KR102377036B1 - 정렬 장치, 그리고 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정렬 장치를 제공한다. 정렬 장치는, 각각의 대상물들을 서로 다른 높이로 지지시키는 지지 모듈과; 상기 지지 모듈에 지지된 대상물들을 정렬하는 정렬 모듈을 포함하고, 상기 정렬 모듈은, 상기 대상물들 중 하나인 제1대상물을 정렬시키는 제1정렬부와; 상기 대상물들 중 하나이고, 상기 제1대상물과 상이한 제2대상물을 정렬시키는 제2정렬부와; 상기 제1정렬부, 그리고 상기 제2정렬부를 동시에 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

Description

정렬 장치, 그리고 이를 포함하는 기판 처리 장치{Alignment apparatus, and substrate processing apparatus comprising the same}
본 발명은 정렬 장치, 그리고 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 칩이 고집적화 됨에 따라 그의 크기는 점차 줄어들고 있다. 반면, 반도체 칩 상의 솔더 볼들 사이의 간격은 세계 반도체 표준 협회의 국제 표준에 의해 정해져 있다. 때문에 반도체 칩에 대한 솔더 볼들의 개수 조절이 쉽지 않다. 또한, 반도체 칩이 작아짐에 따라 핸들링이 어려우며 테스트도 어려워진다. 더불어 반도체 칩의 크기에 따라 실장되는 보드를 다원화해야 하는 문제점이 있다. 이를 해결하기 위해 팬 아웃 패널 레벨 패키지(Fan Out Panel Level Package, FOPLP)가 제안되었다.
일반적으로, 팬 아웃 패널 레벨 패키지(Fan Out Panel Level Package, FOPLP)의 팬 아웃 패널(Fan Out Panel)에 대한 표면 처리 공정들은 플라즈마를 팬 아웃 패널에 공급하고, 팬 아웃 패널에 공급된 플라즈마가 패널 상에 부착된 불순물 등을 제거하는 방식으로 수행될 수 있다.
도 1은 팬 아웃 패널을 플라즈마 처리시, 패널의 모습을 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 패널(S)은 절연체(6)에 의해 둘러 쌓인 척(2)에 지지된다. 패널(S)은 리프트 핀(4)들에 의해 상하 방향으로 승강될 수 있다. 패널(S)에 플라즈마를 공급하여 처리시, 패널(S)의 얇은 두께 등을 원인으로 패널(S)에는 워 페이지(Warpage) 현상이 존재한다. 이 경우, 패널(S)의 하면과 척(2) 상면 사이에는 간극이 발생한다. 패널(S)의 하면과 척(2) 사이에 간극이 발생하면 로컬 플라즈마(Local Plasma)에 의하여 아킹 현상 등이 발생한다. 이에, 패널(S)의 하면에 손상이 발생한다. 또한, 패널(S)에 워 페이지(Warpage) 현상이 존재하는 경우, 반송 로봇이 패널(S)을 진공 흡착 등의 방식으로 반송시 패널(S)을 반송 로봇에 적절히 안착시키기 어려운 문제가 있다. 이 경우, 반송 로봇이 패널(S)을 반송시, 패널(S)이 반송 로봇으로부터 이탈될 수 있는 위험이 존재한다.
이러한 패널(S)이 가지는 워 페이지 현상으로 인하여 발생되는 문제점들을 해소하기 위해, 패널(S)에 대한 처리 및/또는 패널(S)을 반송시 도 2에 도시된 바와 같이 패널(S)의 상부에는 윈도우 클램프(W)를 배치하고, 패널(S)의 하부에는 지그 플레이트(J)를 배치한다. 이 경우, 패널(S)에 대한 처리 및/또는 패널(S)을 반송시 패널(S)이 가지는 워 페이지 현상으로 발생하는 문제점들을 최소화 할 수 있다.
이와 같이 패널(S)의 상, 하부에 윈도우 클램프(W)와 지그 플레이트(J)를 배치시키는 경우, 윈도우 클램프(W) 및 지그 플레이트(J)가 패널(S)에 대하여 적절히 정렬되어야 한다. 그렇지 않은 경우, 패널(S)의 워 페이지 현상이 제거되지 않아 상술한 아킹 현상이 발생할 수 있다. 또한, 반송 로봇이 윈도우 클램프(W), 패널(S) 및 지그 플레이트(J)를 반송시, 윈도우 클램프(W), 패널(S) 및 지그 플레이트(J)들이 반송 로봇으로부터 이탈될 수 있다.
본 발명은 팬 아웃 패널에 대한 처리를 효율적으로 수행할 수 있는 정렬 장치, 그리고 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 적어도 하나 이상의 대상물들을 효율적으로 정렬할 수 있는 정렬 장치, 그리고 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 윈도우 클램프, 패널, 그리고 지그 플레이트를 효율적으로 정렬할 수 있는 정렬 장치, 그리고 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재들로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 정렬 장치를 제공한다. 정렬 장치는, 각각의 대상물들을 서로 다른 높이로 지지시키는 지지 모듈과; 상기 지지 모듈에 지지된 대상물들을 정렬하는 정렬 모듈을 포함하고, 상기 정렬 모듈은, 상기 대상물들 중 하나인 제1대상물을 정렬시키는 제1정렬부와; 상기 대상물들 중 하나이고, 상기 제1대상물과 상이한 제2대상물을 정렬시키는 제2정렬부와; 상기 제1정렬부, 그리고 상기 제2정렬부를 동시에 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 구동부는, 상기 제1정렬부, 그리고 상기 제2정렬부를 같은 방향으로 이동시킬 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1정렬부는, 상기 정렬 모듈이 상기 제1대상물을 정렬시 상기 제1대상물과 접촉되는 적어도 하나 이상의 제1롤러를 포함하고, 상기 제2정렬부는, 상기 정렬 모듈이 상기 제2대상물을 정렬시 상기 제2대상물과 접촉되는 적어도 하나 이상의 제2롤러를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 모듈은, 상기 대상물들 중 하나이고, 상기 제1대상물 및 상기 제2대상물과 상이한 제3대상물을 정렬시키는 제3정렬부를 더 포함하고, 상기 구동부는, 상기 제1정렬부, 상기 제2정렬부, 그리고 상기 제3정렬부를 동시에 이동시킬 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 모듈은, 복수로 제공되고, 상부에서 바라볼 때, 상기 지지 모듈에 지지되는 대상물의 모서리 영역에 각각 배치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 지지 모듈은, 베이스와; 상기 베이스의 상면에 설치되며, 상기 제1대상물 및 제2대상물과 상이한 제3대상물을 지지하는 브라켓과; 상기 제3대상물에 형성된 홀에 삽입 가능하며, 상기 제2대상물을 승강시키는 적어도 하나 이상의 리프트 핀과; 상기 제1대상물을 지지하는 지지 핀을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 브라켓은, 상기 제3대상물을 지지시, 상기 제3대상물의 저면과 접촉되는 안착 부와; 상기 안착부로부터 연장되고, 상부에서 바라본 상기 베이스의 중심에서 상기 베이스의 외측 방향으로 갈수록 상향 경사진 슬롯 부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 지지 핀은, 제1높이에서 상기 제1대상물을 지지하고, 상기 리프트 핀은, 상기 제1높이보다 낮은 제2높이에서 상기 제2대상물을 승강 및 지지 시키고, 상기 브라켓은, 상기 제2높이보다 낮은 제3높이에서 상기 제3대상물을 지지할 수 있다.
