KR20230151649A - 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 구성은 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법에 있어서, (a) 일측에만 패턴부(21)가 형성된 부분패턴 분할 마스크(2)를 구비 후 프레임(1)의 설치 대상 위치에 정렬시키고 인장시키는 단계와; (b) 인장된 부분패턴 분할 마스크(2)의 일측에 위치한 패턴부(21)의 양측단을 프레임에 용접시키는 단계와; (c) 상기 (b)단계의 부분패턴 분할 마스크(2)에서 용접되지 않은 비패턴부(22)를 잘라 제거하는 단계와; (d) 타측에만 패턴부(21a)가 형성된 부분패턴 분할 마스크(2a)를 구비 후 상기 (a)단계와 동일 설치 대상 위치에 정렬시키고 인장시키는 단계와; (e) 인장된 부분패턴 분할 마스크(2a)의 타측에 위치한 패턴부(21a)의 양측단을 프레임에 용접시키는 단계와; (f) 상기 (e)단계의 부분패턴 분할 마스크(2a)에서 용접되지 않은 비패턴부(22a)를 잘라 제거하는 단계와; (g) 프레임(1)의 나머지 설치 대상 위치에 순차적으로 상기 (a) 단계 내지 (f) 단계를 반복하는 단계;를 포함하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법과 그 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리를 발명의 특징으로 한다.
Description
본 발명은 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법과 그 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고해상 소형 디스플레이의 생산성을 높이기 위해 부분패턴 분할 마스크를 구비하여 부분 용접 및 절단 과정을 통해 불균일 패턴 발생 문제를 해결하여 높은 수율로 생산할 수 있도록 한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조 기술에 관한 것이다.
OLED(유기발광다이오드)는 반응속도가 종래 박막 트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)보다 월등히 빠르고, 별도의 백라이트 없이 자체 발광이 가능하고 디스플레이 패널 구조가 LCD 방식 디스플레이 패널 구조 보다 단순하여 제조시 LCD 대비 두께와 무게를 대폭 줄일 수 있고, 넓은 시야각과 저전력 소비 구조를 가져 고급형 디스플레이를 포함한 다양한 용도의 디스플레이 소자로 각광받고 있다.
하지만 OLED 방식 디스플레이는 양산수율이 LCD 방식 디스플레이 보다 상대적으로 낮아 여전히 생산단가가 높은 실정이다.
이를 해결하기 위해 최근에는 정밀한 패턴을 가지는 고해상 대면적의 마스크 프레임 어셈블리에 대한 연구개발이 늘어나면서 OLED와 같은 고해상 디스플레이를 저렴하게 대량 생산하기 위한 생산성이 점차 높아지고 있는 실정이다.
특히 TV와 같은 고해상 대형 디스플레이 분야에서는 대면적의 마스크 프레임 어셈블리가 증착공정에 사용됨으로써 대형 TV 또는 다양한 크기의 디스플레이를 예전에 비해 상대적으로 적은 비용으로 대량 생산할 수 있게 되었다,
하지만 높은 PPI(pixels per inch)를 가진 모바일 패널 제작용, 태블릿 패널 제작용, 노트북 패널 제작용 고해상 소형 디스플레이 분야는 TV 분야와 달리 기술적 어려움이 많아 생산성을 높일 수 있는 즉, 프레임(2440×2900×58mm)에 고해상 패턴이 형성된 대면적 마스크(장변길이 2460mm 정도)가 용접된 8세대 급 대면적 마스크 프레임 어셈블리가 제공되지 못하고 있는 실정이다.
즉, 모바일 패널 제작용, 태블릿 패널 제작용 및 노트북 패널 제작용 고해상 소형 디스플레이 분야가 TV와 같은 패널 제작용 고해상 대형 디스플레이 분야에 비해 생산성 향상이 어려운 이유는 TV용 대면적의 마스크 프레임 어셈블리는 제조시 마스크에 형성된 물리적 패턴 크기가 크기 때문에 프레임에 용접시 처짐 방지를 위해 인장력을 가하여도 인장변화율로 인한 불균일 패턴이 발생하는 경우가 거의 없고 설사 일부 불균일 패턴이 발생해도 제품의 품질에는 큰 문제가 되지 않지만 고해상 소형 디스플레이용은 TV용 패널에 비해 상대적으로 작은 패널 사이즈에 높은 PPI(pixels per inch)가 가능한 패턴이 가공되어 있기 때문에 수율을 위해 마스크프레임 어셈블리를 작게 하여 낮은 인장력을 가해도 처짐이 발생하지 않았다.
