KR102232033B1 - 약액 처리 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 처리 장치는 낱장 단위로 기판을 지지할 수 있는 척 및 약액 공급 장치를 구비한다. 상기 약액 공급 장치는 약액 저장부, 약액 분사부 및 약액 가열부를 구비한다. 상기 약액 저장부는 상기 기판을 향하여 분사하기 위한 약액을 저장한다. 상기 약액 분사부는 상기 약액 저장부로부터 공급되는 상기 약액을 상기 기판을 향하여 분사하도록 상기 약액 저장부와 연결된다. 상기 약액 가열부는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 적어도 2가지 온도를 갖도록 가열할 수 있다.

Description

약액 처리 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Apparatus for controlling chemical and apparatus for controlling a substrate having the same}
본 발명은 약액 처리 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 원하는 온도로 가열된 약액을 제조 공정에 적용하기 위한 약액 처리 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 디스플레이 소자 등의 제조에서는 기판 처리 장치를 사용하여 기판을 대상으로 식각 공정, 세정 공정 등을 수행한다. 그리고 상기 식각 공정, 세정 공정에서는 다양한 약액을 사용한다. 상기 다양한 약액의 예로서는 불산, 황산, 질산, 인산 등과 같은 산성 용액이나 수산화 칼륨, 수산화 나트륨, 암모늄 등과 같은 알칼리성 용액을 들 수 있다.
이에, 상기 기판 처리 장치는 상기 약액을 저장하는 약액 저장부로 이루어지는 약액 공급 장치와 연결되는 구조를 가질 수 있다. 그리고 상기 기판 처리 장치 및 상기 약액 공급 장치를 사용하는 공정에서는 다양한 약액을 이용하여 화학 반응을 일으켜 상기 기판 상의 불필요한 물질을 제거하거나 세정한다. 상기 화학 반응을 이용하는 공정에서는 약액의 농도 및 가열 온도 등이 공정의 주요 요인으로 작용하는데, 특히 상기 약액을 가열하여 사용할 경우에는 기판을 대상으로 하는 공정에서의 균일성에 효율적이다.
그리고 종래에는 상기 약액 공급 장치를 사용한 공정이 주로 배치식 타입으로 이루어진다. 즉, 다수매의 기판들을 상기 약액 공급 장치의 약액 저장부에 딥핑시키는 방식으로 공정을 진행하는 것이다.
그러나 언급한 배치식 타입으로 상기 약액을 사용하는 공정을 수행할 경우에는 약액의 사용량을 많아지는 문제점이 발생할 수 있고, 특히 기판의 균일성에 나쁜 영향을 끼치는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 약액의 소모량을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 공정이 이루어지는 기판의 균일성까지도 향상시킬 수 있는 약액 처리 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 처리 장치는 낱장 단위로 척에 지지된 기판을 향하여 분사하기 위한 약액을 저장하는 약액 저장부; 상기 약액 저장부로부터 공급되는 상기 약액을 상기 기판을 향하여 분사하도록 상기 약액 저장부와 연결되는 약액 분사부; 및 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 적어도 2가지 온도를 갖도록 가열할 수 있는 약액 가열부를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 처리 장치에서, 상기 약액 저장부는 상기 기판 상부에 구비되고, 상기 약액 분사부는 상기 약액 저장부로부터 상기 기판 상부를 향하도록 상기 약액 저장부에 연결되고, 상기 약액 가열부는 상기 기판의 제1 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제1 온도로 가열하기 위한 제1 약액 가열부 및 상기 기판의 제2 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제2 온도로 가열하기 위한 제2 약액 가열부로 이루어지도록 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 처리 장치에서, 상기 약액 분사부는 상기 제1 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제1 영역으로 분사하기 위한 제1 약액 분사부 및 상기 제2 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제2 영역으로 분사하기 위한 제2 약액 분사부로 이루어지도록 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 처리 장치에서, 상기 약액 가열부는 상기 약액 저장부의 외부에서 상기 약액을 가열하도록 구비될 수 있다.
