KR102283426B1 - 복합 분사 장치 및 이를 포함하는 전기 도금 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 복합 분사 장치와 관련된다. 본 발명은 실시예로, 왕복 운동이 가능하며 공급된 액을 일정 면적의 범위 내에서 분출하는 복수의 노즐이 형성되는 액분사부 및 상기 액분사부에 연결되고 상기 액분사부를 왕복 운동시키는 구동부를 포함하는 복합 분사 장치 및 이를 포함하는 전기 도금 장치를 제시한다.

Description

복합 분사 장치 및 이를 포함하는 전기 도금 장치{Composite injection device and electroplating device comprising the same}

본 발명은 복합 분사 장치에 관한 것으로서 상세하게는 작업 대상물에 액을 분사하는 공정을 수행함에 있어서 일정 면적 내에 액이 고르게 닿을 수 있게 하는 복합 분사 장치 및 이를 포함하는 전기 도금 장치와 관련된다.

일반적으로 프린트 기판을 제조하는 공정에서는 여러 가지 액을 사용하고 이러한 액들이 프린트 기판에 분사되어 해당 작업을 수행하고 있다. 액을 프린트 기판에 분사하여 작업을 수행하는 공정은 도금, 현상, 에칭, 박리 공정 등 다양하다.

이러한 액 분사에 있어서 액이 프린트 기판에 균등하게 접촉하게 하는 것은 중요하다. 액을 분사하여 공정을 수행하는 장치의 예로서 대한민국 공개특허 10-2011-0027585호에는 도금액을 분사하여 도금 공정을 수행하는 장치가 제시되어 있다. 이러한 종래기술은 노즐을 통해 도금액을 분사함으로써 도금액이 기판에 균등하게 접촉할 수 있도록 의도하고 있다.

최근에는 반도체 제품의 소형화로 인해 기판에 더욱 정밀하게 미세패턴을 형성할 필요성이 증대되고 있다. 특히 도금 공정에 있어서는 얇고 균등하게 도금막이 형성되도록 할 필요가 있다. 이를 위하여 도금액이 기판에 전체적으로 균등하게 접촉할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

하지만 종래의 기술은 노즐에서 분사된 도금액이 결국 일정 지점에 집중되므로 도금액이 기판에 전체적으로 균등하게 접촉하게 하는 것에는 한계가 있다.

대한민국 공개특허 제10-2011-0027585호 (2011.03.16)

본 발명은 노즐을 구비하는 액분사부가 노즐로부터 도금액을 분출하는 동시에 일체화된 구동부에 의해 수평 왕복 이동이 가능하게 함으로써 일정 면적 범위에서 고른 액 분사가 가능한 복합 분사 장치를 제시한다.

또한 이러한 복합 분사 장치를 포함하고, 액분사부가 도금액을 분출하는 동시에 도금액을 유동시킬 수 있도록 하여 도금액이 기판에 전체적으로 균등하게 접촉할 수 있도록 하며, 얇은 도금막을 균일하게 도금할 수 있게 하는 전기 도금 장치를 제시한다.

그 외 본 발명의 세부적인 목적은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.

위 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 실시예로, 왕복 운동이 가능하며 공급된 액을 일정 면적의 범위 내에서 분출하는 복수의 노즐이 형성되는 액분사부 및 상기 액분사부에 연결되고 상기 액분사부를 왕복 운동시키는 구동부를 포함하는 복합 분사 장치를 제시한다.

여기에서 상기 액분사부는, 열을 지어 형성된 노즐을 구비하고 기둥 형상으로 이루어진 분사부재가 빈 공간을 두고 나란히 배치된 형태로 이루어질 수 있다.

