KR102660591B1 - 마스크세트 및 마스크 제조방법 - Google Patents

마스크세트 및 마스크 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기발광표시장치 제작시 사용되는 적어도 하나의 마스크를 포함하는 마스크세트 및 마스크의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 마스크를 마스크시트의 패턴부 내의 베젤부 상에 더미홀들을 구비되도록 함으로써, 다수의 개구부가 구비된 셀부와 베젤부의 강성 편차를 줄일 수 있어, 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)가 최소화되게 되므로, 증착PPA 성능이 향상되는 효과를 갖는다.
이를 통해, 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층 패턴을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크의 마스크시트를 전주 도금(electroforming) 방식으로 인바 박판으로 형성함으로써, 마스크시트를 형성하는 공정을 단순화 할 수 있고, 이를 제조하는 설비 비용을 줄일 수 있으며, 얇은 두께의 대면적 마스크시트를 형성할 수 있는 효과가 있다.

Description

마스크세트 및 마스크 제조방법{Mask set and fabricating method of Mask}
본 발명은 유기발광표시장치 제작시 사용되는 적어도 하나의 마스크를 포함하는 마스크세트 및 마스크의 제조방법에 관한 것이다.
최근 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 있고, 또한 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서, 이에 부응하는 여러 가 지 다양한 경량 및 박형의 평판표시장치가 개발되어 각광받고 있다.
다양한 평판표시장치 중에서 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Diodes : OLED)는 자발광소자로서, 비발광소자인 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD)에 사용되는 백라이트를 필요로 하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다.
그리고, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다.
한편, 이러한 유기발광표시장치는 애노드 및 캐소드전극을 제외한 나머지 구성요소인 정공주입막, 정공수송막, 발광물질막, 전자수송막 및 전자주입막 등과 같은 유기발광층은 통상 진공열증착방법을 통해 형성하게 되는데, 진공열증착방법은 진공챔버 내부에서 유기물이 분말상태로 담겨져 있는 도가니(Crucible)에 열을 가해, 유기물을 가열 승화시켜 증착하는 방법이다.
이때, 원하는 패턴을 갖는 유기발광층이 다수일 경우 다수의 개구부를 갖는 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask, 이하 ‘마스크’라 한다)를 이용하는 열증착법이 알려져 있다.
다수의 개구부를 갖는 마스크를 증착기판과 근접하여 위치시킨 후, 유기발광물질을 마스크 통해 증착기판에 증착시킴으로써, 소정의 패턴형태로 다수의 이격하는 패턴을 갖는 유기발광층을 형성하는 것이다.
여기서, 증착기판 상에 원하는 증착 패턴을 형성하기 위해서는, 마스크를 증착기판과 이격이 없도록 밀착시키는 것이 중요한데, 이를 위해 마스크 상의 증착물질을 통과시키는 복수개의 개구부 간 위치 정밀도를 엄격하게 재현해 고정시켜야 한다.
이를 위해 마스크를 제작하는데 있어서도 목표 화소위치정확도(Pixel Position Accuracy : PPA)를 만족하도록 설계하는 것이 중요하다.
여기서, 마스크 제작시 개구부의 설계목표위치 대비 마스크 개구부의 위치정확도를 제작PPA라 정의할 수 있으며, 진공챔버 내에서 유기발광물질을 증착시키는 과정에서 마스크의 개구부들의 위치가 변화됨에 따라 발생되는 증착기판 상에 증착된 패턴의 위치정확도는 증착PPA라 정의할 수 있다.
최근 유기발광표시장치의 경우 양산용으로 6세대 하프 크기까지 와 있으나, 7세대, 8세대 등의 대면적화가 불가피한 실정으로, 초고해상도의 패턴 형성을 위해 더미세한 개구부의 크기와 조밀한 개구부 간 간격이 요구되는 실정이다.
고해상도의 패턴 형성을 위해서는 화소 미세화와 쉐도우 현상(Shadow Effect) 방지를 위해 마스크의 두께 또한 얇아져야 하나, 현재 상용화된 기술로는 일정 두께 이하로 구현하기 어려운 문제점이 있다.
고해상도의 정밀 개구부 가공을 위하여 마스크를 얇게 제작할 경우, 마스크 자체에 움이 발생하게 되고, 중력방향으로의 처짐에 의해 제작PPA와 증착PPA를 일치시키기 어려운 실정이다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기존 마스크의 제조 한계 및 마스크 대면적화의 기술적 한계를 극복하고, 마스크의 정밀도 및 기계적인 강도를 향상시킨 마스크를 제공하는 것을 제 1 목적으로 한다.
이를 통해, 본 발명은 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층 패턴을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있는 유기발광표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 제 2 목적으로 한다.
전술한 바와 같이 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 적어도 하나의 마스크를 포함하는 마스크세트에 있어서, 상기 적어도 하나의 마스크는 개구영역이 정의된 마스크프레임과, 상기 개구영역에 대응하여 패턴부가 구비되며, 상기 패턴부의 가장자리를 따라 지지부가 정의된 마스크시트와, 상기 지지부의 배면 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치하는 제 1 접착 도금막을 포함하며, 상기 패턴부는 다수의 개구부가 구비된 다수의 셀부와, 상기 다수의 셀부 사이로 정의되며 다수의 더미홀이 구비된 베젤부를 포함하는 마스크세트를 제공한다.
여기서, 상기 지지부의 배면과 상기 마스크프레임의 상면 접착패드가 개재되며, 상기 제 1 접착 도금막은 상기 접착패드 외부로 노출된 상기 지지부의 배면과 상기 접착패드의 내측면 그리고 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치하며, 상기 적어도 하나의 마스크는 상기 셀부에 R 서브픽셀에 대응하는 R 개구부가 구비된 적색 마스크와, 상기 셀부에 G 서브픽셀에 대응하는 G 개구부가 구비된 녹색 마스크와, 상기 셀부에 B 서브픽셀에 대응하는 B 개구부가 구비된 청색 마스크를 포함하며, 상기 R, G, B 개구부는 각각 상기 셀부에서 서로 상이한 위치에 배치되며, 상기 적색, 녹색, 청색 마스크의 상기 다수의 더미홀은 상기 베젤부에서 서로 동일한 위치에 위치한다.
그리고, 상기 셀부의 RD(Rib Density)값과 상기 베젤부의 RD(Rib Density)값에 의한 근사수준값(Approximation Level : AL)은 AL = |(BRD-CRD) χ BRD| ≤ 0.1 로 정의되며, 상기 다수의 개구부와 상기 다수의 더미홀은 테이퍼 형상으로 이루어진다.
그리고, 상기 접착패드는 상기 마스크프레임으로부터 상기 개구영역을 향해 돌출되는 돌출부를 포함하며, 상기 접착패드는 전도성 물질을 포함한다.
또한, 상기 제 1 접착 도금막은 50 ~ 250㎛의 두께를 가지며, 상기 제 1 접착 도금막은 상기 마스크시트와 상기 마스크프레임과 동일한 재질로 이루어진다. 여기서, 상기 제 1 접착 도금막용 용액은 Ni 또는/및 Fe를 포함하며, 상기 지지부의 상면 가장자리 일부와 측면을 덮으며, 상기 접착패드의 외측측면 그리고 상기 마스크프레임의 상면 일부까지 덮어 위치하는 제 2 접착 도금막을 더 포함한다.
그리고, 상기 제 2 접착 도금막은 상기 제 1 접착 도금막과 동일 재질로 이루어지며, 상기 마스크시트의 배면으로 상기 더미홀에 대응하여 베젤부 가림부를 더 포함한다.
또한, 상기 베젤부 가림부는 고분자 필름으로 이루어지거나, 또는 고분자 필름과 마스크시트의 배면 사이로 점착층이 더욱 개재되는 2층 구조로 이루어지며, 상기 베젤부 가림부는 자외선 또는 열에 의해 경화된다.
그리고 상기 마스크시트의 배면으로, 상기 지지부 및 상기 베젤부에 대응하는 가림시트를 더 포함하며, 상기 가림시트는 상기 접착패드와 상기 마스크프레임 사이로 위치하며, 상기 제 1 접착 도금막은 상기 가림시트의 측면을 덮어 위치한다.
여기서, 상기 마스크프레임은 상기 베젤부에 대응하여 상기 마스크프레임의 서로 마주보는 가장자리프레임을 연결하는 리브(Rib)를 더욱 포함하며, 상기 지지부의 배면과 상기 마스크프레임의 측면에는 도전성접착제가 위치하며, 상기 제 1 접착 도금막은 상기 도전성접착제 상부로 상기 지지부의 배면과 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치한다. 또한, 본 발명은 a) 도전막이 증착된 음극모판 상부로 제 1 및 제 2 절연패턴을 구비하는 단계와, b) 1차 전주 도금(electroforming)을 수행하여 상기 도전막 상부로 도금막을 형성하는 단계와, c) 상기 도금막 상부로, 상기 도금막의 가장자리를 따라 마스크프레임을 접착하는 단계와, d) 상기 마스크프레임에 인접한 상기 도금막 표면 일부와 상기 마스크프레임의 일부를 노출하도록, 상기 음극모판의 전면으로 절연막을 형성하는 단계와, e) 상기 절연막 외부로 노출된 상기 도금막 표면 일부와 상기 마스크프레임의 일부에 2차 전주 도금을 수행하여 제 1 접착 도금막을 형성하는 단계와, f) 상기 도전막을 포함하는 상기 음극모판과 상기 절연막 그리고 상기 절연패턴을 제거하여 마스크시트를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 마스크시트는 셀부와 베젤부에 상기 절연패턴에 대응하는 개구부와 더미홀을 포함하는 마스크 제조방법을 제공한다.
여기서, 상기 a) 단계 이전에, 유리기판 상에 도전패턴을 구비하는 단계와, 1차 전주도금을 수행하여 상기 도전패턴 상부로 상기 도금막을 형성하는 단계를 더욱 포함하며, 상기 b) 단계 이후, 상기 도금막 상부로, 상기 도금막의 가장자리를 따라 접착패드를 통해 상기 마스크프레임을 접착하는 단계를 더욱 포함한다.
상기 접착패드는 전도성 물질을 포함하며, 상기 제 1 접착 도금막 형성 단계에서, 상기 접착패드는 상기 마스크프레임으로부터 인가되는 전압이 상기 도전막으로 전달되는 통로역할과 패드자체에서 전자를 배출하면 금속이 석출되는 전주도금이 되는 전극의 역할을 한다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 마스크의 마스크시트의 패턴부 내의 베젤부 상에 더미홀들이 구비되도록 함으로써, 다수의 개구부가 구비된 셀부와 베젤부의 강성 편차를 줄일 수 있어, 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)와 증착PPA를 최소화 하는 효과를 갖는다.
이를 통해, 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층 패턴을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크의 마스크시트를 전주 도금(electroforming) 방식으로 인바 박판으로 형성함으로써, 마스크시트를 형성하는 공정을 단순화 할 수 있고, 이를 제조하는 설비 비용을 줄일 수 있으며, 얇은 두께의 대면적 마스크시트를 형성할 수 있는 효과가 있다.
또한, 마스크시트가 마스크프레임과 접착패드 및 제 1 접착 도금막을 통해 일체로 형성되기 때문에, 마스크시트의 처짐이 발생하는 것을 더욱 방지할 수 있으며, 그로 인해 마스크를 이용하여 정확한 위치에 소정 패턴을 증착할 수 있어, 이를 통해서도 증착PPA를 향상시키는 효과가 있다.