삭제
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 낱장 단위로 기판을 지지할 수 있는 척; 상기 기판을 향하여 분사하기 위한 약액을 저장하는 약액 저장부; 상기 약액 저장부로부터 공급되는 상기 약액을 상기 기판을 향하여 분사하도록 상기 약액 저장부와 연결되는 약액 분사부; 및 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 적어도 2가지 온도를 갖도록 가열할 수 있는 약액 가열부를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 상기 약액 저장부는 상기 기판 상부에 구비되고, 상기 약액 가열부는 상기 기판의 제1 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제1 온도로 가열하기 위한 제1 약액 가열부 및 상기 기판의 제2 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제2 온도로 가열하기 위한 제2 약액 가열부로 이루어지도록 구비되고, 상기 약액 분사부는 상기 약액 저장부로부터 상기 기판 상부를 향하도록 상기 약액 저장부에 연결됨과 아울러 상기 제1 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제1 영역으로 분사하기 위한 제1 약액 분사부 및 상기 제2 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제2 영역으로 분사하기 위한 제2 약액 분사부로 이루어지도록 구비될 수 있다.
본 발명의 약액 처리 장치 및 기판 처리 장치는 낱장 단위의 기판을 공정 대상으로 함과 아울러 약액 공급부에 저장된 약액을 적어도 2가지 온도를 갖도록 가열할 수 있다. 이에, 본 발명이 약액 처리 장치 및 기판 처리 장치를 사용하는 공정에서는 낱장 단위의 기판의 제1 영역 및 제2 영역에 서로 다른 온도를 갖도록 가열된 약액을 공급할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에서는 낱장 단위의 기판을 대상으로 공정을 수행함으로써 필요한 양만큼의 약액을 사용할 수 있기 때문에 약액의 소모량을 줄일 수 있는 효과를 기대할 수 있고, 더불어 기판의 영역에 따라 서로 다른 온도로 가열된 약액을 공급하여 공정을 수행할 수 있기 때문에 공정이 이루어지는 기판의 균일성까지도 향상되는 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 발명에 대한 약액 처리 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 대하여 설명하기로 한다.
먼저 본 발명의 약액 처리 장치는 약액 저장부, 약액 분사부 및 약액 가열부를 포함할 수 있다.
상기 약액 저장부는 낱장 단위로 척에 지지된 기판을 향하여 분사하기 위한 약액을 저장할 수 있다. 그리고 상기 약액 저장부는 기판 상부에 배치되도록 구비될 수 있다.
상기 약액 분사부는 상기 약액 저장부로부터 공급되는 상기 약액을 상기 기판을 향하여 분사하도록 상기 약액 저장부와 연결되게 구비될 수 있다.
상기 약액 가열부는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 적어도 2가지 온도를 갖도록 가열할 수 있게 구비될 수 있다. 특히, 상기 약액 가열부는 상기 기판의 제1 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제1 온도로 가열하기 위한 제1 약액 가열부 및 상기 기판의 제2 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제2 온도로 가열하기 위한 제2 약액 가열부로 이루어지도록 구비될 수 있다. 여기서, 상기 약액 가열부는 상기 기판의 영역을 더욱 세분할 경우 더 많은 개수로 구비될 수 있다.
이에, 상기 약액 분사부의 경우에도 상기 제1 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제1 영역으로 분사하기 위한 제1 약액 분사부 및 상기 제2 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제2 영역으로 분사하기 위한 제2 약액 분사부로 이루어지도록 구비될 수 있다. 마찬가지로, 상기 약액 분사부 또한 상기 기판의 영역을 더욱 세분할 경우 더 많은 개수로 구비될 수 있다.
또한, 상기 약액 가열부는 상기 약액 저장부의 외부에서 상기 약액을 가열하도록 구비될 수 있다.
그리고 본 발명의 기판 처리 장치는 상기 약액 처리 장치인 약액 저정부, 약액 분사부 및 약액 가열부와 더불어 척을 더 구비할 수 있다.
상기 척의 경우에는 기판을 낱장 단위로 지지할 수 있는 매엽식 구조를 갖는다. 그리고 상기 척은 상기 기판의 지지하기 위한 지지핀을 구비할 수 있다. 또한, 상기 척은 상기 기판을 지지한 상태에서 회전 구동할 수 있도록 구비될 수 있다. 아울러, 상기 척은 상기 기판을 가열하기 위한 가열 부재를 더 구비할 수도 있고, 상기 약액을 순환시킬 수 있는 구조를 가질 수도 있다.
따라서 본 발명의 약액 처리 장치 및 기판 처리 장치는 낱장 단위의 기판을 대상으로 공정을 수행하여 필요한 양만큼의 약액을 사용할 수 있기 때문에 약액의 소모량을 줄일 수 있고, 그리고 기판의 영역에 따라 서로 다른 온도로 가열된 약액을 공급하여 공정을 수행할 수 있기 때문에 공정이 이루어지는 기판의 균일성을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
제1 실시예
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 척(20) 및 약액 공급 장치(10)를 포함할 수 있다.
