KR102345031B1 - 기판 처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 지지프레임의 내부공간에 약액탱크를 배치함으로써 프레임의 내부공간을 효율적으로 사용할 수 있으면서도 배관구조를 단순하게 하여 약액의 배출 및 회수를 신속하게 수행할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 지지프레임; 상기 지지프레임에 설치되고, 기판이 처리되는 내부공간이 구비되며, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 배출공이 구비되는 챔버; 및 상기 지지프레임에 설치되고, 상기 챔버에서 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 내부공간이 구비되며, 상부면에는 상기 배출공과 상응하는 유입공이 구비되는 약액탱크;를 포함하고, 상기 배출공과 상기 유입공이 일치된 상태에서 상기 챔버의 하부면과 상기 약액탱크의 상부면이 접합되는 특징을 개시한다.

Description

기판 처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로, 상세하게는 지지프레임의 내부공간에 약액탱크를 배치함으로써 프레임의 내부공간을 효율적으로 사용할 수 있으면서도 배관구조를 단순하게 하여 약액의 배출 및 회수를 신속하게 수행할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 제조에 사용되는 기판은 증착, 패턴 형성, 식각, 화학적 기계적 연마, 세정, 건조 등과 같은 다양한 기판 처리 공정들을 반복적으로 수행하며 제조된다.
기판 처리 공정 중, 증착 및 패턴을 형성하는 이른바, 포토리소그라피(photo-lithography) 공정은 반도체장치 및 액정표시장치(liquid crystal display, LCD) 등의 화상 구현 장치에 특정한 회로 배선을 제작하기 위하여 일반적으로 사용되는 공정 중 하나이며, 포토레지스트(photo-resist)는 포토리소그라피 공정에 필수적으로 사용되는 물질이다.
이렇게 포토리소그라피 처리 공정이 완료된 이후에는 기판에 잔존하는 잔여 포토레지스트를 제거하는 처리 공정이 추가 수행되어야 하는데, 일반적으로 특정 용액이 함유된 약액을 기판에 공급하여 세정 처리 공정을 거침으로써, 기판에 잔존하는 잔여 포토레지스트를 제거할 수 있다.
도 1은 이러한 종래 기판 처리장치를 설명하기 위한 예시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리장치는 기판이 처리되는 내부공간을 가지는 챔버(2)를 포함하며, 챔버(2) 내부공간에 약액을 공급하고 챔버(2)의 내부공간을 지나는 기판에 약액을 접촉시키면서 기판을 처리하게 된다.
이러한 기판 처리장치는 챔버(2)에서 기판 처리에 사용된 약액을 외부로 배출시키거나, 필요에 따라 필터링을 거친 후 챔버(2)로 재공급해 주기 위하여, 챔버(2)와 연결되어 기판 처리에 사용된 약액을 일차적으로 회수하는 약액탱크(3)를 포함한 약액 공급 및 배출 장치를 구비하게 된다.
결국 기판 처리장치를 구성하는 지지프레임(1) 상에는 챔버(2)뿐만 아니라 약액탱크(3), 펌프, 필터 및 각 유닛들을 연결하는 각종 이송파이프를 포함한 약액 공급 및 배출 장치가 설치되어야 한다.
하지만, 이러한 기존 기판 처리장치에는 다음과 같은 문제가 있다.
우선 챔버(2)로부터 배출되는 약액을 빠른 시간에 회수하기 위해서는 기본적으로 약액탱크(3)의 부피가 커져야 하고, 이러한 약액탱크(3)의 설치를 위해서는 지지프레임(1)의 규모도 비례해서 커져야 하는 문제가 있다.
또한 약액탱크(3)가 설치되는 충분한 공간이 마련되었다 하더라도, 약액탱크(3)의 중량 문제로 인하여 기판이 이송되는 챔버(2)측과 이격되어 바닥과 같은 장소에 별도로 설치되어야 하고, 이로 인하여, 챔버(2)와 약액탱크(3)를 연결하는 별도의 약액 배출용 파이프라인이 추가적으로 설치되어야 한다.
또한 챔버(2)와 약액탱크(3)를 연결하는 파이프 연결 방식으로 인하여 제작 및 설치 과정에서 누수 요인이 발생될 수 있고, 사용 과정에서는 복잡한 배출 파이프라인으로 인하여 약액을 회수하기까지 많은 시간이 소요되는 문제점이 있으며, 이렇게 약액의 회수 시간이 늦어지게 되면 챔버에서 수행되는 기판의 처리 공정의 효율을 떨어뜨리는 문제점이 발생된다.