또한, 본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는, 기판에 대하여 플라즈마 처리 공정을 수행하는 프로세스 챔버와; 내부 공간을 가지고, 상기 내부 공간에서 윈도우 클램프, 기판, 그리고 지그 플레이트를 정렬시키는 정렬 장치가 제공되는 버퍼 챔버와; 상기 프로세스 챔버, 그리고 버퍼 챔버 사이에 상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트를 반송하는 반송 로봇을 포함하고, 상기 정렬 장치는, 상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트를 서로 다른 높이로 지지시키는 지지 모듈과; 상기 지지 모듈에 지지된 상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트를 정렬하는 정렬 모듈을 포함하고, 상기 정렬 모듈은, 상기 윈도우 클램프를 정렬시키는 제1정렬부와; 상기 기판을 정렬시키는 제2정렬부와; 상기 지그 플레이트를 정렬시키는 제3정렬부와; 상기 제1정렬부, 상기 제2정렬부, 그리고 상기 제3정렬부를 동시에 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 구동부는, 상기 제1정렬부, 상기 제2정렬부, 그리고 상기 제3정렬부를 같은 방향으로 이동시킬 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1정렬부는, 상기 정렬 모듈이 상기 윈도우 클램프를 정렬시 상기 윈도우 클램프와 접촉되는 적어도 하나 이상의 제1롤러를 포함하고, 상기 제2정렬부는, 상기 정렬 모듈이 상기 기판을 정렬시 상기 기판과 접촉되는 적어도 하나 이상의 제2롤러를 포함하고, 상기 제3정렬부는, 상기 정렬 모듈이 상기 지그 플레이트를 정렬시 상기 지그 플레이트와 접촉되는 적어도 하나 이상의 제3롤러를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 지지 모듈은, 베이스와; 상기 베이스의 상면에 설치되며, 상기 지그 플레이트를 지지하는 브라켓과; 상기 지그 플레이트에 형성된 홀에 삽입 가능하며, 상기 기판을 승강시키는 적어도 하나 이상의 리프트 핀과; 상기 윈도우 클램프를 지지하는 지지 핀을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 브라켓은, 상기 지그 플레이트를 지지시, 상기 지그 플레이트의 저면과 접촉되는 안착 부와; 상기 안착부로부터 연장되고, 상부에서 바라본 상기 베이스의 중심에서 상기 베이스의 외측 방향으로 갈수록 상향 경사진 슬롯 부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상부에서 바라볼 때, 상기 제2롤러, 상기 제3롤러, 그리고 상기 제1롤러는 상기 베이스의 중심과 순차적으로 인접할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 지지 핀은, 제1높이에서 상기 윈도우 클램프를 지지하고, 상기 리프트 핀은, 상기 제1높이보다 낮은 제2높이에서 상기 기판을 승강 및 지지 시키고, 상기 브라켓은, 상기 제2높이보다 낮은 제3높이에서 상기 지그 플레이트를 지지할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 모듈은, 복수로 제공되고, 상부에서 바라볼 때, 상기 지지 모듈에 지지되는 대상물의 모서리 영역에 각각 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 본 발명은 팬 아웃 패널에 대한 처리를 효율적으로 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 적어도 하나 이상의 대상물들을 효율적으로 정렬할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 윈도우 클램프, 패널, 그리고 지그 플레이트를 효율적으로 정렬할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 팬 아웃 패널을 플라즈마 처리시, 패널의 모습을 보여주는 도면이다.
도 2는 팬 아웃 패널을 플라즈마 처리시, 패널의 상, 하부에 제공되는 윈도우 클램프, 그리고 지그 플레이트의 모습을 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 기판 처리 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 3의 버퍼 챔버에 제공되는 정렬 장치의 모습을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 4의 브라켓의 모습을 보여주는 도면이다.
도 6은 도 4의 정렬 모듈을 보여주는 도면이다.
도 7은 도 3의 정렬 모듈이 구동하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 8, 그리고 도 9는 버퍼 챔버에서 윈도우 클램프, 패널, 그리고 지그 플레이트를 정렬하는 모습을 보여주는 도면들이다.
도 10, 그리고 도 11은 버퍼 챔버에서 반송 로봇이 윈도우 클램프, 패널, 그리고 지그 플레이트를 파지하는 모습을 보여주는 도면들이다.
도 12는 도 3의 프로세스 챔버에 제공되는 플라즈마 처리 장치의 모습을 보여주는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
이하에서는, 도 3 내지 도 12를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명한다. 도 3은 본 발명의 기판 처리 장치를 상부에서 바라본 도면이다. 도 3을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, EFEM)(200), 공정 처리부(300) 및 제어기(500)를 포함할 수 있다.
설비 전방 단부 모듈(200)과 공정 처리부(300)는 일 방향으로 배치될 수 있다. 이하, 설비 전방 단부 모듈(20)과 공정 처리부(30)가 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1방향(12)에 수직인 방향을 제2방향(14)이라 한다. 또한, 제1방향(12) 및 제2방향(14)에 수직한 방향을 제3방향(16)이라 한다.
