KR20110051710A - 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도금액에 담근 용해성 양극 전극에 소정의 전압을 인가하여 피도금기판의 표면에 도금막을 형성하도록 구성된 기판도금장치에 있어서, 상부 테두리에 중공된 한쌍의 지지부가 서로 마주보게 설치되고, 내부에 도금액이 충진된 도금탱크와 상기 도금탱크의 상부에 설치되는 이송장치와 상기 도금탱크의 내부에 배치되도록 상기 이송장치에 설치되는 분사장치와 상기 도금탱크의 도금액을 상기 분사장치에 공급하는 순환공급장치로 이루어져, 피도금기판에 형성된 설치공의 내측면에 균일하게 도금층을 형성시키는 효과가 있다.

도금장치, 분사장치, 순환공급장치, 구동실린더

Description

도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치{SUBSTRATE PLATING DEVICE HAVUNG STRUCTURE OF DUST REMOVAL}

본 발명은 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도금탱크에 이송장치와 분사장치를 구비시켜 피도금기판에 형성된 설치공의 내측면에 균일하게 도금층을 형성시키는 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치에 관한 것이다.

종래의 기판도금장치는 도금액을 수용한 도금 처리조내에 양극 전극을 대향되게 배치하고, 양극 전극 사이에 바도체웨이퍼 등의 피도금기판을 배치한 후 양극 전극에 외부의 전원으로부터 소정의 전압을 인가하여 피도금기판의 표면에 도금막을 형성하도록 구성된다.

이때, 양극 전극은 용해성 전극(인이 함유된 구리)으로써, 전압에 의해 도금액에 용해되어 피도금기판의 표면에 도금막을 형성시키게 된다.

그러나, 종래의 기판도금장치는 도금액이 충진된 도금 처리조내에 피도금기 판을 담금질하여 도금막을 형성시키게 되는데, 피도금기판에 형성된 설치공의 내측면에 균일하게 도금층이 형성되지 않아, 통전이 되지 않는 등의 불량품이 생산되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 도금탱크에 이송장치와 분사장치를 구비시켜 피도금기판에 형성된 설치공의 내측면에 균일하게 도금층을 형성시키는 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 도금액에 담근 용해성 양극 전극에 소정의 전압을 인가하여 피도금기판의 표면에 도금막을 형성하도록 구성된 기판도금장치에 있어서, 상부 테두리에 중공된 한쌍의 지지부가 서로 마주보게 설치되고, 내부에 도금액이 충진된 도금탱크와 상기 도금탱크의 상부에 설치되는 이송장치와 상기 도금탱크의 내부에 배치되도록 상기 이송장치에 설치되는 분사장치와 상기 도금탱크의 도금액을 상기 분사장치에 공급하는 순환공급장치로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이송장치는 상기 지지부에 관통되게 배치된 안내축과, 상기 안내축을 반복적으로 이송 및 복원시키는 구동실린더로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 분사장치는 상기 안내축에 설치되는 중공된 구조의 수평관과, 상기 수평관과 연통되게 하향으로 돌출형성되고, 길이방향으로 다수의 노즐공이 형성된 노즐관으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 순환공급장치는 일단이 상기 도금탱크에 연통되게 설치되고, 타단이 분기되어 상기 수평관의 양단부에 연결설치된 순환라인과, 상기 순환라인 상에 설치되어 도금액을 순환시키는 순환펌프와, 상기 순환라인 상에 설치되어 순환되는 도금액을 여과하는 여과기로 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명인 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치는 도금탱크에 이송장치와 분사장치를 구비시켜 피도금기판에 형성된 설치공의 내측면에 균일하게 도금층을 형성시키는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

또한, 하기 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 단지 예시로 제시하는 것이며, 본 기술 사상을 통해 구현되는 다양한 실시예가 있을 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치를 나타낸 측면도이며, 도 2는 본 발명에 따른 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치를 나타낸 구성도이고, 도 3은 본 발명에 따른 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치에 있어, 도금탱크를 나타낸 측단면도이다.

도면에 도시된 바와 같이 본 발명인 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치(10)(이하 기판도금장치)는 도금액에 담근 용해성 양극 전극에 소정의 전압을 인가하여 피도금기판(100)의 표면에 도금막을 형성하도록 구성된 도금장치로서, 이에 이와같은 기판도금장치(10)는 도금탱크(20)와 이송장치(30)와 분사장치(40)와 순환공급장치(50)로 이루어진다.

상기 도금탱크(20)는 금속 또는 합성수지재로 이루어지고 내부에 수용공간(21)을 갖으며, 상부 테두리에 도 2에 도시된 바와 같이 파이프구조를 갖는 중공된 한쌍의 지지부(22)가 서로 마주보게 설치되고, 상기 수용공간(21)에는 도금액이 충진된다.

이때, 상기 도금탱크(20)에는 상기 도금액이 순환과정에서 넘치는 도금액이 유입되도록 유입공간(23)이 마련된다.

또한, 상기 지지부(22)는 중공된 파이프 구조로 상기 도금탱크(20)의 상부에 용접 또는 나사체결되며, 내부에는 윤활제가 도포되어 후술될 안내축(31)과의 마찰에 따른 마모를 방지하게 된다. 이러한 지지부(22)의 내부에는 별도의 부싱(도시생략)을 구비시키는 것이 바람직하다.

상기 이송장치(30)는 상기 도금탱크(20)의 상부에 설치되며, 상기 분사장치(40)를 반복적으로 이송 및 복귀시키는 것으로서, 이러한 이송장치(30)는 상기 지지부(22)에 관통되게 배치된 안내축(31)과, 상기 안내축(31)을 반복적으로 이송 및 복원시키는 구동실린더(32)로 이루어진다.

