KR102351929B1

KR102351929B1 - 브레이크 장치

Info

Publication number: KR102351929B1
Application number: KR1020150047233A
Authority: KR
Inventors: 타쿠로 미타니; 유이치 가네히라
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2014-08-26
Filing date: 2015-04-03
Publication date: 2022-01-14
Also published as: CN106142369B; TW201607717A; KR20160024734A; TWI654063B; JP6446912B2; JP2016043638A; CN106142369A

Abstract

(과제) 단부(端部) 근방에 대해서도 양호하게 취성 재료 기판을 분단할 수 있는 브레이크 장치를 제공한다.
(해결 수단) 브레이크 장치가, 원형 환상(環狀)의 틀체에 점착 필름이 장설되어 이루어지고 또한 취성 재료 기판을 점착 필름에 접착시켜 이루어지는 기판 지지(holding) 부재가, 원형의 개구부와 틀체의 내측 단부를 일치시키는 형태로로 올려놓여지는 지지 테이블과, 개구부에 있어서 수평면 내에 이동이 자유롭게 이루어짐과 함께, 수평면 내에 있어서 서로 이격하여 설치되어 이루어지고, 분단 예정 위치를 서로의 간극의 형성 위치와 일치시키는 형태로 취성 재료 기판을 하방으로부터 지지하는 한 쌍의 스테이지와, 스테이지와 함께 수평면 내에 이동이 자유롭게 이루어짐과 함께, 취성 재료 기판의 다른 한쪽 주면측(主面側)의 분단 예정 위치에 맞닿음 가능하게 설치된 누름날과, 한 쌍의 스테이지의 각각에 대하여, 수평면 내에 있어서 소정의 각도를 이루어 부설(付設)되어 이루어지고, 한 쌍의 스테이지와 함께 취성 재료 기판을 하방 지지하는 보조 지지 바를 구비하도록 했다.

Description

브레이크 장치{BREAKING APPARATUS}

본 발명은, 취성 재료 기판(brittle material substrate)을 분단(dividing)하는 장치에 관한 것이다.

전자 디바이스나 광디바이스 등의 반도체 디바이스는, 통상, 반도체 기판 등의 원형 또는 직사각형 형상의 취성 재료 기판인 모기판(mother substrate)의 위에, 여기의 디바이스를 구성하는 회로 패턴을 이차원적으로 반복하여 형성한 후, 당해 디바이스 형성 후의 모기판을 분단하여 다수의 소자(칩) 단위로 개편화(칩화)한다는 프로세스에 의해 제작된다.

반도체 기판 등의 취성 재료 기판을 분할(칩의 개편화)하는 수법으로서, 스트리트(street)라고 불리는 분할 예정 라인에 원형 휠 등의 날끝 또는 레이저로 분할 기점이 되는 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후 브레이크 장치(분단 장치)로 취성 재료 기판에 대하여 3점 굽힘의 수법으로 굽힘 응력을 가하여 분할 기점으로부터 크랙(균열)을 신전(extend)시킴으로써 기판을 분단하는 형태가 이미 공지되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

이러한 분단은, 원형 환상(環狀)의 틀체인 다이싱 프레임(dicing frame)에 장설(張設)된 점착성을 갖는 다이싱 테이프의 피(被)접착면에 분단 대상인 취성 재료 기판을 접착 고정한 상태에서 행하는 것이 일반적이다.

일본공개특허공보 2014-83821호

3점 굽힘 방식에 의한 분단은, 통상, 분단 대상인 취성 재료 기판의 분단 대상 위치가 2개의 아랫날의 사이에 배치되도록 그들 2개의 아랫날에 의해 취성 재료 기판을 지지한 상태에서, 상방으로부터 분단 대상 위치에 윗날(누름날)을 맞닿게 하여 압입함으로써 이루어진다.

