JP3383968B2 - バルブポジショナ - Google Patents

バルブポジショナ

Info

Publication number
JP3383968B2
JP3383968B2 JP02161995A JP2161995A JP3383968B2 JP 3383968 B2 JP3383968 B2 JP 3383968B2 JP 02161995 A JP02161995 A JP 02161995A JP 2161995 A JP2161995 A JP 2161995A JP 3383968 B2 JP3383968 B2 JP 3383968B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
valve
circuit
valve opening
control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP02161995A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08219305A (ja
Inventor
剛志 西島
雄 岩本
晃 井上
耕治 大村
正仁 土屋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP02161995A priority Critical patent/JP3383968B2/ja
Publication of JPH08219305A publication Critical patent/JPH08219305A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3383968B2 publication Critical patent/JP3383968B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、プラントなどに設けら
れ各種流体の流量制御を行う調節弁に用いられるバルブ
ボジショナに係り、特に調節弁の弁開度を入力信号に基
づいて制御する機能のほかに、調節弁の操作部の異常に
対する診断予知をする診断予知機能をも有するように改
良されたバルブボジショナに関する。 【0002】 【従来の技術】図2は実開昭63−173503号に開
示されている従来のバルブボジショナの構成を示す構成
図である。以下、これについて説明する。このトップガ
イド型単座調節弁は、プロセス流体(被制御流体)1の
流量を制御する本体部2と、本体部2に弁プラグ3をそ
の軸方向に往復移動させるダイヤフラム式の操作部4と
から構成されており、さらに入力信号Iに応じて弁開度
を調整するバルブボジショナ30が付加されている。 【0003】本体部2は上流側通路10にあるプロセス
流体1が仕切り壁11の中央部においてシートリング1
2がはめ込まれた開口部を通って下流側通路13に抜け
るように構成されている。 【0004】そして、弁プラグ3がガイドリング14に
沿って上下動することにより、開口部の開度が変化して
プロセス流体1の流量が制御される。弁プラグ3の上部
ロッド3aは本体上蓋15のプラグ挿通孔16にグラン
ドパッキン17を介して摺動自在に挿通されており、ロ
ッド3aの上端は操作部4のステム18とステムコネク
タ19を介して連結されている。 【0005】ステム18はスプリング20により下方に
付勢されると共にその上端がダイヤフラム21に固定さ
れており、ダイヤフラムケース22の圧力室23内の圧
力に応じて上下動する。 【0006】圧力室23の内部圧力が増大すればステム
18が上方に引き上げられ、ステムコネクタ19を介し
て連結される弁プラグ3も上方に移動して本体部2に設
けられた開口部の弁開度が大きくなる。逆に、圧力室2
3の内部圧力が減少すれば、弁開度プラグ3が下方に移
動して弁開度が小さくなる。 【0007】圧力室23の圧力調整はバルブポジショナ
30によって行われる。バルブポジショナ30は弁開度
を示す信号を入力端子7から入力し、ステム18の上下
動に伴って回動するレバー24により弁開度を検出し、
その値をフイードバックして実際の弁開度を入力信号の
指示する弁開度と一致させるべく操作部4の圧力室2
3、つまり空気室の圧力調整を行う。 【0008】このような調節弁において、操作部4はス
テム18と本体上蓋15に固定されたスプリングケース
25と、このスプリングケース25内に配設されステム
18を下方に付勢するスプリング20と、スプリングケ
ース25上に配設されたダイヤフラムケース22と、こ
のダイヤフラムケース22内にその周縁部を保持されて
配設されたダイヤフラム21などで構成され、このダイ
ヤフラム21にステム18の上端が連結されている。 【0009】そして、ダイヤフラムケース22とスプリ
