KR102169295B1 - Autoclave Apparatus for Defoamation - Google Patents
Autoclave Apparatus for Defoamation Download PDFInfo
- Publication number
- KR102169295B1 KR102169295B1 KR1020190025278A KR20190025278A KR102169295B1 KR 102169295 B1 KR102169295 B1 KR 102169295B1 KR 1020190025278 A KR1020190025278 A KR 1020190025278A KR 20190025278 A KR20190025278 A KR 20190025278A KR 102169295 B1 KR102169295 B1 KR 102169295B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- opening
- closing
- fixing chamber
- closed position
- defoaming
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/04—Pressure vessels, e.g. autoclaves
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B2038/0052—Other operations not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
본 발명은 필름이 부착된 기판을 지지하기 위한 하부고정챔버; 상기 하부고정챔버로부터 상방으로 이격되어 배치된 상부고정챔버; 상기 하부고정챔버와 상기 상부고정챔버가 고정되도록 상기 하부고정챔버와 상기 상부고정챔버에 결합된 고정부; 상하방향을 기준으로 하여 상기 하부고정챔버와 상기 상부고정챔버의 사이에 배치된 탈포공간을 개폐시키기 위한 개폐부; 및 상기 개폐부가 상기 탈포공간을 밀폐시키는 밀폐위치와 상기 개폐부가 상기 탈포공간을 개방시키는 개방위치 간에 이동하도록 상기 개폐부를 승하강시키는 승강부를 포함하는 탈포용 오토클레이브 장치에 관한 것이다.The present invention is a lower fixing chamber for supporting a substrate to which a film is attached; An upper fixing chamber disposed to be spaced upward from the lower fixing chamber; A fixing part coupled to the lower fixing chamber and the upper fixing chamber so that the lower fixing chamber and the upper fixing chamber are fixed; An opening/closing part for opening and closing a defoaming space disposed between the lower fixing chamber and the upper fixing chamber based on the vertical direction; And it relates to a degassing autoclave device comprising a lifting unit for lifting the opening and closing portion so as to move between the opening and closing portion sealing the defoaming space and an open position for opening the defoaming space.
Description
본 발명은 기판과 필름 사이의 기포를 제거하기 위한 탈포용 오토클레이브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an autoclave device for defoaming for removing air bubbles between a substrate and a film.
일반적으로 액정표시장치(LCD, Liquid Crystal Display), 유기발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 전기영동표시장치(EPD, Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치, 및 태양전지 등은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정에는 기판(Substrate)에 필름(Film)을 부착하는 필름부착공정이 포함된다. 예컨대, 액정표시장치는 기판에 편광필름을 부착하는 필름부착공정을 거쳐 제조될 수 있다.In general, displays such as liquid crystal display (LCD), organic light emitting diodes (OLED), plasma display panels (PDP), electrophoretic displays (EPD), etc. Devices, solar cells, and the like are manufactured through various processes. This manufacturing process includes a film attachment process in which a film is attached to a substrate. For example, a liquid crystal display device may be manufactured through a film attaching process of attaching a polarizing film to a substrate.
이와 같은 필름부착공정이 완료되면, 기판 및 필름 사이에 존재하는 기포를 제거하는 탈포공정이 이루어진다. 이러한 탈포공정을 수행함에 있어서, 탈포용 오토클레이브 장치가 이용된다. 탈포용 오토클레이브 장치는 필름부착공정을 통해 필름이 부착된 기판을 소정 시간 동안 고온, 고압으로 유지시킴으로써, 기판 및 필름 사이의 기포를 제거한다.When such a film attaching process is completed, a defoaming process is performed to remove air bubbles existing between the substrate and the film. In performing such a defoaming process, an autoclave device for defoaming is used. The degassing autoclave apparatus removes air bubbles between the substrate and the film by maintaining the substrate to which the film is attached through the film attaching process at high temperature and high pressure for a predetermined period of time.
도 1은 종래 기술에 따른 탈포용 오토클레이브 장치의 개략적인 측단면도이다.1 is a schematic side cross-sectional view of an autoclave apparatus for defoaming according to the prior art.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(100)는 승강챔버(110), 및 승강유닛(120)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the
상기 승강챔버(110)는 필름이 부착된 기판(200)을 지지하는 것이다. 상기 승강챔버(110)는 상하방향으로 상부본체(130)와 하부본체(140)의 사이에 배치된다. 상기 필름이 부착된 기판(200)은 상기 승강챔버(110)에 형성된 탈포홈(111)에 삽입되어서 상기 승강챔버(110)에 지지된다. 상기 탈포홈(111)은 상기 승강챔버(110)의 상면에 형성된다. 상기 승강챔버(110)의 상면은 상기 상부본체(130)를 향하는 면(面)이다.The
상기 승강유닛(120)은 상기 승강챔버(110)를 승하강시키는 것이다. 상기 승강유닛(120)이 상기 승강챔버(110)를 하강시키면, 상기 승강챔버(110)는 상기 상부본체(130)로부터 이격된다. 이 상태에서 상기 필름이 부착된 기판(200)이 상기 승강챔버(110)에 지지되도록 운반된다. 그 후, 상기 승강유닛(120)이 상기 승강챔버(110)를 상승시키면, 상기 승강챔버(110)는 상기 상부본체(130)에 접촉된다. 이에 따라, 상기 탈포홈(111)이 밀폐된 상태에서 상기 필름이 부착된 기판(200)에 대한 탈포공정이 이루어진다. 상기 탈포공정이 완료된 후에 상기 승강유닛(120)이 상기 승강챔버(110)를 하강시키면, 상기 탈포공정이 완료된 기판(200)이 상기 승강챔버(110)로부터 이탈되도록 운반된다.The
여기서, 상기 탈포공정이 이루어지는 과정에서 상기 탈포홈(111)의 내부압력이 증가하는데, 상기 내부압력은 상기 승강챔버(110)를 하강시키는 방향으로 작용한다. 상기 내부압력으로 인해 상기 승강챔버(110)가 하강하면 상기 탈포홈(111)에 대한 밀폐가 해제되므로, 상기 탈포공정이 완료된 기판(200)의 품질이 저하된다.Here, in the process of performing the defoaming process, the internal pressure of the
이를 방지하기 위해, 종래 기술에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(100)는 상기 승강챔버(110)에 작용하는 내부압력을 견딜 수 있도록 상기 승강챔버(110)에 대한 지지력을 보강하기 위한 별도의 구성품을 상기 승강유닛(120)에 결합시키거나 상기 승강유닛(120)과는 별개로 상기 승강챔버(110)를 지지하는 별도의 구성품을 구비하여야 하는 문제가 있다.In order to prevent this, the
본 발명은 상술한 바와 같은 요구를 해결하고자 안출된 것으로, 탈포공정이 이루어지는 과정에서 내부압력으로 인해 탈포공정이 완료된 기판의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있는 탈포용 오토클레이브 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention has been conceived to solve the above-described requirements, and is to provide an autoclave device for degassing that can prevent the quality of the substrate on which the degassing process is deteriorated due to internal pressure during the degassing process. .
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the problems as described above, the present invention may include the following configuration.
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치는 필름이 부착된 기판을 지지하기 위한 하부고정챔버; 상기 하부고정챔버로부터 상방으로 이격되어 배치된 상부고정챔버; 상기 하부고정챔버와 상기 상부고정챔버가 고정되도록 상기 하부고정챔버와 상기 상부고정챔버에 결합된 고정부; 상하방향을 기준으로 하여 상기 하부고정챔버와 상기 상부고정챔버의 사이에 배치된 탈포공간을 개폐시키기 위한 개폐부; 및 상기 개폐부가 상기 탈포공간을 밀폐시키는 밀폐위치와 상기 개폐부가 상기 탈포공간을 개방시키는 개방위치 간에 이동하도록 상기 개폐부를 승하강시키는 승강부를 포함할 수 있다.An autoclave device for defoaming according to the present invention includes a lower fixing chamber for supporting a substrate to which a film is attached; An upper fixing chamber disposed to be spaced upward from the lower fixing chamber; A fixing part coupled to the lower fixing chamber and the upper fixing chamber so that the lower fixing chamber and the upper fixing chamber are fixed; An opening/closing part for opening and closing a defoaming space disposed between the lower fixing chamber and the upper fixing chamber based on the vertical direction; And an elevating part for raising and lowering the opening/closing part so that the opening/closing part moves between a closed position sealing the defoaming space and an open position for opening the defoaming space.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.
