KR102367275B1 - 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

제조과정 중 마스크에 의한 배선부의 손상을 막을 수 있도록 개선된 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 유기 발광 표시 장치는 디스플레이부와 패드부를 연결하는 배선부, 디스플레이부를 덮는 박막봉지층 및, 박막봉지층 형성용 마스크가 안착되도록 배선부의 상방에 형성된 돌출부를 구비한다. 이러한 구조에 의하면 마스크에 의한 배선의 손상을 효과적으로 막을 수 있게 되며, 따라서 이를 채용하면 제품의 불량 발생률을 크게 줄일 수 있다.

Description

유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법 {An organic light emitting display apparatus and the manufacturing method thereof}
본 발명은 유기 발광 표시 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 제조과정 중 배선의 손상 위험을 줄일 수 있도록 개선된 유기 발광 표시 장치와 그것을 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 유기 발광 표시 장치는 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 유기물로 이루어진 발광층이 개재된 구조의 디스플레이부를 구비하고 있다. 이 애노드 전극과 캐소드 전극에 각각 전압이 인가되면, 애노드 전극에서 주입된 정공(hole)과 캐소드 전극에서 주입된 전자가 발광층에서 재결합하여 여기자(exciton)를 생성하며, 이 여기자가 여기상태에서 기저상태로 변할 때 발광이 일어면서 화상이 구현된다.
그리고, 상기 디스플레이부의 발광층은 수분에 직접 접촉할 경우 발광 특성이 금방 열화되기 때문에 이를 방지하기 위해 봉지부재로 덮어주게 되는데, 이러한 봉지부재로서 유기 발광 표시 장치의 플렉시블화에 유리한 박막봉지층이 연구되고 있다.
한편, 이와 같은 박막봉지층을 형성할 때, 마스크를 이용한 증착공정이 수행된다. 이때, 기판 상에 형성되어 있는 배선들이 상기 마스크에 의해 손상되어 소자의 특성이 저하될 수 있다.
본 발명의 실시예는 제조 과정 중 마스크에 의한 배선 손상을 방지할 수 있도록 개선된 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는, 기판 상에 형성된 디스플레이부와, 상기 기판 상의 상기 디스플레이부 외곽 일측에 형성된 패드부와, 상기 디스플레이부와 패드부를 연결하도록 상기 기판 상에 다층으로 형성되며, 각각 복수의 배선을 가진 복수의 배선층을 포함하는 배선부와, 상기 디스플레이부 위에 형성된 박막봉지층 및, 상기 배선부 중 최상층 배선층의 배선과 오버랩되지 않도록 형성된 돌출부를 포함한다.
상기 박막봉지층의 형성 시 상기 돌출부 위에 마스크가 안착될 수 있다.
상기 배선부는 상기 기판 상에 형성된 제1배선층과, 상기 제1배선층 위에 형성된 절연막과, 상기 절연막 위에 상기 최상층의 배선층으로서 형성된 제2배선층을 포함할 수 있고, 상기 돌출부는 상기 제2배선과 오버랩되지 않도록 형성된 복수의 지지돌기를 포함할 수 있다.
상기 디스플레이부는 활성층, 게이트전극, 소스전극 및 드레인전극이 전기적으로 연결된 박막트랜지스터를 포함할 수 있으며, 상기 제1배선은 상기 게이트전극과 같은 층에 같은 재료로 형성되고, 상기 제2배선은 상기 소스전극 및 드레인전극과 같은 층에 같은 재료로 형성될 수 있다.
상기 디스플레이부는 상기 드레인전극에 연결된 화소전극과, 상기 화소전극에 대면하는 대향전극과, 상기 화소전극과 대향전극 사이에 개재된 발광층과, 상기 드레인전극과 화소전극 사이에 형성된 평탄화막 및, 상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에서 상기 발광층의 영역을 구획하며 형성된 화소정의막을 더 포함할 수 있으며, 상기 지지돌기는 상기 화소정의막과 같은 층에 같은 재료로 형성될 수 있다.
상기 돌출부는 상기 배선부 위에 형성되어 상기 지지돌기들을 받쳐주는 지지베이스를 더 구비할 수 있다.
상기 지지베이스는 상기 평탄화막과 같은 층에 같은 재료로 형성될 수 있다.
상기 지지베이스의 상기 지지돌기 측 표면이 전체적으로 평탄할 수 있다.
상기 지지베이스의 상기 지지돌기 측 표면에 상대적으로 돌출된 영역이 형성될 수 있다.
상기 박막봉지층은 한 층 이상의 무기막을 포함할 수 있으며, 상기 돌출부 위에 상기 무기막의 상기 패드부측 경계선이 형성될 수 있다.
상기 박막봉지층은 한 층 이상의 무기막을 포함할 수 있으며, 상기 무기막의 상기 패드부측 경계선은 상기 돌출부의 상면을 벗어나 상기 디스플레이부 측으로 치우친 위치에 형성될 수 있다.
상기 박막봉지층은 교대로 적층된 한 층 이상의 무기막과 유기막을 포함할 수 있다.
상기 기판은 플렉시블 기판을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법은, 기판 상에 디스플레이부를 형성하는 단계와, 상기 기판 상의 상기 디스플레이부 외곽 일측에 패드부를 형성하는 단계와, 상기 디스플레이부와 상기 패드부를 연결하는 복수의 배선층을 포함하는 배선부를 형성하는 단계와, 상기 배선부 중 최상층 배선층의 배선과 오버랩되지 않도록 돌출부를 형성하는 단계 및, 상기 돌출부 위에 상기 마스크를 설치하여 상기 디스플레이부를 덮는 박막봉지층을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 복수의 배선층을 포함한 배선부를 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 제1배선층을 형성하는 단계와, 상기 제1배선층 위에 절연층을 형성하는 단계 및 상기 절연층 위에 상기 최상층의 배선층으로서 제2배선층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 돌출부를 형성하는 단계는 상기 제1배선층과 상기 제2배선층이 오버랩되는 영역을 피해서 상기 마스크를 지지할 지지돌기를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 디스플레이부를 형성하는 단계는 활성층, 게이트전극, 소스전극 및 드레인전극이 전기적으로 연결된 박막트랜지스터를 형성하는 단계를 포함할 수 있으며, 상기 배선부를 형성하는 단계에서 상기 제1배선을 상기 게이트전극과 같은 층에 같은 재료로 형성하고, 상기 제2배선은 상기 소스전극 및 드레인전극과 같은 층에 같은 재료로 형성할 수 있다.
상기 디스플레이부를 형성하는 단계는 상기 박막트랜지스터 상에 평탄화막을 형성하는 단계와, 상기 평탄화막 상에 상기 드레인전극에 연결된 화소전극을 형성하는 단계와, 발광층의 영역을 구획하는 화소정의막을 형성하는 단계와, 상기 화소전극 위에 상기 발광층을 형성하는 단계 및, 상기 발광층 위에 상기 화소전극과 대면하는 대향전극을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 상기 돌출부를 형성하는 단계에서 상기 지지돌기를 상기 화소정의막과 같은 층에 같은 재료로 형성할 수 있다.
상기 돌출부를 형성하는 단계는 상기 배선부 위에 상기 지지돌기를 받쳐주는 지지베이스를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 지지베이스를 상기 평탄화막과 같은 층에 같은 재료로 형성할 수 있다.
상기 지지베이스의 상기 지지돌기 측 표면을 전체적으로 평탄하게 형성할 수 있다.
상기 지지베이스의 상기 지지돌기 측 표면에 상대적으로 돌출된 영역을 형성할 수 있다.
상기 박막봉지층은 한 층 이상의 무기막을 포함할 수 있으며, 상기 돌출부 위에 상기 무기막의 상기 패드부측 경계선이 형성되게 할 수 있다.
상기 박막봉지층은 한 층 이상의 무기막을 포함할 수 있으며, 상기 무기막의 상기 패드부측 경계선이 상기 돌출부의 상면을 벗어나 상기 디스플레이부 측으로 치우친 위치에 형성되게 할 수 있다.
상기 박막봉지층을 무기막과 유기막의 교대 적층 구조로 형성할 수 있다.
상기 기판은 플렉시블 기판으로 형성할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 유기 발광 표시 장치와 그 제조방법에 따르면, 마스크에 의한 배선의 손상을 효과적으로 막을 수 있게 되며, 이를 채용하면 제품의 불량 발생률을 크게 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 도시한 평면도.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 단면도.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ' 선을 따라 절단한 단면도.
도 4a는 도 3의 A부위를 확대한 도면.
도 4b 내지 도 4d는 도 4a에 도시된 경계선 위치의 변형 가능한 예를 보인 도면.
도 5a 내지 도 5f는 도 2 및 도 3에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조과정을 차례로 도시한 단면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 도시한 단면도.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 도시한 단면도.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
본 발명의 실시예를 설명하는 도면에 있어서, 어떤 층이나 영역들은 명세서의 명확성을 위해 두께를 확대하여 나타내었다. 또한 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 단면도이며, 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 유기 발광 표시 장치는 기판(100) 위에 형성되어 화상을 구현하는 디스플레이부(200)와, 그 디스플레이부(200) 위에 형성된 박막봉지층(300)을 포함하고 있다. 이 박막봉지층(300)은 디스플레이부(200)를 덮어서 보호해준다. 따라서, 디스플레이부(200)는 기판(100)과 박막봉지층(300) 사이에 개재되며, 침습으로부터 안전하게 보호된다. 상기 기판(100)은 폴리이미드와 같은 플렉시블한 재질의 기판이 사용될 수 있다.
그리고, 기판(100) 상의 디스플레이부(100) 외곽 일측에는 디스플레이부(200)와 전원(미도시)을 연결하기 위한 패드부(110)가 마련되어 있고, 이 패드부(110)와 디스플레이부(200)를 연결하기 위한 배선부(400)로서 복수의 제1배선(410) 이 구비된 제1배선층(400A) 및, 복수의 제2배선(420)이 구비된 제2배선층(400B)이 형성되어 있다. 이 제1,2배선(410)(420)은 절연막(232)을 사이에 두고 서로 다른 층에 형성되어 있다. 그리고, 상기 배선부(400) 위에 돌출부(500)가 형성되어 있는데, 이 돌출부(500)는 박막봉지층(300)을 형성하기 위한 증착 공정 중 마스크(M)을 지지해줌으로써, 이 마스크(M)에 의한 배선부(400) 손상의 위험을 억제해주는 역할을 한다.
이해를 돕기 위해 본 실시예와의 비교예로서 이 돌출부(500)가 없는 구조를 가정해본다. 이 상태에서 전술한 바대로 박막봉지층(300)을 형성하기 위해 마스크(M)를 설치하면, 최상층에 위치한 제2배선(420)은 아무런 보호막 없이 마스크(M)와 직접 접촉하게 되므로 긁힘에 의한 손상이 발생할 수 있다. 또한, 마스크(M)의 하중에 의해 두 배선(410)(420) 간의 절연막(232)이 깨지면서 쇼트가 발생할 가능성도 있다.
그러나, 본 실시예는 상기 돌출부(500)가 마스크(M)를 지지해줌으로써 배선부(400)의 손상을 막아줄 수 있다. 즉, 상방에 위치한 제2배선(420)이 마스크(M)와 직접 닿지 않도록 돌출부(500)를 세워서 떠받쳐줌으로써 직접 접촉에 의한 긁힘 등의 불량 발생 요인을 제거하는 것이다. 그리고, 이 돌출부(500)는 배선부(400) 위에 형성된 지지베이스(510)와, 그 지지베이스(510) 위에 형성되어 마스크(M)를 떠받치는 지지돌기(520)를 포함한다. 상기 지지베이스(510)는 상기 배선부(400)의 폭(W1) 보다 좁은 폭(W2)이며 디스플레이부(200)의 일측면을 따라 길쭉한 스트립 형태로 형성되어 있다. 상기 지지돌기(520)는 도 2에 도시된 바와 같이 배선부(400) 상에서 제1,2배선(410)(420)이 오버랩되는 영역을 피해서 형성되어 있다. 이것은 두 배선(410)(420)이 마스크(M)의 하중에 의해 쇼트가 발생할 확률을 줄이는데 유효한 구조가 된다. 즉, 마스크(M)를 장착하면, 직접 그 마스크(M)를 떠받치는 지지돌기(520) 지점에 하중이 가장 많이 걸리게 되므로, 그 바로 밑에 두 배선(410)(420)이 오버랩되고 있으면 절연층(232)이 깨지면서 쇼트가 발생할 가능성이 높다. 그러나, 본 구조처럼 제1,2배선(410)(420)이 겹치는 영역을 피해서 지지돌기(520)를 형성하면, 혹시 하중에 의해 절연층(232)이 일부 손상되더라도 제1,2배선(410)(420)이 그 절연층(232)의 손상되는 영역과 겹치지 않아서 두 배선(410)(420)이 맞닿는 현상은 피할 수 있으므로 쇼트와 같은 불량 발생을 효과적으로 억제할 수 있다.
그리고, 상기 제1배선(410)은 컨택홀(미도시)을 통해 상기 패드부(110)에 연결될 수 있다. 상기 제2배선(420)은 상기 패드부(110)와 동일평면 상에 형성될 수 있다. 이때, 상기 제2배선(420)은 연장되어 상기 패드부(110)의 일부일 수 있다. 또는 상기 제2배선(420)은 다른 구성요소에 의해 상기 패드부(110)에 연결될 수 있다.
이와 같은 제1,2배선(410)(420)과 돌출부(500) 등은 도 3에 도시된 디스플레이부(200)의 박막트랜지스터(TFT)와 화소부(220)를 형성하는 과정 중에 제조될 수 있다. 즉, 별도의 추가 공정으로 만들어지는 것이 아니라, 디스플레이부(200)를 형성하면서 함께 형성되는 것이다.
도 3을 참조하여 상기 디스플레이부(200) 구조를 개략적으로 설명하면 다음과 같다. 상기 박막트랜지스터(TFT)는 활성층(211), 게이트전극(212), 소스전극(213) 및 드레인전극(214) 등을 포함한다. 상기 게이트전극(212)과 활성층(211) 사이에는 게이트 절연층(231)이 개재되어 있다. 또한, 상기 활성층(211)의 양쪽 가장자리에는 고농도의 불순물이 주입된 소스영역 및 드레인 영역이 형성되어 있어서 이곳에 각각 상기 소스전극(213)과 드레인전극(214)에 연결된다. 따라서, 상기 게이트전극(212)에 적정 전압이 인가되면 상기 활성층(211)의 소스영역과 드레인영역 사이가 채널 역할을 하여 상기 소스전극(213)으로부터 드레인전극(214)으로 전류가 흐르게 된다.
상기 화소부(220)는 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인전극(214)과 접속된 화소전극(221), 캐소드 역할을 하는 대향전극(223) 및, 그 화소전극(221)과 대향전극(223) 사이에 개재된 발광층(222) 등을 포함한다. 참조부호 233은 평탄화막을 나타내며, 참조부호 234는 화소 영역을 구획하는 화소정의막을 나타낸다.
그리고, 상기 배선부(400)와 돌출부(500)의 위치 관계를 다시 정리하면 다음과 같다. 일단, 상기 배선부(400)는 기판(100) 위에 형성된 복수의 제1배선(410)을 포함한 제1배선층(400A)과, 이 제1배선층(400A) 위에 형성된 절연막(232) 및, 절연막(232) 위에 형성된 복수의 제2배선(410)을 포함한 제2배선층(400B)을 구비하고 있다. 따라서, 제1배선(410)과 제2배선(420)은 절연막(232)에 의해 분리되어 있으며, 도 1과 같은 평면 상에서 볼 때 제1배선(410)의 일부 영역이 제2배선(420)과 오버랩된다. 상기 돌출부(500)의 지지배이스(510)는 이 배선부(400) 상에서 제1,2배선(410)(420)을 가로지르며 형성되어 있고, 지지돌기(520)는 최상층인 제2배선(420)과 오버랩되지 않게 배치되어 있다. 즉, 제2배선(420)과 오버랩 되지 않는다는 것은 전술한 바와 같이 제1,2배선(410)(420)이 오버랩되는 영역을 피해서 지지돌기(520)가 형성되어 있다는 의미가 된다. 즉, 마스크(M)를 장착하면, 직접 그 마스크(M)를 떠받치는 지지돌기(520) 지점에 하중이 가장 많이 걸리게 되므로, 제1,2배선(410)(420)이 겹치는 영역을 피해서 지지돌기(520)를 형성함으로써, 하중에 의해 절연층(232)이 일부 손상되더라도 두 배선(410)(420)이 맞닿는 현상은 피할 수 있게 한 것이다.
이하 이러한 구조의 유기 발광 표시 장치를 제조하는 과정을 설명하기로 한다.
먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이 기판(100) 상에 상기한 디스플레이부(200) 박막트랜지스터(TFT)의 활성층(211)과 절연층(231) 및 게이트전극(212)을 차례로 형성한다. 이때, 상기 활성층(211)의 양쪽 가장자리에 고농도의 불순물을 주입하여 소스영역 및 드레인 영역을 형성하며, 이곳에 상기 소스전극(213)과 드레인전극(214)을 각각 연결시킨다. 상기 소스영역과 드레인 영역 사이인 활성층(211)의 중앙부는 채널 영역이 된다. 그리고, 상기 게이트전극(212)을 형성할 때 상기 배선부(400)의 제1배선(410)도 그와 같은 재질로 같은 층에 형성한다.
이어서, 도 5b에 도시된 바와 같이 다시 절연층(232)을 형성하고 그 위에 박막트랜지스터(TFT)의 소스전극(213) 및 드레인전극(214)을 형성한다. 이때, 두 절연층(231)(232)에 컨택홀을 형성하여 소스전극(213)은 상기 활성층(211)의 소스영역에, 드레인전극(214)은 상기 활성층(211)의 드레인 영역에 각각 연결시킨다. 또한, 배선부(400)의 제2배선(420)을 소스전극(213) 및 드레인전극(214)과 같은 층에 같은 재질로 형성한다.
그 다음에 도 5c와 같이 디스플레이부(200)에 평탄화막(233)를 형성하고 그 위에 화소부(220)의 화소전극(221)을 형성하게 되는데, 상기 평탄화막(233)을 형성하면서 그와 같은 층에 상기 돌출부(500)의 지지베이스(510)를 같은 재질로 함께 형성한다.
그리고 도 5d와 같이 화소부(220)의 화소정의막(234)과 발광층(222) 및 대향전극(223)을 차례로 형성하며, 화소정의막(234)을 형성할 때 그와 같은 재질로 같은 층에 상기 돌출부(500)의 지지돌기(520)를 형성한다. 물론, 이때 지지돌기(520)는 전술한 바대로 제1,2배선(410)(420)이 오버랩되는 영역을 피해서 형성된다.
그 다음에 상기 디스플레이부(200)를 덮는 박막봉지층(300)의 무기막(310)을 형성하게 되는데, 이때 박막봉지층(300)을 형성하기 위한 마스크(M)는 도 5e에 도시된 바와 같이 상기 지지돌기(520) 위에 안착된다. 이렇게 되면, 마스크(M)와 배선부(400)가 직접 접촉하는 일이 없게 되므로, 무기막(310)을 형성하는 과정에서 마스크(M)에 의해 배선부(400)가 손상되는 현상을 방지 또는 저하시킬 수 있다. 그리고, 위와 같이 지지돌기(520)가 제1,2배선(410)(420)의 오버랩 영역을 피해서 형성되어 있기 때문에, 마스크(M)의 하중에 의해 지지돌기(520) 하방의 절연층(232)이 손상되더라도 두 배선(410)(420)이 맞닿아서 쇼트가 발생하는 현상을 억제할 수 있게 된다. 이후, 무기막(310) 위에 다시 유기막과 무기막을 교대로 적층하여 도 5f와 같은 박막봉지층(300)을 완성할 수 있다. 이 박막봉지층(300)의 적층 구조예는 뒤에서 좀 더 자세히 설명하기로 한다.
이와 같은 박막봉지층(300) 형성 시, 상기 마스크(M)가 지지돌기(520) 위에 놓이게 되므로, 그 마스크(M)의 개구를 통해 증착되는 박막봉지층(300)의 상기 패드부(110)측 경계선은 이 돌출부(500) 위에 형성된다. 본 실시예에서는 도 4a와 같이 박막봉지층(300)의 패드부(110) 측 경계선(L)이 돌출부(500)의 가운데 지점에 형성된 것을 예시하였는데, 이 경계선(L)을 도 4b 처럼 디스플레이부(200) 쪽으로 조금 더 치우치게 형성할 수도 있고, 반대로 도 4c와 같이 패드부(110) 쪽으로 조금 더 치우치게 형성할 수도 있다. 또는, 도 4d에 도시된 바와 같이 돌출부(500)의 상면을 마스크(M)가 다 덮게 배치하여 경계선(L)이 돌출부(500) 상면을 벗어나서 디스플레이부(200) 쪽으로 치우쳐서 형성되게 할 수도 있다.
한편, 상기한 바와 같이 상기 박막봉지층(300)은 단층 또는 다층의 무기막(310)으로 형성될 수도 있고, 무기막(310)과 유기막(미도시)이 한 층 이상씩 교대로 적층된 다층 구조가 될 수도 있다. 무기막(310)은 마스크(M)에 의해 경계선(L)이 형성되고, 유기막(미도시)의 경우는 유기막용 마스크를 이용하여 상기 무기막(310)과 다른 경계선(미도시)을 가질 수 있다.
예를 들어, 상기 박막봉지층(300)은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 무기막의 단층막 또는 다층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기막은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 박막봉지층(300) 중 외부로 노출된 최상층은 디스플레이부(200)에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기막으로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 박막봉지층(300)은 적어도 2개의 무기막 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또한, 상기 박막봉지층(300)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 상기 박막봉지층(300)은 상기 디스플레이부(200)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다. 또한, 상기 박막봉지층(300)은 상기 디스플레이부(200)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다. 또한, 상기 박막봉지층(300)은 상기 디스플레이부(200)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있으며, 상기 디스플레이부(200)와 상기 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수도 있다. 상기 할로겐화 금속층은 상기 제1 무기층을 스퍼터링 방식 또는 플라즈마 증착 방식으로 형성할 때 상기 디스플레이부(200)가 손상되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제1 유기층은 상기 제2 무기층 보다 면적이 좁은 것을 특징으로 하며, 상기 제2 유기층도 상기 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다. 또한, 상기 제1 유기층은 상기 제2 무기층에 의해 완전히 뒤덮이고, 상기 제2 유기층은 상기 제3 무기층에 의해 완전히 뒤덮일 수 있다.
상기 유기층은 고분자로 형성될 수 있으며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
따라서, 이와 같은 다양한 형태의 박막봉지층(300)을 형성할 수 있으며, 이때 사용되는 마스크(M)는 상기 돌출부(500)에 안착시켜서 배선부(400)의 손상 위험없이 안전하게 사용할 수 있다.
이하에는 이러한 기본 구조로부터 변형 가능한 예들을 예시하기로 한다.
도 6을 참조하면, 지지돌기(520)가 제2배선(420)과 동일층 상에 형성될 수 있다. 이때에도 지지돌기(520)는 절연층(232) 상에서 두 배선(410)(420)이 오버랩되는 영역을 피해서 형성된다.
또한, 도 7에 도시된 바와 같은 다른 변형예도 가능한데, 전술한 실시예처럼 지지베이스(510)와 지지돌기(520)를 돌출부(500)로 구비하되, 지지베이스(510)는 상대적으로 돌출된 영역(510a)을 포함할 수 있다. 상기의 상대적으로 돌출된 영역(510a)은 제1,2배선(410)(420)이 겹치지 않는 영역에 형성될 수 있다. 그리고, 지지돌기(520)는 이 돌출된 영역(510a) 상에 위치할 수 있다. 따라서, 지지돌기(520)와 제1,2배선(410)(420)과의 거리를 더 증가시킬 수 있다. 그러니까, 전술한 실시예처럼 지지베이스(510)의 표면을 평탄하게 구성할 수도 있지만, 본 실시예처럼 표면에 상대적으로 돌출된 영역(510a)이 형성된 모양으로 변형시킬 수도 있다. 이와 같은 다양한 변형 구조도 가능하다.
그러므로, 이상에서 살펴본 바와 같은 유기 발광 표시 장치와 그 제조방법에 따르면, 마스크에 의한 배선의 손상을 효과적으로 막을 수 있게 되며, 따라서 이를 채용하면 제품의 불량 발생률을 크게 줄일 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
100:기판 200:디스플레이부
300:박막봉지층 410,420:제1,2배선
500:돌출부 510:지지베이스
520:지지돌기

Claims (11)

  1. 기판 상에 형성되고, 활성층, 게이트전극, 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터를 포함하는 디스플레이부;
    상기 기판 상에서 상기 디스플레이부 외곽에 위치하는 패드부;
    상기 디스플레이부와 상기 패드부를 연결하도록 상기 기판 상에 위치하는 복수의 배선층을 포함하고, 상기 복수의 배선층은 각각 복수의 배선을 포함하는, 배선부;
    상기 디스플레이부를 봉지하는 봉지층; 및
    상기 배선부 상에 위치하는 돌출부;를 포함하고,
    상기 배선부는 상기 봉지층과 중첩하는 제1부분 및 상기 봉지층과 중첩하지 않는 제2부분을 포함하고,
    상기 돌출부는 상기 배선부의 상기 제2부분 상에 위치하는, 유기 발광 표시 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부의 적어도 일부는 상기 배선부와 중첩하는, 유기 발광 표시 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 배선부는, 상기 게이트전극과 동일한 물질을 포함하며 동일한 층에 위치하는 제1배선층과, 상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 동일한 물질을 포함하며 동일한 층에 위치하는 제2배선층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부는 복수의 지지돌기와, 상기 지지돌기를 지지하는 지지베이스를 포함하고,
    상기 디스플레이부는,
    상기 드레인전극에 연결된 화소전극;
    상기 화소전극에 대향하는 대향전극;
    상기 화소전극과 상기 대향전극 사이에 위치하는 발광층;
    상기 드레인전극과 상기 화소전극 사이에 위치하는 평탄화막; 및
    상기 화소전극과 상기 대향전극 사이의 상기 발광층의 영역을 구획하는 화소정의막;을 더 포함하고,
    상기 지지베이스는 상기 평탄화막과 동일한 물질을 포함하며 동일한 층에 위치하고, 상기 지지돌기는 상기 화소정의막과 동일한 물질을 포함하며 동일한 층에 위치하는, 유기 발광 표시 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 배선은 상기 디스플레이부에서 상기 패드부로 제1방향으로 연장되고, 상기 돌출부는 상기 제1방향에 교차하는 제2방향을 따라 배치되며, 상기 돌출부의 상기 제2방향으로의 길이는 상기 봉지층의 상기 제2방향으로의 길이보다 더 긴, 유기 발광 표시 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부는 평면도상에서 볼때 직사각형인, 유기 발광 표시 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌출부는 복수의 지지돌기와, 상기 지지돌기를 지지하는 지지베이스를 포함하고,
    상기 복수의 배선층 중 최상층 배선층은 상기 복수의 지지돌기 사이에 위치하는, 유기 발광 표시 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 복수의 지지돌기는 상기 최상층 배선층과 중첩하지 않는, 유기 발광 표시 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 배선부는 상기 기판 상에 위치하는 제1 배선층, 상기 제1 배선층 상에 위치하는 절연층, 및 상기 절연층 상에 위치하는 최상층 배선층인 제2 배선층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 봉지층은 적어도 하나의 무기층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 봉지층은 적어도 하나의 유기층을 더 포함하고,
    상기 유기층과 상기 무기층은 교번하여 적층된, 유기 발광 표시 장치.
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