KR102268616B1 - 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법 - Google Patents

약액 공급 장치 및 약액 공급 방법 Download PDF

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Abstract

약액 공급 장치는 약액을 저장하는 약액 저장부, 상기 약액을 토출하는 약액 토출부, 및 상기 약액 저장부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액이 플로우되도록 상기 약액 저장부와 상기 약액 토출부 사이를 연결하는 약액 플로우부를 포함할 수 있고, 그리고 제1 센싱부, 제2 센싱부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 센싱부는 상기 약액 저장부에 저장되는 약액의 온도를 센싱할 수 있다. 상기 제2 센싱부는 상기 약액 토출부로부터 토출되는 약액의 온도를 센싱할 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 센싱부, 및 상기 제2 센싱부 각각으로부터 센싱하는 약액의 온도를 입력받고, 상기 약액을 토출하는 토출 공정 이전이면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 저장부에서의 약액의 온도를 갖도록 제어하고, 상기 토출 공정을 수행하는 도중이면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 토출부에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.

Description

약액 공급 장치 및 약액 공급 방법{APPARATUS FOR SUPPLYING CHEMICAL AND METHOD FOR SUPPLYING CHEMICAL}
본 발명은 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 약액을 토출하는 토출 노즐 등과 같은 부재에 약액을 공급하기 위한 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법에 관한 것이다.
반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 집적회로 소자로 제하기 위한 기판을 대상으로 다양한 종류의 약액들을 토출하는 토출 공정 등을 수행할 수 있다.
언급한 약액 토출 공정은 기판을 향하여 약액을 토출하는 토출 노즐 등과 같은 약액 토출부를 포함하는 약액 공급 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있다.
그리고 집적회로 소자의 제조에 있어서 약액에 대한 온도는 중요한 공정 스펙으로 작용하고 있다. 이에, 약액 공급 장치에서의 약액의 온도 또한 중요하게 관리하고 있다.
그러나 종래에는 약액을 저장하는 약액 저장부(약액 탱크)에서의 약액의 온도를 기준으로 약액 공급 장치 전체에서의 약액의 온도를 관리하고 있기 때문에 약액 저장부로부터 약액 토출부로 약액이 공급됨에 따른 온도 손실을 전혀 보상하지 못하고 있는 실정이다.
본 발명은 일 목적은 약액의 공급에 따른 약액의 온도 손실을 용이하게 보상할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 다른 목적은 약액의 공급에 따른 약액의 온도 손실을 용이하게 보상할 수 있는 약액 공급 방법을 제공하는데 있다.
언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 약액을 저장하는 약액 저장부, 상기 약액을 토출하는 약액 토출부, 및 상기 약액 저장부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액이 플로우되도록 상기 약액 저장부와 상기 약액 토출부 사이를 연결하는 약액 플로우부를 포함할 수 있고, 그리고 제1 센싱부, 제2 센싱부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 센싱부는 상기 약액 저장부에 저장되는 약액의 온도를 센싱할 수 있다. 상기 제2 센싱부는 상기 약액 토출부로부터 토출되는 약액의 온도를 센싱할 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 센싱부, 및 상기 제2 센싱부 각각으로부터 센싱하는 약액의 온도를 입력받고, 상기 약액을 토출하는 토출 공정 이전이면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 저장부에서의 약액의 온도를 갖도록 제어하고, 상기 토출 공정을 수행하는 도중이면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 토출부에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 플로우부를 따라 플로우되는 약액의 온도를 센싱하는 제3 센싱부를 더 포함할 수 있고, 상기 제어부는 상기 토출 공정 이전과 상기 토출 공정을 수행하는 사이의 상기 토출 공정의 수행을 위한 대기 중에 있으면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 플로우부를 따라 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제3 센싱부는 상기 약액 토출부와 연결되는 상기 약액 플로우부의 단부에서 플로우되는 약액의 온도를 센싱하도록 구비되고, 상기 제어부는 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 플로우부의 단부에서 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.