또한 상기 액분사부는, 노즐을 구비하고 내부에는 빈 공간이 형성되며 일정 간격을 두고 배치되는 복수의 분사부재, 내부에 빈 공간이 형성되고 도금액이 공급되며 복수의 상기 분사부재들의 일단에 연결되면서 공간이 서로 통하도록 이루어져 공급된 도금액이 분사부재에 구비된 노즐로 배출되도록 하는 액공급부재 및 복수의 상기 분사부재에 결합되고 상기 분사부재들을 지지하며 상기 구동부에 연결되어 왕복 운동하는 지지부재를 포함할 수 있다.

또한 상기 구동부는, 회전구동기, 상기 회전구동기의 회전축에 결합되고 일면에 돌출편을 구비하는 회전부재, 상기 돌출편이 결합되는 장홈이 형성되고 상기 회전부재가 회전할 때 상기 돌출편이 장홈의 내부를 가압하여 이동되는 이동블록 및 슬라이딩하며 직선 운동이 가능하도록 양 단부가 지지되고 중앙에 상기 액분사부가 결합되며 일측에 상기 이동블록이 고정 결합되어 상기 돌출편이 상기 이동블록의 장홈의 내부를 타고 움직임에 따라 왕복운동하는 이동바를 포함할 수 있다.

한편 위 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 실시예로, 외관을 이루며 내부에 수용공간이 형성되고 상기 수용공간에 도금액이 채워지는 하우징부, 상기 하우징부의 수용공간에 배치되며 플러스 전극이 연결되는 애노드부, 액분사부가 상기 애노드부와 대향하여 배치되는 상술한 복합 분사 장치 및 상기 복합 분사 장치를 사이에 두고 상기 애노드부와 대향하여 배치되는 캐소드부를 포함하는 전기 도금 장치를 제시한다.

여기에서 상기 하우징부에는 가이드부재가 구비되고, 상기 액분사부의 하부에는 상기 가이드부재를 따라 이동하는 롤러가 구비되어 상기 액분사부가 상기 가이드부재에 가이드되면서 이동이 가능할 수 있다.

또한 상기 애노드부는, 일측이 편평하게 이루어지고 다른측에 수용공간이 형성되며 상기 수용공간 내에 길고 나란하게 복수의 결합돌기가 형성되는 제1플레이트, 상기 결합돌기에 대응하도록 슬릿 형상의 홀이 형성되고 상기 수용공간 내에 배치되며 상기 홀이 상기 결합돌기와 결합되어 상기 제1플레이트와 결합되는 단수 또는 복수의 제2플레이트 및 상기 제1플레이트와 서로 결합되어 상기 제2플레이트 외측을 마감하는 제3플레이트를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 노즐을 구비하는 액분사부가 노즐로부터 도금액을 분출하는 동시에 일체화된 구동부에 의해 수평 왕복 이동이 가능하므로 일정 면적 범위에서 고른 액 분사가 가능하다.

한편 액분사부의 구성이 노즐을 구비한 기둥 형상의 분사부재가 공간을 두고 나란히 배치된 형태를 가짐으로써 열을 지어 일정한 패턴으로 액을 분사할 수 있다. 특히 전기 도금 장치에 적용하는 경우 공간 사이로 도금액의 유동이 가능하므로 도금액의 유동이 더욱 원활해 진다.

이때 액분사부를 내부가 비어있는 다각형 기둥 형태로 구성하고 이러한 기둥에 홀의 형태로 노즐을 형성함으로써 액분사부의 내부에 분출하고자 하는 액을 일정 압력으로 투입하는 작용에 의해 간단하게 액을 노즐로 분출하게 할 수 있다.

또한 구동부는 회전부재에 형성된 돌출부가 장홈이 형성된 이동블록에 결합되어 회전부재의 회전운동을 이동블록의 왕복운동으로 변환하고, 이 이동블록에 액분사부가 연결되어 액분사부의 왕복운동이 가능하게 함으로써 간단한 구성으로 정확하고 신속한 왕복운동을 구현할 수 있다.

한편 액분사부의 하부에 롤러와 가이드부재를 구비함으로써 액분사부가 용이하게 이동이 가능한 한편 정확한 경로로 이동하면서 액의 분사를 수행할 수 있다.

그 외 본 발명의 효과들은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여, 또는 본 발명을 실시하는 과정 중에 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 복합 분사 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 실시예에 채용된 액분사부를 나타내는 도면.
도 3은 도 1에 도시된 실시예에 채용된 구동부를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 사시도.
도 5는 도 4에 도시된 실시예에 따른 전기 도금 장치의 분해사시도.
도 6은 도 4에 도시된 실시예에 채용된 액분사부의 가이드 구조를 나타내는 도면.
도 7은 도 4에 도시된 실시예에 채용된 애노드부를 나타내는 도면.

상술한 본 발명의 특징 및 효과는 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 분사 장치에 대해 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일유사한 구성에 대해서는 동일유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.

본 발명의 실시예에 따른 복합 분사 장치(100)는 액분사부(3) 및 구동부(4)를 포함한다.

액분사부(3)는 왕복 운동이 가능하고 액이 공급되며 공급된 액을 일정 면적의 범위 내에서 분출하는 복수의 노즐(311)을 구비한다.

여기에서 액은 도금액, 현상액, 에칭액, 박리액 등 인쇄회로 기판을 제작하는 각종 공정에서 사용되는 액일 수 있다.

이때 구동부(4)는 액분사부(3)에 연결되고 액분사부(3)를 왕복 운동시킨다.

이와 같이 액분사부를 구동부에 일체화시켜 왕복 운동시킬 수 있는 구성을 가짐으로써 일정 면적의 범위 내에서 액의 고른 분사가 가능해짐과 동시에 제품의 품질을 향상시킬 수 있다.

이하 각부의 구성에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 복합 분사 장치의 사시도이고, 도 2는 이러한 복합 분사 장치에 채용된 액분사부를 나타내는 도면이며, 도 3은 구동부를 나타내는 도면이다.

액분사부(3)는 구동부(4)에 의해 좌우로 이동하면서 액을 분사하는 구성이다. 이동하면서 액을 분사하기 때문에 특정 위치에 더 많은 액이 닿는 것을 방지할 수 있다.

또한 액분사부(3)는 노즐(311)을 구비하고 기둥 형상으로 이루어진 분사부재(31)가 빈 공간을 두고 나란히 배치된 형태를 가진다. 도면을 참조하면 액분사부(3)는, 분사부재(31), 액공급부재(32) 및 지지부재(33)를 포함한다.

분사부재(31)는 노즐(311)을 구비하고 내부에는 빈 공간이 형성되며 일정 간격을 두고 배치된다. 도면을 참조하여 구체적으로 설명하면 분사부재(31)는 사각 파이프 형상으로 이루어지고 분사부재(31)의 전후로 홀 형태를 가진 노즐(311)이 형성된다. 이에 따라 분사부재(31) 내부에 액이 가압된 상태로 유입되면 노즐(311)을 통해 전후 방향으로 액이 분출되게 된다. 한편 분사부재(31)는 사각형 외의 다른 다각형의 형상의 가질 수 있고, 분사부재(31)의 양 단부는 개방된 형태로 이루어질 수 있다.

액공급부재(32)는, 내부에 빈 공간이 형성되고 액이 공급되며 복수의 분사부재(31)들의 일측 단부가 액공급부재(32)와 서로 내부가 통하도록 연결되어 액공급부재(32)에 공급된 액이 분사부재(31)에 구비된 노즐(311)로 배출되도록 한다.

도 2를 참조하면 액공급부재(32)는 분사부재(31)보다 큰 사각 파이프 형상으로 이루어지고 전체 분사부재(31)의 일측 단부와 결합한다. 또한 액공급부재(32)와 분사부재(31)의 내부 공간은 서로 통하도록 이루어진다.

액공급부재(32)의 일측에는 액이 공급되는 공급관(321)이 구비되어 있어 공급관(321)을 통해 액이 공급된다. 이때 공급관(321)으로의 액 공급은 펌프(미도시)와 유량계(미도시)를 사용하여 정량을 공급할 수 있다.

액공급부재(32)에 액이 공급되면 공급된 액은 연결된 각 분사부재(31)로 이동하게 되고 가압되는 압력에 의해 분사부재(31)의 노즐(311)로부터 배출된다. 이때 압력을 조절하여 노즐(311)에서 배출되는 액의 세기를 조절할 수 있다.

지지부재(33)는 분사부재(31)와 결합하여 분사부재(31)를 지지하고 액공급부재(32)에 연결될 수 있으며 구동부(4)에 연결되어 왕복 운동하게 된다. 또한 지지부재(33)는 분사부재(31)의 개방된 일단을 폐쇄한다.

도면을 참조하면 지지부재(33)에는 복수의 분사부재(31)의 일단이 결합되어 분사부재(31)의 일단을 마감하는 수평부재(331)와, 수평부재(331)의 양 단부에서 연장되어 액공급부재(32)에 결합되는 수직부재(332)를 포함한다. 이때 수직부재(332)의 위치에 분사부재(31)를 설치하고 이 분사부재가 수평부재(331)의 양 단부와 결합하도록 구성할 수도 있다. 수평부재(331)는 연결부재(333)를 통해 구동부(4)와 결합되게 된다.

액분사부(3)는 분사부재(31)와 액공급부재(32) 및 지지부재(33)가 서로 결합됨으로써 전체적으로 창틀에 창살이 결합되어 있는 것과 같은 형태를 가진다. 액분사부(3)는 2개가 한쌍으로 이루어질 수 있다.

구동부(4)는 액공급부재(32)와 연결되어 액공급부재(32)를 왕복 운동시키는 구성으로서 회전구동기(41), 회전부재(42), 이동블록(43) 및 이동바(44)를 포함하여 이루어질 수 있다.

도 3을 참조하면 구동부(4)를 설치하기 위해 액분사부(3)의 좌우측에는 지지구조물(45)이 설치된다. 이러한 지지구조물(45)은 전기 도금 장치에 구비된 프레임에 고정되어 설치되는 형태일 수 있다. 도면에서 지지구조물(45)은 입체적 형상을 갖도록 복수의 프레임이 가로, 세로 방향으로 결합되어 이루어지고, 프레임들이 이루는 공간에 구동부(4)의 구성들이 설치되게 된다.

회전구동기(41)는 회전축이 결합되어 있고 구동에 의해 회전축이 회전하게 된다. 회전구동기(41)는 일측의 지지구조물(45)에 설치된다. 회전구동기(41)로는 모터를 사용할 수 있다.

회전부재(42)는 회전구동기(41)의 회전축에 결합되고 일면에 돌출편(421)이 구비된다. 도면을 참조하면 회전부재(42)는 원판 형상으로서 일측 중심이 회전축에 결합되고 다른측에는 원주와 가까운 위치에 돌출편(421)이 돌출되어 있다. 이에 따라 회전부재(42)가 회전하면 돌출편(421)은 원을 이루며 회전하게 된다.

이동블록(43)은 돌출편(421)이 결합되는 장홈(431)이 형성되고 회전부재(42)가 회전할 때 돌출편(421)이 장홈(431)의 내부를 가압하여 이동하게 된다. 도면을 참조하면 이동블록(43)의 장홈(431)에는 돌출부가 삽입되어 결합된다. 한편 이동블록(43)은 후술하는 이동바(44)에 의해 직선운동만이 가능하도록 제한된다. 이 상태에서 회전부재(42)가 회전하면 돌출편(421)은 원운동에 의해 장홈(431)을 가압하면서 장홈(431) 내부를 왕복하게 되고 이에 따라 이동블록(43)은 직선으로 왕복운동하게 되며 이는 이동블록(43)에 연결된 이동바(44)의 왕복운동으로 이어진다.

이동바(44)는 슬라이딩하며 직선 운동이 가능하도록 양 단부가 지지된다. 도면을 참조하면 지지구조물(45)에는 홀이 형성된 지지대(451)가 설치되고 이동바(44)의 양 단부는 이 지지대(451)의 홀에 슬라이딩 이동이 가능하도록 설치된다.

이동바(44)는 한쌍으로 이루어지고 각 이동바(44)의 단부는 연결편(441)에 의해 서로 연결되어 이동바(44)들이 함께 움직일 수 있다.

이동바(44)의 일측에는 이동블록(43)이 고정되어 결합된다. 이에 따라 이동블록(43)은 이동바(44)와 함께 수평 방향으로 움직이게 되고 이동블록(43)의 회전이나 수직 방향으로의 이동은 제한된다. 상술한 바와 같이 회전부재(42)의 구동에 의해 이동블록(43)이 움직이게 되면 이동바(44)도 함께 움직이게 된다.

이동바(44)의 중앙에는 액분사부(3)가 결합된다. 액분사부(3)는 연결부재(333)를 개재하여 결합된다.이러한 구성에 따라 회전부재(42)의 구동은 액분사부(3)를 왕복운동시키게 된다. 이동바(44)가 한쌍으로 이루어지는 경우 각 이동바(44)에는 각각 액분사부(3)가 결합될 수 있다.

이러한 복합 분사 장치(100)의 구성에 따라 구동부(4)의 구동으로 액분사부(3)를 왕복운동시킬 수 있으며 액분사부(3)의 왕복운동에 의해 일정 영역에 액을 고르게 분사하는 것이 가능하다.

상술한 복합 분사 장치(100)는 전기 도금 장치(200)에 적용될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치(200)는 하우징부(1), 애노드부(2), 캐소드부(5) 및 상술한 복합 분사 장치(100)를 포함하여 구성될 수 있다.

하우징부(1)는 외관을 이루며 내부에 수용공간이 형성되고 이 수용공간에 도금액이 채워진다. 애노드부(2)는 하우징부의 수용공간에 배치되며 플러스 전극이 연결된다.

상술한 복합 분사 장치(100)는 액분사부(3)가 애노드부(2)와 대향하도록 설치되고 복합 분사 장치(100)의 액분사부(3)를 사이에 두고 상기 애노드부와 대향하여 캐소드부(5)가 배치된다.

이러한 구성에 의해 복합 분사 장치의 액분사부가 왕복 운동하면서 액을 분사하게 되면 액분사부의 작용은 하우징에 담긴 도금액을 유동시키고 도금액의 유동은 도금액이 기판에 전체적으로 균등하게 접촉할 수 있도록 한다. 이에 따라 기판에 얇은 도금막을 균일하게 도금할 수 있다.

이하에는 이러한 전기 도금 장치(200)의 각 구성에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 이하의 설명에서 액분사부(3)와 구동부(4)는 상술한 복합 분사 장치(100)에 대한 설명이 적용될 수 있다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 사시도이고 도 5는 이러한 전기 도금 장치의 분해사시도이다.

하우징부(1)는 도금액이 채워지고 이 도금액에 피도금물인 기판이 담겨져 도금작업이 이루어지게 하는 구성이다. 이를 위해 하우징부(1)는 일방으로 개방되어 있고 내부에 수용공간(S)이 형성된다. 이 수용공간에 도금액이 채워지게 된다.

하우징부(1)에는 넘치는 도금액을 받을 수 있도록 공간이 형성된 받침대(12)가 구비된다. 도면을 참조하면 하우징의 몸체(11)의 정면과 후면에 돌출된 형태로 받침대(12)가 구비된다. 이러한 받침대(12)들은 하우징의 몸체(11)와 함께 대략 T자의 형상을 이룬다. 받침대(12)에는 도금액이 배출될 수 있도록 배출관(15)이 연결된다.

한편 하우징부(1)의 일측면 하단에는 하우징부(1)에 도금액을 공급하기 위한 유입관(14)이 형성되어 있다. 유입관을 통해 도금액이 공급됨에 따라 하우징부(1)에는 도금액이 채워지게 된다.

참고로 도금액으로서는 예컨대 황산구리 도금액 등이 이용된다. 황산구리 도금액은 황산구리에 소정량의 황산을 더한 것이다. 이때 황산구리는 구리를 공급하는 구리원이 된다.

한편 하우징부(1)의 내부 바닥에는 가이드부재(13)가 구비된다. 이는 상술한 액분사부(3)가 가이드부재(13)를 따라 원활하게 이동하도록 한다. 한편 액분사부(3)의 하부에는 가이드부재(13)를 따라 이동하는 롤러(322)가 설치될 수 있다(도 2 및 도 6 참조). 롤러(322)가 가이드부재(13)에 가이드되면서 액분사부(3)는 더욱 용이하게 이동이 가능하다.

도 6을 참조하면 가이드부재(13)는 'ㄷ'자 형상으로 홈이 형성되어 이루어지고 가이드부재(13)의 단부는 가이드부재(13)의 중앙을 향해 기울어진 경사면으로 형성된다. 롤러(322)는 이 경사면을 통해 가이드되면서 가이드부재(13)의 홈에 삽입되어 위치할 수 있다.

기판의 양면을 도금하기 위하여 가이드부재(13)는 한 쌍으로 이루어지고 양 가이드부재(13)는 연결부재(131)로 연결될 수 있다. 연결부재(131)는 위쪽 방향으로 홈이 형성되는 형상으로 이루어질 수 있다. 이 홈에는 캐소드부(5)의 일단이 삽입되어 위치할 수 있다.

애노드부(2)는 하우징부(1) 내부에 배치되고 플러스 전극이 연결되며 캐소드부(5)로 양전하를 이동시켜 캐소드모듈에 장착된 기판(피도금물)에 도금이 이루어지도록 한다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 복합 분사 장치에 채용된 애노드부를 나타내는 도면이다.

도면을 참조하면 애노드부(2)는, 제1플레이트(21), 제2플레이트(22) 및 제3플레이트(23)를 포함한다.

제1플레이트(21)는 일측이 편평하게 이루어지고 다른 일측은 테두리부재(211)에 의해 수용공간이 형성되며 이 수용공간 내에 길고 나란하게 복수의 결합돌기(212)가 형성된다. 제1플레이트(21)는 케이스의 역할을 할 수 있다.

제2플레이트(22)는 결합돌기(212)에 대응하도록 슬릿 형상의 복수의 홀(221)이 형성되고 수용공간 내에 배치된다. 이때 슬릿 형상의 홀(221)에 결합돌기(212)가 결합된다. 제2플레이트(22)는 단수 또는 복수로 이루어질 수 있다. 제2플레이트(22)는 애노드의 역할을 할 수 있다.

제2플레이트(22)는 가용성 또는 불용성 플레이트일 수 있다. 가용성으로서는 예컨대 동판을 이용할 수 있다. 불용해성으로는 예컨대 Ti-Pt에 산화이리듐을 코팅한 것을 이용할 수 있다.

이러한 제2플레이트(22)의 외측을 제3플레이트(23)가 마감한다. 제3플레이트(23)는 제1플레이트(21)의 테두리부재(211)에 결합된 장착부재(213)에 결합되면서 제2플레이트(22) 외측을 마감한다. 제3플레이트(23)는 멤브레인으로 구성될 수 있다.

이와 같은 구성에 액분사부(3)가 애노드부(2)와 대향하여 배치되도록 하여 복합 분사 장치(100)가 설치되게 된다.