설비 전방 단부 모듈(200)은 로드 포트(load port, 110) 및 이송 프레임(130)을 가진다. 로드 포트(110)는 제1방향(12)으로 설비 전방 단부 모듈(200)의 전방에 배치된다. 로드 포트(110)는 복수 개의 지지부(112)를 가진다. 각각의 지지부(112)는 제2방향(14)으로 일렬로 배치되며, 공정에 제공될 기판 및 공정 처리가 완료된 기판이 수납된 캐리어(C)(예를 틀어, 카세트, FOUP등)가 위치될 수 있다. 캐리어(C)에는 공정에 제공될 기판 및 공정 처리가 완료된 기판이 수납될 수 있다.
이송 프레임(130)은 로드 포트(110)와 공정 처리부(300) 사이에 배치된다. 이송 프레임(130)은 그 내부에 배치되고 로드 포트(110)와 공정 처리부(300)간에 기판을 이송하는 인덱스 로봇(132)을 포함한다. 인덱스 로봇(132)은 제2방향(14)으로 구비된 이송 레일(134)을 따라 이동하여 캐리어(C)와 공정 처리부(300)간에 기판을 이송한다.
공정 처리부(300)는 버퍼 챔버(310), 트랜스퍼 챔버(330), 그리고 프로세스 챔버(350)를 포함할 수 있다.
버퍼 챔버(310)는 이송 프레임(130)에 인접하게 배치된다. 일 예로, 버퍼 챔버(310)는 트랜스퍼 챔버(330)와 설비 전방 단부 모듈(200)사이에 배치될 수 있다. 버퍼 챔버(310)는 공정에 제공될 기판이 프로세스 챔버(350)로 이송되기 전, 또는 공정 처리가 완료된 기판이 설비 전방 단부 모듈(200)로 이송되기 전 대기하는 내부 공간을 가질 수 있다. 또한, 버퍼 챔버(310)의 내부 공간에서는 기판이 정렬될 수 있다. 또한, 버퍼 챔버(310)에서는 기판, 윈도우 클램프, 그리고 지그 플레이트들이 정렬될 수 있다. 예컨대, 버퍼 챔버(310)의 내부 공간에는 후술하는 윈도우 클램프, 기판, 그리고 지그 플레이트들을 정렬시키는 정렬 장치(1000)가 제공될 수 있다.
트랜스퍼 챔버(330)는 버퍼 챔버(310)에 인접하게 배치된다. 트랜스퍼 챔버(330)는 상부에서 바라볼 때, 다각형의 몸체를 갖는다. 일 예로, 트랜스퍼 챔버(330)는 상부에서 바라볼 때, 오각형의 몸체를 가질 수 있다. 몸체의 외측에는 버퍼 챔버(310)와 복수 개의 프로세스 챔버(350)들이 몸체의 둘레를 따라 배치된다. 몸체의 각 측벽에는 기판이 출입하는 통로(미도시)가 형성되며, 통로는 트랜스퍼 챔버(330)와 버퍼 챔버(310) 또는 프로세스 챔버(350)들을 연결한다. 각 통로에는 통로를 개폐하여 내부를 밀폐시키는 도어(미도시)가 제공된다.
트랜스퍼 챔버(330)의 내부공간에는 버퍼 챔버(310)와 프로세스 챔버(350)들간에 기판을 이송하는 반송 로봇(332)이 배치된다. 반송 로봇(332)은 버퍼 챔버(310)에서 대기하는 미처리된 기판을 프로세스 챔버(350)로 이송하거나, 공정 처리가 완료된 기판을 버퍼 챔버(310)로 이송한다. 또한, 반송 로봇(332)은 프로세스 챔버(350), 버퍼 챔버(310) 사이에 윈도우 클램프, 기판, 그리고 지그 플레이트를 반송할 수 있다. 또한, 반송 로봇(332)은 복수 개의 프로세스 챔버(350)에 기판을 순차적으로 제공하기 위하여 프로세스 챔버(350)간에 기판을 이송할 수 있다. 설비 전방 단부 모듈(200)과 인접한 트랜스퍼 챔버(330)의 측벽에는 버퍼 챔버(310)가 배치되며, 나머지 트랜스퍼 챔버(330)의 측벽에는 프로세스 챔버(350)들이 배치된다.
프로세스 챔버(350)는 트랜스퍼 챔버(330)의 둘레를 따라 배치된다. 프로세스 챔버(350)는 기판에 대한 처리 공정을 수행할 수 있다. 프로세스 챔버(350)는 기판에 대하여 세정, 식각, 애싱 등의 공정을 수행할 수 있다. 또한, 프로세스 챔버(350)에는 후술하는 플라즈마 처리 장치(2000)가 제공되어, 기판에 대한 플라즈마 처리 공정을 수행할 수 있다. 또한, 프로세스 챔버(350)는 복수 개로 제공될 수 있다. 각각의 프로세스 챔버(350)들은 서로 동일하거나, 상이한 처리 공정을 수행할 수 있다. 프로세스 챔버(350)는 반송 로봇(332)으로부터 기판을 반송 받아 공정 처리를 수행하고, 공정 처리가 완료된 기판을 반송 로봇(332)으로 전달할 수 있다. 프로세스 챔버(350)는 윈도우 클램프, 그리고 지그 플레이트 사이에 배치되는 패널 등의 기판에 대하여 플라즈마 처리 공정을 수행할 수 있다.
제어기(500)는 기판 처리 장치(10)의 구성들을 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기(500)는 기판에 대한 처리 공정을 수행할 수 있도록 프로세스 챔버(350)에 제공되는 플라즈마 처리 장치(2000)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기(500)는 윈도우 클램프, 기판, 그리고 지그 플레이트를 정렬시키도록 버퍼 챔버(310)에 제공되는 정렬 장치(1000)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기(500)는 인덱스 로봇(132) 및/또는 반송 로봇(332)을 제어하여 윈도우 클램프, 기판, 그리고 지그 플레이트 등을 공정 처리에 따라 반송이 요구되는 위치로 전달할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 정렬 장치(1000)에 대하여 설명한다. 이하에서 설명하는 정렬 장치(1000)는 적어도 하나 이상의 대상물을 정렬시킬 수 있다. 예컨대, 정렬 장치(1000)는 대상물들 중 하나인 제1대상물, 대상물들 중 하나이고 제1대상물과 상이한 제2대상물, 그리고 대상물들 중 하나이고 제1대상물 및 제2대상물과 상이한 제3대상물을 정렬시킬 수 있다. 이하에서는, 제1대상물을 윈도우 클램프(W)인 것으로, 제2대상물을 팬 아웃 패널 등의 기판(S)인 것으로, 그리고 제3대상물을 지그 플레이트(J)인 것으로 예를 들어 설명한다. 또한, 상부에서 바라볼 때, 윈도우 클램프(W)의 넓이는 기판(S)의 넓이보다 클 수 있다. 또한, 상부에서 바라볼 때, 지그 플레이트(J)의 넓이는 기판(S)의 넓이보다 클 수 있다.
