KR20240103586A - 도금액 분사유닛 및 이를 포함하는 전기 도금 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 피도금 대상에 도금액을 고르게 분사하기 위한 도금액 분사유닛과 관련되며, 실시예로 공급된 도금액을 일정 면적의 범위 내에서 분출하는 복수의 노즐이 형성된 액분사부 및 상기 액분사부를 일정 구간에 걸쳐 왕복 운동시키는 구동부를 포함하는 도금액 분사유닛에 있어서, 상기 액분사부는 유입된 도금액이 이동하는 내부유로를 형성하고 있으며, 상부에는 일정 간격에 따라 복수의 장착홀이 형성되어 있는 액공급부재, 상기 장착홀에 고정되며, 상하로 개방된 유로를 형성하는 마운트부재, 속이 비어 있으면서 상하로 긴 막대 형상을 취하며, 일면에 적어도 하나의 노즐을 형성하고 있는 노즐대, 상기 노즐대의 하단부에 결합되면서, 상기 마운트부재에 분리 가능하게 조립되고, 상기 도금액을 상기 노즐대 안으로 유입시키는 상하 통로가 형성되어 있는 연결블록체 및 상기 액공급부재와 대향되게 배치되어 있으면서, 상기 노즐대의 상단부와 결합되는 상부고정부재를 포함하는 도금액 분사유닛과 이를 포함하는 전기 도금 장치를 제시한다.

Description

도금액 분사유닛 및 이를 포함하는 전기 도금 장치{Injection unit for plating solution and electroplating device comprising the same}

본 발명은 피도금 대상에 도금액을 고르게 분사하기 위한 도금액 분사유닛과 관련되며, 상세하게는 대면적에 걸쳐 고른 도금액 분사를 수행할 수 있으면서 유지 보수의 편의성을 향상시킨 도금액 분사유닛과 이를 포함하는 전기 도금 장치와 관련된다.

일반적으로 프린트 기판을 제조하는 공정에서는 여러 가지 액을 사용하고 이러한 액들이 프린트 기판에 분사되어 해당 작업을 수행하고 있다. 액을 프린트 기판에 분사하여 작업을 수행하는 공정은 도금, 현상, 에칭, 박리 공정 등 다양하다.

이러한 액 분사에 있어서 액이 프린트 기판에 균등하게 접촉하게 하는 것은 중요하다. 액을 분사하여 공정을 수행하는 장치의 예로서 대한민국 공개특허 10-2011-0027585호에는 도금액을 분사하여 도금 공정을 수행하는 장치가 제시되어 있다. 이러한 종래기술은 노즐을 통해 도금액을 분사함으로써 도금액이 기판에 균등하게 접촉할 수 있도록 의도하고 있다.

최근에는 반도체 제품의 소형화로 인해 기판에 더욱 정밀하게 미세패턴을 형성할 필요성이 증대되고 있다. 특히 도금 공정에 있어서는 얇고 균등하게 도금막이 형성되도록 할 필요가 있다. 이를 위하여 도금액이 기판에 전체적으로 균등하게 접촉할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

본 출원인에 의하여 등록된 대한민국 등록특허 제10-2283426호에서는 대면적에 대응하여 복수의 노즐이 고르게 분포된 액분사부와, 액분사부를 일정 구간에 걸쳐 이동시킴으로써 피도금 대상물을 고르게 도금 처리할 수 있는 기술이 기재되어 있다.

대한민국 공개특허 제10-2011-0027585호 (2011.03.16) 대한민국 등록특허 제10-2283426호 (2021.07.23)

종래의 기술에서 대면적에 걸쳐 얇고 고른 도금 작동은 도금액의 고른 분사에 따른 것으로 일정 면적에 걸쳐 형성해 둔 복수의 노즐에서 도금액 분사가 고르게 이루어짐을 전제로 한 것이다.

도금장치는 승온된 도금액을 간헐적 분사하는 방식으로 운영되는데, 이러한 운영 조건에서 노즐 구멍을 줄이거나 막는 스케일이 쉽게 발생할 수 있다. 또한 도금액의 특정 조성 또는 도금액에 혼입된 이물질은 스케일 형성을 촉진하거나 자체로 석출된 슬러지 등이 노즐을 폐색할 우려가 있다. 그에 따라 정기적인 유지 보수 작업에서 노즐의 건전성 평가와 교체는 당연한 것이다.