언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 방법은 약액을 저장하는 약액 저장부, 상기 약액을 토출하는 약액 토출부, 및 상기 약액 저장부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액이 플로우되도록 상기 약액 저장부와 상기 약액 토출부 사이를 연결하는 약액 플로우부를 사용하는 것으로써, 상기 약액 저장부에 저장되는 약액의 온도를 센싱하고, 상기 약액 토출부로부터 토출되는 약액의 온도를 센싱한 후, 상기 약액을 토출하는 토출 공정 이전이면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 저장부에서의 약액의 온도를 갖도록 제어하고, 상기 토출 공정을 수행하는 도중이면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 토출부에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 플로우부를 따라 플로우되는 약액의 온도를 센싱한 후, 상기 토출 공정 이전과 상기 토출 공정을 수행하는 사이의 상기 토출 공정의 수행을 위한 대기 중에 있으면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 플로우부를 따라 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 플로우부에서의 약액의 온도 센싱이 상기 약액 토출부와 연결되는 상기 약액 플로우부의 단부에서 이루어질 경우, 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 플로우부의 단부에서 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.
본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법에 따르면 약액 저장부, 약액 플로우부, 약액 토출부 전체에 걸쳐 약액의 온도를 센싱함과 아울러 공정 진행 여부에 따라 약액의 온도를 제어하기 위한 기준을 달리함으로써 약액의 공급시 약액의 온도가 손실되는 것을 충분히 보상할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법은 약액의 공급에 따라 약액의 온도가 손실되는 것을 보상할 수 있기 때문에 약액의 온도 편차로 인하여 발생하는 공정 불량을 최소화할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법은 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치(100)는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서 기판을 대상으로 공정을 수행할 때 약액을 공급하기 위한 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치(100)는 약액 저장부(11), 약액 토출부(13), 약액 플로우부(15) 등을 포함할 수 있다.
약액 저장부(11)는 약액을 저장하기 위한 것으로써, 예를 들면 약액 탱크 등을 들 수 있다.
약액 토출부(13)는 기판을 대상으로 공정의 수행시 기판을 향하여 약액을 토출하기 위한 것으로써, 예를 들면 토출 노즐, 스프레이 등을 들 수 있다.
그리고 본 발명에서는 약액 토출부(13)를 기판을 향하여 약액을 토출하기 것에 대해서만 설명하고 있지만 이에 한정되지 않는다. 따라서 본 발명에서의 약액 토출부(13)는 기판의 딥핑이 이루어지도록 약액을 수용하는 딥핑 배스 등을 포함하는 구성을 가질 수도 있다.
그러므로 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치(100)는 집적회로 소자의 제조에 있어 습식 공정 모두에 적용할 수 있을 것이다.
언급한 토출 노즐, 스프레이, 딥핑 배스 등과 같은 약액 토출부(13)는 약액 저장부(11)에 저장되는 약액을 공급받도록 구비될 수 있다.
따라서 약액 플로우부(15)는 약액 저장부(11)와 약액 토출부(13) 사이를 연결하도록 구비될 수 있다. 약액 플로우부(15)의 예로서는 약액 저장부(11)로부터 약액 토출부(13)로 약액을 플로우시킬 수 있는 파이프 등을 들 수 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치(100)는 약액 저장부(11)에 저장되는 약액을 약액 플로우부(15)를 통하여 약액 토출부(13)로 공급함에 의해 기판을 대상으로 하는 습식 공정을 수행할 수 있다.
그리고 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치(100)를 사용하는 습식 공정의 수행에서는 약액 공급 장치(100) 전체에 걸쳐 약액의 온도를 센싱하고, 이를 근거로 약액의 온도가 조정되도록 제어해야 할 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치(100)는 제1 센싱부(17), 제2 센싱부(19), 제3 센싱부(21), 제어부(23) 등을 포함할 수 있다.
제1 센싱부(17)는 약액 저장부(11)에 저장되는 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있고, 제2 센싱부(19)는 약액 토출부(13)로부터 토출되는 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있고, 제3 센싱부(21)는 약액 플로우부(15)를 따라 플로우되는 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있다.
특히, 약액 토출부(13)가 토출 노즐일 경우 제2 센싱부(19)는 토출 노즐로부터 토출되는 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있고, 약액 토출부(13)가 스프레이일 경우 제2 센싱부(19)는 스프레이로부터 분사되는 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있고, 약액 토출부(13)가 딥핑 배스일 경우 제2 센싱부(19)는 딥핑 배스에 수용되는 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있다.