도 4는 도 3의 버퍼 챔버에 제공되는 정렬 장치의 모습을 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 정렬 장치(1000)는 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 정렬할 수 있다. 정렬 장치(1000)는 지지 모듈(1100), 그리고 정렬 모듈(1300, 1500)을 포함할 수 있다.
지지 모듈(1100)은 적어도 하나 이상의 대상물들을 각각 서로 다른 높이로 지지할 수 있다. 예컨대, 지지 모듈(1100)은 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 서로 다른 높이로 지지할 수 있다. 지지 모듈(1100)은 윈도우 클램프(W)를 제1높이로, 기판(S)을 제2높이로, 그리고 지그 플레이트(J)를 제3높이로 지지할 수 있다. 제1높이는 제2높이보다 높은 높이일 수 있다. 제2높이는 제3높이보다 높은 높이일 수 있다. 제1높이는 제3높이보다 높은 높이일 수 있다. 즉, 지지 모듈(1100)은 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 상하 방향을 따라 서로 다른 높이로 지지할 수 있다.
지지 모듈(1100)은 베이스(1110), 브라켓(1130), 리프트 핀(1150), 그리고 지지 핀(1170)을 포함할 수 있다.
베이스(1110)에는 브라켓(1130), 리프트 핀(1150), 지지 핀(1170), 그리고 정렬 모듈(1300, 1500)이 결합될 수 있다. 베이스(1110)는 상부에서 바라볼 때 대체로 판 형상을 가질 수 있다. 베이스(1110)는 상부에서 바라볼 때 대체로 직사각형의 판 형상을 가질 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니며 베이스(1110)는 브라켓(1130), 리프트 핀(1150), 지지 핀(1170), 그리고 정렬 모듈(1300, 1500)이 제공될 수 있는 다양한 형상으로 변형될 수 있다. 예컨대, 베이스(1110)는 상부에서 바라볼 때, 원 형상이나 삼각의 형상을 가질 수도 있다.
브라켓(1130)은 지그 플레이트(J)를 지지할 수 있다. 브라켓(1130)은 지그 플레이트(J)를 제3높이로 지지할 수 있다. 브라켓(1130)은 베이스(1110)에 결합될 수 있다. 브라켓(1130)은 베이스(1110)의 상면에 결합될 수 있다. 브라켓(1130)은 복수로 제공될 수 있다. 복수로 제공되는 브라켓(1130) 각각은 베이스(1110)의 상면에 결합될 수 있다. 또한, 브라켓(1130) 각각은 상부에서 바라볼 때 베이스(1110)의 모서리 영역 사이에 배치될 수 있다. 또한, 브라켓(1130)은 상부에서 바라볼 때 모서리 영역 사이 중앙에 배치될 수 있다. 또한, 브라켓(1130)은 상부에서 바라볼 때 베이스(1110)의 가장자리 영역에 배치될 수 있다.
도 5는 도 4의 브라켓의 모습을 보여주는 도면이다. 도 5를 참조하면, 브라켓(1130)은 안착 부(1132), 슬롯 부(1134), 그리고 결합 부(1136)를 포함할 수 있다. 안착 부(1132)는 지그 플레이트(J)를 지지시, 지그 플레이트(J)의 저면이 접촉되는 안착 면을 가질 수 있다. 또한, 슬롯 부(1134)는 안착 부(1132)로부터 연장되고, 경사진 경사 면을 가질 수 있다. 이에, 지그 플레이트(J)가 브라켓(1130)에 지지시, 지그 플레이트(J)가 정위치 되지 않으면 슬롯 부(1134)의 경사 면을 따라 지그 플레이트(J)가 움직여 지그 플레이트(J)가 정위치 될 수 있다. 브라켓(1130)은 상술한 바와 같이 베이스(1110)에 결합될 수 있다. 브라켓(1130)이 가지는 슬롯 부(1134)는 상부에서 바라본 베이스(1110)의 중심에서 베이스(1110)의 외측 방향으로 갈수록 상향 경사진 형상을 가질 수 있다. 결합 부(1136)는 안착 부(1132)와 슬롯 부(1134)가 만나는 지점으로부터, 상하 방향을 따라 연장될 수 있다. 또한, 결합 부(1136)가 상하 방향으로 연장되는 끝 단에는 결합 판(1138)이 제공될 수 있다. 또한, 안착 부(1132), 슬롯 부(1134), 결합 부(1136), 그리고 결합 판(1138)은 일체로 제공될 수 있다.
다시 도 4를 참조하면, 리프트 핀(1150)은 기판(S), 예컨대 팬 아웃 패널을 지지할 수 있다. 리프트 핀(1150)은 기판(S)을 제2높이로 승강 및 지지할 수 있다. 리프트 핀(1150)은 핀 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 리프트 핀(1150)은 지그 플레이트(J)에 형성된 홀에 삽입 가능하도록 제공될 수 있다. 리프트 핀(1150)은 기판(S)을 상하 방향으로 승강시킬 수 있다. 또한, 리프트 핀(1150)은 복수로 제공될 수 있다. 복수의 리프트 핀(1150) 중 일부는 상부에서 바라본 베이스(1110)의 중앙 영역에 제공될 수 있다. 복수의 리프트 핀(1150) 중 다른 일부는 상부에서 바라본 베이스(1110)의 가장자리 영역에 제공될 수 있다.
지지 핀(1170)은 윈도우 클램프(W)를 지지할 수 있다. 지지 핀(1170)은 윈도우 클램프(W)를 제1높이로 지지할 수 있다. 지지 핀(1170)의 일단은 윈도우 클램프(W)에 제공되는 홀에 삽입될 수 있다. 또한, 지지 핀(1170)은 베이스(1110)에 제공될 수 있다. 지지 핀(1170)은 복수로 제공될 수 있다. 복루소 제공되는 지지 핀(1170) 각각은 베이스(1110)에 제공될 수 있다. 또한, 지지 핀(1170) 각각은 상부에서 바라볼 때 베이스(1110)의 모서리 영역 사이에 제공될 수 있다.