종래의 기술에서는 대면적에 걸쳐 배치된 노즐 구성 부품이 모두 한 세트로 이루어짐에 따라 어느 일부의 노즐에만 문제가 발견된 경우에도 노즐 구성 부품 모두를 한꺼번에 교체해야 하는 문제가 있어서, 유지보수의 번거로움이 크고 교체 시간과 비용이 많이 소요되는 한계가 있다.

본 발명의 과제는 종래의 기술이 가진 문제점을 해결하여 유지 보수의 편리성을 향상시키면서 고른 도금액 분사가 보장되어 높은 도금 품질을 유지할 수 있게 하려는 것이다.

그 외 본 발명의 세부적인 목적은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.

위 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 실시예로, 공급된 도금액을 일정 면적의 범위 내에서 분출하는 복수의 노즐이 형성된 액분사부 및 상기 액분사부를 일정 구간에 걸쳐 왕복 운동시키는 구동부를 포함하는 도금액 분사유닛에 있어서, 상기 액분사부는 유입된 도금액이 이동하는 내부유로를 형성하고 있으며, 상부에는 일정 간격에 따라 복수의 장착홀이 형성되어 있는 액공급부재, 상기 장착홀에 고정되며, 상하로 개방된 유로를 형성하는 마운트부재, 속이 비어 있으면서 상하로 긴 막대 형상을 취하며, 일면에 적어도 하나의 노즐을 형성하고 있는 노즐대, 상기 노즐대의 하단부에 결합되면서, 상기 마운트부재에 분리 가능하게 조립되고, 상기 도금액을 상기 노즐대 안으로 유입시키는 상하 통로가 형성되어 있는 연결블록체 및 상기 액공급부재와 대향되게 배치되어 있으면서, 상기 노즐대의 상단부와 결합되는 상부고정부재를 포함하는 도금액 분사유닛을 제시한다.

나아가 상기 연결블록체의 하부는 원통체로 형성되며 외주면을 따라 결합돌기가 돌출되어 있고, 상기 마운트부재에는 상기 원통체가 수직으로 하강한 후 회전함에 따라 상기 결합돌기를 수용하여 상기 연결블록체를 고정시키는 끼움홈부가 구비된다.

또한 상기 노즐대는 비원형 단면을 구비하며, 상기 연결블록체가 상기 마운트부재에 대하여 회전하여 고정되면서 상기 노즐이 일정 방향으로 정렬될 수 있다.

한편 상기 상부고정부재에는 상기 노즐대의 상부를 수용하는 고정홈이 형성되고, 상기 고정홈에 상기 노즐대가 장착되면서 회전하지 아니하게 고정될 수 있다.

이때 상기 노즐대의 상단부는 개방된 형태로 이루어지고, 개방된 노즐대의 상단부는 캡부재에 의해 폐쇄될 수 있다.

한편 상기 액공급부재는 공급관을 통해 도금액을 공급받고, 상기 공급관으로의 도금액의 공급은 공급 수단을 통해 정량 공급될 수 있다.

한편 도금액이 채워지는 수용공간을 형성하는 하우징부, 상기 수용공간에 채비되며 플러스 전극이 연결되는 애노드부, 상기 애노드부와 대향하여 상기 액분사부가 배치되는 도금액 분사유닛 및 상기 도금액 분사유닛을 사이에 두고 상기 애노드부와 대향하여 배치되는 캐소드부를 포함하는 전기 도금 장치를 제시한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 노즐대의 일부 교체가 신속하게 진행될 수 있어 유지 보수의 편의성이 향상되며, 생산성 향상에 도움이 된다.