본 발명은 탈포공정이 이루어지는 과정에서 내부압력이 증가하더라도 하부고정챔버와 상부고정챔버가 견고하게 견딜 수 있는 구조로 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명은 탈포공정에 대한 안정적인 공정환경을 구현함으로써, 탈포공정이 완료된 기판에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. The present invention may be implemented in a structure in which the lower fixing chamber and the upper fixing chamber can withstand even if the internal pressure increases during the degassing process. Accordingly, the present invention can improve the quality of the substrate on which the defoaming process is completed by implementing a stable process environment for the defoaming process.
본 발명은 탈포공정이 이루어지는 과정에서 증가하는 내부압력을 견디기 위한 별도의 구성품 없이도, 탈포공정에 대한 안정적인 공정환경을 구현할 수 있다. 따라서, 본 발명은 구성품의 수를 줄여서 유지보수 작업의 주기를 늘릴 수 있으므로, 운영비용을 줄일 수 있다. The present invention can implement a stable process environment for the degassing process without a separate component for withstanding the internal pressure increased during the degassing process. Accordingly, the present invention can reduce the number of components and increase the period of maintenance work, thereby reducing operating costs.
본 발명은 탈포공정이 이루어지는 과정에서 증가하는 내부압력을 견디기 위한 별도의 구성품이 동작하는 공정과 시간을 생략할 수 있으므로, 탈포공정이 완료될 때까지 걸리는 공정시간을 단축할 수 있다. 따라서, 본 발명은 가동률 증대를 통해 탈포공정이 완료된 기판에 대한 생산성을 증대시킬 수 있다.In the present invention, since a process and time for operating a separate component to withstand an increased internal pressure during the degassing process can be omitted, the process time taken until the degassing process is completed can be shortened. Accordingly, the present invention can increase the productivity of the substrate on which the degassing process is completed by increasing the operation rate.
도 1은 종래 기술에 따른 탈포용 오토클레이브 장치의 개략적인 측단면도
도 2는 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치의 개략적인 사시도
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치를 도 2의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 5는 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치를 도 3의 Ⅱ-Ⅱ 선을 기준으로 나타낸 개략적인 평단면도
도 6 내지 도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 있어서 도 3의 A 부분을 확대하여 나타낸 개략적인 측단면도
도 10 내지 도 13은 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 있어서 도 4의 B 부분을 확대하여 나타낸 개략적인 측단면도
도 14는 도 6에 도시된 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 있어서 지지부재가 분리 가능하게 결합된 변형 실시예를 나타낸 개략적인 측면도
도 15는 도 10에 도시된 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치에 있어서 지지부재가 분리 가능하게 결합된 변형 실시예를 나타낸 개략적인 측면도
도 16 및 도 17은 본 발명의 제2실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치를 도 2의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도1 is a schematic side cross-sectional view of an autoclave device for defoaming according to the prior art
2 is a schematic perspective view of an autoclave device for defoaming according to the present invention
3 and 4 are schematic side cross-sectional views showing the autoclave device for defoaming according to the present invention based on line II of FIG. 2
5 is a schematic plan sectional view showing the autoclave device for defoaming according to the present invention based on the line II-II of FIG. 3
6 to 9 are schematic side cross-sectional views showing enlarged portions A of FIG. 3 in the degassing autoclave apparatus according to the first embodiment of the present invention;
10 to 13 are schematic side cross-sectional views showing an enlarged portion B of FIG. 4 in the degassing autoclave apparatus according to the first embodiment of the present invention;
14 is a schematic side view showing a modified embodiment in which the support member is detachably coupled in the degassing autoclave device according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 6
15 is a schematic side view showing a modified embodiment in which the support member is detachably coupled in the degassing autoclave device according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 10
16 and 17 are schematic side cross-sectional views showing an autoclave device for defoaming according to a second embodiment of the present invention based on line II of FIG. 2
이하에서는 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of an autoclave device for defoaming according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 탈포용 오트클레이브 장치(1)는 액정표시장치(LCD), 유기발광표시장치(OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 전기영동표시장치(EPD) 등의 디스플레이장치, 태양전지, 조명장치 등을 제조하기 위한 제조공정에 이용되는 것이다. 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제조공정에 있어서 서로 부착된 기판과 필름 사이에 존재하는 기포를 제거하는 탈포공정을 수행한다. 예컨대, 액정표시장치를 제조하기 위한 제조공정인 경우, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 서로 부착된 기판 및 편광필름 사이에 존재하는 기포를 제거할 수 있다.2 to 4, the
이를 위해, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 필름이 부착된 기판(200)을 지지하기 위한 하부고정챔버(2), 상기 하부고정챔버(2)로부터 상방으로 이격되어 배치된 상부고정챔버(3), 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)를 고정하는 고정부(4), 탈포공간(10)을 개폐시키기 위한 개폐부(5), 및 상기 개폐부(5)를 승하강시키는 승강부(6)를 포함한다.To this end, the
상기 탈포공간(10)은 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)의 사이에 배치된 것이다. 도 3에 도시된 바와 같이 상기 개폐부(5)가 밀폐위치에 위치하면, 상기 개폐부(5)는 상기 탈포공간(10)을 밀폐시킬 수 있다. 이 상태에서, 상기 탈포공간(10)에서는 필름이 부착된 기판(200)에 대해 상기 탈포공정이 이루어진다. 도 4에 도시된 바와 같이 상기 개폐부(5)가 개방위치에 위치하면, 상기 개폐부(5)는 상기 탈포공간(10)을 개방시킬 수 있다. 이 상태에서, 필름이 부착된 기판(200)을 상기 탈포공간(10)으로부터 언로딩하는 언로딩공정, 및 필름이 부착된 기판(200)을 상기 탈포공간(10)에 로딩하는 로딩공정이 이루어진다. The
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 고정부(4)에 의해 상기 하부공정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3) 모두가 고정된 상태에서, 상기 개폐부(5)를 이용하여 상기 탈포공간(10)을 개폐하도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 이루어지는 과정에서 상기 탈포공간(10)의 내부압력이 증가하더라도, 상기 탈포공간(10)의 내부압력을 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)가 견고하게 견딜 수 있는 구조로 구현된다. 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(2) 모두가 승하강하지 않고, 고정된 구조로 구현되기 때문이다. As described above, in the