그리고 제3 센싱부(21)는 약액 플로우부(15) 중에서도 약액 토출부(13)와 연결되는 단부 쪽에서 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있다. 즉, 제3 센싱부(21)는 약액 토출부(13)와 연결되는 약액 플로우부(15)의 단부에서 플로우되는 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있는 것이다.
또한, 도시하지는 않았지만 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치(100)는 약액을 외부로 배출할 수 있는 약액 배출부와 함께 약액 배출부를 따라 플로우되는 약액의 온도를 센싱할 수 있는 센싱부, 약액 배출부로부터 배출되는 약액의 온도를 센싱할 있는 센싱부 등을 더 포함할 수도 있다.
제어부(23)는 제1 센싱부(17), 제2 센싱부(19), 제3 센싱부(21) 각각으로부터 약액의 온도를 입력받도록 구비될 수 있다. 즉, 제어부(23)는 제1 센싱부(17), 제2 센싱부(19), 제3 센싱부(21) 각각이 센싱하는 약액의 온도를 입력받도록 구비될 수 있는 것이다.
따라서 제어부(23)는 제1 센싱부(17), 제2 센싱부(19), 제3 센싱부(21) 각각으로부터 약액의 온도를 입력받음에 의해 약액 저장부(11)에서의 약액의 온도, 약액 플로우부(15)에서의 약액의 온도, 약액 토출부(13)에서의 약액의 온도를 확인할 수 있을 것이다.
그리고 제어부(23)는 약액 공급 장치(100)에서 이루어지는 토출 공정이 어디에 해당하는 가를 확인하도록 구비될 수 있다. 즉, 제어부(23)는 약액의 토출하는 토출 공정 이전인가, 약액을 토출하는 토출 공정 수행 도중인가, 아니면 토출 공정 이전과 토출 공정을 수행하는 사이의 토출 공정의 수행을 위한 대기 중인가를 확인하도록 구비될 수 있는 것이다.
이에, 제어부(23)는 약액을 토출하는 토출 공정 이전이면 약액 저장부(11), 약액 토출부(13), 및 약액 플로우부(15) 모두에서의 약액의 온도를 약액 저장부(11)에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있고, 토출 공정을 수행하는 도중이면 약액 저장부(11), 약액 토출부(13), 및 약액 플로우부(15) 모두에서의 약액의 온도를 약액 토출부(13)에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있게 구비될 수 있다.
또한, 제어부(23)는 토출 공정의 수행을 위한 대기 중에 있으면 약액 저장부(11), 약액 토출부(13), 및 약액 플로우부(15) 모두에서의 약액의 온도를 약액 플로우부(15)를 따라 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있게 구비될 수 있고, 특히 약액 플로우부(15)의 단부에서 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있게 구비될 수 있다.
여기서, 토출 공정 이전일 경우 약액은 약액 토출부(13)까지 플로우되어 있는, 즉 약액이 약액 저장부(11), 약액 플로우부(15), 및 약액 토출부(13)에 플로우되어 정지된 상태일 수 있고, 토출 공정의 수행을 위한 대기 중일 경우에는 약액 토출부(13)로부터 약액을 예비 토출시키는 상태일 수 있다.
언급한 토출 공정의 수행을 위한 대기 중에 해당하는 시간은 주로 토출 공정 진행 약 3분전부터 기판을 투입시키지 않은 상태에서 약액을 예비 토출시키는 시간일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다.
또한, 제1 센서부(17)는 약액 저장부(11)에 저장된 상태에 있는 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있고, 제2 센서부(19)는 약액 토출부(13)로부터 토출되는 토출 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있고, 제3 센서부(21)는 약액 플로우부(15) 중에서 약액 토출부(13)의 단부에서의 약액의 온도를 센싱하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 제어부(23)는 PID 제어(Proportional Integral Derivative Control)를 통하여 기판에 약액을 토출하는 토출 공정에서의 약액의 온도를 최적화하도록 구비될 수 있다.