상술한 바와 같이 액분사부(3)는 좌우로 이동하면서 도금액을 분사하는 구성이다. 이동하면서 도금액을 분사하기 때문에 특정 위치에 더 많은 도금층이 성장하는 것을 방지할 수 있다.

또한 액분사부(3)가, 노즐(311)을 구비하고 기둥 형상으로 이루어진 분사부재(31)가 빈 공간을 두고 나란히 배치된 형태를 가짐으로써 빈 공간 사이로 도금액의 유동이 가능한 한편 분사부재(31)에 형성된 노즐(311)로부터 도금액의 분사가 가능하여 도금액의 분사로 인한 도금액의 유동도 가능하다. 이에 따라 기판 표면에는 골고루 도금액이 닿을 수 있게 되어 더 얇고 균일한 도금막을 형성할 수 있게 된다.

한편 분사부재(31)의 전후로 홀 형태를 가진 노즐(311)이 형성되고 노즐(311)을 통해 전후 방향으로 도금액이 분출되게 됨으로써 양쪽으로 분출된 도금액이 도금액의 유동을 더 촉진할 수 있다.

한편 액공급부재(32)의 하부에는 가이드부재(13)를 따라 이동하는 롤러(322)가 설치될 수 있다. 롤러(322)는 연결부재(323)를 통해 설치된다. 연결부재(323)는 축 형상으로 이루어지고, 연결부재(323)의 일단은 액공급부재(32)에 결합하고 다른 일단에 롤러(322)가 결합된다. 롤러(322)는 원형으로 이루어지고 롤러(322)의 지름은 가이드부재(13)의 홈보다 다소 작은 크기를 가진다. 이에 따라 롤러(322)의 원주가 가이드부재(13)의 서로 바라보는 측벽 중 일측과 맞닿아 가이드되면서 액공급부재(32)가 이동할 수 있게 된다.

또한 도 5에 도시된 바와 같이 한 쌍의 액분사부(3)가 캐소드부(5)을 중심으로 양측에 구비되어 캐소드부(5)에 거치되는 기판을 양측에서 도금하는 것이 가능한 형태를 가질 수 있다.

이러한 전기 도금 장치(200)의 전체적인 구성에 따라, 구동부(4)의 구동으로 액분사부(3)를 왕복운동시켜 도금액을 유동시킬 수 있는 동시에 노즐(311)로부터 분사되는 도금액에 의해 도금액의 유동이 더욱 촉진될 수 있다.

캐소드부(5)은 복합 분사 장치(100)의 액분사부(3)와 마주보도록 위치하게 되고 피도금물인 기판이 장착된다. 또한 하우징부(1)에는 도금액을 공급하는 도금액공급모듈과 도금액을 회수하는 도금액회수모듈이 연결될 수 있다. 도금액공급모듈과 도금액회수모듈은 일반적으로 알려진 구성을 사용할 수 있다.

하우징부(1)에 도금액을 채운 상태에서 애노드부(2)에 연결된 플러스 전극과 캐소드부(5)에 연결된 마이너스 전극을 통해 전기를 공급한다. 이때 액분사부(3)의 도금액 분사 작용과 액분사부(3)의 수평 이동에 따른 도금액의 유동에 의해 도금액이 기판에 전체적으로 균등하게 접촉할 수 있고, 얇은 도금막을 균일하게 도금할 수 있다.

상기와 같이 복합 분사 장치와 이를 포함하는 전기 도금 장치는 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

1 : 하우징부
11 : 몸체 12 : 받침대 13 : 가이드부재 131 : 연결부재
14 : 유입관 15 : 배출관
2 : 애노드부
21 : 제1플레이트
211 : 테두리부재 212 : 결합돌기 213 : 장착부재
22 : 제2플레이트 221 : 홀
23 : 제3플레이트
3 : 액분사부
31 : 분사부재 311 : 노즐
32 : 액공급부재 321 : 공급관 322 : 롤러 323 : 연결부재
33 : 지지부재 331 : 수평부재 332 : 수직부재 333 : 연결부재
4 : 구동부
41 : 회전구동기 42 : 회전부재 421 : 돌출편
43 : 이동블록 431 : 장홈 44 : 이동바 441 : 연결편
45 : 지지구조물 451 : 지지대
5 : 캐소드부
S : 수용공간
100 : 복합 분사 장치 200 : 전기 도금 장치

