KR20100092382A - 처리액 공급 시스템 및 처리액 공급 방법 - Google Patents

처리액 공급 시스템 및 처리액 공급 방법 Download PDF

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KR20100092382A
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도시히꼬 우에다
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 과제는 소정의 처리액을 사용하는 장치에 대해, 탱크 내에 저류된 상기 처리액을 공급하는 처리액 공급 시스템에 있어서, 상기 장치로의 처리액 공급 시라도, 상기 탱크로의 처리액의 보충을 행할 수 있어, 택트 타임의 지연을 방지하는 것이다.
처리액(L)을 송출하기 위한 처리액 저류 탱크(1)와, 상기 처리액 저류 탱크에 보충하기 위한 처리액을, 보충관로(4)를 통해 상기 처리액 저류 탱크(1)에 공급하는 처리액 보충 수단(2)과, 상기 보충관로(4)를 개폐하는 밸브(7)와, 상기 처리액 저류 탱크(1) 내의 압력을 제1 압력치로 하는 제1 압력 조정 수단(12)과, 상기 밸브(7)보다도 상기 처리액 보충 수단(2)측의 압력을 상기 제1 압력치보다도 높은 제2 압력치로 하는 제2 압력 조정 수단(23)을 구비하고, 상기 밸브를 개방함으로써, 상기 처리액 저류 탱크로부터 상기 장치에 대해 처리액을 공급하면서, 상기 처리액 보충 수단으로부터 상기 처리액 저류 탱크로 처리액이 공급된다.

Description

처리액 공급 시스템 및 처리액 공급 방법 {PROCESSING LIQUID SUPPLY SYSTEM AND PROCESSING LIQUID SUPPLY METHOD}
본 발명은, 예를 들어 포토리소그래피 공정에 사용되는 포토레지스트, 용제 등의 처리액을 공급하기 위한 처리액 공급 시스템 및 처리액 공급 방법에 관한 것이다.
예를 들어, FPD의 제조에 있어서는, 글래스 기판 등의 피처리 기판에 소정의 막을 성막한 후, 포토레지스트(이하, 레지스트라고 부름)를 도포하여 레지스트막을 형성하고, 회로 패턴에 대응하여 레지스트막을 노광하고, 이를 현상 처리한다고 하는, 소위 포토리소그래피 공정에 의해 회로 패턴을 형성한다.
상기 포토리소그래피 공정에 있어서는, 레지스트를 공급하는 시스템이나, 레지스트를 용해하기 위한 용제 등의 처리액의 공급 시스템이 필요해진다. 그로 인해, 특허 문헌 1과 같이 처리액을 공급하는 탱크 및 버퍼 탱크를 설치한 예가 개시되어 있다.
또한, 도 3에 도시한 바와 같이 버퍼 탱크를 2개 사용한 예도 있다. 도 3에 도시하는 종래의 처리액 공급 시스템은, 처리액을 저류하고, 처리액을 레지스트 도포 장치 등에 의한 상위 공정에 공급 가능한 L/E(리퀴드 엔드) 탱크(50)와, 상기 L/E 탱크(50)에 처리액을 보충하기 위한 2개의 버퍼 탱크(51, 52)를 구비하고 있다.
L/E 탱크(50)에는 절환 밸브(53)가 접속되어, 탱크 내로의 캐리어 가스의 입력과 탱크 내의 압력 개방(드레인)이 절환 가능하게 되어 있다.
즉, 상위 공정에 처리액을 공급하는 경우, 절환 밸브(53)의 조작에 의해 캐리어 가스가 L/E 탱크(50) 내에 공급되어, L/E 탱크(50) 내가 가압된다. 이에 의해, L/E 탱크(50) 내의 처리액(L)이 상위 공정에 공급 가능해진다.
한편, 상위 공정으로의 처리액 공급에 의해 L/E 탱크(50) 내의 처리액(L)이 감소되어, L/E 탱크(50) 내에 처리액(L)을 보충할 필요가 있는 경우, 절환 밸브(53)에 의해 탱크 내의 압력이 개방되어, 보충 가능한 상태로 된다.