또한, 마스크의 접착패드와 제 1 접착 도금막이 마스크시트의 가장자리를 따라 위치함에 따라, 마스크프레임 방향으로 마스크시트에 자연적으로 힘이 가해진 상태로 마스크시트를 마스크프레임 상에 안착하여 접착 및 지지할 수 있어, 마스크시트를 별도로 인장하고 정렬하는 과정을 수행할 필요없이 팽팽하게 마스크프레임 측으로 당겨진 마스크시트를 마스크프레임과 일체로 형성할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 사시도.
도 2a 및 도 2b는 개구부를 개략적으로 도시한 평면도 및 사시도.
도 3은 적색, 녹색, 청색 마스크의 CRD값을 산정한 그래프.
도 4a 및 도 4b는 마스크의 CRD와 BRD 설계에 따른 제작PPA를 모사한 변위분포도.
도 5a 및 도 5b는 마스크의 CRD와 BRD 설계에 따른 증착PPA를 모사한 변위분포도.
도 6a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도.
도 6b는 도 6a의 A를 확대 도시한 확대도.
도 7a와 도 7b는 본 발명의 제 1 실시예의 변형예로 도 6a의 A를 확대 도시한 확대도.
도 8a ~ 8c는 셀부와 베젤부를 개략적으로 도시한 평면도.
도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크를 사용하여 기판 상에 형성된 유기발광층을 개략적으로 도시한 평면도.
도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ'선을 따라 자른 단면도.
도 11a ~ 11g는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 제조 과정을 공정순서에 따라 도시한 공정개략도.
도 12는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크의 배면을 개략적으로 도시한 배면평면도.
도 13 및 도 14는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도.
도 15는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도.
도 16a는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도.
도 16b는 도 16a의 배면평면도이다.
도 17은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
- 제 1 실시예 -
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 사시도이며, 도 2a 및 도 2b는 개구부를 개략적으로 도시한 평면도 및 사시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 크게 사각형 형태의 마스크프레임(110)과, 마스크프레임(110)에 안착되는 마스크시트(120)로 구성된다.
마스크프레임(110)은 중앙에 대략 직사각형 형태의 개구영역(G)을 가지는 사각의 테 형상으로, 일정두께를 갖는 제 1 내지 제 4 가장자리프레임(110a, 110b, 110c, 110d)을 포함한다.
이러한 마스크프레임(110)의 개구영역(G) 내에는 마스크시트(120)가 위치하는데, 마스크프레임(110)은 열변형 등을 고려하여 마스크시트(120)와 동일한 재질로 구성되는 것이 바람직하다.
마스크시트(120)는 다수의 개구부(130)가 구비된 패턴부(121)와, 패턴부(121)의 가장자리를 따라 배치되는 지지부(123)로 정의되는데, 여기서 마스크시트(120)의 패턴부(121)와 지지부(123)는 형성된 위치에 따라 명칭과 부호를 달리 기재하였지만, 패턴부(121)와 지지부(123)는 서로 분리된 영역이 아니며, 동일한 재질을 가지며 일체로 연결되는 구성이다.
다시 말해, 패턴부(121)와 지지부(123)는 모두 마스크(100)를 형성하는 전주 도금(Electroforming) 공정에서 전착 도금되어 동시에 형성되는 도금막 또는 마스크시트(120)의 각 부분이다. 마스크(100) 제조공정에 대해서는 추후 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
이러한 마스크시트(120)는 마스크프레임(110)에 대응하는 형상으로 이루어지는데, 마스크시트(120)의 네 가장자리에 정의된 지지부(123)는 각각 마스크프레임(110)의 제 1 내지 제 4 가장자리프레임(110a, 110b, 110c, 110d) 상에 지지되어 고정된다.
이와 같이 마스크프레임(110)이 마스크시트(120)의 가장자리를 둘러 지지하게 됨에 따라, 마스크시트(120)는 쳐지거나 뒤틀리지 않게 팽팽하게 지지될 수 있다.
여기서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)의 지지부(123)가 용접되어 고정되는 것이 아닌, 접착패드(140, 도 6a 참조)를 통해 서로 접착되어 고정된다.
이때, 접착패드(140, 도 6a 참조)는 유기계 고분자 재료에 도전성 재료를 분산한 재료로 이루어지는데, 마스크 세정 공정시 반응하지 않도록 내화학성이 강한 에폭시 계열의 유기재료를 사용하는 것이 바람직하다.
그리고 도전성 재료는 카본, Ag, Cu, Ni 등 금속 파우더 또는 나노와이어 등을 포함할 수 있다. 이를 통해 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 제 1 접착 도금막(150, 도 6b 참조)을 더욱 포함할 수 있다.
마스크시트(120)의 패턴부(121)에는 유기발광표시장치(300, 도 10 참조)의 표시영역(AA, 도 10 참조)에 대응되는 일정한 크기를 갖는 다수개의 셀부(125)가 구성되며, 다수개의 셀부(125) 사이로 베젤부(127)가 구성된다.
여기서, 스마트폰과 같은 소형표시장치의 경우, 마스크(100)에 포함된 복수의 증착영역 중 어느 하나의 셀부(125)는 하나의 표시장치를 형성하기 위한 것일 수 있다. 이에 따라, 하나의 마스크(100)는 복수의 셀부(125)를 포함할 수 있어, 여러 개의 표시장치를 동시에 형성할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
이와 다르게, 텔레비전과 같은 대형표시장치의 경우, 하나의 마스크(100)에 포함된 여러 개의 셀부(125)가 하나의 표시장치를 형성하기 위한 일부일 수 있다.
즉, 마스크시트(120)의 패턴부(121)에는 셀부(125)와 베젤부(127)가 정의되는데, 증착기판 상에 유기발광물질을 증착할 때는 마스크시트(120)의 각 셀부(125)가 표시장치의 표시영역(AA, 도 10 참조)에 대응하도록 배치되며, 마스크시트(120)의 베젤부(127)는 표시장치의 주변영역 즉, 비표시영역(BA, 도 10 참고)에 대응하도록 배치된다.
각각의 셀부(125)는 소정의 간격으로 이격하여 가열 승화되는 유기물(미도시)이 통과할 수 있도록 각각이 증착기판 상에 정의된 서브픽셀(R-SP, G-SP, B-SP, 도 10 참고)에 대응되는 일정한 크기를 갖는 다수의 개구부(130)와 다수의 개구부(130) 사이의 차폐부(135)를 포함한다.
이러한 다수의 개구부(130) 각각을 통과하여 증착 물질이 증착기판 상에 증착되게 된다.
도 2a 와 도 2b를 참조하여 셀부(125)를 확대하면, R, G, B 서브픽셀(R-SP, G-SP, B-SP, 도 10 참조)에 대응하는 복수의 개구부(130)들을 확인할 수 있다. 개구부(130)들은 측면(131)이 기울어진 형상, 테이퍼(Taper) 형상, 또는 상부에서 하부로 갈수록 패턴 폭이 넓어지는 형상을 가질 수 있다.
따라서, 마스크(100)에 있어 증착기판과 마주하는 면의 개구부(130) 크기와 증착원과 마주한 면의 개구부(130) 크기가 다르게 형성되게 되는데, 이를 통해, 유기발광물질을 이용한 증착공정 진행 시의 쉐도우 현상(Shadow Effect)을 최소화할 수 있게 된다.
여기서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 다수개의 셀부(125) 사이로 정의되는 베젤부(127)에 더미홀(200)들이 구비되는 것을 특징으로 한다.
더미홀(200)들에 의해 마스크시트(120)의 베젤부(127)는 개구부(130)들을 포함하는 셀부(125)와 유사한 RD(Rib Density)값을 가지게 되는데, 여기서 베젤부(127)의 RD값은 더미홀(200)에 의해 남은 베젤부(127)의 부피를 더미홀(200)가 없는 이상적 상태의 부피로 나눈 값으로, 즉 베젤부(127)의 밀도를 의미하게 된다.
그리고, 셀부(125)의 RD 값은 개구부(130)를 제외한 셀부(125)의 부피를 개구부(130)가 없는 이상적인 셀부(125)의 부피로 나눈 값으로 정의된다.
여기서 RD값의 근사수준값(Approximation Level : AL)은 아래 (식 1)을 만족할 수 있는데,
(식 1)
AL = |(BRD-CRD) χ BRD| ≤ 0.1
여기서 BRD는 마스크(100)의 베젤부(127)의 RD값을 의미하며, CRD는 마스크(100)의 셀부(125)의 RD값을 의미한다.
즉, 베젤부(127)의 RD값과 셀부(125)의 RD값의 근사수준값이 0.1 이하를 만족하도록 하는 것이다.
이를 통해, 다수의 더미홀(200)들을 포함하는 베젤부(127)가 개구부(130)들을 포함하는 셀부(125)와 유사한 RD(Rib Density)값을 가지게 되는 것이다.
이와 같이, 마스크시트(120)의 베젤부(127)와 셀부(125)가 근사수준값이 0.1 이하를 만족하도록 유사한 RD값을 갖도록 설계함으로써, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 셀부(125)와 베젤부(127) 간의 강성 차이를 줄일 수 있게 된다.
즉, 셀부(125)에서는 많은 개구부(130)들이 위치하고 있기 때문에 상대적으로 베젤부(127)에 비해 강성이 약해질 수 있는데, 베젤부(127)에 셀부(125)와 유사한 RD값을 가질 수 있도록 더미홀(200)들을 형성함으로써, 베젤부(127)와 셀부(125)의 강성 편차를 줄일 수 있는 것이다.
마스크시트(120)의 베젤부(127)와 셀부(125)의 강성 편차를 줄임에 따라, 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)가 최소화되게 되므로, 증착PPA를 향상시키게 된다.
따라서, 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층 패턴을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있게 되는 것이다.
아래 (표 1)은 베젤부(127)의 더미홀(200)의 폭을 조정(BRD = 0.58 ~ 1.00)하면서 제작PPA를 모사한 실험결과이다.
위의 (표 1)을 살펴보면, RD값의 근사수준값(AL)이 작아질수록 제작PPA 또한 줄어드는 것을 확인할 수 있다. 따라서, 베젤부(127)의 RD값과 셀부(125)의 RD값은 근사수준값(AL)이 0.1 이하를 만족하도록 함으로써, 최소화된 제작PPA를 갖도록 설계할 수 있는 것이다.
첨부한 도 3은 적색, 녹색, 청색 마스크의 CRD값을 모사한 그래프로, 가로축은 근사수준값(AL)을 나타내며, 세로축은 제작PPA를 나타낸다. 이때 BRD는 더미홀(200)이 없는 1.0으로 고정하였다.
Sample A, Sample B, Sample C는 8세대 크기의 각 적색, 녹색, 청색 마스크를 나타내며, Sample D는 모바일에 사용되는 녹색 마스크를 나타내며, Sample E, Sample F, Sample G는 각각 QXGA(Quad eXtended Graphics Array)　표시장치에 사용되는 적색, 녹색, 청색 마스크를 나타낸다.
첨부한 도 3을 참조하면, Sample A, Sample B, Sample C, Sample D, Sample E, Sample F, Sample G 모두 제작PPA를 5 ~ 6㎛(모바일의 경우, 3 ~ 4㎛ 수준) 수준으로 낮추어 설계하고자 하는 경우, 근사수준값(AL)은 0.1 이하를 만족하도록 하는 것이 바람직한 것을 확인할 수 있다.
여기서 첨부한 도 4a 및 도 4b와 아래 (표 2)는 마스크(100)의 CRD와 BRD 설계에 따른 제작PPA를 모사한 실험결과로, 마스크(100)의 변위분포도를 나타낸다.
실험을 위하여, 길이방향의 양 끝단에 모서리베젤부(Edge Bezel : EBZ)를 구현하였는데, 도 4a와 도 4b 모두 마스크시트(120)는 Ni 금속을 포함하는 인바(Invar)박판으로 이루어지며, 2200mm * 500mm의 크기와 10㎛의 두께로 이루어진다.
