KR102283393B1 - 커스터머 트레이 스택커 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 상기 커스터머 트레이 스택커는, 상하 방향으로 적재되는 다수의 커스터머 트레이들을 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재의 상부면에 상기 상하 방향을 따라 구비되며, 상기 커스터머 트레이의 상하 이동을 가이드하기 위해 상기 커스터머 트레이들의 양측면과 후면을 지지하는 가이드 및 상기 가이드의 전면에 구비되며, 상기 커스터머 트레이들의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 커스터머 트레이들의 상기 전면에 각각 형성된 홈을 감지하는 센서를 포함할 수 있다.

Description

커스터머 트레이 스택커{Customer tray stacker}
본 발명은 커스터머 트레이 스택커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테스트 핸들러에서 다수의 커스터머 트레이들을 적재할 수 있는 커스터머 트레이 스택커에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자 및 상기 반도체 소자들을 포함하는 집적 회로들은 출하하기 전에 다양한 환경 조건 하에서 여러 가지 테스트 과정을 거친 후에 출하된다.
테스트 핸들러는 상기 반도체 소자 및 집적 회로 등을 테스트하는 장치이다. 상기 테스트 핸들러는 로딩용 스택커에 적재된 커스터머 트레이(customer tray)들의 반도체 소자들을 테스트 트레이로 수납한 후, 상기 반도체 소자들이 수납된 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 이송하여 상기 반도체 소자들에 대한 테스트를 수행한다. 상기 테스트 사이트에서는 테스트 트레이에 장착된 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트헤드의 소켓에 전기적으로 접속시켜 소정의 전기적 테스트를 하게 된다. 상기 테스트 핸들러는 테스트가 완료된 테스트 트레이의 반도체 소자들을 분리하여 커스터머 트레이에 테스트 결과에 따라 분류 수납한 후, 상기 커스터머 트레이를 언로딩용 스택커에 적재한다.
작업자가 수작업으로 상기 로딩용 스택커에 상기 커스터머 트레이들을 적재하는 경우, 상기 커스터머 트레이들이 정방향으로 적재되지 않고 역방향으로 적재될 수 있다. 상기 커스터머 트레이들이 역방향으로 적재되는 경우, 상기 스택커로부터 상기 커스터머 트레이를 이송하는 동작에서 에러가 발생할 수 있다. 상기 에러 발생으로 인해 상기 커스터머 트레이의 이송 공정이 지연될 수 있다.
또한, 상기 커스터머 트레이에 파티클이 잔류하는 경우, 상기 파티클에 의해 상기 커스터머 트레이들에 수납되는 상기 반도체 소자들이 오염될 수 있다.
한국공개특허 제10-1999-0078337호(1999.10.25. 공개)
본 발명은 커스터머 트레이들의 역방향 적재를 방지하고 파티클을 제거할 수 있는 커스터머 트레이 스택커를 제공한다.
본 발명에 따른 상기 커스터머 트레이 스택커는, 상하 방향으로 적재되는 다수의 커스터머 트레이들을 지지하는 지지부재와, 상기 지지부재의 상부면에 상기 상하 방향을 따라 구비되며, 상기 커스터머 트레이의 상하 이동을 가이드하기 위해 상기 커스터머 트레이들의 양측면과 후면을 지지하는 가이드 및 상기 가이드의 전면에 구비되며, 상기 커스터머 트레이들의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 커스터머 트레이들의 상기 전면에 각각 형성된 홈을 감지하는 센서를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 센서는, 상기 가이드의 전면 상방 및 하방 중 어느 하나에 구비되며, 상기 커스터머 트레이들의 상기 전면에 각각 형성된 홈을 향해 광을 조사하는 발광부 및 상기 상방 및 하방 중 나머지 하나에 구비되며 상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함하고, 상기 발광부에서 조사된 광을 상기 수광부에서 수신하는 경우 상기 센서는 상기 커스터머 트레이들이 모두 정방향으로 적재된 것으로 판단하고, 상기 발광부에서 조사된 광을 상기 수광부에서 수신하지 못하는 경우 상기 센서는 상기 커스터머 트레이들 중 적어도 하나가 역방향으로 적재된 것으로 판단할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스택커는, 상기 가이드의 전면 일측과 상기 가이드 전면 사이를 이동 가능하도록 구비되며, 상기 커스터머 트레이들이 상기 지지부재에 적재된 후 상기 가이드의 전면으로 이동하여 상기 커스터머 트레이들의 전면을 지지하는 셔터를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 셔터는 상기 커스터머 트레이들의 전면에서 상기 홈이 형성된 부위를 지지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 