상기 척(20)은 기판(21)을 낱장 단위로 지지할 수 있다. 특히, 상기 척(20)에 지지되는 기판(21)은 지지핀(23)에 의해 지지되는 구조를 가질 수 있다.
상기 약액 공급 장치(10)는 약액 저장부(13), 약액 분사부(15a, 15b) 및 약액 가열부(17a, 17b)를 포함할 수 있다.
상기 약액 저장부(13)는 상기 척(20)에 지지된 상기 기판(21)을 향하여 분사하기 위한 약액(11)을 저장한다. 그리고 상기 약액 저장부(13)는 상기 기판(21) 상부에 배치되게 구비될 수 있다. 이때, 상기 약액 저장부(13)는 외부에 설치되는 약액 탱크(도시되지 않음) 등으로부터 상기 약액(11)을 공급받을 수 있는 공급 라인과 연결될 수 있다. 그리고 상기 약액 저장부(13)는 상기 기판(21) 상부에 배치되게 구비하는 것은 상기 기판(21)으로 분사되는 상기 약액(11)의 온도 손실을 최소화하기 위함이다. 이는, 상기 약액 저장부(13)가 상기 기판(21) 상부에 배치되지 않고, 다른 장소에 배치될 경우 상기 약액 저장부(13)에 저장된 상기 약액(11)을 가열함에도 불구하고 열손실로 인하여 원하는 공정 특성을 얻지 못할 수 있기 때문이다.
상기 약액 분사부(15a, 15b)는 상기 약액(11)을 상기 기판(21)을 향하여 분사하도록 상기 약액 저장부(13)와 연결되게 구비될 수 있다. 여기서, 상기 약액 저장부(13)가 상기 기판(21) 상부에 배치되는 구조를 갖기 때문에 상기 약액 분사부(15a, 15b) 또한 상기 기판(21) 상부에 배치되는 구조를 가질 수 있다.
그리고 상기 약액 분사부(15a, 15b)는 상기 기판(21)의 제1 영역으로 상기 약액(11)을 분사할 수 있는 제1 약액 분사부(15a) 및 상기 기판(21)의 제2 영역으로 상기 약액(11)을 분사할 수 있는 제2 약액 분사부(15b)로 구비될 수 있다. 이때, 상기 기판(21)의 제1 영역은 상기 기판(21)의 중심 영역에 해당할 수 있고, 상기 기판(21)의 제2 영역은 상기 기판(21)의 외곽 영역인 주변 영역에 해당할 수 있다.
또한, 도시하지는 않았지만 상기 기판(21)의 제1 영역과 제2 영역 사이를 제3 영역으로 정의할 경우 상기 기판(21)의 제3 영역으로 상기 약액(11)을 분사할 수 있는 제3 약액 분사부를 더 구비할 수도 있다.
상기 약액 가열부(17a, 17b)는 상기 약액(11)을 적어도 2가지 온도를 갖도록 가열할 수 있는 것으로써, 상기 기판(21)을 기준으로 상기 기판(21)의 제1 영역에 대응되는 상기 약액 저장부(13)에 저장된 상기 약액(11)을 제1 온도로 가열하기 위한 제1 약액 가열부(17a) 및 상기 기판(21)의 제2 영역에 대응되는 상기 약액 저장부(13)에 저장된 상기 약액(11)을 제2 온도로 가열하기 위한 제2 약액 가열부(17b)로 구비될 수 있다. 이에, 상기 제1 약액 가열부(17a)는 상기 기판(21)의 중심 영역에 대응되는 상기 약액 저장부(13)의 중심 영역에 저장된 상기 약액(11)을 제1 온도로 가열하도록 구비되고, 상기 제2 약액 가열부(17b)는 상기 기판(21)의 주변 영역에 대응되는 상기 약액 저장부(13)의 주변 영역에 저장된 상기 약액(11)을 제2 온도로 가열하도록 구비될 수 있다.
마찬가지로, 도시하지는 않았지만 상기 기판(21)의 제1 영역과 제2 영역 사이를 제3 영역으로 정의할 경우 상기 기판(21)의 제3 영역에 대응되는 상기 약액 저장부(13)에 저장된 상기 약액(11)을 제3 온도로 가열하기 위한 제3 약액 가열부를 더 구비할 수도 있다.