첨부한 도 4a와 4b의 Sample들은 근사수준값(AL)의 설계 차이만을 보기 위하여 모두 본 발명의 제 1 실시예와 같이 마스크시트(120)의 네 가장자리를 접착패드(140)를 통해 마스크프레임(110)에 접착하여 고정하였다.
이때, 도 4a(sample 6)는 CRD가 0.58, BRD는 1.0으로 근사수준값(AL)은 0.42를 만족하도록 설계되었으며, 도 4b(sample 1)는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)와 같이 CRD와 BRD가 모두 0.58로 설계되어 근사수준값(AL)은 0을 만족하도록 설계하였다.
도 4a와 도 4b에서 붉은색 부분은 응력이 집중되어 변위가 발생하는 부분이며 파란색 부분이 응력이 제일 약해 변위가 발생되지 않은 부분으로, 도 4a(sample 6)는 모서리베젤부(EBZ)에 인접해서 변위가 발생된 모습을 확인할 수 있다.여기서, 도 4a의 변위량의 면내 분포를 살펴보면 동일한 형태로 모서리베젤부(EBZ)로부터 중심방향을 향해 등변위가 일정하게 생기는 것을 확인할 수 있는데, 이는 베젤부와 셀부의 근사수준값(AL) 값이 달라 마스크시트(120)의 베젤부(127)와 셀부(125)의 강성 편차가 발생함에 의해 기인된다.
이러한 도 4a(sample 6)는 제작PPA가 최대 14.6㎛을 갖게 된다.
이에 반해, 도 4b의 sample 1은 변위가 발생되지 않은 것을 확인할 수 있는데, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 sample 1은 마스크시트(120)의 베젤부(127)와 셀부(125)의 강성 편차를 줄임에 따라, 변위가 발생하지 않는 것으로 해석될 수 있다.
이러한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 sample 1은 제작PPA가 최대 1.6㎛로, 최근 요구되어지고 있는 마스크(100)의 제작PPA가 3㎛임을 감안하면, 매우 개선된 것을 확인할 수 있다.
한편, 위의 (표 1)에서 제작PPA와 근사수준값(AL)과의 관계를 아래 (식 2)와 같이 2차식으로 근사화할 수 있는데, 제작PPA를 y라 정의하고, 근사수준값(AL)을 a라 정의하면,
(식 2)
y = 24.14a2 + 20.52a + 1.62
를 정의할 수 있다.
(식 2)로부터 제작PPA가 3㎛을 만족하는 근사수준값(AL)을 계산하면 0.024이다.
쉽게 설명하면, CRD가 0.58이 요구되는 제품을 8세대 크기에 배치하여 마스크를 형성하고, 제작PPA에 큰 영향을 주는 모서리베젤부(EBZ)를 200mm로 구성할 경우, 베젤부(127)의 RD값인 BRD는 0.594(;AL=0.024) 이하로 설계해야 제작PPA를 3㎛ 이하로 제작할 수 있는 것이다.
여기서, 기판의 사이즈, 제품의 크기 및 해상도 등에 따라 허용하는 목표 제작PPA는 3~5㎛에서 설정될 것으로 예상된다. 하지만, 수율의 극대화를 위해서는 AL=0의 설계를 통해 제작PPA를 Zero에 수렴토록 하는 것이 바람직하다.
도 3에 예시된 대표적인 미래 제품의 마스크(100)의 최대(Max) CRD=0.58과 최소(Min) CRD=0.80을 목표 제작PPA를 4㎛로 설정할 경우 AL은 각각 0.1과 0.03 이하를 만족해야 한다.
여기서 첨부한 도 5a 및 도 5b와 아래 (표 3)은 마스크(100)의 CRD와 BRD 설계에 따른 증착PPA를 측정한 실험결과로, 마스크(100)의 변위분포도를 나타낸다.
실험을 위하여, 길이방향의 양 끝단에 모서리베젤부(EBZ)를 구현하였는데, 도 5a와 도 5b 모두 마스크시트(120)는 Ni 금속을 포함하는 인바(Invar)박판으로 이루어지며, 2200mm * 500mm의 크기와 10㎛의 두께로 이루어진다.
첨부한 도 5a와 5b의 Sample들은 근사수준값(AL)의 설계 차이만을 보기 위하여 모두 본 발명의 제 1 실시예와 같이 마스크시트(120)의 네 가장자리를 접착패드(140)를 통해 마스크프레임(110)에 접착하여 고정하였다.
이때, 도 5a(sample 6)는 CRD가 0.58, BRD는 1.0으로 근사수준값(AL)은 0.42를 만족하도록 설계되었으며, 도 5b(sample 1)는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크와 같이 CRD와 BRD가 모두 0.58로 설계되어 근사수준값(AL)은 0을 만족하도록 설계하였다.
그리고, 증착공정 시 마스크프레임의 온도는 25℃ 로 고정되고, 마스크시트(120)의 온도는 35℃까지 10℃ 상승한다고 가정하였을 때, 증착PPA를 모사하였다. 여기서 증착PPA의 영향만 보기 위하여 두 Sample 모두 제작PPA를 Zero로 설정하고 모사하였다.
도 5a(sample 6)는 모서리베젤부(EBZ)에 인접해서 변위가 발생된 모습을 확인할 수 있는데, 이러한 도 5a(sample 6)는 증착PPA가 최대 8.74㎛을 갖게 된다. 이에 반해, 도 5b의 sample 1은 변위가 발생되지 않은 것을 확인할 수 있는데, 증착PPA는 최대 0.92㎛로, sample 6에 비해 증착PPA가 향상된 것을 확인할 수 있다.
이는 곧, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 연속적인 공정을 통해 증착공정이 10℃까지 상승하더라도, 증착PPA를 균일하게 형성할 수 있는 것이다.
도 6a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 6b는 도 6a의 A를 확대 도시한 확대도이다.
도 7a와 도 7b는 본 발명의 제 1 실시예의 변형예로 도 6a의 A를 확대 도시한 확대도이다.
도 6a에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크프레임(110)의 개구영역(G)에 대응하여 마스크시트(120)의 패턴부(121)가 위치하도록, 마스크시트(120)의 가장자리를 따라 정의된 지지부(123)가 마스크프레임(110) 상에 안착되어 지지 및 접착된다.
이때, 마스크시트(120)의 패턴부(121)에 구비된 다수의 셀부(125)에는 각각 다수의 개구부(130)가 구성되는데, 각각의 개구부(130)는 측면(도 2b의 131)이 기울어진 형상, 테이퍼(Taper) 형상, 또는 상부(증착기판을 향하는 일면)에서 하부(증착원을 향하는 일면)로 갈수록 패턴 폭이 넓어지는 형상을 가질 수 있다.
즉, 개구부(130)는 제 1 표면측(a)의 폭이 제 1 표면측(a)의 반대측인 제 2 표면측(b) 보다 크게 형성되어, 개구부(130)를 이루는 측면(도 2b의 131)이 증착방향을 따라 점차적으로 폭이 좁아지도록 기울어진 테이퍼 구조를 갖게 된다.
그리고 다수의 셀부(125) 사이로 정의되는 베젤부(127)에 구비된 다수의 더미홀(200) 또한 개구부(130)와 마찬가지로 증착방향을 따라 점차적으로 폭이 좁아지도록 기울어진 테이퍼 구조를 가질 수 있다.
이러한 마스크시트(120)는 가장자리를 따라 정의된 지지부(123) 하부로 접착패드(140)가 구비되어, 마스크프레임(110) 상에 안착되어 지지 및 접착되게 되는데, 접착패드(140)는 에폭시 수지계 접착제 등으로 이루어질 수 있는데, 예를 들어 접착성을 갖는 폼(Foam)형태로 이루어져, 마스크시트(120) 또는 마스크프레임(110)이 받는 충격을 완충함으로써 서로에게 전달되는 충격력을 줄이는 역할을 할 수도 있다.
접착패드(140)는 약 10 ~ 100㎛의 얇은 두께를 가질 수 있는데, 마스크프레임(110)의 가공 평탄도가 최대 100㎛일 수 있으므로, 접착패드(140)를 마스크시트(120)와 마스크프레임(110) 사이에 개재하여도 접착패드(140)에 의한 단차에는 거의 영향을 주지 않는다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 접착패드(140)와 접착되지 않은 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부와 마스크프레임(110) 사이로 제 1 접착 도금막(150)이 더욱 도포되는 것을 특징으로 한다.
제 1 접착 도금막(150)은 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부로부터 접착패드(140)의 내측측면을 덮어 마스크프레임(110)의 측면까지 연장되어 도포될 수 있다.
이러한 제 1 접착 도금막(150)은 마스크(100)의 잔류응력과 중력에 의해 접착패드(140)에 인가되는 전단응력에 의한 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)의 변위가 일어나는 것을 방지하는 역할을 하게 된다.
이러한 제 1 접착 도금막(150)은 50 ~ 250㎛의 두께로 도포될 수 있는데, 제 1 접착 도금막(150)의 두께가 50㎛ 이하로 도포되는 경우, 마스크시트(120) 및 마스크프레임(110)의 접착력을 유지하기에는 제 1 접착 도금막(150)의 접착력이 매우 약해 실질적으로 접착성을 갖기 어려우며, 또한 마스크시트(120)의 지지부(123)와 마스크프레임(110) 사이의 갭을 채우지 못할 수 있다.
따라서, 공극(void)가 형성될 수 있어, 추후 세정공정 등에서 세정액 등이 공극(Void) 내부로 침투될 수 있다.
이는 건조과정에서 잔류된 상태로 증착기에 장입될 경우, 유기발광물질을 증착하는 과정에서 증발되어 유기발광물질의 이물로 반응하여, 유기발광층의 수명 등에 영향을 미칠 수 있다.
또한, 제 1 접착 도금막(150)의 두께가 250㎛ 이상으로 도포되는 경우에는, 도금막 자체의 스트레스로 인하여 막들뜸의 문제가 발생길 수 있다.
즉, 250㎛ 이상의 두께를 갖는 제 1 접착 도금막(150) 형성 자체가 어렵기 때문이다.
특히, 마스크프레임(110)을 리사이클(recycle) 하는 과정에서, 제 1 접착 도금막(150)이 너무 두껍게 도포되어 형성되는 경우, 제 1 접착 도금막(150)을 제거하기 매우 어려워지게 되므로, 제 1 접착 도금막(150)의 두께는 200㎛로 도포되도록 하는 것이 바람직하다.
제 1 접착 도금막(150)은 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)와의 열변형 등을 고려하여 동일한 재질로 이루어지도록 하는 것이 바람직한데, 특히 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)를 금속결합을 잘 할 수 있도록 Ni 또는 Ni 합금으로 하는 것이 바람직하다.
즉, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)가 접착패드(140)와 제 1 접착 도금막(150)을 매개로 하여 상호 일체로 연결되는 것이다.
이때, 접착패드(140)와 제 1 접착 도금막(150)은 마스크시트(120)의 가장자리를 따라 위치함에 따라 마스크시트(120)의 잔류응력에 의해 마스크프레임(110) 방향으로 마스크시트(120)에 인장력이 가해지는 상태로 마스크시트(120)를 마스크프레임(110) 상에 안착하여 접착 및 지지할 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크시트(120)를 별도로 인장하고 정렬하는 과정을 수행할 필요없이 팽팽하게 마스크프레임(110) 측으로 당겨진 마스크시트(120)를 마스크프레임(110)과 일체로 형성할 수 있게 된다.
한편, 접착패드(140)는 도 7a에 도시한 바와 같이 마스크프레임(110)으로부터 상기 개구영역(G) 내부로 더욱 돌출되어 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면에 부착될 수 있다.