따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.Therefore, the
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 이루어지는 과정에서 상기 탈포공간(10)의 내부압력이 증가하더라도, 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)가 견고하게 견딜 수 있는 구조로 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정에 대한 안정적인 공정환경을 구현함으로써, 상기 탈포공정이 완료된 기판(200)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. In the
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 이루어지는 과정에서 증가하는 상기 탈포공간(10)의 내부압력을 견디기 위한 별도의 구성품 없이도, 상기 탈포공정에 대한 안정적인 공정환경을 구현할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 구성품의 수를 줄여서 유지보수 작업의 주기를 늘릴 수 있으므로, 운영비용을 줄일 수 있다. The
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 이루어지는 과정에서 증가하는 상기 탈포공간(10)의 내부압력을 견디기 위한 별도의 구성품이 동작하는 공정과 시간을 생략할 수 있으므로, 상기 탈포공정이 완료될 때까지 걸리는 공정시간을 단축할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 가동률 증대를 통해 탈포공정이 완료된 기판(200)에 대한 생산성을 증대시킬 수 있다.In the
이하에서는 상기 하부고정챔버(2), 상부고정챔버(3), 고정부(4), 개폐부(5), 및 승강부(6)에 관해 첨부된 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 하부고정챔버(2)는 상기 필름이 부착된 기판(200)를 지지하는 것이다. 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여, 상기 하부고정챔버(2)는 상기 상부고정챔버(3)로부터 하방으로 이격된 위치에 배치된다. 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여, 상기 하부고정챔버(2)는 상기 탈포공간(10)의 하방에 배치될 수 있다.2 to 4, the
상기 하부고정챔버(2)에는 상기 필름이 부착된 기판(200)을 지지하는 안착기구(21)가 설치될 수 있다. 상기 안착기구(21)는 상기 탈포공간(10)에서 상기 하부고정챔버(2)의 상방에 배치될 수 있다. 상기 필름이 부착된 기판(200)이 상기 안착기구(21)의 상면에 안착된 상태에서, 상기 탈포공정이 이루어질 수 있다. 상기 안착기구(21)은 컨베이어(Conveyor)로 구현될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 지지핀 등과 같이 다양한 방식으로 상기 필름이 부착된 기판(200)을 지지할 수 있는 구조로 구현될 수 있다.A mounting
상기 안착기구(21)에는 상기 필름이 부착된 기판(200)을 가열하기 위한 가열부재(미도시)가 설치될 수도 있다. 상기 가열부재는 전원이 공급됨에 따라 발열하면서 상기 필름이 부착된 기판(200)을 가열할 수 있다. 상기 가열부재는 상기 하부고정챔버(2)에 설치될 수도 있다. 이 경우, 상기 가열부재는 상기 탈포공간(10)을 가열함으로써, 상기 필름이 부착된 기판(200)을 가열할 수 있다. 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 이루어지는 과정에서 증가하는 상기 탈포공간(10)의 내부압력을 견디기 위한 별도의 구성품을 생략할 수 있으므로, 해당 구성품을 설치하기 위한 공간을 상기 하부고정챔버(2)에 확보할 필요가 없다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 하부고정챔버(2)에 전체적으로 균일하게 상기 가열부재를 설치할 수 있으므로, 상기 필름이 부착된 기판(200)을 전체적으로 균일한 온도로 가열할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 탈포공정이 완료된 기판(200)의 품질을 더 향상시킬 수 있다.A heating member (not shown) for heating the
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 상부고정챔버(3)는 상기 하부고정챔버(2)로부터 상방으로 이격되어 배치된 것이다. 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여, 상기 상부고정챔버(3)는 상기 탈포공간(10)의 상방에 배치될 수 있다.2 to 4, the
상기 상부고정챔버(3)에는 상기 탈포공간(10)에 기체를 공급하기 위한 기체공급부(미도시)가 설치될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이 상기 개폐부(5)가 상기 탈포공간(10)을 밀폐시킨 상태에서, 상기 기체공급부는 상기 탈포공간(10)에 기체를 공급함으로써 상기 탈포공간(10)의 내부압력을 증가시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 필름과 상기 기판(200) 사이에 존재하는 기포가 제고되는 탈포공정이 이루어질 수 있다. 상기 기체공급부는 상기 하부고정챔버(2)에 설치될 수도 있다. 상기 기체공급부는 상기 상부고정챔버(3)와 상기 하부고정챔버(2) 중에서 적어도 하나에 설치될 수 있다. 상기 상부고정챔버(3)에는 상기 가열부재가 설치될 수도 있다. 상기 가열부재는 상기 상부고정챔버(3)와 상기 하부고정챔버(2) 중에서 적어도 하나에 설치될 수 있다.A gas supply unit (not shown) for supplying gas to the
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 고정부(4)는 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)를 고정하는 것이다. 상기 고정부(4)로 인해, 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3) 모드는 상기 탈포공정, 상기 로딩공정, 및 상기 언로딩공정이 이루어지는 과정에서 승하강하지 않는 고정된 구조로 구현된다. 이에 따라, 상기 탈포공정이 이루어지는 과정에서 상기 탈포공간(10)의 내부압력이 증가하더라도, 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)는 상기 탈포공간(10)의 내부압력을 견고하게 견딜 수 있는 구조로 구현된다.2 to 4, the fixing
상기 고정부(4)는 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)에 결합될 수 있다. 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3) 간의 간격이 변하지 않고 동일하게 유지되도록, 상기 고정부(4)는 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)를 고정할 수 있다. 상기 고정부(4)는 상기 탈포공간(10)의 외부에서 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)에 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 고정부(4)는 상기 하부고정챔버(2)의 측면 및 상기 상부고정챔버(3)의 측면 각각에 결합될 수 있다. 상기 고정부(4)는 볼트 등과 같은 체결수단을 이용하여 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)에 결합될 수 있다. The fixing
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 고정부(4)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 고정부(4)들은 서로 이격된 위치에서 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3)에 결합될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(2)에 대한 고정력을 더 강화할 수 있다.The
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 개폐부(5)는 상기 탈포공간(10)을 개폐시키는 것이다. 도 3에 도시된 바와 같이 상기 개폐부(5)가 상기 밀폐위치에 위치하면, 상기 개폐부(5)는 상기 탈포공간(10)을 밀폐시킬 수 있다. 이 상태에서 상기 탈포공정이 이루어질 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이 상기 개폐부(5)가 상기 개방위치에 위치하면, 상기 개폐부(5)는 상기 탈고공간(10)을 개방시킬 수 있다. 이 상태에서 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 하부고정챔버(2)와 상기 상부고정챔버(3) 모두가 승하강되지 않고 고정된 구조로 구현되더라도, 상기 개폐부(5)를 이용하여 상기 탈포공정, 상기 로딩공정, 및 상기 언로딩공정이 이루어지도록 구현될 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 5, the opening and closing
상기 개폐부(5)는 상기 탈포공간(10)을 밀폐시키는 복수개의 개폐부재(51, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다. 상기 개폐부재(51)들은 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)을 둘러싸도록 서로 연결되게 결합될 수 있다. 상기 개폐부재(51)들은 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)의 측방들을 둘러싸도록 배치됨으로써, 상기 탈포공간(10)의 내부에 존재하는 기체가 외부로 누설되는 것을 차단할 수 있다. 이 경우, 상기 탈포공간(10)의 하방에는 상기 하부고정챔버(2)가 배치되고, 상기 탈포공간(10)의 상방에는 상기 상부고정챔버(3)가 배치되면, 상기 탈포공간(10)의 측방들에는 상기 개폐부재(51)들이 배치될 수 있다. 따라서, 상기 개폐부재(51)들이 상기 밀폐위치에 위치하면, 상기 탈포공간(10)은 상기 하부고정챔버(2), 상기 상부고정챔버(3), 및 상기 개폐부재(51)들에 의해 밀폐될 수 있다. 상기 개폐부재(51)들이 상기 개방위치에 위치하면, 상기 탈포공간(10)의 측방들이 개방될 수 있다. 이에 따라, 상기 탈포공간(10)의 개방된 측방들을 통해 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 이루어질 수 있다.The opening/
