KR102183785B1 - 인-시츄 모니터링 구조 및 반도체 공정에서의 사용 방법 - Google Patents

인-시츄 모니터링 구조 및 반도체 공정에서의 사용 방법 Download PDF

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Abstract

반도체 물질 층 증착 및 제거 공정들의 인-시츄 캘리브레이션의 시스템들 및 방법들이 개시된다. 하나 이상의 캘리브레이션 바이어들 또는 포스트들을 포함하는 테스트 구조들의 세트들은 도금 및 연마와 같은 공정들을 정확하게 모니터링하기 위해 이용된다. 테스트 구조 피처들 및 제품 피처 사이의 알려진(예를 들어, 경험적으로 결정된) 관계들은 웨이퍼 공정 진행의 모니터링을 가능하게 한다. 공정 싸이클 동안 캘리브레이션 피처(들)의 광학적 검사는 원하는 제품 피처 특성들이 달성되는 경우, 동적 동작 조건 조정 및 공정의 정확한 중단을 허용한다.

Description

인-시츄 모니터링 구조 및 반도체 공정에서의 사용 방법
본 발명은 일반적으로 집적 회로 제조 분야에 관한 것이고, 구체적으로 웨이퍼 증착(예를 들어, 전기 도금) 및/또는 박막화(예를 들어, 화학적 기계적 연마 (chemical mechanical polishing: CMP)) 공정들 동안의 구조들의 테스트 및 개선된 인-시츄 직접 피드백 모니터링 깊이(improved in-situ direct feedback monitoring depth)에 관한 것이며, 이러한 공정들에 대한 종료점을 결정하기 위한 것이다.
직접 결합 혼성화(direct bond hybridization: DBH) 구조(4)를 포함하는 도 1a에 도시된 웨이퍼(2)와 같은, 새로운 웨이퍼를 생성하기 위해 2 개의 실리콘 웨이퍼들을 함께 결합하기 위한 반도체 웨이퍼 결합 공정들이 개발되었다. DBH 공정은 초점면 배열(focal plane array)의 형성에 이용될 수 있다. 초점면 배열은 아날로그 및 디지털 집적 회로들(6)을 포함하는 독출 집적 회로(read out integrated circuit: ROIC)(8) 상에 적층된 검출기 웨이퍼(14)를 포함하고, 결과적으로 SiPIN 하이브리드 센서가 된다. 검출기 웨이퍼(14) 및 집적 회로들(6) 사이에는 금속 접촉 층(10) 및 금속 구조들을 캡슐화하는 절연(예를 들어, 산화물) 층(12)을 갖는 금속 인터포저(interposer) 층이 위치할 수 있다. 검출기 웨이퍼(14)는 산화물 결합을 통해 ROIC(8)와 결합되어 있을 수 있고, 산화물 결합은 인터포저 연결을 형성하기 위해 절연 층(들)(12) 내에 매립된 금속 상호연결 포스트(metal interconnecting post)들(16)을 가능하게 한다. 예시적인 3차원(Dimensional: D) 적층 웨이퍼에 대한 추가적인 정보는, "Third Generation FPA Development Status at Raytheon Vision Systems", W.A. Radford, et al., Infrared Technology and Applications XXXI, Proc. of SPIE Vol. 5783, 및/또는 Ziptronix, Inc(Tessera Technologies, Inc의 자회사)에 의해 개발된 DBI® process와 관련된 데이터 시트들 및 http://www.ziptronix.com/technologies/dbi/에서 확인이 가능하다.
도 1b 내지 1d를 참조하면, 도금(plating)은 포토레지스트를 벗겨내고, 절연 층(12)을 증착하기 전에, 포토레지스트 층(13)에 하나 이상의 상호연결 금속 포스트(들)(17)과 같은 제품 피처(product feature)들을 증착시키기 위해 이용될 수 있다. 종래의 도금조(plating bath) 제조사들은 제품 피처(예를 들어, 트레이스 라인들(trace lines), 바이어(via)들, 기타 등등) 크기들의 변화에도 불구하고, 기판에 걸쳐 상당히 양호한 도금 높이의 균일성을 달성하도록 그들의 욕조를 설계한다.
그럼에도 불구하고, 증착 공정 조건들(예를 들어, 전기 도금 전류 분포의 변화들)의 변화로 인해 발생하는 금속 포스트(16')의 높이(hp)와 같은 제품 피처 높이들의 변화가 있다.
후속 웨이퍼 적층 동작들에서 웨이퍼 결합 중에 적절한 상호연결을 가능하게 하기 위해, 포스트(16')의 높이(hp), 검출기 웨이퍼(14)의 절연 층들(12), 및 ROIC(8)의 각각의 높이는 매우 엄격한 공차(tight tolerance)들 내에서 감소될 필요가 있다.
DBH 제조 공정은 산화물 절연 층(12) 내에 캡슐화된 금속(예를 들어, 니켈) 포스트 구조들(16')의 형성을 가져오는 리소그래피 기술을 포함한다. 결합 전에 금속 포스트들을 드러내기 위해, 각각의 절연 층(12)은 CMP와 같은 웨이퍼 박막 공정을 이용하여, 예를 들어, 초기 높이(h1)(시간 t1에서)에서 원하는 높이(h2)(시간 t2에서)로 얇아질 수 있다.
CMP는 매립된 포스트(16'')가 드러날 때까지(도 1d에 도시된 바와 같이) 절연 산화물 층(12)으로부터 종종 물질을 평탄화하고, 제거하는데 이용된다. 도 2를 참조하면, CMP는 전형적으로 기계적 및 화학적 작용의 조합을 통해, 웨이퍼(20)의 표면을 평탄화시키기 위해 연마재 슬러리(abrasive slurry)를 이용한다. 일반적으로, CMP는 회전하는 캐리어 헤드(24) 상에 진공 장착될 수 있는 연마 패드(22)를 웨이퍼 상(20)에 가압하는 것을 포함한다. 웨이퍼(20)와 연마 패드(22)가 접촉하게 되면, 웨이퍼(20)의 표면이 기계적으로, 화학적으로 연마된다. CMP 공정의 핵심 요소는 종료점 검출이다. CMP 동안 웨이퍼 두께를 측정하기 위한 인-시츄 직접 피드백이 없다면, 종래의 공정은 일반적으로 CMP 속도(rate)들 및 CMP 공정을 완료하기 위한 타이밍을 추정한다. 그러나, 슬러리, 패드, 또는 웨이퍼의 화학적 또는 기계적 조성의 변화들에 의해 원하는 깊이로 연마하는데 필요한 시간이 달라질 수 있다.