지지부재는 상기 커스터머 트레이의 하부면 가장자리 부위를 지지하고, 상기 스택커는, 상기 지지부재에 적재된 커스터머 트레이의 하부면 중앙 부위와 접촉하여 상기 커스터머 트레이를 상하 이동시키기 위한 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스택커는, 상기 가이드의 상방에 상기 커스터머 트레이들과 평행한 방향인 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 구동부에 의해 상승된 최상단 커스터머 트레이에 잔류하는 파티클을 제거하는 클리너를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 클리너는, 상기 최상단 커스터머 트레이로부터 상기 파티클을 분리하기 위해 상기 최상단 커스터머 트레이를 향해 에어를 분사하는 분사부 및 상기 최상단 커스터머 트레이로부터 분리된 상기 파티클을 흡입하는 흡입부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 흡입부는 상기 클리너의 이동 방향과 수직하는 방향으로 연장하도록 한 쌍이 구비되며, 상기 분사부는 상기 한 쌍의 흡입부 사이에서 상기 흡입부들과 평행하도록 연장할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스택커는, 상기 클리너의 상방에 개폐 가능하도록 구비되며, 상기 클리너가 상기 파티클을 제거하는 동안 상기 파티클이 외부로 배출되는 것을 방지하기 위해 상기 최상단 커스터머 트레이와 상기 클리너를 커버하는 커버를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스택커는, 상기 가이드의 상단부에 구비되며, 상기 구동부에 의해 상승하는 커스터머 트레이가 지나도록 개구를 갖는 상부 베이스 부재를 더 포함하고, 상기 베이스 부재는 상기 클리너가 상기 수평 방향으로 이동가능하도록 지지하고, 상기 베이스 부재는 상기 커버가 개폐 가능하도록 지지하며, 상기 커버와 함께 상기 최상단 커스터머 트레이와 상기 클리너를 커버할 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 센서로 상기 커스터머 트레이들의 상기 전면에 각각 형성된 홈을 감지하여 상기 커스터머 트레이들의 적재 방향을 확인할 수 있다. 따라서, 상기 커스터머 트레이들이 역방향으로 적재되는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 커스터머 트레이 스택커로부터 상기 커스터머 트레이를 이송하는 동작에서 에러를 방지하고, 상기 커스터머 트레이의 이송 공정이 신속하게 이루어질 수 있다.
또한, 상기 커스터머 트레이에 파티클이 잔류하는 경우, 상기 클리너를 이용하여 상기 파티클을 제거할 수 있다. 따라서, 상기 파티클에 의해 상기 커스터머 트레이들에 수납되는 상기 반도체 소자들이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 스택커를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 커스터머 트레이 스택커를 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 센서와 셔터를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 클리너와 커버를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 클리너를 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 클리너를 설명하기 위한 저면도이다.
도 7은 도 1에 도시된 클리너의 다른 예를 설명하기 위한 저면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커스터머 트레이 스택커를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 커스터머 트레이 스택커를 설명하기 위한 정면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 센서와 셔터를 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 클리너와 커버를 설명하기 위한 평면도이고, 도 5는 도 1에 도시된 클리너를 설명하기 위한 단면도이고, 도 6은 도 1에 도시된 클리너를 설명하기 위한 저면도이고, 도 7은 도 1에 도시된 클리너의 다른 예를 설명하기 위한 저면도이다.
도 1 및 도 7을 참조하면, 커스터머 트레이 스택커(100)는 테스트 핸들러에서 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이(10)를 적재하기 위한 공간을 제공한다. 상기 스택커(100)는 하부 베이스 부재(110), 지지부재(120), 가이드(130), 센서(140), 셔터(150), 제1 구동부(160), 제2 구동부(165), 상부 베이스 부재(170), 클리너(180) 및 커버(190)를 포함한다.