상기 개폐부(5)는 제1개폐부재(51a, 도 5에 도시됨), 제2개폐부재(51b, 도 5에 도시됨), 제3개폐부재(51c, 도 5에 도시됨), 및 제4개폐부재(51d, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다.The opening and closing
상기 제1개폐부재(51a)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)의 제1측방(D1 화살표 방향, 도 5에 도시됨)을 가리는 것이다. 이에 따라, 상기 제1개폐부재(51a)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)의 제1측방(D1 화살표 방향)을 밀폐시킬 수 있다. 상기 제1개폐부재(51a)는 상기 개방위치에서 상기 탈포공간(10)의 제1측방(D1 화살표 방향)을 개방시킬 수 있다.The first opening and closing
상기 제2개폐부재(51b)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)의 제2측방(D2 화살표 방향, 도 5에 도시됨)을 가리는 것이다. 이에 따라, 상기 제2개폐부재(51b)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)의 제2측방(D2 화살표 방향)을 밀폐시킬 수 있다. 상기 제2개폐부재(51b)는 상기 개방위치에서 상기 탈포공간(10)의 제2측방(D2 화살표 방향)을 개방시킬 수 있다. 상기 제2개폐부재(51b)는 상기 제1개폐부재(51a)에 대해 대향(對向)되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2측방(D2 화살표 방향) 및 상기 제1측방(D1 화살표 방향)은 서로 반대되는 방향일 수 있다.The second opening and closing
상기 제3개폐부재(51c)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)의 제3측방(D3 화살표 방향, 도 5에 도시됨)을 가리는 것이다. 이에 따라, 상기 제3개폐부재(51c)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)의 제3측방(D3 화살표 방향)을 밀폐시킬 수 있다. 상기 제3개폐부재(51c)는 상기 개방위치에서 상기 탈포공간(10)의 제3측방(D3 화살표 방향)을 개방시킬 수 있다. 상기 제3개폐부재(51c)는 상기 제1개폐부재(51a)와 상기 제2개폐부재(51b) 각각에 결합될 수 있다.The third opening and closing
상기 제4개폐부재(51d)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)의 제4측방(D4 화살표 방향, 도 5에 도시됨)을 가리는 것이다. 이에 따라, 상기 제4개폐부재(51d)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)의 제4측방(D4 화살표 방향)을 밀폐시킬 수 있다. 상기 제4개폐부재(51d)는 상기 개방위치에서 상기 탈포공간(10)의 제4측방(D4 화살표 방향)을 개방시킬 수 있다. 상기 제4개폐부재(51d)는 상기 제1개폐부재(51a)와 상기 제2개폐부재(51b) 각각에 결합될 수 있다. 상기 제1개폐부재(51a)와 상기 제2개폐부재(51b)를 기준으로 하여, 상기 제4개폐부재(51d) 및 상기 제3개폐부재(51c)는 서로 반대편에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제4개폐부재(51d)는 상기 제3개폐부재(51c)에 대해 대향(對向)되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제4측방(D4 화살표 방향) 및 상기 제3측방(D3 화살표 방향)은 서로 반대되는 방향일 수 있다.The fourth opening and closing
이와 같이, 상기 제4개폐부재(51d), 상기 제3개폐부재(51c), 상기 제2개폐부재(51b), 및 상기 제1개폐부재(51a)는 서로 연결되게 결합됨으로써, 폐쇄된 고리 형태를 이룰 수 있다. 이에 따라, 상기 제4개폐부재(51d), 상기 제3개폐부재(51c), 상기 제2개폐부재(51b), 및 상기 제1개폐부재(51a)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)을 둘러싸도록 배치됨으로써, 상기 탈포공간(10)을 밀폐시킬 수 있다. 이 경우, 상기 탈포공간(10)의 내부압력이 증가하면, 서로 대향되는 제1개폐부재(51a)와 제2개폐부재(51b) 각각에는 제1내부압력(P1, 도 5에 도시됨)과 제2내부압력(P2, 도 5에 도시됨)이 서로 반대되는 방향으로 작용한다. 서로 대향되는 제3개폐부재(51c)와 제4개폐부재(51d) 각각에는 제3내부압력(P3, 도 5에 도시됨)과 제4내부압력(P4, 도 5에 도시됨)이 서로 반대되는 방향을 작용한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 제1내부압력(P1)과 제2내부압력(P2)이 서로 상쇄됨과 아울러 상기 제3내부압력(P3)과 상기 제4내부압력(P4)이 서로 상쇄될 수 있으므로, 상기 탈포공간(10)을 견고하게 밀폐시킬 수 있도록 구현된다. 상기 제4개폐부재(51d), 상기 제3개폐부재(51c), 상기 제2개폐부재(51b), 및 상기 제1개폐부재(51a)는, 전체적으로 내부가 비어 있는 사각 고리 형태로 되도록 서로 연결되게 결합될 수 있다.In this way, the fourth opening and closing
상기 제4개폐부재(51d), 상기 제3개폐부재(51c), 상기 제2개폐부재(51b), 및 상기 제1개폐부재(51a)는 볼트 등과 같은 체결수단을 이용하여 서로 연결되게 결합될 수 있다. 상기 제4개폐부재(51d), 상기 제3개폐부재(51c), 상기 제2개폐부재(51b), 및 상기 제1개폐부재(51a)는 일체로 형성될 수도 있다.The fourth opening and closing
도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 승강부(6)는 상기 개폐부(5)가 상기 밀폐위치와 상기 개방위치 간에 이동하도록 상기 개폐부(5)를 승하강시키는 것이다. 상기 개폐부(5)는 상기 승강부(6)에 결합될 수 있다. 상기 승강부(6)는 상기 하부고정챔버(2) 또는 상기 상부고정챔버(3)에 결합될 수 있다.2 to 5, the lifting
상기 승강부(6)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 볼스크류(Ball Screw)와 볼너트(Ball Nut) 등을 이용한 볼스크류방식, 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 랙피니언방식, 풀리(Pulley)와 벨트(Belt) 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식, 캠(Cam) 등을 이용한 캠방식 등을 통해 상기 개폐부(5)를 승하강시킬 수 있다.The elevating
본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 승강부(6)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 승강부(6)들은 서로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 승강부(6)들은 상기 개폐부(5)의 서로 다른 부분에 결합됨으로써, 상기 개폐부(5)를 승하강시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 개폐부(5)를 승하강시키는 과정에서 상기 개폐부(5)에 기울어짐 등이 발생하는 정도를 감소시킬 수 있다.The
도 2 내지 도 7을 참고하면, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 밀폐부(7, 도 6에 도시됨)를 포함할 수 있다.2 to 7, the
상기 밀폐부(7)는 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부(5)에 접촉되어서 상기 탈포공간(10)을 밀폐시키는 것이다. 도 7에 도시된 바와 같이 상기 개폐부(5)가 상기 개방위치에 위치하면, 상기 밀폐부(7)는 상기 개폐부(5)로부터 이격될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이 상기 개폐부(5)가 상기 밀폐위치에 위치하면, 상기 밀폐부(7)는 상기 개폐부(5)에 접촉됨으로써 상기 탈포공간(10)을 밀폐시킬 수 있다. 이 경우, 상기 밀폐부(7)는 상기 개폐부(5)에 의해 가압될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 개폐부(5)가 상기 밀폐위치에 위치할 때, 상기 밀폐부(7)를 이용하여 상기 탈포공간(10)에 대한 밀폐력을 더 강화할 수 있다. 상기 밀폐부(7)는 신축(伸縮) 가능한 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 밀폐부(7)는 고무 등으로 형성될 수 있다. 상기 밀폐부(7)는 오링(O-Ring)으로 구현될 수도 있다.The sealing
여기서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 개폐부(5)가 상기 밀폐위치에 위치하도록 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 이동시키는 방향에 따라 크게 두 가지 실시예를 포함할 수 있다. 이하에서는 이러한 실시예들에 대해 첨부된 도면을 참조하여 순차적으로 설명한다.Here, the
<제1실시예><First Example>
도 3 내지 도 13을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 하강시켜서 상기 밀폐위치에 위치시키고, 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 상승시켜서 상기 개방위치에 위치시키는 실시예로 구현될 수 있다. 이러한 제1실시예에 대해 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.3 to 13, in the
도 3 및 도 4를 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)에 있어서, 상기 승강부(6)는 상기 상부고정챔버(3)에 결합될 수 있다. 상기 상부고정챔버(3)에는 상기 승강부(6)가 삽입되는 상부설치홈(30)이 형성될 수 있다. 상기 승강부(6)는 상기 상부설치홈(30)에 삽입되도록 상기 상부고정챔버(3)에 결합될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)는 상기 개폐부(5)를 하강시켜서 상기 밀폐위치에 위치시킬 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)는 상기 개폐부(5)를 상승시켜서 상기 개방위치에 위치시킬 수 있다.3 and 4, in the