취성 재료 기판을 다수의 개편으로 분할하려면, 당연히, 취성 재료 기판의 단부(端部) 근방에 있어서도 분단을 행할 필요가 있기 때문에, 2개의 아랫날을 이러한 단부 근방에 배치할 필요가 있다. 그러나, 그와 같이 2개의 아랫날을 단부 근방에 배치하는 경우, 2개의 아랫날이 지지하는 위치가 취성 재료 기판의 무게 중심 위치가 어긋나기 때문에, 취성 재료 기판의 자중(自重)에 의해 점착 필름이 휘거나, 취성 재료 기판이 수평 자세를 유지할 수 없게 되거나 하여, 결과적으로, 분단을 적합하게 행할 수 없는 경우가 있다.

또한, 아랫날의 사이즈를 크게 함으로써 이러한 문제가 해결되는 바와 같이도 보이지만, 다이싱 프레임을 지지하는 영역과 간섭하기 때문에, 그러한 대응을 취할 수는 없다.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 단부 근방에 대해서도 양호하게 취성 재료 기판을 분단할 수 있는 브레이크 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 1의 발명은, 취성 재료 기판을 미리 그 한쪽 주면측(主面側)에 형성되어 이루어지는 스크라이브 라인으로부터의 크랙 신전에 의해 분단하는 브레이크 장치로서, 원형 환상의 틀체에 점착 필름이 장설되어 이루어지고 또한 상기 취성 재료 기판의 상기 한쪽 주면측을 상기 점착 필름에 접착시켜 이루어지는 기판 지지(holding) 부재가, 상기 틀체의 형상에 맞추어 형성된 원형의 개구부와 상기 틀체의 내측 단부를 일치시키는 형태로 상면에 올려놓여지는 지지 테이블과, 상기 개구부에 있어서 수평면 내로 이동이 자유롭게 이루어짐과 함께, 수평면 내에 있어서 서로 이격하여 설치되어 이루어지고, 분단시에 있어서 상기 취성 재료 기판의 분단 예정 위치를 서로의 간극의 형성 위치와 일치시키는 형태로 상기 점착 필름을 개재하여 상기 취성 재료 기판을 하방으로부터 지지하는 한 쌍의 스테이지와, 상기 한 쌍의 스테이지와 함께 수평면 내로 이동이 자유롭게 이루어짐과 함께, 상기 기판 지지 부재가 상기 지지 테이블 상에 올려놓여진 상태에 있어서 상기 취성 재료 기판의 다른 한쪽 주면측의 분단 예정 위치에 맞닿음 가능하게 설치된 누름날과, 상기 한 쌍의 스테이지의 각각에 대하여, 수평면 내에 있어서 소정의 각도를 이루어 부설(付設)되어 이루어지고, 상기 한 쌍의 스테이지와 함께 상기 취성 재료 기판을 하방 지지하는 보조 지지 바를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 2의 발명은, 청구항 1에 기재된 브레이크 장치로서, 상기 보조 지지 바가, 상기 수평면 내에 있어서 회전 운동이 자유롭게 설치되어 이루어지고, 상기 개구부에 맞닿은 경우에는 당해 맞닿음 상태를 유지하면서 부설된 상기 스테이지의 측으로 꺾여 접히는 것을 특징으로 한다.

청구항 3의 발명은, 청구항 2에 기재된 브레이크 장치로서, 상기 보조 지지 바가 상기 개구부와 맞닿음하지 않는 비(非)맞닿음 상태에 있을 때에는 자연 길이가 되고, 상기 보조 지지 바가 상기 맞닿음 상태에 있을 때에 신장(伸張)하도록 설치되어 이루어짐으로써 상기 보조 지지 바의 회전 운동 동작을 구속하는 구속 스프링을 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 4의 발명은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 것에 기재된 브레이크 장치로서, 상기 취성 재료 기판의 직경을 D로 하고, 상기 보조 지지 바가 상기 개구부와 맞닿음하지 않는 비맞닿음 상태에 있을 때의 분단 대상 위치에서 상기 보조 지지 바의 선단까지의 수평면 내에 있어서의 수직 거리를 Y로 할 때, Y＞D/2인 것을 특징으로 한다.