ングケース25との連結部には、空気室23のシール性
を保ためにオーリング27を介在させてステム18を挿
通してなるガイドブッシュ26が配設され、その外周に
ガスケット28が装着されている。なお、29はバルブ
ポジショナ30から出力する空気圧を空気室23に供給
するための空気供給経路としての配管である。 【0010】このバルブポジショナ30は、入力回路、
制御演算器、空気圧発生器、および弁変位検出器などに
よって構成され、調節弁の弁開度は入力信号Iとして与
えられる目標値である目標弁開度に常に追従する。 【0011】このうち、入力回路は、図示しないコント
ローラから2本の伝送線(図示せず)を介して入力端子
7から電流値の形として与えられる入力信号Iをバルブ
ポジショナ30に内蔵される制御演算器に入力可能なよ
うに電圧値に変換すると共にバルブポジショナ30の回
路電源をも作成する。 【0012】一方、弁変位検出器は、ポテンショメータ
或いはロータリーエンコーダなどにより構成されるもの
であり、弁リフトに伴って変化するレバー24の回転角
度から弁開度を検出し、これを電気信号に変換して制御
演算器に測定弁開度として出力する。 【0013】そして、制御演算器は、この入力装置から
の目標弁開度とレバー24に連動する弁リフト検出器か
らの測定弁開度とを比較し、これ等の偏差が零に近づく
ように空気圧発生器に対して空気圧制御信号を出力す
る。 【0014】さらに、この空気圧発生器は、この制御演
算器からの空気圧制御信号に基づいて出力空気圧を増
加、減少或いは保持して配管29を介して空気室23の
中の圧力を制御する。 【0015】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ようなバルブポジショナには、次に説明するような問題
点がある。 【0016】(A)プロセス流体1に含まれる不純物な
どが弁プラグ3とガイドリング14、或いはグランドパ
ッキン17とロッド3aとの間に入り込み、これにより
摩擦力が増して最終的には“かじり”を生じてステム1
8が完全に動かなくなってから、オペレータがこのこと
に気がつくことがある。 【0017】(B)グランドパッキン17が変質・硬化
を起こして弾性を失ったり、摩擦が増加するなどして次
第に緩みが生じるので、定期的に保守者がパッキンの状
況をチエックして液漏れがないか否かを目視により監視
するなど人手を要していた。 【0018】 【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決するための構成として、弁変位検出器により検出さ
れた調節弁の弁開度信号と入力信号が示す目標弁開度と
を一致させるように制御演算器から前記調節弁の操作部
に空気圧を供給することにより前記空気圧に応じて前記
調節弁の弁開度制御を行うバルブポジショナにおいて、
一定時間のあいだ診断信号を出力する診断信号発生手段
と、この診断信号が入力されることによりゲイン変更信
号を出力して前記制御演算器のゲインを変更するゲイン
変更手段と、前記入力信号と前記弁開度信号とが入力さ
れこれ等の信号の変化の差の発生回数が所定時間中に所
定値以上になった変化回数を計数する変化回数演算手段
と、この変化回数が基準値以上になったことを判定する
判定信号を出力する判定信号出力手段と、前記ゲインが
予め設定された基準範囲内で、この判定信号が出力され
ときに異常診断信号を出力する異常検出手段とを具備
し、これにより発振限界を計測して前記調節弁の異常に
対する診断予知を行うようにしたものである。 【0019】 【作 用】診断信号発生手段は診断を行う一定時間のあ
いだ診断信号を出力する。ゲイン変更手段はこの診断信
号が入力されることによりゲイン変更信号を出力して制
御演算器のゲインを増減して系に発振を起こさせる。 【0020】変化回数演算手段は目標弁開度を示す入力
信号と弁変位検出器により検出された調節弁の弁開度信
号とが入力されこれ等の信号の変化の発生回数の差が所
定時間中に所定値以上になった変化回数を計数する。そ
して、判定信号出力手段はこの変化回数が基準値以上に
なったことを判定する判定信号を異常検出手段に出力す
る。 【0021】異常検出手段は、この判定信号が出力され
たときの先のゲインが予め設定された基準範囲を越えた
ときに異常診断信号を出力する。このようにして、発振
限界を計測することにより先の調節弁の異常に対する診
断予知を行う。 【0022】 【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて説
明する。図1は本発明の1実施例の構成を示すプロック
図である。なお、図2に示す従来のバルブポジショナと
同一の機能を有する部分には同一の符号を付して適宜に
その説明を省略する。 【0023】31は、入力信号Iが図示しない調節計な