대한민국공개특허공보 제2019-0015667호(2019.02.14. 공개)
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 지지프레임의 내부공간에 약액탱크를 배치함으로써 프레임의 내부공간을 효율적으로 사용할 수 있으면서도 배관구조를 단순하게 하여 약액의 배출 및 회수를 신속하게 수행할 수 있는 기판 처리장치를 제공함에 있다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치는, 지지프레임; 상기 지지프레임에 설치되고, 기판이 처리되는 내부공간이 구비되며, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 배출공이 구비되는 챔버; 및 상기 지지프레임에 설치되고, 상기 챔버에서 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 내부공간이 구비되며, 상부면에는 상기 배출공과 상응하는 유입공이 구비되는 약액탱크;를 포함할 수 있고, 이때 상기 배출공과 상기 유입공이 일치된 상태에서 상기 챔버의 하부면과 상기 약액탱크의 상부면이 접합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 지지프레임은, 기판이 이송되는 길이방향으로 구비되고, 상기 약액탱크를 수용한 상태에서 상기 약액탱크의 하부면 및 측면을 지지하는 제1 지지부; 및 상기 제1 지지부를 중심으로 폭방향을 따라 상기 제1 지지부의 양측 상부에 구비되고, 상기 챔버를 수용한 상태에서 상기 챔버의 하부면 및 측면을 지지하는 제2 지지부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 약액탱크는, 상기 챔버의 하부면에 결합되는 상부면에는 상기 배출공과 상응하는 제1 유입공이 구비되고, 하부면에는 약액이 배출되는 제1 유출공이 구비되는 제1 약액탱크; 및 상기 제1 약액탱크의 하부면에 결합되는 상부면에는 상기 제1 유출공과 상응하는 제2 유입공이 구비되고, 하부면에는 약액이 배출되는 제2 유출공이 구비되는 제2 약액탱크;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 제2 유출공은, 재사용이 가능한 약액을 배출하기 위한 회수용 제2 유출공; 및 재사용이 불가한 약액을 배출하기 위한 폐수용 제2 유출공;을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 챔버는, 기판이 이송되는 길이방향으로 구비되고, 폭방향을 따라 양측 단부를 절곡시켜 바닥판과 측판이 일체로 형성되는 본체부; 기판이 유입되는 기판유입구가 구비되고, 상기 본체부의 개구된 전면에 결합되는 전면판; 및 기판이 배출되는 기판배출구가 구비되고, 상기 본체부의 개구된 후면에 결합되는 후면판;을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 바닥판은, 수평을 이루고, 상기 배출공이 구비되는 수평형 바닥부; 및 약액이 상기 수평형 바닥부 측으로 흐르도록 상기 수평형 바닥부와 상기 측판의 하단부를 연결하는 만곡형 바닥부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 챔버는 기판이 처리되는 내부공간을 전방영역과 후방영역으로 구획하는 격판을 포함할 수 있고, 상기 배출공은 상기 전방영역에서 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 전방 배출공과, 상기 후방영역에서 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 후방 배출공을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 유입공은 상기 전방 배출공에 연결되는 전방 유입공과, 상기 후방 배출공에 연결되는 후방 유입공을 포함할 수 있고, 상기 전방영역 및 상기 후방영역에서 기판 처리에 사용된 약액은 상기 약액탱크로 일괄 수용될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 제1 지지부는 상기 약액탱크의 하부면을 지지하는 제1 수평지지대와, 상기 제1 수평지지대의 양측 단부에서 상측으로 연장 형성되어 상기 약액탱크의 측면을 지지하는 제1 수직지지대를 포함할 수 있고, 상기 제2 지지부는 상기 제1 수직지지대의 상단부에서 폭방향으로 연장 형성되어 상기 챔버의 하부면을 지지하는 제2 수평지지대와, 상기 제2 수평지지대의 양측 단부에서 상측으로 연장 형성되어 상기 챔버의 측면을 지지하는 제2 수직지지대를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 챔버는, 상기 지지프레임의 전방영역에 설치되고, 기판이 처리되는 내부공간이 구비되며, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 전방 배출공이 구비되는 전방 챔버; 및 상기 전방 챔버와 인접하게 상기 지지프레임의 후방영역에 설치되고, 기판이 처리되는 내부공간이 구비되며, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 후방 배출공이 구비되는 후방 챔버를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 약액탱크는, 상기 전방 챔버의 하측에 배치되도록 상기 지지프레임의 전방영역에 설치되고, 상부면에는 상기 전방 배출공과 상응하는 전방 유입공이 구비되어 상기 전방 챔버에서 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 전방 약액탱크; 및 상기 후방 챔버의 하측에 배치되도록 상기 지지프레임의 후방영역에 설치되고, 상부면에는 상기 후방 배출공과 상응하는 후방 유입공이 구비되어 상기 후방 챔버에서 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 후방 약액탱크;를 포함할 수 있고, 이때 대향하는 상기 전방 약액탱크의 후면과 상기 후방 약액탱크의 전면이 서로 연통될 수 있다.