청구항 1 내지 청구항 4의 발명에 의하면, 분단 대상 위치가 취성 재료 기판의 어느 위치인지에 상관없이, 취성 재료 기판을 적합하게 분단할 수 있다.

특히, 청구항 2 및 청구항 3의 발명에 의하면, 맞닿음 상태가 되었다고 해도, 보조 지지 바와 지지 테이블이 간섭하는 일은 없다.

특히, 청구항 3의 발명에 의하면, 보조 지지 바가 맞닿음 상태로부터 비맞닿음 상태로 복귀할 때에, 그 자세를 신속하게 되돌릴 수 있다.

도 1은 취성 재료 기판(1)을 분단하는 브레이크 장치(100)의 개략적인 구성을 나타내는 단면도이다.
도 2는 브레이크 장치(100)에 있어서 취성 재료 기판(1)을 분단고자 할 때의 요부(要部) 사시도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

도 1은, 취성 재료 기판(1)을 분단하는 브레이크 장치(분단 장치)(100)의 개략적인 구성을 나타내는 단면도이다. 또한, 도 2는, 브레이크 장치(100)에 있어서 취성 재료 기판(1)을 분단하고자 할 때의 요부 사시도이다.

취성 재료 기판(1)으로서는, 예를 들면, 반도체 기판(실리콘 기판 등)이나 유리 기판 등이 예시된다. 반도체 기판의 한쪽 주면에는, 소정의 디바이스(예를 들면, CMOS 센서 등)용의 회로 패턴이 형성되어 있어도 좋다. 본 실시 형태에 있어서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 원판 형상의 취성 재료 기판(1)을 분단의 대상으로 한다.

취성 재료 기판(1)을 분단함에 있어서는, 우선, 도 1에 나타내는 바와 같이, 미리 그 한쪽 주면의 분단 예정 위치에 스크라이브 라인(S)을 형성해 둔 취성 재료 기판(1)을, 다이싱 테이프라고도 칭해지는 점착 필름(2)에 접착한다. 점착 필름(2)은, 그 한쪽 주면이 점착면으로 되어 있고, 다이싱 프레임이라고도 칭해지는 원형 환상의 틀체(3)에 장설되어 이루어진다. 즉, 틀체(3)의 내측이 취성 재료 기판(1)의 접착 가능 영역으로 되어 있다. 취성 재료 기판(1)을 접착함에 있어서는, 스크라이브 라인(S)이 형성되어 이루어지는 측의 주면을 점착 필름(2)에 맞닿게 하고, 다른 한쪽 주면이 상면이 되도록 한다. 이후, 점착 필름(2)이 틀체(3)에 장설된 것을, 기판 지지 부재라고 총칭한다. 틀체(3)의 재질로서는, 예를 들면, 금속(알루미늄, 스테인리스강(鋼) 등), 수지 등이 예시된다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 원판 형상의 취성 재료 기판(1)을 복수 개소에서 분단하여 단책 형상 또는 격자 형상의 다수의 개편을 얻는 것으로 한다. 그렇기 때문에, 도 1에 예시하는 바와 같이, 각각의 분단 개소에 스크라이브 라인(S)이 형성되어 이루어지는 것으로 한다. 스크라이브 라인(S)은, 취성 재료 기판(1)의 두께 방향으로 신전하는 크랙(미소 크랙)이 취성 재료 기판(1)의 한쪽 주면에 있어서 선 형상으로 연속한 것이다. 도 1에 있어서는, 복수의 분단 예정 위치 및 스크라이브 라인(S)이 각각, 도면에 수직인 방향으로 연재하는 경우를 상정하고 있다.