どから伝送され、この入力信号Iに対応して本体部2と
操作部4とからなる調節弁32の弁開度を制御するメイ
ン制御回路である。このメイン制御回路31は主として
入力回路33、制御演算器34、空気圧発生器35、弁
変位検出器36などから構成されている。 【0024】入力回路33は、2本の伝送線から例えば
4〜20mAの電流信号として入力信号Iが入力され、
この入力信号Iのベース部分である4mA以下で内部の
回路を動作させる回路電源Ebを作り、残りの0〜16
mAを弁開度の目標値を与える電圧信号Viに変換す
る。 【0025】制御演算器34は、その一方の入力端にこ
の電圧信号Viが印加され、他方の入力端には調節弁3
2のストロークが弁変位検出器36で検出されこれが弁
開度信号Vfとして変換されて印加されている。 【0026】制御演算器34はこれらの電圧信号Vi
弁開度信号Vfとが一致するように空気圧発生器35を
介して得た操作信号P0により操作部4を制御する。こ
の操作信号P0は本体部2と操作部4を連結するステム
18を上下させて本体部2の弁開度を調節すると共にこ
の上下動は回動するレバー24を介して弁変位検出器3
6に出力される。 【0027】37は変化回数演算回路であり、この変化
回数演算回路37は第1の微分演算回路38、第2の微
分演算回路39、比較回路40、計数回路41などから
構成されている。 【0028】微分演算回路38には、入力回路33から
入力信号Iの弁開度を制御する部分に対応する電圧信号
iが入力され、この電圧信号Viの変化の程度を把握す
るためにこれに微分演算が施されて比較回路40の入力
の一端に出力される。 【0029】また、微分演算回路39には、弁変位検出
器36を介してステム18が上下に移動する信号である
弁開度信号Vfが入力され、この弁開度信号Vfの変化の
程度を把握するためにこれに微分演算が施されて比較回
路40の入力の他端に出力される。 【0030】比較回路40は、これらの電圧信号Vi
変化率と弁開度信号Vfの変化率との差を演算して、判
定回路41に差信号SDとして出力する。この差信号SD
は弁開度信号Vfの変化から入力された電圧信号Viの変
化が消去されているので、純粋に弁開度信号Vfの変化
が抽出されている。 【0031】計数回路41は、計数開始信号SCと差信
号SDとが入力され、計数開始信号S Cで計数が開始さ
れ、この差信号SDの変化が予め設定された所定数Nを
越えたか否かを計数しその計数結果NCを出力する。 【0032】判定信号出力回路42は、基準値設定回路
43と判定回路44とから構成されており、基準値設定
回路43は計数結果NCの判定基準となる基準値NSを判
定回路44に出力し、判定回路44は計数結果NCと基
準値NSとを比較して、計数結果NCが基準値NSを越え
たか否かを判断して基準値NSを越えたときに判定信号
Sを出力する。 【0033】異常検出回路45には、判定信号JS、ゲ
インGSが入力されており、判定信号JSがこの判定信号
Sを得たときの後述するゲイン範囲(GS(H)〜GS(L)
を越えたときに異常診断信号SAを出力する。 【0034】診断回路46は、タイマ回路47と診断信
号発生器48とから構成されている。このうち、タイマ
回路47は診断開始の際に診断動作時間TCを診断信号
発生器48に設定すると共に計数回路41に計数開始信
号SCを出力する。 【0035】また、診断信号発生器48は、この診断動
作時間TCがタイマ回路47から入力されるとゲイン変
更回路49に一定時間のあいだ所定のレベル状態が続く
診断信号TSを出力する。 【0036】ゲイン変更回路49は診断信号TSが継続
するあいだ制御演算器34にゲインを所定の値に変更す
るゲイン変更信号GVを出力すると共に異常検出回路4
5にゲイン変更信号GVに対応するゲイン値GSを出力す
る。 【0037】次に、以上のように構成されたバルブポジ
ショナの動作について説明する。先ず、通常の動作につ
いて説明する。通常の動作においては、制御演算器34
は予め決められたゲインGS0に設定されており、また、
タイマ回路47からは診断動作時間TCも計数開始信号
Cも出力されず、変化回数演算回路37とゲイン変更
回路49は切り離された状態となっている。 【0038】この状態で、例えば調節器などから4〜2
0mAなどの電流信号として入力信号Iが入力回路33
に伝送されると、入力回路33はこの入力信号Iのベー
ス部分の電流である4mAを用いて回路動作に必要な回
路電源Ebを作り、残りの0〜16mAを弁開度の目標
値を与える電圧信号Viに変換する。 【0039】制御演算器34は、この電圧信号Viと弁
変位検出器36から出力される弁開度信号Vfとの偏差
を演算して対応する出力信号を空気圧発生器35を介し
て操作信号P0として操作部4のステム18の変位を制
御する。 【0040】この変位は、弁変位検出器36を介して弁