본 발명에 따르면, 챔버와 약액탱크 사이의 복잡한 파이프라인을 제거하여 연결 구조를 단순화함으로써, 장치의 중량 및 점유공간을 줄일 수 있고, 장치의 제작 및 효율적인 관리가 가능하다.
또한 본 발명에 따르면, 최소한의 접합으로 챔버 및 약액탱크를 제작하고, 많은 접합 시공이 요구되는 파이프라인을 최소화함으로써, 접합 부분에서 발생될 수 있는 누수 위험을 최소화하고, 장치의 보다 효율적인 관리가 가능하다.
또한 본 발명에 따르면, 챔버와 약액탱크를 직접 연결하여 챔버와 약액탱크를 일체화시킴으로써 챔버로부터 배출되는 약액의 배출 및 회수 시간을 크게 단축하고, 챔버에서 수행되는 기판 처리효율을 크게 향상시킬 수 있다.
또한 본 발명에 따른 기판 처리장치는 지지프레임의 내부공간에 약액탱크를 배치함으로써 프레임의 내부공간을 효율적으로 사용할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판처리장치는 복수개의 챔버에서 배출되는 유체가 하나의 약액탱크와 일체로 연결되는 구조를 가짐으로써 배관구조를 단순화 할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 종래 기판 처리장치를 설명하기 위한 정면 예시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치를 설명하기 위한 정면 예시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치의 약액탱크를 설명하기 위한 입체 예시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치의 약액탱크를 설명하기 위한 측면 예시도이다.
도 5는 종래 기판 처리장치(a)와 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치(b)를 비교해서 나타낸 평면 예시도이다.
이하 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용될 수 있으며 이에 따른 부가적인 설명은 생략될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치를 설명하기 위한 정면 예시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치의 약액탱크를 설명하기 위한 입체 예시도이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치의 약액탱크를 설명하기 위한 측면 예시도이고, 도 5는 종래 기판 처리장치(a)와 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치(b)를 비교해서 나타낸 평면 예시도이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리장치는 지지프레임(100), 챔버(200), 약액탱크(300)를 포함할 수 있다.
지지프레임(100)은 프레임 구조를 이루고, 챔버(200) 및 약액탱크(300)를 포함한 일련의 기판 처리장치가 설치 및 지지될 수 있다.
지지프레임(100)은 제1 지지부(110) 및 제2 지지부(120)를 포함할 수 있다.
제1 지지부(110)는 약액탱크(300)를 지지하는 부분으로, 기판이 이송되는 길이방향으로 구비될 수 있고, 약액탱크(300)를 수용한 상태에서 약액탱크(300)를 지지할 수 있으며, 약액탱크(300)의 하부면 및 측면을 지지할 수 있다. 제1 지지부(110)를 통해 약액탱크(300)는 챔버(200)의 폭방향으로 중심선 상에 배치될 수 있다.
제1 지지부(110)는 약액탱크(300)의 하부면을 지지하는 제1 수평지지대(111)와, 약액탱크(300)의 측면을 지지하는 제1 수직지지대(112)를 포함할 수 있다. 제1 수평지지대(111)는 바닥으로부터 상측으로 이격된 채 수평하게 유지될 수 있고, 제1 수직지지대(112)는 제1 수평지지대(111)의 양측 단부에서 상측으로 수직하게 연장 형성될 수 있다.
제2 지지부(120)는 챔버(200)를 지지하는 부분으로, 기판이 이송되는 길이방향으로 구비될 수 있고, 제1 지지부(110) 보다 높은 위치에 배치되도록 제1 지지부(110)의 상측에 구비될 수 있으며, 챔버(200)를 수용한 상태에서 챔버(200)를 지지할 수 있으며, 챔버(200)의 하부면 및 측면을 지지할 수 있다. 제2 지지부(120)를 통해 챔버(200)는 약액탱크(300)를 중심으로 좌우측이 대칭된 상태를 유지할 수 있다.
제2 지지부(120)는 챔버(200)의 하부면을 지지하는 제2 수평지지대(121)과, 챔버(200)의 측면을 지지하는 제2 수직지지대(122)를 포함할 수 있다. 제2 수평지지대(121)는 제1 수직지지대(111)의 상단부에서 폭방향으로 수평하게 연장 형성될 수 있고, 제2 수직지지대(122)는 제2 수평지지대(121)의 양측 단부에서 상측으로 수직하게 연장 형성될 수 있다.