돌출된 접착패드(140)를 포함하여 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부와 마스크프레임(110)의 측면으로는 제 1 접착 도금막(150)이 도포될 수 있다.
이와 같이 접착패드(140)를 마스크프레임(110)으로부터 돌출되도록 하여 마스크시트(120)의 지지부(123)의 배면에 부착되도록 함으로써, 마스크시트(123)와 마스크프레임(110) 그리고 제 1 접착 도금막(150) 사이로 별도의 공극(Void)이 형성되는 것을 방지할 수 있다.
마스크(100)의 마스크시트(120)와 마스크프레임(110)의 접합구조 내에서 공극(Void)이 형성되는 경우, 마스크(100)의 제작PPA의 변위가 발생할 수 있으며, 마스크(100) 세정공정 등에서 세정액 등이 공극(Void) 내부로 침투된 후, 건조과정에서 잔류된 상태로 증착기에 장입될 경우, 유기발광물질을 증착하는 과정에서 증발되어 유기발광물질의 이물로 반응하여, 유기발광층의 수명 등에 영향을 미칠 수 있기 때문이다.
접착패드(140)는 마스크프레임(110)으로부터 약 50 ~ 500㎛ 돌출되도록 형성할 수 있는데, 접착패드(140)의 돌출부(140a)의 폭을 50㎛ 이하로 형성하게 되는 경우에는 마스크시트(120)의 지지부(123)의 배면에 부착된 접착패드(140)를 마스크프레임(110) 상에 접착하는 과정에서 공정편차에 의해 마스크시트(120)와 마스크프레임(110)의 접합구조 내에서 공극(Void)이 형성될 수 있기 때문이다.
또한, 접착패드(140)가 500㎛ 이상의 폭으로 돌출부(140a)를 갖도록 형성하는 경우에는 200㎛의 두께로 도포되는 제 1 접착 도금막(150)의 단락이 발생할 수 있기 때문이다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 도 7b에 도시한 바와 같이, 마스크시트(120)의 지지부(123) 상면 가장자리 일부와 측면으로부터 접착패드(140)의 외측측면 그리고 마스크프레임(110)의 상면 일부를 덮도록 제 2 접착 도금막(160)을 더욱 형성할 수도 있다.
이를 통해, 마스크(100) 끝단의 강성을 더욱 향상시킬 수 있다.
여기서, 제 2 접착 도금막(160)은 제 1 접착 도금막(150)과 동일한 재질로 이루어질 수 있으며, 20㎛ 이하의 두께를 갖도록 도포하는 것이 바람직한데, 제 2 접착 도금막(160)의 두께가 20㎛ 이상으로 형성되는 경우 증착기판 모서리부와 마스크(100)가 서로 밀착되지 않는 경우가 발생할 수 있다. 이는 증착PPA의 변위를 발생시킬 수 있다.
정리하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크시트(120)의 패턴부(121) 내의 베젤부(127) 상에 더미홀(200)들을 더욱 구비함으로써, 다수의 개구부(130)가 구비된 셀부(125)와 베젤부(127)의 강성 편차를 줄일 수 있게 된다.
따라서, 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)가 최소화되게 되므로, 증착PPA를 향상시키게 되며, 이는 결국 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층 패턴을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있게 된다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크시트(120)와 마스크프레임(110)이 접착패드(140)와 제 1 접착 도금막(150)을 통해 서로 일체로 연결되도록 함으로써, 별도의 바(bar) 형태의 다수의 마스크시트(120)를 인장하고 정렬하는 과정을 수행할 필요없이 팽팽하게 마스크프레임(110) 측으로 당겨진 마스크시트(120)를 마스크프레임(110)과 일체로 형성할 수 있다.
한편, 이러한 마스크(100)는 개구부(130)의 위치 및 사이즈에 따라 적색, 녹색, 청색 마스크로 구분될 수 있는데, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 각각의 적색, 녹색, 청색 마스크의 더미홀(200)의 위치가 모두 동일한 것을 더욱 특징으로 한다.
이에 대해 아래 도 8a ~ 8c를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 8a ~ 8c는 셀부와 베젤부를 개략적으로 도시한 평면도로, 도 8a는 적색 마스크를 나타내며, 도 8b는 녹색 마스크 그리고 도 8c는 청색 마스크를 나타낸다.
도 8a에 도시한 바와 같이, 적색 마스크의 셀부(125)에는 R 서브픽셀(R-SP, 도 10 참고)에 대응하는 복수의 R개구부(130a)들이 구비되는데, R개구부(130a)들은 기판(301, 도 10 참고) 상에 정의된 이웃하는 서브픽셀(R-SP, G-SP, B-SP, 도 10 참조) 단위로 이격되어 지그재그 형태로 형성된다.
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 셀부(125)를 가로방향인 제 1 방향으로 제 1 내지 제 9 행(1row, 2row, 3row, 4row, 5row, 6row, 7row, 8row, 9row)로 나뉘어 정의하며, 세로방향인 제 2 방향으로는 제 1 내지 제 9 열(1column, 2column, 3column, 4column, 5column, 6column, 7column, 8column, 9column)로 나뉘어 정의하면, R 개구부(130a)는 제 2 행(2row)의 제 1 열(1column) 및 제 5 열(5column), 제 9 열(9column)과 제 4 행(4row)의 제 3 열(3column) 및 제 7 열(7column), 그리고 제 6 행(6row)의 제 1 열(1column) 및 제 5 열(5column), 그리고 제 8 행(8row)의 제 3 열(3column)에 위치한다.
이때, 베젤부(127)는 가로방향인 제 1 방향으로 제 1 내지 제 13 행(1row, 2row, 3row, 4row, 5row, 6row, 7row, 8row, 9row, 10row, 11row, 12row, 13row)로 나뉘어 정의하며, 세로방향인 제 2 방향으로는 제 1 내지 제 13 열(1column, 2column, 3column, 4column, 5column, 6column, 7column, 8column, 9column, 10column, 11column, 12column, 13column)로 나뉘어 정의하면, 더미홀(200)은 제 1 행(1row)의 제 5 열(5column) 및 제 9 열(9column), 제 3 열(3row)의 제 2 열(2column) 및 제 6 열(6column), 제 10 열(10column)에 위치하며, 또한, 더미홀(200)은 제 5 행(5row)의 제 3 열(3column), 제 7 열(7column), 제 11 열(11column)에 위치하며, 또한 제 7 행(7row)의 제 4 열(4column), 제 9 행(9row)의 제 1 열(1column) 및 제 5 열(5column), 제 11 행(11row)의 제 2 열(2column), 제 13 행(13row)의 제 3 열(3column)에 위치한다.
또한, 도 8b의 녹색 마스크를 살펴보면, G 개구부(130b)는 셀부(125)의 제 1 행(1row), 제 3 행(3row), 제 5 행(5row), 제 7 행(7row), 제 9 행(9row)의 각 제 2 열(2column) 및 제 4 열(4column), 제 6 열(6column), 제 8 열(8column) 위치한다.
이때 녹색 마스크의 베젤부(127)에 위치하는 더미홀(200)은 제 1 행(1row)의 제 5 열(5column) 및 제 9 열(9column), 제 3 행(3row)의 제 2 열(2column) 및 제 6 열(6column), 제 10 열(10column)에 위치하며, 또한, 더미홀(200)은 제 5 행(5row)의 제 3 열(3column), 제 7 열(7column), 제 11 열(11column)에 위치하며, 또한 제 7 행(7row)의 제 4 열(4column), 제 9 행(9row)의 제 1 열(1column) 및 제 5 열(5column), 제 11 행(11row)의 제 2 열(2column), 제 13 행(13row)의 제 3 열(3column)에 위치한다.
그리고 도 8c의 청색 마스크를 살펴보면, B 개구부(130c)는 셀부(125)의 제 2 행(2row) 및 제 6 행(6row)의 각 제 3 열(3column), 제 7 열(7column)에 위치하며, 또한 제 4 행(4row) 및 제 8 행(8row)의 각 제 1 열(1column), 제 5 열(5column), 제 9 열(9column)에 위치하며, 청색 마스크의 베젤부(127)에 위치하는 더미홀(200)은 제 1 행(1row)의 제 5 열(5column) 및 제 9 열(9column), 제 3 행(3row)의 제 2 열(2column) 및 제 6 열(6column), 제 10 열(10column)에 위치하며, 또한, 더미홀(200)은 제 5 행(5row)의 제 3 열(3column), 제 7 열(7column), 제 11 열(11column)에 위치하며, 또한 제 7 행(7row)의 제 4 열(4column), 제 9 행(9row)의 제 1 열(1column) 및 제 5 열(5column), 제 11 행(11row)의 제 2 열(2column), 제 13 행(13row)의 제 3 열(3column)에 위치한다.
즉, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 적색, 녹색, 청색 마스크 별로 각각 셀부(125)에 R, G, B 서브픽셀(R-SP, G-SP, B-SP, 도 10 참조)에 대응하여 다수의 R, G, B 개구부(130a, 130b, 130c)들이 구비되는데, 이때 각 적색, 녹색, 청색 마스크의 베젤부(127)에 위치하는 더미홀(200)들은 모두 동일한 위치에 배치되는 것이다.
이와 같이, 베젤부(127)에 더미홀(200)들을 형성함으로써 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 다수의 R, G, B 개구부(130a, 130b, 130c)가 구비된 셀부(125)와 베젤부(127)의 강성 편차를 줄일 수 있어, 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)가 최소화되게 되므로, 증착PPA를 향상시키게 되며, 이는 결국 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층 패턴을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있게 된다.
특히, 베젤부(127)의 더미홀(200)들의 위치가 적색, 녹색, 청색 마스크에서 모두 동일한 위치에 위치하도록 함으로써, 유기발광표시장치(300, 도 10 참조) 내부로 비표시영역(BA, 도 10 참조)을 통해 외부로부터 수분 및 산소 등이 침투하는 것을 방지할 수 있다.
이에 대해 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)를 통하여 제조된 유기발광표시장치(300, 도 10 참조)를 개략적으로 도시한 도면을 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크를 사용하여 기판 상에 형성된 유기발광층을 개략적으로 도시한 평면도이며, 도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ'선을 따라 자른 단면도이다.
도 9에 도시한 바와 같이, 유기발광표시장치(300)를 이루는 기판(301) 상에는 표시영역(AA)과 표시영역(AA)의 가장자리를 따라 비표시영역(BA)이 정의되는데, 표시영역(AA)에는 다수의 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)이 배치되어 유기발광표시장치(300)에서 영상이 표시되며, 비표시영역(BA)은 표시영역(AA) 이외의 영역으로서, 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)들을 구동하기 위한 다양한 회로, 배선 등이 배치된다.
여기서, 유기발광표시장치(300)는 표시영역(AA)이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(도 6a의 100)의 셀부(도 8c의 125)에 대응되며, 비표시영역(BA)은 베젤부(도 8c의 127)에 대응되어 형성되었다.
여기서, 표시영역(AA)에 배열된 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)들의 배치에 관해 좀더 자세히 살펴보면, 가로방향인 제 1 행(1row)에는 G 서브픽셀(G-SP)들이 제 2 방향으로 소정의 간격으로 이격되어 배치될 수 있고, 제 1 행(1row)에 인접한 제 2 행(2row)에는 R 서브픽셀(R-SP) 및 B 서브픽셀(B-SP)이 제 2 방향으로 서로 교번하여 배치될 수 있다.
그리고 제 3 행(3row)에는 G 서브픽셀(G-SP)들이 소정의 간격으로 이격되어 배치될 수 있으며, 제 4 행(4row)에는 R 서브픽셀(R-SP) 및 B 서브픽셀(B-SP)이 교번하여 배치될 수 있다. 이와 같은 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)의 배치가 기설정된 소정의 행까지 반복될 수 있다.
