KR102389565B1 - 유체 제어 밸브용 진단 장치, 유체 제어 장치, 및 유체 제어 밸브용 진단 프로그램 - Google Patents

유체 제어 밸브용 진단 장치, 유체 제어 장치, 및 유체 제어 밸브용 진단 프로그램 Download PDF

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Abstract

유체 제어 장치의 정상시에 있어서의 유체 제어 밸브의 동작에 관한 정보를 얻을 수 있도록 할 수 있게, 밸브 몸체(22)를 변위시켜 유체를 제어하는 유체 제어 밸브(20)의 진단 장치(40)로서, 밸브 몸체(22)의 변위에 관련하여 입출력되는 밸브 몸체 관련치를 접수하는 밸브 몸체 관련치 접수부(41)와, 밸브 몸체 관련치에 기초하여, 밸브 몸체(22)의 변위를 검지하는 변위 검지부(42)와, 변위 검지부(42)에 의해 검지된 변위의 횟수를 기억하는 변위 횟수 기억부(43)를 구비하도록 했다.

Description

유체 제어 밸브용 진단 장치, 유체 제어 장치, 및 유체 제어 밸브용 진단 프로그램
본 발명은 유체 제어 밸브용 진단 장치, 유체 제어 장치, 및 유체 제어 밸브용 진단 프로그램에 관한 것이다.
유체 제어 밸브로서는, 특허 문헌 1에 제시하는 것처럼, 밸브 시트(seat)에 대해서 밸브 몸체를 변위시킴으로써 예를 들면 유체의 유량을 제어하는 것이 있다. 이러한 유체 제어 밸브를 구비하는 유체 제어 장치는, 예를 들면 내구 연수를 정하여 관리되고 있고, 그 내구 연수를 초과하는 것에 대해서는 메인터넌스나 교환이 행해진다.
그런데, 정기적으로 메인터넌스를 행하고 있었다고 하더라도, 혹은 내구 연수를 초과하고 있지 않았다고 하더라도 유체 제어 장치에 결함이 발생하는 경우가 있다. 본원 발명자는, 이 원인으로서, 유체 제어 밸브의 동작에 따른 열화를 들 수 있는 것에 주목하여, 이것이 원인으로 유체 제어 장치에 결함이 발생하기 전에, 유체 제어 장치를 교환할 수 있도록 하는 것을 검토했다.
그렇지만, 종래, 유체 제어 장치로부터 유체 제어 밸브의 동작에 관한 정보를 얻을 수 없어, 유체 제어 밸브의 동작에 따른 열화의 영향을 평가할 수는 없었다.
특허 문헌 1: 일본 특개 2015－121898호 공보
이에 본 발명은 상기 문제점을 해결할 수 있도록 이루어진 것으로서, 유체 제어 장치로부터 유체 제어 밸브의 동작에 관한 정보를 얻을 수 있도록 하는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.
즉, 본 발명의 유체 제어 밸브용 진단 장치는 밸브 몸체를 변위시켜 유체를 제어하는 유체 제어 밸브의 진단 장치로서, 상기 밸브 몸체의 변위에 관련하여 입출력되는 밸브 몸체 관련치를 접수하는 밸브 몸체 관련치 접수부와, 상기 밸브 몸체 관련치에 기초하여, 상기 밸브 몸체의 변위를 검지하는 변위 검지부와, 상기 변위 검지부에 의해 얻어진 변위의 횟수를 기억하는 변위 횟수 기억부를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
이러한 유체 제어 밸브용 진단 장치이면, 밸브 몸체의 변위 횟수를 검지함과 아울러 그 변위 횟수를 기억하고 있으므로, 유체 제어 장치로부터 유체 제어 밸브의 동작에 관한 정보를 얻을 수 있다. 이것에 의해, 유체 제어 밸브의 동작에 따른 열화의 영향을 평가할 수 있고, 나아가서는 유체 제어 밸브의 동작에 따른 열화에 의한 영향으로 유체 제어 장치에 결함이 발생해 버리기 전에 유저에게 메인터넌스를 촉구하는 것이 가능해진다.