또한, L/E 탱크(50)에는 저류되는 처리액의 소정의 액면 위치(충전 완료 위치, 보충 필요 위치)를 감시하고, 저류 잔량을 검출하는 잔량 센서(70)가 설치되어 있다.
즉, L/E 탱크(50)에 대한 처리액(L)의 보충/종료의 타이밍은 상기 잔량 센서(70)의 검출 결과에 기초하여 행해진다.
L/E 탱크(50) 내에 처리액(L)을 보충하는 경우, L/E 탱크(50)와 버퍼 탱크(51, 52)의 연통을 제어하는 밸브(54)가 개방된다. 이 밸브(54)에는 2개의 버퍼 탱크(51, 52) 중, 절환 밸브(55)에 의해 선택된 어느 하나로부터 처리액(L)이 공급된다.
상기 버퍼 탱크(51, 52)에는 캐리어 가스의 입력과 개방(드레인)을 절환하는 절환 밸브(56, 57)가 접속되어 있고, L/E 탱크(50)로의 보충 시에는 캐리어 가스에 의해 버퍼 탱크(51, 52) 내가 가압되도록 되어 있다. 또한, 버퍼 탱크(51, 52) 내의 압력은 압력 조정 밸브(60, 61)가 설치됨으로써 과도한 상승이 방지되도록 되어 있다.
또한, 버퍼 탱크(51, 52)에는 L/E 탱크(50)와 마찬가지로 저류 잔량을 검출하는 복수의 잔량 센서(71, 72)가 설치되어 있다.
버퍼 탱크[51(52)]로의 처리액의 보충은 처리액(L)의 보충관에 설치된 밸브[58(59)]가 개방됨으로써 행해지지만, 그것에 동기하여 상기 절환 밸브[56(57)]가 드레인측으로 절환되도록 되어 있다.
일본특허출원공개제2001-230191호공보
도 3에 도시한 종래의 공급 시스템에 있어서는, L/E 탱크(50) 내의 처리액 잔량이 적어지면, 버퍼 탱크(51, 52)의 어느 하나로부터 L/E 탱크(50)로의 처리액 보충을 행할 수 있다.
그러나, L/E 탱크(50)로의 보충 작업이 이루어지는 동안, L/E 탱크(50) 내의 압력은 개방되어, 상위 공정으로의 처리액의 공급을 행할 수 없다. 그로 인해, 상위 공정을 중단해야만 해, 택트 타임이 지연된다고 하는 과제가 있었다.
상기 과제에 대해, L/E 탱크(50)에 있어서의 처리액 잔량을 복수 단계로 검출하여, 보충의 기회를 늘림으로써 각 보충 시간을 단축하는 방법도 있지만, 상위 공정으로 처리액을 공급할 수 없다고 하는 상태를 완전히 없앨 수는 없었다.
본 발명은 상기한 바와 같은 사정 하에 이루어진 것으로, 소정의 처리액을 사용하는 장치에 대해, 탱크 내에 저류한 상기 처리액을 공급하는 처리액 공급 시스템에 있어서, 상기 장치로의 처리액 공급 시라도, 상기 탱크로의 처리액의 보충을 행할 수 있어, 택트 타임의 지연을 방지할 수 있는 처리액 공급 시스템 및 처리액 공급 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 처리액 공급 시스템은 소정의 처리액을 사용하는 장치에 대해, 상기 처리액을 공급하는 처리액 공급 시스템에 있어서, 상기 처리액을 저류하고, 상기 장치에 상기 처리액을 송출하기 위한 처리액 저류 탱크와, 상기 처리액 저류 탱크에 보충하기 위한 처리액을, 보충관로를 통해 상기 처리액 저류 탱크에 공급 가능한 처리액 보충 수단과, 상기 보충관로를 개폐하는 밸브와, 상기 처리액 저류 탱크 내의 압력을 제1 압력치로 하는 제1 압력 조정 수단과, 상기 처리액 보충 수단측의 압력을 상기 제1 압력치보다도 높은 제2 압력치로 하는 제2 압력 조정 수단을 구비하고, 상기 밸브를 개방함으로써, 상기 처리액 저류 탱크로부터 상기 장치에 대해 처리액을 공급하면서, 상기 처리액 보충 수단으로부터 상기 처리액 저류 탱크로 처리액이 공급되는 것에 특징을 갖는다.