Claims (7)

1. 좌우로 왕복 운동이 가능하며 공급된 액을 일정 면적의 범위 내에서 분출하는 복수의 노즐이 형성되는 액분사부 및
   상기 액분사부에 연결되고 상기 액분사부를 왕복 운동시키는 구동부
   를 포함하고,
   상기 액분사부는,
   사각 파이프 형상으로 이루어진 분사부재가 편평한 면이 기판을 향하도록 하여 간격을 두고 배치되고,
   상기 분사부재는 이웃한 분사부재 사이에 빈 공간이 형성되고 분사부재의 서로 대향하는 평행면은 도금액이 지나갈 수 있는 통로를 형성하며,
   상기 분사부재의 길이 방향을 따라 홀이 형성되고 상기 홀을 통해 가압된 도금액이 분출되어 상기 홀이 노즐 역할을 수행하는
   복합 분사 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 액분사부는,
   복수의 상기 분사부재,
   내부에 빈 공간이 형성되고 도금액이 공급되며 복수의 상기 분사부재들의 일단에 연결되면서 공간이 서로 통하도록 이루어져 공급된 도금액이 분사부재에 구비된 노즐로 배출되도록 하는 액공급부재 및
   복수의 상기 분사부재에 결합되고 상기 분사부재들을 지지하며 상기 구동부에 연결되어 왕복 운동하는 지지부재
   를 포함하는 복합 분사 장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 구동부는,
   회전구동기,
   상기 회전구동기의 회전축에 결합되고 일면에 돌출편을 구비하는 회전부재,
   상기 돌출편이 결합되는 장홈이 형성되고 상기 회전부재가 회전할 때 상기 돌출편이 장홈의 내부를 가압하여 이동되는 이동블록 및
   슬라이딩하며 직선 운동이 가능하도록 양 단부가 지지되고 중앙에 상기 액분사부가 결합되며 일측에 상기 이동블록이 고정 결합되어 상기 돌출편이 상기 이동블록의 장홈의 내부를 타고 움직임에 따라 왕복운동하는 이동바
   를 포함하는 복합 분사 장치.
5. 외관을 이루며 내부에 수용공간이 형성되고 상기 수용공간에 도금액이 채워지는 하우징부,
   상기 하우징부의 수용공간에 배치되며 플러스 전극이 연결되는 애노드부,
   액분사부가 상기 애노드부와 대향하여 배치되는 제1항 또는 제3항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 복합 분사 장치 및
   상기 복합 분사 장치를 사이에 두고 상기 애노드부와 대향하여 배치되는 캐소드부
   를 포함하는 전기 도금 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 하우징부에는 가이드부재가 구비되고, 상기 액분사부의 하부에는 상기 가이드부재를 따라 이동하는 롤러가 구비되어 상기 액분사부가 상기 가이드부재에 가이드되면서 이동이 가능한 전기 도금 장치.
7. 제5항에 있어서,
   상기 애노드부는,
   일측이 편평하게 이루어지고 다른측에 수용공간이 형성되며 상기 수용공간 내에 길고 나란하게 복수의 결합돌기가 형성되는 제1플레이트,
   상기 결합돌기에 대응하도록 슬릿 형상의 홀이 형성되고 상기 수용공간 내에 배치되며 상기 홀이 상기 결합돌기와 결합되어 상기 제1플레이트와 결합되는 단수 또는 복수의 제2플레이트 및
   상기 제1플레이트와 서로 결합되어 상기 제2플레이트 외측을 마감하는 제3플레이트
   를 포함하는 전기 도금 장치.

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