JP6147182B2 - 流体制御弁 - Google Patents
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Description
100・・・流体制御弁
101・・・流量センサ
11 ・・・細管
12 ・・・感熱抵抗素子
13 ・・・流量算出部
2 ・・・アクチュエータ
31 ・・・ロードセル(モニタリングセンサ)
32 ・・・円筒状収容部
33 ・・・変位計(モニタリングセンサ)
4 ・・・球体
5 ・・・プランジャ
51 ・・・可動子
52 ・・・ダイヤフラム部
53 ・・・固定体
54 ・・・バネ支持体
55 ・・・固定面
56 ・・・コイルばね
6 ・・・弁座ブロック
61 ・・・第1内部流路
62 ・・・第2内部流路
63 ・・・弁座
7 ・・・弁体
71 ・・・弁体支持ばね
8 ・・・開度制御部
81 ・・・切替部
82 ・・・印加電圧制御部
83 ・・・流体量ベース制御部
84 ・・・実績値ベース制御部
85 ・・・実績値記憶部
86 ・・・実績値取得部
FFB・・・流体量フィードバック部
MFB・・・モニタリング量フィードバック部
9 ・・・診断部
Claims (5)
- 弁座と、
前記弁座に対して接離可能に設けられた弁体と、
前記弁体を変位させるアクチュエータと、
前記アクチュエータから出力されている力、又は、前記弁体の変位を測定するモニタリングセンサと、
前記アクチュエータに印加される電流又は電圧によって前記弁座と前記弁体との間の開度を制御する開度制御部と、を備え、
前記開度制御部が、目標流体量と測定流体量との偏差に基づいて前記アクチュエータをフィードバック制御する流体量ベース制御部と、
前記偏差が所定の閾値範囲内にある状態で前記モニタリングセンサにより測定された前記アクチュエータから出力されている力、又は、前記弁体の変位である実績値と、その時の目標流体量を対にして記憶する実績値記憶部と、
前記流体量ベース制御部により前記アクチュエータが制御されない場合において、前記モニタリングセンサで測定される前記アクチュエータから出力されている力、又は、前記弁体の変位が、前記目標流体量に対応する実績値となるように前記アクチュエータを制御する実績値ベース制御部と、を具備していることを特徴とする流体制御弁。 - 前記アクチュエータと前記弁体との間に設けられ、前記アクチュエータの変位を前記弁体へと伝達するプランジャをさらに備え、
前記モニタリングセンサが、前記アクチュエータと前記プランジャとの間に設けられて前記アクチュエータから出力されている力を測定するロードセルであり、
前記ロードセルと前記プランジャとの間、又は、前記ロードセルと前記アクチュエータとの間に球体が配置されている請求項1記載の流体制御弁。 - 前記アクチュエータと前記弁体との間に設けられ、前記アクチュエータの変位を前記弁体へと伝達するプランジャをさらに備え、
前記モニタリングセンサが、前記プランジャの変位を測定する変位計であり、
前記プランジャが、前記アクチュエータと前記弁体とを接続する可動子と、前記可動子を弾性支持するダイヤフラム部と、前記ダイヤフラム部と対向する固定面と、を具備し、
前記変位計が、前記ダイヤフラムと前記固定面との間の変位を測定するよう構成されている請求項1又は2記載の流体制御弁。 - 前記モニタリングセンサの測定値に基づいて、故障の診断を行う診断部をさらに備えた請求項1乃至3いずれかに記載の流体制御弁。
- 前記診断部が、前記流体量ベース制御部により前記アクチュエータが制御されている間に診断を行うように構成されている請求項4記載の流体制御弁。
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