상기 변위 검지부의 구체적인 실시 형태로서는, 상기 밸브 몸체 관련치의 변동량이 소정의 임계치를 초과했을 경우에, 그것을 상기 밸브 몸체의 변위로서 검지하는 구성이나, 상기 유체 제어 밸브가 전개(全開) 위치 또는 전폐(全閉) 위치로 이동했을 경우에, 그것을 상기 밸브 몸체의 변위로서 검지하는 구성을 들 수 있다.
이러한 구성이면, 예를 들면 노이즈 등의 영향으로 밸브 몸체가 움직였을 경우 등, 밸브 몸체의 움직임이 근소하면, 그 움직임은 변위로서 검지되지 않도록 할 수 있으므로, 유체 제어 밸브의 동작에 따른 열화의 영향을 보다 확실하게 평가하는 것이 가능해진다.
유체 제어 밸브의 동작에 따른 열화에 의해서 유체 제어 장치의 교환이나 메인터넌스가 필요한 것을 유저에게 알리기 위해서는, 상기 변위 횟수 기억부에 의해 기억된 변위 횟수와 소정 횟수를 비교하여, 상기 변위 횟수가 상기 소정 횟수를 초과했을 경우에, 그것을 나타내는 알림 신호를 출력하는 알림부를 추가로 구비하고 있는 것이 바람직하다.
상기 밸브 몸체 관련치로서는, 상기 유체의 산출 유량, 상기 유체의 설정 유량, 상기 밸브 몸체를 변위시키는 구동 전압, 또는 상기 밸브 몸체의 위치에 따라 출력되는 전류 혹은 전압 등을 들 수 있다.
또, 본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 상술한 유체 제어 밸브 및 유체 제어 밸브용 진단 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 유체 제어 장치용 진단 프로그램은, 밸브 몸체를 변위시켜 유체를 제어하는 유체 제어 밸브의 진단에 이용되는 프로그램으로서, 상기 밸브 몸체의 변위에 관련하여 입출력되는 밸브 몸체 관련치를 접수하는 밸브 몸체 관련치 접수부와, 상기 밸브 몸체 관련치에 기초하여, 상기 밸브 몸체의 변위를 검지하는 변위 검지부와, 상기 변위 검지부에 의해 얻어진 변위의 횟수를 기억하는 변위 횟수 기억부로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키는 것을 특징으로 하는 프로그램이다.
이러한 유체 제어 장치나 유체 제어 장치용 진단 프로그램에 의하면, 상술한 유체 제어 밸브용 진단 장치와 같은 작용 효과를 발휘시킬 수 있다.
이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 유체 제어 장치의 유체 제어 밸브의 동작에 관한 정보를 얻을 수 있어, 유체 제어 밸브의 동작에 따른 열화의 영향을 평가함으로써 유체 제어 장치에 결함이 발생해 버리기 전에 유저에게 메인터넌스를 촉구하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 실시 형태의 유체 제어 장치의 회로 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 동 실시 형태의 유체 제어 장치의 전체 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 동 실시 형태의 진단 장치의 기능을 나타내는 기능 블록도이다.
도 4는 동 실시 형태의 진단 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
이하에, 본 발명에 따른 유체 제어 밸브용 진단 장치의 일실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다.
본 실시 형태의 유체 제어 밸브용 진단 장치(40)는, 유체 제어 장치(100)를 구성하는 유체 제어 밸브(20)를 진단하기 위한 것이다. 우선 처음에 유체 제어 장치(100)에 대해 간단하게 설명한다.
본 실시 형태에 따른 유체 제어 장치(100)는, 예를 들면 가스 패널에 탑재되어 반도체 제조 장치의 재료 공급 라인의 일부를 구성하는 것으로, 도 1에 유체 회로도, 도 2에 전체 구성의 단면도를 도시하는 것처럼, 유체가 흐르는 내부 유로(1a)를 가지는 보디 유닛(1)과, 내부 유로(1a)상에 마련되어 내부 유로(1a)를 흐르는 유체의 질량 유량을 측정하는 유량 측정 기구(10)와, 이 유량 측정 기구(10)보다도 상류측에 마련된 유체 제어 밸브(20)와, 유량 측정 기구(10)에 의한 측정 유량이 미리 정한 목표 유량이 되도록 유체 제어 밸브(20)를 제어하는 제어 회로(30)(도 2에는 도시하고 있지 않음)로 구성된 매스 플로우 컨트롤러이다.