하지만 이와 같은 마스크 프레임 어셈블리는 크기가 작아 한번에 많은 패턴을 통한 증착공정이 불가능하기 때문에 생산성을 높이기 위해서는 필연적으로 대면적 분할 마스크를 이용해 마스크 프레임 어셈블리를 제공해야만 한다.
그럼에도 아직까지 8세대 이상의 대면적의 마스크 프레임 어셈블리가 제공되지 못하고 있는 이유는 대면적 분할 마스크를 프레임에 용접시 처짐이 생기지 않을 정도로 인장력을 가하면 큰 인장변화율이 발생하면서 패널용 홀들이 가공된 패턴에 불균일 패턴이 발생하게 되는데 이 경우 TV와 같은 대형 패널과 달리 모바일 패널, 태블릿 패널, 노트북 패널과 같은 작은 스크린상에서는 큰 품질 하자로 작용하기 때문이다. 이러한 기술적 난제가 해결되지 못하고 있어서 여전히 6세대 정도의 마스크 프레임 어셈블리까지만 증착공정에 사용되고 있다.
따라서 인장에 따른 불균일 패턴 발생 문제를 해결하여 생산성 향상에 기여할 수 있는 8세대 이상의 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리의 필요성이 대두되고 있는 실정이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 일측 영역에만 고해상도 패턴이 형성된 부분패턴 분할 마스크를 프레임에 위치정렬 시킨 후 인장력을 가한 상태에서 용접 후 비패턴 부분을 절단하는 과정을 통해 좌우 양측 영역에 고해상 패턴이 형성된 대면적 분할 마스크를 프레임에 일체화시키는 단계를 반복함으로써 불균일 패턴 발생 문제를 해결한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조 방법과 그 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법에 있어서,
(a) 일측에만 패턴부가 형성된 부분패턴 분할 마스크(2)를 구비 후 프레임(1)의 설치 대상 위치에 정렬시키고 인장시키는 단계와;
(b) 인장된 부분패턴 분할 마스크의 일측에 위치한 패턴부의 양측단을 프레임에 용접시키는 단계와;
(c) 상기 (b)단계의 부분패턴 분할 마스크에서 용접되지 않은 비패턴부를 잘라 제거하는 단계와;
(d) 타측에만 패턴부가 형성된 부분패턴 분할 마스크를 구비 후 상기 (a)단계와 동일 설치 대상 위치에 정렬시키고 인장시키는 단계와;
(e) 인장된 부분패턴 분할 마스크의 타측에 위치한 패턴부의 양측단을 프레임에 용접시키는 단계와;
(f) 상기 (e)단계의 부분패턴 분할 마스크에서 용접되지 않은 비패턴부를 잘라 제거하는 단계와;
(g) 프레임의 나머지 설치 대상 위치에 순차적으로 상기 (a) 단계 내지 (f) 단계를 반복하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법을 제공함으로써 달성된다.