상기 하부 베이스 부재(110)는 평판 형태를 갖는다. 상기 지지부재(120), 상기 가이드(130), 상기 센서(140), 상기 셔터(150), 상기 제1 구동부(160), 상기 제2 구동부(165), 상기 상부 베이스 부재(170), 상기 클리너(180) 및 상기 커버(190)는 상기 하부 베이스 부재(110)에 장착된다. 상기 지지부재(120), 상기 가이드(130), 상기 센서(140), 상기 셔터(150), 상기 제1 구동부(160), 상기 제2 구동부(165), 상기 상부 베이스 부재(170), 상기 클리너(180) 및 상기 커버(190)는 상기 하부 베이스 부재(110) 상에 각각 하나가 구비되거나 각각 다수개가 구비될 수 있다.
상기 지지부재(120)는 상기 하부 베이스 부재(110)의 상부면에 배치된다. 상기 지지부재(120)가 다수개가 배치되는 경우, 상기 지지부재(120)는 상기 하부 베이스 부재(110)의 상부면과 평행한 수평 방향을 따라 일정 간격 이격될 수 있다.
상기 지지부재(120)는 상기 커스터머 트레이(10)들을 지지한다. 즉, 상기 커스터머 트레이(10)들이 상기 지지부재(120) 상에 수직 방향으로 적재된다. 상기 지지부재(120)는 상기 커스터머 트레이(10)의 하부면 가장자리 부위를 지지한다. 이때, 상기 지지부재(120)는 상기 커스터머 트레이(10)의 하부면 중앙 부위를 지지하지 않는다. 일 예로, 상기 지지부재(120)는 상기 커스터머 트레이(10)의 하부면 좌우 양측을 지지할 수 있다. 다른 예로, 상기 지지부재(120)는 상기 커스터머 트레이(10)의 하부면 전후 양측을 지지할 수 있다. 또 다른 예로, 상기 커스터머 트레이(10)의 하부면 좌우 양측 및 전후 양측을 지지할 수 있다.
상기 지지부재(120)는 상기 하부 베이스 부재(110) 상에 상기 좌우 방향과 수직하는 전후 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 일 예로, 상기 지지부재(120)는 상기 하부 베이스 부재(110) 상에 상기 전후 방향으로 배치된 가이드 레일(112)을 따라 상기 전후 방향으로 이동할 수 있다. 상기 지지부재(120)가 전방으로 이동한 후, 작업자가 수작업으로 상기 커스터머 트레이(10)들을 상기 지지부재(120) 상에 적재한다. 상기 커스터머 트레이(10)들의 적재가 완료되면 상기 지지부재(120)가 후방으로 이동한다. 상기 지지부재(120)가 전방으로 이동한 상태에서 상기 커스터머 트레이(10)들의 적재가 이루어지므로, 작업자가 용이하게 상기 지지부재(120)에 상기 커스터머 트레이(10)들을 적재할 수 있다.
상기 가이드(130)는 상기 지지부재(120) 상에 구비되며 수직 방향으로 연장한다. 상기 가이드(130)는 커스터머 트레이(10)들의 측면과 후면을 지지한다. 따라서, 상기 가이드(130)는 상기 지지부재(120) 상에 적재되는 커스터머 트레이(10)들의 적재 위치를 설정할 수 있다. 또한, 상기 가이드(130)는 상기 커스터머 트레이(10)들의 상하 이동을 가이드할 수 있다.
구체적으로, 상기 가이드(130)는 한 쌍의 제1 가이드(132)들과 한 쌍의 제2 가이드(134)들을 포함한다.
상기 제1 가이드(132)들은 상기 지지부재(120)의 전방 양측에 각각 배치되며, 상기 커스터머 트레이(10)들의 측면들을 지지한다.
상기 제2 가이드(134)들은 상기 지지부재(120)의 후방 양측에 각각 배치되며, 상기 커스터머 트레이(10)들의 후방 모서리 부위를 지지한다. 즉, 상기 제2 가이드(134)들은 상기 커스터머 트레이(10)들의 측면과 후면을 지지한다.
상기에서 상기 제2 가이드(134)들이 상기 커스터머 트레이(10)들의 측면과 후면을 동시에 지지하는 것으로 설명되었지만, 상기 제2 가이드(134)들은 상기 커스터머 트레이(10)들의 측면을 지지하는 가이드와 상기 커스터머 트레이(10)들의 후면을 지지하는 가이드를 각각 포함할 수도 있다.