유량 측정 기구(10)는 이른바 차압식의 것이며, 유체 회로적으로 말하면, 도 1에 도시하는 것처럼, 내부 유로(1a)상에 마련한 저항 유로(3)와, 그 저항 유로(3)의 상류측 및 하류측에 있어서의 내부 유로(1a) 내의 유체 압력을 계측하는 한 쌍의 압력 센서(2A, 2B)로 이루어진 것이다. 그리고 압력 센서(2A, 2B)에 의한 압력 계측값과 저항 유로(3)의 저항값에 기초하여, 내부 유로(1a)를 흐르는 유체의 유량을 측정 가능하게 구성되어 있다.
유체 제어 밸브(20)는, 도 2에 도시하는 것처럼, 밸브 시트(21) 및 밸브 몸체(22)와, 적층 압전 소자(23)를 구비하고, 적층 압전 소자(23)에 구동 전압을 인가하여 적층 압전 소자(23)를 신축시킴으로써, 밸브 시트(21)에 대해서 밸브 몸체(22)가 변위되어, 유체의 유량 등이 제어되도록 구성된 것이다. 밸브 몸체(22)는 적층 압전 소자(23)의 신축에 따라 변위되는 것이며, 여기에서는 적어도 다이어프램(diaphragm)을 가진 것이다.
덧붙여, 유체 제어 밸브(20)는 노멀 클로우즈 타입의 것이어도 되고, 노멀 오픈 타입의 것이어도 된다.
도 1에 도시하는 제어 회로(30)는 CPU, 메모리, I/O 채널, A/D 컨버터, D/A 컨버터, 그 외의 아날로그 내지 디지털 전기 회로를 탑재한 회로 기판에 의해 구성되어 있고, 상기 메모리에 격납된 프로그램에 따라서 CPU나 그 외 주변기기가 협동함으로써, 유체 제어 밸브(20)를 제어하여, 내부 유로(1a)의 유체 유량을, 외부로부터 지시한 설정 유량이 되도록 제어한다.
보다 구체적으로 설명하면, 이 제어 회로(30)는 적어도 유량 산출부(31) 및 밸브 제어부(32)로서의 기능을 구비하고 있고, 여기에서는 유체 제어 밸브(20)를 강제적으로 전개 또는 전폐하기 위해서 외부로부터 입력되는 전개 신호 및 전폐 신호를 접수하는 전개/전폐 신호 접수부(33)로서의 기능을 추가로 구비하고 있다.
유량 산출부(31)는 각 압력 센서(2A, 2B)로부터의 출력 신호치를 수신하면, 그들 출력 신호치로부터, 오프셋이나 계수 등을 고려한 소정의 변환식에 기초하여, 저항 유로(3)의 상류측 및 하류측에 있어서의 유체의 압력을 산출하고, 그들 압력과 미리 측정되어 있는 저항 유로(3)에서의 유체 저항값(저항 계수)이나 유체 점성 등에 기초하여, 저항 유로(3)를 흐르는 유체의 유량을 산출한다.
그리고 오퍼레이터나 외부의 다른 기기로부터 설정 유량이 주어지면, 밸브 제어부(32)가 그 설정 유량과 상기 산출 유량의 편차를 산출하여, 그 편차에 기초하여, 상기 산출 유량이 설정 유량에 가까워지도록, 적층 압전 소자(23)에 인가되는 구동 전압을 제어하여 밸브 몸체(22)를 변위시켜, 내부 유로(1a)를 흐르는 유체의 유량을 제어한다.
그러나 본 실시 형태의 유체 제어 장치(100)는 유체 제어 밸브용 진단 장치(40)(이하, 진단 장치(40)라고 함)를 추가로 구비하고 있다.