바람직한 실시예로, (h) 프레임에 일체화 용접된 부분패턴 분할 마스크의 모든 파지부를 제거하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예로, 상기 대면적 프레임은,
4각 테두리를 이루고 부분패턴 분할 마스크의 패턴부 일측단이 용접되는 프레임본체와;
부분패턴 분할 마스크의 패턴부 타측단이 용접되어 지지되도록 프레임본체의 내부 공간부를 좌우 분할하여 길이방향으로 설치된 리브와;
이웃하는 부분패턴 분할 마스크 간을 지지하도록 상기 리브와 교차되게 프레임 내부 공간의 폭방향으로 설치된 커버시트와;
부분패턴 분할 마스크의 위치 정렬을 위해 프레임본체의 내부 공간부 폭방향 일측단과 타측단에 각각 설치된 정렬시트;로 이루어진 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예로, 상기 b)단계와 (e)단계에서 용접은 패턴부의 일측단은 프레임본체에 용접되고, 타측단은 프레임의 중앙부 리브에 용접되는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예로, 상기 부분패턴 분할 마스크는, 단위 소형 디스플레이용 패턴이 복수개 배열되어 인장시 인장변화율이 균일하게 패턴에 인가되는 영역인 패턴부와;
패턴이 형성되지 않아 인장시 인장변화율에 의한 영향을 받지 않는 영역인 비패턴부와;
상기 패턴부와 비패턴부의 각 측단에 위치하여 하나 이상의 그리퍼에 파지되도록 가공된 파지부;로 구성된 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예로, 상기 패턴부에 형성된 각 패턴은 단위 모바일 패널 제작용, 태블릿 패널 제작용, 노트북 패널 제작용 중 어느 하나의 고해상(Full HD급 이상) 패널 제작이 가능한 PPI(pixels per inch)에 해당하는 홀이 형성된 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예로, 상기 대면적 프레임은 적어도 2440×2900×58mm의 규격을 가지는 8세대급 이상의 크기인 것을 사용하고, 상기 부분패턴 분할 마스크는 적어도 장변길이 2460mm 정도인 8세대급 이상의 크기를 사용하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예로, 상기 부분패턴 분할 마스크는 프레임의 가운데를 최초 설치 대상으로 하여 좌우측에 패턴부를 형성하도록 (a)단계 내지 (f)단계를 수행하고, 이후 (g)단계는 이를 기준으로 상부와 하부 공간부를 번갈아 순차적으로 수행하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 다른 실시양태로,
마스크 프레임 어셈블리에 있어서.
상기한 방법 중 어느 하나의 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법에 따라 제조된 것을 특징으로 하는 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리를 제공함으로써 달성된다.
상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법은 일측 영역에만 고해상도 패턴이 형성된 부분패턴 분할 마스크를 프레임에 위치시킨 후 인장력을 가한 후 용접 및 절단하는 과정을 통해 양측 영역에 고해상 패턴이 형성된 대면적 분할 마스크를 프레임에 일체화시키는 단계를 반복함으로써 전체적으로 패턴이 형성된 단일의 대면적 분할 마스크에 인장력을 가할 때 나타나는 불균일 패턴 발생 문제를 방지하면서도 대면적의 8세대 이상 증착공정에 적용할 수 있는 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리를 제공함으로써 높은 PPI(pixels per inch)를 가진 모바일 패널, 태블릿 패널, 노트북 패널과 같은 고해상 소형 디스플레이용 패널의 생산성을 획기적으로 높일 수 있다는 효과를 가진 유용한 발명으로 산업상 그 이용이 크게 기대되는 발명이다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법을 보인 순서도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 대면적 프레임을 보인 예시도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 부분패턴 분할 마스크를 보인 예시도이고,
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 부분패턴 분할 마스크를 프레임에 용접하는 과정을 보인 예시도이고,
도 5는 도 4에 따라 완성된 본 발명의 한 실시예에 따른 중앙부 분할 마스크를 보인 예시도이고,
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따라 완성된 대면적 마스크 프레임 어셈블리이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 대면적 프레임을 보인 예시도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 부분패턴 분할 마스크를 보인 예시도이고,
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 부분패턴 분할 마스크를 프레임에 용접하는 과정을 보인 예시도이고,
도 5는 도 4에 따라 완성된 본 발명의 한 실시예에 따른 중앙부 분할 마스크를 보인 예시도이고,
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따라 완성된 대면적 마스크 프레임 어셈블리이다.
이하 본 발명의 실시 예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법을 보인 순서도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 대면적 프레임을 보인 예시도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 부분패턴 분할 마스크를 보인 예시도이고, 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 부분패턴 분할 마스크를 프레임에 용접하는 과정을 보인 예시도이고, 도 5는 도 4에 따라 완성된 본 발명의 한 실시예에 따른 중앙부 분할 마스크를 보인 예시도이고, 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따라 완성된 대면적 마스크 프레임 어셈블리이다.
본 발명 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법을 수행하기 위해 먼저 대면적 프레임(1)과 여기에 용접되고 절단되는 구조를 가진 부분패턴 분할 마스크(2)를 구비한다.
상기와 같은 대면적 프레임(1)과 부분패턴 분할 마스크(2)이 구비되면, 먼저 일측에만 패턴부(21)가 형성된 부분패턴 분할 마스크(2)를 구비 후 프레임(1)의 설치 대상 위치에 정렬시키고 인장시키는 단계(a)를 수행한다.
