질을 효과적으로 분리시킬 수 있다.
다음으로, 상기 제 2 세척어셈블리(902)는, 상기 S50 내지 S70 단계에서 BGA 패키지(10)와 같은 방향으로 이동하면서 BGA 패키지(10)의 양면에 정방향 세척을 제공한다.
상기 S50 단계에서, 상기 제 2 세척어셈블리(902)의 컨베이어장치(100)는 제 2 속도로 작동되고, 상기 BGA 패키지(10)를 입구(101)에서 출구(102) 방향으로 이동시킬 수 있다.
본 실시예에서 상기 제 2 속도는 " 0 < 제 2 속도 < 제 1 속도"를 만족한다.
즉, 상기 제 2 속도는 상기 제 1 속도와 같은 방향으로 움직이되고, 상기 제 1 속도보다 느리게 이동된다.
상기 S60 단계에서, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)는 BGA 패키지(10)와 같은 방향으로 순환되고, 상기 S70 단계에서 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)는 상기 BGA 패키지(10)와 같은 방향으로 순환된다.
상기 S60 단계 및 S70 단계에서 제 2 세척어셈블리(902)의 제 1-1 세척컨베이어(230) 및 제 1-2 세척컨베이어(330)는 제 3 속도로 작동된다.
상기 S60 단계에서 상기 제 1 속도는 " 제 2 속도 < 제 1 속도 < 제 3 속도"를 만족한다.
상기 제 3 속도는 BGA 패키지(10)의 이동속도 보다 빠르게 설정된다.
상기 제 2 세척어셈블리(902)의 분사모듈(500)(502)은 BGA 패키지(10)와 같은 방향으로 이동되되, BGA 패키지(10) 보다 빠른 속도로 이동하면서 상기 제 1 유체를 BGA 패키지(10)의 양면에 분사하여 정방향 세척을 진행한다.
상기 "제 2 속도 = 제 1 속도*0.5" 이고, "제 3 속도= 제 1 속도*2" 일 수 있다.
정방향 세척 시, 제 1-1 분사모듈(500) 및 제 1-2 분사모듈(502)이 BGA 패키지(10)의 양면에 동시에 제 1 유체를 분사할 뿐만 아니라 동일한 압력으로 제 1 유체를 분사하기 때문에, BGA 패키지(10)가 좌측 또는 우측으로 치우치는 것을 최소화할 수 있고, 이를 통해 컨베이어장치(100)에서 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 컨베이어장치 110 : 제 1 상부컨베이어
120 : 제 1 하부컨베이어 130 : 제 2 상부컨베이어
140 : 제 2 하부컨베이어 150 : 제 1 구동장치
160 : 제 2 구동장치 200 : 제 1-1 세척모듈
210 : 제 1-1 세척입구휠 220 : 제 1-1 세척출구휠
230 : 제 1-1 세척컨베이어 250 : 제 1-1 세척구동모터
300 : 제 1-2 세척모듈 310 : 제 1-2 세척입구휠
320 : 제 1-2 세척출구휠 330 : 제 1-2 세척컨베이어
350 : 제 1-2 세척구동모터 410 : 제 1 회전바
420 : 제 2 회전바 430 : 체인링크
440 : 체인블럭 450 : 블럭베이스
460 : 제 1 간섭바 470 : 제 2 간섭바
500 : 제 1-1 분사모듈 502 : 제 1-2 분사모듈

Claims (5)

  1. BGA 패키지(10)를 이동시키는 컨베이어장치(100);
    상기 BGA 패키지(10)의 일측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-1 세척모듈(200);
    상기 BGA 패키지(10)의 타측면에 제 1 유체를 분사하는 제 1-2 세척모듈(300);을 포함하고,
    상기 컨베이어장치(100)는,
    상기 BGA 패키지(10)의 상부 일측면에 밀착되는 제 1 상부컨베이어(110);
    상기 BGA 패키지(10)의 하부 일측면에 밀착되는 제 1 하부컨베이어(120);
    상기 BGA 패키지(10)의 상부 타측면에 밀착되는 제 2 상부컨베이어(130); 및
    상기 BGA 패키지(10)의 하부 타측면에 밀착되는 제 2 하부컨베이어(140);를 포함하고,
    상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 2 상부컨베이어(130) 사이에 제 1 간격(105)이 형성되고, 상기 제 1 간격(105)을 따라 상기 BGA 패키지(10)가 세워져 이송되고,