정렬 모듈(1300, 1500)은 지지 모듈(1100)이 지지하는 대상물들을 정렬할 수 있다. 예컨대, 정렬 모듈(1300, 1500)은 지지 모듈(1100)이 지지하는 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J) 중 적어도 하나 이상을 정렬시킬 수 있다. 정렬 모듈(1300, 1500)은 베이스(1110)에 결합될 수 있다. 정렬 모듈(1300, 1500)은 베이스(1110)에 고정 결합될 수 있다. 정렬 모듈(1300, 1500)은 복수로 제공될 수 있다. 복수로 제공되는 정렬 모듈(1300, 1500) 각각은 상부에서 바라본 베이스(1110)의 모서리 영역에 결합될 수 있다.
또한, 정렬 모듈(1300, 1500)은 제1정렬 모듈(1300), 그리고 제2정렬 모듈(1500)을 포함할 수 있다. 제1정렬 모듈(1300)은 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 정렬시킬 수 있다. 또한, 제2정렬 모듈(1500)은 기판(S)을 정렬시킬 수 있다. 제1정렬 모듈(1300)은 복수로 제공될 수 있다. 제1정렬 모듈(1300)은 상부에서 바라본 베이스(1110)의 모서리 영역에 결합되되, 제1정렬 모듈(1300)들은 서로 마주보도록 배치될 수 있다. 제2정렬 모듈(1500)은 복수로 제공될 수 있다. 제2정렬 모듈(1500)은 상부에서 바라본 베이스(1110)의 모서리 영역에 결합되되, 제2정렬 모듈(1500)들은 서로 마주보도록 배치될 수 있다.
제2정렬 모듈(1500)이 후술하는 제1정렬부(1311), 그리고 제3정렬부(1313)를 포함하지 않는 점을 제외하고, 제1정렬 모듈(1300)과 제2정렬 모듈(1500)은 대체로 유사하므로, 이하에서는 제1정렬 모듈(1300)에 대하여 상세히 설명한다.
도 6은 도 4의 정렬 모듈을 보여주는 도면이다. 구체적으로, 도 6에서 도시하고 있는 정렬 모듈은 상술한 제1정렬 모듈(1300)과 제2정렬 모듈(1500) 중 제1정렬 모듈(1300)일 수 있다. 제1정렬 모듈(1300)은 지지 모듈(1100)에 지지된 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 정렬할 수 있다. 제1정렬 모듈(1300)은 정렬부(1310), 구동부(1350), 그리고 체결부(1370)를 포함할 수 있다.
정렬부(1310)는 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 정렬시킬 수 있다. 정렬부(1310)는 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 정렬시 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)들과 각각 접촉될 수 있다. 정렬부(1310)는 제1정렬부(1311), 제2정렬부(1312), 제3정렬부(1313), 그리고 정렬 바디(1314)를 포함할 수 있다. 제1정렬부(1311), 제2정렬부(1312), 그리고 제3정렬부(1313)는 정렬 바디(1314)에 각각 결합될 수 있다. 정렬 바디(1314)는 후술하는 구동 부(1350)의 구동 샤프트(1354)와 결합될 수 있다. 또한, 제1정렬부(1311)는 상술한 제1높이에 대응하는 높이에 설치될 수 있다. 또한, 제2정렬부(1312)는 상술한 제2높이에 대응하는 높이에 설치될 수 있다. 또한, 제3정렬부(1313)는 상술한 제3높이에 대응하는 높이에 설치될 수 있다.
제1정렬부(1311), 제2정렬부(1312), 그리고 제3정렬부(1313)는 각각 제1롤러(R1), 제2롤러(R2), 그리고 제3롤러(R3)를 포함할 수 있다. 제1롤러(R1), 제2롤러(R2), 그리고 제3롤러(R3)는 정렬 바디(1314)에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 제1롤러(R1), 제2롤러(R2), 그리고 제3롤러(R3) 각각은 높이가 직경 보다 큰 원 기둥의 형상을 가질 수 있다. 제1롤러(R1), 제2롤러(R2), 그리고 제3롤러(R3)들은 정렬 장치(1000)가 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 정렬시, 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)들과 각각 접촉될 수 있다. 제1롤러(R1), 제2롤러(R2), 그리고 제3롤러(R3)들은 정렬 장치(1000)가 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 정렬시, 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)들의 측면과 각각 접촉될 수 있다. 또한, 제1롤러(R1), 제2롤러(R2), 그리고 제3롤러(R3)들은 적어도 하나 이상 제공될 수 있다. 예컨대, 제1롤러(R1), 제2롤러(R2), 그리고 제3롤러(R3)들은 복수로 제공될 수 있다. 제1롤러(R1)들은 서로 이격되어 제공될 수 있다. 제1롤러(R1)가 윈도우 클램프(W)를 정렬시, 윈도우 클램프(W)의 모서리는 제1롤러(R1)들 사이에 삽입될 수 있다. 제2롤러(R2)들은 서로 이격되어 제공될 수 있다. 제2롤러(R2)가 기판(S)을 정렬시, 기판(S)의 모서리는 제2롤러(R2)들 사이에 삽입될 수 있다. 제3롤러(R3)들은 서로 이격되어 제공될 수 있다. 제3롤러(R3)가 지그 플레이트(J)를 정렬시, 지그 플레이트(J)의 모서리는 제3롤러(R3)들 사이에 삽입될 수 있다.
또한, 상부에서 바라볼 때, 제2롤러(R2), 제3롤러(R3), 그리고 제1롤러(R1)는 베이스(1110)와 순차적으로 인접할 수 있다. 예컨대, 제2롤러(R2)가 베이스(1110)의 중심으로부터 가장 가깝고, 제1롤러(R1)가 베이스(1110)의 중심과 가장 멀 수 있다.
구동 부(1350)는 정렬부(1310)를 이동시킬 수 있다. 예컨대, 구동 부(1350)는 구동력을 발생시켜, 정렬부(1310)를 이동시킬 수 있다. 구동 부(1350)는 구동기(1352), 그리고 구동 샤프트(1354)를 포함할 수 있다. 구동기(1352)는 구동력을 발생시킬 수 있다. 구동기(1352)는 모터, 공압/유압 실린더, 솔레노이드 등 동력을 발생시키는 공지된 장치 중 어느 하나일 수 있다. 구동 샤프트(1354)는 구동기(1352)와 연결될 수 있다. 구동 샤프트(1354)는 정렬부(1310)와 결합될 수 있다. 구동 샤프트(1354)는 정렬부(1310)의 정렬 바디(1314)와 결합될 수 있다. 구동 샤프트(1354)는 구동기(1352)가 발생시키는 구동력을 전달받아, 정렬부(1310)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.