또한, 상기 처리액 보충 수단은 상기 보충관로를 통해 상기 처리액 저류 탱크와 연통하고, 상기 처리액을 저류하는 버퍼 탱크를 구비하고, 상기 제2 압력 조정 수단은 상기 버퍼 탱크 내를 상기 제2 압력치로 하는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 따르면, 상기 버퍼 탱크 내의 압력은 상기 처리액 저류 탱크가 상위 공정으로의 처리액 공급을 행하고 있는지 여부에 상관없이, 처리액 저류 탱크 내의 압력보다도 항상 높은 상태로 된다. 이로 인해, 상기 보충관로에 있어서 밸브를 개방했을 때에 버퍼 탱크로부터 처리액 저류 탱크로 처리액을 자동적으로 공급할 수 있다.
따라서, 처리액 저류 탱크로의 처리액의 보충 시라도 상위 공정을 중단하지 않아, 택트 타임의 지연을 방지할 수 있다.
또한, 상기 처리액 저류 탱크에 있어서의 처리액의 잔량이 소정량인 것을 검출하는 잔량 검출 수단과, 상기 잔량 검출 수단의 검출 결과에 기초하여 상기 밸브의 개폐 제어를 행하는 제어 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
이와 같이 잔량 검출 수단을 설치함으로써, 처리액 저류 탱크의 잔량이 적어졌을 때에 자동적으로 처리액의 보충을 행할 수 있고, 충전되면 자동적으로 보충을 종료할 수 있다.
또한, 상기한 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 처리액 공급 방법은, 소정의 처리액을 저류하고, 상기 처리액을 사용하는 장치에 대해 상기 처리액을 송출 가능한 처리액 저류 탱크에, 보충관로를 통해 상기 처리액을 보충하는 처리액 공급 방법이며, 상기 처리액 저류 탱크의 압력을 제1 압력치로 하는 스텝과, 상기 보충관로를 개폐하는 밸브보다도 상류측의 압력을 상기 제1 압력치보다도 높은 제2 압력치로 하는 스텝과, 상기 처리액 저류 탱크에 상기 처리액의 보충이 필요한 경우에, 상기 밸브를 개방하는 스텝을 실행하는 데 특징을 갖는다.
이와 같은 방법에 따르면, 상기 버퍼 탱크 내의 압력은 상기 처리액 저류 탱크가 상위 공정으로의 처리액 공급을 행하고 있는지 여부에 상관없이, 처리액 저류 탱크 내의 압력보다도 항상 높은 상태로 된다. 이로 인해, 상기 보충관로에 있어서 밸브를 개방했을 때에 버퍼 탱크로부터 처리액 저류 탱크로 처리액을 자동적으로 공급할 수 있다.
따라서, 처리액 저류 탱크로의 처리액의 보충 시라도 상위 공정을 중단하지 않아, 택트 타임의 지연을 방지할 수 있다.
또한, 상기 처리액 저류 탱크에 상기 처리액의 보충이 필요한 경우에, 상기 밸브를 개방하는 스텝에 있어서, 상기 처리액 저류 탱크에 있어서의 처리액의 잔량이 소정량인 것을 검출하고, 상기 검출의 결과에 기초하여 상기 밸브의 개폐 제어를 행하는 것이 바람직하다.
이와 같이 탱크 내의 처리액의 잔량에 기초하여 밸브 개폐함으로써, 처리액 저류 탱크의 잔량이 적어졌을 때에 자동적으로 처리액의 보충을 행할 수 있고, 충전되면 자동적으로 보충을 종료할 수 있다.