상기 가이드(130)는 상기 커스터머 트레이(10)들의 측면과 후면을 지지하지만 상기 커스터머 트레이(10)들의 전면은 지지하지 않는다. 즉, 상기 가이드(130)의 전면은 개방된다.
상기 커스터머 트레이(10)들은 작업자의 수작업에 의해 상기 지지부재(120)에 적재되거나 자동 공급 장치(미도시)에 의해 상기 지지부재(120)에 적재될 수 있다. 상기 커스터머 트레이(10)들은 상기 지지부재(120)의 상방으로부터 하방으로 공급되거나, 상기 지지부재(120)의 전방으로부터 후방으로 공급될 수 있다.
상기 센서(140)는 상기 가이드(130)의 전면에 구비되며, 상기 커스터머 트레이(10)들의 전면에 각각 형성된 홈(12)을 감지한다. 따라서, 지지부재(120)에 적재된 상기 커스터머 트레이(10)들의 적재 방향을 확인할 수 있다.
구체적으로, 상기 센서(140)는 발광부(142) 및 수광부(144)를 포함할 수 있다. 상기 발광부(142)는 상기 가이드(130)의 전면 상방 및 하방 중 어느 하나에 구비되고, 상기 수광부(144)는 상기 상방 및 하방 중 나머지 하나에 구비될 수 있다. 즉, 상기 발광부(142)와 상기 수광부(144)는 상기 가이드(130)의 전면에 상하로 이격되어 배치될 수 있다.
상기 발광부(142)는 상기 커스터머 트레이(10)들의 상기 전면에 각각 형성된 상기 홈(12)을 향해 광을 조사한다.
상기 수광부(144)는 상기 발광부(142)에서 조사된 광을 수신한다.
상기 커스터머 트레이(10)들이 모두 정방향으로 적재된 경우 상기 발광부(142)에서 조사된 광을 상기 수광부(144)에서 수신할 수 있다. 상기 커스터머 트레이(10)들 중 적어도 하나가 역방향으로 적재된 경우 상기 발광부(142)에서 조사된 광이 역방향으로 적재된 상기 커스터머 트레이(10)에 의해 차단되므로 상기 광을 상기 수광부(144)에서 수신하지 못할 수 있다.
따라서, 상기 수광부(144)의 광 수신 여부를 이용하여 상기 커스터머 트레이(10)의 적재 방향을 용이하고 신속하게 확인할 수 있다.
한편, 상기 발광부(142)에서 조사된 광을 상기 수광부(144)에서 수신하지 못하는 경우, 작업자에게 역방향으로 적재된 상기 커스터머 트레이(10)가 존재하는 것을 알리기 위해 상기 센서(140)는 알람을 발생할 수 있다.
상기 셔터(150)는 상기 가이드(130)의 전면 일측에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 가이드(130)의 전면을 개폐할 수 있다. 일 예로, 상기 셔터(150)는 상기 커스터머 트레이(10)들의 전면과 평행한 방향으로 이동할 수 있다. 다른 예로, 상기 셔터(150)는 회전축을 중심으로 회전할 수 있다.
상기 가이드(130)의 전면을 통해 상기 커스터머 트레이(10)들을 상기 지지부재(120)에 적재할 때, 상기 셔터(150)는 상기 가이드(130)의 전면 일측으로 이동하여 상기 가이드(130)의 전면을 개방한다. 상기 커스터머 트레이(10)들이 상기 지지부재(120)에 적재되면, 상기 셔터(150)는 상기 가이드(130)의 전면으로 이동하여 상기 가이드(130)의 전면을 차단하고, 상기 지지부재(120)에 적재된 상기 커스터머 트레이(10)들의 전면을 지지한다.
이때, 상기 셔터(150)는 상기 커스터머 트레이(10)들의 전면에서 상기 홈(12)이 형성된 부위를 지지할 수 있다. 이와 달리 상기 셔터(150)는 상기 커스터머 트레이(10)들의 전면에서 상기 홈(12)이 형성된 부위를 제외한 나머지 부위를 지지할 수 있다.
또한, 상기 셔터(150)는 상기 가이드(130)의 전면으로 이동하면서 상기 지지부재(120)에 적재된 상기 커스터머 트레이(10)들의 전면을 푸시할 수 있다. 따라서, 상기 셔터(150)가 상기 커스터머 트레이(10)들을 정렬할 수 있다.