제 2 열(2column) 배치된 G 서브픽셀(G-SP)들은 제 1 열(1column) 및 제 3 열(3column)에 배치된 R 서브픽셀(R-SP)들 및 B 서브픽셀(B-SP)들과 서로 엇갈려 배치될 수 있다. 따라서 제 1 열(1column)에는 R 서브픽셀(R-SP) 및 B 서브픽셀(B-SP)이 제 1 방향으로 교번하여 배치되고, 제 2 열(2column)에는 G 서브픽셀(G-SP)이 제 1 방향으로 소정의 간격으로 이격하여 배치될 수 있다. 이와 같은 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)의 배치가 기 설정된 소정의 열까지 반복될 수 있다.
이때, G 서브픽셀(G-SP) 및 B 서브픽셀(B-SP)의 면적은 R 서브픽셀(R-SP) 보다 크게 형성될 수 있는데, 각 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)의 구현하고자 하는 유기발광표시장치(300)의 소자 효율과 소자수명 등을 고려하여 설계할 수 있다.
이러한 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)의 배치 구조를 펜타일 매트릭스(PenTile Matrix) 구조라고 하며, 인접한 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)을 공유하여 색상을 표현하는 렌더링(Rendering) 구동을 적용함으로써, 작은 수의 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)로 고해상도를 구현할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)의 배치 구조는 다양하게 변경될 수 있는데, 예를 들어, 스트라이프(Stripe) 배열, 모자익(Mosaic) 배열, 델타(Delta) 배열을 갖도록 설계할 수도 있다. 그리고 본 발명의 실시예에 따른 유기발광표시장치(300)는 비표시영역(BA)에 더미패턴(400)들이 구비되는데, 더미패턴(400)은 R 유기발광물질(401a)과 G 유기발광물질(401b) 그리고 B 유기발광물질(401c)이 모두 적층된 구조로 이루어진다.
즉, 비표시영역(BA)에는 R 서브픽셀(R-SP)에 R 유기발광층(313a)을 증착하는 과정에서, R 유기발광물질(401a)이 증착되게 되고, R 유기발광물질(401a) 상부로 순차적으로 G 서브픽셀(G-SP)에 증착된 G 유기발광층(313b)을 이루는 G 유기발광물질(401b) 그리고 B 서브픽셀(B-SP)에 증착된 B 유기발광층(313c)을 이루는 B 유기발광물질(401c)이 모두 적층되어 더미패턴(400)을 이루게 되는 것이다.
이에 대해 도 10을 참조하여 좀더 자세히 살펴보면, 유기발광표시장치(300)의 기판(301) 상에는 다수의 스위칭 및 구동 박막트랜지스터 등을 포함하는 화소보상회로(Tr)와 유기발광다이오드(E)가 형성되는데, 기판(301) 상에는 화상이 구현되는 표시영역(AA)과, 표시영역(AA)의 가장자리를 따라 비표시영역(BA)이 정의된다.
표시영역(AA) 내에는 게이트배선(미도시)과 데이터배선(미도시)에 의해 포획되는 영역이라 정의되는 다수의 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)이 구비되며, 데이터배선(미도시)과 나란하게 전원배선(미도시)이 구비되고 있다.
이러한 다수의 각 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP)에는 화소보상회로(Tr)가 형성되고 있고, 실질적으로 화상을 표시하는 발광영역(EA)에는 유기발광다이오드(E)를 구성하는 제 1 전극(311)이 형성되어 있다.
여기서, 화소보상회로(Tr)의 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 각각 반도체층(미도시)과, 게이트전극(미도시), 소스전극(미도시) 및 드레이전극(미도시), 그리고 게이트절연막(미도시)을 포함한다.
화소보상회로(Tr) 상부로는 트랜지스터보호절연막(306)이 구비되며, 이러한 트랜지스터보호절연막(306) 상부로는 제 1 전극(311)이 위치한다.
제 1 전극(311)은 화소보상회로(Tr)의 구동 박막트랜지스터(미도시)의 드레인전극(미도시)과 연결되며, 제 1 전극(311)은 각 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP) 별로 형성되는데, 각 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP) 별로 형성된 제 1 전극(311) 사이의 비발광영역에는 뱅크(bank : 305)가 위치한다.
이와 같은 경우에, 제 1 전극(311)은 애노드(anode) 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 높은 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 제 1 전극(311) 상부로는 적, 녹, 청색을 발광하는 R, G, B 유기발광층(313a, 313b, 313c)이 형성되어 있고, 유기발광층(313a, 313b, 313c) 상부에는 전면에 제 2 전극(315)이 형성되어 있다.
제 2 전극(315)은 캐소드(cathode)의 역할을 하기 위해 제 1 전극(311)에 비해 일함수 값이 낮은 도전성 물질로 이루어진다.
여기서, 제 2 전극(315)은 일함수 값이 제 1 전극(311)에 비해 비교적 낮은 금속물질인 예를 들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 은 마그네슘 합금(Ag:Mg) 중에서 선택된 하나의 물질을 포함한다.
그리고 R, G, B 유기발광층(313a, 313b, 313c)은 정공주입막(hole injection layer), 정공수송막(hole transporting layer), 발광물질막(emitting material layer), 전자수송막(electron transporting layer) 및 전자주입막(electron injection layer)으로 이루어진다.
여기서, 유기발광표시장치(300)는 각 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP) 별로 서로 다른 색상을 발광하는 유기발광층(313a, 313b, 313c)이 형성된다. 즉, R 서브픽셀(R-SP)에는 적색광을 발광하는 R 유기발광물질이 증착되어, R유기발광층(313a)이 R 서브픽셀(R-SP)의 발광영역(EA)의 전면으로 위치하게 된다.
G 서브픽셀(G-SP)에는 녹색광을 발광하는 G 유기발광물질이 증착되어, G 유기발광층(313b)이 G 서브픽셀(G-SP)의 발광영역(EA)의 전면으로 위치하게 되며, 그리고, B 서브픽셀(B-SP)에는 청색광을 발광하는 B 유기발광물질이 증착되어, B 유기발광층(313c)이 B 서브픽셀(B-SP)의 발광영역(EA)의 전면으로 위치하게 된다.
이에, 유기발광표시장치(300)는 선택된 색 신호에 따라 제 1 전극(311)과 제 2 전극(315)으로 소정의 전압이 인가되면, 제 1전극(311)으로부터 주입된 정공과 제 2 전극(315)으로부터 인가된 전자가 R, G, B 유기발광층(313a, 313b, 313c)으로 수송되어 엑시톤(exciton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다.
여기서, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광표시장치(300)는 상부 발광방식(Top emission type)으로, R, G, B 유기발광층(313a, 313b, 313c)으로부터 각 서브픽셀(B-SP, R-SP, G-SP) 별로 발광되는 각각의 적색광, 녹색광, 청색광은 제 2 전극(315)을 투과하여 외부로 나가게 된다.
이때, 표시영역(AA) 외측의 비표시영역(BA)에는 트랜지스터보호절연막(306) 상부로 R 유기발광물질(401a)과 G 유기발광물질(401b) 그리고 B 유기발광물질(401c)이 모두 적층된 더미패턴(400)이 위치하는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(도 6a의 100)에는 마스크시트(도 6a의 120)의 베젤부(도 5c의 127)에 더미홀(도 5c의 200)들이 구비됨으로써, 마스크시트(도 6a의 120)의 베젤부(도 5c의 127)와 셀부(도 5c의 125)의 강성 편차를 줄일 수 있다.
따라서, 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)가 최소화되게 되므로, 증착PPA를 향상시키게 되며, 고해상도 또는 초고해상도의 R, G, B 유기발광층(313a, 313b, 313c)을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있게 되는 것이다.
그리고, 이러한 더미패턴(400)을 포함하여 화소보상회로(Tr)와 유기발광다이오드(E) 상부에는 무기막, 유기막, 무기막을 차례로 입히고, 유기절연물질, 고분자 물질 중 어느 하나로 이루어진 점착제가 그 상부에 위치한 인캡 구조물(304)과 함께 얇은 박막필름 형태인 보호필름(302)을 위치시킨다.
이때 인캡 구조물(304)을 공기층 없이 기판(301) 및 보호필름(302)과 완전히 밀착하여 개재함으로써, 유기발광표시장치(300)는 인캡슐레이션(encapsulation) 된다.
이때, 본 발명의 유기발광표시장치(300)의 비표시영역(BA)에 구비되는 더미패턴(400)은 R 유기발광물질(401a)과 G 유기발광물질(401b) 그리고 B 유기발광물질(401c)이 모두 동일한 위치에 적층되어 이루어짐에 따라, 비표시영역(BA)에 더미패턴(400)이 형성되는 영역을 최소화할 수 있게 된다.
이를 통해 서로 다른 위치에 배치되어 연결되는 유기발광물질(401a, 401b, 401c)로 이루어지는 더미패턴(400)을 통해 유기발광표시장치(300) 내부로 비표시영역(BA)을 통해 외부로부터 수분 및 산소 등이 침투하는 것을 방지할 수 있다.
이하 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크의 제조방법에 대해 아래 도면들을 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 11a ~ 11g는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 제조 과정을 공정순서에 따라 도시한 공정개략도이며, 도 12는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크의 배면을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 11a에 도시한 바와 같이, 도전막(503)이 성막된 음극모판(501)을 준비한다. 음극모판(501) 상에 구비된 도전막(503)은 전주 도금(electroforming)을 수행할 수 있도록, 전주 도금에서 음극체(cathode)로 사용된다.
도전막(503)은 음극모판(501)을 이루는 유리 모기판과 접합력이 좋고, 저항이 낮으며, 도금액(미도시)과 반응하지 않고, 향후 도금막(507, 도 11c 참고)과 분리가 용이한 재료로 이루어지도록 하는 것이 바람직한데, 이를 위해 다층으로 성막될 수도 있다.
여기서 제 1 막으로 유리 모기판과 접합력이 좋은 Mo, Ti 중 어느 하나로 선택될 수 있으며, 제 2 막으로는 Cu, Al와 같은 저저항배선 중 어느 하나로 선택될 수 있으며, 제 3 막으로 도금액과 반응하지 않는 Ti, ITO 중 어느 하나로 선택될 수 있다.
다음으로 도 11b에 도시한 바와 같이, 도전막(503) 상부로 절연패턴(505)을 형성한다. 절연패턴(505)은 감광성수지로 이루어질 수 있는데, 절연패턴(505)은 포토리소그라피 공정을 통해 패터닝함으로써 형성할 수 있다.
절연패턴(505)은 패턴부(121, 도 11g 참고)의 셀부(125)와 베젤부(127)에 모두 대응하여 형성하는데, 셀부(125) 내에 형성되는 절연패턴(505)은 역테이퍼 형상으로 이루어지며, 증착하고자 하는 R, G, B 서브픽셀(도 10의 B-SP, R-SP, G-SP)에 대응하는 개구부(130, 도 11g 참고)의 배열과 같은 배열로 형성한다.
그리고 베젤부(127) 내에 형성되는 절연패턴(505)은 셀부(125) 내에 형성되는 절연패턴(505)과 같이 역테이퍼 형상으로 이루어진다.
다음으로 도 11c에 도시한 바와 같이, 절연패턴(505)을 포함하는 음극모판(501)에 도금막(507)을 도금한다.
도금은 전주 도금(electroforming)에 의해 절연패턴(505)에 의해 노출된 도전막(503) 상에 선택적으로 형성되게 되는데, 즉, 절연패턴(505)이 존재하는 부분에는 도금막(507)이 형성되지 않으며, 절연패턴(505)이 존재하지 않는 부분에 도금막(507)이 형성되게 된다.