그 외 본 발명의 효과들은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여, 또는 본 발명을 실시하는 과정 중에 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 개략적인 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 도금액 분사유닛의 개략적인 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액분사부의 개략적인 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 실시예에 채용된 주요부를 분리하여 나타낸 사시도.
도 5는 도 3에 도시된 실시예에 채용된 마운트부재의 도면.
도 6은 도 3에 도시된 실시예에 채용된 연결블록체의 도면.
도 7은 도 4에 도시된 실시예의 사용 상태를 개략적으로 나타낸 도면.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 도금액 분사유닛 및 이를 포함하는 전기 도금 장치의 구성, 기능 및 작용을 설명한다. 단, 도면들과 실시예들에 걸쳐 동일하거나 유사한 구성요소에 대한 도면번호는 통일하여 사용하기로 한다.

첨부된 도면은 본 발명의 적용된 실시예를 나타낸 것으로, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 통하여 제한 해석해서는 아니된다. 이 기술분야에 속하는 전문가의 견지에서 도면에 도시된 일부 또는 전부가 발명의 실시를 위하여 필연적으로 요구되는 형상, 모양, 순서가 아니라고 해석될 수 있다면, 이는 청구범위에 기재된 발명을 한정하지 아니한다.

도 1은 전기 도금 장치의 개략적인 사시도이고, 도 2는 전기 도금 장치에 구비되는 도금액 분사유닛과 관련된다.

본 발명의 실시예에 따른 도금액 분사유닛(100)은, 전기 도금 장치(200)에 포함되며 도금액을 분사하는 액분사부(110)와, 액분사부(110)를 위치 이동시키는 구동부(120)를 포함한다.

액분사부(110)에는 공급된 도금액을 일정 면적의 범위 내에서 분출하는 복수의 노즐(31)이 구비되어 있다. 도시한 실시예에서는 액분사부(110)는 전후로 이격되게 한 쌍이 구비되며, 각 액분사부에서 노즐들은 전후로 마주보게 배치되어 있다.

도시하지 아니하였으나 액분사부는 하나만 구비될 수도 있다.

또한 액분사부(110)는 구동부(120)에 의해 좌우로 이동할 수 있는 구성으로, 이동 중에 도금액 분사를 구현함으로써 어느 특정 위치에만 도금액이 집중되지 아니하도록 한다.

구동부(120)는 액공급부재와 연결되어 액공급부재(10)를 왕복 운동시키는 구성으로서 회전구동기(121), 회전부재(122), 이동블록(123) 및 이동바(124)를 포함한다.

회전구동기(121)의 회전력으로 회전부재(122)를 회전시키고, 회전부재(122) 상에 돌출된 돌출편이 이동블록(123)의 장홈을 타고 운동 방향이 직선으로 전환된다. 그 결과 이동블록(123)에 결합된 이동바(124)와 액분사부(110)는 직선 왕복 운동을 구현하게 된다.

도시하지 아니하였으나 구동부는 액분사부를 좌우 방향으로 일정 거리 왕복 이동시키는 기타의 기계적 구성으로 대체할 수 있다.

도 3에는 전후 한 쌍의 액분사부(110)의 외곽을 하우스(110A)로 감싼 구조가 도시되어 있다.

액분사부(110)는 액공급부재(10), 마운트부재(20), 노즐대(30), 연결블록체(40) 및 상부고정부재(50)를 포함한다.

액공급부재(10)는 내부에 도금액이 흐를 수 있는 공간이 형성되어 있는 각형 부재로, 일단부에 연결된 공급관(11)을 통해 도금액을 공급 받는다. 이때 공급관(11)으로의 도금액 공급은, 도시를 생략한 도금액을 저장하는 리저브 탱크, 유체 펌프 및 유량계를 포함한 공급 수단을 통해 정량 공급될 수 있다.

또한 액공급부재(10)는 액분사부(110)의 외형을 형성하는 하우스(110A)의 하부 구성으로 사용되어, 양단의 사이드월(110b)과 상부의 상부고정부재(50)가 대략 사각 틀을 형성하게 된다.

액공급부재(10)의 상면에는 일정 간격에 따라 복수의 장착홀(12)이 형성되어 있다. 이 장착홀(12)은 액공급부재(10)의 내부와 연결됨으로써 도금액이 장착홀(12)을 통해 상부로 토출된다.