開度信号Vfとして制御演算器34に負帰還される。そ
して、制御演算器34は、電圧信号Viと弁開度信号Vf
との偏差がなくなるように演算するので、系が平衡した
状態では、弁開度信号Vfは制御目標値である電圧信号
iに一致することとなる。 【0041】次に、調節弁の操作部の異常に対する診断
予知をする場合の動作について説明する。この場合に
は、タイマ回路47から診断動作時間TCと計数開始信
号SCとがそれぞれ信号診断発生器48と計数回路41
に出力される。信号診断発生器48は診断動作時間TC
が入力されることにより、ゲイン変更回路49に診断信
号TSを出力する。 【0042】ゲイン変更回路49は、先ず、制御演算器
34のゲインを正常な発振限界を示す下限であるGv
(L)にしてこれを制御演算器34に設定し、診断信号
Tsが出力されている間これを維持している。同時に異
常検出回路45にはこのゲインGv(L)に対応するゲ
イン値Gs(L)を設定する。 【0043】この状態で、微分演算回路39は弁開度信
号Vfを微分することにより弁開度信号Vfの変動分を演
算により検出する。また、微分演算回路38は電圧信号
iを微分して電圧信号Viの変動分を演算して比較回路
40に出力する。 【0044】比較回路40は、これ等の微分演算回路3
8と微分演算回路39での演算結果を比較して、これら
の差である差信号SD(L)を出力する。この差信号SD
(L)は弁開度信号Vfの変動分から電圧信号Viの変動
分が除去された形となるので、純粋に弁開度信号Vf
変動分のみが出力されることとなる。 【0045】計数回路41は、この差信号SD(L)の
変化が予め設定された所定数Nを越えたか否かを計数し
所定数Nを越えたときに、その計数結果NC(L)を判
定回路44に出力する。この計数回路41は判定に必要
な程度に計数結果NC(L)が達したかどうかを判断す
る。 【0046】判定回路44は計数結果NC(L)と基準
値NSとを比較して、計数結果NC(L)が基準値NS
越えたときに判定信号JS(L)を異常検出回路45に
出力する。基準値NSを越えたことにより調節弁を含む
システムに発振が生じたことが判る。 【0047】異常検出回路45は、発振限界に対応する
下限のゲイン値GS(L)において判定信号JS(L)が検
知されたことにより、異常診断信号SA(L)を出力す
る。このような下限のゲイン値GS(L)において発振が生
じるのは、例えば、次の、のような場合である。 【0048】弁プラグ3とガイドリング14との間、
グランドパッキン17とロッド3aとの間へ不純物が混
入した場合は、摩擦力が増大するので、発振限界の下限
のゲイン値GS(L)より低下する。また、 グランドパッキン17が変質して硬化した場合は、摩
擦力が増大するので、発振限界の下限のゲイン値GS(L)
より低下する。 【0049】異常検出回路45は、発振限界に対応する
下限のゲイン値GS(L)において判定信号JS(L)が検
知されなければ、一応、調節弁において通常の場合に対
して摩擦力は増大しておらず、正常なものとして異常診
断信号SA(L)を送出しないこととして処理をする。 【0050】次に、発振限界に対応する下限のゲイン値
S(L)において判定信号JS(L)が検知されない場合
は、制御演算器34のゲインを正常な発振限界の上限で
あるGV(H)にゲイン変更回路49により変更し、これを
制御演算器34に設定して診断動作時間TCが出力され
ている間これを維持している。同時に異常検出回路45
にもこのゲインGV(H)に対応するゲイン値GS(H)を設定
する。 【0051】この状態で、微分演算回路39は弁開度信
号Vfを微分することにより弁開度信号Vfの変動分を演
算により検出する。この際、微分演算回路38は電圧信
号Viを微分して電圧信号Viの変動分を演算して比較回
路40に出力する。 【0052】比較回路40は、これ等の微分演算回路3
8と微分演算回路39での演算結果を比較して、これら
の差である差信号SD(H)を出力する。この差信号SD
(HL)は弁開度信号Vfの変動分から電圧信号Viの変
動が除去された形となるので、純粋に弁開度信号Vf
変動分のみが出力されることとなる。 【0053】計数回路41は、この差信号SD(H)の
変化が予め設定された所定数Nを越えたか否かを計数し
所定数Nを越えたときに、その計数結果NC(H)を判
定回路44に出力する。この計数回路41は判定に必要
な程度に計数結果NC(H)が達したかどうかを判断す
る。 【0054】判定回路44は計数結果NC(H)と基準
値NSとを比較して、計数結果NC(H)が基準値NS
越えたときに判定信号JS(H)を異常検出回路45に
出力する。基準値NSを越えたことにより調節弁を含む
システムに発振が生じたことが判る。 【0055】異常検出回路45は、発振限界に対応する
上限のゲイン値GS(H)において判定信号JS(H)が検