이 단계는 미도시된 마스크 인장 장치에서 먼저 대면적 프레임(1)을 로딩하여 위치정렬시킨 상태에서 부분패턴 분할 마스크(2)를 그리퍼(3)가 파지 후 이송후 하강하여 대면적 프레임(1) 상부에 위치시키고 위치정렬을 위한 시각 또는 레이저 센서등을 통해 위치를 확인하여 정렬시킨 상태에서 이루어진다.
이때 상기 대면적 프레임(1)은 4각 테두리를 이루고 부분패턴 분할 마스크(2)의 패턴부(21, 21a) 일측단이 용접되는 프레임본체(11)와; 부분패턴 분할 마스크(2)의 패턴부(21, 21a) 타측단이 용접되어 지지되도록 프레임본체의 내부 공간부를 좌우 분할하여 길이방향으로 설치된 리브(12)와; 이웃하는 부분패턴 분할 마스크(2) 간을 지지하도록 상기 리브와 교차되게 프레임 내부 공간의 폭방향으로 설치된 커버시트(13)와; 부분패턴 분할 마스크(2)의 위치 정렬을 위해 프레임본체의 내부 공간부 폭방향 일측단과 타측단에 각각 설치된 정렬시트(14);로 이루어진 구성을 가진다.
이때 리브(12), 커버시트(13) 및 정렬시트(14)는 인장된 상태에서 용접되어 설치됨으로써 부분패턴 분할 마스크(2)를 상부에 놓고 작업하거나 작업 후 지지시 인장력이 제공되어 처짐이 발생하지 않게 된다.
또한 대면적 프레임(1)은 적어도 2440×2900×58mm의 규격을 가지는 8세대급 이상의 크기인 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 크기를 가져야만 본 발명에서 제공하고자 하는 생산성을 높일 수 있게 된다. 8세대보다 낮은 6세대 급은 일반적으로 종래 증착공정에 사용되는 크기이다.
상기 부분패턴 분할 마스크(2)는 단위 소형 디스플레이용 패턴이 복수개 배열되어 인장시 인장변화율이 균일하게 패턴에 인가되는 영역인 패턴부(21)와; 패턴이 형성되지 않아 인장시 인장변화율에 의한 영향을 받지 않는 영역인 비패턴부(22)와; 상기 패턴부와 비패턴부의 각 측단에 위치하여 하나 이상의 그리퍼(3)에 파지되도록 가공된 파지부(23);로 이루어진 구성을 가진다.
본 발명은 일반적인 분할마스크처럼 마스크 영역 전체에 모두 패턴을 형성하지 않고, 일부에만 정확히는 상기 대면적 프레임(1)의 중앙부에 형성된 리브(12)의 일측 및 타측 영역에 해당하는 면적에 해당하는 일부 영역에만 패턴부(21)를 형성하고 나머지 영역은 비패턴부(22)로 이루어진 부분패턴 분할 마스크(2)로 구성한다.
이와 같이 구성한 이유는 전체 영역에 패턴부를 형성하게 되면 큰 길이 때문에 처짐이 크게 발생하게 되는데 이를 방지하기 위해 처짐이 발생하지 않을 정도의 인장력으로 인장시 패턴부에 형성된 홀이 인장변화율에 따라 불균일하게 형성되는 부분의 발생 비율이 높아지기 때문이다.
참고로 패턴에 형성된 홀은 픽셀에 해당하는 것인데, 인장된 상태에서 목표로하는 픽셀에 맞는 홀 형상을 가지게 된다. 즉, 인장이 과하면 비록 처짐은 발생하지 않지만 인장방향으로 홀이 더 늘어나면서 목표 설계와 다른 픽셀이 만들어지는 변형된 홀이 형성되고, 마찬가지로 충분하게 인장되지 못하면 처짐이 발생하면서 인장이 덜되면 목표 설계와 다른 픽셀이 만들어지는 변형된 홀이 형성되게 된다.
따라서 비패턴부(22)를 형성한 상태에서 패턴부(21)와 비패턴부(22) 양측에 위치한 양측파지부(23)에서 그리퍼(3)로 잡고 인장력을 가하게 되면 보다 적은 인장력을 가지고도 처짐이 발생하지 않게 된다.