즉, 절연패턴(505)이 절연특성을 가지므로, 절연패턴(505)과 도전막(503) 사이에는 전기장이 형성되지 않거나, 도금이 수행되기 어려운 정도의 미약한 전기장만이 형성되게 된다. 따라서, 음극모판(501)에서 도금막(507)이 생성되지 않는, 절연패턴(505)에 대응하는 부분은 도금막(507)의 패턴, 홀(Hole) 등을 구성하게 된다.
여기서, 도전막(503)의 표면으로부터 도금막(507)이 전착되면서 두꺼워지기 때문에, 절연패턴(505)의 상단을 넘기 전까지만 도금막(507)을 형성하는 것이 바람직하다. 즉, 절연패턴(505)의 두께 보다 도금막(507)의 두께가 더 작도록 형성하는 것이다.
이러한 도금막(507)은 절연패턴(505)의 패턴 공간에 채워지며 전착되므로, 도금막(507)은 셀부(125)에 대응하여 역테이퍼 형상의 절연패턴(505)에 의해 상부에서 하부로 갈수록 폭이 점차 넓어지는 테이퍼 형상을 갖게 되며, 베젤부(127)에 대응해서는 테이퍼 형상으로 이루어진다.
이에 패턴부(121, 도 11g 참고) 내의 셀부(125)와 베젤부(127)에 다수의 개구부(130, 도 11g 참고)가 구비된 마스크시트(120, 도 11g 참고)를 완성하게 된다.
도금막(507)의 두께는 7 내지 20㎛의 크기 수 내지 수십㎛의 크기, 바람직하게는 10㎛의 크기로 형성될 수 있다.
도금막(507) 용액은 Ni 이온을 포함하는 용액 및 Fe 이온을 포함하는 용액의 혼합액으로 이루어질 수 있으며, 또는 Ni 이온을 포함하는 용액, Fe 이온을 포함하는 용액 및 Co 이온을 포함하는 용액의 혼합액으로 이루어질 수도 있다.
여기서, 도금막(507) 형성용 용액이 Ni 이온을 포함하는 용액 및 Fe 이온을 포함하는 용액의 혼합액으로 이루어지는 경우 인바(Invar)박판으로 이루어지는 마스크시트(120, 도 11g 참고)를 형성할 수 있으며, 도금막(507) 형성용 용액이 Ni 이온을 포함하는 용액, Fe 이온을 포함하는 용액 및 Co 이온을 포함하는 용액의 혼합액으로 이루어지는 경우 슈퍼인바(Super Invar) 박판으로 이루어지는 마스크시트(120, 도 11g 참고)를 형성할 수 있다.
인바 박판으로 이루어지는 마스크시트(120, 도 11g 참고)는 열팽창계수가 약 2 ~ 4 X 10-6/℃이며, 슈퍼인바 박판으로 이루어지는 마스크시트(120, 도 11g 참고)는 열팽창계수가 약 1.0 X 10-6/℃ 이하로 매우 낮기 때문에 열에너지에 의해 마스크(100, 도 11g 참고)의 패턴 형상이 변형될 우려가 적다.
이 외에도 목적하는 도금막(507)을 제한없이 사용할 수 있으며, 본 발명의 제 1 실시예에서는 인바 박판으로 이루어지는 마스크시트(120, 도 11g 참고)를 제조하는 것을 주된 예로 설명하도록 한다.
이와 같이, 전주 도금 방식으로 인바 박판으로 이루어지는 마스크시트(120, 도 11g 참고)를 형성하는 경우, 마스크시트(120, 도 11g 참고)를 형성하는 공정을 단순화 할 수 있고, 이를 제조하는 설비 비용을 줄일 수 있으며, 얇은 두께(예를 들어, 10 ~ 20㎛)의 대면적 마스크시트(120, 도 11g 참고)를 형성할 수 있게 된다.
한편, 도금막(507)을 형성한 후에 도금막(507)에 열처리를 수행할 수 있는데, 열처리는 300℃ 내지 800℃의 온도로 수행할 수 있다.
일반적으로 압연으로 생성한 인바 박판에 비해, 전주 도금으로 생성한 인바 박판이 열팽창계수가 높으므로, 인바 박판에 열처리를 수행함으로써 열팽창계수를 낮출 수 있는데, 이 열처리 과정에서 인바 박판에 약간의 변형이 생길 수 있다.
따라서, 음극모판(501)과 도전막(503)이 부착된 상태에서 열처리를 수행하면, 음극모판(501)의 절연패턴(505)이 차지하는 공간 부분에 형성된 개구부(130, 도 11g 참고) 및 더미홀(200, 도 11g 참고)의 형태가 일정하게 유지되고, 열처리로 인한 미세한 변형을 방지할 수 있는 이점이 있다. 또한, 도금막(507)으로부터 음극모판(501)을 분리한 후, 개구부(130, 도 11g 참고)를 가지는 마스크시트(120, 도 11g 참고)에 열처리를 수행하여도 인바 박판의 열팽창계수를 낮추는 효과가 있다.
따라서, 마스크시트(120, 도 11g 참고)의 열팽창계수를 더 낮춤에 따라, ㎛ 스케일의 개구부(130, 도 11g 참고)의 변형을 방지하고, 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층(도 10의 313a, 313b, 313c)을 증착할 수 있는 마스크(100, 도 11g 참고)를 제조할 수 있다.
다음으로 도 11d에 도시한 바와 같이, 마스크시트(120, 도 11g 참고)의 패턴부(121, 도 11g 참고)의 가장자리를 둘러 정의되는 지지부(123, 도 11g 참고)에 대응하는 도금막(507)의 가장자리에 접착패드(140)를 통해 마스크프레임(110)을 부착한다.
접착패드(140)는 유기계 고분자 재료에 도전성 재료를 분산한 재료로 이루어지는데, 마스크(100) 세정 공정시 반응하지 않도록 내화학성이 강한 에폭시 계열의 유기재료를 사용하는 것이 바람직하다.
그리고 도전성 재료는 카본, Ag, Cu, Ni 등 금속 파우더 또는 나노와이어 등을 포함할 수 있다.
이때 도금막(507)은 마스크프레임(110)을 향하는 방향, 또는 외측 방향으로 자연적으로 힘이 가해진 상태로 접착되도록 함으로써, 도금막(507)은 외측방향으로 인장력이 가해지며 팽팽하게 마스크프레임(110) 측으로 당겨진 상태를 유지하게 된다.
마스크프레임(110)은 개구영역(G)을 갖는 사각 테 형상으로 이루어지는데, 마스크프레임(110)의 개구영역(G)에 도금막(507)이 노출되게 된다.
이러한 마스크프레임(110)은 도금막(507)과 동일한 재질로 구성되는 것이 바람직하다.
다음으로, 도 11e에 도시한 바와 같이, 마스크프레임(110)을 포함한 도금막(507)의 상부로 절연막(509)을 형성한다.
절연막(509)은 절연패턴(505)과 동일한 재질로 이루어질 수 있는데, 이때 절연막(509)은 도금막(507)에 인접한 마스크프레임(110)의 측면(110a) 일부와 접착패드(140)의 내측측면(140b) 그리고 마스크프레임(110)에 인접한 도금막(507)의 표면(507a) 일부를 제외한 나머지 영역에 형성된다.
다음으로 도 11f에 도시한 바와 같이, 절연막(509)이 형성되지 않은 영역인, 마스크프레임(110)의 측면(110a) 일부와 접착패드(140)의 내측측면(140b) 그리고 도금막(507)의 가장자리 표면(507a) 일부를 덮도록 제 1 접착 도금막(150)을 도포한다.
제 1 접착 도금막(150)은 도금막(507)과 동일한 재질로 이루어지거나, 또는 도금막(507)이 인바(Invar)인 경우에도 인바(Invar) 대비 비교적 잔류응력이 적고 합금이 아니어서 도금하기가 용이한 니켈(Ni)을 제 1 접착 도금막(150)으로 형성할 수 있다.
이러한 제 1 접착 도금막(150) 또한 전주 도금(electroforming)에 의해 전착하게 되는데, 이때 마스크프레임(110)과 접착패드(140) 그리고 도전막(503)으로 전압이 인가됨에 따라, 제 1 접착 도금막(150)은 마스크프레임(110)의 측면 일부와 접착패드(140)의 내측측면 그리고 도금막(507)의 가장자리 표면 일부를 덮도록 전착된다.
도 12에 도시한 바와 같이, 제 1 접착 도금막(150)은 마스크시트(120)의 가장자리를 둘러 마스크프레임(110)의 측면 일부와 접착패드(140)의 내측측면 그리고 도금막(507)의 가장자리 표면 일부를 덮도록 도포된다.
따라서, 마스크시트(120)는 잔류응력과 중력에 의해 접착패드(140)에 인가되는 전단응력에 의한 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)의 변위가 일어나는 것을 최소화할 수 있게 된다.
이때, 접착패드(140)가 전도성 물질로 이루어짐에 따라, 마스크프레임(110)에 전압을 인가함으로써, 마스크프레임(110)과 접착패드(140) 그리고 도전막(503)까지 전압이 인가되도록 할 수도 있다. 또한, 접착패드(140)의 표면에서도 전착이 동시에 되므로 균일한 두께의 제 1 접착도금막(150)을 형성할 수 있다.
다음으로 도 11g에 도시한 바와 같이 도전막(503)을 포함한 음극모판(501)과 절연막(509) 및 절연패턴(505)을 제거하는데, 음극모판(501)과 절연막(509) 및 절연패턴(505)은 화학적 방법으로 제거할 수 있다.
예를 들어, 절연패턴(505) 및 절연막(509)을 선택적으로 식각하는 스트립용액을 통해 도금막(507)으로부터 절연막(509)과 절연패턴(505)을 제거하는 과정에서 음극 모판(501)으로부터 도금막(507)을 분리할 수 있다.
이와 같이, 음극모판(501)과 절연막(509) 및 절연패턴(505)을 제거함으로써 도금막(507)과, 도금막(507)의 가장자리를 따라 접착패드(140)를 통해 부착된 마스크프레임(110) 만이 남게 된다.
이때, 도금막(507)은 가장자리를 따라 지지부(123)가 정의되며, 지지부(123) 내측으로 패턴부(121)가 정의되어 마스크시트(120)를 이뤄, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)를 이루게 된다.
패턴부(121)에는 다수의 셀부(125)에는 다수의 개구부(130)가 구비되며, 다수의 셀부(125) 사이의 베젤부(127)에는 다수의 더미홀(200)들이 구비되어 있다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크시트(120)의 패턴부(121) 내의 베젤부(127) 상에 더미홀(200)들을 더욱 구비함으로써, 다수의 개구부(130)가 구비된 셀부(125)와 베젤부(127)의 강성 편차를 줄일 수 있게 된다.
따라서, 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)가 최소화되게 되므로, 증착PPA를 향상시키게 되며, 이는 결국 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층 패턴을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있게 된다.
특히, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 전주 도금(electroforming) 방식으로 인바 박판으로 이루어지는 마스크시트(120)를 형성함으로써, 마스크시트(120)를 형성하는 공정을 단순화 할 수 있고, 이를 제조하는 설비 비용을 줄일 수 있으며, 얇은 두께의 대면적 마스크시트(120)를 형성할 수 있게 된다.