스크라이브 라인(S)의 형성에는, 공지의 기술을 적용 가능하다. 예를 들면, 초경합금, 소결 다이아몬드, 단결정 다이아몬드 등으로 이루어지고, 원판 형상을 이루고, 또한, 외주 부분에 날로서 기능하는 능선을 구비하는 커터 휠(스크라이브 휠)을, 분단 예정 위치를 따라 압접 전동(rolling)시킴으로써, 스크라이브 라인(S)을 형성하는 형태라도 좋고, 분단 예정 위치를 따라 다이아몬드 포인트에 의해 괘선을 그림으로써 스크라이브 라인(S)을 형성하는 형태라도 좋고, 레이저(예를 들면, 자외선(UV) 레이저) 조사에 의한 어블레이션(ablation)이나 변질층의 형성에 의해 스크라이브 라인(S)을 형성하는 형태라도 좋고, 레이저(예를 들면, 적외선(IR) 레이저)에 의한 가열과 냉각에 의한 열응력에 의해 스크라이브 라인(S)을 형성하는 형태라도 좋다.

브레이크 장치(100)는, 분단시에 점착 필름(2)을 개재하여 취성 재료 기판(1)의 분단 대상 위치의 근방을 하방으로부터 지지하는 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)와, 상방으로부터 분단 대상 위치에 맞닿음하여 취성 재료 기판(1)을 분단하는 누름날(브레이크날)(102)과, 분단시에 틀체(3)를 하방으로부터 지지하는 지지 테이블(103)을 구비한다.

구체적으로는, 지지 테이블(103)에는, 틀체(3)의 내경에 대략 일치하는 원형 형상의 개구부(103h)가 형성되어 이루어지고, 당해 개구부(103h)의 중앙의 위치에, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)가, 수평면 내에 있어서 간극(G)을 이루도록 근소하게 이격하여 설치되어 이루어진다. 또한, 스테이지(101a, 101b)의 상면의 높이 위치와, 지지 테이블(103)의 상면의 높이 위치는 동일하게 설정되어 이루어진다. 또한, 누름날(102)은 스테이지(101a, 101b)의 상방의 위치에 있어서 연직 방향으로 승강이 자유롭게 배치되어 이루어지고, 또한, 그 연재 방향(날 길이 방향)이 스테이지(101a, 101b)의 각각의 길이 방향과 일치되어 이루어진다. 보다 상세하게는, 누름날(102)의 선단의 연직 하방에 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)가 이루는 간극(G)이 위치하고, 또한, 간극(G)의 연재 방향이 누름날(102)의 날 길이 방향과 일치하게 되어 있다. 또한, 누름날(102)로서는, 그 날 길이 방향의 사이즈가 취성 재료 기판(1)의 직경보다도 큰 것을 사용한다.

또한, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)와 누름날(102)은, 도시하지 않은 구동 기구에 의해 구동됨으로써, 지지 테이블(103)의 개구부(103h)의 범위 내에 있어서, 수평 1축 방향으로 이동이 자유롭게 이루어진다. 이에 따라, 브레이크 장치(100)에 있어서는, 취성 재료 기판(1)의 상이한 복수의 개소를 순차 분단하는 것이 가능하게 되어 있다.

브레이크 장치(100)는 추가로, 보조 지지 바(104)와, 구속 스프링(105)을 구비한다.

보조 지지 바(104)는, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)의 각각에, 수평 방향으로 연재하는 형태로 부설되어 이루어진다. 보조 지지 바(104)는 대략 막대 형상을 이루고 있고, 그 한쪽 단측이, 부착 회전 운동부(104a)에 의해 스테이지(101a, 101b)에 대하여 수평면 내에서 회전 운동 가능하게 부착되어 이루어진다. 또한, 그 다른 한쪽 단측에는, 맞닿음부(104b)가 형성되어 이루어진다. 맞닿음부(104b)는, 스테이지(101a, 101b)의 이동에 수반하여 보조 지지 바(104)가 수평면 내를 이동한 결과로서, 지지 테이블(103)에 있어서 개구부(103h)를 이루고 있는 단부(103e)에 보조 지지 바(104)가 맞닿음하게 되는 경우에, 실제로 단부(103e)와 맞닿음하는 부위로서 형성되어 이루어진다. 맞닿음부(104b)는, 롤러나 풀리 등에 의해 수평면 내에 있어서 회전이 자유롭게 형성되는 것이 적합하다. 또한, 보조 지지 바(104)의 상면의 높이 위치는, 스테이지(101a, 101b)의 상면의 높이 위치와 동일하게 이루어진다. 이러한 보조 지지 바(104)는, 스테이지(101a, 101b)에 의한 취성 재료 기판(1)의 하방 지지를 보조하기 위해 설치되어 이루어진다.