제2 수평지지대(121)의 상부면에는 챔버(200)의 하부면을 지지하는 지지블록이 더 구비될 수 있다. 지지블록은 후술되는 챔버(200)의 만곡형 바닥부(211b)를 지지할 수 있으며, 챔버(200)의 폭방향을 따라 서로 다른 높이를 가지도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 지지블록은 챔버(200)를 수평상태로 유지할 수 있다.
도시된 바와 같이, 지지프레임(100)은 기판이 이송되는 길이방향의 중심선을 기준으로 좌측과 우측이 대칭 구조를 가지도록 구비될 수 있다. 즉, 제1 지지부(110)는 지지프레임(100)의 길이방향의 중심선과 나란하게 배치될 수 있고, 제1 지지부(110)를 중심으로 양측 상부에 한 쌍의 제2 지지부(120)가 대칭되게 배치될 수 있다.
결국 지지프레임(100)은 제1 지지부(110)를 통하여 약액탱크(300)를 바닥으로부터 이격시켜 지지프레임(100)의 중심부에 배치시킬 수 있고, 제2 지지부(120)를 통하여 챔버(200)는 약액탱크(300)의 상부에서 좌우측이 대칭되게 배치될 수 있다.
또한 지지프레임(100)은 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버(200) 및 약액탱크(300)가 설치되지 않은 나머지 공간 즉, 약액탱크(300)의 좌측과 우측 하부 공간에는 기판 처리를 위한 일련의 장비들이 설치 및 지지될 수 있다. 예를 들면, 약액탱크(300)의 좌측과 우측 하부 공간에는 펌프, 필터, 히터 및 각 유닛을 연결하는 파이프라인이 설치될 수 있다.
챔버(200)는 기판이 처리되는 부분으로, 기판이 처리되는 내부공간이 구비될 수 있고, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 배출공이 구비될 수 있다.
배출공은 제1 지지부(110)와 대향하도록 챔버(200)의 하부면 중앙부에 구비될 수 있다. 또한, 배출공은 챔버(200)의 길이방향을 따라 미리 정해진 간격으로 이격되게 복수개가 구비될 수 있다.
도시되진 않았지만, 실시예에 따른 챔버(200)의 내부공간에는 챔버(200)의 길이방향을 따라 이격 배치되는 격판이 구비될 수 있고, 격판을 통해 챔버(200)의 내부공간은 기준선(SL:도 5참조)을 기준으로 전방영역(A)과 후방영역(B)으로 구획될 수 있다. 전방영역(A)과 후방영역(B)에서는 서로 다른 기판 처리 공정이 수행될 수 있다.
전방영역(A)에 배치된 챔버(200)의 하부면에는 전방 배출공이 구비될 수 있고, 후방영역(B)에 배치된 챔버(200)의 하부면에는 후방 배출공이 구비될 수 있다.
이에 따라, 전방영역(A)에서 기판 처리된 사용된 약액은 전방 배출공을 통해 배출될 수 있고, 후방영역(B)에서 기판 처리된 사용된 약액은 후방 배출공을 통해 배출될 수 있다.
물론 챔버(200)의 내부공간을 구획하는 격판은 기판의 이송방향과 일치되는 챔버(200)의 길이방향을 따라 복수개가 구비될 수 있으며, 이에 따라, 챔버(200)의 내부공간은 3 이상의 기판 처리공간으로 구획될 수도 있다.
실시예에 따른 챔버(200)는 본체부(210), 전면판(220), 후면판(230)을 포함할 수 있다.
본체부(210)는 기판이 이송되는 길이방향으로 구비되고, 폭방향을 따라 양측 단부를 절곡시켜 바닥판(211)과 측판(212)이 일체로 형성될 수 있다. 결과적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 본체부(210)는 정면에서 봤을 때 U자 형상을 가지도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본체부(210)는 바닥판(211)과 측판(212)을 별도로 제작하여 접합하는 것이 아니라 바닥판(211)과 측판(212)을 벤딩시켜 일체로 제작될 수 있다. 이렇게 제작된 본체부(210)는 접합 작업의 축소로 제작이 용이하고, 접합 부위에서 발생될 수 있는 누수 문제를 방지할 수 있다.
본체부(210)의 바닥판(211)은 수평형 바닥부(211a) 및 만곡형 바닥부(211b)를 포함할 수 있다.