그리고 상기 약액 가열부(17a, 17b)는 상기 약액 저장부(13)의 외부에 배치되도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 약액 가열부(17a, 17b)는 상기 약액 저장부(13)의 근방에서 상기 약액 저장부(13)에 저장된 상기 약액(11)을 가열할 수 있도록 구비될 수 있는 것이다.
아울러, 상기 제1 약액 분사부(15a) 및 상기 제1 약액 가열부(17a) 그리고 상기 제2 약액 분사부(15b) 및 상기 제2 약액 가열부(17b)는 서로 근방에 배치되도록 구비될 수 있다. 이는, 상기 제1 약액 분사부(15a)를 통하여 상기 기판(21)의 제1 영역인 중심 영역에 상기 제1 온도로 가열된 상기 약액(11)을 분사하기 때문이고, 상기 제2 약액 분사부(15b)를 통하여 상기 기판(21)의 제2 영역인 주변 영역에 상기 제2 온도로 가열된 상기 약액(11)을 분사하기 때문이다.
이에, 상기 기판 처리 장치(100)를 사용하는 공정에서는 낱장 단위의 기판(21)을 대상으로 상기 약액 공급 장치(10)의 상기 제1 약액 가열부(17a) 및 상기 제1 약액 분사부(15a)를 사용하여 상기 기판(21)의 제1 영역에 상기 제1 온도로 가열된 상기 약액(11)을 분사할 수 있고, 상기 약액 공급 장치(10)의 상기 제2 약액 가열부(17b) 및 상기 제2 약액 분사부(15b)를 사용하여 상기 기판(21)의 제2 영역에 상기 제2 온도로 가열된 상기 약액(11)을 분사할 수 있다.
그리고 상기 약액 공급 장치(10)에서 상기 제1 약액 가열부(17a) 및 상기 제2 약액 가열부(17b) 모두가 상기 약액 저장부(13)의 외부에 구비되는 것으로 한정하고 있지만, 이와 달리 상기 제1 약액 가열부(17a)는 상기 약액 저장부(13)의 외부에 구비되고, 상기 제2 약액 가열부(17b)는 상기 약액 저장부(13)의 내부에 구비되거나 또는 상기 제1 약액 가열부(17a)가 상기 약액 저장부(13)의 내부에 구비되고, 상기 제2 약액 가열부(17b(가 상기 약액 저장부(13)의 외부에 구비될 수도 있다.
이와 같이, 제1 실시예에서의 상기 기판 처리 장치(100)는 상기 척(20)과 함께 상기 약액 처리 장치(10)를 구비함으로서 낱장 단위의 기판(21)을 대상으로 공정을 수행할 수 있고, 더불어 상기 기판(21)의 중심 영역 및 상기 기판(21)의 주변 영역에 서로 다른 온도로 가열된 상기 약액(11)을 분사할 수 있다.
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제3 실시예
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도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 3을 참조하면, 도 3에서의 기판 처리 장치(300)는 약액 가열부(37a)가 구비되는 개수를 제외하고는 도 1에서의 기판 처리 장치(100)와 거의 유사한 구조를 가지기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 약액 가열부(37a)는 제1 약액 가열부(37a)로부만 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 약액 가열부(37a)는 상기 약액 저장부(13)에 저장된 상기 약액(11)을 제1 온도로 가열하거나 또는 제2 온도로 가열할 수 있도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 약액 가열부(37a) 자체에 대한 가열 온도를 조정함에 의해 상기 약액(11)을 제1 온도로 가열하거나 또는 제2 온도로 가열할 수 있도록 구비될 수 있는 것이다.
이에, 제1 온도로 가열된 상기 약액(11)이 필요할 경우에는 상기 약액 가열부(37a)를 사용하여 상기 약액(11)을 제1 온도로 가열하고, 제2 온도로 가열된 상기 약액(11)이 필요할 경우에는 상기 약액 가열부(37a)를 사용하여 상기 약액(11)을 제2 온도로 가열하는 것이다.
또한, 상기 제1 온도로 가열된 상기 약액(11)을 사용할 경우에는 제1 약액 분사부(35a)를 통하여 상기 기판(21)의 중심 영역에만 상기 약액(11)을 분사하도록 조정하고, 상기 제2 온도로 가열된 상기 약액(11)을 사용할 경우에는 상기 제2 약액 분사부(35b)를 통하여 상기 기판(21)의 주변 영역에만 상기 약액(11)을 분사하도록 조정할 수도 있다.