진단 장치(40)는 상술한 제어 회로(30)와는 별도로 CPU, 메모리, 그 외의 아날로그 내지 디지털 전기 회로를 탑재한 회로 기판을 구비한 것이어도 되지만, 여기에서는 제어 회로(30)를 구성하는 회로 기판의 일부를 진단 장치(40)에 겸용하고 있다. 이 진단 장치(40)는 기능적으로는 상기 메모리에 격납된 프로그램에 따라서 CPU나 그 외 주변기기가 협동함으로써, 도 3에 도시하는 것처럼, 밸브 몸체 관련치 접수부(41), 변위 검지부(42), 변위 횟수 기억부(43), 및 알림부(44)를 구비한 것이다.
밸브 몸체 관련치 접수부(41)는 밸브 몸체(22)의 변위에 관련하여 입출력되는 밸브 몸체 관련치를 접수한다.
밸브 몸체 관련치는 그 값이 변동함으로써 밸브 몸체(22)가 변위하는 값이나, 밸브 몸체(22)가 변위함으로써 변동하는 값으로, 유체의 제어 내용이 바뀜으로써 변동하는 값이다. 전자의 예로서는, 외부로부터 입력되는 설정 유량이나, 밸브 몸체(22)를 변위시키기 위해서 적층 압전 소자(23)에 입력되는 구동 전압 등을 들 수 있다. 한편, 후자의 예로서는, 밸브 몸체(22)의 위치를 검출하는 위치 센서로부터 출력되는 전류 또는 전압이나, 제어 회로(30)에 의해 산출되는 산출 유량 등을 들 수 있다.
본 실시 형태의 밸브 몸체 관련치 접수부(41)는, 적어도 상술한 산출 유량을 유량 산출부(31)로부터 접수하도록 구성되어 있다.
변위 검지부(42)는 밸브 몸체 관련치 접수부(41)에 의해 접수된 밸브 몸체 관련치에 기초하여, 밸브 몸체의 변위를 검지한다.
구체적으로 이 변위 검지부(42)는, 밸브 몸체(22)가 열화로 이어질 정도로 변위됐을 경우에, 그 변위를 1회의 변위 횟수로서 카운트하는 것이고, 예를 들면 노이즈 등의 영향으로 밸브 몸체(22)가 근소하게 변위하는 경우에는, 그것을 변위 횟수로서 카운트하지 않도록 구성되어 있다.
여기서의 변위 검지부(42)는, 도 4에 도시하는 것처럼, 밸브 몸체 관련치 접수부(41)가 접수한 산출 유량의 경시 변화에 기초하여 변위를 검지하여 그 변위 횟수를 카운트한다. 보다 상세하게는, 산출 유량의 변동량이 임계치를 초과했을 경우에, 그것을 1회의 변위 횟수로서 카운트한다.
보다 구체적으로 설명하면, 예를 들면 설정 유량이 Q1에서 Q2로 변경되었을 경우, 그 변경에 따라서 산출 유량은 Q1에서 Q2를 향해 변동한다. 그리고 이 산출 유량의 Q1부터의 변동량이, 임계치로서 설정된 일정 유량(예를 들면 풀스케일의 10%의 유량)을 초과한 상태가 일정시간(예를 들면 10msec) 계속되었을 경우에, 그것이 1회의 변위 횟수로서 카운트된다. 덧붙여, 상기 일정 유량이나 상기 일정시간의 설정치는, 적당히 변경해도 상관없다.
또한 본 실시 형태에서는, 유체 제어 밸브(20)를 강제적으로 전개 또는 전폐로 했을 경우에 밸브 몸체(22)가 크게 변위할 가능성이 높은 것으로부터, 변위 검지부(42)는 전개/전폐 신호 접수부(33)가 접수한 전개 신호 및 전폐 신호의 접수 횟수, 바꾸어 말하면 외부로부터 전개 신호 및 전폐 신호가 입력된 입력 횟수를, 각각 1회의 변위 횟수로서 카운트한다.
변위 횟수 기억부(43)는 상기 메모리의 소정 영역에 형성되어 있고, 상기 변위 검지부(42)에 의해 카운트된 변위 횟수를 기억하는 것이며, 여기에서는 소정 시간(예를 들면 1시간) 경과할 때마다 변위 횟수가 변위 횟수 기억부(43)에 적산되어 기억되도록 하고 있다. 덧붙여 변위 횟수 기억부(43)는 SD 카드 등의 외부 메모리에 형성되어 있어도 된다.