수평형 바닥부(211a)는 수평을 이루는 부분으로, 수평형 바닥부(211a)에 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 배출공이 구비될 수 있다. 또한, 챔버(200)가 제2 지지부(120)에 설치 및 지지될 시, 수평형 바닥부(211a)는 제1 지지부(110)와 대향하도록 배치될 수 있다. 결과적으로, 수평형 바닥부(211a)의 폭과 제1 지지부(110)의 폭은 동일한 폭을 가지도록 구비될 수 있고, 제1 지지부(110)의 상측으로 노출되는 약액탱크(300)의 상부면에 접합되어 일체로 결합될 수 있다.
만곡형 바닥부(211b)는 만곡 형성되는 부분으로, 만곡형 바닥부(211b)는 수평형 바닥부(211a)의 양측 끝단과 측판(212)의 하단부를 연결할 수 있다. 본체부(210)의 바닥판(211) 측으로 흘러내린 약액은 만곡형 바닥부(211b)에 안내되어 중앙부의 수평형 바닥부(211a) 측으로 모이게 되고, 이후 배출공을 통해 하방으로 배출될 수 있다.
전면판(220)은 본체부(210)의 개구된 전면에 결합될 수 있고, 본체부(210)의 개구된 전면에 접합되어 결합될 수 있다. 전면판(220)에는 외부에서 이송되는 기판을 관통시키며 유입하는 기판유입구(221)가 구비될 수 있다.
후면판(230)은 본체부(210)의 개구된 후면에 결합될 수 있고, 본체부(210)의 개구된 후면에 접합되어 결합될 수 있다. 후면판(230)에는 외부로 이송되는 기판을 관통시키며 배출하는 기판배출구(231)가 구비될 수 있다.
도시된 바와 같이, 전면판(220)에 구비되는 기판유입구(221) 및 후면판(230)에 구비되는 기판배출구(231)는 서로 상응하게 형성되되 수평면을 기준으로 경사지게 배치될 수 있다. 즉, 기판은 수평면을 기준으로 경사진 상태에서 챔버(200)의 내부공간을 지나기 때문에, 챔버(200)의 내부공간에서 약액을 이용한 기판 처리 과정에서 기판의 표면에 존재하는 약액은 중력에 의해 하방으로 자연스레 흘려내릴 수 있다.
약액탱크(300)는 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 부분으로, 약액이 수용되는 내부공간이 구비될 수 있고, 상부면에는 챔버(200)의 배출공과 연결되는 유입공(311)이 구비될 수 있으며, 하부면에는 약액이 배출되는 유출공(322)이 구비될 수 있다.
이때 약액탱크(300)의 유입공(311)은 챔버(200)의 배출공과 일치되도록 상응하는 형상 및 개수로 구비될 수 있다.
예를 들면, 약액탱크(300)의 유입공(311)은 챔버(200)의 전방 배출공과 상응하게 형성되어 전방 배출공과 연결되는 전방 유입공 및 챔버(200)의 후방 배출공과 상응하게 형성되어 후방 배출공과 연결되는 후방 유입공이 구비될 수 있다. 이에 따라, 챔버(200)의 전방영역(A)과 후방영역(B)에서 기판 처리에 사용된 약액은 약액탱크(300)로 일괄 수용될 수 있다.
또한 약액탱크(300)는 챔버(200)의 하부면에 접합되어 일체로 결합될 수 있다. 이렇게 접합된 약액탱크(300)의 유입공(311)은 챔버(200)의 배출공과 일치되어 약액의 배출 경로가 연통된다.
또한 약액탱크(300)는 상부면이 챔버(200)에 접합된 상태에서 제1 지지부(110)로부터 지지될 수 있고, 제1 지지부(110)에 지지되는 약액탱크(300)의 측면부와 바닥부는 제1 지지부(110)에 접합될 수 있다.
실시예에 따른 약액탱크(300)는 제1 약액탱크(310) 및 제2 약액탱크(320)를 포함할 수 있다.
제1 약액탱크(310) 및 제2 약액탱크(320)는 적층 구조를 이룰 수 있으며, 제1 약액탱크(310)는 상부에 배치되고, 제2 약액탱크(320)는 하부에 배치될 수 있다. 이때, 제1 약액탱크(310) 및 제2 약액탱크(320)는 서로 일체로 결합될 수 있다.
즉, 제1 약액탱크(310)는 상부면이 챔버(200)의 하부면에 결합될 수 있고, 상부면에는 배출공과 상응하는 제1 유입공이 구비될 수 있다. 또한, 하부면에는 약액이 배출되는 제1 유출공이 구비될 수 있다.
제2 약액탱크(320)는 상부면이 제1 약액탱크(310)의 하부면에 결합될 수 있고, 상부면에는 제1 유출공과 상응하는 제2 유입공이 구비될 수 있다. 또한, 하부면에는 약액이 배출되는 제2 유출공이 구비될 수 있다.