상기 셔터(150)의 폭은 상기 커스터머 트레이(10)의 폭보다 작다. 따라서, 상기 셔터(150)는 상기 가이드(130)의 전면 중 일부만을 차단한다. 즉, 상기 셔터(150)는 상기 커스터머 트레이(10)들의 전면 중 일부분만을 지지하고 나머지 부분은 노출한다.
상기 셔터(150)의 폭은 상기 커스터머 트레이(10)의 폭보다 작으므로, 상기 셔터의 크기를 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 셔터(150)가 차지하는 공간을 줄일 수 있다. 또한, 상기 셔터(150)의 폭은 상기 커스터머 트레이(10)의 폭보다 작으므로, 상기 셔터(150)의 이동시간을 줄일 수 있다. 따라서, 상기 셔터(150)의 개폐에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
상기 제1 구동부(160)는 상기 셔터(150)와 연결되며, 상기 셔터(150)를 이동시키기 위한 구동력을 제공한다. 상기 제1 구동부(160)의 구동력에 의해 상기 셔터(150)가 왕복 이동하거나 회전 이동하면서 상기 가이드(130)의 전면을 개폐한다. 상기 제1 구동부(160)의 예로는 실린더, 모터 등을 들 수 있다.
상기 제1 구동부(160)는 브래킷(162)에 의해 고정될 수 있다. 상기 브래킷(162)은 상기 하부 베이스 부재(110)에 고정되며 상기 하부 베이스 부재(110)의 상부면과 수직한 방향으로 연장한다. 상기 브래킷(162)은 상기 셔터(150)와 평행하도록 배치된다.
상기 브래킷(162)은 상기 셔터(150)의 왕복 이동을 가이드하기 위한 가이드 레일을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 셔터(150)가 안정적으로 이동할 수 있다.
상기 제2 구동부(165)는 상기 하부 베이스 부재(110)에 구비되며, 상기 커스터머 트레이(10)를 상하 방향으로 이동시킨다. 상기 제2 구동부(165)는 상기 하부 베이스 부재(110)의 상부면에 구비될 수 있으나 공간적인 제약으로 인해 상기 하부 베이스 부재(110)의 하부면에 구비되는 것이 바람직하다. 상기 제2 구동부(165)는 상기 하부 베이스 부재(110)를 관통하여 상기 지지부재(120)에 의해 노출된 최하층 커스터머 트레이(10)의 하부면 중앙과 접촉한다. 상기 커스터머 트레이(10)들은 상기 가이드(130)와 셔터(150)에 의해 가이드 되면서 상기 제2 구동부(165)에 의해 상하 이동될 수 있다.
일 예로, 상기 제2 구동부(165)는 볼 스크류와 상기 볼 스크류를 구동하기 위한 모터를 포함할 수 있다. 다른 예로, 상기 제2 구동부(165)는 실린더일 수 있다.
상기 상부 베이스 부재(170)는 상기 가이드(130)의 상단부에 구비되며, 상기 제2 구동부(165)에 의해 상승하는 커스터머 트레이(10)가 지나도록 개구를 갖는다.
상기 클리너(180)는 상기 클리너(180)는 상기 상부 베이스 부재(170) 상에 배치되며, 상기 가이드(130)의 상방에 상기 수평 방향으로 이동 가능할 수 있다. 예를 들면, 상기 클리너(180)는 상기 상부 베이스 부재(180) 상에 상기 전후 방향으로 배치된 가이드 레일(172)을 따라 상기 전후 방향으로 이동할 수 있다.
상기 제2 구동부(165)에 의해 최상단 커스터머 트레이(10)가 상기 상부 베이스 부재(170)의 상기 개구를 통해 상승하면, 상기 클리너(180)가 상기 전후 방향으로 이동하면서 상기 최상단 커스터머 트레이(10)에 잔류하는 파티클을 제거한다. 따라서, 상기 파티클에 의해 상기 커스터머 트레이(10)들에 수납되는 반도체 소자들이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
상기 클리너(180)의 좌우 방향 폭은 상기 커스터머 트레이(10)의 폭보다 클 수 있다. 따라서, 상기 클리너(180)가 상기 커스터머 트레이(10)를 충분히 커버할 수 있다.