본 발명에 따르면, 소정의 처리액을 사용하는 장치에 대해, 탱크 내에 저류된 상기 처리액을 공급하는 처리액 공급 시스템에 있어서, 상기 장치로의 처리액 공급 시라도, 상기 탱크로의 처리액의 보충을 행할 수 있어, 택트 타임의 지연을 방지할 수 있는 처리액 공급 시스템 및 처리액 공급 방법을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 처리액 공급 시스템의 구성을 모식적으로 도시하는 회로도.
도 2는 도 1의 처리액 공급 시스템에 있어서의 일련의 동작을 도시하는 흐름도.
도 3은 종래의 처리액 공급 시스템의 구성을 모식적으로 도시하는 회로도.
이하, 본 발명에 관한 실시 형태에 대해, 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 관한 처리액 공급 시스템의 구성을 모식적으로 도시하는 회로도이다.
도시하는 처리액 공급 시스템(100)은 상위 공정인, 예를 들어 포토리소그래피 공정에서 사용되는 처리액을 공급하는 시스템이다.
도시한 바와 같이, 처리액 공급 시스템(100)은 상위 공정(상위 장치)에 처리액(L)을 공급하기 위해 처리액(L)을 저류하는 L/E(리퀴드 엔드) 탱크(1)(처리액 저류 탱크)와, 이 L/E 탱크(1) 내에 처리액(L)을 보충하기 위한 버퍼 탱크(2)(처리액 보충 수단)를 구비한다.
또한, 버퍼 탱크(2)의 용적은 소정 용적(예를 들어, 2리터)을 갖는 L/E 탱크(1)보다도 충분히 큰 용적(예를 들어, 10리터)인 것이 바람직하다.
L/E 탱크(1)에는, 상위 장치(도시하지 않음)에 처리액(L)을 공급하기 위한 공급관로(3)와, 버퍼 탱크(2)로부터의 처리액(L)의 공급로가 되는 보충관로(4)와, L/E 탱크(1) 내를 가압 또는 개방(드레인에 연통)하기 위한 탱크압 제어관로(5)가 접속되어 있다.
또한, 상기 보충관로(4)에는 관로의 개폐를 행하는 밸브(7)가 설치되어, 버퍼 탱크(2)로부터 L/E 탱크(1)로의 처리액 보충 시에는 밸브(7)가 개방되고, 그 이외에는 폐쇄되도록 되어 있다.
또한, 일단부가 L/E 탱크(1)에 접속된 상기 탱크압 제어관로(5)의 타단부에는 드레인관(8)과 기체 공급관(9)을 절환하는 절환 밸브(10)가 설치되어 있다. 상기 기체 공급관(9)으로부터는 L/E 탱크(1) 내를 가압하기 위한 캐리어 가스(예를 들어, N2 가스)가 공급되고 있다.
상기 기체 공급관(9)에는 상기 기체 공급관(9)으로부터의 캐리어 가스에 의해 L/E 탱크(1) 내가 가압되는 경우에, L/E 탱크(1) 내의 압력을 미리 설정된 압력치(예를 들어, 0.2㎫)로 하는 정밀 레귤레이터(12)(제1 압력 조정 수단)가 설치되어 있다. 이 정밀 레귤레이터(12)가 설치됨으로써, L/E 탱크(1)로부터 상위 장치로의 처리액 공급 중에 버퍼 탱크(2)로부터의 처리액 공급이 개시되어도, L/E 탱크(1) 내의 압력 변동을 없애, 상위 장치에 안정적으로 처리액 공급을 행할 수 있다.
또한, L/E 탱크(1)에는 저류되는 처리액(L)의 소정의 액면 위치(충전 완료 위치, 보충 필요 위치)를 감시하고, 저류 잔량을 검출하는 잔량 센서(13, 14)(잔량 검출 수단)가 설치되어 있다.