제1 약액탱크(310) 및 제2 약액탱크(320)는 제1 지지부(110)로부터 지지될 수 있고, 제1 지지부(110)에 지지되는 제1 약액탱크(310)의 측면부 및 제2 약액탱크(320)의 측면부와 바닥부는 제1 지지부(110)에 접합될 수 있다.
따라서 챔버(200)에서 배출되는 약액은 제1 약액탱크(310) 및 제2 약액탱크(320)에 순차적으로 수용된 다음 제2 유출공을 통하여 배출될 수 있다.
제2 약액탱크(320)의 제2 유출공은 회수용 제2 유출공(322a) 및 폐수용 제2 유출공(322b)을 포함할 수 있다.
회수용 제2 유출공(322a)은 재사용이 가능한 약액을 배출할 수 있고, 회수용 제2 유출공(322a)과 연결되는 배출파이프 상에는 개폐밸브가 구비될 수 있다.
폐수용 제2 유출공(322b)은 재사용이 불가한 약액을 외부로 배출할 수 있다. 폐수용 제2 유출공(322b)과 연결되는 배출파이프에도 개폐밸브가 구비될 수 있다.
챔버(200)에는 다양한 종류의 기판 처리 공정이 수행될 수 있는데, 기판 처리 공정에 따라 사용되는 약액이 변경될 수 있고, 동일한 약액이라 하더라도 기판 처리 공정에 따라 서로 다른 용액을 함유한 상태로 배출될 수 있다. 즉, 챔버(200)에서 배출되는 약액은 재사용이 가능한 용액일 수 있고, 단순 폐수와 같이 재사용이 불가한 용액일 수 있다.
따라서 회수용 제2 유출공(322a) 및 폐수용 제2 유출공(322b)을 모두 개방하여 제2 약액탱크(300)에 수용된 약액을 배출시킬 수 있고, 처리 공정에 따른 약액에 따라 회수용 제2 유출공(322a)은 폐쇄시키고 폐수용 제2 유출공(322b)만을 개방하여 재사용이 불가한 약액을 외부로 배출시킬 수 있으며, 폐수용 제2 유출공(322b)은 폐쇄시키고 회수용 제2 유출공(322a)만을 개방하여 재사용이 가능한 약액을 회수하여 필터링을 거친 다음 챔버(200)로 재 공급할 수 있다.
도 5 (a)에 도시된 바와 같이, 종래 기판 처리장치는 각각의 약액탱크(3)에서 배출되는 약액을 배출 또는 회수하기 위하여 각 약액탱크(3)마다 회수용 배수파이프(4a)와 폐수용 배수파이프(4b)를 한 쌍으로 하는 배수파이프(4)가 구비되어야 하지만, 이와 달리, 도 5 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에서는 복수의 챔버(200)에서 사용된 약액을 하나의 통합된 약액탱크(300)에서 일괄적으로 수용할 수 있기 때문에, 약액탱크(300)와 연결되는 배출파이프(400)의 수량이 축소될 수 있고, 이와 비례하여 파이프를 연결하는 각종 밸브유닛의 설계를 최소화할 수 있으며, 이에 따른 중량 및 부피를 최소화할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에서는 연결 파이프를 배제하고 복수의 챔버(200)에 직접 연결된 약액탱크(300)측으로 약액이 직접 수용되기 때문에, 챔버(200)에서 배출되는 약액을 신속하게 배출할 수 있고, 결국, 챔버(200)에서 수행되는 기판 처리 공정의 효율을 높일 수 있다.
그리고 약액탱크(300)에는 외부에서 내부공간을 식별할 수 있도록 관찰창(340)이 구비될 수 있다. 관찰창(340)을 통해 작업자는 약액탱크(300) 내부의 약액 수위 및 배출 용량을 즉각적으로 식별할 수 있다.
한편 약액탱크(300)는 기본적으로 기판이 이송되는 길이방향으로 구비되는 챔버(200)의 길이와 상응하는 길이를 가지도록 구비될 수 있다.
또한 약액탱크(300)는 도시된 바와 같이 사각 단면 구조의 제1 지지부(110)의 형상과 일치되게 사각 단면 형상을 가지도록 제작될 수 있고, 예를 들면, 판재를 절단한 다음 서로 용접하여 제작할 수 있다.
또한 약액탱크(300)는 다양한 재료로 제작될 수 있고, 예를 들면, 스테인리스 강재로 제작될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 기판 처리장치는 기판의 이송방향을 따라 복수의 처리공정이 연속 배치되는 이른바, 인라인(In-line) 형태로 배치될 수 있는데, 이러한 인라인 형태의 기판 처리 공정을 수행하기 위하여, 기판의 이송방향을 따라 복수의 챔버(200)가 구비될 수 있고, 복수의 챔버(200)를 거치면서 복수의 기판 처리 공정이 수행될 수 있다.