知されたことにより、異常診断信号SA(H)を出力す
る。このような上限のゲイン値GS(H)において発振が生
じるのは、例えば、グランドパッキン17が緩んだ場合
などに生じる。これは、摩擦力が低下することによるも
のである。 【0056】したがって、異常検出回路45は、発振限
界に対応する上限のゲイン値GS(H)において判定信号J
S(H)が検知されなければ、調節弁において通常の場
合に対して摩擦力が低下しておらず、正常なものとして
異常診断信号SA(H)を送出しないものとして処理す
る。 【0057】以上の演算はハードウエアをベースとする
デスクリートな構成を用いて説明したが、これらの機能
はマイクロコンピュータを用いたソウトウエアによって
も実現することができる。 【0058】 【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに本発明によれば、入力信号が導入された状態で、制
御演算器の発振限界のゲインを上限値と下限値に変更し
てこれらにおけるシステムの発振限界の有無を検知する
ことにより、調節弁のステムに加わる摩擦力の変化を知
ることができ、異常の予知又は診断ができる。
【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の1実施例の構成を示すブロック図であ
る。 【図2】従来のバルブボジショナの構成を示す構成図で
ある。 【符号の説明】 2 本体部 3 弁プラグ 3a ロッド 4 操作部 14 ガイドリング 17 グランドパッキン 18 ステム 30 バルブボジショナ 31 メイン制御回路 32 調節弁 33 入力回路 34 制御演算器 35 空気圧発生器 36 弁変位検出器 37 変化回数演算回路 38、39 微分演算回路 40 比較回路 41 判定回路 42 判定信号出力回路 43 基準値設定回路 44 判定回路 45 異常検出回路 46 診断回路 47 タイマ回路 48 診断信号発生器 49 ゲイン変更回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 土屋 正仁 東京都武蔵野市中町2丁目9番32号 横 河電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−187405(JP,A) 特開 平6−129403(JP,A) 実開 昭63−173503(JP,U) 特公 平6−43713(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F16K 37/00 F16K 31/126 F16K 7/17 F15B 9/07

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】弁変位検出器により検出された調節弁の弁
    開度信号と入力信号が示す目標弁開度とを一致させるよ
    うに制御演算器から前記調節弁の操作部に空気圧を供給
    することにより前記空気圧に応じて前記調節弁の弁開度
    制御を行うバルブポジショナにおいて、 一定時間のあいだ診断信号を出力する診断信号発生手段
    と、この診断信号が入力されることによりゲイン変更信
    号を出力して前記制御演算器のゲインを変更するゲイン
    変更手段と、前記入力信号と前記弁開度信号とが入力さ
    れこれ等の信号の変化の差の発生回数が所定時間中に所
    定値以上になった変化回数を計数する変化回数演算手段
    と、この変化回数が基準値以上になったことを判定する
    判定信号を出力する判定信号出力手段と、前記ゲインが
    予め設定された基準範囲内で、この判定信号が出力され
    ときに異常診断信号を出力する異常検出手段とを具備
    し、これにより発振限界を計測して前記調節弁の異常に
    対する診断予知を行うことを特徴とするバルブポジショ
    ナ。
JP02161995A 1995-02-09 1995-02-09 バルブポジショナ Expired - Fee Related JP3383968B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02161995A JP3383968B2 (ja) 1995-02-09 1995-02-09 バルブポジショナ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02161995A JP3383968B2 (ja) 1995-02-09 1995-02-09 バルブポジショナ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08219305A JPH08219305A (ja) 1996-08-30