한편, 버퍼 탱크(2)에는 상기 보충관로(4) 외에, 이 버퍼 탱크(2)에 대해 처리액(L)을 보충하기 위한 보충관로(15)와, 버퍼 탱크(2) 내를 가압 또는 개방(드레인에 연통)하기 위한 탱크압 제어관로(16)가 접속되어 있다.
또한, 버퍼 탱크(2) 내의 압력이 과도하게 상승하는 것을 방지하기 위해 압력 조정 밸브(24)가 설치된 관로(17)가 접속되어 있다.
상기 보충관로(15)에는 이 관로(15)를 개폐하기 위한 밸브(18)가 설치되고, 상기 밸브(18)가 개방됨으로써, 버퍼 탱크(2) 내에 새롭게 처리액(L)이 공급되도록 되어 있다.
또한, 일단부가 상기 버퍼 탱크(2)에 접속되는 상기 탱크압 제어관로(16)의 타단부에는 드레인관(19)과 기체 공급관(20)을 절환하는 절환 밸브(21)가 설치되어 있다.
상기 기체 공급관(20)으로부터는 버퍼 탱크(2) 내를 가압하기 위한 캐리어 가스(예를 들어, N2 가스)가 공급되고 있다.
상기 기체 공급관(20)에는 상기 기체 공급관(20)으로부터의 캐리어 가스에 의해 버퍼 탱크(2) 내가 가압될 때, 버퍼 탱크(2) 내의 압력을 미리 설정된 압력치(예를 들어, 0.3㎫)로 하는 레귤레이터(23)(제2 압력 조정 수단)가 설치되어 있다. 이 압력치는 L/E 탱크(1) 내의 압력치(예를 들어, 0.2㎫)보다도 높은 값으로 설정되어 있다.
또한, 버퍼 탱크(2)에는 저류되는 처리액(L)의 소정의 액면 위치를 감시하고, 저류 잔량을 검출하는 잔량 센서(25, 26)가 설치되어 있다.
이 처리액 공급 시스템(100)에 있어서, 상기 잔량 센서(13, 14, 25, 26)의 검출 신호는 이 시스템(100)의 각 밸브의 동작 제어를 행하는 제어부(40)(제어 수단)에 출력된다.
계속해서, 도 2의 흐름도에 기초하여, 처리액 공급 시스템(100)에 있어서의 일련의 동작에 대해 설명한다.
이 처리액 공급 시스템(100)에 있어서, 상위 공정으로의 처리액 공급이 필요해지면(도 2의 스텝 ST1), 제어부(40)는 절환 밸브(10)를 기체 공급관(9)측으로 절환하고, 캐리어 가스를 L/E 탱크(1) 내로 도입하여 탱크(1) 내를 가압한다. 여기서, 정밀 레귤레이터(12)의 동작에 의해, L/E 탱크(1) 내의 압력치는 소정치(예를 들어, 0.2㎫)로 된다.
또한, 캐리어 가스의 압력에 의해 상위 공정에 처리액(L)이 공급된다(도 2의 스텝 ST2).
L/E 탱크(1) 내의 처리액 잔량이 감소하여, 보충 필요 상태인 것이 잔량 센서(14)에 의해 검출되면(도 2의 스텝 ST3), 제어부(40)는 상기 보충관로(4)의 밸브(7)를 개방하여, L/E 탱크(1)와 버퍼 탱크(2)를 연통시킨다.
여기서, 버퍼 탱크(2)에 있어서, 탱크압 제어관로(16)의 절환 밸브(21)는 기체 공급관(20)측으로 개방되어 있고, 버퍼 탱크(2) 내는 레귤레이터(23)의 동작에 의해, L/E 탱크(1) 내보다도 높은 소정의 압력치(예를 들어, 0.3㎫)로 되어 있다.
따라서, L/E 탱크(1)와 버퍼 탱크(2) 사이에는 소정의 차압(예를 들어, 0.1㎫)이 발생하여, 상기와 같이 보충관로(4)의 밸브(7)가 개방되면, 버퍼 탱크(2)로부터 L/E 탱크(1)를 향해(즉, 압력치가 높은 쪽으로부터 낮은 쪽을 향해) 처리액(L)이 흘러, L/E 탱크(1) 내에 처리액(L)이 보충된다(도 2의 스텝 ST4).