마운트부재(20)는 장착홀(12)마다 개별적으로 고정 설치된다. 마운트부재(20)는 장착홀(12)과 연결되어 상하로 개방된 유로를 형성하고 있으며, 상부를 향하여 개방된 결합홀(21)이 형성되어 있다.

한편 노즐대(30)는 속이 비어 있는 긴 막대 형상으로, 일면에는 적어도 하나의 노즐(31)이 형성되어 있다.

도시한 실시예에서는 노즐대의 길이 방향에 따라 일정 간격으로 복수의 노즐이 형성되어 있다. 노즐의 간격과 수는 실시예에 따라 달라질 수 있다.

나아가 노즐대(30)의 단면은 비원형이 될 수 있다. 도시한 실시예에서 노즐대의 단면은 사각형이다.

나아가 노즐(31)의 가공 편의성 및 노즐 상태의 유지 보수의 용이성을 고려하여, 노즐대는 ㄷ 자형 단면을 가진 2 파트로 분리 제작한 것을 조립하는 구조로 할 수 있다. 속이 빈 봉 또는 막대 형상의 노즐대를 길이 방향으로 쪼갠 형상으로 각 파트가 나뉨으로써, 노즐대 분리 후 노즐 막힘 확인 등 유지 보수의 편리성이 크게 향상된다.

연결블록체(40)는 노즐대(30)의 하단부에 결합된다. 이를 위하여 연결블록체(40)의 상부에는 노즐대(30)의 단면에 대응하는 삽입홈(41)이 형성된다.

도시한 실시예에서 노즐대의 단면 형상에 따라 삽입홈(41)이 사각형으로 형성되어 있다.

연결블록체(40)의 하부 또는 그 외주면 부위는 마운트부재(20)에 분리 가능하게 결합되는 구조를 갖추고 있으며, 연결블록체(40) 내부에는 도금액이 흐르는 상하로 관통된 통로가 형성되어 있다.

연결블록체(40)와 마운트부재(20)를 조립함으로써, 액공급부재(10) 위에 노즐대(30)가 분리 가능하게 장착된다. 액공급부재(10)로 들어온 도금액은 마운트부재(20)와 연결블록체(40)가 형성하는 유로를 지나 노즐대(30)의 내부로 유입된다. 이후 도금액은 압력에 의해 각 노즐(31)에서 피도금 대상을 향하여 분사된다.

액공급부재(10)에 세워진 형태로 조립된 복수의 노즐대(30)의 각 상부는 상부고정부재(50)에 결속될 수 있다. 이때 상부고정부재(50)에는 각 노즐대에 대응하여 복수의 고정홈(51)이 형성되어 있다.

노즐대(30)의 상부가 고정홈(51)에 결합됨으로써 노즐대(30)의 상하 고정이 완료된다. 이때 개방된 노즐대(30)의 상단부는 캡부재(32)에 의해 폐쇄된다.

또는 도시하지 아니하였으나, 상부고정부재에 바닥이 막힌 형태의 고정홈을 형성하고, 노즐대의 상단이 고정홈 바닥에 접하도록 조립함으로써 노즐대의 상부를 고정하면서 동시에 노즐대의 개방된 상단부를 폐쇄할 수 있다.

더하여 노즐대(30)의 비원형 단면에 대응하는 단면 형상으로 고정홈(51)을 형성함으로써, 작동 중에 노즐대(30)가 임의로 회전하지 않게 할 수 있다. 도 3에서 고정홈들은 ㄷ 자 형상으로 함몰되게 형성되고, 각 고정홈(51)에 사각형 단면의 노즐대(30)가 장착되어 있다. 그에 따라 노즐대(30)는 고정홈(51) 밖으로 이탈하지 않는 이상, 임의로 회전하지 않게 된다. 이로써 추후 설명하는 마운트부재(20)와 연결블록체(40)의 회전에 의한 조립이 임의로 해제되지 않게 하는 효과가 있다. 또한 이미 조립한 노즐대가 임의로 회전하는 것을 방지하여 노즐의 분사 방향이 사용 중에 흐트러지는 것을 방지하는 효과도 있다.