JP3383968B2 true JP3383968B2 (ja) 2003-03-10

Family

ID=12060077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP02161995A Expired - Fee Related JP3383968B2 (ja) 1995-02-09 1995-02-09 バルブポジショナ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3383968B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4752561B2 (ja) * 2006-03-23 2011-08-17 横河電機株式会社 電空変換システム、及び電空変換システムの制御方法
JP5696006B2 (ja) * 2011-09-02 2015-04-08 アズビル株式会社 ポジショナの異常診断方法および装置
JP6295221B2 (ja) * 2015-03-17 2018-03-14 アズビル株式会社 ポジショナ
JP6295222B2 (ja) * 2015-03-17 2018-03-14 アズビル株式会社 ポジショナ
CN109844675A (zh) * 2016-10-28 2019-06-04 株式会社堀场Stec 流体控制阀用诊断装置、流体控制装置以及流体控制阀用诊断程序
CN107420608B (zh) * 2017-05-17 2024-04-19 北京工业大学 一种阀门控制系统及控制方法
JP7284024B2 (ja) * 2019-07-31 2023-05-30 アズビル株式会社 バルブ異常検出装置および方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08219305A (ja) 1996-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1019790B1 (en) Method of and apparatus for nonobtrusively obtaining on-line measurements of a process control device parameter
JP4088160B2 (ja) 弁棒の破損検出方法
US7181654B2 (en) System and method for detecting an abnormal situation associated with a reactor
JP2001517820A (ja) 圧力レギュレータ、その診断装置および診断法
JP2001517821A (ja) インテリジェント圧力レギュレータ
JP3383968B2 (ja) バルブポジショナ
JPH04232514A (ja) 一体型プロセス制御弁
EP1234971A3 (en) Control method
CN112507487B (zh) 一种水轮机调速器接力器的可靠性评估方法及系统
CN110159764B (zh) 智能型机械密封系统及其实现方法
CN206830394U (zh) 一种电子传感控制斜盘式变量柱塞泵、液压柱塞泵
JPH08166309A (ja) 導圧管の詰まり診断機構付き差圧測定装置
JP5382639B2 (ja) 回転容積型ポンプの流量制御方法と同流量制御システム
US5644948A (en) Control valve with a drive operated by a pressure medium and a position controller
JP3584222B2 (ja) バルブの漏洩検知方法及び装置
JP3308119B2 (ja) 流量制御系の異常検知装置
CN210423722U (zh) 智能型机械密封系统
JP3473724B2 (ja) バルブポジショナ
JPH0444198A (ja) ガス圧力異常検知装置
KR100249772B1 (ko) 건설기계 진단장치
JPH08178782A (ja) 差圧測定装置
JPS63275876A (ja) 調節弁の異常検出装置
KR20190019369A (ko) 공기식 컨트롤 밸브 고장 진단 방법
JPH0777488A (ja) 摩擦力の計測装置
WO2002017028A1 (en) Method for detecting plug wear

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071227

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081227

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees