KR101173961B1 - 대면적 ａｍｏｌｅｄ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리에 관한 것으로, 그 목적은 대면적의 AMOLED 모바일(Mobile) 혹은 TV 패널을 제작하기 위한 셀 분할마스크의 장력인가시 발생되는 변위 발생을 최소화할 수 있도록 연속 용접되는 셀 분할마스크의 분할부를 에칭(Etching)하여 변위 발생을 최소화한 셀 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리를 제공하는 데 있다. 이러한 목적을 수행하는 본 발명의 구성은 AMOLED 디스플레이에 증착되는 유기물을 통과시키는 다수개의 픽셀로 이루어진 셀 측단에 각각 형성되어 X방향 장력이 인가되는 다수개의 X 방향 스커트가 형성된 스커트부에, 상기 X 방향 스커트와 직교되게 설치되어 Y 방향 주름방지를 위한 Y방향 장력이 인가되는 Y방향 스커트가 형성되고, 셀을 분할하도록 유기물 통과를 막게 형성된 분할부에는 장력인가시 유효면과 비유효면의 응력차이를 최소화하기 위하여 다수개로 배열된 에칭부가 형성되어 X방향 장력시 Y방향의 변위발생을 저감하여 Y방향 변위발생에 따른 역보상 설계를 최소화하도록 구성한 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리를 특징으로 한다.

Description

대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리{Stick type mask manufacturing for big size of AMOLED multi cell panel and mask frame assembly using thereof}

본 발명은 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리에 관한 것으로, 자세하게는 대면적 AMOLED 모바일(Mobile) 혹은 TV 패널 제작용 셀 분할마스크를 이용하여 마스크프레임어셈블리를 제조시 분할마스크에 장력 인가시 분할마스크가 유효면과 비유효면 사이 응력(장력)차이에 의해 활모양으로 분할마스크(Stick Mask)가 안으로 끌려들어가 마스크의 위치결정성이 나빠지는 문제점을 방지하기 위해 분할마스크의 분할부에 에칭부를 형성하고, 에칭 또는 풀 에칭된 하부면에 가림마스크를 덧대어 분할마스크의 위치결정성 및 마스크 보상을 최소화 함으로서 위치결정성을 높여 패턴글라스(Pattern Glass)에 정확하게 유기물이 증착되도록 정밀하게 제조되도록 한 기술에 관한 것이다.

이에 따라 분할마스크(Stick Mask)를 이용하여 대면적의 AMOLED 모바일(Mobile)/ TV용 패널을 제작하기 위해 유기물소스인 리니어 소스(Linear Source) 혹은 포인트 소스(Point Source)의 유기물을 기화시키는 열원(Heater)의 진공 챔버(Chamber) 내 복사에 의한 열전달 및 유기물 온도에 의해 마스크의 온도상승에 따른 마스크/프레임의 열팽창에 의한 마스크/ 증착될 기판의 위치변화에 따른 오정렬(Misalignment) 발생으로, 마스크에 충분한 장력을 인가하여 유기물 증착시 발생할 수 있는 쉐도우(Shadow) 현상을 방지한 기술에 관한 것이다.

OLED는 반응속도가 박막트랜지스터액정표시장치(TFT LCD)보다 월등히 빠르다. 또 자체 발광으로 백라이트 없이 두께와 무게를 3분의 1이나 줄일 수 있으며 넓은 시야각과 저전력 소비 구조를 자랑하는 차세대 디스플레이이다.

이러한 OLED는 AM방식(능동)과 PM방식(수동)으로 나뉜다. PMOLED는 AMOLED에 비해 제작단가가 낮고, 소비전력, 수명과 해상도에 한계가 있다. AMOLED는 각 화소마다 TFT와 커패시터가 있으며 소비전력, 수명, 해상도 측면 모두에서 우수하기 때문에, TFT의 제작으로 인해 제조비용이 높아진다는 단점을 딛고, 현재 각 분야의 활발한 개발과 양산 시도가 이어지고 있다.

무엇보다 AMOLED의 강점은 무엇보다 화질 경쟁력이다. 최대 경쟁자인 LCD에 비해 색 재현율은 30% 포인트나 높고 명암비는 20배나 뛰어나다. LCD의 최대 약점인 동영상의 잔상현상도 AMOLED에서는 찾아볼 수 없다. 이는 LCD가 백라이트라는 간법광원을 액정, 컬러필터 등을 통과시키며 다소 복잡하게 화면을 연출하는 반면에 AMOLED는 유기물질이 자체 발광해 곧바로 자연색의 화면을 재현하기 때문이다.

더욱이 OLED는 LCD와 비교해 구조가 단순해 제조에 있어, 부품측면에서 매우 유리하다.

그러나 OLED는 재료 원가, 구동회로, 드라이버 IC 가격을 보면, OLED는 감가상각이 차지하는 비율이 전체 원가의 반에 이를 정도로 크다. 이는 OLED가 아직 소비자들에게 대중화되지 않아 대량생산에 의한 제조 단가 효과를 보기 어렵기 때문이다. 하지만 시간이 지나고 물량이 증가하면, 이 감가상각비가 줄어 가격적인 면에서 LCD와의 경쟁이 가능해 질 것으로 기대된다. 그 이유는 자체발광 방식으로 BLU와 컬러필터가 필요하지 않은 등 부품이 적고, 단순하기 때문에 충분히 단가를 낮출수 있기 때문이다.

따라서 가격경쟁력을 갖추기 위해서는 감가상각비를 줄이기 위한 각계의 노력이 필요하다.

그렇지만 대량생산을 위해서는 아직까지는 넘어야 할 기술적인 문제점들이 있다. 즉, 빛을 내는 유기물질이 제조환경에 매우 민감해 품질이 높은 양질의 디스플레이를 만들기가 여간 힘들지 않아 낮은 수율의 문제를 극복해야하는 과제가 있고, 향 후 대형화될수록 수율 확보는 더 어려워지는 시스템적인 문제들이 있다.

이하 AMOLED을 이용한 종래 디스플레이패널의 제조방법을 살펴본다.

AMOLED 디스플레이 패널의 기본 구조는 유리기판 위에 양전극인 ITO(Induim-Tin-Oxide)를 형성하고 그 상면에 R, G, B 유기물을 증착하고, 다시 그 위에 음전극을 형성후 양전극과 음전극을 통전시켜 발광토록 하는 간단한 구조를 가진다.

이러한 기본 구성을 가진 AMOLED 디스플레이를 제조하기 위한 종래 마스크 스트레칭(Mask Stretching) 방식은 마스크(Mask)를 정해진 타겟(Target) 위치로 맞추는 방식으로 마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly)의 스트라이프(Stripe) 위치 정도를 측정하여 보상하는 플로우(Flow)를 반복적으로 수행하여 메칭(Matching)하는 방식이다.

이러한 종래의 방식은 제작시간과 비용 면에서 많은 손실(Loss)이 발생하는 시스템이다. 즉, 원장 마스크(Mask)를 적용한 스트레칭(Stretching) 방식은 원장 마스크(Mask) 자체의 제작 오차 , 마스크 결점에 따른 수율저하, 및 소재업체에서 공급된 마스크 코일 사이즈(Mask Coil Size)등의 한계로 인해 현재 가능한 것은 4세대 Half급의 30" 원장 TV 수준이며 , 최대화 Size는 42" 단면취 수준이 최고수준의 기술이다. 하지만 증착을 위한 소모품 구성에 있어 워낙 고가이므로 경제성에서 한계성을 지니고 있다.

이런 이유로 종래의 AMOLED는 양산화된 것들이 대부분 소형으로 하나의 원장으로 이루어진 마스크를 사용하여 마스크프레임어셈블리를 제조한 것으로 대면적의 AMOLED를 생산시 그 크기의 한계가 있다.

하나의 원장으로 된 마스크를 이용하여 대형화하기 어려운 이유는 마스크의 원재료인 코일의 공급 크기가 대형화에 필요한 크기 사이즈로 생산되지 않고 있기 때문이다. 즉, 채산성의 문제로 코일 생산업체에서는 AMOLED 디스플레이 업체에서 필요로 하는 크기를 생산하지 않기 때문이다.

상기한 종래 원장방식 마스크의 구조적 코일 크기에 따른 문제를 해결할 수 있는 방법으로는 분할마스크를 이용한 방식이 있으나, 이 역시 대면적 마스크프레임어셈블리를 만들기에는 구조적인 한계가 있어서 현재까지는 주로 소형 마스크프레임어셈블리 제조에 국한되어 사용되고 있다.

이하 종래 분할 마스크에 의한 제조방법을 살펴본다.

분할마스크를 이용한 제조방법은 종래 분할마스크를 이용한 마스크프레임어셈블리 제조공정도를 보인 도 8에 나와 있는 것처럼, 다수개의 분할마스크를 프레임에 하나씩 용접하여 조립하고, 조립시 분할마스크가 들어가지 않는 프레임에는 가림마스크를 함께 용접하고, 마스크프레임어셈블리 제작후 마스크의 흔들림을 방지하기 위한 구성으로는 흔들림마스크를 함께 용접하여 마스크 프레임 어셈블리를 완성하는 방식이다.

하지만 이러한 종래 분할마스크를 이용한 방법으로도 대면적의 마스크프레임어셈블리를 만들 수 없다.

그 이유는 지금까지 나와 있는 소형 마스크프레임어셈블리 제작에 사용되는 분할마스크 형상으로는 마스크 에칭시 발생되는 마스크 변형 및 주름, 제작정도 등에 의해 분할 사이즈(Size)를 키우는데 한계성을 가지고 있기 때문이다.

즉, 종래 분할마스크의 형태를 이용하여 대형 마스크프레임어셈블리 제작 후 이를 이용하여 R,G,B 유기물질을 패턴 글라스에 진공증착시 잘못 위치 결정된 마스크의 스트라이프에 의해 불량하게 증착됨으로 인한 수율 문제가 발생하기 때문이다.

보다 자세하게 종래의 AMOLED(능동형 OLED) 디스플레이 소자를 만드는 제작 공정 및 그 문제점을 살펴본다.

AMOLED(능동형 OLED) 디스플레이 소자를 만드는 제작 공정 중 R,G,B 유기물 증착정도가 디스플레이 품질을 좌우하는데 R,G,B 유기물 증착정도는 마스크프레임 각 셀 스트라이프(Cell Stripe)의 품질정도 및 위치결정정도에 의해 품질이 좌우된다. 따라서 증착정도에 가장 핵심이 되는 마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly) 품질을 확보함과 동시에 생산성 향상이 절실한 시점에 있다.

AMOLED 제작공정 구성은 백 플레인(Back Plane), 유기물 증착공정 및 모듈(Module) 공정으로 이루어지는데, 증착공정에서 AMOLED 또는 PMOLED의 유기물을 원하는 패널(Panel)의 정확한 위치에 위치결정하고 필요한 부분에만 유기물을 증착하기 위해 꼭 필요한 장치가 마스크 프레임 어셈블리이다.

마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly)의 구성은 프레임(Frame)과 마스크(Mask)로 구성된다.

마스크(Mask)와 프레임 재료는 주로 열팽창 등을 고려하여 박막의 인바(Invar : 강철과 니켈의 합금)와 스테인레스강판을 주로 사용한다

이러한 마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly)의 형상은 도 9에 도시되어 있다. 도 9는 종래 마스크프레임어셈블리의 형상을 보인 예시도이다. 도시된 바와 같은 형태를 가진 종래의 마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly)는 휴대폰 창, 네이게비션(Navigation) 창, 디지털카메라 창(Digital Camera)등 모바일(Mobile)용으로 구현함에 있어서는 고정세(高精細)화에 따른 마스크를 원장 제작시 발생하는 생산성 저하 등을 고려하여 분할 마스크로 제작하여 고정세(高精細)에 대응하고 있으나, 사이즈 대형화(3.5"이상), 텔레비전(TV), Monitor(IT)용 등 대면적 패널(Panel)을 제작함에 있어서는 마스크 에칭 전 재료인 원재료인 코일(Coil)의 사이즈(Size)가 전술한바와 같이 4세대(730 * 920mm)정도까지만 대응할 수 있는 한계를 가지고 있다. 그 이유는 전술한 바와 같이 코일 제조회사에서 채산성의 문제로 큰 사이즈의 코일 생산을 하지 않기 때문이다.

하지만 AMOLED 페널 양산성을 확보하기 위해서는 4세대 이상 즉, 5세대, 5.5세대, 6세대, 7세대, 8세대, 9세대 등의 대면적화가 불가피한 현실에 있다. 이러한 대면적화가 이루어져야만 다면취 제작에 의한 대형 AMOLED 패널의 동시 제조가 가능하기 때문이다.

따라서 대면적화를 위한 방법으로는 텔레비전의 경우 모바일이나 모니터(Monitor)등 IT용에 비해 저해상도의 구현가능한 점을 이용, 다면취의 고정세메탈마스크(FMM : Fine metal mask- 하나에 여러장의 패널 제작) 적용에 있어 원재료인 인바(Invar), 스테인레스 강의 원재료 사이즈(Size) 한계 등을 고려할 때 마스크를 분할 제작, 용접함이 필수 기술로 등장하고 있다.

이하 구체적으로 종래 분할마스크의 구조에 대해 살펴본다.

도 10은 종래 분할마스크의 형상을 보인 예시도로, 종래 분할 마스크 구성은 마스크를 Y방향(Cell 혹은 유효면 방향은 X, Y가 바뀔 수 있음)으로는, Mobile, IT에서 원하는 충분한 토탈 피치(Total Pitch)를 에칭(Etching) 공정에서 마스크(Mask)의 Y방향 길이 'L'의 공차를 AMOLED 공정에서 원하는 정도를 충분히 확보하고 X 방향의 마스크(Mask) 장력용 그리핑(Gripping)부를 그리퍼(Gripper)를 이용 장력을 가하면서 조정에 의해 균일 장력을 가하고 각 그리퍼(Gripper)의 위치 조정성을 이용 Y방향의 1~2um정도의 미세 틀어짐을 보정하면서 마스크 프레임(Mask Frame)에 카운터 포스(Counter Force)량을 조정하면서 백 플레인(Back Plane)의 셀 패턴(Cell Pattern) 위치에 정확히 용접하여 마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly)를 구성해 왔다.

하지만 이러한 분할마스크 구조를 가지는 종래 기술의 문제점은, 한 방향(X방향)으로만 장력을 가함으로서 Y 방향에 주름이 발생하여 정도를 깬다는 문제점이 있다.

또한 분할 마스크를 프레임(Frame)에 용접 후 X방향의 인장력만 유지함에 따른, 증착기내 프로세스(Process) 진행시, 유기물 온도 및 증착소스(Deposition Source)에서 유기물을 기화시키기 위해서는 유기물에 열을 가해 기화온도 조건으로 만들어 주기 위해 소스의 열원인 히터(Heater)의 용량이 필요하다.

도 11은 종래 유기물소스와 마스크프레임어셈블리간의 온도 및 거리에 따른 위치결정 변화 관계를 보인 예시도이다.

도시된 바와 같이 마스크프레임어셈블리를 통해 페널유리에 유기물을 증착하기 위한 증착 소스(Source)를 제작함에 있어 열원의 용량을 최소화 하는 것이 필수적이다. 그 이유는 진공 분위기 내에서는, 복사에 의해 의해 증착 소스로부터, 마스크 프레임(Frame)에 인가 되는 온도가 증착 소스(Source)로부터 마스크 프레임(Mask Frame)까지의 거리의 제곱에 반비례하므로 Y방향에 장력을 인가치 않고 용접을 수행하면 진공전이나 진공중의 증착공정에서 Y방향의 주름에 의한 증착품질(그림자=Shadow)이 저하되어 증착 수율이 저하되는 구조적인 문제점이 있다.

즉, 증착전 위치결정된 마스크프레임어셈블리와 같이 위치결정이 잘된 마스크라 할지라도 방정식 2의 증착내 온도 변화에 따른 마스크 연신율(εT)보다 기계적으로 인가된 마스크장력에 의한 연신율(ε Tension)이 충분히 크지 않으면 증착중 마스크 온도 증가에 따른 위치결정 변화/처짐이 발생할 수 밖에 없다.

이는 증착기내 온도변화도에서 알수 있듯이, 공정중에서는 증착 유니포미티(Uniformity) 및 유기물 효율 등을 고려하여 가능하면 유기물소스와 증착패널/마스크 간의 거리 'L'을 줄이려 애쓰지만 거리를 줄이면 반대급부로 증착기내 복사에 따른 마스크프레임어셈블리(Mask Frame Assembly)의 온도 상승으로 마스크 프레임 어셈블리의 위치결정변화에 따른 쉐도우(Shadow) 현상 즉, 마스크프레임어셈블리가 유기물이 증착될 패널로부터 들뜸으로 인해 증착 위치가 아닌 다른 지점에 증착되는 현상이 발생함으로써 마스크를 당기는 장력이 충분히 뒷받침되지 않는 한 거리 'L'을 줄이기 어렵다는 구조적인 문제점이 있다. 방정식 1의 비례식이 이를 표현한다.

이와 같이 종래의 분할마스크는 일방향으로만 장력이 인가된 마스크프레임어셈블리 상태에서 증착소스를 기화시키기 위한 복사 열원이 전달되면 도10의 Y방향으로 주름발생에 의한 유기물 증착시 쉐도우(Shadow)현상이 발생한다. 대면적 AMOLED용 마스크프레임어셈블리의 경우 분할되는 도 10의 "L"의 길이를 너무 작게 제작이 곤란하고, 폭 "L"을 작게 제작하더라도, 마스크(Mask) 길이 M의 길이가 길어짐으로써 마스크(Mask) 상태에서 토탈 피치(Total Pitch) 및 마스크(Mask) 변형에 따른 위치변화를 1~2um으로 유지하기 어렵다는 구조적 문제점이 있다.

따라서 마스크를 분할로 제작하더라도 일방향 장력제공에 의한 장력이 인가되지 않는 방향에서의 주름이 발생하지 않는 정밀한 고정세를 가지는 마스크프레임어셈블리의 제작이 요구되고 있다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 본 출원인은 도 12 내지 13에 도시된 것과 같은 셀 분할 마스크를 포함하는 대한민국 특허출원 제 10-2009-0091826호(명칭: 대면적 AMOLED 모바일/ TV용 패널 제작용 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리의 제조방법)를 출원하여 등록받은 바 있다.

하지만 상기 선출원건은 Y방향스커트(2) 즉, 마스크프레임에 분할마스크를 용접시 다수개의 그리퍼(G1~ Gn, G1'~ Gn')에 파지되어 양측 X방향으로 장력을 인가하도록 분할마스크의 X방향 양측면에 다수개 형성된 X방향 스커트(Skirt)가 형성된 스커트부(3)에 구조에 X방향 스커트(1)와 직각되는 양측 Y방향으로 장력을 인가하기 위해 일측 스커트부의 양측 Y방향으로 그리퍼(G6, G6')에 파지되어 장력을 인가하는 2개의 Y방향스커트(2, 2')가 형성되고, 타측 스커트부에도 2개의 Y방향 스커트(3, 3')가 형성된 구조로 이루어져, 다수개의 Y방향 스커트는 그리퍼(G6, G6', G7, G7')가 Y방향 장력 후 장착시 Y 방향 주름방지 및 마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly)의 토탈 피치(Total Pitch) 구현을 위한 최소장력 인가, 그리고 모니터(IT용)용, 혹은 텔레비젼용(TV용) 대면적 분할 마스크 적용시 마스크 폭이 40mm 이상으로 구성되어야 하는 텔레비전에서 요구하는 각 픽셀(Pixel)의 위치결정 정도 확보를 위한 마스크 스커트를 제공하였다. 이로인해 본 출원인의 선출원건은 Y스커트가 형성된 분할마스크를 사용하여 다면취에 의한 대면적의 마스크프레임어셈블리를 제공하였다는 놀라운 효과를 얻게 되었다.

하지만 상기 발명은 현저한 효과를 가지는 발명에도 불구하고 셀 분할 마스크를 사용하여 대면적의 마스크프레임어셈블리를 제조시 셀 분할마스크의 분할부가 Mask 유효면과 비유효면의 응력차이로 인해 인장시 위치결정이 저해되는 문제가 있다

즉, X방향 스커트 양쪽에서 그리퍼(Gripper)에 장력을 인가 했을때 변위 분포가 커져 변위가 발생할 수 있어, 비록 Y 흔들림 방지용 와이어가 그 하부를 지지하도록 용접하여도 셀분할 분할마스크의 장력 인가시 유효면과 비유효면의 응력차이에 따라 마치 활모양으로 안쪽으로 끌려들어가는 것과 같은 변위가 발생하여 이를 해소하기 위해 분할마스크에 역보상 설계가 필요하며, 역보상을 하더라도 위치결정의 한계성을 극복하기가 쉽지 않다는 문제점이 있다.

만약 이러한 역보상 설계가 없는 공정이 제공, 혹은 역보상 설계 최소화된다면 마스크 장력시 위치결정 향상도 향상 문제도 간단하게 해결될 수 있으므로 이에 대한 연구가 필요하게 되었다.

하지만 아직까지 이러한 문제점을 해결한 대면적 AMOLED 모바일(Mobile) 혹은 TV 패널 제작용 셀분할마스크 및 마스크프레임어셈블리 제조기술이 제공되지 않고 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 대면적의 AMOLED 모바일(Mobile) 혹은 TV 패널을 제작하기 위한 셀 분할마스크의 장력인가시 발생되는 변위 발생을 최소화할 수 있도록 연속 용접되는 셀 분할마스크의 분할부를 부분 에칭 또는 전체 에칭 후 가림을 이용하여 역보상 변위 발생을 최소화한 셀 분할마스크를 제공하는 데 있다.

또한 본 발명의 다른 목적은 대면적의 AMOLED 모바일(Mobile) 혹은 TV 패널을 제작하기 위한 셀 분할마스크의 X 양방향 장력인가시 발생되는 Y방향 변위 발생을 최소화할 수 있도록 연속용접되는 셀 분할마스크의 분할부를 에칭(Etching)시 풀에칭하고 그 하부에 에칭 면적에 대응하여 에칭부를 가리는 흔들림 방지 및 가림역할을 동시에 수행하는 가림막을 덧대어 변위 발생을 최소화한 셀 분할마스크를 제공하는 데 있다.

본 발명의 목적은 대면적의 AMOLED 모바일(Mobile) 혹은 TV 패널을 제작하기 위한 셀 분할마스크의 장력인가시 발생되는 변위 발생을 최소화할 수 있도록 분할부가 에칭(etching)되어 변위 발생이 최소화된 셀 분할마스크로 이루어진 마스크프레임어셈블리를 제공하는 데 있다.

또한 본 발명의 다른 목적은 대면적의 AMOLED 모바일(Mobile) 혹은 TV 패널을 제작하기 위한 셀 분할마스크의 X 양방향 장력인가시 발생되는 Y방향 발생되는 변위 발생을 최소화할 수 있도록 연속용접되는 셀 분할마스크의 분할부를 에칭(Etching)시 풀 에칭하고 그 하부에 에칭 면적에 대응하여 에칭부를 가리는 흔들림 방지 및 가림역할을 동시에 수행하는 가림막을 덧대어 변위 발생이 최소화된 셀 분할마스크로 이루어진 마스크프레임어셈블리를 제공하는 데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 AMOLED 디스플레이에 증착되는 유기물을 통과시키는 다수개의 픽셀로 이루어진 셀과; 상기 셀 측단에 각각 형성되어 X방향 장력이 인가되는 다수개의 X 방향 스커트와 상기 X 방향 스커트와 직교되게 설치되어 Y 방향 주름방지를 위한 Y방향 장력이 인가되는 Y방향 스커트가 형성된 스커트부와; 상기 다수개의 픽셀로 이루어진 셀을 분할하여 유기물 통과를 막게 형성된 분할부;로 이루어진 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크에 있어서,
상기 분할부는 X방향 장력인가시 Y방향의 변위발생을 저감하도록 다수개로 배열된 에칭부;가 더 포함되어 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크를 제공함으로써 달성된다.

또한 본 발명은, 상기 에칭부가 분할부를 관통하지 않도록 일정 깊이로 에칭되어 형성된 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 상기 에칭부가 분할부를 관통하여 형성되고, 그 하부에 에칭부를 가림과 동시에 흔들림을 방지하는 Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크;를 덧대어 유기물 통과를 막도록 구성한 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은 다른 실시형태로, AMOLED 디스플레이에 증착되는 유기물을 통과시키는 다수개의 픽셀로 이루어진 셀과, 상기 셀 측단에 각각 형성되어 X방향 장력이 인가되는 다수개의 X 방향 스커트와 상기 X 방향 스커트와 직교되게 설치되어 Y 방향 주름방지를 위한 Y방향 장력이 인가되는 Y방향 스커트가 형성된 스커트부와, 상기 다수개의 픽셀로 이루어진 셀을 분할하여 유기물 통과를 막게 형성하되 X방향 장력인가시 Y방향의 변위발생을 저감하도록 다수개로 배열된 에칭부가 형성된 분할부로 이루어진 복수개의 단위 셀 분할마스크와;
상기 단위 셀 분할마스크들을 Y방향으로 연속 용접시 단위 셀 분할마스크들을 분할하도록 일정구간마다 용접 설치되는 증착가림마스크와;
상기 용접된 복수개의 단위 셀 분할마스크 및 증착가림마스크 둘레와 연속용접된 마스크프레임;으로 이루어진 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크를 이용한 마스크프레임어셈블리를 제공함으로써 달성된다.

또한 본 발명은, 상기 셀 분할마스크의 에칭부가 분할부를 관통하지 않도록 일정 깊이로 에칭되어 형성되고, 분할부의 하부에는 흔들림을 방지하는 Y 방향 흔들림 방지용 와이어가 용접되어 구성된 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 상기 셀 분할마스크의 에칭부는 분할부를 관통하여 형성하고, 그 하부에 에칭부를 가림과 동시에 흔들림을 방지하는 Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크를 덧대어 용접하여 유기물 통과를 막도록 구성한 것을 특징으로 한다.

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상기와 같은 본 발명에 따른 셀 분할마스크는 마스크프레임어셈블리를 제조시 셀 분할 마스크의 X 양방향 장력인가시 발생되는 Y방향 변위를 최소화 및 변위를 없앰으로서 분할마스크에 대한 역보상 설계가 필요없거나 최소화할 수 있어 위치결정 향상도를 현저하게 높일 수 있다는 장점과,

또한 셀 분할 용이성 확보 및 에칭 단일성(Etching Uniformity) 확보 , X방향 장력시 Y방향의 활모양으로 끌려들어가는 현상에 따른 역보상 설계 최소화를 통한 마스크를 통과하는 유기 증착물의 위치결정성을 높여 줌으로써 디스프레이(Display) 품질의 필수인 쉐도우(Shadow) 현상을 줄였다는 장점과,

또한 종래 분할마스크가 X방향에서만 장력을 인가하기 위한 X방향 마스크스커트만 구비한데 비해 Y방향 마스크스커트를 구비하여 장력을 조절함으로써 마스크의 주름이나 대면적 사이즈(Size) 마스크(Mask)의 Y 방향의 폭 길이의 다양성에 따른 마스크 제작공차인 토탈피치(Total Pitch)를 조정하여 원하는 마스크 프레임 어셈블리의 토탈피치(Total Pitch)를 맞출 수 있어 유기물 증착시 발생할 수 있는 쉐도우(Shadow) 현상을 방지하여 대면적 AMOLED용 고정세를 가지는 마스크프레임어셈블리 제작이 가능하여 대면적의 AMOLED 패널의 제조가 가능하다는 장점을 가진 유용한 발명으로 산업상 그 이용이 크게 기대되는 발명이다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 에칭부가 형성된 셀 분할마스크의 평면구조도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 에칭부가 형성된 셀 분할마스크에 장력을 인가하는 방법을 보인 예시도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 셀 분할마스크에 장력 인가시의 변위분포를 보인 그래프이고,
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 셀 분할마스크를 이용하여 완성된 마스크프레임어셈블리를 보인 예시도이고,
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 에칭부가 형성된 셀 분할마스크의 평면구조도이고,
도 6은 본 발명에 다른 실시예에 따른 셀 분할마스크에 장력 인가시의 변위분포를 보인 그래프이고,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 셀 분할마스크를 이용하여 완성된 마스크프레임어셈블리를 보인 예시도이고,
도 8은 종래의 분할마스크를 이용한 마스크프레임어셈블리 제조공정도이고,
도 9는 종래 마스크프레임어셈블리의 형상을 보인 예시도이고,
도 10은 종래 분할마스크의 형상을 보인 예시도이고,
도 11은 종래 유기물소스와 마스크프레임어셈블리간의 온도 및 거리에 따른 위치결정 변화 관계를 보인 예시도이고,
도 12는 종래 셀 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리의 형상을 보인 예시도이고,
도 13은 도 12에 따른 종래 셀 분할마스크의 변위분포도이다.

이하 본 발명의 실시 예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 에칭부가 형성된 셀 분할마스크의 평면구조도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 에칭부가 형성된 셀 분할마스크에 장력을 인가하는 방법을 보인 예시도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 셀 분할마스크에 장력 인가시의 변위분포를 보인 그래프이고, 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 셀 분할마스크를 이용하여 완성된 마스크프레임어셈블리를 보인 예시도이다.

이하 본 발명에서 방향 설명은 편의상 X방향과 Y방향으로 설명하는데, 그 방향은 절대적인 특정 방향이 아닌 도시된 평면을 기준으로 일방향을 X방향으로 기준하고 이와 직교되는 방향을 Y방향이라고 말하는 것이다. 또한 도면에 기재된 부호 G1 내지 G7'은 셀 분할마스크의 스커트에 장력을 가하는 그리퍼(Gripper)를 뜻한다.

본 발명이 셀 분할마스크를 구성한 이유는 마스크프레임어셈블리를 제조하기 위해 종래 작은 사이즈(Size)의 TV 혹은 모바일 마스크 어셈블리(Mobile Mask Assembly)의 경우 마스크(Mask)를 원장으로 제작하였으나 마스크 프레임 어셈블리(Assembly)의 고정세화, 생산수율 등을 고려 및 경제성을 확보하기 위하여 대면적 다면취의 요구가 절실하기 때문이다. 하지만 마스크(Mask)를 만드는 원재료인 얇은 박막의 인바(Invar) 혹은 스테인레스 박판의 원장형태의 원재료 수급이 불가능함으로 이를 극복하기 위해 모바일(Mobile)의 경우는 분할마스크(Stick Mask)를 X방향 장력인가시 Y방향 장력용 스커트(Skirt; 날개)를 추가하여 사이즈(Size)가 3" 이상의 분할 마스크에서 주름발생을 억제하고, TV의 경우 원장 다면취 한계성을 극복하기 위해 셀 분할 마스크 기법을 이용하여 원장 다면취, 혹은 단면취용 마스크프레임 어셈블리를 구현하였다. 또한 본 발명은 도 10에서 X 양방향 장력인가시 발생되는 Y방향변위 발생을 최소화하도록 셀(Cell) 경계구간부 유효면과 비유효면(Border)부를 응력을 최소화 하기 위하여 하프에칭(Half Etching)을 포함한 일정 깊이의 에칭 혹은 풀 에칭(Full Etching)하여, 물성을 동일 하게 만들어 놓고 가림 마스크로 셀(Cell)을 구분하도록 설계한 것을 특징으로 한다

따라서 본 발명의 한 실시예에 따른 셀 분할마스크는 대면적의 AMOLED용 마스크프레임어셈블리를 제작시 각 셀 분할마스크를 연접하여 용접시 변위 발생을 최소화하여 마스크프레임어셈블리 제작시 역보상 설계가 완화되면 이웃하는 셀분할마스크가 연속용접되어 최종 조립된 마스크프레임어셈블리를 가지고 유기물을 증착시킬 경우 위치결정도가 향상되게 되고, 또한 Y방향 스커트를 일정각도로 장력을 인가하면서 용접함으로써 Y방향 주름생성을 막아 주름방지 및 Y 방향의 마스크 제작공차를 극복 AMOLED 유기물 증착 위치결정 정도를 확보하여 고정세를 갖는 마스크프레임어셈블리를 제작하게 된다. 이하 구체적으로 살펴본다.

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 셀 분할마스크는 중심부에 다면취의 셀로 이루어진 마스크프레임어셈블리에서 각각의 셀을 분할하기 위한 분할부(5)가 형성되고, 이 분할부에는 장력인가시 변위를 작게 하기 위해 다수개로 배열된 에칭부(6)가 형성된다. 에칭부의 깊이는 일측에서 타측으로 관통되지 않도록 구성한다. 도면에서는 편의상 하프 에칭되게 도시하였으나, 그 에칭 깊이는 필요로 하는 변위에 따라 조절하여 형성할 수 있다. 이와 같이 셀분할마스크의 분할부에 일정깊이의 에칭부가 형성됨으로써 양쪽 X방향에서 장력을 인가하더라도 셀 분할마스크의 변위는 도 3과 같이 형성되어 종래 셀 분할마스크와 달리 확연히 완화되어 있음을 알 수 있는데, 이로 인해 셀분할 마스크에 역보상 설계의 부분이 최소화된다. 이와 같이 마스크프레임어셈블리 제작시 역보상 설계가 완화되면 이웃하는 셀분할마스크가 연속용접되어 최종 조립된 마스크프레임어셈블리를 가지고 유기물을 증착시킬 경우 위치결정도가 향상되게 된다.

또한 셀 분할마스크의 하부에는 마스크프레임어셈블리 제조시 흔들림을 방지하기 위해 Y 방향 흔들림 방지용 와이어(7)를 하나 이상 마스크프레임에 용접한다.

상기 셀 분할용 분할부(5)는 다수개로 배열되어 AMOLED 디스플레이에 증착되는 유기물을 통과시키는 픽셀(9)로 이루어진 셀을 나누어 유기물이 통과되지 않도록 셀 분할마스크의 가운데 일구간에 형성된다. 상기 셀을 구성하는 픽셀(9)은 셀 분할 마스크를 관통하는 부분으로 유기물 증착시 유기물이 통과하는 부분이고, 이 픽셀과 픽셀 사이는 립(10)으로 이루어져 유기물이 통과되지 않아 픽셀의 형상대로 유기물이 통과되어 AMOLED 패널등의 타켓 면에 증착되게 된다.

또한 본 발명의 한실시예에 따른 셀분할마스크는 3인치 이상 AMOLED 모바일/ 대면적 텔레비젼/ 모니터용 분할 마스크에서 사용되는 셀 분할 마스크로 그 구성은 마스크프레임에 셀 분할마스크를 용접시 다수개의 그리퍼(G1~ Gn, G1'~ Gn')에 파지되어 양측 X방향으로 장력을 인가하도록 분할마스크의 X방향 양측면에 각각 다수개 형성된 X방향 스커트(Skirt)(1)가 형성된 각 스커트부(3, 3') 구조에 X방향 스커트(1)와 직각되는 양측 Y방향으로 각 그리퍼(G6, G6', G7, G7')에 파지되어 장력을 인가하기 위해 각 스커트부의 양측 Y방향으로 각각 Y방향스커트(2, 2', 3, 3')가 형성된다.

상기와 같이 형성된 다수개의 Y방향 스커트는 그리퍼(G6, G6', G7, G7')가 Y방향 장력 후 장착시 Y 방향 주름방지 및 마스크 프레임 어셈블리(Mask Frame Assembly)의 토탈 피치(Total Pitch) 구현을 위한 최소장력 인가, 그리고 모니터(IT용)용, 혹은 텔레비젼용(TV용) 대면적 분할 마스크 적용시 마스크 폭이 40mm 이상으로 구성되어야 하는 텔레비전에서 요구하는 각 픽셀(Pixel)의 위치결정 정도를 확보하게 된다.

한 실시예에 따라 도시된 본 발명 셀 분할 마스크의 Y방향 폭은 40mm부터 1000mm 이내의 폭으로 제한하며, 셀 분할마스크의 X 방향의 G1~Gn, G1~Gn' 스커트의 개수는, 필요에 따라 2개 이상 30개 이하로 제한한다. 그 이유는 개수가 너무 많으면 그리퍼(Gripper) 구성이 어렵고 너무 작으면 위치결정성이 떨어지므로 개수를 제한한다.

따라서 Y 방향에 형성된 Y방향스커트(2, 2', 3, 3')에 가해지는 그리퍼(G6 ~G7')의 장력으로는 위치결정성 및 최소장력을 확보하고, X 방향의 그리퍼(Gripper)는 마스크 프레임 어셈블리(Frame Assembly) 구성시 마스크 처짐방지, 위치결정성 확보 및 장력 확보의 역할을 한다.