    상기 제 1-1 세척모듈(200)이 세워져 이송되는 상기 BGA 패키지(10)의 일측면에 제 1 유체를 분사하여 세척을 제공하고,
    상기 제 1-2 세척모듈(300)이 세워져 이동되는 상기 BGA 패키지(10)의 타측면에 제 1 유체를 분사하여 세척을 제공하되,
    상기 제 1-1 세척모듈(200)은,
    상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120) 사이에 배치되고, 상기 제 1 상부컨베이어(110) 및 제 1 하부컨베이어(120)의 길이 방향으로 길게 연장되게 배치되어 순환되는 제 1-1 세척컨베이어(230);
    인가된 전원에 의해 작동되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)에 구동력을 제공하는 제 1-1 세척구동모터(250);
    상기 제 1-1 세척컨베이어(230)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 이동시키는 제 1-1 세척입구휠(210);
    상기 제 1-1 세척컨베이어(230)의 출구 측에 배치되고, 상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 이동시키는 제 1-1 세척출구휠(220);
    상기 제 1-1 세척컨베이어(230)를 따라 복수개 배치되고, 제 1 유체를 토출시키는 제 1-1 분사모듈(500);을 포함하는 BGA 패키지를 위한 세척장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 상부컨베이어(110)의 하단 및 제 1 하부컨베이어(120) 상단 사이에 제 1 노출간격(106a)이 형성되어 상기 BGA 패키지(10)의 일측면이 노출되고,
    상기 제 2 상부컨베이어(130)의 하단 및 제 2 하부컨베이어(140) 상단 사이에 제 2 노출간격(106b)이 형성되어 상기 BGA 패키지(10)의 타측면이 노출되는 BGA 패키지를 위한 세척장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제 1 상부컨베이어(110)는,
    상기 BGA 패키지(10)와 접촉되고 상기 BGA 패키지(10)를 이송시키는 제 1 상부이송부(111) 및 상기 BGA 패키지(10)를 이송시킨 후 입구(101) 측으로 회수되는 제 1 상부회수부(112);를 포함하고,
    상기 제 2 상부컨베이어(130)는,
    상기 BGA 패키지(10)와 접촉되고 상기 BGA 패키지(10)를 이송시키는 제 2 상부이송부(131); 및 상기 BGA 패키지(10)를 이송시킨 후 입구 측으로 회수되는 제 2 상부회수부(132);를 포함하며,
    상기 제 1 상부이송부(111) 및 제 2 상부이송부(131) 사이에 제 1 간격(105)이 형성되고, 상기 제 1 간격(105)이 상기 BGA 패키지(10)의 두께보다 좁게 형성된 BGA 패키지를 위한 세척장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1-2 세척모듈(300)은,
    상기 제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140) 사이에 배치되고, 상기 제 2 상부컨베이어(130) 및 제 2 하부컨베이어(140)의 길이 방향으로 길게 연장되게 배치되어 순환되는 제 1-2 세척컨베이어(330);
    인가된 전원에 의해 작동되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)에 구동력을 제공하는 제 1-2 세척구동모터(350);
    상기 제 1-2 세척컨베이어(330)의 입구 측에 배치되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 이동시키는 제 1-2 세척입구휠(310);
    상기 제 1-2 세척컨베이어(330)의 출구 측에 배치되고, 상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 이동시키는 제 1-2 세척출구휠(320);
    상기 제 1-2 세척컨베이어(330)를 따라 복수개 배치되고, 제 1 유체를 토출시키는 제 1-2 분사모듈(502);을 포함하는 BGA 패키지를 위한 세척장치.
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