체결부(1370)는 정렬부(1310), 그리고 구동부(1350)를 지지 모듈(1100)의 베이스(1110)에 체결시킬 수 있다. 체결부(1370)는 체결 바디(1372), 그리고 체결 브라켓(1374)을 포함할 수 있다. 체결 바디(1372)는 구동부(1350)와 결합될 수 있다. 체결 바디(1372)는 체결 브라켓(1374)과 결합될 수 있다. 체결 브라켓(1374)은 체결 바디(1372)를 베이스(1110)의 상면에 결합시킬 수 있다.
도 7은 도 3의 정렬 모듈이 구동하는 모습을 보여주는 도면이다. 예컨대, 도 7은 정렬 모듈(1300, 1500)들 중 제1정렬 모듈(1300)이 구동하는 모습을 보여주는 도면이다. 구동 부(1350)의 구동기(1352)가 구동력을 발생시키면, 구동 부(1350)의 구동 샤프트(1354)는 수평 방향으로 움직일 수 있다. 구동 샤프트(1354)의 축 방향은 베이스(1110)의 중심을 향하는 방향일 수 있다. 구동 샤프트(1354)는 상부에서 바라 볼 때, 베이스(1110)의 중심을 향하는 방향 또는 이와 반대되는 방향으로 움직일 수 있다. 구동 샤프트(1354)가 수평 방향으로 움직이게 되면, 구동 샤프트(1354)와 결합된 정렬 바디(1314)는 구동 샤프트(1354)와 함께 움직이게 된다. 이에, 정렬 바디(1314)에 결합된 제1정렬부(1311), 제2정렬부(1312), 그리고 제3정렬부(1313)가 움직일 수 있다. 또한, 정렬 바디(1314)가 움직이면서, 제1정렬부(1311)의 제1롤러(R1), 제2정렬부(1312)의 제2롤러(R2), 제3정렬부(1313)의 제3롤러(R3)가 움직일 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 정렬 장치(1000)는 구동기(1352)가 발생시키는 하나의 구동력으로 제1정렬부(1311)의 제1롤러(R1), 제2정렬부(1312)의 제2롤러(R2), 제3정렬부(1313)의 제3롤러(R3) 모두를 이동시킬 수 있다. 즉, 각각의 롤러를 구동시키기 위해 복수의 구동기가 요구되지 않으므로, 정렬 장치(1000)의 구조 및 동작을 보다 단순화 시킬 수 있다. 이에, 정렬 장치(1000)가 구동하면서 발생하는 오류를 최소화 하고, 정렬 장치(1000)의 제작 비용을 더욱 낮출 수 있다.
도 8, 그리고 도 9는 버퍼 챔버에서 윈도우 클램프, 패널, 그리고 지그 플레이트를 정렬하는 모습을 보여주는 도면들이다. 도 8, 그리고 도 9를 참조하면, 버퍼 챔버(310)의 정렬 장치(1000)에 윈도우 클램프(W), 팬 아웃 패널 등의 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)가 지지되면, 정렬 모듈(1300, 1500)들은 이들을 정렬시키기 위해 구동한다. 예컨대, 윈도우 클램프(W), 팬 아웃 패널 등의 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)가 지지 모듈(1100)에 지지되면 정렬 모듈(1300, 1500)의 정렬부(1310)가 전진할 수 있다. 정렬부(1310)가 전진하면, 정렬부(1310)가 포함하는 롤러(R1, R2, R3)들이 각각 윈도우 클램프(W), 팬 아웃 패널 등의 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)의 측면과 접촉될 수 있다. 또한, 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)의 측면과 접촉되면 롤러(R1, R2, R3)들은 회전될 수 있다. 이에, 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)의 측면이 손상되거나, 마찰로 인하여 파티클 등의 불순물이 발생하는 것을 최소화 할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 하나의 구동기(1352)로 롤러(R1, R2, R3) 모두를 이동시킨다. 즉, 본 발명의 일 실시 예에 따른 정렬 장치(1000)는 1 축 구동으로, 윈도우 클램프(W), 팬 아웃 패널 등의 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J) 모두의 위치를 정렬시킬 수 있다. 정렬부(1310)가 전진하여 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 정렬시키고 나면, 정렬부(1310)는 후퇴할 수 있다. 또한, 정렬부(1310)의 전진 및 후진은 각각 1 회 수행될 수 있다. 이와 달리, 정렬부(1310)의 전진 및 후진은 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)가 적절히 정렬될 수 있도록 기 설정된 횟수만큼 복수 회 수행될 수도 있다.
도 10, 그리고 도 11은 버퍼 챔버에서 반송 로봇이 윈도우 클램프, 패널, 그리고 지그 플레이트를 파지하는 모습을 보여주는 도면들이다. 정렬부(1310)가 전진 및 후진하여 윈도우 클램프(W), 기판(S), 그리고 지그 플레이트(J)를 정렬시키고 나면, 반송 로봇(334)은 버퍼 챔버(310)로 진입할 수 있다. 버퍼 챔버(310) 내로 진입한 반송 로봇(334)은 지그 플레이트(J)의 하부로 진입할 수 있다. 예컨대, 반송 로봇(334)은 지그 플레이트(J)와 베이스(1110)의 사이 공간으로 진입할 수 있다. 반송 로봇(334)의 진입이 완료되면, 반송 로봇(334)은 위 방향으로 상승할 수 있다. 반송 로봇(334)이 상승되면서, 지그 플레이트(J), 기판(S), 그리고 윈도우 클램프(W)는 순차적으로 반송 로봇(334)에 파지될 수 있다. 반송 로봇(334)에 파지된 지그 플레이트(J), 기판(S), 그리고 윈도우 클램프(W)는 프로세스 챔버(350)들 중 어느 하나로 반입될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 지그 플레이트(J), 기판(S), 그리고 윈도우 클램프(W)를 모두 정 위치로 정렬시킬 수 있으므로, 상술한 아킹 현상, 또는 이들을 반송시 반송 로봇으로부터 이탈되는 문제들을 최소화 할 수 있다.