알림부(44)는 변위 횟수 기억부(43)에 적산되어 기억된 변위 횟수가 소정의 경고 횟수를 초과했을 경우에, 그것을 나타내는 알림 신호를 출력한다.
이 알림부(44)의 구체적인 태양으로서는, 변위 횟수가 소정의 경고 횟수를 초과했을 경우에, 소리나 광 등을 발생시키거나, 진단 장치(40)에 부대(附帶)시킨 혹은 접속시킨 디스플레이에 경고 표시를 출력하거나, 다양하게 생각할 수 있다.
덧붙여, 경고 횟수는 미리 설정된 횟수이지만, 어느 1개의 횟수로 설정되어 있어도 되고, 단계적으로 복수의 횟수로 설정되어 있어도 된다. 후자의 경우, 예를 들면 제1 경고 횟수에 의해서 유체 제어 밸브의 열화에 의한 메인터넌스 시기가 가까운 것을 나타내고, 제2 경고 횟수에 의해서 유체 제어 밸브의 열화에 의한 메인터넌스가 필요한 것을 나타내도록 해도 된다.
이와 같이 구성된 본 실시 형태에 따른 유체 제어 장치(100)에 의하면, 진단 장치(40)가 밸브 몸체(22)의 변위를 검지하여 그 변위 횟수를 카운트함과 아울러, 그 변위 횟수를 기억하고 있으므로, 유체 제어 밸브(20)의 동작에 관한 정보를 얻을 수 있어, 유체 제어 밸브(20)의 동작에 따른 열화가 유체 제어 장치의 동작에 어떠한 영향을 미치는지를 평가할 수 있다.
또, 변위 횟수 기억부(43)에 기억되어 있는 변위 횟수가 소정의 경고 횟수를 초과했을 경우에, 알림부(44)가 그것을 알리므로, 유체 제어 밸브(20)의 동작에 따른 열화에 의해서 유체 제어 장치(100)에 결함이 발생해 버리기 전에, 유저에게 유체 제어 장치(100)의 메인터넌스나 교환을 촉구할 수 있다.
덧붙여, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 상기 실시 형태의 변위 검지부는, 산출 유량의 변동량이 임계치를 초과했을 경우에 밸브 몸체의 변위를 검지하고 있었지만, 적층 압전 소자에 입력되는 구동 전압의 변동량이나, 밸브 몸체의 위치에 따라 출력되는 전류 또는 전압의 변동량이나, 설정 유량의 변동량이 임계치를 초과했을 경우에, 그것을 밸브 몸체의 변위로서 검지해도 된다.
이 경우, 변위 횟수 기억부는 상술한 변위 횟수를 모두 적산하여 기억해도 되고, 변위 횟수를 경우마다 적산하여 기억해도 된다.
또, 상기 실시 형태의 진단 장치는 알림부로서의 기능을 구비하고 있었지만, 알림부는 반드시 구비하게 하고 있지 않아도 된다.
이러한 경우에도, 변위 횟수 기억부에 기억되어 있는 변위 횟수를 확인함으로써, 유체 제어 밸브의 동작에 따른 열화의 영향을 평가할 수 있다.
게다가, 상기 실시 형태에서는 진단 장치를 유체 제어 장치에 구비하게 하고 있었지만, 진단 장치는 유체 제어 장치와 별체여도 된다. 구체적으로는, 예를 들면 MOCVD 등의 기상(氣相) 성장 장치가, 재료 가스나 캐리어 가스 등을 제어하는 복수의 유체 제어 장치와, 이들 유체 제어 장치는 따로 마련된 본 발명에 따른 진단 장치를 구비하고, 이 진단 장치가 각 유체 제어 장치의 유체 제어 밸브의 동작에 관한 정보를 얻도록 구성된 것을 들 수 있다.
이러한 구성이면, 진단 장치가 복수의 유체 제어 장치의 유체 제어 밸브의 동작에 관한 정보를 얻으므로, 기상 성장 장치에 있어서, 복수의 유체 제어 장치를 일원 관리할 수 있다.