하부 회로(즉, 산화물 및 금속의 다중 금속 라우팅 층들)로부터 광학적 간섭으로 인하여, 광학 간섭 측정 방법(optical interferometry method)들은 CMP 박막화 절연 층(12)의 실제 높이를 측정하기 위해 인-시츄로 사용될 수 없다. ROIC의 정확한 광학 산화물 높이 측정은 일반적으로, 완성된 웨이퍼에서 수행될 수 없다. 이것은 장래의 웨이퍼 공정 실행을 위한 동작 파라미터의 조정을 허용할 수 있지만, 웨이퍼 대 웨이퍼 변화들을 설명하지 않는다. 물질 제거의 CMP 속도가 웨이퍼에 대해 예측된 것보다 큰 경우, 많은 양의 물질이 제거되어 층의 과도한 폴리싱 및 제품 손실을 유발할 수 있다. 따라서, 예측할 수 없는 연마 속도로 이어지는 이러한 공정 문제들로 인해, 구조물의 두께를 인-시츄로 결정할 수 없어서, 결과적으로 비싼(예를 들어, $50k/웨이퍼) 수율 손실을 초래할 수 있다.
본 실시예들은 전술한 하나 이상의 문제들을 극복하거나 또는 적어도 그 효과를 감소시키기 위한 방법 및 구조를 제공한다.
일 실시예에서, 물질 증착(예를 들어, 금속 도금)을 위한 교정 방법이 개시된다. 물질은 제품 피처(product feature) 및 기판 상에 포토레지스트 층에 형성된 하나 이상의 캘리브레이션 바이어(calibration via)의 각각 내에 증착될 수 있으며, 기판에 걸쳐 거의 동일한 증착 조건들을 적용한다. 적어도 하나의 캘리브레이션 바이어는, 물질이 제품 피처 및 캘리브레이션 바이어 모두에서 실질적으로 동일하게 증착될 때, 캘리브레이션 바이어 내의 물질의 높이가 제품 피처 내의 물질의 높이가 선택된 높이에 도달하는 것과 거의 동일한 증착 시간에서 포토레지스트 층의 높이를 초과하도록하는, 횡단면 치수(cross-sectional dimension)를 갖는다. 제1 캘리브레이션 바이어에 증착되는 물질의 높이가 포토레지스트 층의 높이를 초과할 때까지, 제1 캘리브레이션 바이어에 증착된 금속의 높이가 포토레지스트 층의 높이를 초과하는지 여부에 대한 결정과 함께, 증착 공적은 반복적으로 계속된다.
일 실시예에서, 높이 결정은 제1 캘리브레이션 바이어에서 증착되는 물질의 높이가 포토레지스트 층의 두께를 초과하는 지점의 광학적 식별을 포함한다. 광학적 식별은 평탄한 표면에서 평탄하지 않은 표면으로의 변화 및 그에 따른 하나 이상의 피처들의 증가된 치수(dimension)들의 캘리브레이션 바이어(들)에 근접한 포토레지스트 층의 상부 표면(들)에서의 관찰을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 뚜렷한 횡단면 치수들을 갖는 추가 캘리브레이션 바이어가 사용될 수 있다. 횡단면 치수들은 각각의 캘리브레이션 바이어들의 각각에 증착된 물질의 높이가 주어진 증착 시간 및 실질적으로 유사한 증착 조건들 하에서 제품 피처 내에 증착된 물질의 높이보다 더 크게 선택되고, 각각의 캘리브레이션에 증착된 물질이 포토레지스트 층의 높이를 초과할 때, 제품 피처에 증착된 금속에 대해 알려진 높이가 표시된다.
또 다른 실시예에서, 하나 이상의 이러한 캘리브레이션 바이어로 구성된 테스트 구조가 개시된다. 추가 캘리브레이션 바이어들은 광학적으로 구별될 수 있도록 충분히 이격되어 있고, 검사를 쉽게 하기 위해 배열(array) 또는 다른 구성으로 배열되어 있을 수 있다. 개시된 바와 같은 캘리브레이션 테스트 구조들의 사용은, 증착 공정에 대한 동작 조건들의 공정 조정을 가능하게 하고, 증착 공정 중에 포토레지스트를 벗겨낼 필요성을 제거하는 장점이 있다.
일 실시예에서, 웨이퍼 연마(예를 들어, CMP) 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법이 개시된다. 기판의 테스트 영역 상에 복수의 캘리브레이션 피처들이 형성될 수 있다. 복수의 캘리브레이션 피처들은 상이한 알려진 높이들을 가지며, 여기서 알려진 높이들 중 적어도 하나는 증착된 물질 층에 대한 원하는 최종 높이와 거의 동일한 높이이다. 제품 피처는은 기판의 별개 제품 영역에 형성될 수 있다. 그 다음, 물질 층의 높이가 증착된 물질 층에 대해 원하는 최종 높이 및 복수의 캘리브레이션 피처의 높이보다 크고, 캘리브레이션 피처들이 증착된 물질 층을 통해 육안으로 관찰될 수 있도록, 물질 층이 제품 피처 및 복수의 캘리브레이션 피처들 상에 증착될 수 있다. 이어서, 반복적인 연마 싸이클이 대략 동일한 조건 하에서 물질 층의 테스트 영역 및 제춤 영역에 적용될 수 있으며, 각각의 연마 싸이클 후에 물질 층이 연마된 높이는, 하나 이상의 캘리브레이션 피처들의 거침으로부터 평탄으로의 변화에 대한 광학적 관측을 통해 결정될 수 있다. 거침으로부터 평탄으로의 특정 캘리브레이션 피처 외관의 각각의 변화는 물질 층 높이가 상기의 특정 캘리브레이션 피처의 알려진 높이로 감소함을 나타낸다. 연마 공정은 결정된 물질 층 높이가 원하는 높이로 감소될 때까지 정지될 수 있고, 그 웨이퍼 또는 미래의 웨이퍼 연마 작업들을 위해 원하는 높이가 달성될 때까지 광학적 관찰에 응답하여 연마 공정에 대한 조정들이 이루어질 수 있다.
기판 상의 포토레지스트에 상이한 횡단면 치수들에 대응하는 복수의 바이어들을 생성하고, 복수의 바이어들 중 임의의 바이어에 과-충전을 야기하는 것보다 적은 증착 시간 동안, 거의 동일한 증착 조건들 하에서 복수의 바이어들에 물질을 증착시킴으로써, 상이한 알려진 높이를 갖는 캘리브레이션 피처들로 구성된 테스트 구조가 형성될 수 있다. 그 다음, 포토레지스트를 벗기고, 별개의 캘리브레이션 피처들의 높이를 광학적으로 측정할 수 있다.
구현들의 전술된 특징들 및 다른 특징들은 첨부된 도면들에 도시된 바와 같이 구현들의 대표적인 실시예들로부터 명백해질 것이고, 동일한 참조 번호는 일반적으로 동일하고, 기능적으로 유사하며, 및/또는 구조적으로 유사한 요소를 나타낸다.
도 1a는 직접 결합 혼성화(direct bond hybridization)를 이용하여 3D 적층 웨이퍼를 형성하는 결합된 웨이퍼들의 (종래 기술의) 2 개의 웨이퍼 적층의 측면 단면도이다.
도 1b 내지 1d는 (종래 기술의) 연마 전 및 연마 후의 웨이퍼 결합 영역들의 측면 단면도이다.