도 5는 마운트부재와 관련된다. 도 5의 (a)는 사시도이며, (b)는 평면도이고, (c)는 (b)의 A-A 선에 따른 단면을 도시하고 있다.

마운트부재(20)는 대략 컵 형상으로, 가운데에는 상부에서 진입하는 연결블록체(40)를 수용하는 결합홀(21)이 형성되어 있다.

결합홀(21)의 내주면은 원형 곡면을 형성하고 있는데, 연결블록체(40)의 조립을 위한 함몰홈부(211)와 끼움홈부(212)가 형성되어 있다.

함몰홈부(211)는 연결블록체(40)에서 돌출되게 구비된 결합돌기(43)에 대응하는 위치에 함몰 형성된 것으로, 연결블록체(40)가 마운트부재(20)의 결합홀(21)에 삽입될 때에 결합돌기(43)가 지나가는 통로가 된다. 이로써 결합돌기(43)의 수직 방향 이동이 가능해진다.

한편 끼움홈부(212)는 함몰홈부(211)의 저부에서 이어지면서 결합홀(21)의 내주 방향으로 형성되는 것으로, 연결블록체(40)가 결합홀에 삽입된 후 회전 시에 결합돌기(43)를 수용하는 부분이다.

이 끼움홈부(212)는 마운트부재(20)의 내벽을 관통하고 있어서, 개방된 끼움홈부(212)를 통해 결합돌기(43)의 조립 위치를 외부에서 관찰할 수 있다.

또한 도 7을 참고하면, 끼움돌기(42)의 천장면에서는 결합돌기(43)의 완전한 삽입을 돕는 볼록턱(212a)이 형성되어 있다. 연결블록체(40)가 회전하여 결합돌기(43)가 볼록턱(212a)을 통과할 때에 간섭되어 저항을 받으며, 결합돌기(43)가 끼움홈부(212)에 완전히 결합된 위치에서 볼록턱(212a)에 의한 간섭이 해소된다. 이로써 볼록턱(212a)은 완전히 조립된 연결블록체(40)가 임의로 역으로 회전하지 않게 하여, 결합돌기(43)가 제 위치를 벗어나지 않게 한다.

결합홀(21)의 바닥에는 수직벽면(221)을 형성하는 함몰홈(22)이 더 연결되어 있다. 이 함몰홈(22)의 바닥부터 관통하는 중공 홀을 통해 도금액이 유동할 수 있다.

한편 도 6은 연결블록체와 관련된다. 도 6의 (a)는 사시도이며, (b)는 평면도이고, (c)는 (b)의 D-D 선에 따른 단면을 도시하고 있다.

연결블록체(40)는 상부 구조물(40a)과 하부 구조물(40b)로 구성되며, 이들을 상하로 관통하는 상하 통로가 형성되어 있다.

상부 구조물(40a)의 상면에는 노즐대(30)의 하단부가 삽입되는 삽입홈(41)이 형성되어 있다. 상부 구조물(40a)의 외주면에 상하로 긴 띠 형상의 돌기(42)가 돌출되어 있다. 이 돌기(42)는 마운트부재의 결합홀(21) 주변부에 걸려 연결블록체(40)가 지나치게 깊게 삽입되는 것을 방지한다.

또한 돌기(42)는 평면상에서 보았을 때에 결합돌기(43)와 수직한 위치에 형성되어 있음으로써, 마운트부재(20)에 연결블록체의 하부 구조물(40b)이 삽입된 때에 연결블록체(40)의 현재 회전 각도를 나타낸다. 이로써 작업자가 외부에서 쉽게 관찰되는 상부 구조물(40a)의 돌기(42)를 보면서 오조립 여부를 쉽게 인지할 수 있게 된다.

한편 하부 구조물(40b)은 마운트부재의 결합홀에 삽입되는 구성으로 원통체로 형성되어 있다. 원통체의 외주면을 따라 서로 대향되는 한 쌍의 결합돌기(43)가 돌출되어 있다. 이 결합돌기(43)는 결합홀(21)의 내주면에 형성한 함몰홈부(211)를 타고 하강한 후 연결블록체(40)를 회전시킬 때에 끼움홈부(212)로 장착되는 부분이다. 끼움홈부(212)로 수용된 결합돌기(43)는 끼움홈부(212)의 천장에 간섭되므로 연결블록체(40)가 마운트부재(20)에 고정된다.