이때, Y 방향 스커트는 그 형성될 장소가 X방향 스커트에 비해 한정된 개수를 가진다. 따라서 도시된 본 발명의 한 실시예에 따른 Y 방향 스커트는 일측 스커트부 당 양측으로 1개씩 2개, 타측 스커트부 당 양측으로 1개씩 2개로 형성하여 최소한 4개로 구성된다. 예를 들면 일측면 스커트부 당 일측당 2개씩 형성하면 타측 스커트부까지 포함하면 총 8개의 Y방향 스커트를 형성할 수 있다.

또한 도시된 바와 같이 A부 용접(Welding)부에는 마스크 커팅(Cutting)을 쉽게 하기 위한 하프에칭(Half Etching)이 적용되어 있고, 마스크 장력시에 CCD 카메라(Camera)를 가지고 쉽게 이미지(Image)를 받고 모터를 피드백 컨트롤(Feed Back Control: 보상)하기 위한 N개의 위치결정 구멍(Align Key)이 형성되어 있다.

또한 도 2에 도시된 바와 같이 상기 Y방향 스커트는 그리퍼 또는 클램퍼가 셀 분할마스크에 장력을 가한 후 프레임(Frame)을 용접하는 위치에 놓여야함으로, 이미 용접해둔 인접 분할 마스크의 간섭을 피하기 위해 Y방향스커트(2, 2', 3, 3')에 마스크 장력을 위한 그리퍼(G6~G7') 혹은 클램퍼의 구성은 종래의 G1~Gn'그리퍼와는 달리 각도 구성을 수평으로부터 0도 보다 크고 270도 사이의 각도를 가진 방향으로 변형하여 장력을 인가하도록 X,Y, Theta 자유도를 가진 그리퍼(Gripper)를 사용한다. 이때 셀 분할 마스크의 장력 방향을 바꾸어 주기 위한 구성으로는 그리퍼가 장력을 인가하는 스커트에 접촉하는 저마찰 롤러를 설치하여 각도 변환이 이루어지면서 정밀한 장력 조정이 이뤄지도록 구성하였다. 여기서 Theta는 X,Y평면상에서의 도식된 각도를 의미하며, 그리퍼의 위치는 고정된 각도 Theta로 장력을 인가하게 된다.

이와 같은 Y방향 스커트에 각도변형을 주면서 장력을 인가하는 그리퍼가 구비됨으로 인해 본 발명의 Y방향 스커트를 가진 셀 분할마스크는 마스크프레임에 셀분할마스크를 용접시 X방향장력 및 Y방향장력을 인가하여 용접하게 된다.

또한 장력 인가시 셀 분할용 분할부(5)에 형성된 다수개로 배열된 에칭부(6)가 장력인가시 변위를 작게 하면서 용접이 이루어지게 된다.

상기 구성을 가지고 대면적의 AMOLED용 마스크프레임어셈블리 제조방법을 살펴보면 분할부(5)에 에칭부(6)가 형성된 각 셀 분할마스크를 연접하여 용접하면서, 이웃하는 기 용접된 셀 분할마스크와의 간섭을 막기위해 그 다음 셀 분할마스크를 용접시에는 Y방향 스커트를 일정각도로 방향을 바꾸어 장력을 인가하면서 용접함으로써 Y방향 주름생성방지 및 마스크(Mask)의 제작공차를 극복하게 되고, 또한 셀분할을 위한 분할부에 의해 유기물이 통과하지 못함으로 인해 셀이 분할된 다면취 마스크프레임어셈블 리가 완성된다. 이때 일정 깊이로 형성된 에칭부(6)에 의해 분할부(5)를 포함한 분할마스크의 변위발생이 완화되어 역보상 설계의 부분이 최소화된 상태로 마스크프레임어셈블리가 완성되게 된다. 이와 같이 완성된 마스크프레임어셈블리는 대면적의 AMOLED 패널 제조시 원하는 위치결정정도를 확보한 고정세를 갖는 도 4에 도시된 바와 같은 마스크프레임어셈블리가 완성되게 된다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이 가상선으로 표시된 단위 셀 분할마스크가 셀 분할마스크가 이웃하는 셀 분할마스크 및 증착가림마스크와 연속 용접된후 X방향 스커트들을 커팅하면 이와 같은 형상의 마스프레임어셈블리가 완성된다.

또한 Y방향으로 연속으로 셀 분할마스크를 용접시 일정구간마다 증착가림마스크를 두어 Y방향을 분할하는 분할부(5)처럼 마스크프레임어셈블리의 X방향을 분할하는 증착가림마스크를 용접하여 셀의 Y방향과 X방향이 구간별로 분할되도록 한다.

상기와 같은 방법으로 연속 용접후 도 1에 도시된 A부 용접(Welding)부 형성된 마스크 커팅(Cutting)을 쉽게 하기 위한 하프에칭(Half Etching)된 부분을 따라 커팅하여 마스크프레임어셈블리를 완성한다.

또한 마스크 장력시에 CCD 카메라(Camera)를 가지고 쉽게 이미지(Image)를 받고 모터를 피드백 컨트롤(Feed Back Control: 보상)하기 위한 N개의 위치결정 구멍(Align Key)이 형성되어 있다.

또한 도시된 셀 분할마스크는 이웃하는 셀분할마스크와 용접되는 부분이 양 측면이 픽셀(Pixel)을 반으로 분할하는 픽셀(Pixel)분할로 도시되었으나, 픽셀(Pixel)과 픽셀(Pixel)사이에 존재하는 립(Rib)을 분할하는 립(Rib)분할 형태로 구성할 수도 있다.

상기 본 발명에서 다면취를 구성하는 각 Cell은 면취수가 1개 ~n개까지 구성되어 다면취를 이루고, Inch수는 1.8"~50"까지 대응하는 마스크프레임어셈블리를 형성하게 된다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 에칭부가 형성된 셀 분할마스크의 평면구조도이고, 도 6은 본 발명에 다른 실시예에 따른 셀 분할마스크에 장력 인가시의 변위분포를 보인 그래프이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 셀 분할마스크를 이용하여 완성된 마스크프레임어셈블리를 보인 예시도이다.

도 5 내지 도 7에 도시된 다른 실시예에 따른 에칭부가 형성된 셀 분할마스크는 기본적인 설명은 도 1 내지 4에 도시된 바와 같으므로 중복 설명은 생략한다.