이와 같이 L/E 탱크(1)로의 보충과 상위 공정으로의 처리액 공급이 동시에 이루어지는 상태로부터, 상위 공정으로의 처리액 공급이 먼저 종료되면(도 2의 스텝 ST5), L/E 탱크(1)에 있어서 절환 밸브(10)가 드레인관(8)측으로 절환된다. 이에 의해, L/E 탱크(1) 내의 압력이 개방되어, 보다 효율적으로 L/E 탱크(1)로의 보충 작업이 계속된다(도 2의 스텝 ST6).
그 후, 잔량 센서(13)가 L/E 탱크(1)로의 처리액(L)의 충전을 검출하면, 제어부(40)는 보충관로(4)의 밸브(7)를 폐쇄하여, 충전 작업이 종료된다(도 2의 스텝 ST7).
한편, 스텝 ST5에 있어서, 상위 공정으로의 처리액 공급이 종료되기 전에 L/E 탱크(1)로의 처리액(L)의 충전 작업이 종료되면(도 2의 스텝 ST8), 제어부(40)는 보충관로(4)의 밸브(7)를 폐쇄한다.
그리고, 상위 공정으로의 처리액 공급이 종료되면, 공급관로(3)의 밸브(도시하지 않음)의 동작이 정지된다(도 2의 스텝 ST9).
또한, L/E 탱크(1)의 용량(예를 들어, 2리터)에 대해 버퍼 탱크(2)의 용량을 충분히 큰 것(예를 들어, 10리터)으로 해 둠으로써, 버퍼 탱크(2)가 보충 필요 상태로 될 때까지는, 몇 번이나 자동적으로 L/E 탱크(1)에 보충하는 것이 가능해진다.
버퍼 탱크(2) 내의 처리액 잔량이 감소하여, 보충 필요 상태인 것이 잔량 센서(26)에 의해 검출되면, 절환 밸브(21)는 드레인관(19)측으로 절환되고, 밸브(18)가 개방되어 보충관로(15)로부터 처리액(L)이 버퍼 탱크(2) 내로 공급된다. 그리고, 잔량 센서(25)가 충전을 검출하면, 밸브(18)가 폐쇄되고, 절환 밸브(21)가 기체 공급관(20)측으로 절환되어, 버퍼 탱크(2) 내의 기압은 다시 소정치(예를 들어, 0.3㎫)로 유지된다.
이상과 같이 본 실시 형태에 따르면, 버퍼 탱크(2) 내의 압력은 L/E 탱크(1)가 상위 공정으로의 처리액 공급을 행하고 있는지 여부에 상관없이, L/E 탱크(1) 내의 압력보다도 항상 높은 상태로 된다. 이로 인해, 보충관로(4)에 있어서 밸브(7)를 개방했을 때에 버퍼 탱크(2)로부터 L/E 탱크(1)로 처리액(L)을 자동적으로 공급할 수 있다.
따라서, L/E 탱크(1)로의 처리액의 보충 시라도 상위 공정을 중단하지 않아, 택트 타임의 지연을 방지할 수 있다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서는, L/E 탱크(1)에 처리액을 공급하는 처리액 보충 수단으로서 버퍼 탱크(2)를 설치하였지만, 본 발명의 처리액 공급 시스템(100)에 있어서는, 그것으로 한정되지 않고, 버퍼 탱크(2)를 사용하지 않아도 보충관로(4)에 처리액(L)을 공급할 수 있는 수단이면 된다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서는, L/E 탱크(1) 내의 압력을 미리 설정된 압력치로 하기 위해, 정밀 레귤레이터(12)를 설치하였지만, 본 발명에 관한 처리액 공급 시스템에 있어서는, 그 형태로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 정밀 레귤레이터(12)의 출력압을 압력 센서(도시하지 않음)에 의해 검출하여, 제어부(40)로부터 정밀 레귤레이터(12)의 출력압에 피드백 제어하는 구성으로 해도 좋다. 그와 같이 구성함으로써, 더욱 고정밀도로 L/E 탱크(1) 내의 압력을 안정시킬 수 있다.
1 : L/E 탱크(처리액 저류 탱크)
2 : 버퍼 탱크(처리액 보충 수단)
3 : 공급관로
4 : 보충관로
5 : 탱크압 제어관로
8 : 드레인관
9 : 기체 공급관
10 : 절환 밸브
12 : 정밀 레귤레이터(제1 압력 조정 수단)
13 : 잔량 센서
14 : 잔량 센서
15 : 보충관로
16 : 탱크압 제어관로
17 : 드레인관로
18 : 밸브
19 : 드레인관
20 : 기체 공급관
21 : 절환 밸브
23 : 정밀 레귤레이터(제2 압력 조정 수단)
25 : 잔량 센서
26 : 잔량 센서
40 : 제어부(제어 수단)
100 : 처리액 공급 시스템
L : 처리액

Claims (5)

  1. 소정의 처리액을 사용하는 장치에 대해, 상기 처리액을 공급하는 처리액 공급 시스템에 있어서,
    상기 처리액을 저류하고, 상기 장치에 상기 처리액을 송출하기 위한 처리액 저류 탱크와, 상기 처리액 저류 탱크에 보충하기 위한 처리액을, 보충관로를 통해 상기 처리액 저류 탱크에 공급 가능한 처리액 보충 수단과, 상기 보충관로를 개폐하는 밸브와, 상기 처리액 저류 탱크 내의 압력을 제1 압력치로 하는 제1 압력 조정 수단과, 상기 처리액 보충 수단측의 압력을 상기 제1 압력치보다도 높은 제2 압력치로 하는 제2 압력 조정 수단을 구비하고,
    상기 밸브를 개방함으로써, 상기 처리액 저류 탱크로부터 상기 장치에 대해 처리액을 공급하면서, 상기 처리액 보충 수단으로부터 상기 처리액 저류 탱크로 처리액이 공급되는 것을 특징으로 하는, 처리액 공급 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리액 보충 수단은,
    상기 보충관로를 통해 상기 처리액 저류 탱크와 연통하고, 상기 처리액을 저류하는 버퍼 탱크를 구비하고,
    상기 제2 압력 조정 수단은, 상기 버퍼 탱크 내를 상기 제2 압력치로 하는 것을 특징으로 하는, 처리액 공급 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 처리액 저류 탱크에 있어서의 처리액의 잔량이 소정량인 것을 검출하는 잔량 검출 수단과,
    상기 잔량 검출 수단의 검출 결과에 기초하여 상기 밸브의 개폐 제어를 행하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 처리액 공급 시스템.
  4. 소정의 처리액을 저류하고, 상기 처리액을 사용하는 장치에 대해 상기 처리액을 송출 가능한 처리액 저류 탱크에, 보충관로를 통해 상기 처리액을 보충하는 처리액 공급 방법이며,
    상기 처리액 저류 탱크의 압력을 제1 압력치로 하는 스텝과,
    상기 보충관로를 개폐하는 밸브보다도 상류측의 압력을 상기 제1 압력치보다도 높은 제2 압력치로 하는 스텝과,
    상기 처리액 저류 탱크에 상기 처리액의 보충이 필요한 경우에, 상기 밸브를 개방하는 스텝을 실행하는 것을 특징으로 하는, 처리액 공급 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 처리액 저류 탱크에 상기 처리액의 보충이 필요한 경우에, 상기 밸브를 개방하는 스텝에 있어서, 상기 처리액 저류 탱크에 있어서의 처리액의 잔량이 소정량인 것을 검출하고, 상기 검출의 결과에 기초하여 상기 밸브의 개폐 제어를 행하는 것을 특징으로 하는, 처리액 공급 방법.
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