한편, 구속 스프링(105)은, 부착 회전 운동부(104a)와 보조 지지 바(104)의 맞닿음부(104b)의 근방과의 사이에 설치되어 이루어진다. 구속 스프링(105)은, 보조 지지 바(104)의 수평면 내에 있어서의 회전 운동 동작을 구속하기 위해 설치되어 이루어진다.

또한, 스테이지(101a)에 부설되어 이루어지는 보조 지지 바(104) 및 이에 부수하는 구속 스프링(105)과, 스테이지(101b)에 부설되어 이루어지는 보조 지지 바(104) 및 이에 부수하는 구속 스프링(105)은, 서로 점 대칭의 관계로 배치되어 이루어진다.

보다 상세하게는, 보조 지지 바(104)는, 맞닿음부(104b)가 개구부(103h)의 단부(103e)와 맞닿음하고 있지 않은 상태(비맞닿음 상태)에 있어서, 대응하는 스테이지(101a, 101b)에 대하여 소정의 각도 α(예각)를 이루어 수평 방향으로 연재하도록 설치되어 이루어진다. 게다가, 구속 스프링(105)은, 이러한 비맞닿음 상태에 있어서 자연 길이가 되도록 설치되어 이루어진다. 이에 따라, 비맞닿음 상태에 있어서는, 보조 지지 바(104)의 자세는 대략 일정하게 유지되게 되어 있다. 또한, 도 1에 있어서는, 2개의 보조 지지 바(104)가 모두 비맞닿음 상태에 있는 경우를 예시하고 있다.

단, 보조 지지 바(104) 및 구속 스프링(105)은, 취성 재료 기판(1)의 직경을 D로 할 때, 비맞닿음 상태에 있을 때의 분단 대상 위치(누름날(102)의 배치 위치)에서 맞닿음부(104b)의 선단까지의 수평면 내에 있어서의 수직 거리 Y가, Y＞D/2를 충족시키도록 설치되어 이루어진다.

한편, 맞닿음부(104b)가 개구부(103h)의 단부(103e)와 맞닿음하고 있는 상태(맞닿음 상태)에 있어서는, 보조 지지 바(104)의 수평 자세는 스테이지(101a, 101b)의 위치에 따라 상이한 것이 되지만, 그때에 보조 지지 바(104)와 대응하는 스테이지(101a, 101b)가 이루는 각도 β는, 비맞닿음 상태에 있어서의 양자가 이루는 각도 α보다도 작아진다. 말하자면, 맞닿음 상태에 있어서는, 보조 지지 바(104)가 스테이지(101a 혹은 101b)측으로 꺾여 접혀 있다고 말할 수도 있다. 이러한 꺾여 접힘 상태가 실현됨으로써, 맞닿음 상태가 되었다고 해도, 보조 지지 바(104)와 지지 테이블(103)이 간섭하는 일은 없다. 또한, 도 2에 있어서는, 한쪽의(실선으로 도시하여 이루어짐) 보조 지지 바(104)가 맞닿음 상태에 있고, 다른 한쪽의(파선으로 도시하여 이루어짐) 보조 지지 바(104)가 비맞닿음 상태에 있는 경우를 예시하고 있다. 단, 도 2에 있어서는, 도시의 편의상, 누름날(102)은 생략하고 있다.

또한, 이러한 맞닿음 상태에 있어서는, 구속 스프링(105)이 보조 지지 바(104)의 자세에 따라서 신장한다. 이때의 구속 스프링(105)의 복원력은, 보조 지지 바(104)에 대하여, 그 자세를 기초로(비맞닿음 상태시의 자세로) 되돌리기 위한 탄성지지력으로서 작용한다. 이러한 형태로 탄성지지력이 작용하고 있는 점에서, 브레이크 장치(100)에 있어서는, 이러한 맞닿음 상태로부터 비맞닿음 상태로 이행(복귀)할 때의 보조 지지 바(104)의 자세 변화가, 신속하게 이루어지게 되어 있다.

추가로 또한, 브레이크 장치(100)에는, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)에 의해 형성되어 이루어지는 간극(G)의 하방에, 관찰용의 카메라(110)가 구비되어 있다. 카메라(110)는, 도 1에 있어서 화살표 AR로 나타내는 바와 같이, 간극(G)을 통하여 상방을 촬상 가능하게 이루어진다. 브레이크 장치(100)에 있어서는, 이러한 카메라(110)의 촬상 화상에 기초하여, 분단시의 한 쌍의 스테이지(101a, 101b) 및 누름날(102)의 배치 위치를 조정하게 되어 있다.

이상과 같은 구성을 갖는 브레이크 장치(100)에 있어서 취성 재료 기판(1)을 분단함에 있어서는, 우선, 취성 재료 기판(1)을 접착하여 이루어지는 기판 지지 부재를, 취성 재료 기판(1)을 상측으로 한 자세로, 접착 가능 영역과 지지 테이블(103)의 개구부(103h)가 일치하도록(개구부와 틀체(3)의 내측 단부가 일치하도록), 지지 테이블(103) 상에 올려놓아 고정한다. 그리고, 이러한 형태로 기판 지지 부재를 올려놓은 상태에서, 최초의 분단을 행하는 위치에 형성된 스크라이브 라인(S)의 수평 위치가, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)가 이루는 간극(G)의 위치와 일치하도록, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b) 및 누름날(102)의 배치 위치를 조정한다. 이러한 조정에는, 카메라(110)에 의한 촬상 화상이 이용된다.

한 쌍의 스테이지(101a, 101b) 및 누름날(102)의 배치 위치가 조정되면, 누름날(102)을 상방으로부터 스크라이브 라인(S)의 형성 위치를 향하여 하강시켜 그 선단을 취성 재료 기판(1)에 맞닿게 하고, 더욱 누름날(102)을 압입하도록 하강시킨다. 이에 따라, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)가 아랫날이 되고, 누름날(102)이 윗날이 된 3점 굽힘의 상태가 실현되어, 스크라이브 라인(S)으로부터 기판 두께 방향으로 크랙이 신전하여, 취성 재료 기판(1)이 분단된다.

이러한 형태로 하나의 분단 대상 위치에 대한 분단이 종료되면, 계속해서, 다음의 분단 대상 위치에 있어서의 분단을 행한다. 구체적으로는, 기판 지지 부재의 재치 고정 상태를 유지한 채, 다음의 분단 대상 위치에 형성된 스크라이브 라인(S)의 수평 위치가, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)가 이루는 간극(G)의 위치와 일치하도록, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b) 및 누름날(102)의 배치 위치를 조정한다. 이후, 모든 분단 대상 위치에 있어서의 분단이 종료될 때까지, 이것을 반복한다.

이때, 예를 들면 도 1에 나타내는 바와 같이, 취성 재료 기판(1)의 중앙 부분 근방이 분단 대상 위치인 경우(중앙 부분 근방에 형성되어 이루어지는 스크라이브 라인(S)의 부분에서 분단을 행하는 경우)에는, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)의 각각에 부설하는 보조 지지 바(104)의 수평 자세는 동일하다. 구체적으로는, 2개의 보조 지지 바(104)는 모두 개구부(103h)의 단부(103e)와는 비접촉인 상태에 있다. 이러한 경우에 있어서는, 취성 재료 기판(1)은, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)뿐만 아니라, 각각에 부설된 보조 지지 바(104)에 의해서도, 점착 필름(2)을 개재하여 하방 지지된 상태로 되어 있다. 따라서, 분단시에 있어서, 취성 재료 기판(1)은 안정적으로 지지되게 되어 있다.