상기 부분패턴 분할 마스크(2)는 재질이 스테인레스 스틸(SUS), 인바(Invar) 합금, 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 중 어느 하나로 이루어진 것을 사용할 수 있는데 적어도 장변길이 2460mm 정도인 8세대급 이상의 크기를 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 크기를 가져야만 본 발명에서 제공하고자 하는 생산성을 높일 수 있게 된다. 8세대보다 낮은 6세대 급은 일반적으로 종래 증착공정에 사용되는 크기이다.
상기 패턴부(21)에 형성된 각 패턴은 단위 모바일 패널 제작용, 태블릿 패널 제작용, 노트북 패널 제작용 중 어느 하나의 고해상(Full HD급 이상) 패널 제작이 가능한 PPI(pixels per inch)에 해당하는 홀이 형성된다.
한편, 본 발명과 달리 처음부터 8세대급 대면적 분할마스크 대신 작은 분할마스크를 사용하여 인장력을 가하면 동일한 효과가 나타날 것 같지만 이 경우 8세대 이상의 크기의 마스크프레임어셈블리 제조용 마스크 인장 장치를 사용하여 작업하기가 거의 불가능하다는 단점이 발생한다. 즉, 분할마스크의 양단에 위치한 파지부를 잡아당기는 그리퍼(3)가 8세대급 프레임에 6세대 정도의 분할마스크를 작업할 경우 프레임에 부딪쳐 간섭을 일으키기 때문에 정밀한 작업을 할 수 없다.
더욱이 프레임본체의 리브에 의해 분할된 공간부인 일측 영역에 대한 분할마스크를 용접시 리브쪽에 남아있는 파지부를 나중에 일괄 절단하지 못하고 공정 중간 중간마다 절단하지 않고는 타측 쪽에 분할마스크를 용접할 수 없기에 공정이 더 복잡해지면서 연속적인 정밀 작업을 수행하기 어렵다는 구조적인 문제점이 발생하게 된다.
또한 본 발명은 인장된 부분패턴 분할 마스크(2)의 일측에 위치한 패턴부(21)의 양측단을 프레임에 용접시키는 단계(b)를 수행한다.
이 단계는 미도시된 마스크 인장 장치에서 부분패턴 분할 마스크(2)를 그리퍼(3)가 파지 후 양측으로 잡아당겨 인장된 상태에서 레이저 용접장치가 선용접 또는 라인 용접을 통해 용접한다. 이때 용접품질을 위해 시각 또는 레이저 센서등을 통해 위치를 확인하면서 용접작업을 수행한다.
또한 본 발명은 상기 (b)단계의 부분패턴 분할 마스크(2)에서 용접되지 않은 비패턴부(22)를 잘라 제거하는 단계(c)를 수행한다.
이 단계는 미도시된 마스크 인장 장치에서 용접된 부분패턴 분할 마스크(2)의 비패턴부를 그리퍼(3)가 파지 한 상태에서 레이저 절단장치가 절단하여 파지부가 절단된 부분패턴 분할 마스크(2)를 이송시켜 완료한다. 이때 절단품질을 위해 시각 또는 레이저 센서등을 통해 위치를 확인하면서 절단작업을 수행한다.
상기 b)단계에서 용접은 패턴부(21)의 일측단은 프레임본체에 용접되고, 타측단은 프레임의 중앙부 리브(Rib, 12)에 용접되게 된다.
용접시 비패턴부(22)를 형성한 상태에서 패턴부(21)와 비패턴부(22) 양측에 위치한 양측 파지부(23)에서 그리퍼(3)로 잡고 인장력을 가하게 되면 보다 적은 인장력을 가지고도 처짐이 발생하지 않게 되는데 이때 용접을 패턴부(21) 양측단에 하게 되면 프레임본체와 프레임의 중앙부 리브(Rib, 12)에 의해 처짐이 발생하지 않는 상태를 유지하게 된다. 용접이 종료되어 용접되지 않은 비패턴부(22)를 잘라 제거하는 단계(c)를 거치면 프레임상에는 부분패턴 분할 마스크(2)의 양측 2개의 파지부 중 일측 프레임본체 쪽 파지부만 남게 된다.
또한 본 발명은 타측에만 패턴부(21a)가 형성된 부분패턴 분할 마스크(2a)를 구비 후 상기 (a)단계와 동일 설치 대상 위치에 정렬시키고 인장시키는 단계(d)를 수행한다.