이에 도시하지는 않았지만, 히팅 또는 쿨링 등을 통하여 약액의 온도를 조정할 수 있도록 약액 저장부(11), 약액 토출부(13), 및 약액 플로우부(15)에 구비되는 통상의 온도 조정부를 제어부(23)를 사용하여 PID 제어함으로써 기판에 약액을 토출하는 토출 공정에서의 약액의 온도를 최적화할 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치(100)는 약액 저장부(11), 약액 플로우부(15), 약액 토출부(13) 전체에 걸쳐 약액의 온도를 센싱함과 아울러 공정 진행 여부에 따라 약액의 온도를 제어하기 위한 기준을 달리하여 약액의 온도를 관리함으로써 약액의 공급시 약액의 온도가 손실되는 것을 충분히 보상할 수 있을 것이고, 그 결과 약액 저장부(11), 약액 플로우부(15), 약액 토출부(13)에서의 약액의 온도 편차로 인하여 발생하는 공정 불량을 최소화할 수 있을 것이다.
이하, 언급한 약액 공급 장치를 사용하는 약액 공급 방법에 대하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2를 참조하면, 제1 센싱부(17)를 사용하여 약액 저장부(11)에 저장되는 약액의 온도를 센싱할 수 있다.(S21 단계) 그리고 제1 센싱부(17)에 의해 센싱되는 약액 저장부(11)에서의 약액의 온도는 제어부(23)로 전송되어 입력될 수 있다.
제3 센싱부(21)를 사용하여 약액 플로우부(15)를 따라 플로우되는 약액의 온도를 센싱할 수 있다.(S23 단계) 그리고 제3 센싱부(21)에 의해 센싱되는 약액 플로우부(15)에서의 약액의 온도는 제어부(23)로 전송되어 입력될 수 있다.
특히, 약액 플로우부(15) 중에서도 약액 토출부(13)와 연결되는 약액 플로우부(15)의 단부 쪽에서 플로우되는 약액의 온도를 센싱할 수 있고, 약액 플로우부(15)의 단부에서의 약액의 온도가 제어부(23)로 전송되어 입력될 수 있다.
제2 센싱부(19)를 사용하여 약액 토출부(13)로부터 토출되는 약액의 온도를 센싱할 수 있다.(S25 단계) 그리고 제2 센싱부(19)에 의해 센싱되는 약액 토출부(13)에서의 약액의 온도는 제어부(23)로 전송되어 입력될 수 있다.
이와 함께, 제어부(23)는 약액 공급 장치(100)에서 이루어지는 토출 공정이 어디에 해당하는가, 즉 약액의 토출하는 토출 공정 이전인가, 약액을 토출하는 토출 공정 수행 도중인가, 아니면 토출 공정 이전과 토출 공정을 수행하는 사이의 토출 공정의 수행을 위한 대기 중인가를 확인할 수 있다.
이에, 약액을 토출하는 토출 공정 이전으로 확인되면 제어부(23)는 약액 저장부(11), 약액 토출부(13), 및 약액 플로우부(15) 모두에서의 약액의 온도를 약액 저장부(11)에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.(S27 단계) 즉, 약액을 토출하는 토출 공정 이전의 경우 약액 토출부(13) 쪽으로 약액이 지속적으로 플로우되지 않기 때문에 약액 토출부(13), 및 약액 플로우부(15) 모두에서의 약액의 온도까지도 약액 저장부(11)에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있는 것이다.
그리고 약액을 토출하는 토출 공정을 수행하는 도중으로 확인되면 제어부(23)는 약액 저장부(11), 약액 토출부(13), 및 약액 플로우부(15) 모두에서의 약액의 온도를 약액 토출부(13)에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.(S29 단계) 즉, 약액을 토출하는 토출 공정일 경우 약액 토출부(13)로부터 약액이 토출되고 있기 때문에 약액 저정부, 및 약액 플로우부(15) 모두에서의 약액의 온도까지도 약액 토출부(13)에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있는 것이다.
또한, 토출 공정의 수행을 위한 대기 중으로 확인되면 제어부(23)는 약액 저장부(11), 약액 토출부(13), 및 약액 플로우부(15) 모두에서의 약액의 온도를 약액 플로우부(15)를 따라 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다.(S31 단계) 특히, 약액 플로우부(15)의 단부에서 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있다. 즉, 토출 공정의 수행을 위한 대기 중일 경우 약액 플로우부(15)를 따라 약액이 플로우되고 있기 때문에 약액 저정부, 및 약액 토출부(13) 모두에서의 약액의 온도까지도 약액 플로우부(15)에서의 약액의 온도를 갖도록 제어할 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 방법에서는 공정이 진행되는 시점에 따라 약액의 온도를 달리 갖도록 제어할 수 있기 때문에 약액의 공급시 약액의 온도가 손실되는 것을 충분히 보상할 수 있을 것이다. 다시 말해, 약액이 공급되는 시점에 따라 약액 저장부(11), 약액 플로우부(15), 및 약액 토출부(13)로 온도 제어를 위한 기준점을 달리할 수 있기 때문에 약액의 공급시 약액의 온도가 손실되는 것을 충분히 보상할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법은 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 적용할 수 있는 것으로써, 특히 미세 공정을 수행하여야만 수득할 수 있는 최근의 OLED/QLED 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 약액 저장부 13 : 약액 토출부
15 : 약액 플로우부 17 : 제1 센싱부
19 : 제2 센싱부 21 : 제3 센싱부
23 : 제어부 100 : 약액 공급 장치

Claims (6)

  1. 약액을 저장하는 약액 저장부, 상기 약액을 토출하는 약액 토출부, 및 상기 약액 저장부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액이 플로우되도록 상기 약액 저장부와 상기 약액 토출부 사이를 연결하는 약액 플로우부를 포함하는 약액 공급 장치에 있어서,
    상기 약액 저장부에 저장되는 약액의 온도를 센싱하는 제1 센싱부;
    상기 약액 토출부로부터 토출되는 약액의 온도를 센싱하는 제2 센싱부; 및
    상기 제1 센싱부, 및 상기 제2 센싱부 각각으로부터 센싱하는 약액의 온도를 입력받고, 상기 약액을 토출하는 토출 공정 이전이면 상기 약액 토출부까지 플로우되어 있는 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 저장부에서의 약액의 온도를 갖도록 제어하고, 상기 토출 공정을 수행하는 도중이면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 토출부로부터 토출되는 토출 약액의 온도를 갖도록 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 약액 플로우부를 따라 플로우되는 약액의 온도를 센싱하는 제3 센싱부를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 토출 공정 이전과 상기 토출 공정을 수행하는 사이의 상기 토출 공정의 수행을 위한 대기 중에 있으면 상기 약액 토출부까지 플로우되어 있는 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 플로우부를 따라 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제3 센싱부는 상기 약액 토출부와 연결되는 상기 약액 플로우부의 단부에서 플로우되는 약액의 온도를 센싱하도록 구비되고,
    상기 제어부는 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 플로우부의 단부에서 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  4. 약액을 저장하는 약액 저장부, 상기 약액을 토출하는 약액 토출부, 및 상기 약액 저장부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액이 플로우되도록 상기 약액 저장부와 상기 약액 토출부 사이를 연결하는 약액 플로우부를 사용하는 약액 공급 방법에 있어서,
    상기 약액 저장부에 저장되는 약액의 온도를 센싱하는 단계;
    상기 약액 토출부로부터 토출되는 토출 약액의 온도를 센싱하는 단계; 및
    상기 약액을 토출하는 토출 공정 이전이면 상기 약액 토출부까지 플로우되어 있는 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 저장부에서의 약액의 온도를 갖도록 제어하고, 상기 토출 공정을 수행하는 도중이면 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 토출부로부터 토출되는 토출 약액의 온도를 갖도록 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 약액 플로우부를 따라 플로우되는 약액의 온도를 센싱하는 단계; 및
    상기 토출 공정 이전과 상기 토출 공정을 수행하는 사이의 상기 토출 공정의 수행을 위한 대기 중에 있으면 상기 약액 토출부까지 플로우되어 있는 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 플로우부를 따라 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 약액 플로우부에서의 약액의 온도 센싱이 상기 약액 토출부와 연결되는 상기 약액 플로우부의 단부에서 이루어질 경우, 상기 약액 저장부, 상기 약액 토출부, 및 상기 약액 플로우부 모두에서의 약액의 온도를 상기 약액 플로우부의 단부에서 플로우되는 약액의 온도를 갖도록 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.
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