나아가 원통체의 하부에는 외주면에 오링이 장착되는 실링돌부(44)가 연장되어 있다. 실링돌부(44)는 마운트부재의 최저부에 형성된 함몰홈(22)의 수직벽면(221)까지 진입하여 오링을 개재시킨다. 이로써 마운트부재(20)와 연결블록체(40)가 형성하는 도금액 이동 공간의 기밀을 이루게 된다.

도 4와 도 7을 참고하면, 노즐대(30)의 하단에 연결블록체(40)를 장착한 후 연결블록체(40)를 마운트부재(20)에 결합하는 순서로 노즐대(30)의 설치가 진행된다.

도시한 실시예에서 연결블록체(40)의 결합에는 90도의 회전이 요구되는 것으로, 먼저 도 7의 (a)와 같이, 노즐대(30)의 노즐(31)이 측방을 바라보는 상태에서 연결블록체(40)를 마운트부재(20)에 삽입하게 된다.

이후 노즐대를 90도 회전시키면 도 7의 (b)에 도시한 바와 같이, 연결블록체의 결합돌기(43)가 마운트부재(20)의 끼움홈부(212)에 장착된다. 이때 회전한 노즐대에 의해 각 노즐대의 노즐 방향이 의도한 일방향으로 정렬된다. 즉 연결블록체(40)가 마운트부재(20)에 대하여 회전하여 고정되면서, 노즐 방향도 함께 변경되어 일정한 방향으로 정렬된다.

그에 따라 연결블록체와 마운트부재의 결합이 올바르게 진행되었다면, 모든 노즐대(30)의 노즐 방향이, 도 4에 도시한 바와 같이, 전방 또는 후방으로 일괄되게 정렬된다. 즉 노즐대(30)의 단면을 사각형으로 하고, 연결블록체(40)와 마운트부재(20)가 90도로 회전하면서 조립되도록 구성함으로써, 노즐대(30)의 노즐들(31)이 향하는 각도가 서로 평행하게 자동 정렬되는 효과가 있다.

나아가 상부고정부재(50)의 고정홈(51)이 노즐대(30)의 상부를 회전하지 않게 고정시킴으로써 노즐 방향을 정렬이 더욱 확실해지고, 도금 장치의 사용 중에 노즐 방향이 흐트러지지 않게 된다.

상술한 도금액 분사유닛은, 도 1에 도시한 바와 같이, 전기 도금 장치에 적용될 수 있다.

도시한 실시예에 따른 전기 도금 장치(200)는 하우징부(210), 애노드부(220), 캐소드부(230) 및 상술한 도금액 분사유닛(100)을 포함한다.

하우징부(210)는 외관을 이루며 내부에 수용공간이 형성되고 이 수용공간에 도금액이 채워진다. 애노드부(220)는 하우징부의 수용공간에 배치되며 플러스 전극이 연결된다.

상술한 도금액 분사유닛(100)은 액분사부(110)가 애노드부(220)와 대향하도록 설치되고 도금액 분사유닛(100)의 액분사부(110)를 사이에 두고 상기 애노드부와 대향하여 캐소드부(230)가 배치된다.

이러한 구성에 의해 도금액 분사유닛의 액분사부가 왕복 운동하면서 도금액을 분사하게 되면 액분사부의 작용은 하우징부(210)에 담긴 도금액을 유동시키고 도금액의 유동은 도금액이 기판에 전체적으로 균등하게 접촉할 수 있도록 한다. 이에 따라 기판에 얇은 도금막을 균일하게 도금할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 도금액 분사유닛과 이를 포함하는 전기 도금 장치는 고른 두께의 박막 도금을 구현하면서, 문제가 발생된 노즐대의 선택적인 교체가 손쉽게 진행될 수 있어 고른 도금 분사 기능의 유지 보수에 편의성이 크게 향상되며, 유지보수에 소요되는 시간과 비용을 저감할 수 있게 하여 생산성을 크게 향상시킨다.