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 다른 실시예에 따른 셀 분할마스크는 중심부에 다면취로 이루어진 마스크프레임어셈블리를 위한 셀 분할용 분할부(5)가 형성되고, 이 분할부에는 장력인가시 변위를 작게 하기 위해 에칭부(6)가 형성된다. 이때 에칭부의 깊이는 도 1과 달리 일측에서 타측으로 관통되게 구성한다. 이때 에칭부가 도 1과 달리 관통되게 설치되어 유기물 증착시 셀분할이 되도록 하기 위해 분할부(5)에 형성된 다수개로 배열된 에칭부(6)를 가림과 동시에 흔들림을 방지하도록 Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크(8)를 분할부 하부에 덧댄 후 마스크프레임에 용접하여 일체화한다.

이와 같이 셀분할마스크의 분할부에 에칭부가 형성되고, 그 하부에 Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크(8)가 일체화 됨으로 인해 양쪽 X방향에서 장력을 인가하더라도 셀 분할마스크의 변위는 도 5와 같이 셀 형성되어 종래분할마스크와 달리 변위가 발생하지 않음을 알 수 있는데, 이로 인해 셀분할 마스크에 역보상 설계의 부분이 최소화 된다. 이와 같이 마스크프레임어셈블리 제작시 역보상 설계가 완화되면 이웃하는 셀분할마스크가 연속용접되어 최종 조립된 마스크프레임어셈블리를 가지고 유기물을 증착시킬 경우 위치결정도가 현저하게 향상되게 된다.

상기 구성을 가지고 대면적의 AMOLED용 마스크프레임어셈블리 제조방법을 살펴보면 분할부에 에칭부가 형성되고 그 하부에 위치하는 Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크(8)를 가지고 각 셀 분할마스크를 연접하여 용접하면서, 이웃하는 기 용접된 셀 분할마스크와의 간섭을 막기위해 그 다음 셀 분할마스크를 용접시에는 Y방향 스커트를 일정각도로 방향을 바꾸어 장력을 인가하면서 용접함으로써 Y방향 주름생성방지 및 마스크(Mask)의 제작공차를 극복하게 되고, 또한 셀분할을 위한 분할부의 에칭부 하부에 위치한 Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크(8)에 의해 유기물이 통과하지 못함으로 인해 셀이 분할된 다면취 마스크프레임어셈블리가 완성된다. 이때 분할부(5)를 관통하는 에칭부(6)에 의해 분할부를 포함한 셀분할 마스크의 하부방향 처짐이 완화되어 역보상 설계의 부분이 최소화된 상태로 마스크프레임어셈블리가 완성되게 된다. 이와 같이 완성된 마스크프레임어셈블리는 대면적의 AMOLED 패널 제조시 원하는 위치결정정도를 확보한 고정세를 갖는 도 7에 도시된 바와 같은 마스크프레임어셈블리가 완성되게 된다.

또한 Y방향으로 연속으로 셀 분할마스크를 용접시 일정구간마다 증착가림마스크를 두어 상기 Y방향을 분할하는 분할부(5) 하부에 형성된 Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크(8)처럼 마스크프레임어셈블리의 X방향을 분할하는 증착가림마스크를 용접하여 셀의 Y방향과 X방향이 구간별로 분할되도록 한다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
(1) : X방향 스커트 (2, 2', 3, 3') : Y방향스커트
(4, 4') : 스커트부 (5) : 분할부
(6) : 에칭부 (7) : Y 방향 흔들림 방지용 와이어
(8) : Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크
(9) : 픽셀 (10) : 립

Claims (6)

1. AMOLED 디스플레이에 증착되는 유기물을 통과시키는 다수개의 픽셀로 이루어진 셀과; 상기 셀 측단에 각각 형성되어 X방향 장력이 인가되는 다수개의 X 방향 스커트와 상기 X 방향 스커트와 직교되게 설치되어 Y 방향 주름방지를 위한 Y방향 장력이 인가되는 Y방향 스커트가 형성된 스커트부와; 상기 다수개의 픽셀로 이루어진 셀을 분할하여 유기물 통과를 막게 형성된 분할부;로 이루어진 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크에 있어서,
   상기 분할부는 X방향 장력인가시 Y방향의 변위발생을 저감하도록 다수개로 배열된 에칭부;가 더 포함되어 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 에칭부는 분할부를 관통하지 않도록 일정 깊이로 에칭되어 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크.
   
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 에칭부는 분할부를 관통하여 형성되고, 그 하부에 에칭부를 가림과 동시에 흔들림을 방지하는 Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크;를 덧대어 유기물 통과를 막도록 구성한 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크.
   
4. AMOLED 디스플레이에 증착되는 유기물을 통과시키는 다수개의 픽셀로 이루어진 셀과, 상기 셀 측단에 각각 형성되어 X방향 장력이 인가되는 다수개의 X 방향 스커트와 상기 X 방향 스커트와 직교되게 설치되어 Y 방향 주름방지를 위한 Y방향 장력이 인가되는 Y방향 스커트가 형성된 스커트부와, 상기 다수개의 픽셀로 이루어진 셀을 분할하여 유기물 통과를 막게 형성하되 X방향 장력인가시 Y방향의 변위발생을 저감하도록 다수개로 배열된 에칭부가 형성된 분할부로 이루어진 복수개의 단위 셀 분할마스크와;
   상기 단위 셀 분할마스크들을 Y방향으로 연속 용접시 단위 셀 분할마스크들을 분할하도록 일정구간마다 용접 설치되는 증착가림마스크와;
   상기 용접된 복수개의 단위 셀 분할마스크 및 증착가림마스크 둘레와 연속용접된 마스크프레임;으로 이루어진 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크를 이용한 마스크프레임어셈블리.
   
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 셀 분할마스크의 에칭부는 분할부를 관통하지 않도록 일정 깊이로 에칭되어 형성되고, 분할부의 하부에는 흔들림을 방지하는 Y 방향 흔들림 방지용 와이어가 용접되어 구성된 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크를 이용한 마스크프레임어셈블리.
   
6. 청구항 4에 있어서,
   상기 셀 분할마스크의 에칭부는 분할부를 관통하여 형성하고, 그 하부에 에칭부를 가림과 동시에 흔들림을 방지하는 Y 방향 흔들림 방지 및 가림 마스크를 덧대어 용접하여 유기물 통과를 막도록 구성한 것을 특징으로 하는 대면적 ＡＭＯＬＥＤ 다면취 패널 제작용 셀 분할마스크를 이용한 마스크프레임어셈블리.
   
   
   
   
   
   
   
   

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