도 12는 도 3의 프로세스 챔버에 제공되는 플라즈마 처리 장치의 모습을 보여주는 도면이다. 도 12을 참조하면, 프로세스 챔버(350)에 제공되는 플라즈마 처리 장치(2000)는 챔버(2100), 서셉터(2200), 샤워 헤드(2300) 및 플라스마 여기부(2400)를 포함한다.
챔버(2100)는 공정 처리가 수행되는 공간을 제공한다. 챔버(2100)는 바디(2110)와 밀폐 커버(2120)를 가진다. 바디(2110)는 상면이 개방되며 내부에 공간이 형성된다. 바디(2110)의 측벽에는 기판이 출입하는 개구(미도시)가 형성되며, 개구는 슬릿 도어(slit door)(미도시)와 같은 개폐 부재에 의해 개폐될 수 있다. 개폐 부재는 챔버(2100) 내에서 기판 처리가 수행되는 동안 개구를 폐쇄하고, 기판(S)이 챔버(2100) 내부로 반입될 때와 챔버(2100) 외부로 반출될 때 개구를 개방한다.
바디(2110)의 하부벽에는 배기홀(2111)이 형성된다. 배기홀(2111)은 배기 라인(2112)과 연결된다. 배기 라인(2112)을 통해 챔버(2100)의 내부 압력이 조절되고, 공정에서 발생된 반응 부산물이 챔버(2100) 외부로 배출된다.
밀폐 커버(2120)는 바디(2110)의 상부벽과 결합하며, 바디(2110)의 개방된 상면을 덮어 바디(2110) 내부를 밀폐시킨다. 밀폐 커버(2120)의 상단은 플라스마 여기부(2400)와 연결된다. 밀폐 커버(2120)에는 확산공간(2121)이 형성된다. 확산공간(2121)은 샤워 헤드(2300)에 가까워질수록 너비가 점차 넓어진다. 예를 들어, 확산공간(2121)은 역 깔때기 형상을 가질 수 있다.
서셉터(2200)는 챔버(2100) 내부에 위치된다. 서셉터(2200)의 상면에는 기판이 놓여진다. 서셉터(2200)의 내부에는 냉각 유체가 순환하는 냉각 유로(미도시)가 형성될 수 있다. 냉각 유체는 냉각 유로를 따라 순환하며 서셉터(2200)를 냉각한다. 서셉터(2200)에는 플라즈마에 의한 기판 처리 정도를 조절하기 위해 바이어스 전원(2210)으로부터 전력이 인가될 수 있다. 바이어스 전원(2210)이 인가하는 전력은 라디오 주파수(radio frequency, RF) 전원일 수 있다. 서셉터(2200)는 바이어스 전원(2210)이 공급하는 전력에 의해 쉬즈를 형성하고, 그 영역에서 고밀도의 플라즈마를 형성하여 공정 능력을 향상시킬 수 있다.
서셉터(2200)의 내부에는 가열 부재(2220)가 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 가열 부재(222)는 열선으로 제공될 수 있다. 가열 부재(222)는 기판을 기 설정된 온도로 가열한다.
샤워 헤드(2300)는 바디(2110)의 상부벽에 결합된다. 샤워 헤드(2300)는 원판 형상으로, 서셉터(2200)의 상면과 나란하게 배치될 수 있다. 샤워 헤드(2300)는 표면이 산화 처리된 알루미늄 재질로 제공될 수 있다. 샤워 헤드(2300)에는 분배홀(2310)들이 형성된다. 분배홀(2310)들은 균일한 라디칼 공급을 위해 동심의 원주상에 일정 간격으로 형성될 수 있다. 확산공간(2121)에서 확산된 플라스마는 분배홀(2310)들에 유입된다. 이때 전자 또는 이온 등과 같은 하전 입자는 샤워 헤드(2300)에 갇히고, 산소 라디칼 등과 같이 전하를 띄지 않는 중성 입자들은 분배홀(2310)들을 통과하여 기판으로 공급된다. 또한, 샤워 헤드는 접지되어 전자 또는 이온이 이동되는 통로를 형성할 수 있다.
플라스마 여기부(2400)는 플라스마를 생성하여, 챔버(2100)로 공급한다. 플라스마 여기부(2400)는 챔버(2100)의 상부에 제공될 수 있다. 플라스마 여기부(2400)는 발진기(2410), 도파관(2420), 유전체 관(2430) 및 공정 가스 공급부(2440)를 포함한다.
발진기(2410)는 전자기파를 발생시킨다. 도파관(2420)은 발진기(2410)와 유전체 관(2430)을 연결하며, 발진기(2410)에서 발생된 전자기파가 유전체 관(2430) 내부로 전달되는 통로를 제공한다. 공정 가스 공급부(2440)는 챔버(2100)의 상부로 공정 가스를 공급한다. 공정 가스는 공정 진행 과정에 따라 제 1 공정 가스 및 제 2 공정 가스가 공급될 수 있다. 유전체 관(2430) 내부로 공급된 공정 가스는 전자기파에 의해 플라스마 상태로 여기 된다. 플라스마는 유전체 관(2430)을 거쳐 확산공간(2121)으로 유입된다.