상기 클리너(180)의 하부면에는 홈(182)이 형성된다. 상기 홈(182)은 도 6과 같이 상기 하부면의 좌우 방향 양단까지 형성되거나, 도 7과 같이 상기 하부면의 좌우 방향 양단까지 연장하지 않고 중앙에만 형성될 수 있다.
상기 클리너(180)는 분사부(184) 및 흡입부(186)를 포함할 수 있다.
상기 분사부(184)는 상기 최상단 커스터머 트레이(10)로부터 상기 파티클을 분리하기 위해 상기 최상단 커스터머 트레이(10)를 향해 에어를 분사한다.
상기 흡입부(186)는 상기 최상단 커스터머 트레이(10)로부터 분리된 상기 파티클을 흡입할 수 있다.
상기 분사부(184)와 상기 흡입부(186)는 상기 홈(182)이 형성된 부위에 구비될 수 있다.
구체적으로, 상기 분사부(184)는 상기 홈(182)에서 상기 클리너(180)의 이동 방향인 상기 전후 방향과 수직하는 상기 좌우 방향으로 연장하도록 구비될 수 있다. 상기 흡입부(186)도 상기 홈(182)에서 상기 좌우 방향으로 연장하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 분사부(184)와 상기 흡입부(186)는 서로 평행하도록 배치될 수 있다. 따라서, 상기 분사부(184)와 상기 흡입부(186)가 상기 최상단 커스터머 트레이(10)의 파티클을 안정적으로 제거할 수 있다.
상기 분사부(184)와 상기 흡입부(186)는 각각 슬릿 형태를 갖거나, 다수의 개구들이 일렬로 배열된 형태를 가질 수 있다.
일 예로, 상기 흡입부(186)가 한 쌍이 구비되고, 상기 분사부(184)가 상기 한 쌍의 흡입부(186) 사이에 배치될 수 있다. 상기 흡입부(186)가 상기 분사부(184)를 감싸는 형태이므로, 상기 최상단 커스터머 트레이(10)로부터 분리된 상기 파티클이 외부로 배출되는 것을 최소화할 수 있다.
상기 커버(190)는 상기 클리너(180)의 상방에 개폐 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 상기 커버(190)는 상기 상부 베이스 부재(180) 상에 상기 전후 방향으로 배치된 가이드 레일(174)을 따라 상기 전후 방향으로 이동할 수 있다.
상기 클리너(180)가 상기 파티클을 제거하는 동안 상기 커버(190)는 상기 클리너(180)를 커버하고, 상기 클리너(180)의 상기 파티클 제거가 완료되면 상기 커버(190)는 상기 클리너(180)를 개방할 수 있다.
상기 커버(190)는 상기 상부 베이스 부재(170)와 함께 상기 최상단 커스터머 트레이(10)와 상기 클리너(180)를 커버할 수 있다. 따라서, 상기 클리너(180)가 상기 파티클을 제거하는 동안 상기 파티클이 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 파티클에 의해 상기 커스터머 트레이 스택커(100)의 다른 부위가 재 오염되는 것을 방지할 수 있다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 클리너(180)와 상기 커버(190)는 상기 전후 방향으로 이동을 위해 별도의 구동부를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 커스터머 트레이 스택커는 상기 커스터머 트레이들이 역방향으로 적재되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 커스터머 트레이 스택커로부터 상기 커스터머 트레이를 이송하는 동작에서 에러를 방지하고, 상기 커스터머 트레이의 이송 공정이 신속하게 이루어질 수 있다.
또한, 상기 커스터머 트레이 스택커는 상기 커스터머 트레이에 잔류하는 상기 파티클을 제거할 수 있다. 따라서, 상기 파티클에 의해 상기 커스터머 트레이들에 수납되는 상기 반도체 소자들이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 스택커 110 : 하부 베이스 부재
120 : 지지부재 130 : 가이드
140 : 센서 150 : 셔터
160 : 제1 구동부 165 : 제2 구동부
170 : 상부 베이스 부재 180 : 클리너
190 : 커버 10 : 커스터머 트레이

Claims (10)

  1. 상하 방향으로 적재되는 다수의 커스터머 트레이들을 지지하는 지지부재;
    상기 지지부재의 상부면에 상기 상하 방향을 따라 구비되며, 상기 커스터머 트레이의 상하 이동을 가이드하기 위해 상기 커스터머 트레이들의 양측면과 후면을 지지하는 가이드; 및
    상기 가이드의 전면에 구비되며, 상기 커스터머 트레이들의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 커스터머 트레이들의 상기 전면에 각각 형성된 홈을 감지하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 스택커.