또한, 상기 실시 형태의 유량 측정 기구는 차압식의 것이었지만, 열식이나 코리올리(Coriolis)식이나 초음파식의 것이어도 된다.
그 외, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되지 않고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능한 것은 말할 필요도 없다.
산업상의 이용 가능성
이와 같이 본 발명에 의하면, 유체 제어 장치의 유체 제어 밸브의 동작에 관한 정보를 얻을 수 있고, 유체 제어 밸브의 동작에 따른 열화의 영향을 평가함으로써 유체 제어 장치에 결함이 발생해 버리기 전에 유저에게 메인터넌스를 촉구하는 것이 가능해진다.
200···진단 장치
100···유체 제어 장치
20···유체 제어 밸브
22···밸브 몸체
40···진단 장치
41···밸브 몸체 관련치 접수부
42···변위 검지부
43···변위 횟수 기억부
44···알림부

Claims (7)

  1. 밸브 몸체를 변위시켜 유체를 제어하는 유체 제어 밸브의 진단 장치인 유체 제어 밸브용 진단 장치로서,
    상기 밸브 몸체의 변위에 관련하여 입출력되는 밸브 몸체 관련치를 접수하는 밸브 몸체 관련치 접수부와,
    상기 밸브 몸체 관련치에 기초하여, 상기 밸브 몸체의 변위를 검지하는 변위 검지부와,
    상기 변위 검지부에 의해 검지된 변위의 횟수를 기억하는 변위 횟수 기억부를 구비하고,
    상기 변위 검지부가 상기 유체 제어 밸브가 전개(全開) 위치로 이동했을 경우에, 그것을 상기 밸브 몸체의 변위로서 검지함과 아울러, 그 변위를 1회의 변위 횟수로서 카운트하고, 상기 유체 제어 밸브가 전폐(全閉) 위치로 이동했을 경우에, 그것을 상기 밸브 몸체의 변위로서 검지함과 아울러, 그 변위를 1회의 변위 횟수로서 카운트하는 유체 제어 밸브용 진단 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 변위 검지부가 상기 밸브 몸체 관련치의 변동량이 소정의 임계치를 초과했을 경우에, 그것을 상기 밸브 몸체의 변위로서 검지하는 유체 제어 밸브용 진단 장치.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 변위 횟수 기억부에 의해 기억된 변위 횟수와 소정 횟수를 비교하여, 상기 변위 횟수가 상기 소정 횟수를 초과했을 경우에, 그것을 나타내는 알림 신호를 출력하는 알림부를 추가로 구비하고 있는 유체 제어 밸브용 진단 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브 몸체 관련치가 상기 유체의 산출 유량, 상기 유체의 설정 유량, 상기 밸브 몸체를 변위시키는 구동 전압, 또는 상기 밸브 몸체의 위치에 따라 출력되는 전류 혹은 전압인 유체 제어 밸브용 진단 장치.
  6. 유체 제어 밸브와,
    청구항 1에 기재된 유체 제어 밸브용 진단 장치를 구비하는 유체 제어 장치.
  7. 밸브 몸체를 변위시켜 유체를 제어하는 유체 제어 밸브의 진단에 이용되는 프로그램인 기록 매체에 저장된 유체 제어 밸브용 진단 프로그램으로서,
    상기 밸브 몸체의 변위에 관련하여 입출력되는 밸브 몸체 관련치를 접수하는 밸브 몸체 관련치 접수부와,
    상기 밸브 몸체 관련치에 기초하여, 상기 밸브 몸체의 변위를 검지하는 변위 검지부와,
    상기 변위 검지부에 의해 검지된 변위의 횟수를 기억하는 변위 횟수 기억부로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키는 것이며,
    상기 변위 검지부가 상기 유체 제어 밸브가 전개 위치로 이동했을 경우에, 그것을 상기 밸브 몸체의 변위로서 검지함과 아울러, 그 변위를 1회의 변위 횟수로서 카운트하고, 상기 유체 제어 밸브가 전폐 위치로 이동했을 경우에, 그것을 상기 밸브 몸체의 변위로서 검지함과 아울러 그 변위를 1회의 변위 횟수로서 카운트하는, 기록 매체에 저장된 유체 제어 밸브용 진단 프로그램.
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