이때, 약액탱크(300)는 각 처리 공정에서 배출되는 약액을 개별적으로 배출 및 회수할 수 있다. 즉, 실시예에 따른 복수의 챔버(200)를 구성하는 경우, 챔버(200)와 상응하는 수량으로 구비되는 약액탱크(300)를 통하여, 각 챔버(200)에서 기판 처리에 사용된 약액은 각 챔버(200)와 직접 연결된 해당 약액탱크(300) 측으로 배출된 다음, 개별적으로 배출 및 회수될 수 있다.
또한 복수의 챔버(200)를 구성할 경우 약액탱크(300)는 복수의 챔버(200)에서 배출되는 약액을 일괄하여 수용할 수 있고, 일괄 배출 및 회수할 수도 있다.
즉, 챔버(200)는 기판의 이송방향인 길이방향을 따라 지지프레임(100)의 전방영역(A)에 설치되고, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 전방 배출공이 구비되는 전방 챔버와, 전방 챔버와 인접하게 지지프레임(100)의 후방영역(B)에 설치되고, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 후방 배출공이 구비되는 후방 챔버를 포함할 수 있다.
그리고 약액탱크는 전방 챔버의 하측에 배치되도록 지지프레임(100)의 전방영역(A)에 설치되고, 상부면에는 전방 배출공과 상응하는 전방 유입공이 구비되어 전방 챔버에서 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 전방 약액탱크와, 후방 챔버의 하측에 배치되도록 지지프레임(100)의 후방영역(B)에 설치되고, 상부면에는 후방 배출공과 상응하는 후방 유입공이 구비되어 후방 챔버에서 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 후방 약액탱크를 포함할 수 있다.
이때, 전방 약액탱크의 후면과 후방 약액탱크의 전면은 서로 접합된 채 연통될 수 있다.
즉, 전방 챔버와 후방 챔버에서 배출되는 약액은 전방 약액탱크와 후방 약액탱크 측으로 함께 수용되어 일괄 배출 또는 회수할 수 있다. 이에 따라, 전방 약액탱크 및 후방 약액탱크를 연결하는 배출파이프(400)의 수량을 축소 설계할 수 있고, 이와 비례하여 파이프를 연결하는 각종 밸브유닛의 설계를 최소화할 수 있으며, 이에 따른 장치의 중량 및 부피를 최소화할 수 있다.
또한 별도의 연결 파이프를 배제하고 복수의 챔버(200)에 직접 연결된 전방 약액탱크와 후방 약액탱크를 통하여, 기판 처리에 사용된 약액을 보다 신속하게 배출할 수 있다.
물론 챔버(200)는 3 이상의 기판 처리 공간을 위하여 3개 이상의 수량이 구비될 수 있고, 챔버(200)의 수량과 상응하게 약액탱크(300) 역시 3개 이상의 수량으로 구비될 수 있다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따른 기판 처리장치는 챔버(200)와 약액탱크(300) 사이의 복잡한 파이프라인을 제거하여 연결 구조를 단순화함으로써, 장치의 중량 및 점유공간을 줄일 수 있고, 장치의 제작 및 효율적인 관리가 가능하다.
또한 본 발명에 따른 기판 처리장치는 최소한의 접합으로 챔버(200) 및 약액탱크(300)를 제작하고, 많은 접합 시공이 요구되는 파이프라인을 최소화함으로써, 접합 부분에서 발생될 수 있는 누수현상을 최소화하고, 장치의 보다 효율적인 관리가 가능하다.