또한, 마스크시트(120)가 마스크프레임(110)과 접착패드(140) 및 제 1 접착 도금막(150)을 통해 일체로 형성되기 때문에, 마스크시트(120)의 처짐이 발생하는 것을 더욱 방지할 수 있으며, 그로 인해 마스크(100)를 이용하여 정확한 위치에 소정 패턴을 증착할 수 있어, 이를 통해서도 증착PPA를 향상시키게 된다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 접착패드(140)와 제 1 접착 도금막(150)이 마스크시트(120)의 가장자리를 따라 위치함에 따라, 마스크프레임(110) 방향으로 마스크시트(120)에 인장력을 가하는 상태로 마스크시트(120)를 마스크프레임(110) 상에 안착하여 접착 및 지지할 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크시트(120)를 별도로 인장하고 정렬하는 과정을 수행할 필요없이 팽팽하게 마스크프레임(110) 측으로 당겨진 마스크시트(120)를 마스크프레임(110)과 일체로 형성할 수 있게 된다.
- 제 2 실시예 -
도 13 및 도 14는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크프레임(110)의 개구영역(G)에 대응하여 마스크시트(120)의 패턴부(121)가 위치하도록, 마스크시트(120)의 가장자리를 따라 정의된 지지부(123)가 마스크프레임(110) 상에 안착되어 지지 및 접착된다.
이때, 마스크시트(120)의 패턴부(121)에 구비된 다수의 셀부(125)에는 각각 다수의 개구부(130)가 구성되는데, 각각의 개구부(130)는 측면(도 2b의 131)이 기울어진 형상, 테이퍼(Taper) 형상, 또는 상부에서 하부로 갈수록 패턴 폭이 넓어지는 형상을 가질 수 있다.
그리고 다수의 셀부(125) 사이로 정의되는 베젤부(127) 구비된 다수의 더미홀(200) 또한 개구부(130)와 마찬가지로 증착방향을 따라 점차적으로 폭이 좁아지도록 기울어진 테이퍼 구조를 가질 수 있다.
이러한 마스크시트(120)는 가장자리를 따라 정의된 지지부(123) 하부로 접착패드(140)가 구비되어, 마스크프레임(110) 상에 안착되어 지지 및 접착되게 되는데, 접착패드(140)는 에폭시 수지계 접착제 등으로 이루어질 수 있는데, 예를 들어 접착성을 갖는 폼(Foam)형태로 이루어져, 마스크시트(120) 또는 마스크프레임(110)이 받는 충격을 완충함으로써 서로에게 전달되는 충격력을 줄이는 역할을 할 수도 있다.
접착패드(140)는 약 10 ~ 100㎛의 얇은 두께를 가지기 때문에, 마스크시트(120)와 마스크프레임(110) 사이에 개재되어도 단차에는 거의 영향을 주지 않는다.
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크(100)는 접착패드(140)와 접착되지 않은 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부와 마스크프레임(110) 사이로 제 1 접착 도금막(150)이 더욱 도포된다.
제 1 접착 도금막(150)은 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부로부터 접착패드(140)의 내측측면을 덮어 마스크프레임(110)의 측면까지 연장되어 도포될 수 있다.
이러한 제 1 접착 도금막(150)은 마스크(100)의 잔류응력과 중력에 의해 접착패드(140)에 인가되는 전단응력에 의한 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)의 변위가 일어나는 것을 방지하는 역할을 하게 된다.
이러한 제 1 접착 도금막(150)은 50 ~ 250㎛의 두께로 도포될 수 있는데, 제 1 접착 도금막(150)의 두께가 50㎛ 이하로 도포되는 경우, 마스크시트(120) 및 마스크프레임(110)의 접착력을 유지하기에는 제 1 접착 도금막(150)의 접착력이 매우 약해 실질적으로 접착성을 갖기 어려우며, 또한 마스크시트(120)의 지지부(123)와 마스크프레임(110) 사이의 갭을 채우지 못할 수 있다.
따라서, 공극(void)가 형성될 수 있어, 추후 세정공정 등에서 세정액 등이 공극(Void) 내부로 침투될 수 있다. 이는 건조과정에서 잔류된 상태로 증착기에 장입될 경우, 유기발광물질을 증착하는 과정에서 증발되어 유기발광물질의 이물로 반응하여, 유기발광층의 수명 등에 영향을 미칠 수 있다.
또한, 제 1 접착 도금막(150)의 두께가 250㎛ 이상으로 도포되는 경우에는, 도금막 자체의 스트레스로 인하여 막들뜸의 문제가 발생길 수 있다.
즉, 250㎛ 이상의 두께를 갖는 제 1 접착 도금막(150) 형성 자체가 어렵기 때문이다.
특히, 마스크프레임(110)을 리사이클(recycle) 하는 과정에서, 제 1 접착 도금막(150)이 너무 두껍게 도포되어 형성되는 경우, 제 1 접착 도금막(150)을 제거하기 매우 어려워지게 되므로, 제 1 접착 도금막(150)의 두께는 200㎛로 도포되도록 하는 것이 바람직하다.
제 1 접착 도금막(150)은 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)와의 열변형 등을 고려하여 동일한 재질로 이루어지도록 하는 것이 바람직한데, 특히 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)를 금속결합할 수 있도록 금속재질로 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크(100)는 도 13에 도시한 바와 같이 다수의 더미홀(200)들이 구비된 베젤부(127)에 대응하여 베젤부 가림부(600)를 더욱 위치시킬 수 있다.
베젤부 가림부(600)는 마스크시트(120)와 점착될 수 있는 얇은 고분자 필름으로 이루어질 수 있는데, 자외선 또는 열에 의해 경화됨으로써, 마스크(100)의 세정공정 등에서 베젤부 가림부(600)가 분리되거나 변질이 발생하지 않도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 도 14에 도시한 바와 같이 다수의 더미홀(200)들이 구비된 베젤부(127)에 대응하여 베젤부 가림부(600)가 점착층(610)과 고분자 필름(620)의 2층 구조로 이루어지도록 함으로써, 고분자 필름(620)의 밀림이 발생하는 것을 방지할 수도 있다.
이러한 베젤부 가림부(600)는 마스크(100)의 베젤부(127) 전체에 대응하여 모두 형성될 수도 있으며, 또는 유기발광표시장치(도 10의 300)의 비표시영역(도 10의 BA)에 형성되는 패드부와 같은 일부 영역에 대응해서만 형성될 수도 있다.
또한, 얼라인 키, 두께 관리, 증착PPA 관리 등의 패턴의 주변의 일부영역에 대응해서 형성 할 수 있다.
이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크시트(120)의 패턴부(121) 내의 베젤부(127) 상에 더미홀(200)들을 더욱 구비함으로써, 다수의 개구부(130)가 구비된 셀부(125)와 베젤부(127)의 강성 편차를 줄일 수 있게 된다.
따라서, 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)에 따른 증착PPA가 최소화되게 되므로, 고해상도 또는 초고해상도의 유기발광층 패턴을 증착 불량없이 균일하게 형성할 수 있게 된다.
특히, 베젤부(127)에 대응하여 베젤부 가림부(600)를 더욱 구비함으로써, 베젤부(127)에 구비된 더미홀(200)들을 통해 증착기판 상에 유기발광물질이 증착되지 않도록 하거나, 선택적으로 증착되도록 할 수 있어, 유기발광표시장치(도 10의 300)의 비표시영역(도 10의 BA)에 증착되는 유기발광물질에 의해 발생될 수 있는 수분 침투 등의 문제점들이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
- 제 3 실시예 -
도 15는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크프레임(110)의 개구영역(G)에 대응하여 마스크시트(120)의 패턴부(121)가 위치하도록, 마스크시트(120)의 가장자리를 따라 정의된 지지부(123)가 마스크프레임(110) 상에 안착되어 지지 및 접착된다.
이때, 마스크시트(120)의 패턴부(121)에 구비된 다수의 셀부(125)에는 각각 다수의 개구부(130)가 구성되며, 다수의 셀부(125) 사이로 정의되는 베젤부(127) 구비된 다수의 더미홀(200)들이 구비된다.
이러한 마스크시트(120)는 가장자리를 따라 정의된 지지부(123)가 마스크프레임(110)과 접착됨으로써 마스크시트(120)는 마스크프레임(110)과 상호 일체로 연결되게 되는데, 이때 마스크시트(120)의 지지부(123)와 마스크프레임(110) 사이로는 가림시트(700)가 위치하며, 가림시트(700)와 마스크시트(120)의 지지부(123)는 접착패드(140)를 통해 서로 접착되게 된다.
가림시트(700)는 마스크시트(120)의 베젤부(127)에 대응하여 형성되는데, 마스크프레임(110)과 가림시트(700) 그리고 접착패드(140)와 마스크시트(120)의 지지부(123)는 제 1 접착 도금막(150)을 통해 서로 접착되게 된다.
이러한 가림시트(700)는 증착공정에서 온도 변화에 따른 증착 PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)의 변위가 일어나는 것을 방지하기 위하여, 마스크프레임(110)과의 접촉영역에서만 접착 및 고정되도록 하는 것이 바람직하다.
이와 같은 가림시트(700)를 통해서도 베젤부(127)에 구비된 더미홀(200)들을 통해 증착기판 상에 유기발광물질이 증착되지 않도록 하거나, 선택적으로 증착되도록 할 수 있어, 유기발광표시장치(도 10의 300)의 비표시영역(도 10의 BA)에 증착되는 유기발광물질에 의해 발생될 수 있는 수분 침투 등의 문제점들이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
- 제 4 실시예 -
도 16a는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 16b는 도 16a의 배면평면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크프레임(110)의 개구영역(G)에 대응하여 마스크시트(120)의 패턴부(121)가 위치하도록, 마스크시트(120)의 가장자리를 따라 정의된 지지부(123)가 마스크프레임(110) 상에 안착되어 지지 및 접착된다.
이때, 마스크시트(120)의 패턴부(121)에 구비된 다수의 셀부(125)에는 각각 다수의 개구부(130)가 구성되며, 다수의 셀부(125) 사이로 정의되는 베젤부(127) 구비된 다수의 더미홀(200)들이 구비된다.
이러한 마스크시트(120)는 가장자리를 따라 정의된 지지부(123) 하부로 접착패드(140)가 구비되어, 마스크프레임(110) 상에 안착되어 지지 및 접착된다.
또한, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 마스크(100)는 접착패드(140)와 접착되지 않은 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부와 마스크프레임(110) 사이로 제 1 접착 도금막(150)이 더욱 도포된다.
제 1 접착 도금막(150)은 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부로부터 접착패드(140)의 내측측면을 덮어 마스크프레임(110)의 측면까지 연장되어 도포될 수 있다.
이러한 제 1 접착 도금막(150)은 마스크(100)의 잔류응력과 중력에 의해 접착패드(140)에 인가되는 전단응력에 의한 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)의 변위가 일어나는 것을 방지하는 역할을 하게 된다.
제 1 접착 도금막(150)은 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)와의 열변형 등을 고려하여 동일한 재질로 이루어지도록 하는 것이 바람직한데, 특히 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)를 금속결합할 수 있도록 금속재질로 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크프레임(110)에 리브(800)가 더욱 구비되는 것을 특징으로 한다.
리브(Rib, 800)는 마스크시트(120)의 패턴부(121)의 베젤부(127)에 대응하여 형성될 수 있는데, 이러한 리브(800)를 통해 마스크프레임(110)의 강성을 향상시킬 수 있으며, 마스크시트(120)의 처짐 또한 방지할 수 있다.
이러한 리브(800)는 마스크(100)의 중심부에 마스크프레임(110)의 제 1 가장자리프레임(110a)과 제 1 가장자리프레임(110a)과 마주보는 제 3 가장자리프레임(110c)을 연결하도록 1개 또는 2개가 구비될 수 있다.
- 제 5 실시예 -
도 17은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 마스크를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제 5 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크프레임(110)의 개구영역(G)에 대응하여 마스크시트(120)의 패턴부(121)가 위치하도록, 마스크시트(120)의 가장자리를 따라 정의된 지지부(123)가 마스크프레임(110) 상에 안착되어 지지 및 접착된다.