  2. 제1항에 있어서, 상기 센서는,
    상기 가이드의 전면 상방 및 하방 중 어느 하나에 구비되며, 상기 커스터머 트레이들의 상기 전면에 각각 형성된 홈을 향해 광을 조사하는 발광부; 및
    상기 상방 및 하방 중 나머지 하나에 구비되며 상기 발광부에서 조사된 광을 수신하는 수광부를 포함하고,
    상기 발광부에서 조사된 광을 상기 수광부에서 수신하는 경우 상기 센서는 상기 커스터머 트레이들이 모두 정방향으로 적재된 것으로 판단하고,
    상기 발광부에서 조사된 광을 상기 수광부에서 수신하지 못하는 경우 상기 센서는 상기 커스터머 트레이들 중 적어도 하나가 역방향으로 적재된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 스택커.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가이드의 전면 일측과 상기 가이드 전면 사이를 이동 가능하도록 구비되며, 상기 커스터머 트레이들이 상기 지지부재에 적재된 후 상기 가이드의 전면으로 이동하여 상기 커스터머 트레이들의 전면을 지지하는 셔터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 스택커.
  4. 제3항에 있어서, 상기 셔터는 상기 커스터머 트레이들의 전면에서 상기 홈이 형성된 부위를 지지하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 스택커.
  5. 제1항에 있어서, 상기 지지부재는 상기 커스터머 트레이의 하부면 가장자리 부위를 지지하고,
    상기 지지부재에 적재된 커스터머 트레이의 하부면 중앙 부위와 접촉하여 상기 커스터머 트레이를 상하 이동시키기 위한 구동부를 더 포함하는 커스터머 트레이 스택커.
  6. 제5항에 있어서, 상기 가이드의 상방에 상기 커스터머 트레이들과 평행한 방향인 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 상기 구동부에 의해 상승된 최상단 커스터머 트레이에 잔류하는 파티클을 제거하는 클리너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 스택커.
  7. 제6항에 있어서, 상기 클리너는,
    상기 최상단 커스터머 트레이로부터 상기 파티클을 분리하기 위해 상기 최상단 커스터머 트레이를 향해 에어를 분사하는 분사부; 및
    상기 최상단 커스터머 트레이로부터 분리된 상기 파티클을 흡입하는 흡입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 스택커.
  8. 제7항에 있어서, 상기 흡입부는 상기 클리너의 이동 방향과 수직하는 방향으로 연장하도록 한 쌍이 구비되며,
    상기 분사부는 상기 한 쌍의 흡입부 사이에서 상기 흡입부들과 평행하도록 연장하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 스택커.
  9. 제6항에 있어서, 상기 클리너의 상방에 개폐 가능하도록 구비되며, 상기 클리너가 상기 파티클을 제거하는 동안 상기 파티클이 외부로 배출되는 것을 방지하기 위해 상기 최상단 커스터머 트레이와 상기 클리너를 커버하는 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 스택커.
  10. 제9항에 있어서, 상기 가이드의 상단부에 구비되며, 상기 구동부에 의해 상승하는 커스터머 트레이가 지나도록 개구를 갖는 상부 베이스 부재를 더 포함하고,
    상기 베이스 부재는 상기 클리너가 상기 수평 방향으로 이동 가능하도록 지지하고,
    상기 베이스 부재는 상기 커버가 개폐 가능하도록 지지하며, 상기 커버와 함께 상기 최상단 커스터머 트레이와 상기 클리너를 커버하는 것을 특징으로 하는 커스터머 트레이 스택커.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3809008B2 (ja) 1998-03-27 2006-08-16 株式会社アドバンテスト カストマトレイストッカ
KR100940399B1 (ko) * 2007-11-29 2010-02-02 주식회사 동부하이텍 웨이퍼 돌출 감지 장치 및 방법
KR101173373B1 (ko) * 2010-07-23 2012-08-10 세크론 주식회사 커스터머 트레이 스택커

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101489373B1 (ko) * 2013-09-17 2015-02-12 주식회사 넥스트솔루션 반도체 장치용 테스트 핸들러의 트레이 이물질 제거장치

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