상술한 플라즈마 여기부(2400)는 전자기파를 이용하는 경우를 예로 들었으나, 또 다른 실시 예로, 플라즈마 여기부(2400)는 유도결합 플라즈마 여기부, 용량 결합 플라즈마 여기부로 제공될 수 도 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
기판 처리 장치 : 10
제1방향 : 12
제2방향 : 14
제3방향 : 16
설비 전방 단부 모듈 : 100
로드 포트 : 110
지지부 : 112
캐리어 : C
이송 프레임 : 130
인덱스 로봇 : 132
인덱스 레일 : 134
공정 처리부 : 300
버퍼 챔버 : 310
트랜스퍼 챔버 : 330
프로세스 챔버 : 350
제어기 : 500
정렬 장치 : 1000
윈도우 클램프 : W
기판 : S
지그 플레이트 : J
지지 모듈 : 1100
베이스 : 1110
브라켓 : 1130
안착 부 : 1132
슬롯 부 : 1134
결합 부 : 1136
결합 판 : 1138
리프트 핀 : 1150
지지 핀 : 1170
정렬 모듈 : 1300, 1500
제1정렬 모듈 : 1300
정렬부 : 1310
제1정렬부 : 1311
제2정렬부 : 1312
제3정렬부 : 1313
정렬 바디 : 1314
제1롤러 : R1
제2롤러 : R2
제3롤러 : R3
구동부 : 1350
구동기 : 1352
구동 샤프트 : 1354
체결부 : 1370
체결 바디 : 1372
체결 브라켓 : 1374
제2정렬 모듈 : 1500

Claims (16)

  1. 윈도우 클램프, 기판, 그리고 지그 플레이트를 정렬시키는 정렬 장치에 있어서,
    상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트를 서로 다른 높이로 지지시키는 지지 모듈과;
    상기 지지 모듈에 지지된 상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트를 정렬하는 정렬 모듈을 포함하고,
    상기 정렬 모듈은,
    상기 윈도우 클램프를 정렬시키는 제1정렬부와;
    상기 기판을 정렬시키는 제2정렬부와;
    상기 지그 플레이트를 정렬시키는 제3정렬부와;
    상기 제1정렬부, 상기 제2정렬부, 그리고 상기 제3정렬부를 동시에 이동시키는 구동부를 포함하는 정렬 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 제1정렬부, 상기 제2정렬부, 그리고 상기 제3정렬부를 같은 방향으로 이동시키는 정렬 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1정렬부는,
    상기 정렬 모듈이 상기 윈도우 클램프를정렬시 상기 상기 윈도우 클램프와 접촉되는 적어도 하나 이상의 제1롤러를 포함하고,
    상기 제2정렬부는,
    상기 정렬 모듈이 상기 기판을 정렬시 상기 기판과 접촉되는 적어도 하나 이상의 제2롤러를 포함하는 정렬 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제3정렬부는,
    상기 정렬 모듈이 상기 지그 플레이트를 정렬시 상기 지그 플레이트와 접촉되는 적어도 하나 이상의 제3롤러를 포함하는 정렬 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 정렬 모듈은,
    복수로 제공되고,
    상부에서 바라볼 때, 상기 지지 모듈에 지지되는 상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트의 모서리 영역에 각각 배치되는 정렬 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 지지 모듈은,
    베이스와;
    상기 베이스의 상면에 설치되며, 상기 지그 플레이트를 지지하는 브라켓과;
    상기 지그 플레이트에 형성된 홀에 삽입 가능하며, 상기 기판을 승강시키는 적어도 하나 이상의 리프트 핀과;
    상기 윈도우 클램프를 지지하는 지지 핀을 포함하는 정렬 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 브라켓은,
    상기 지그 플레이트를 지지시, 상기 지그 플레이트의 저면과 접촉되는 안착 부와;
    상기 안착 부로부터 연장되고, 상부에서 바라본 상기 베이스의 중심에서 상기 베이스의 외측 방향으로 갈수록 상향 경사진 슬롯 부를 포함하는 정렬 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 지지 핀은,
    제1높이에서 상기 윈도우 클램프를 지지하고,
    상기 리프트 핀은,
    상기 제1높이보다 낮은 제2높이에서 상기 기판을 승강 및 지지 시키고,
    상기 브라켓은,
    상기 제2높이보다 낮은 제3높이에서 상기 지그 플레이트를 지지하는 정렬 장치.
  9. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    기판에 대하여 플라즈마 처리 공정을 수행하는 프로세스 챔버와;
    내부 공간을 가지고, 상기 내부 공간에서 윈도우 클램프, 기판, 그리고 지그 플레이트를 정렬시키는 정렬 장치가 제공되는 버퍼 챔버와;
    상기 프로세스 챔버, 그리고 버퍼 챔버 사이에 상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트를 반송하는 반송 로봇을 포함하고,
    상기 정렬 장치는,
    상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트를 서로 다른 높이로 지지시키는 지지 모듈과;
    상기 지지 모듈에 지지된 상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트를 정렬하는 정렬 모듈을 포함하고,
    상기 정렬 모듈은,
    상기 윈도우 클램프를 정렬시키는 제1정렬부와;
    상기 기판을 정렬시키는 제2정렬부와;
    상기 지그 플레이트를 정렬시키는 제3정렬부와;
    상기 제1정렬부, 상기 제2정렬부, 그리고 상기 제3정렬부를 동시에 이동시키는 구동부를 포함하는 기판 처리 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 제1정렬부, 상기 제2정렬부, 그리고 상기 제3정렬부를 같은 방향으로 이동시키는 기판 처리 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 제1정렬부는,
    상기 정렬 모듈이 상기 윈도우 클램프를 정렬시 상기 윈도우 클램프와 접촉되는 적어도 하나 이상의 제1롤러를 포함하고,
    상기 제2정렬부는,
    상기 정렬 모듈이 상기 기판을 정렬시 상기 기판과 접촉되는 적어도 하나 이상의 제2롤러를 포함하고,
    상기 제3정렬부는,
    상기 정렬 모듈이 상기 지그 플레이트를 정렬시 상기 지그 플레이트와 접촉되는 적어도 하나 이상의 제3롤러를 포함하는 기판 처리 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 지지 모듈은,
    베이스와;
    상기 베이스의 상면에 설치되며, 상기 지그 플레이트를 지지하는 브라켓과;
    상기 지그 플레이트에 형성된 홀에 삽입 가능하며, 상기 기판을 승강시키는 적어도 하나 이상의 리프트 핀과;
    상기 윈도우 클램프를 지지하는 지지 핀을 포함하는 기판 처리 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 브라켓은,
    상기 지그 플레이트를 지지시, 상기 지그 플레이트의 저면과 접촉되는 안착 부와;
    상기 안착 부로부터 연장되고, 상부에서 바라본 상기 베이스의 중심에서 상기 베이스의 외측 방향으로 갈수록 상향 경사진 슬롯 부를 포함하는 기판 처리 장치.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    상부에서 바라볼 때, 상기 제2롤러, 상기 제3롤러, 그리고 상기 제1롤러는 상기 베이스의 중심과 순차적으로 인접한 기판 처리 장치.
  15. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    상기 지지 핀은,
    제1높이에서 상기 윈도우 클램프를 지지하고,
    상기 리프트 핀은,
    상기 제1높이보다 낮은 제2높이에서 상기 기판을 승강 및 지지 시키고,
    상기 브라켓은,
    상기 제2높이보다 낮은 제3높이에서 상기 지그 플레이트를 지지하는 기판 처리 장치.
  16. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    상기 정렬 모듈은,
    복수로 제공되고,
    상부에서 바라볼 때, 상기 지지 모듈에 지지되는 상기 윈도우 클램프, 상기 기판, 그리고 상기 지그 플레이트의 모서리 영역에 각각 배치되는 기판 처리 장치.
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