또한 본 발명에 따른 기판 처리장치는 챔버(200)와 직접 연결되는 약액탱크(300)를 통하여, 챔버(200)로부터 배출되는 약액의 배출 및 회수 시간을 크게 단축할 수 있고, 이에 따라, 챔버(200)에서 수행되는 기판 처리효율을 크게 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 처리장치는 기존 챔버(200)에서 배출되는 약액이 배출파이프를 거쳐 약액탱크(300)로 배출 및 회수되는 경우와 비교하면, 동일한 용량의 약액이 10 내지 15초 정도로 회수시간이 단축되었고, 이는 총 배수시간에서 33% 정도의 회수시간이 감소될 수 있다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100; 지지프레임
200: 챔버
300: 약액탱크

Claims (12)

  1. 지지프레임;
    상기 지지프레임에 설치되고, 기판이 처리되는 내부공간이 구비되며, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 배출공이 구비되는 챔버; 및
    상기 지지프레임에 설치되고, 상기 챔버에서 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 내부공간이 구비되며, 상부면에는 상기 배출공과 상응하는 유입공이 구비되는 약액탱크;를 포함하고,
    상기 약액탱크는,
    상기 챔버의 하부면에 결합되는 상부면에는 상기 배출공과 상응하는 제1 유입공이 구비되고, 하부면에는 약액이 배출되는 제1 유출공이 구비되는 제1 약액탱크; 및
    상기 제1 약액탱크의 하부면에 결합되는 상부면에는 상기 제1 유출공과 상응하는 제2 유입공이 구비되고, 하부면에는 약액이 배출되는 제2 유출공이 구비되는 제2 약액탱크;를 포함하며,
    상기 배출공과 상기 유입공이 일치된 상태에서 상기 챔버의 하부면과 상기 약액탱크의 상부면이 접합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지프레임은,
    기판이 이송되는 길이방향으로 구비되고, 상기 약액탱크를 수용한 상태에서 상기 약액탱크의 하부면 및 측면을 지지하는 제1 지지부; 및
    상기 제1 지지부를 중심으로 폭방향을 따라 상기 제1 지지부의 양측 상부에 구비되고, 상기 챔버를 수용한 상태에서 상기 챔버의 하부면 및 측면을 지지하는 제2 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 유출공은,
    재사용이 가능한 약액을 배출하기 위한 회수용 제2 유출공; 및
    재사용이 불가한 약액을 배출하기 위한 폐수용 제2 유출공;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는,
    기판이 이송되는 길이방향으로 구비되고, 폭방향을 따라 양측 단부를 절곡시켜 바닥판과 측판이 일체로 형성되는 본체부;
    기판이 유입되는 기판유입구가 구비되고, 상기 본체부의 개구된 전면에 결합되는 전면판; 및
    기판이 배출되는 기판배출구가 구비되고, 상기 본체부의 개구된 후면에 결합되는 후면판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 바닥판은,
    수평을 이루고, 상기 배출공이 구비되는 수평형 바닥부; 및
    약액이 상기 수평형 바닥부 측으로 흐르도록 상기 수평형 바닥부와 상기 측판의 하단부를 연결하는 만곡형 바닥부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 약액탱크에는 외부에서 내부공간을 식별할 수 있도록 관찰창이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는 기판이 처리되는 내부공간을 전방영역과 후방영역으로 구획하는 격판을 포함하고,
    상기 배출공은 상기 전방영역에서 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 전방 배출공과, 상기 후방영역에서 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 후방 배출공을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 유입공은 상기 전방 배출공에 연결되는 전방 유입공과, 상기 후방 배출공에 연결되는 후방 유입공을 포함하고,
    상기 전방영역 및 상기 후방영역에서 기판 처리에 사용된 약액이 상기 약액탱크로 일괄 수용되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 제1 지지부는 상기 약액탱크의 하부면을 지지하는 제1 수평지지대와, 상기 제1 수평지지대의 양측 단부에서 상측으로 연장 형성되어 상기 약액탱크의 측면을 지지하는 제1 수직지지대를 포함하고,
    상기 제2 지지부는 상기 제1 수직지지대의 상단부에서 폭방향으로 연장 형성되어 상기 챔버의 하부면을 지지하는 제2 수평지지대와, 상기 제2 수평지지대의 양측 단부에서 상측으로 연장 형성되어 상기 챔버의 측면을 지지하는 제2 수직지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는,
    상기 지지프레임의 전방영역에 설치되고, 기판이 처리되는 내부공간이 구비되며, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 전방 배출공이 구비되는 전방 챔버; 및
    상기 전방 챔버와 인접하게 상기 지지프레임의 후방영역에 설치되고, 기판이 처리되는 내부공간이 구비되며, 하부면에는 기판 처리에 사용된 약액이 배출되는 후방 배출공이 구비되는 후방 챔버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 약액탱크는,
    상기 전방 챔버의 하측에 배치되도록 상기 지지프레임의 전방영역에 설치되고, 상부면에는 상기 전방 배출공과 상응하는 전방 유입공이 구비되어 상기 전방 챔버에서 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 전방 약액탱크; 및
    상기 후방 챔버의 하측에 배치되도록 상기 지지프레임의 후방영역에 설치되고, 상부면에는 상기 후방 배출공과 상응하는 후방 유입공이 구비되어 상기 후방 챔버에서 기판 처리에 사용된 약액이 수용되는 후방 약액탱크;를 포함하고,
    대향하는 상기 전방 약액탱크의 후면과 상기 후방 약액탱크의 전면이 서로 연통되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
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