상기와 같이 도금액 분사유닛과 이를 포함하는 전기 도금 장치는 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 분사유닛
110 : 액분사부 110A : 하우스 110b : 사이드월
10 : 액공급부재 11 ; 공급관 12 : 장착홀
20 : 마운트부재 21 : 결함홀 211 : 함몰홈부
212 : 끼움홈부 212a : 볼록턱 22 : 함몰홈 221 : 수직벽면
30 : 노즐대 31 : 노즐 32 : 캡부재
40 : 연결블록체 40a : 상부 구조물 41 : 삽입홈
42 : 돌기 40b : 하부 구조물 43 : 결합돌기 44 : 실링돌부
50 : 상부고정부재 51 : 고정홈
120 : 구동부
121 : 회전구동기 122 : 회전부재 123 : 이동블록 124 : 이동바
200 : 전기 도금 장치
210 : 하우징부 220 : 애노드부 230 : 캐소드부

Claims (7)

1. 공급된 도금액을 일정 면적의 범위 내에서 분출하는 복수의 노즐이 형성된 액분사부 및 상기 액분사부를 일정 구간에 걸쳐 왕복 운동시키는 구동부를 포함하는 도금액 분사유닛에 있어서,
   상기 액분사부는
   유입된 도금액이 이동하는 내부유로를 형성하고 있으며, 상부에는 일정 간격에 따라 복수의 장착홀이 형성되어 있는 액공급부재,
   상기 장착홀에 고정되며, 상하로 개방된 유로를 형성하는 마운트부재,
   속이 비어 있으면서 상하로 긴 막대 형상을 취하며, 일면에 적어도 하나의 노즐을 형성하고 있는 노즐대,
   상기 노즐대의 하단부에 결합되면서, 상기 마운트부재에 분리 가능하게 조립되고, 상기 도금액을 상기 노즐대 안으로 유입시키는 상하 통로가 형성되어 있는 연결블록체 및
   상기 액공급부재와 대향되게 배치되어 있으면서, 상기 노즐대의 상단부와 결합되는 상부고정부재를 포함하는
   도금액 분사유닛.
   
2. 제1항에서,
   상기 연결블록체의 하부는 원통체로 형성되며 외주면을 따라 결합돌기가 돌출되어 있고,
   상기 마운트부재에는 상기 원통체가 수직으로 하강한 후 회전함에 따라 상기 결합돌기를 수용하여 상기 연결블록체를 고정시키는 끼움홈부가 구비되는 것을 특징으로 하는
   도금액 분사유닛.
   
3. 제2항에서,
   상기 노즐대는 비원형 단면을 구비하며, 상기 연결블록체가 상기 마운트부재에 대하여 회전하여 고정되면서 상기 노즐이 일정 방향으로 정렬되는 것을 특징으로 하는
   도금액 분사유닛.
   
4. 제3항에서,
   상기 상부고정부재에는 상기 노즐대의 상부를 수용하는 고정홈이 형성되고, 상기 고정홈에 상기 노즐대가 장착되면서 회전하지 아니하게 고정되는 것을 특징으로 하는
   도금액 분사유닛.
   
5. 제4항에서,
   상기 노즐대의 상단부는 개방된 형태로 이루어지고, 개방된 노즐대의 상단부는 캡부재에 의해 폐쇄되는 것을 특징으로 하는
   도금액 분사유닛.
   
6. 제1항에서,
   상기 액공급부재는 공급관을 통해 도금액을 공급받고, 상기 공급관으로의 도금액의 공급은 공급 수단을 통해 정량 공급되는 것을 특징으로 하는
   도금액 분사유닛.
   
7. 도금액이 채워지는 수용공간을 형성하는 하우징부,
   상기 수용공간에 채비되며 플러스 전극이 연결되는 애노드부,
   상기 애노드부와 대향하여 상기 액분사부가 배치되는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 도금액 분사유닛 및
   상기 도금액 분사유닛을 사이에 두고 상기 애노드부와 대향하여 배치되는 캐소드부를 포함하는
   전기 도금 장치.

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