이때, 상기 구동실린더(32)는 상기 도금탱크(20)의 상부에 마련된 지지대에 설치되며, 상기 안내축(31)의 상기 구동실린더(32)의 작동축과 용접되어 결합된다. 여기서, 상기 작동축을 길게 형성시켜 상기 분사장치가 작동축에 설치되게 하는 것도 가능하다.

도 4를 참조하면, 상기에서는 구동실린더(32)에 의해 안내축(31)을 좌,우로 이동시키도록 설명하고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 구동실린더(32)를 대신하여 모터(60)와 연동된 캠(61)에 의해 상기 안내축(31)이 좌,우로 이동되게 하는 것도 가능하다.

상기 분사장치(40)는 상기 도금탱크(20)의 내부에 배치되도록 상기 이송장치(30)에 연결설치되며, 상기 이송장치(30)의 구동에 의해 이송 및 복원을 반복하며 상기 순환공급장치(50)를 통해 전달받은 도금액을 분사하게 된다.

즉, 상기 이송장치(30)에 의해 분사장치(40)가 도면상 좌,우로 이동하며 도금액을 분사함으로써, 도금탱크(20)에 충진된 도금액의 유동이 활발해져 피도금기 판(100)의 설치공에 침투하여 도금층을 형성시킬 수 있게 된다.

이때, 상기 분사장치(40)는 상기 안내축(31)에 설치되는 중공된 구조의 수평관(41)과, 상기 수평관(41)과 연통되게 하향으로 돌출형성되고, 길이방향으로 다수의 노즐공(421)이 형성된 노즐관(42)으로 구성된다.

여기서, 상기 수평관(41)은 합성수지재로 이루어지며 양단부에 자바라부(411)가 형성되어, 상기 이송장치(30)의 구동에 의해 분사장치(40)가 도면상 좌,우로 이동할 수 있게 된다. 또한 상기 수평관(41)을 금속재로 형성하고 단부에 자바라부를 구비시키는 것도 가능하다.

또한, 상기 노즐공(421)은 상기 노즐관(42)의 내부와 연통되게 관형태로 형성되어 도금액을 분출하게 되고, 다르게는 관통공형태로 형성시키는 것도 가능하다.

상기 순환공급장치(50)는 상기 도금탱크(20)의 도금액을 상기 분사장치(40)에 공급하는 것으로서, 이에 이와같은 순환공급장치(50)는 일단이 상기 도금탱크(20)에 연통되게 설치되고, 타단이 분기되어 상기 수평관(41)의 양단부에 연결설치된 순환라인(51)과, 상기 순환라인(51) 상에 설치되어 도금액을 순환시키는 순환펌프(52)와, 상기 순환라인(51) 상에 설치되어 순환되는 도금액을 여과하는 여과기(53)로 이루어진다.

여기서, 상기 순환라인(51)은 금속 또는 합성수지로 이루어진 통상의 배관구조이며, 상기 순환라인(51)의 단부는 상기 수평관(41)에 형성된 자바라부(411)에 연결설치된다. 이때,상기 순환라인(51)은 상기 자바라부(411)와 수밀이 유지되도록 접착 또는 테이핑되어 고정되며, 재질에 따라 용접 또는 나사체결시키는 것도 가능하다.

도 1은 본 발명에 따른 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치를 나타낸 측면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치를 나타낸 구성도이다.

도 3은 본 발명에 따른 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치에 있어, 도금탱크를 나타낸 측단면도이다.

도 4는 본 발명에 따른 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치의 다른실시예를 나타낸 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 설명>

10 : 기판도금장치 20 : 도금탱크

30 : 이송장치 40 : 분사장치

50 : 순환공급장치 60 : 모터

21 : 수용공간 22 : 지지부

23 : 유입공간 31 : 안내축

32 : 구동실린더 41 : 수평관

411 : 자바라부 42 : 노즐관

421 : 노즐공 51 : 순환라인

52 : 순환펌프 53 : 여과기

61 : 캠 100 : 피도금기판

Claims (4)

1. 도금액에 담근 용해성 양극 전극에 소정의 전압을 인가하여 피도금기판의 표면에 도금막을 형성하도록 구성된 기판도금장치에 있어서,

   상부 테두리에 중공된 한쌍의 지지부가 서로 마주보게 설치되고, 내부에 도금액이 충진된 도금탱크;

   상기 도금탱크의 상부에 설치되는 이송장치;

   상기 도금탱크의 내부에 배치되도록 상기 이송장치에 설치되는 분사장치; 및

   상기 도금탱크의 도금액을 상기 분사장치에 공급하는 순환공급장치로 이루어진 것을 특징으로 하는 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 이송장치는 상기 지지부에 관통되게 배치된 안내축과,

   상기 안내축을 반복적으로 이송 및 복원시키는 구동실린더로 이루어진 것을 특징으로 하는 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 분사장치는 상기 안내축에 설치되는 중공된 구조의 수평관과,

   상기 수평관과 연통되게 하향으로 돌출형성되고, 길이방향으로 다수의 노즐공이 형성된 노즐관으로 구성된 것을 특징으로 하는 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 순환공급장치는 일단이 상기 도금탱크에 연통되게 설치되고, 타단이 분기되어 상기 수평관의 양단부에 연결설치된 순환라인과,

   상기 순환라인 상에 설치되어 도금액을 순환시키는 순환펌프와,

   상기 순환라인 상에 설치되어 순환되는 도금액을 여과하는 여과기로 이루어진 것을 특징으로 하는 도금액 이동분사 구조를 갖는 기판도금장치.

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