이에, 상기 기판 처리 장치(100)를 사용하는 공정에서는 낱장 단위의 기판(21)을 대상으로 상기 약액 공급 장치(10)의 상기 약액 가열부(37a) 및 상기 제1 약액 분사부(35a)를 사용하여 상기 기판(21)의 제1 영역에 상기 제1 온도로 가열된 상기 약액(11)을 분사할 수 있고, 상기 약액 공급 장치(10)의 상기 약액 가열부(37a) 및 상기 제2 약액 분사부(35b)를 사용하여 상기 기판(21)의 제2 영역에 상기 제2 온도로 가열된 상기 약액(11)을 분사할 수 있다.
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이와 같이, 제3 실시예에서의 상기 기판 처리 장치(100)는 상기 척(20)과 함께 상기 약액 처리 장치(10)를 구비함으로서 낱장 단위의 기판(21)을 대상으로 공정을 수행할 수 있고, 더불어 상기 기판(21)의 중심 영역 및 상기 기판(21)의 주변 영역에 서로 다른 온도로 가열된 상기 약액(11)을 분사할 수 있다.
따라서 본 발명에서는 낱장 단위의 기판을 대상으로 공정을 수행함으로써 필요한 양만큼의 약액을 사용할 수 있기 때문에 약액의 소모량을 줄일 수 있고, 그 결과 제조에 따른 가격 경쟁력을 확보할 수 있고, 그리고 기판의 영역에 따라 서로 다른 온도로 가열된 약액을 공급하여 공정을 수행할 수 있기 때문에 공정이 이루어지는 기판의 균일성을 향상시킬 수 있고, 그 결과 제조에 따른 품질 경쟁력을 확보할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 약액 공급 장치 11 : 약액
13 : 약액 저장부
15a, 15b, 25a, 25b, 35a, 35b : 약액 분사부
17a, 17b, 27a, 27b, 37a : 약액 가열부
20 : 척 21 : 기판
23 : 지지핀 100 : 기판 처리 장치

Claims (11)

  1. 낱장 단위로 척에 지지된 기판을 향하여 분사하기 위한 약액을 저장하는 약액 저장부;
    상기 약액 저장부로부터 공급되는 상기 약액을 상기 기판을 향하여 분사하도록 상기 약액 저장부와 연결되는 약액 분사부; 및
    상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 적어도 2가지 온도를 갖도록 가열할 수 있는 약액 가열부를 포함하되,
    상기 약액 저장부는 상기 기판 상부에 구비되고, 상기 약액 분사부는 상기 약액 저장부로부터 상기 기판 상부를 향하도록 상기 약액 저장부에 연결되고, 상기 약액 가열부는 상기 기판의 제1 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제1 온도로 가열하기 위한 제1 약액 가열부 및 상기 기판의 제2 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제2 온도로 가열하기 위한 제2 약액 가열부로 이루어지도록 구비되되,
    상기 약액 분사부는 상기 제1 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제1 영역으로 분사하기 위한 제1 약액 분사부 및 상기 제2 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제2 영역으로 분사하기 위한 제2 약액 분사부로 이루어지도록 구비되고, 상기 약액 가열부는 상기 약액 저장부의 외부에서 상기 약액을 가열하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 처리 장치.
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  9. 낱장 단위로 기판을 지지할 수 있는 척;
    상기 기판을 향하여 분사하기 위한 약액을 저장하는 약액 저장부;
    상기 약액 저장부로부터 공급되는 상기 약액을 상기 기판을 향하여 분사하도록 상기 약액 저장부와 연결되는 약액 분사부; 및
    상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 적어도 2가지 온도를 갖도록 가열할 수 있는 약액 가열부를 포함하되,
    상기 약액 저장부는 상기 기판 상부에 구비되고, 상기 약액 가열부는 상기 약액 저장부의 외부에서 상기 약액을 가열하도록 구비됨과 아울러 상기 기판의 제1 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제1 온도로 가열하기 위한 제1 약액 가열부 및 상기 기판의 제2 영역에 대응되는 상기 약액 저장부에 저장된 상기 약액을 제2 온도로 가열하기 위한 제2 약액 가열부로 이루어지도록 구비되고, 상기 약액 분사부는 상기 약액 저장부로부터 상기 기판 상부를 향하도록 상기 약액 저장부에 연결됨과 아울러 상기 제1 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제1 영역으로 분사하기 위한 제1 약액 분사부 및 상기 제2 온도로 가열된 상기 약액을 상기 기판의 제2 영역으로 분사하기 위한 제2 약액 분사부로 이루어지도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 삭제
  11. 삭제
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