이때, 마스크시트(120)의 패턴부(121)에 구비된 다수의 셀부(125)에는 각각 다수의 개구부(130)가 구성되며, 다수의 셀부(125) 사이로 정의되는 베젤부(127) 구비된 다수의 더미홀(200)들이 구비된다.
여기서 본 발명의 제 5 실시예에 따른 마스크(100)는 마스크시트(120)의 가장자리를 따라 정의된 지지부(123)가 마스크프레임(110) 상에 안착되어 지지되는데, 이때 지지부(123) 배면과 마스크프레임(110) 사이로는 도전성접착제(900)가 도포되어, 마스크시트(120)는 마스크프레임(110)과 접착된다.
도전성접착제(900)는 액상으로 이루어져, 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면과 마스크프레임(110) 사이의 갭으로 모세관현상으로 자연스럽게 스며들어, 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부와 마스크프레임(110)을 밀착시켜 접착하게 된다.
도전성접착제(900) 역시 유기계 고분자 재료에 도전성 재료를 분산한 재료로 이루어질 수 있는데, 마스크(100) 세정 공정시 반응하지 않도록 내화학성이 강한 에폭시 계열의 유기재료를 사용하는 것이 바람직하다.
그리고 도전성 재료는 카본, Ag, Cu, Ni 등 금속 파우더 또는 나노와이어 등을 포함할 수 있다.
또한, 도전성접착제(900)를 포함한 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부와 마스크프레임(110) 사이로는 제 1 접착 도금막(150)이 더욱 도포된다.
제 1 접착 도금막(150)은 마스크시트(120)의 지지부(123) 배면 일부로부터 접착패드(140)의 내측측면을 덮어 마스크프레임(110)의 측면까지 연장되어 도포될 수 있다.
이러한 제 1 접착 도금막(150)은 마스크(100)의 잔류응력과 중력에 의해 접착패드(140)에 인가되는 전단응력에 의한 제작PPA(Pixel Position Accuracy : PPA)의 변위가 일어나는 것을 방지하는 역할을 하게 된다.
제 1 접착 도금막(150)은 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)와의 열변형 등을 고려하여 동일한 재질로 이루어지도록 하는 것이 바람직한데, 특히 마스크프레임(110)과 마스크시트(120)를 금속결합할 수 있도록 금속재질로 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제 5 실시예와 같이, 마스크시트(120)와 마스크프레임(110)을 도전성접착제(900)와 제 1 접착 도금막(150)을 통해 서로 접착되도록 함으로써, 마스크시트(120)를 마스크프레임(110)에 보다 손쉽게 접착되도록 할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
100 : 마스크, 110 : 마스크프레임, 120 : 마스크시트
121 : 패턴부, 123 : 지지부, 125 : 셀부, 127 : 베젤부
130 : 개구부, 140 : 접착패드, 150 : 제 1 접착 도금막, 200 : 더미홀

Claims (23)

  1. 적어도 하나의 마스크를 포함하는 마스크세트에 있어서,
    상기 적어도 하나의 마스크는
    개구영역이 정의된 마스크프레임과;
    상기 개구영역에 대응하여 패턴부가 구비되며, 상기 패턴부의 가장자리를 따라 지지부가 정의된 마스크시트; 및
    상기 지지부의 배면 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치하는 제 1 접착 도금막;을 포함하며,
    상기 패턴부는 다수의 개구부가 구비된 다수의 셀부와, 상기 다수의 셀부 사이로 정의되며 다수의 더미홀이 구비된 베젤부를 포함하며,
    상기 적어도 하나의 마스크는, 상기 셀부에 R 서브픽셀에 대응하는 R 개구부가 구비된 적색 마스크와, 상기 셀부에 G 서브픽셀에 대응하는 G 개구부가 구비된 녹색 마스크와, 상기 셀부에 B 서브픽셀에 대응하는 B 개구부가 구비된 청색 마스크를 포함하며,
    상기 R, G, B 개구부는 각각 상기 셀부에서 서로 상이한 위치에 배치되며,
    상기 적색, 녹색, 청색 마스크의 상기 다수의 더미홀은 상기 베젤부에서 서로 동일한 위치에 위치하는, 마스크세트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부의 배면과 상기 마스크프레임의 상면에 접착패드가 개재되며,
    상기 제 1 접착 도금막은 상기 접착패드 외부로 노출된 상기 지지부의 배면과 상기 접착패드의 내측면 그리고 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치하는 마스크세트.
  3. 삭제
  4. 적어도 하나의 마스크를 포함하는 마스크세트에 있어서,
    상기 적어도 하나의 마스크는, 개구영역이 정의된 마스크프레임;
    상기 개구영역에 대응하여 패턴부가 구비되며, 상기 패턴부의 가장자리를 따라 지지부가 정의된 마스크시트; 및
    상기 지지부의 배면 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치하는 제 1 접착 도금막;을 포함하며,
    상기 패턴부는, 다수의 개구부가 구비된 다수의 셀부와, 상기 다수의 셀부 사이로 정의되며 다수의 더미홀이 구비된 베젤부를 포함하며,
    상기 셀부의 RD(Rib Density)값과 상기 베젤부의 RD(Rib Density)값에 의한 근사수준값(Approximation Level : AL)은
    AL = |(BRD-CRD) χBRD| ≤ 0.1 로 정의되는 마스크세트.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 개구부와 상기 다수의 더미홀은 테이퍼 형상으로 이루어지는 마스크세트.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 접착패드는 상기 마스크프레임으로부터 상기 개구영역을 향해 돌출되는 돌출부를 포함하는 마스크세트.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 접착패드는 전도성 물질을 포함하는 마스크세트.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 접착 도금막은 50 ~ 250㎛의 두께를 갖는 마스크세트.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 접착 도금막은 상기 마스크시트와 상기 마스크프레임과 동일한 재질로 이루어지는 마스크세트.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 접착 도금막은 Ni 또는 Ni 합금을 포함하는 마스크세트.
  11. 적어도 하나의 마스크를 포함하는 마스크세트에 있어서,
    상기 적어도 하나의 마스크는,
    개구영역이 정의된 마스크프레임과;
    상기 개구영역에 대응하여 패턴부가 구비되며, 상기 패턴부의 가장자리를 따라 지지부가 정의된 마스크시트;
    상기 지지부의 배면 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치하는 제 1 접착 도금막; 및
    상기 지지부의 배면과 상기 마스크프레임의 상면에 개재되는 접착패드;를 포함하며,
    상기 지지부의 상면 가장자리 일부와 측면을 덮으며, 상기 접착패드의 외측측면 그리고 상기 마스크프레임의 상면 일부까지 덮어 위치하는 제 2 접착 도금막;을 포함하며,
    상기 패턴부는, 다수의 개구부가 구비된 다수의 셀부와, 상기 다수의 셀부 사이로 정의되며 다수의 더미홀이 구비된 베젤부를 포함하는, 마스크세트.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 접착 도금막은 상기 제 1 접착 도금막과 동일 재질로 이루어지는 마스크세트.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크시트의 배면으로 상기 더미홀에 대응하여 베젤부 가림부를 더 포함하는 마스크세트.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 베젤부 가림부는 고분자 필름으로 이루어지거나, 또는 고분자 필름과 마스크시트의 배면 사이로 점착층이 더욱 개재되는 2층 구조로 이루어지는 마스크세트.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 베젤부 가림부는 자외선 또는 열에 의해 경화되는 마스크세트.
  16. 적어도 하나의 마스크를 포함하는 마스크세트에 있어서,
    상기 적어도 하나의 마스크는
    개구영역이 정의된 마스크프레임과;
    상기 개구영역에 대응하여 패턴부가 구비되며, 상기 패턴부의 가장자리를 따라 지지부가 정의된 마스크시트;
    상기 지지부의 배면 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치하는 제 1 접착 도금막; 및
    상기 지지부의 배면과 상기 마스크프레임의 상면에 개재되는 접착패드;를 포함하고,
    상기 패턴부는, 다수의 개구부가 구비된 다수의 셀부와, 상기 다수의 셀부 사이로 정의되며 다수의 더미홀이 구비된 베젤부를 포함하며,
    상기 적어도 하나의 마스크는, 상기 마스크시트의 배면으로, 상기 지지부 및 상기 베젤부에 대응하는 가림시트를 포함하며,
    상기 가림시트는 상기 접착패드와 상기 마스크프레임 사이로 위치하며,
    상기 제 1 접착 도금막은 상기 가림시트의 측면을 덮어 위치하는, 마스크세트.
  17. 삭제
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크프레임은 상기 베젤부에 대응하여 상기 마스크프레임의 서로 마주보는 가장자리프레임을 연결하는 리브(Rib)를 더욱 포함하는 마스크세트.
  19. 적어도 하나의 마스크를 포함하는 마스크세트에 있어서,
    상기 적어도 하나의 마스크는,
    개구영역이 정의된 마스크프레임과;
    상기 개구영역에 대응하여 패턴부가 구비되며, 상기 패턴부의 가장자리를 따라 지지부가 정의된 마스크시트; 및
    상기 지지부의 배면 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치하는 제 1 접착 도금막;을 포함하며,
    상기 패턴부는 다수의 개구부가 구비된 다수의 셀부와, 상기 다수의 셀부 사이로 정의되며 다수의 더미홀이 구비된 베젤부를 포함하며,
    상기 지지부의 배면과 상기 마스크프레임의 측면에는 도전성접착제가 위치하며,
    상기 제 1 접착 도금막은 상기 도전성접착제 상부로 상기 지지부의 배면과 상기 마스크프레임의 측면까지 덮어 위치하는, 마스크세트.
  20. a) 도전막이 증착된 음극모판 상부로 제 1 및 제 2 절연패턴을 구비하는 단계와;
    b) 1차 전주 도금(electroforming)을 수행하여 상기 도전막 상부로 도금막을 형성하는 단계와;
    c) 상기 도금막 상부로, 상기 도금막의 가장자리를 따라 마스크프레임을 접착하는 단계와;
    d) 상기 마스크프레임에 인접한 상기 도금막 표면 일부와 상기 마스크프레임의 일부를 노출하도록, 상기 음극모판의 전면으로 절연막을 형성하는 단계와;
    e) 상기 절연막 외부로 노출된 상기 도금막 표면 일부와 상기 마스크프레임의 일부에 2차 전주 도금을 수행하여 제 1 접착 도금막을 형성하는 단계와;
    f) 상기 도전막을 포함하는 상기 음극모판과 상기 절연막 그리고 상기 절연패턴을 제거하여 마스크시트를 형성하는 단계;를 포함하며,
    상기 마스크프레임을 접착하는 단계는, 상기 도금막 상부로, 상기 도금막의 가장자리를 따라 접착패드를 통해 상기 마스크프레임을 접착하는 단계를 포함하고,
    상기 접착패드는 전도성 물질을 포함하며,
    상기 제 1 접착 도금막 형성 단계에서, 상기 접착패드는 상기 마스크프레임으로부터 인가되는 전압이 상기 도전막으로 전달되는 통로역할과 패드자체에서 전자를 배출하면 금속이 석출되는 전주도금이 되는 전극의 역할을 하며,
    상기 마스크시트는 셀부와 베젤부에 상기 절연패턴에 대응하는 개구부와 더미홀을 포함하는 마스크 제조방법.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 a) 단계 이전에,
    유리기판 상에 도전패턴을 구비하는 단계와,
    1차 전주도금을 수행하여 상기 도전패턴 상부로 상기 도금막을 형성하는 단계
    를 더욱 포함하는 마스크 제조방법.
  22. 삭제
  23. 삭제
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