한편, 예를 들면 도 2에 나타내는 바와 같이, 취성 재료 기판(1)의 단부 근방이 분단 대상 위치가 되는 경우에는, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)를 당해 분단 대상 위치에 맞추어 개구부(103h)의 단부(103e)의 근방에 배치할 필요가 있다. 도 2에 있어서는 스테이지(101b)가 단부(103e)에 근접하고 있는 경우를 예시하고 있다. 이러한 경우, 스테이지(101b)에 부설되어 이루어지는 보조 지지 바(104)는 단부(103e)와 맞닿음하고, 꺾여 접힌 상태로 되어 있어, 지지 테이블(103)과의 간섭은 발생하지 않았다. 한편, 다른 한쪽의 스테이지(101a)에 부설되어 이루어지는 보조 지지 바(104)는, 비맞닿음 상태를 유지하여 취성 재료 기판(1)을 하방 지지하고 있다. 전술한 바와 같이, 보조 지지 바(104)는, Y＞D/2가 되는 관계를 충족시키도록 설치되어 이루어지는 점에서, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)의 배치 위치가 취성 재료 기판(1)의 무게 중심 위치인 중심 위치로부터 어긋나 있음에도 불구하고, 취성 재료 기판(1)은, 분단시에 있어서 안정적으로 지지되게 되어 있다.

또한, 맞닿음 상태에 있는 경우, 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)의 배치 위치에 의해 보조 지지 바(104)의 수평 자세는 변화하고, 이에 따라 단부(103e)에 있어서의 맞닿음부(104b)의 맞닿음 위치도 변화하지만, 전술한 바와 같이 맞닿음부(104b)가 회전이 자유롭게 형성되어 이루어지는 경우, 이러한 맞닿음 위치의 변위는 맞닿음부(104b)가 단부(103e)에 맞닿음 전동(rolling)함으로써 이루어지기 때문에, 보조 지지 바(104)의 수평 자세의 변화도, 매끄럽게 이루어지게 된다.

브레이크 장치가 이러한 보조 지지 바(104)를 구비하고 있지 않은 경우, 도 2의 경우와 같이 한 쌍의 스테이지(101a, 101b)가 개구부(103h)의 단부(103e)의 근방에 위치한 경우, 취성 재료 기판(1)의 지지 균형이 무너져, 스테이지(101a 혹은 101b)로부터 멀어진 부분에 있어서 점착 필름(2)이 취성 재료 기판(1)의 자중에 의해 휘어 버리거나, 나아가서는 그 영향으로, 분단 대상 위치의 근처에 있어서 취성 재료 기판(1)이 점착 필름(2)으로부터 부상해 버리거나 하는 문제가 발생하는 경우가 있다. 또한, 이러한 부상이 발생함으로써, 카메라(110)에 의한 촬상시에 초점이 맞지 않게 되어, 위치 조정을 행할 수 없는 등의 문제가 발생하는 경우도 있다.

이에 대하여, 본 실시 형태에 따른 브레이크 장치(100)에 있어서는, 보조 지지 바(104)를 구비함으로써, 분단 대상 위치가 어디인지에 상관없이, 취성 재료 기판(1)은 안정적으로 하방 지지되기 때문에, 모든 분단 대상 위치에 있어서, 취성 재료 기판(1)을 적합하게 분단할 수 있다.

이상, 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 취성 재료 기판을 분단하는 브레이크 장치에 있어서 아랫날이 되는 한 쌍의 스테이지에 보조 지지 바를 부설하고, 분단시에 있어서 취성 재료 기판을 스테이지뿐만 아니라 보조 지지 바에 의해서도 하방 지지하도록 함으로써, 분단 대상 위치가 취성 재료 기판의 어느 위치인지에 상관없이, 취성 재료 기판을 적합하게 분단할 수 있다. 또한, 보조 지지 바를, 그 한쪽 단부가 주위에 맞닿은 경우에 스테이지의 측으로 꺾여 접히도록 설치해 둠과 함께, 이러한 맞닿음 상태에 있어서 신장하는 스프링을 보조 지지 바에 부설해 둠으로써, 보조 지지 바가 맞닿음 상태로부터 비맞닿음 상태로 복귀할 때에, 그 자세를 신속하게 되돌릴 수 있다.

1 : 취성 재료 기판
2 : 점착 필름
3 : 틀체
100 : 브레이크 장치
101a, 101b : 스테이지
102 : 누름날
103 : 지지 테이블
103e : (지지 테이블의 개구부의) 단부
103h : (지지 테이블의) 개구부
104 : 보조 지지 바
104a : 부착 회전 운동부
104b : 맞닿음부
105 : 구속 스프링
110 : 카메라
G : (스테이지의) 간극
S : 스크라이브 라인

Claims

취성 재료 기판을 미리 그 한쪽 주면측(主面側)에 형성되어 이루어지는 스크라이브 라인으로부터의 크랙 신전(extend)에 의해 분단하는 브레이크 장치로서,
원형 환상(環狀)의 틀체에 점착 필름이 장설(張設)되어 이루어지고 또한 상기 취성 재료 기판의 상기 한쪽 주면측을 상기 점착 필름에 접착시켜 이루어지는 기판 지지(holding) 부재가, 상기 틀체의 형상에 맞추어 형성된 원형의 개구부와 상기 틀체의 내측 단부(端部)를 일치시키는 형태로 상면에 올려놓여지는 지지 테이블과,
상기 개구부에 있어서 수평면 내에 이동이 자유롭게 이루어짐과 함께, 수평면 내에 있어서 서로 이격하여 설치되어 이루어지고, 분단시에 있어서 상기 취성 재료 기판의 분단 예정 위치를 서로의 간극의 형성 위치와 일치시키는 형태로 상기 점착 필름을 개재하여 상기 취성 재료 기판을 하방으로부터 지지하는 한 쌍의 스테이지와,
상기 한 쌍의 스테이지와 함께 수평면 내에 이동이 자유롭게 이루어짐과 함께, 상기 기판 지지 부재가 상기 지지 테이블 상에 올려놓여진 상태에 있어서 상기 취성 재료 기판의 다른 한쪽 주면측의 분단 예정 위치에 맞닿음 가능하게 설치된 누름날과,
상기 한 쌍의 스테이지의 각각에 대하여, 수평면 내에 있어서 소정의 각도를 이루어 부설(付設)되어 이루어지고, 상기 한 쌍의 스테이지와 함께 상기 취성 재료 기판을 하방 지지하는 보조 지지 바를 구비하는 브레이크 장치로서,
상기 보조 지지 바가, 상기 수평면 내에 있어서 회전 운동이 자유롭게 설치되어 이루어지고, 상기 개구부에 맞닿은 경우에는 당해 맞닿음 상태를 유지하면서 부설된 상기 스테이지의 측으로 꺾여 접히는 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
제1항에 있어서,
상기 보조 지지 바가 상기 개구부와 맞닿음하지 않는 비(非)맞닿음 상태에 있을 때에는 자연 길이가 되고, 상기 보조 지지 바가 상기 맞닿음 상태에 있을 때에 신장(伸張)하도록 설치되어 이루어짐으로써 상기 보조 지지 바의 회전 운동 동작을 구속하는 구속 스프링을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 취성 재료 기판의 직경을 D로 하고, 상기 보조 지지 바가 상기 개구부와 맞닿음하지 않는 비맞닿음 상태에 있을 때의 분단 대상 위치에서 상기 보조 지지 바의 선단까지의 수평면 내에 있어서의 수직 거리를 Y로 할 때, Y＞D/2인 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
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