도 6 및 도 7을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)에 있어서, 상기 하부고정챔버(2)에는 삽입홈(22, 도 7에 도시됨)이 형성될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 하강시켜서 상기 밀폐위치에 위치시키면, 상기 개폐부(5)는 상기 삽입홈(22, 도 7에 도시됨)에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 상기 하부고정챔버(2)는 상기 밀폐위치에서 상기 삽입홈(22)에 삽입된 개폐부(5)를 지지할 수 있다. 따라서, 상기 개폐부(5)는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간(10)을 밀폐시킨 상태로 견고하게 유지될 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 상승시켜서 상기 개방위치에 위치시키면, 상기 개폐부(5)는 상기 삽입홈(22)으로부터 이탈될 수 있다.6 and 7, in the
상기 삽입홈(22)은 상기 하부고정챔버(2)의 상면에서 일정 깊이로 형성된 홈(Groove)으로 형성될 수 있다. 상기 삽입홈(22)은 상기 개폐부(5)의 하부(下部)에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 상기 개폐부(5)가 내부가 비어 있는 사각 고리 형태로 형성된 경우, 상기 삽입홈(22)은 사각 고리 형태의 홈으로 형성될 수 있다. 상기 삽입홈(22)에는 상기 개폐부(5)의 일부가 삽입될 수 있다.The
도 6 및 도 7을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)에 있어서, 상기 밀폐부(7)는 하부밀폐부재(71)를 포함할 수 있다. 6 and 7, in the
상기 하부밀폐부재(71)는 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부(5) 및 상기 하부고정챔버(2) 사이의 틈새를 밀폐시키는 것이다. 도 6에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 하강시켜서 상기 밀폐위치에 위치시키면, 상기 하부밀폐부재(71)는 상기 개폐부(5)와 상기 하부고정챔버(2)의 사이에 위치할 수 있다. 이에 따라, 상기 하부밀폐부재(71)는 상기 개폐부(5)와 상기 하부고정챔버(2) 사이의 틈새를 밀폐시킴으로써, 상기 탈포공간(10)을 밀폐시킬 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 상승시켜서 상기 개방위치에 위치시키면, 상기 개폐부(5)는 상기 하부밀폐부재(71)로부터 이격될 수 있다.The
상기 하부밀폐부재(71)는 상기 개폐부(5)의 하부(下部)에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 상기 개폐부(5)가 내부가 비어 있는 사각 고리 형태로 형성된 경우, 상기 하부밀폐부재(71)는 사각 고리 형태로 형성될 수 있다. 상기 하부밀폐부재(71)는 상기 삽입홈(22)에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 상기 개폐부(5)가 하강하여 상기 삽입홈(22)에 삽입되면, 상기 개폐부(5)는 상기 삽입홈(22) 내에서 상기 하부밀폐부재(71)에 접촉될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 하부밀폐부재(71)는 상기 삽입홈(22)이 아닌 상기 하부고정챔버(2)에 형성된 다른 홈에 삽입될 수도 있다. 이 경우, 상기 하부밀폐부재(71)는 일부가 상기 하부고정챔버(2)의 상방으로 돌출되도록 상기 하부고정챔버(2)에 결합될 수 있다. The
도 8 및 도 9를 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 하부고정챔버(2)에 결합된 버팀부(8)를 포함할 수 있다.8 and 9, the
상기 버팀부(8)는 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부(5) 및 상기 하부고정챔버(2)의 사이에 배치되어서 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부(5)를 지지할 수 있다. 이에 따라, 상기 탈포공간(10)의 내부압력이 상기 탈포공간(10)의 외측방향(OD 화살표 방향)으로 상기 개폐부(5)에 작용하는 경우, 상기 버팀부(8)는 내측방향(ID 화살표 방향)으로 상기 개폐부(5)를 지지함으로써 상기 개폐부(5)의 밀폐력을 더 강화할 수 있다. 상기 내측방향(ID 화살표 방향)은 상기 외측방향(OD 화살표 방향)에 대해 반대되는 방향이다.The
상기 버팀부(8)가 구비되는 경우, 상기 개폐부(5)는 버팀홈(52, 도 9에 도시됨)을 포함할 수 있다. 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 하강시켜서 상기 밀폐위치에 위치시키면, 상기 버팀홈(52)에는 상기 버팀부(8)가 삽입될 수 있다. 이에 따라, 상기 버팀부(8)는 상기 버팀홈(52)에 삽입되어서 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부(5)를 견고하게 지지할 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 상승시켜서 상기 개방위치에 위치시키면, 상기 버팀부(8)는 상기 버팀홈(52)으로부터 이탈될 수 있다.When the
상기 버팀부(8)는 상기 삽입홈(22, 도 9에 도시됨)에 삽입되도록 상기 하부고정챔버(2)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 버팀부(8)는 일부가 상기 하부고정챔버(2)의 상방으로 돌출되도록 상기 삽입홈(22)에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 버팀부(8)가 상기 버팀홈(52)에 삽입되어서 상기 개폐부(5)를 지지하는 지지면적을 늘림으로써, 상기 개폐부(5)에 대한 지지력을 더 강화할 수 있다. 상기 삽입홈(22)에 상기 하부밀폐부재(71)가 삽입된 경우, 상기 하부고정챔버(2)에는 상기 삽입홈(22)을 구획하는 구획부재(23)가 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 하부밀폐부재(71)는 상기 구획부재(23)에 대해 상기 내측방향(ID 화살표 방향) 쪽에 위치할 수 있다. 상기 버팀부(8)는 상기 구획부재(23)에 대해 상기 외측방향(OD 화살표 방향) 쪽에 위치할 수 있다.The
본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 버팀부(8)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 버팀부(8)들은 서로 이격된 위치에 배치되어서 상기 하부고정챔버(2)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 개폐부(5)는 서로 이격된 위치에 배치된 복수개의 버팀홈(52)을 포함할 수 있다. 상기 개폐부(5)가 상기 밀폐위치에 위치하면, 상기 버팀부(8)들은 상기 버팀홈(52)들 각각에 삽입될 수 있다. 따라서, 상기 버팀부(8)들은 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부(5)의 서로 다른 부분을 지지함으로써, 상기 개폐부(5)를 더 강한 지지력으로 지지할 수 있다.The
도 6 내지 도 8을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)에 있어서, 상기 밀폐부(7)는 상부밀폐부재(72)를 포함할 수 있다. 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부(5) 및 상기 상부고정챔버(3) 사이의 틈새를 밀폐시키는 것이다. 도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 하강시켜서 상기 밀폐위치에 위치시키면, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 개폐부(5)와 상기 상부고정챔버(3)의 사이에 위치할 수 있다. 이에 따라, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 개폐부(5)와 상기 상부고정챔버(3) 사이의 틈새를 밀폐시킴으로써, 상기 탈포공간(10)을 밀폐시킬 수 있다. 도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 상승시켜서 상기 개방위치에 위치시키면, 상기 개폐부(5)는 상기 상부밀폐부재(72)로부터 이격될 수 있다.6 to 8, in the
상기 상부밀폐부재(72)는 상기 개폐부(5)의 내면(內面)에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 상기 개폐부(5)의 내면은 상기 내측방향(ID 화살표 방향) 쪽을 향하는 면(面)이다. 상기 개폐부(5)가 내부가 비어 있는 사각 고리 형태로 형성된 경우, 상기 상부밀폐부재(72)는 사각 고리 형태로 형성될 수 있다. 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 상부고정챔버(3)의 측면으로부터 측방으로 돌출되도록 상기 상부고정챔버(3)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부(5)에 의해 압축될 수 있다. 따라서, 상기 개폐부(5)와 상기 상부고정챔버(3) 사이의 틈새에 대해 밀폐력이 더 강화될 수 있다. 상기 상부고정챔버(3)의 측면에는 상기 상부밀폐부재(72)의 일부가 삽입되는 홈이 형성될 수 있다.The
도 10 및 도 11을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 상부밀폐부재(72)에 대한 마모 등을 감소시키도록 구현될 수 있다.Referring to FIGS. 10 and 11, the
이를 위해, 상기 개폐부(5)는 이격홈(53), 및 가압부재(54)를 포함할 수 있다.To this end, the opening and closing
상기 이격홈(53)은 상기 개방위치에서 상기 상부밀폐부재(72)가 삽입되는 것이다. 상기 이격홈(53)은 상기 개폐부(5)의 내면에 형성될 수 있다. 상기 개폐부(5)의 내면에서 상기 이격홈(53)이 형성된 부분은 다른 부분에 비해 더 얇은 두께로 형성될 수 있다.The spacing
상기 가압부재(54)는 상기 밀폐위치에서 상기 상부밀폐부재(72)를 가압하는 것이다. 상기 가압부재(54)는 상기 이격홈(53)에 대해 상방에 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 개폐부(5)가 상기 개방위치에서 상기 밀폐위치로 하강하는 과정에서 상기 가압부재(54)가 상기 상부밀폐부재(72)에 접촉되기 이전까지, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 이격홈(53)에 삽입되도록 배치되어서 상기 개폐부(5)로부터 이격될 수 있다. 또한, 상기 개폐부(5)가 상기 밀폐위치에서 상기 개방위치로 상승하는 과정에서 상기 가압부재(54)가 상기 상부밀폐부재(72)로부터 이격되면, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 이격홈(53)에 삽입되도록 배치되어서 상기 개폐부(5)로부터 이격될 수 있다. The pressing