또한 본 발명은 인장된 부분패턴 분할 마스크(2a)의 타측에 위치한 패턴부(21a)의 양측단을 프레임에 용접시키는 단계(e)를 수행한다.
또한 본 발명은 상기 (e)단계의 부분패턴 분할 마스크(2a)에서 용접되지 않은 비패턴부(22a)를 잘라 제거하는 단계(f)를 수행한다.
이 단계를 통하면 (a), (b), (c) 단계를 거치면서 형성된 좌측과 같이 우측에도 패턴부(21a)가 형성되게 된다.
상기 (e)단계에서 용접은 패턴부(21a)의 일측단은 프레임본체에 용접되고, 타측단은 프레임의 중앙부 리브(Rib, 12)에 용접되게 된다.
용접시 비패턴부(22a)를 형성한 상태에서 패턴부(21a)와 비패턴부(22a) 양측에 위치한 양측 파지부(23)에서 그리퍼(3)로 잡고 인장력을 가하게 되면 보다 적은 인장력을 가지고도 처짐이 발생하지 않게 되는데 이때 용접을 패턴부(21a) 양측단에 하게 되면 프레임본체와 프레임의 중앙부 리브(Rib, 12)에 의해 처짐이 발생하지 않는 상태를 유지하게 된다. 용접이 종료되어 용접되지 않은 비패턴부(22a)를 잘라 제거하는 단계(f)를 거치면 프레임상에는 부분패턴 분할 마스크(2)의 양측 2개의 파지부 중 타측 프레임본체 쪽 파지부만 남게 된다.
또한 본 발명은 프레임(1)의 나머지 설치 대상 위치에 순차적으로 상기 (a) 단계 내지 (f) 단계를 반복하는 단계(g)를 수행한다.
상기와 같은 단계를 반복하면 좌측 부분패턴 분할 마스크(2)와 우측 부분패턴 분할 마스크(2a)가 모두 처짐 없이 인장된 상태로 위치하여 1개열의 완전한 대면적 분할 마스크가 형성되고, 이러한 대면적 분할 마스크가 프레임본체(11)의 내부 공간부가를 모두 메꿔 채워지게 된다.
한편, 상기 부분패턴 분할 마스크(2)는 프레임(1)의 가운데를 최초 설치 대상으로 하여 좌우측에 패턴부를 형성하도록 (a)단계 내지 (f)단계를 수행하고, 이후 (g)단계는 이를 기준으로 상부와 하부 공간부를 번갈아 순차적으로 수행하는 것이 바람직하다. 이와 같이 수행하면 용접이나 비틀림 응력에 의한 변형이 적어 고품질의 마스크 프레임 어셈블리가 제조되게 된다.
또한 본 발명은 상기 (g)단계가 끝나면 프레임에 일체화 용접된 부분패턴 분할 마스크(2)의 모든 파지부(23)를 제거하는 단계(h)를 거쳐 마감까지 끝나면 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법이 완료되게 된다.
모든 파지부(23)를 제거하는 단계(h)를 가질 수 있는 이유는 본 발명이 8세대급 대면적 분할마스크를 이용하여 패턴부 용접과 비패턴부 절단 작업을 수행하기 때문에 가능하다.
상기에서 설명한 제조방법을 모두 수행하면 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리가 완성된다.
이후 완성된 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리를 챔버 내부에 설치하고
증착 대상물인 기판을 상부에 고정시킨 상태에서 증착소스를 가열하여 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리의 각 패턴에 형성된 홀을 통과시키는 OLED 증착공정을 수행하여 8세대급 이상의 대형 패널이 생산성 높게 제작되게 된다.
이후 패널을 개별 디스플레이 패널 크기로 절단하는 과정을 거치면 대량으로 균일한 고해상 픽셀이 형성된 패널이 생산되어 전체 제작 단가를 획기적으로 낮추게 된다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
(1) : 대면적 프레임 (2, 2a) : 부분패턴 분할 마스크
(11) : 프레임본체 (12) : 리브
(13) : 커버시트 (14) : 정렬시트
(21, 21a) : 패턴부 (22, 22a) : 비패턴부
(23) : 파지부 (3): 그리퍼
(11) : 프레임본체 (12) : 리브
(13) : 커버시트 (14) : 정렬시트
(21, 21a) : 패턴부 (22, 22a) : 비패턴부
(23) : 파지부 (3): 그리퍼
Claims (9)
- 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법에 있어서,
(a) 일측에만 패턴부(21)가 형성된 부분패턴 분할 마스크(2)를 구비 후 프레임(1)의 설치 대상 위치에 정렬시키고 인장시키는 단계와;
(b) 인장된 부분패턴 분할 마스크(2)의 일측에 위치한 패턴부(21)의 양측단을 프레임에 용접시키는 단계와;
(c) 상기 (b)단계의 부분패턴 분할 마스크(2)에서 용접되지 않은 비패턴부(22)를 잘라 제거하는 단계와;
(d) 타측에만 패턴부(21a)가 형성된 부분패턴 분할 마스크(2a)를 구비 후 상기 (a)단계와 동일 설치 대상 위치에 정렬시키고 인장시키는 단계와;
(e) 인장된 부분패턴 분할 마스크(2a)의 타측에 위치한 패턴부(21a)의 양측단을 프레임에 용접시키는 단계와;
(f) 상기 (e)단계의 부분패턴 분할 마스크(2a)에서 용접되지 않은 비패턴부(22a)를 잘라 제거하는 단계와;
(g) 프레임(1)의 나머지 설치 대상 위치에 순차적으로 상기 (a) 단계 내지 (f) 단계를 반복하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,
(h) 프레임에 일체화 용접된 부분패턴 분할 마스크(2)의 모든 파지부(23)를 제거하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,
상기 대면적 프레임(1)은,
4각 테두리를 이루고 부분패턴 분할 마스크(2)의 패턴부(21, 21a) 일측단이 용접되는 프레임본체(11)와;
부분패턴 분할 마스크(2)의 패턴부(21, 21a) 타측단이 용접되어 지지되도록 프레임본체의 내부 공간부를 좌우 분할하여 길이방향으로 설치된 리브(12)와;
이웃하는 부분패턴 분할 마스크(2) 간을 지지하도록 상기 리브와 교차되게 프레임 내부 공간의 폭방향으로 설치된 커버시트(13)와;
부분패턴 분할 마스크(2)의 위치 정렬을 위해 프레임본체의 내부 공간부 폭방향 일측단과 타측단에 각각 설치된 정렬시트(14);로 이루어진 것을 특징으로 하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,
상기 b)단계와 (e)단계에서 용접은 패턴부(21)의 일측단은 프레임본체에 용접되고, 타측단은 프레임의 중앙부 리브(Rib, 12)에 용접되는 것을 특징으로 하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,
상기 부분패턴 분할 마스크(2)는,
단위 소형 디스플레이용 패턴이 복수개 배열되어 인장시 인장변화율이 균일하게 패턴에 인가되는 영역인 패턴부(21)와;
패턴이 형성되지 않아 인장시 인장변화율에 의한 영향을 받지 않는 영역인 비패턴부(22)와;
상기 패턴부와 비패턴부의 각 측단에 위치하여 하나 이상의 그리퍼에 파지되도록 가공된 파지부(23);로 구성된 것을 특징으로 하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법.
- 청구항 5에 있어서,
상기 패턴부(21)에 형성된 각 패턴은 단위 모바일 패널 제작용, 태블릿 패널 제작용, 노트북 패널 제작용 중 어느 하나의 고해상(Full HD급 이상) 패널 제작이 가능한 PPI(pixels per inch)에 해당하는 홀이 형성된 것을 특징으로 하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법
- 청구항 1에 있어서,
상기 대면적 프레임(1)은 적어도 2440×2900×58mm의 규격을 가지는 8세대급 이상의 크기인 것을 사용하고, 상기 부분패턴 분할 마스크(2)는 적어도 장변길이 2460mm 정도인 8세대급 이상의 크기를 사용하는 것을 특징으로 하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법.
- 청구항 1에 있어서
상기 부분패턴 분할 마스크(2)는 프레임(1)의 가운데를 최초 설치 대상으로 하여 좌우측에 패턴부를 형성하도록 (a)단계 내지 (f)단계를 수행하고, 이후 (g)단계는 이를 기준으로 상부와 하부 공간부를 번갈아 순차적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법.
- 마스크 프레임 어셈블리에 있어서.
청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항의 부분패턴 분할 마스크를 이용한 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리 제조방법에 따라 제조된 것을 특징으로 하는 고해상 대면적 마스크 프레임 어셈블리.
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