도 2는 일 예에 따른, 반도체 웨이퍼 연마 공정의 인-신츄 캘리브레이션을 위한 시스템의 측면 단면도이다.
도 3a는 일 예에 따른, 복수의 캘리브레이션 도금 바이어들을 포함하는 테스트 구조 구현을 위한 캘리브레이션 데이터를 결정하는 프로세스의 흐름도이다.
도 3b는 일 예에 따른, 도금을 위한 인-시츄 모니터링 공정에서 테스트 구조를 이용하기 위한 프로세스의 흐름도이다.
도 4a 내지 4d는 일 예에 따른, 인-시츄 도금 높이의 캘리브레이션 공정 동안 4개의 연속적인 시점들에서의 테스트 구조의 측면 단면도이다.
도 5a는 도금되는 기판의 측면 단면도로서, 도금된 바이어들에 적용된 비-균일 필드를 도시하는 이다.
도 5b는 필드 변화들에 기인하여 유사하게 도금된 유사한 치수들의 바이어에서의 도금 높이 차이들의 측면 단면도이다.
도 6a 내지 6d는 일 예에 따른, 모니터링된 도금 공정 동안 4 개의 연속적인 시점들에서의 테스트 구조의 측면 단면도이고, 좁고, 높은 종횡비 캘리브레이션 바이어에 대한 도금 속도가 느린 것을 보여준다.
도 7은 일 예에 따른, 공정의 후 도금 단계에서의 테스트 구조의 측면 단면도로서, 단자 효과(terminal effect)를 도시한다.
도 8a 내지 8d는 일 예에 따른, 물질 제거 캘리브레이션을 위한 인-시츄 공정 동안 4개의 연속적인 시점들에서의 테스트 구조의 측면 단면도이다.
도 9는 연마에 의한 물질 제거의 인-시츄 캘리브레이션을 위한 프로세스의 구현의 흐름도이다.
도 10a 내지 10d는 일 예에 따른, 연마 전의 거침과 연마 후의 평탄함을 나타내는 캘리브레이션 포스트들의 현미경 사진(상부 투시도)이다.
아래의 실시예들에 대한 상세한 설명은 첨부 도면들을 참조한다. 상이한 도면들에서 동일한 참조 번호는 동일하거나 유사한 요소를 식별할 수 있다.
SiPIN 하이브리드 센서일 수 있는 도 1a의 웨이퍼(2)와 같은 3D 적층 웨이퍼의 형성에 특히 유용한 실시예들이 설명된다. 실시예들은 테스트 구조들 및 개선된 인-시츄(예를 들어, 동일한 웨이퍼 상에)를 포함한다. 개선된 인-시츄는 전기 도금 및/또는 화학적 기계적 연마(chemical mechanical polishing: CMP) 공정과 같은 각각의 증착 및/또는 박막 공정 동안 웨이퍼 및 피처 깊이(들)의 직접 피드백 모니터링이다. 또한, 실시예들은 이러한 공정들의 종료점을 결정하고, 증착 및/또는 박막 동작 조건들의 인-시츄 조정을 위한 방법들을 제공한다. 금속 도금에 의한 증착 및 CMP 연마 기술들에 의한 박막화의 일 실시예는 본 발명의 환경을 어떤 방식으로도 이러한 동작들로 제한하는 것은 아니다. 또한, 설명은 용어 '채널(channel)' 및 용어 '바이어(via)'를 빈번하게 그리고 상호교환적으로 이용한다. 그러나, 어느 용어도 테스트 피처들을 특정한 횡단면 형상으로 제한하지 않는다.
도 2는 일 예에 따른, 반도체 웨이퍼(20)에 형성되는 바이어들, 포스트들, 박막(thin film)들 등과 같은 피처들의 인-시츄 두께 측정을 위한 시스템(26)을 도시한다. 시스템(26)은 프로세스의 동작 특성들을 제어하기 위한 제어 시스템(28)을 포함한다. 도시된 특정 공정 환경은 웨이퍼(20)의 CMP 박막화를 위한 것이지만, 웨이퍼 피처 증착을 위한 환경과 개략적으로 매우 유사할 것이다. 이러한 공정들과 연관된 종래의 통상적인 동작 조건들(시간, 온도, 화학적 농도, 연마 압력 등)은 당해 분야에서 잘 특성화되어 있지만, 상기에서 언급된 결점이 있다. 제어 시스템(28)은 공정과 연관된 감지된 동작 조건들에 기초하여, 그리고 구현들을 가능하게 하는 직접 피드백 높이 결정들인 인-시츄에 기초하여, 공정의 하나 이상의 선택된 동작 파라미터들을 조정할 수 있다.
광학적 측정 시스템(30)은 웨이퍼(20)가 형성되는 동안 웨이퍼(20)의 피처의 인-시츄 높이들을 비-파괴적으로 측정하기 위해 웨이퍼(20)에 근접하여 위치되고, 제어 시스템(28)과 동작적으로 연관된다. 측정 시스템(30)은 웨이퍼 피처의 높이를 측정하도록 동작 가능한 임의의 공지된 기술을 구현할 수 있다. 예를 들어, 간섭계(interferometer) 및/또는 현미경 및 입사 광(36)은 웨이퍼(20)에 형성된 테스트 영역(34)에 위치한 캘리브레이션 피처들(32, 33)과 같은 적어도 하나의 알려진 피처를 관찰 및/또는 측정하기 위해 광학적 간섭, 편광 해석법(ellipsometry) 및/또는 산란 기술들에 이용될 수 있다. 이러한 측정들은 원하는 피처 높이를 획득하기 위해 증착 및/또는 박막 공정을 조정하기 위해 이용될 수 있다.
측정 시스템(30)은 공정 동안 측정된 캘리브레이션 피처들(32, 33)의 높이(들)을 나타내는 신호를 제공하기 위해 제어 시스템(28)에 연결될 수 있다. 제어 시스템(28)은 메모리(도시되지 않음)에 연결된 프로세서(즉, 도시되지 않은 CPU의 마이크로프로세서)를 포함할 수 있다. 제어 시스템(28)은 웨이퍼(20)의 제품 영역(42)에 형성된 제품 피처(40)(예를 들어, 박막 두께, 상호 연결 포스트 높이 등)의 높이에 관한 결정을 하기 위해 캘리브레이션 피처들(32, 33)에 대한 높이 신호들에 알려진 상관 관계를 적용한다. 제어 시스템(28)은 공정이 예상대로 진행되는지를 결정하고, 원하는 제품 피처 높이를 달성하기 위해 어떠한 조치(action)가 취해져야 하는지를 결정하도록 프로그래밍 및/또는 구성될 수 있다. 제어 시스템(28)은 프로세싱 시스템의 다양한 동작 조건의 물리적 구성 요소들에 대한 제어기들(도시되지 않음)에 동작 가능하게 결합된다. 결과적으로, 시스템(26)은 물질 증착 및 제거를 포함하는 공정 조건들을 모니터링하도록 제공한다. 높이 결정들은 제어 시스템(28)에 기초하여 데이터를 제공한다. 제어 시스템(28)은 기판에 걸쳐 균일한 두께와 같은 원하는 두께를 갖는 제품 피처를 형성하기 위해 피드백 프로세스 제어를 구현할 수 있다.
당업자라면 다른 실시예로 가능하다는 것을 쉽게 알 수 있다. 예를 들어, 시스템(26)은 동일한 기기 표면 상에 발생하는 웨이퍼(20)의 광학적 검사를 도시하지만, 또한 웨이퍼(20)는 다른 광학 검사 장소 또는 위치로 제거될 수 있다. 또한, 여기에서 개시된 테스트 구조의 구현들의 형성은 제품 바이어들의 형성 또는 연마와 동시에 이루어질 필요는 없다.
도 4b 내지 4d를 참조하면, 특정 실시예들은 도금 공정과 같은 물질 증착 공정에 대한 모니터링 및/또는 종료점 결정에 사용하기 위한 테스트 구조(44)를 제공한다. 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n) 및 제품 바이어(48)는 시드 금속 층(52) 및 ROIC 웨이퍼와 같은 디지털 및/또는 아날로그 집적 회로 웨이퍼(52)로 구성된 기판의 상부의 포토레지스트 층(50)에 형성된다.
도 4b 내지 4d에 도시된 바와 같이, 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n)은 광학적 측정 시스템(30)(또는 다른 광학적 측정 도구)으로 다른 캘리브레이션 바이어들부터 광학적으로 구별될 수 있도록 서로 충분히 먼 거리(S) 만큼 이격되어 포토레지스트 층(50) 내에 형성될 수 있다. 또한, 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n)은 정렬된 광학적 검사를 위해 배열(array)과 같은 알려진 구성으로 배열될 수 있다.
캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n) 각각은 대응하는 횡단면 치수를 가지며, 예를 들어, 폭 wc1 내지 wcn으로 표시된다. 각각의 폭, 예를 들어, wc1는 다른 캘리브레이션 바이어들(46-2 내지 46-n)의 횡단면 치수들(wc2 내지 wcn)과 상이하고, 그 내부의 도금 속도에 영향을 미친다. 특정 실시예들에서, 캘리브레이션 바이어들 중 가장 큰 바이어(46-n)는 제품 바이어(48)의 폭(wp) 보다 크지 않은 폭(wc2)을 갖는다. 더 작은 직경의 바이어는 일반적으로 큰 직경의 바이어와 거의 동일한 조건 하에서 더 빠른 속도로 도금되기 때문에, 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n) 각각은 제품 바이어(48)보다 더 빠른 속도로 도금될 것이고, 제품 피처 도금의 완료 이전에, 그리고 대략적으로 도금 진행의 표시를 제공한다. 즉, 제품 바이어(480)는 도 4d에 도시된 바와 같이 원하는 높이(H)로 도금된다.
도 4b 내지 4d는 시간(t1 내지 t3) 동안 모니터링된 도금 공정을 도시한다. 도금 공정이 진행됨에 따라, 빠른 도금 피처들, 즉 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n)이 순차적으로 과-도금(over-plate)될 것이다. 즉, 도금 물질(예를 들어, 니켈)은 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n)의 각각의 상부에 순차적으로 도금될 것이고, 도 4c의 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-2)에서 발생하고, 그리고, 도 4d의 캘리브레이션 바이어(46-n)에서 발생하는 것으로 도시되는 것과 같은 약각 "버섯 모양"이 될 것이다. 버섯 모양은 포토레지스트 층(50)의 상부 표면(55) 위로 약간 팽창함에 따라, 각각의 캘리브레이션 바이어 폭보다 측면 치수(lateral dimension)가 가 더 큰 "머리" 부분(56)을 포함한다. 각각의 버섯 머리(56)는 평탄함의 손실 뿐만 아니라, 포토레지스트 표면 상의 피처의 측면 치수들 및/또는 높이의 측정 가능한 변화로서 광학적 측정 시스템(30)(또는 다른 광학 검사 도구)에 의해 검출될 수 있다. 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n) 사이의 분리 거리(S)는 과-도금 버섯 머리(56)가 광학적으로 구별 가능하도록 유지된다.
예를 들어, 도 4c의 바이어(46-2)와 같은 캘리브레이션 바이어의 과-도금의 검출은, 대응하는 도금 높이(hc2)(포토레지스트 두께(T)와 동일한)가 달성되었음을 나타낸다. 선행 실험(즉, 도 3에 도시된 프로세스(300))은 제품 바이어(48)의 특정 제품 도금 높이(hp3)에 대한 캘리브레이션 바이어(46-2)의 도금 높이(hc2)의 달성을 캘리브레이션하는 데이터를 설립한다. 도 4d에서, 제품 바이어(48)에서 원하는 도금 높이(H)를 획득하는 것에 대응하는 것으로 알려진 캘리브레이션 바이어(46-n)가 과-도금되었음을 알 수 있다.
도금 공적의 종료점을 결정하기 위해, 제품 바이어(48)의 원하는 도금 높이(H)에 대응하는 과-도금을 갖는 하나의 캘리브레이션 바이어(46-n)만이 실제로 필요하지만, 제품 바이어(48) 도금 속도 보다 빠르고 상이한 도금 속도들을 갖는 복수의 캘리브레이션 바이어들(46)은 더 큰 모니터링 분해능 및 도금 동작 조건들에 대한 공정 내 조정을 수행할 수 있는 능력을 제공할 것이라는 점은 주목할 가치가 있다.
도 3a를 참조하면, 바이어들(46-1 내지 46-n)의 과-도금 높이들(hc1 내지 hcn) 및 제품 바이어(48) 내에 도금 높이들(hp1 내지 hpn) 사이의 캘리브레이션 데이터를 설정(establishing)하기 위한 실험 프로세스(300)는 ROIC 웨이퍼의 표면과 같은 기판이 제공되는 프로세스(305)에서 시작된다. 프로세스(310)에서, 제품 바이어(48)와 같은 의도된 제품 바이어(intended product via) 및 바이어 n 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n)은 두께(T)의 포토레지스트 층(50)에 형성될 수 있다. 프로세스(315)는 반복적인 도금 공정을 시작하며, 비-실험적 도금 공정 동안 경험할 수 있는 바와 같이, 캘리브레이션 바이어(46-1 내지 46-n) 및 제품 바이어(48)에 대한 도금 공정 동작 조건들이 대략 동일하다. 각각의 도금 사이클 후에, 프로세스(320)에서, 광학적 검사는 임의의 캘리브레이션 바이어가 과- 도금되었는지(즉, 버섯 모양을 나타내고, 높이(T)의 도금을 나타냄) 여부를 결정한다. 프로세스(325)에서, 캘리브레이션 바이어들(46) 중 하나가 버섯 모양일 때마다, 제품 바이어 도금 높이(hp)가 기록된다. 프로세스(330)에서, 이 상관 데이터가 기록되고, 각 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n)에 대한 도금 높이들(hp1 내지 hpn)를 통해 제품을 관련시키는 캘리브레이션 데이터 세트가 획득될 때까지 프로세스가 반복된다.
도 3b를 참조하면, 물질의 증착(예를 들어, 도금)을 원하는 높이로 캘리브레이션하기 위한 프로세스(350)는 프로세스(355)에서 프로세스(300)의 결과로 획득된 도금 높이 캘리브레이션 데이터 세트를 획득하는 것으로 시작된다. 프로세스(360)에서, 테스트 구조(44)와 같은 도금 구조가 제공된다. 프로세스(365)에서, 예를 들어, 제품 바이어(48) 및 하나 이상의 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n)과 같은 제품 피처들이 포토레지스트 층(50) 내의 제품 영역(42) 및 캘리브레이션 영역(34)에 각각 형성된다. 단계(370)에서, 반복적인 도금 싸이클은 제품 바이어(48) 및 캘리브레이션 바이어들(46-1 내지 46-n)에 동시에 거의 동일한 도금 조건을 제공하기 시작한다. 각각의 도금 싸이클 후에, 단계(375)에서, 캘리브레이션 바이어(46-1 내지 46-n)이 과-도금되지 않았는지 광학적으로 검사된다. 단계(380)에서, 캘리브레이션 바이어(46-n)의 높이(hpn)가 제품 바이어 높이(T)와 동일하거나 더 큰지 여부가 결정(예를 들어, 제어 시스템(28)에 의해)된다.
제품 바이어(48) 내의 원하는 제품 도금 높이와 상관되도록 미리 결정된 캘리브레이션 바이어(46-n)가 달성되지 않았다면, 다른 제품 도금 싸이클(프로세서(370)의 재수행)이 수행되고, 선택적으로 프로세스(385)에서, 도금 공정의 동작 조건들이 조정될 수 있다. 캘리브레이션 바이어(46-n)가 과-도금되면, 도금 공정이 중지된다.
도금 테스트 구조(44)를 설계할 때 몇 가지 추가적인 요인이 고려될 수 있다. 첫번째로, 바이어(51-1)가 다른 바이어들(51-2 내지 51-n)에 근접함에 의해 야기되는 전기 및/또는 화학 도금 필드의 변화가 특정 바이어의 도금 속도에 영향을 미칠수 있다는 것이 알려져 있다. 도 5b는 유사한 치수들의 바이어들에서 관찰된 바와 같이, 이러한 필드 변화들에 기인하는 도금 높이의 결과적인 차이들을 나타낸다. 캘리브레이션 바이어들(51-1 내지 51-n)은 이러한 현상에 기인하는 도금 속도 효과들을 감소시키거나 증가시키기 위해 적절한 간격으로 분별력있게 배치될 수 있다. 또한, 도 6a 내지 6d에 도시된 바와 같이, 큰 바이어보다 더 빠른 속도로 더 작은 치수의 바이어들 플레이트가 일반적으로 그렇지만, 예를 들어, 캘리브레이션 바이어(61-n) 또는 제품 바이어(63)와 비교할 때 캘리브레이션 바이어들(61-1 및 61-2)과 같이 좁고, 높은 종횡비의 바이어들은 도금 반응물의 확산을 억제할 수 있다는 것도 알려져 있다. 따라서, 이러한 치수적인 특성들을 갖는 바이어들은 도 6b 내지 6d에 도시된 바와 같이, 큰 바이어들보다 느린 속도로 실제로 도금될 수 있다. 높은 종횡비의 바이어(61-1)는 낮은 종횡비의 바이어들(61-2 내지 61-n) 및 제품 바이어(63)보다 느리게 도금된다. 또 다른 테스트 구조(44)의 설계 고려 사항이 도 7에 도시되어 있고, 여기서 도금 전류는 "단자 효과(terminal effect)"로 치칭되는 중심 바이어(들)(64)보다 테스트 구조 배열(44)에서 엣지 바이어들(60, 62)에 보다 쉽게 도달할 수 있다는 것이 관찰되었다. 예를 들어, 중심 바이어(64)를 둘러싸는 엣지 바이어들(60, 62)은 중심 바이어(64)로 향하는 도금 전류를 감소시킬 수 있어, 도금 높이를 단축시킨다. 이러한 요소들의 각각은 도금 조건들에 보다 민감한 캘리브레이션 바이어 테스트 구조를 설계하는데 전력적으로 이용될 수 있다. 일단 설계가 수정되면, 상기에서 설명한대로 캘리브레이션 데이터는 실험적으로 수집된다.
증착 캘리브레이션 방법들의 중요한 이점들은 시각적 검사 및 제품 높이 결정이 포토레지스트를 제거할 필요없이 이루어진다는 것이다. 도금 단계 후에, 원하는 제품 바이어 높이에 도달하지 않은 경우, 웨이퍼는 원하는 높이가 달성될 때까지 재작업을 위해 도금 용액으로 복귀될 수 있다.
도 8a 내지 8d는 인-시츄 테스트 구조(66)의 구현 및 CMP 공정과 같은 반도체 웨이퍼 박막화 공정을 캘리브레이션 하는데 특히 유용한 방법을 도시한다. CMP 공정은 증착 층(68)으로부터 물질을 평탄화하고 제거하는 프로세스를 포함한다. 증착 층(68)은 제품 포스트(70)(예를 들어, Ni)와 같은 제품 특징이 드러날 때까지, SiO2와 같은 절연 물질 및 그 안에 매립된 피처들을 포함할 수 있다. 적절한 결합을 가능하게 하는 웨이퍼 구조를 산출하기 위해 제품 포스트(70)가 드러나는 시점에서 가능한한 정확히 CMP 공정을 중단시키는 것이 바람직하다. 전술한 바와 같이, 종래의 CMP 공정 제어는 증착 층(68) 및 제품 포스트(70)의 원하는 최종적인 원하는 높이(H)를 목표로 하기 위해 시간 설정된 CMP 속도를 이용한다. 시간 프로세스는 아래의 집적 회로 층(72)(예를 들어, ROIC 웨이퍼 층)으로부터의 광 간섭으로 인해 실제 높이를 확인할 방법을 제공하지 못한다.
테스트 구조(66)는 증착 층(68)의 캘리브레이션 영역(74) 내에 형성되고, 캘리브레이션 포스트들(76-1 내지 76-n)와 같은 적어도 하나이지만, 바람직하게는 복수의 이격된 가변 높이 캘리브레이션 피처에 의해 형성된다. 제품 포스트(70)는 캘리브레이션 영역(74)과는 다른 증착 층(68)의 제품 영역(78)에 형성된다. 캘리브레이션 포스트들(76-1 내지 76-n)의 각각은 다른 캘리브레이션 포스트들과 다른 대응하는 높이(hc1 내지 hcn)를 가지며, 캘리브레이션 포스트 높이들 중 하나(예를 들어, hcn)는 증착 층 및 그 안에 매립된 피처들에 대해 요구된 후-연마 높이(H)와 대략 동일하다. 가변 높이들(hc1 또는 hcn)은 포토레지스트 층에 가변 횡단면 폭들(wc1 내지 wcn)의 복수의 바이어들을 도금하여 캘리브레이션 포스트를 형성함으로써 달성될 수 있다. 전술한 바와 같이, 보다 작은 횡단면 치수를 갖는 바이어들은 통상적으로 동일한 도금 조건들 하에서 큰 횡단면 치수를 갖는 바이어들 보다 빠른 속도로 도금된다. 캘리브레이션 포스트 바이어들을 형성한 후에, 형성된 포스트들 중 하나(예를 들어, 포스트(76-n))가 원하는 최종 높이(H)와 대략 동일한 높이를 갖도록 예상되는 기간 동안 도금 동작이 수행된다. 캘리브레이션 포스트 형성 공정은 또한 공핍 기술들(depletion techniques)을 이용하여 피처들을 강조할 수 있다. 가변 높이 캘리브레이션 포스트들(76-1 내지 76-n)은 바람직하게 광학적 측정 시스템(30)(또는 Wyko 3D 간섭계와 같은 다른 광학적 검사 툴)과 광학적으로 구별될 수 있도록 서로 충분히 멀리 이격될 수 있고, 연속적인 연마 동작들 후에 연마된 표면(80)에서의 각각의 드러남(revelation)이 예측 가능한 진행(progression)에서 발생하도록 어레이와 같은 알려진 패턴으로 구성될 수 있다.
가변 높이 캘리브레이션 포스트들(76-1 내지 76-n)이 포토레지스트 층(68)에 형성된 후에, 포토레지스트가 벗겨지고, 캘리브레이션 포스트의 각각의 높이들(hc1 내지 hcn)가 측정될 수 있다. 광학적 측정 시스템(30)은 이 측정을 수행할 수 있고, 측정된 높이들(hc1 내지 hcn)은 캘리브레이션 포스트들(76-1 내지 76-n)에 매핑되고 제어 시스템(28)에 의해 저장될 수 있다.
도 9를 추가로 참조하면, 연마된 웨이퍼 층의 높이의 감소를 인-시츄로 캘리브레이션하는 방법(900)의 실시예가 설명될 것이다. 프로세스(905)에서, 집적 회로(72)의 표면과 같은 기판은 대응하는 알려진 높이들(hc1 내지 hcn)을 갖는 하나 이상의 캘리브레이션 포스트들(76-1 내지 76-n)로 구성된 테스트 구조(66)를 구비한다. 제품 포스트(70)와 같은 제품 피처가 기판 상에 형성된 후(프로세스(910)), 캘리브레이션 포스트 높이들의 하나(예를 들어, 포스트(76-n))는 프로세스(915)에서 증착된 증착 층(68)에 대해 원하는 최종 높이(H)와 대략 동일한 높이이다. 증착 층(68)은 제품 포스트(70) 및 모든 캘리브레이션 포스트들(76-1 내지 76-n)을 전부 코팅하지만, 캘리브레이션 포스트들은 측정 시스템(30)에 의해 맵핑된 위치들(도 8a 내지 8d에서 도시된 바와 같이 거친 표면 영역(Sc1 내지 Scn)으로 나타나는)에서 시각적으로 관찰될 수 있다.
프로세스들(920 및 925)에서, 반복적 연마(예를 들어, CMP) 및 켈리브레이션 포스트 높이 시각적 검사 프로세스가 수행된다. 도 8a 내지 8d는 4개의 별개의 시간(t1 내지 t4)에서의 연속적인 연마 동작들의 물질 층(68), 캘리브레이션 포스트들(76-1 내지 76-n) 및 제품 포스트(70)에 대한 영향을 도시한다. CMP가 진행됨에 따라, 작업자는 캘리브레이션 포스트 표면 영역들(Sc1 내지 Scn)을 시각적으로 관찰할 수 있다. 포스트들이 연마된 표면(80)에서 드러남에 따라, 이들은 평탄하게 된다. 특정 캘리브레이션 포스트 표면(Scn)(예를 들어)의 소거(clearing) 또는 평탄화된 외관은 캘리브레이션 포스트(hcn)의 알려진 높이의 달성을 나타내고, 이는 또한 증착 층(68) (및 제품 포스트(70), 표면(80)에서 연마를 위해 유사하게 또는 이전에 노출된 경우)에 남아있는 현재 높이 (또는 두께)이다. 프로세스(930)에서, 현재 관찰된 캘리브레이션 포스트 높이(hcn)에 기초하여, 증착 층 및 매립된 피처들에 대해 원하는 높이(H)가 달성되었는지 여부가 결정된다. 그렇지 않다면, CMP 공정은 연마 동작 조건들에 대한 임의의 조정(프로세스(935))의 유무에 관계 없이 원하는 높이(H) 또는 두께가 달성될 때까지 진행된다.
도 10a 내지 10d는 일 예에 따른, 캘리브레이션 포스트들(76)의 거친 표면 및 평탄한 표면들(Sm1 내지 Scn) 사이의 차이를 나타내는 현미경 사진이다. 도 10a 및 10b는 절연 층 표면(80)(도 8a와 같은)을 제거하지 않은 상부 캘리브레이션 포스트들로부터 취해진 사진들을 도시한다. 매립된 포스트들은 관찰 가능하지만, 포스트들이 연마에 아직 노출되지 않았기 때문에, 각각의 상부 표면(Sc1 내지 Scn)은 거칠게 나타난다. 대안적으로, 도 10c 및 10d는 캘리브레이션 포스트들 노출된 상부 표면들(예를 들어, 도 8d에 도시된 바와 같이)에 대한 CMP 패드 연마의 관측 가능한 평탄화 효과를 도시한다.
이러한 실시예들의 중요한 이점은 포스트들의 광학적 검사가 CMP 싸이클 직후, 비가역적인 과-연마가 발생하기 전에 인-시츄로 수행될 수 있다.
다양한 특정 실시예들 및 예시적인 특징들이 설명되었지만, 첨부된 청구항들에 의한 경우를 제외하고는 본 발명이 제한되지 않으며, 변화들, 변형들 및 다른 실시예들이 고려되고, 넓게 해석되어야 한다. 여기에 이용된 요소, 행위 또는 지시는 명시적으로 기술되지 않는 한 중요하거나 필수적인 것으로 해석되어서는 안된다. 또한, 본 명세서에서 이용된 바와 같이, "하나"라는 용어는 하나 이상의 아이템을 포함하도록 의도되며, "하나 또는 그 이상"과 상호교환 가능하게 사용될 수 있다. 또한, 여기에서 사용된 바와 같이, "갖는", "가지다" 등의 용어는 제한 없는 용어도 의도된다. 또한 "~에 기초하는"이라는 문구는 다르게 명시되지 않는 한, "적어도 부분적으로 기초하여"를 의미하는 것으로 의도된다.

Claims (30)

  1. 물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션(in-situ calibrating)하는 방법은,
    동일한 증착 조건들 하에서, 기판 상에 포토레지스트 층에 형성된 적어도 하나의 제1 캘리브레이션 바이어 및 제품 피처 각각 내에 물질을 증착하는 단계 - 상기 제1 캘리브레이션 바이어는, 상기 물질이 동일한 조건들 하에서 제품 피처 및 상기 제1 캘리브레이션 바이어 모두 내에 증착되는 경우, 제1 캘리브레이션 바이어 내의 상기 물질의 높이가 상기 제품 피처 내의 상기 물질의 높이가 선택된 높이에 도달하는 것과 동일한 증착 시간에서 상기 포토레지스트 층의 높이를 초과하는, 횡단면 치수를 갖음 -;
    상기 제1 캘리브레이션 바이어에 증착된 상기 물질의 높이가 상기 포토레지스트 층의 높이를 초과하는지 여부를 결정하는 단계;
    상기 제1 캘리브레이션 바이어에 증착된 상기 물질의 높이가 상기 포토레지스트 층의 상기 높이를 초과하면 상기 증착을 중단하고, 그렇지 않으면 상기 증착 및 상기 높이 결정을 반복하는 단계
    를 포함하는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 캘리브레이션 바이어에 증착된 상기 물질의 높이가 상기 포토레지스트 층의 높이를 초과하는지 여부를 결정하는 단계는,
    상기 제1 캘리브레이션 바이어에 증착된 상기 물질의 상기 높이가 상기 포토레지스트 층의 상기 높이를 초과하는 경우 광학적으로 식별하는 단계
    를 포함하는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 캘리브레이션 바이어 내에 증착된 상기 물질의 상기 높이를 광학적으로 식별하는 단계는,
    상기 포토레지스트 층의 상기 높이에 증착된 상기 물질의 평탄하지 않은 효과(unsmoothed effect) 및 그에 의해 형성된 피처(feature)의 치수(dimensional) 증가 중 적어도 하나를 관찰하는 단계
    를 포함하는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법
  4. 제1항에 있어서,
    추가 캘리브레이션 바이어들에 대한 추가 횡단면 치수들을 결정하는 단계 - 상기 추가 캘리브레이션 바이어들은, 캘리브레이션 바이어들의 각각의 상기 물질의 높이 주어진 증착 시간 및 증착 조건들에서 상기 제품 피처 내의 상기 물질의 높이 보다 크도록, 상기 제1 캘리브레이션 바이어 및 다른 추가 캘리브레이션 바이어들의 각각과 상이한 치수들을 갖고, 동일한 증착 조건들 하에서 각각의 캘리브레이션 바이어에 증착된 상기 물질이 상기 포토레지스트의 상기 높이를 초과하는 경우, 상기 제품 피처 내에 증착된 상기 물질에 대해 알려진 높이가 표시됨 -;
    상기 추가로 결정된 횡단면 치수들을 갖는 상기 추가 캘리브레이션 바이어들을 상기 포토레지스트 층의 테스트 영역 내에 형성하는 단계; 및
    상기 추가 캘리브레이션 바이어들에 증착되고 상기 포토레지스트 층의 상기 높이를 초과하는 상기 물질의 관찰을 통해, 상기 제품 피처 내에 증착된 상기 물질의 상기 높이를 모니터링하는 단계
    를 더 포함하는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 캘리브레이션 바이어 및 상기 추가 캘리브레이션 바이어들은 광학적으로 구별될 수 있도록 충분히 이격되어 있는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 캘리브레이션 바이어가 상기 추가 캘리브레이션 바이어들의 측면에 위치하는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 물질을 증착하는 단계는,
    물질 도금 공정을 포함하는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 테스트 영역은 제품 영역으로부터 충분히 이격되어 증착 속도를 변화시키는 필드 효과들을 감소시키는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 캘리브레이션 바이어에 증착된 상기 물질의 상기 높이가 상기 포토레지스트 층의 상기 높이를 초과하지 않는다는 결정에 응답하여, 상기 증착의 공정의 동작 조건들을 조정하는 단계
    를 더 포함하는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    기판을 제공하는 단계;
    상기 기판 상에 포토레지스트 층을 증착하는 단계;
    상기 포토레지스트 층의 제품 영역 내에 상기 포토레지스트 층의 높이를 통해 연장되는 제품 피처를 형성하는 단계;
    상기 제1 캘리브레이션 바이어의 상기 횡단면 치수를 결정하는 단계;
    상기 제품 영역과 상이한 상기 포토레지스트 층의 테스트 영역 내에, 상기 결정된 횡단면 치수를 갖는 상기 제1 캘리브레이션 바이어를 형성하는 단계
    를 더 포함하는,
    물질 증착 공정을 인-시츄 캘리브레이션하는 방법.
  11. 반도체 웨이퍼 상에 증착된 물질의 높이의 인-시츄 모니터링을 위한 테스트 구조에 있어서, 상기 테스트 구조는,
    상기 증착된 물질의 두께를 통해, 연장되는 제품 피처를 포함하는 상기 증착된 물질 내의 제품 영역;
    상기 제품 영역과 구별되는 상기 증착된 물질 내의 캘리브레이션 영역; 및
    상기 증착된 물질의 상기 두께를 통해 연장되는 적어도 하나의 캘리브레이션 바이어
    를 포함하고,
    상기 적어도 하나의 제1 캘리브레이션 바이어는, 상기 물질이 동일한 조건들 하에서 상기 제품 피처 및 상기 적어도 하나의 제1 캘리브레이션 바이어에 증착되는 경우, 상기 적어도 제1 캘리브레이션 바이어 내의 상기 물질의 높이가 상기 제품 피처 내의 상기 물질의 높이가 원하는 높이에 도달하는 것과 동일한 증착 시간에서 포토레지스트 층의 높이를 초과하는, 횡단면 치수를 갖는,
    테스트 구조.
  12. 웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법은,
    서로 다른 알려진 높이들의 복수의 캘리브레이션 피처들을 기판의 테스트 영역에 형성하는 단계 - 상기 알려진 높이들 중 적어도 하나는 증착된 물질 층에 대한 원하는 최종 높이와 동일한 높이임 -;
    상기 기판의 제품 영역 상에 제품 피처를 형성하는 단계;
    상기 물질 층의 높이가 상기 증착된 물질 층에 대한 원하는 최종 높이 및 상기 복수의 캘리브레이션 피처들의 높이 보다 크도록, 상기 제품 피처 및 상기 복수의 캘리브레이션 피처들 상에 상기 물질을 증착하는 단계 - 상기 캘리브레이션 피처들은 상기 증착된 물질 층을 통해 시각적으로 관찰될 수 있음 -;
    서의 동일한 연마 조건들 하에서, 상기 물질 층의 상기 테스트 영역 및 상기 제품 영역을 연마하는 단계
    하나 이상의 캘리브레이션 피처들의 거침으로부터 평탄으로의 변화들의 광학적 관찰을 통해 상기 물질 층이 연마된 높이를 결정하는 단계 - 특정 캘리브레이션 피처 외관의 거침으로부터 평탄으로의 각각 변화는 상기 물질 층 높이가 상기 특정 캘리브레이션 피처의 알려진 높이로의 감소를 나타냄 -;
    를 포함하는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    결정된 물질 층 높이가 원하는 높이로 감소된 경우, 연마를 중지시키는 단계
    를 더 포함하는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    서로 다른 알려진 높이들의 캘리브레이션 피처들을 형성하는 단계는,
    상기 기판 상의 포토레지스트 내에 서로 다른 횡단면 치수들의 대응하는 복수의 바이어들을 형성하는 단계;
    상기 복수의 바이들 중 임의의 바이어 내에 과-충전을 야기하는 것보다 적은 시간 증착 시간 동안, 상기 복수의 바이어들 내로 동일한 증착 조건들 하에서 물질을 증착하는 단계;
    상기 포토레지스트를 벗기는 단계;
    상기 복수의 캘리브레이션 피처들의 높이들을 광학적으로 측정하는 단계
    를 포함하는
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 증착된 물질 층은 산화물 층을 포함하는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 캘리브레이션 피처들 및 제품 피처의 적어도 하나는 금속 포스트로 구성되는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  17. 제12항에 있어서,
    상기 물질 층이 연마된 높이를 결정하는 것에 응답하여, 상기 연마의 공정의 동작 조건들을 조정하는 단계
    를 더 포함하는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  18. 웨이퍼 연마의 인-시츄 모니터링을 위한 테스트 구조에 있어서, 상기 테스트 구조는,
    원하는 최종 높이 보다 높은 초기 높이를 갖고, 제품 영역 및 테스트 영역을 포함하는 기판 상에 증착된 물질 층 - 상기 제품 영역은 상기 기판 상에 그리고 상기 증착된 물질 층의 아래에 패턴화된 제품 피처를 포함함 -; 및
    상기 증착된 물질 층의 상기 초기 높이 아래의 상기 테스트 영역 내의 상기 기판 상에 형성되고, 서로 다른 알려진 높이들의 복수의 캘리브레이션 피처들 - 상기 알려진 높이들 중 적어도 하나는 상기 증착된 물질 층에 대한 원하는 최종 높이와 동일한 높이임 -
    을 포함하고,
    상기 캘리브레이션 피처들은 상기 증착된 물질 층의 상기 물질을 통해 광학적으로 관찰될 수 있어서, 연마의 결과로서 특정 캘리브레이션 피처의 상부 표면의 노출이 거침으로부터 평탄으로의 변화로서 관찰될 수 있고, 상기 특정 캘리브레이션 피처의 상부 표면의 노출은 상기 특정 캘리브레이션 피처의 상기 알려진 높이에 대한 상기 증착된 물질 층 높이의 대응하는 감소를 나타내는,
    테스트 구조.
  19. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 캘리브레이션 피처들은 상기 테스트 영역 상에 동시에 형성되는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  20. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 캘리브레이션 피처들은 다른 횡단면 치수들로 형성된 바이어들인,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  21. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 캘리브레이션 피처들은 고정된 설계(design)로 배열되고,
    상기 알려진 높이들은 상기 고정된 설계에 기초하여 실험적으로 수집된 캘리브레이션 데이터에 기초하여 결정되고,
    각각의 높이가 상이하도록 동일한 도금 조건들 하에서 더 작은 횡단면 치수 바이어가 더 큰 횡단면 치수 바이어 보다 더 빠르게 형성되는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  22. 제21항에 있어서,
    현재의 높이, 원하는 높이까지 남은 깊이, 및 상기 캘리브레이션 데이터에 기초하여 상기 동일한 조건들을 조정하는 단계
    를 더 포함하는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 결정하는 단계는 과-연마 전에 발생하고,
    동일한 연마 조건들의 조정은 시간, 온도, 화학적 농도, 연마 압력 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  24. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 캘리브레이션 피처들은 광학적으로 구별될 수 있도록 충분히 멀리 이격된 포스트들이고, 상기 제품 피처는 포스트인,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  25. 제12항에 있어서,
    상기 물질 층은 상기 복수의 캘리브레이션 피처들을 전체적으로 코팅하는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  26. 제12항에 있어서,
    상기 캘리브레이션 피처들의 폭들은 상기 제품 피처의 폭 보다 크지 않은,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  27. 제12항에 있어서,
    상기 캘리브레이션 피처들의 적어도 하나는, 좁은 폭을 갖는 바이어 내에 형성되고, 상기 좁은 폭 보다 더 큰 측면 치수(larger lateral dimension)를 갖는 머리 부분을 형성하도록 과-도금되고, 상기 머리 부분이 광학적으로 구별될 수 있는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  28. 웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법은,
    각각의 포스트가 각각의 바이어 내에 형성되는 복수의 캘리브레이션 포스트들에 대한 고정된 설계(fixed design)를 배열하는 단계 - 보다 작은 횡단면 치수 바이어들 내의 상기 캘리브레이션 포스트들은 동일한 도금 조건 하에서 더 큰 횡단면 치수 바이어들 내의 상기 캘리브레이션 포스트들 보다 더 빠른 속도로 형성됨 -;
    원하는 도금 조건들 하에서 상기 고정된 설계에 대한 캘리브레이션 데이터를 실험적으로 결정하는 단계 - 상기 캘리브레이션 데이터는 상기 캘리브레이션 포스트들이 복수의 원하는 최종 높이들에 도달하는 시간의 기간(periods of time)을 나타냄 -;
    상기 원하는 도금 조건들을 이용하여 기판의 테스트 영역 내에 상기 복수의 캘리브레이션 피처들을 형성하는 단계 - 상기 캘리브레이션 피처들은 상기 캘리브레이션 데이터에 기초하여 알려진 상이한 알려진 높이들을 갖고, 상기 상이한 알려진 높이들 중 적어도 하나는 물질 층에 대한 타겟 최종 높이임 -;
    상기 기판의 제품 영역 내에 제품 피처를 형성하는 단계;
    상기 물질 층의 높이가 상기 물질 층의 타겟 최종 높이 보다 더 커서, 상기 물질 층을 통해 상기 캘리브레이션 피처들이 시각적으로 관찰될 수 있도록 상기 제품 피처 및 상기 복수의 캘리브레이션 피처들 상에 상기 물질 층을 증착하는 단계;
    동일한 연마 조건 하에서 상기 테스트 영역 및 상기 제품 영역을 연마하는 단계; 및
    상기 타겟 최종 높이를 갖는 적어도 하나의 캘리브레이션 피처의 변화를 광학적으로 관찰함으로써 상기 물질 층이 연마된 실제 높이를 결정할 때 연마를 중지하는 단계
    를 포함하는,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 광학적 관찰은 거친 형상으로부터 평탄 형상으로의 전이하는 상기 타겟 최종 높이를 갖는 적어도 하나의 캘리브레이션 피처인,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
  30. 제28항에 있어서,
    상기 타겟 최종 높이를 갖는 상기 적어도 하나의 캘리브레이션 피처는 원위-머리(distal head)를 갖는 버섯-형이고, 상기 광학적 관찰은 상기 원위 머리의 제거인,
    웨이퍼 연마 공정의 인-시츄 캘리브레이션 방법.
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