따라서, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 개폐부(5)가 상기 개방위치와 상기 밀폐위치 간에 승하강하는 과정에서 상기 상부밀폐부재(72) 및 상기 개폐부(5) 간에 접촉이 이루어지는 거리 및 시간을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 상부밀폐부재(72)에 대한 마모 등을 감소시킴으로써, 상기 상부밀폐부재(72)에 대한 사용수명 및 유지보수 작업의 주기를 늘릴 수 있다.Therefore, in the
상기 가압부재(54)는 가압면(541)을 포함할 수 있다. 상기 가압면(541)은 상기 개폐부(5)가 상기 개방위치에서 상기 밀폐위치로 이동함에 따라 상기 상부밀폐부재(72)를 가압하는 가압력이 증가하도록 경사지게 형성될 수 있다. 도 11에 도시된 바와 같이 상기 가압면(541)이 상기 상부밀폐부재(72)에 접촉된 상태에서 상기 개폐부(5)가 더 하강하면, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 가압면(541)이 이루는 경사면에 의해 점차적으로 압축될 수 있다. 따라서, 상기 가압면(541)은 상기 상부밀폐부재(72)에 대해 마모 등을 더 감소시키도록 구현될 수 있다. 상기 가압부재(54)가 상기 이격홈(53)에 대해 상방에 위치한 경우, 상기 가압면(541)은 상방으로 연장될수록 상기 내측방향(ID 화살표 방향)으로 돌출되도록 경사지게 형성될 수 있다.The pressing
여기서, 상기 상부고정챔버(3)는 상기 상부밀폐부재(72)의 상측을 지지하는 제1지지돌기(3a), 및 상기 상부밀폐부재(72)의 하측을 지지하는 제2지지돌기(3b)를 포함할 수 있다. 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 제1지지돌기(3a)와 상기 제2지지돌기(3b)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1지지돌기(3a)는 상기 제2지지돌기(3b)에 비해 상기 외측방향(OD 화살표 방향) 쪽으로 더 짧게 돌출되도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 가압부재(54)가 상기 내측방향(ID 화살표 방향)으로 더 돌출될 수 있으므로, 상기 가압면(541)의 길이를 더 늘릴 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 가압면(541)이 상기 상부밀폐부재(72)를 가압하는 가압력이 더 서서히 증가하도록 경사지게 형성될 수 있으므로, 상기 상부밀폐부재(72)에 대한 마모 등을 더 감소시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 가압면(541)과 상기 상부밀폐부재(72) 간의 접촉면적을 늘릴 수 있으므로, 상기 탈포공간(10)에 대한 밀폐력을 더 강화할 수 있다.Here, the
도 12를 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 돌출부재(55)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 12, the
상기 돌출부재(55)는 상기 개폐부(5)로부터 상기 내측방향(ID 화살표 방향)으로 돌출된 것이다. 상기 내측방향(ID 화살표 방향)은 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부(5)에서 상기 탈포공간(10)을 향하는 방향과 동일한 방향일 수 있다. 상기 개폐부(5)가 상기 밀폐위치에 위치하면, 상기 돌출부재(55)는 상기 상부밀폐부재(72)에 접촉될 수 있다. 상기 개폐부(5) 및 상기 돌출부재(55)는 일체로 형성될 수도 있다.The protruding
상기 상부고정챔버(3)는 상기 외측방향(ID 화살표 방향)으로 돌출된 지지부재(31)를 포함할 수 있다. 상기 지지부재(31)는 상기 상부고정챔버(3)의 일부에 해당할 수 있다. 상기 지지부재(31)는 상기 돌출부재(55)의 하측에 위치할 수 있다. 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 지지부재(31)의 상면에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 돌출부재(55)와 상기 지지부재(31)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 지지부재(31)의 상면으로부터 상방으로 돌출되도록 상기 지지부재(31)에 결합될 수 있다.The
도 12에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 상승시켜서 상기 개방위치에 위치시키면, 상기 돌출부재(55)는 상기 지지부재(31)에 결합된 상부밀폐부재(72)로부터 상방으로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 이 상태에서 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 하강시켜서 상기 밀폐위치에 위치시키면, 상기 돌출부재(55)는 상기 지지부재(31)에 결합된 상부밀폐부재(72)에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 돌출부재(55)와 상기 지지부재(31) 사이의 틈새를 밀폐시킴으로써, 상기 탈포공간(10)을 밀폐시킬 수 있다.As shown in FIG. 12, when the lifting
이와 같이, 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 상기 개방위치와 상기 밀폐위치 간에 승하강시키는 과정에서, 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 개폐부(5)에 직접적으로 접촉되지 않도록 구현된다. 상기 상부밀폐부재(72)는 상기 개폐부(5)가 상기 밀폐위치에 위치된 경우에만 상기 돌출부재(55)에 접촉될 수 있다. 따라서, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 상부밀폐부재(72)에 대해 마모 등을 더 감소시키도록 구현될 수 있다.In this way, in the process of raising and lowering the opening/
도 13을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)에 있어서, 상기 지지부재(31)는 상기 상부고정챔버(3)에 결합되도록 구현될 수 있다. 이 경우, 도 12에 도시된 실시예와 달리, 상기 지지부재(31)와 상기 상부고정챔버(3)는 별개로 제조된 후에, 상기 지지부재(31)가 상기 상부고정챔버(3)에 결합되는 구조로 구현될 수 있다.Referring to FIG. 13, in the
상기 지지부재(31)는 상기 상부고정챔버(3)에 대해 하방 쪽에 배치될 수 있다. 상기 지지부재(31)는 상기 상부고정챔버(3)에 비해 상기 외측방향(ID 화살표 방향)으로 더 돌출되도록 구현될 수 있다. The
상기 지지부재(31)는 상기 상부고정챔버(3)에 분리 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 상부밀폐부재(72)에 대한 교체, 수리 등과 같은 유지보수작업이 필요한 경우, 상기 지지부재(31)가 상기 상부고정챔버(3)로부터 분리됨으로써, 상기 상부밀폐부재(72)에 대한 유지보수작업의 용이성을 향상시키도록 구현될 수 있다. 한편, 상기 상부밀폐부재(72)와 상기 돌출부재(55)는 도 12에 도시된 실시예에서 설명한 바와 같으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.The
도 14에 도시된 바와 같이, 상기 상부밀폐부재(72)가 상기 개폐부(5)의 내면에 접촉되는 실시예에서도, 상기 지지부재(31)는 상기 상부고정챔버(3)에 분리 가능하게 결합될 수 있다. 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 상부밀폐부재(72)가 상기 개폐부(5)의 가압면(541)에 접촉되는 실시예에서도, 상기 지지부재(31)는 상기 상부고정챔버(3)에 분리 가능하게 결합될 수 있다. As shown in Fig. 14, even in the embodiment in which the upper sealing
이와 같이 상기 지지부재(31)가 상기 상부고정챔버(3)에 분리 가능하게 결합된 경우, 상기 지지부재(31)는 상기 상부밀폐부재(72)의 하면을 지지하도록 상기 상부고정챔버(3)에 분리 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 지지부재(31)가 상기 상부고정챔버(3)로부터 분리되면 상기 상부밀폐부재(72)가 상기 상부고정챔버(3)로부터 용이하게 분리될 수 있는 구조로 구현되므로, 상기 상부밀폐부재(72)에 대한 유지보수작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.In this way, when the
<제2실시예><Second Example>
도 16 및 도 17을 참고하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)는 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 상승시켜서 상기 밀폐위치에 위치시키고, 상기 승강부(6)가 상기 개폐부(5)를 하강시켜서 상기 개방위치에 위치시키는 실시예로 구현될 수 있다.16 and 17, in the
본 발명의 제2실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)에 있어서, 상기 승강부(6)는 상기 하부고정챔버(2)에 결합될 수 있다. 상기 하부고정챔버(2)에는 상기 승강부(6)가 삽입되는 하부설치홈(20)이 형성될 수 있다. 상기 승강부(6)는 상기 하부설치홈(20)에 삽입되도록 상기 하부고정챔버(2)에 결합될 수 있다. 도 16에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)는 상기 개폐부(5)를 상승시켜서 상기 밀폐위치에 위치시킬 수 있다. 도 17에 도시된 바와 같이 상기 승강부(6)는 상기 개폐부(5)를 하강시켜서 상기 개방위치에 위치시킬 수 있다.In the
도시되지 않았지만, 본 발명의 제2실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치는 도 6 내지 도 15에 도시된 상기 삽입홈(22), 상기 밀폐부(7), 상기 버팀부(8), 상기 이격홈(53), 상기 가압부재(54), 상기 돌출부재(55), 상기 지지부재(31)를 포함할 수 있다. 이러한 구성들은 상기 상부고정챔버(3)에 구현된 것이 상기 하부고정챔버(2)에 구현됨과 아울러 상기 하부고정챔버(2)에 구현된 것이 상기 상부고정챔버(3)에 구현되는 것으로 구현되는 위치만 다를 뿐, 본 발명의 제1실시예에 따른 탈포용 오토클레이브 장치(1)에서 설명한 바와 같으므로, 구체적인 설명은 생략한다.Although not shown, the autoclave device for defoaming according to the second embodiment of the present invention includes the
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope of the technical spirit of the present invention. It will be obvious to those who have the knowledge of.
1 : 탈포용 오토클레이브 장치 2 : 하부고정챔버
3 : 상부고정챔버 4 : 고정부
5 : 개폐부 6 : 승강부
7 : 밀폐부 8 : 버팀부
51 : 개폐부재 52 : 버팀홈
53 : 이격홈 54 : 가압부재
55 : 돌출부재 71 : 하부밀폐부재
72 : 상부밀폐부재 200 : 기판1: degassing autoclave device 2: lower fixing chamber
3: upper fixing chamber 4: fixing part
5: opening and closing part 6: lifting part
7: sealing part 8: support part
51: opening and closing member 52: support groove
53: separation groove 54: pressing member
55: protruding member 71: lower sealing member
72: upper sealing member 200: substrate
Claims (16)
상기 하부고정챔버로부터 상방으로 이격되어 배치된 상부고정챔버;
상기 하부고정챔버와 상기 상부고정챔버가 고정되도록 상기 하부고정챔버와 상기 상부고정챔버에 결합된 고정부;
상하방향을 기준으로 하여 상기 하부고정챔버와 상기 상부고정챔버의 사이에 배치된 탈포공간을 개폐시키기 위한 개폐부; 및
상기 개폐부가 상기 탈포공간을 밀폐시키는 밀폐위치와 상기 개폐부가 상기 탈포공간을 개방시키는 개방위치 간에 이동하도록 상기 개폐부를 승하강시키는 승강부를 포함하고,
상기 개폐부는 상기 탈포공간을 밀폐시키는 복수개의 개폐부재를 포함하되, 상기 개폐부재들은 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간을 둘러싸도록 서로 연결되게 결합되거나 일체로 형성되며,
상기 개폐부재들 중에서 제1개폐부재와 제2개폐부재는 서로 대향(對向)되게 배치되되, 상기 탈포공간의 내부압력이 증가함에 따라 상기 제1개폐부재에 작용하는 제1내부압력과 상기 제2개폐부재에 작용하는 제2내부압력이 서로 반대되는 방향으로 작용하여 서로 상쇄되도록 상기 승강부에 의해 상기 밀폐위치에 위치하고,
상기 개폐부재들 중에서 제3개폐부재와 제4개폐부재는 서로 대향(對向)되게 배치되되, 상기 탈포공간의 내부압력이 증가함에 따라 상기 제3개폐부재에 작용하는 제3내부압력과 상기 제4개폐부재에 작용하는 제4내부압력이 서로 반대되는 방향으로 작용하여 서로 상쇄되도록 상기 승강부에 의해 상기 밀폐위치에 위치하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.A lower fixing chamber for supporting the substrate to which the film is attached;
An upper fixing chamber disposed to be spaced upward from the lower fixing chamber;
A fixing part coupled to the lower fixing chamber and the upper fixing chamber so that the lower fixing chamber and the upper fixing chamber are fixed;
An opening/closing part for opening and closing a defoaming space disposed between the lower fixing chamber and the upper fixing chamber based on the vertical direction; And
The opening and closing part includes a lifting part for raising and lowering the opening and closing part so as to move between a closed position for sealing the defoaming space and an open position for opening the defoaming space,
The opening and closing portion includes a plurality of opening and closing members for sealing the defoaming space, wherein the opening and closing members are coupled to each other to surround the defoaming space or integrally formed in the closed position,
Among the opening and closing members, the first opening and closing member and the second opening and closing member are disposed to face each other, and as the internal pressure of the defoaming space increases, the first internal pressure and the first internal pressure acting on the first opening and closing member The second internal pressure acting on the two opening and closing members is positioned in the closed position by the elevating part so that the second internal pressures acting in opposite directions and offset each other,
Among the opening and closing members, the third opening and closing member and the fourth opening and closing member are disposed to face each other, and as the internal pressure of the defoaming space increases, the third internal pressure and the third internal pressure acting on the third opening and closing member 4. An autoclave device for defoaming, characterized in that the fourth internal pressures acting on the four opening and closing members act in opposite directions and are offset from each other by the lifting unit and positioned in the closed position.
상기 제1개폐부재는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간의 제1측방을 가리고,
상기 제2개폐부재는 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간의 제1측방에 대해 반대되는 상기 탈포공간의 제2측방을 가리며,
상기 제3개폐부재는 상기 제1개폐부재와 상기 제2개폐부재 각각에 연결되고, 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간의 제3측방을 가리고,
상기 제4개폐부재는 상기 제1개폐부재와 상기 제2개폐부재 각각에 연결되고, 상기 밀폐위치에서 상기 탈포공간의 제3측방에 대해 반대되는 상기 탈포공간의 제4측방을 가리는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 1, wherein the opening and closing part
The first opening and closing member covers the first side of the defoaming space in the sealed position,
The second opening and closing member covers a second side of the defoaming space opposite to the first side of the defoaming space in the closed position,
The third opening and closing member is connected to each of the first opening and closing member and the second opening and closing member, and covers a third side of the defoaming space in the sealed position,
The fourth opening and closing member is connected to each of the first opening and closing member and the second opening and closing member, characterized in that to cover the fourth side of the defoaming space opposite to the third side of the defoaming space in the closed position Autoclave device for defoaming.
상기 승강부는 상기 개폐부를 하강시켜서 상기 밀폐위치에 위치시키고, 상기 개폐부를 상승시켜서 상기 개방위치에 위치시키며,
상기 하부고정챔버에는 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부가 삽입되는 삽입홈이 형성되고,
상기 하부고정챔버는 상기 밀폐위치에서 상기 삽입홈에 삽입된 개폐부를 지지하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 1,
The elevating part is placed in the closed position by lowering the opening and closing part, and is positioned in the open position by raising the opening and closing part,
The lower fixing chamber is formed with an insertion groove into which the opening and closing part located in the sealed position is inserted,
The lower fixing chamber is a degassing autoclave device, characterized in that for supporting the opening and closing portion inserted into the insertion groove in the closed position.
상기 밀폐위치에 위치한 개폐부에 접촉되어서 상기 탈포공간을 밀폐시키는 밀폐부를 포함하고,
상기 밀폐부는 상기 삽입홈에 삽입된 하부밀폐부재를 포함하며,
상기 개폐부는 상기 밀폐위치에서 상기 삽입홈에 삽입됨과 아울러 상기 하부밀폐부재에 접촉되는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 5,
It includes a sealing part that is in contact with the opening and closing part located in the sealed position to seal the defoaming space,
The sealing portion includes a lower sealing member inserted into the insertion groove,
The opening and closing part is inserted into the insertion groove at the closed position and is in contact with the lower sealing member.
상기 하부고정챔버에 결합된 버팀부를 포함하고,
상기 개폐부는 상기 밀폐위치에서 상기 버팀부가 삽입되는 버팀홈을 포함하며,
상기 버팀부는 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부 및 상기 하부고정챔버의 사이에 배치되어서 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부를 지지하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 1,
Including a support portion coupled to the lower fixing chamber,
The opening and closing part includes a support groove into which the support part is inserted in the closed position,
The support portion is disposed between the opening and closing portion located in the closed position and the lower fixing chamber to support the opening and closing portion located in the closed position.
상기 하부고정챔버에는 상기 버팀부가 복수개 결합되고,
상기 버팀부들은 서로 이격된 위치에 배치되며,
상기 개폐부는 서로 이격된 위치에 배치된 복수개의 버팀홈을 포함하며,
상기 버팀부들은 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부의 서로 다른 부분을 지지하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 7,
A plurality of support portions are coupled to the lower fixing chamber,
The support portions are disposed at positions spaced apart from each other,
The opening and closing part includes a plurality of support grooves disposed at positions spaced apart from each other,
The support portions are degassing autoclave device, characterized in that supporting different portions of the opening and closing portion located in the closed position.
상기 밀폐위치에 위치한 개폐부에 접촉되어서 상기 탈포공간을 밀폐시키는 밀폐부를 포함하고,
상기 밀폐부는 상기 상부고정챔버에 결합되어서 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부와 상기 상부고정챔버의 사이를 밀폐시키는 상부밀폐부재, 및 상기 하부고정챔버에 결합되어서 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부와 상기 하부고정챔버의 사이를 밀폐시키는 하부밀폐부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 1,
It includes a sealing part that is in contact with the opening and closing part located in the sealed position to seal the defoaming space,
The sealing part is coupled to the upper fixing chamber to seal the gap between the opening and closing part located in the closed position and the upper fixing chamber, and the opening and closing part located in the closed position and the lower fixing chamber coupled to the lower fixing chamber. Degassing autoclave device comprising a lower sealing member to seal the space.
상기 개폐부는 상기 개방위치에서 상기 상부밀폐부재가 삽입되는 이격홈, 및 상기 밀폐위치에서 상기 상부밀폐부재를 가압하는 가압부재를 포함하고,
상기 상부밀폐부재는 상기 개폐부가 상기 개방위치에 위치하면, 상기 이격홈에 삽입되도록 배치되어서 상기 개폐부로부터 이격되며,
상기 가압부재는 상기 개폐부가 상기 개방위치에서 상기 밀폐위치로 이동함에 따라 상기 상부밀폐부재를 가압하는 가압력이 증가하도록 경사지게 형성된 가압면을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 9,
The opening and closing portion includes a spaced groove into which the upper sealing member is inserted in the open position, and a pressing member for pressing the upper sealing member in the closed position,
The upper sealing member is spaced apart from the opening and closing portion by being disposed to be inserted into the spacing groove when the opening and closing portion is located in the open position,
The pressing member includes a pressing surface formed inclined to increase a pressing force for pressing the upper sealing member as the opening and closing part moves from the open position to the closed position.
상기 상부고정챔버는 상기 상부밀폐부재의 상측을 지지하는 제1지지돌기, 및 상기 상부밀폐부재의 하측을 지지하는 제2지지돌기를 포함하고,
상기 제1지지돌기는 상기 탈포공간에서 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부를 향하는 외측방향으로 상기 제2지지돌기에 비해 더 짧게 돌출된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 10,
The upper fixing chamber includes a first supporting protrusion supporting an upper side of the upper sealing member, and a second supporting protrusion supporting a lower side of the upper sealing member,
The first support protrusion is a degassing autoclave device, characterized in that the outwardly protruding from the defoaming space toward the opening and closing portion located in the closed position shorter than the second support protrusion.
상기 밀폐위치에 위치한 개폐부에서 상기 탈포공간을 향하는 내측방향으로 상기 개폐부로부터 돌출된 돌출부재를 포함하고,
상기 상부고정챔버는 상기 내측방향에 대해 반대되는 외측방향으로 돌출된 지지부재를 포함하며,
상기 지지부재는 상기 돌출부재의 하측에 위치하도록 배치되고,
상기 상부밀폐부재는 상기 개폐부가 상기 밀폐위치에 위치함에 따라 상기 돌출부재에 가압되도록 상기 지지부재의 상면에 결합된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 9,
And a protruding member protruding from the opening and closing portion in an inward direction toward the defoaming space in the opening and closing portion located in the sealed position,
The upper fixing chamber includes a support member protruding in an outward direction opposite to the inward direction,
The support member is disposed to be located under the protruding member,
The upper sealing member is a degassing autoclave device, characterized in that coupled to the upper surface of the support member so as to be pressed against the protruding member as the opening and closing portion is positioned in the closed position.
상기 밀폐위치에 위치한 개폐부에서 상기 탈포공간을 향하는 내측방향으로 상기 개폐부로부터 돌출된 돌출부재, 및 상기 내측방향에 대해 반대되는 외측방향으로 돌출되도록 상기 상부고정챔버에 결합된 지지부재를 포함하고,
상기 지지부재는 상기 돌출부재의 하측에 위치하도록 상기 상부고정챔버에 결합되며,
상기 상부밀폐부재는 상기 개폐부가 상기 밀폐위치에 위치함에 따라 상기 돌출부재에 가압되도록 상기 지지부재의 상면에 결합된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 9,
A protruding member protruding from the opening and closing portion in an inward direction toward the defoaming space at the opening and closing portion located in the closed position, and a support member coupled to the upper fixing chamber so as to protrude outwardly opposite to the inward direction,
The support member is coupled to the upper fixing chamber so as to be located under the protruding member,
The upper sealing member is a degassing autoclave device, characterized in that coupled to the upper surface of the support member so as to be pressed against the protruding member as the opening and closing portion is positioned in the closed position.
상기 지지부재는 상기 상부고정챔버에 분리 가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 13,
The support member is a degassing autoclave device, characterized in that the detachably coupled to the upper fixing chamber.
상기 상부고정챔버에 결합되어서 상기 밀폐위치에 위치한 개폐부와 상기 상부고정챔버의 사이를 밀폐시키는 상부밀폐부재; 및
상기 상부밀폐부재의 하면을 지지하도록 상기 상부고정챔버에 분리 가능하게 결합된 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 1,
An upper sealing member coupled to the upper fixing chamber to seal a gap between the opening and closing portion located in the closed position and the upper fixing chamber; And
And a support member detachably coupled to the upper fixing chamber to support a lower surface of the upper sealing member.
상기 승강부는 상기 개폐부를 상승시켜서 상기 밀폐위치에 위치시킴과 아울러 상기 개폐부를 하강시켜서 상기 개방위치에 위치시키도록 상기 하부고정챔버에 결합된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치.The method of claim 1,
The elevating portion is coupled to the lower fixing chamber to raise the opening and closing portion to be positioned in the closed position and lower the opening and closing portion to be positioned in the open position.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190025278A KR102169295B1 (en) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | Autoclave Apparatus for Defoamation |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190025278A KR102169295B1 (en) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | Autoclave Apparatus for Defoamation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200106712A KR20200106712A (en) | 2020-09-15 |
KR102169295B1 true KR102169295B1 (en) | 2020-10-23 |
Family
ID=72450649
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190025278A KR102169295B1 (en) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | Autoclave Apparatus for Defoamation |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102169295B1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115384045A (en) * | 2021-05-24 | 2022-11-25 | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 | Full-automatic online pressurizing defoaming machine for large-size panel and defoaming process thereof |
CN114609810B (en) * | 2022-02-16 | 2024-04-09 | 江西胜宝莱光电科技有限公司 | Semi-automatic defoaming equipment for polaroid |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5005512B2 (en) * | 2007-11-07 | 2012-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | A gate valve device, a vacuum processing device, and a method for opening a valve body in the gate valve device. |
KR101468388B1 (en) * | 2008-02-15 | 2014-12-05 | 엘아이지에이디피 주식회사 | Gate valve and FPD manufacturing machine having the same |
KR101119792B1 (en) * | 2009-12-22 | 2012-03-22 | 박웅기 | Autoclave Apparatus |
-
2019
- 2019-03-05 KR KR1020190025278A patent/KR102169295B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20200106712A (en) | 2020-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102169295B1 (en) | Autoclave Apparatus for Defoamation | |
KR20080017564A (en) | Apparatus for attaching substrates of flat plate display element | |
KR100828969B1 (en) | A fixing unit for sealant uv cure machine | |
KR101323235B1 (en) | Imprinting Apparatus and Imprinting Method using the same | |
KR20110004049A (en) | Gate valve | |
KR100970201B1 (en) | Vacuum Processing Apparatus | |
KR101778940B1 (en) | Autoclave Apparatus for Defoamation | |
KR101260952B1 (en) | Plate using air to drive the autoclave device, using the device and method of driving | |
KR20090031038A (en) | Lift pin module and device for manufacturing flat display device using the same | |
KR20080028770A (en) | Gate valve of vacuum processing apparatus | |
KR20120077312A (en) | Laminate apparatus with rigid body press plate for manufacturing solar cell module | |
KR20100002918A (en) | Lift pin module of fpd manufacturing machine | |
KR101862829B1 (en) | Vaccum dry heating apparatus | |
KR200466784Y1 (en) | Fixing unit for sealant UV cure machine | |
CN112740387A (en) | Substrate processing apparatus | |
KR20090067319A (en) | Lid opening/closing apparatus | |
KR101471002B1 (en) | Apparatus and method for treating substrate | |
KR101232907B1 (en) | Sealing Apparatus of Organic Light Emitting Diodes | |
CN220813712U (en) | Down-opening type weir gate | |
KR20060083237A (en) | Encapsulation apparatus for fabricating an organic light emitting diode panel | |
KR20140038593A (en) | Shuttle for substrate processing apparatus, and substrate processing apparatus | |
KR20080008787A (en) | Apparatus for assembling substrates | |
KR101226251B1 (en) | Sealing Apparatus and Sealing Method of Organic Light Emitting Diode | |
KR101216604B1 (en) | Gate Valve | |
KR101123670B1 (en) | Gate valve |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E90F | Notification of reason for final refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |