KR20110004049A - Gate valve - Google Patents

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KR20110004049A KR1020090061667A KR20090061667A KR20110004049A KR 20110004049 A KR20110004049 A KR 20110004049A KR 1020090061667 A KR1020090061667 A KR 1020090061667A KR 20090061667 A KR20090061667 A KR 20090061667A KR 20110004049 A KR20110004049 A KR 20110004049A
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박정훈
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    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Abstract

PURPOSE: A counter-pressure corresponding gate valve is provided to effectively respond to a counter-pressure without a stopper structure by forming a sealing plate and an air shaft to be forwardly and backwardly moved. CONSTITUTION: A housing(10) is fixed to the sidewall(1) of a chamber to be corresponded to a gate formed on the sidewall of the chamber. A sealing plate assembly(20) forwardly moves to the gate direction and seals the gate. An air shaft(40) supplies air to the sealing plate assembly. An elevating unit elevates the air shaft to elevate the sealing plate assembly. A forwardly and backwardly moving unit(60) moves the air shaft.

Description

역압 대응 게이트 밸브{GATE VALVE}Gate Valve for Back Pressure {GATE VALVE}

본 발명은 역압 대응 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 실링 플레이트 어세이 자체가 전후진할 수 있는 구조를 가져서 역압 대응이 용이하고, 고장이 발생하지 않는 역압 대응 게이트 밸브에 관한 것이다. The present invention relates to a gate valve corresponding to a back pressure, and more particularly to a gate valve corresponding to a back pressure is easy, having a structure that the sealing plate assay itself can move forward and backward, and does not cause a failure.

일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 고진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용되며, 진공 장비를 진공 장비의 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다. In general, most of the processes for manufacturing LCD substrates or semiconductor devices proceed in a vacuum. Therefore, most of the equipment that performs the process for manufacturing the LCD substrate or semiconductor device is a vacuum equipment, such a vacuum equipment is used to maintain a high vacuum inside the vacuum equipment, the vacuum equipment is used outside the vacuum equipment or other A gate valve is provided to isolate the vacuum equipment.

이러한 게이트 밸브는 일반적으로 외부보다 압력이 낮은 진공 장비의 게이트를 단속하는 것도 있지만, 챔버와 챔버 사이에 배치되어, 다른 챔버보다 높은 압력을 가지는 챔버의 게이트를 단속하는 역압 대응 게이트 밸브도 있다. 이 중에서 역압 대응 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 하우징(3), 실링판(4), 중앙판(5), 이동부재(6), 에어 샤프트(7), 승강수단(8) 및 스토퍼(9)를 포함하여 구성된다. Although such a gate valve generally intercepts a gate of a vacuum equipment having a pressure lower than the outside, there is also a counter valve corresponding to a reverse pressure that is disposed between the chambers and intercepts a gate of a chamber having a higher pressure than other chambers. Among them, as shown in FIG. 1, the gate valve corresponding to the back pressure includes the housing 3, the sealing plate 4, the center plate 5, the moving member 6, the air shaft 7, the lifting means 8, and the like. It is comprised including the stopper 9.

먼저 하우징(3)은 도 1에 도시된 바와 같이, 내부에 일정한 공간을 가지는 구조를 가지며, 상기 게이트(2)에 대응되는 측면에 실링홀이 형성된다. 이 하우징(3)의 내부에는 실링판(4), 이동부재(6) 및 중앙판(5)으로 이루어지는 실링 플레이트 어세이가 설치된다. 이 실링 플레이트 어세이는 상기 하우징(3) 내에서 승강하면서 상기 게이트(2)를 단속한다. 실제로 상기 게이트(2)를 단속하는 과정에서는 상기 실링 판(4)이 상기 이동부재(6)에 의하여 전진하면서 게이트(2)를 폐쇄하게 된다. 이때, 상기 중앙판(5)은 반작용에 의하여 후진하게 되는데, 상기 하우징(3)의 내면에 형성되어 있는 스토퍼(9)가 상기 중앙판(5)의 후진을 방지한다. First, as shown in FIG. 1, the housing 3 has a structure having a predetermined space therein, and a sealing hole is formed at a side surface corresponding to the gate 2. Inside the housing 3, a sealing plate assay consisting of a sealing plate 4, a moving member 6 and a center plate 5 is provided. This sealing plate assay interrupts the gate 2 while raising and lowering in the housing 3. In fact, in the process of interrupting the gate 2, the sealing plate 4 closes the gate 2 while advancing by the moving member 6. At this time, the middle plate 5 is reversed by the reaction, the stopper 9 formed on the inner surface of the housing 3 prevents the reverse of the middle plate (5).

그런데 이러한 구조의 역압 대응 게이트 밸브는 상기 중앙판(5)이 승강하는 과정에서 상기 스토퍼(9)와 중앙판(5)이 접촉하면서 파티클이 발생하며, 상기 중앙판(5)과 스토퍼(9)의 접촉면에 오링 등이 구비되는 경우에는 이 오링 등이 손상되면서 파티클 발생 현상이 더욱 심해지는 문제점이 있다. However, in the structure of the reverse pressure corresponding gate valve, particles are generated while the stopper 9 and the middle plate 5 come into contact with each other while the middle plate 5 moves up and down, and the middle plate 5 and the stopper 9 When the O-ring and the like are provided on the contact surface of the O-ring and the like, there is a problem that the particle generation phenomenon is more severe.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 실링 플레이트 어세이 자체가 전후진할 수 있는 구조를 가져서 역압 대응이 용이하고, 고장이 발생하지 않는 역압 대응 게이트 밸브를 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to provide a reverse-pressure-responsive gate valve having a structure that the sealing plate assay itself can be moved forward and backward, easy to counter the pressure, and does not cause a failure.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 역압 대응 게이트 밸브는, 챔버 측벽에 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀과 일정한 내부 공간을 가지는 하우징; 상기 하우징 내부에 설치되며, 실링면이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 실링 플레이트 어세이; 상기 하우징의 하부를 관통하여 상기 실링 플레이트 어세이와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이에 에어를 공급하는 에어 샤프트; 상기 에어 샤프트를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이를 승강시키는 승강부; 상기 에어 샤프트의 하단이 결합되며, 상기 에어 샤프트를 전후진시키는 전후진 수단;을 포함한다. In order to achieve the above technical problem, the gate valve corresponding to the back pressure according to the present invention is fixedly installed on the chamber sidewall so as to correspond to a gate formed on the chamber sidewall, and has a predetermined internal space with a sealing hole opened in the gate direction. housing; A sealing plate assembly installed inside the housing, the sealing surface advancing toward the gate to seal the gate; An air shaft penetrating a lower portion of the housing to be coupled to the sealing plate assay to support the sealing plate assay and supply air to the sealing plate assay; An elevating unit elevating the air shaft to elevate the sealing plate assay; A lower end of the air shaft is coupled, and the forward and backward means for advancing and retreating the air shaft.

본 발명에서 상기 전후진 수단은, 상기 승강부의 하단이 결합되는 고정 브라켓; 상기 고정 브라켓 내에서 전후 이동이 가능하도록 설치되며, 상기 에어 샤프트 하단이 결합되는 이동 브라켓; 상기 고정 브라켓에 설치되며, 상기 이동 브라켓을 전후진시키는 전후진 모터;를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. In the present invention, the forward and backward means, the fixing bracket is coupled to the lower end of the lifting portion; A moving bracket which is installed to move back and forth within the fixing bracket and to which the lower end of the air shaft is coupled; It is preferably configured to include; is installed on the fixed bracket, forward and backward motor for moving forward and backward the movement bracket.

그리고 상기 이동 브라켓과 고정 브라켓 사이에는 상기 이동 브라켓의 전후 이동 방향을 안내하는 안내 수단이 더 구비되는 것이, 상기 이동 브라켓을 정확한 방향으로 전후진시킬 수 있어서 바람직하다. And it is preferable that the guide means for guiding the forward and backward movement direction of the movement bracket between the movement bracket and the fixed bracket, it is preferable to advance the movement bracket in the correct direction.

또한 상기 실링 플레이트 어세이의 배면에는 신축성이 있는 소재로 이루어지는 완충수단이 더 구비되는 것이, 상기 실링 플레이트 어세이의 중앙판과 하우징이 직접 접촉하는 것을 방지할 수 있어서 바람직하다. In addition, the rear surface of the sealing plate assay is preferably provided with a cushioning means made of a flexible material, it is preferable to prevent direct contact between the housing and the center plate of the sealing plate assay.

본 발명에서 상기 완충수단은 피크(PEEK) 재질로 이루어질 수 있다. In the present invention, the buffer means may be made of a PEEK material.

본 발명에 따른 역압 대응 게이트 밸브는 게이트의 밀폐과정에서 실링 플레이트 어세이와 에어 샤프트를 포함한 전체가 전진 및 후진을 할 수 있는 구조를 가지므로 스토퍼 구조 없이도 역압에 효과적으로 대응할 수 있다. The gate valve corresponding to the back pressure according to the present invention can effectively cope with back pressure without a stopper structure since the gate valve has a structure that allows the whole of the gate valve to move forward and backward in the sealing process of the gate.

또한 실링 플레이트 어세이의 승강 과정에서 중앙판과 스토퍼의 접촉 현상이 발생하지 않으므로 파티클 발생 가능성이 원천적으로 제거되는 장점도 있다. In addition, since the contact between the middle plate and the stopper does not occur during the lifting and lowering of the sealing plate assay, there is an advantage that the possibility of particle generation is essentially eliminated.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a specific embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 하우징(10), 실링 플레이트 어세이(20), 에어 샤프트(40), 하부 플레이트(30), 승강부(50) 및 전 후진 수단(60)을 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 1, the gate valve according to the present embodiment includes a housing 10, a sealing plate assay 20, an air shaft 40, a lower plate 30, a lifting unit 50, and a forward reversing means. It consists of 60.

먼저 하우징(10)은 본 실시예에 따른 게이트 밸브가 설치될 챔버 측벽(1) 또는 챔버와 챔버 사이의 공간에 개재되어 설치되는 구성요소이며, 다양한 형상을 가질 수 있으며 예를 들어 도 2에 도시된 바와 같이, 내부에 일정한 공간이 형성되는 육면체 형상을 가질 수 있다. 이 하우징(10)은 챔버 측벽에 기판을 출입을 위하여 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀(12)과 하측 방향으로 개구된 승강홀(14)을 가진다. First, the housing 10 is a component installed in the chamber side wall 1 or the space between the chamber and the chamber in which the gate valve according to the present embodiment is installed, and may have various shapes, for example, illustrated in FIG. 2. As shown, it may have a hexahedral shape in which a predetermined space is formed. The housing 10 is fixed to the side wall of the chamber so as to correspond to a gate formed to access the substrate on the side wall of the chamber, and as shown in FIGS. 2 and 3, the sealing hole 12 opened in the gate direction. And a lifting hole 14 opened downward.

상기 실링 홀(12)을 통해서는 후술할 실링 플레이트 어세이(20)의 실링판(24)이 관통하여 전후진 하며, 이 실링 홀(12)은 상기 하우징(10)의 전면 또는 후면 중 적어도 일면에 형성된다. 상기 게이트 밸브가 챔버와 챔버 사이에 설치되는 경우에는 상기 하우징(10)의 양면에 실링 홀(12)이 형성되고, 상기 실링 플레이트 어세이도 양 면에 실링판(24)을 가지게 된다. Through the sealing hole 12, the sealing plate 24 of the sealing plate assay 20 to be described later penetrates back and forth, and the sealing hole 12 is at least one surface of the front or rear surface of the housing 10. Is formed. When the gate valve is installed between the chamber and the chamber 10, the sealing hole 12 is formed on both sides of the housing 10, and the sealing plate assay also has a sealing plate 24 on both sides.

상기 승강홀(14)은 실링 플레이트 어세이(20)의 조립시에 상기 실링 플레이트 어세이(20)가 통과하는 통로를 제공하며, 실링 플레이트 어세이(20)의 조립 이후에는 상기 에어 샤프트(40)가 통과하는 공간이기도 하다. 이 승강홀(14)은 후술하는 하부 플레이트(30)에 의하여 밀봉된다. The lifting hole 14 provides a passage through which the sealing plate assay 20 passes when the sealing plate assay 20 is assembled, and after the assembly of the sealing plate assay 20, the air shaft 40. It is also a space where) passes. The lifting hole 14 is sealed by a lower plate 30 to be described later.

본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 상기 하우징(10)의 하면에 형성되어 있는 승강홀(14)과, 상기 승강홀(14)을 하측에서 결합하여 밀봉하는 하부 플레이트(30)를 포함하는 구조로 인하여 상기 하우징(10) 내부에 설치되는 실링 플레이트 어세이(20)에 고장이 발생하는 경우, 하우징(10) 자체를 챔버로부터 분리하지 않고 실링 플레이트 어세이(20) 만을 하우징(10) 하부로 분리할 수 있는 장점이 있다. In the gate valve according to the present embodiment, due to the structure including a lifting hole 14 formed on the lower surface of the housing 10 and a lower plate 30 for sealing the lifting hole 14 by coupling from below. When a failure occurs in the sealing plate assay 20 installed inside the housing 10, the sealing plate assay 20 may be separated only below the housing 10 without separating the housing 10 itself from the chamber. There are advantages to it.

게이트 밸브의 유지 보수 작업을 수행하면서 하우징(10)을 포함하는 게이트 밸브 전체를 챔버로부터 분리하는 작업은 그 자체로도 매우 어려운 작업이며, 상기 챔버에 설치되어 있는 다른 부수 설비와의 간섭 문제 때문에 더욱 어려운 작업이 된다. 그런데 본 실시예에 따른 게이트 밸브는 어떠한 경우에도 상기 하우징(10) 자체를 챔버로부터 분리하지 않고도 유지 보수 작업을 진행할 수 있으므로 매우 유리한 것이다. Removing the entire gate valve including the housing 10 from the chamber while performing the maintenance of the gate valve is a very difficult task in itself, and moreover, due to interference problems with other auxiliary equipment installed in the chamber. This is a difficult task. However, the gate valve according to the present embodiment is very advantageous because the maintenance work can be performed without removing the housing 10 itself from the chamber in any case.

다음으로 실링 플레이트 어세이(Sealing Plate Assay, 20)는 상기 하우징(10) 내부에 설치되며, 실링판(24)이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 구성요소이다. 이를 위하여 본 실시예에 따른 실링 플레이트 어세이(20)는 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 중앙판(22), 실링판(24) 및 이동수단(26)을 포함하여 구성된다. 먼저 중앙판(22)은 장방형의 플레이트로 구성되며, 실링 플레이트 어세이(20)의 중심을 이룬다. 이 중앙판(22) 하부에 에어 샤프트(40)가 결합된다. 그리고 이 중앙판(22)의 내부에는 에어 샤프트(40)로부터 공급된 에어를 상기 이동수단(26)에 공급하기 위한 유로(도면에 미도시)가 형성된다. 이 중앙판(22)은 상기 실링판(24)이 상기 게이트를 단속하기 위하여 전진하는 경우에도 움직이지 않고 자기 위치에 정지한 상태로 머문다. Next, a sealing plate assay 20 is installed in the housing 10, and the sealing plate 24 is a component for advancing toward the gate to seal the gate. To this end, the sealing plate assay 20 according to the present embodiment includes a middle plate 22, a sealing plate 24, and a moving unit 26, as shown in FIGS. 2 and 4. First, the middle plate 22 is composed of a rectangular plate and forms the center of the sealing plate assay 20. The air shaft 40 is coupled to the lower portion of the middle plate 22. In addition, a flow path (not shown) for supplying air supplied from the air shaft 40 to the moving means 26 is formed inside the central plate 22. The middle plate 22 remains stationary at its position without moving even when the sealing plate 24 moves forward to intercept the gate.

다음으로 실링판(24)은 상기 중앙판(22)에 결합된 상태로 구비되며, 상기 게이트 방향으로 전후진하면서 상기 게이트를 단속하는 구성요소이다. 이 실링판(24) 의 전면에는 상기 게이트를 밀봉할 경우에 기밀을 유지하기 위하여 오링(도면에 미도시)이 더 구비된다. Next, the sealing plate 24 is provided in a state coupled to the middle plate 22, and is a component for controlling the gate while moving forward and backward in the gate direction. An o-ring (not shown in the figure) is further provided on the front surface of the sealing plate 24 to maintain airtightness when sealing the gate.

그리고 이 실링판(24)은 도 4에 도시된 바와 같이, 이동수단(26)에 의하여 상기 중앙판(22)에 결합된다. 이 이동수단(26)은 상기 실링판(24)을 상기 중앙판(22)으로부터 상기 게이트 방향으로 전후진 시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 이동수단(26)이 상기 에어 샤프트(40)를 통하여 공급되는 고압의 에어에 의하여 상기 실링판(24)을 전후진시키는 구조를 가진다. 구체적으로 본 실시예에서는 다수개의 이동수단(26)이 나란하게 배치되어 상기 실링판(24)의 다수 지점을 안정적으로 지지하게 된다. And the sealing plate 24 is coupled to the center plate 22 by the moving means 26, as shown in FIG. The moving means 26 is a component that moves the sealing plate 24 back and forth from the center plate 22 in the gate direction. In this embodiment, the moving means 26 has a structure in which the sealing plate 24 is moved forward and backward by the high pressure air supplied through the air shaft 40. Specifically, in the present embodiment, a plurality of moving means 26 are arranged side by side to stably support a plurality of points of the sealing plate 24.

그리고 상기 게이트를 밀봉하는 과정에서는 상기 챔버 벽면과 평행한 상태에서 상기 실링판(24)의 모든 면에 대해 균일하게 힘이 가해지도록 한다. 특히, 본 실시예에서는 상기 에어 샤프트(40)가 상기 중앙판(22) 중앙 부분에 결합되므로, 에어 샤프트(40)에 공급되는 고압의 에어가 상기 실링판(22)의 중앙 부분부터 가압하게 된다. 따라서 상기 게이트의 밀봉 과정에서 가장 많은 힘을 받아서 변형되기 쉬운 부분인 중앙 부분을 가장 강하게 가압하게 되어 상기 실링판(24)의 변형을 방지하고, 확실하게 게이트를 밀봉하는 효과가 있다. In the sealing of the gate, force is applied uniformly to all surfaces of the sealing plate 24 in a state parallel to the chamber wall. In particular, in the present embodiment, since the air shaft 40 is coupled to the center portion of the middle plate 22, the high pressure air supplied to the air shaft 40 is pressurized from the center portion of the sealing plate 22. . Therefore, in the sealing process of the gate, the center part, which is a part which is easily deformed due to the most force, is pressed most strongly, thereby preventing deformation of the sealing plate 24 and reliably sealing the gate.

다음으로 에어 샤프트(40)는 상기 하우징(10)의 하부에서 상기 실링 플레이트 어세이(20)와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이(20)에 에어를 공급하는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 에어 샤프트(40)는 2개가 나란하게 설치되는 것이, 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 안정 적으로 지지할 수 있어서 바람직하다. 이렇게 상기 에어 샤프트(40)가 2개로 구비되는 경우에는, 하나의 에어 샤프트(40)는 상기 실링 플레이트 어세이(20)에 에어를 공급하고, 나머지 하나는 공급된 에어를 배출하는 역할을 나누어 수행하는 것이 바람직하다. 이를 위하여 상기 에어 샤프트(40)의 상단은 상기 실링 플레이트 어세이(20)의 중앙판(22) 하면에 결합되고, 상기 에어 샤프트(40)의 하단은 후술하는 전후진 수단(52)에 결합되며, 그 이 후에 별도로 구비되는 에어 공급 배출 라인(도면에 미도시)에 결합된다. Next, the air shaft 40 is coupled to the sealing plate assay 20 at the bottom of the housing 10 to support the sealing plate assay 20, and supplies air to the sealing plate assay 20. Supply component. In the present embodiment, it is preferable that two air shafts 40 are installed side by side, so that the sealing plate assay 20 can be stably supported. In this case, when the air shaft 40 is provided with two, one air shaft 40 supplies air to the sealing plate assay 20, and the other one divides the role of discharging the supplied air. It is desirable to. To this end, the upper end of the air shaft 40 is coupled to the lower surface of the middle plate 22 of the sealing plate assay 20, the lower end of the air shaft 40 is coupled to the forward and backward means 52 to be described later Then, it is coupled to the air supply discharge line (not shown in the figure) provided separately.

그리고 상기 에어 샤프트(40)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 실링 플레이트 어세이(20)의 중앙 부분에 결합되는 것이, 상기 실링판(22)을 안정적으로 가압할 수 있고, 상기 실린더(54)의 설치 위치를 용이하게 확보할 수 있어서 바람직하다. 또한 상기 에어 샤프트(40)는 상기 하부 플레이트(30)에 형성되어 잇는 샤프트 관통홀(34)을 관통하여 설치되는데, 이때 상기 하우징(10) 내부의 기밀을 유지하기 위하여 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하부 플레이트(30)와의 결합부분이 벨로우즈(44)에 의하여 밀봉된 상태로 결합되는 것이 바람직하다. And the air shaft 40 is coupled to the central portion of the sealing plate assay 20, as shown in Figure 2, it can stably press the sealing plate 22, the cylinder 54 It is preferable to be able to easily secure the mounting position. In addition, the air shaft 40 is installed through the shaft through hole 34 formed in the lower plate 30, as shown in Figure 2 to maintain the airtight inside the housing 10 It is preferable that the coupling portion with the lower plate 30 is coupled in a sealed state by the bellows 44.

다음으로 하부 플레이트(30)는 상기 에어 샤프트(40)가 관통하는 샤프트 관통홀(34)을 가지며, 상기 하우징(10)의 하부에 결합하여 상기 승강홀(14)을 밀봉하는 구성요소이다. 즉, 이 하부 플레이트(30)는 상기 하우징(10)의 일부를 구성하는 세부 구성요소로도 볼 수 있으며, 상기 하우징(10) 중 하측으로 개방된 부분인 승강홀(14)을 밀봉하며, 이 하부 플레이트(30)는 상기 하우징(10)에 탈착가능한 구조로 결합된다. Next, the lower plate 30 has a shaft through hole 34 through which the air shaft 40 penetrates, and is coupled to a lower portion of the housing 10 to seal the lifting hole 14. That is, the lower plate 30 can also be seen as a detailed component constituting a part of the housing 10, and seals the lifting hole 14, which is an open portion of the housing 10 to the lower side. The lower plate 30 is coupled to the housing 10 in a removable structure.

또한 상기 하부 플레이트(30)와 하우징(10)의 결합면에는 상기 하우징(10) 내부의 기밀을 유지하기 위하여 오링(32)이 더 구비될 수 있다. 이와 같이, 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 이렇게 상기 하우징(10)의 하부가 개방되는 구조를 가지므로 상기 게이트 밸브가 챔버 측벽에 설치된 후 사용과정에서 유지 보수를 위하여 하우징(10)을 분리하지 않고, 상기 하부 플레이트(30)를 분리하여 상기 하우징(10) 내부의 실링 플레이트 어세이(20)를 유지 보수할 수 있는 장점이 있다. In addition, an O-ring 32 may be further provided at a coupling surface of the lower plate 30 and the housing 10 to maintain the airtightness inside the housing 10. As described above, in the gate valve according to the present exemplary embodiment, since the lower portion of the housing 10 is opened, the gate valve is installed on the sidewall of the chamber, and thus the housing 10 is not separated for maintenance during use. The separation of the lower plate 30 has the advantage of maintaining the sealing plate assay 20 inside the housing 10.

다음으로 승강부(50)는 상기 에어 샤프트(40)를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 승강시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 상기 승강부(50)가 직접적으로 상기 실링 플레이트 어세이(20)와 결합하여 이를 승강하는 것이 아니라, 상기 에어 샤프트(40)를 통하여 간접적으로 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 승강시키는 것이다. 이를 위하여 상기 승강부(50)는 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 고정 브라켓(52)과 실린더(56)를 포함하여 구성된다. Next, the lifting unit 50 is a component for elevating the sealing plate assay 20 by elevating the air shaft 40. In the present embodiment, the lifting unit 50 is not directly coupled with the sealing plate assay 20 to elevate it, but indirectly lifts the sealing plate assay 20 through the air shaft 40. It is to let. To this end, the lifting unit 50 is configured to include a fixing bracket 52 and the cylinder 56, as shown in Figs.

여기에서 상기 고정 브라켓(52)은 그 내부에 전후진 수단(60)이 구비되며, 이 전후진 수단(60)에 상기 에어 샤프트(40)의 하단이 고정되며, 상기 에어 샤프트(40)와 함께 승강하는 구성요소이다. 이 고정 브라켓(52)에는 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 중앙 부분에 상기 에어 샤프트(40)의 하단이 상기 전후진 수단(60)에 결합되고, 말단 부분에는 상기 실린더(54)의 하단이 결합된다. Here, the fixing bracket 52 is provided with a forward and backward means 60 therein, the lower end of the air shaft 40 is fixed to the forward and backward means 60, together with the air shaft 40 The lifting component. 2 and 4, the lower end of the air shaft 40 is coupled to the forward and backward means 60 at a central portion thereof, and the lower end of the cylinder 54 is disposed at the distal end thereof. Is combined.

구체적으로 상기 실린더(54)는 상기 고정 브라켓(52)와 상기 하부 플레이트(30) 사이에 설치되어, 상기 고정 브라켓(52)을 승강시키는 구성요소이다. 이 실린더(54)는 종래의 실린더와 달리 거꾸로 설치되어 상기 고정 브라켓(52)을 상하 방향으로 승강시킨다. 여기에서 상기 실린더(52)의 상단은 상기 하부 플레이트(30)의 하면에 단순 결합된다. 여기에서 단순 결합된다 함은, 별도의 실링을 위한 구조를 가지지 않고, 단순히 볼트와 같은 체결 수단에 의하여 고정되는 것을 말한다. In detail, the cylinder 54 is installed between the fixing bracket 52 and the lower plate 30 to elevate the fixing bracket 52. Unlike the conventional cylinder, the cylinder 54 is installed upside down to elevate the fixing bracket 52 in the vertical direction. Here, the upper end of the cylinder 52 is simply coupled to the lower surface of the lower plate 30. Here, the simple coupling means not having a structure for a separate sealing, but simply fixed by a fastening means such as a bolt.

본 실시예에서는 전술한 바와 같이, 상기 에어 샤프트(40)를 이용하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 지지하므로, 상기 실린더(54)는 복잡한 구조를 가지지 않고 단순한 구조로 상기 하부 플레이트(30)와 결합할 수 있다. 이렇게 단순 구조로 하부 플레이트(30)와 결합되면, 상기 게이트 밸브가 역압 대응 밸브로 구성되는 경우, 상기 실링 플레이트 어세이(20) 자체가 동작 과정에서 전 후 방향으로 약간 밀리더라도 고장이 발생할 가능성이 없으므로 바람직하다. In the present embodiment, as described above, since the sealing plate assay 20 is supported using the air shaft 40, the cylinder 54 does not have a complicated structure and the lower plate 30 has a simple structure. Can be combined with When combined with the lower plate 30 in such a simple structure, when the gate valve is composed of a counter-pressure valve, there is a possibility that a failure occurs even if the sealing plate assay 20 itself is slightly pushed back and forth in the operation process It is preferable because there is no.

다음으로 전후진 수단(60)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 에어 샤프트(의 하단이 결합되며, 상기 에어 샤프트를 전후진시키는 구성요소이다. 구체적으로 이 전후진 수단은 상기 실링 플레이트 어세이(20)가 실링을 위하여 상승하는 동안에는 하우징(10) 내벽과의 간섭을 피하기 위하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 챔버(1) 방향으로 일정 간격(예를 들어 2mm) 정도 전진시킨다. 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 전진시킨 후, 상기 실링 플레이트 어세이(20)가 게이트(2)의 실링을 위하여 게이트(2) 방향으로 전진하면서 중앙판(22)이 후진하는 동안에는 상기 에어 샤프트(40)가 자유 이동할 수 있도록 한다. 그러면 상기 실링판(24)이 전전하면서 상기 중앙판(22)이 자연스럽게 후진할 수 있게 된다. Next, as shown in Fig. 4, the forward and backward means 60 is a component to which the lower end of the air shaft is coupled and advances the air shaft. Specifically, the forward and backward means is the sealing plate assay. While the 20 is raised for sealing, the sealing plate assay 20 is advanced about a predetermined distance (for example, 2 mm) in the direction of the chamber 1 to avoid interference with the inner wall of the housing 10. The sealing After advancing the plate assay 20, the air shaft 40 while the sealing plate assay 20 moves forward in the direction of the gate 2 for sealing the gate 2 while the middle plate 22 retreats. ) Allows the free movement of the center plate, so that the center plate 22 is naturally retracted while the sealing plate 24 moves forward.

이를 위하여 본 실시예에서는 상기 전후진 수단을 도 4에 도시된 바와 같이, 고정 브라켓(52), 이동 브라켓(64), 전후진 모터(66)를 포함하여 구성된다. 먼저 고정 브라켓(52)는 상기 승강부의 하단이 결합되며, 상기 이동 브라켓(64)가 수용되는 공간을 제공한다. 다음으로 이동 브라켓(64)은 상기 고정 브라켓(52) 내에서 전후 이동이 가능하도록 설치되며, 상기 에어 샤프트(40) 하단이 결합되는 구성요소이다. To this end, in the present embodiment, as shown in FIG. 4, the forward and backward means includes a fixed bracket 52, a moving bracket 64, and a forward and backward motor 66. First, the fixing bracket 52 is coupled to the lower end of the lifting unit, and provides a space in which the movable bracket 64 is accommodated. Next, the moving bracket 64 is installed to be able to move back and forth within the fixing bracket 52 and is a component to which the lower end of the air shaft 40 is coupled.

이때, 상기 이동 브라켓(64)과 고정 브라켓(52) 사이에는 도 4에 도시된 바와 같이, 안내 수단(68)이 더 구비될 수 있다. 구체적으로 상기 안내 수단(68)은 상기 이동 브라켓(64)과 고정 브라켓(52) 사이에 배치되어, 상기 이동 브라켓(64)의 전후 이동 방향을 안내한다. 이를 위하여 상기 안내 수단(68)은 다양한 구조를 가질 수 있으며, 예를 들어 리니어 가이드와 이에 결합하여 이동하는 리니어 블럭으로 구성될 수 있다. In this case, the guide means 68 may be further provided between the movable bracket 64 and the fixed bracket 52 as shown in FIG. 4. Specifically, the guide means 68 is disposed between the moving bracket 64 and the fixed bracket 52 to guide the front and rear movement direction of the moving bracket 64. To this end, the guide means 68 may have a variety of structures, for example, it may be composed of a linear guide and a linear block moving in combination with it.

다음으로 전후진 모터(66)는 상기 고정 브라켓(52)에 설치되며, 상기 이동 브라켓(64)을 전후진시키는 구성요소이다. 구체적으로 상기 전후진 모터(66)는 상기 고정 브라켓(52)의 일 측벽에 고정되어 설치되며, 상기 이동 브라켓(64)의 일측에 결합되어 상기 이동 브라켓(64)을 전후진 시킨다. Next, the forward and backward motors 66 are installed on the fixed bracket 52 and move forward and backward through the movable bracket 64. Specifically, the forward and backward motors 66 are fixedly installed on one sidewall of the fixing bracket 52 and coupled to one side of the moving bracket 64 to move the moving bracket 64 forward and backward.

또한 상기 실링 플레이트 어세이(20)의 배면, 구체적으로 상기 중앙판(24)의 배면에는 도 4에 도시된 바와 같이, 신축성이 있는 소재로 이루어지는 완충수단(28)이 더 구비될 수 있다. 이 완충수단(28)은 게이트(2)의 실링 과정에서 상기 중앙판(24)이 후진 하면서 상기 하우징(10) 내벽과 접촉할 때, 상기 중앙판(24)을 보호하는 역할을 한다. 즉, 이 완충수단(28)이 중앙판(24)과 하우징(10) 내벽과 접촉시에 충격을 흡수하여 중앙판(24)이 손상되거나 파티클이 발생하는 등의 현상을 방지하는 것이다. 이를 위하여 본 실시예에서는 이 완충수단(28)을 파티클이 발생하지 않는 다양한 재질로 구성할 수 있으며, 예를 들어 피크(PEEK) 재질로 구성할 수 있다. In addition, the rear surface of the sealing plate assay 20, specifically, the rear surface of the middle plate 24 may be further provided with a buffer means 28 made of a flexible material, as shown in FIG. The buffer means 28 protects the middle plate 24 when the middle plate 24 is in contact with the inner wall of the housing 10 while reversing in the sealing process of the gate 2. That is, the shock absorbing means 28 absorbs the shock when the buffer plate 28 comes into contact with the inner wall of the center plate 24 and the housing 10, thereby preventing the center plate 24 from being damaged or generating particles. To this end, in the present embodiment, the shock absorbing means 28 may be made of various materials that do not generate particles. For example, the shock absorbing means 28 may be made of PEEK material.

도 1은 종래의 역압 대응 게이트 밸브의 구조를 도시하는 단면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a sectional view showing the structure of a conventional counter pressure-compatible gate valve.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 역압 대응 게이트 밸브의 구조를 도시하는 분리 사시도이다. 2 is an exploded perspective view showing the structure of the gate valve corresponding to the back pressure according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하우징의 구조를 도시하는 저면도이다. 3 is a bottom view illustrating the structure of a housing according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 역압 대응 게이트 밸브의 구조를 도시하는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing the structure of a gate valve corresponding to a back pressure according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 샤프트 및 승강부의 결합 구조를 도시하는 도면이다. 5 is a view showing a coupling structure of the air shaft and the lifting unit according to an embodiment of the present invention.

Claims (5)

챔버 측벽에 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀과 일정한 내부 공간을 가지는 하우징;A housing fixed to the sidewall of the chamber so as to correspond to a gate formed on the sidewall of the chamber, the housing having a sealing hole opened in the gate direction and having a predetermined internal space; 상기 하우징 내부에 설치되며, 실링면이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 실링 플레이트 어세이;A sealing plate assembly installed inside the housing, the sealing surface advancing toward the gate to seal the gate; 상기 하우징의 하부를 관통하여 상기 실링 플레이트 어세이와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이에 에어를 공급하는 에어 샤프트;An air shaft penetrating a lower portion of the housing to be coupled to the sealing plate assay to support the sealing plate assay and supply air to the sealing plate assay; 상기 에어 샤프트를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이를 승강시키는 승강부;An elevating unit elevating the air shaft to elevate the sealing plate assay; 상기 에어 샤프트의 하단이 결합되며, 상기 에어 샤프트를 전후진시키는 전후진 수단;을 포함하는 역압 대응 게이트 밸브.A lower end of the air shaft is coupled, and a forward and backward means for advancing and retreating the air shaft. 제1항에 있어서, 상기 전후진 수단은, According to claim 1, wherein the forward and backward means, 상기 승강부의 하단이 결합되는 고정 브라켓;A fixing bracket to which the lower end of the lifting unit is coupled; 상기 고정 브라켓 내에서 전후 이동이 가능하도록 설치되며, 상기 에어 샤프트 하단이 결합되는 이동 브라켓;A moving bracket which is installed to move back and forth within the fixing bracket and to which the lower end of the air shaft is coupled; 상기 고정 브라켓에 설치되며, 상기 이동 브라켓을 전후진시키는 전후진 모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 역압 대응 게이트 밸브.And a forward and backward motor installed in the fixed bracket and forward and backward moving the moving bracket. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 이동 브라켓과 고정 브라켓 사이에는 상기 이동 브라켓의 전후 이동 방향을 안내하는 안내 수단이 더 구비되는 것을 특징으로하는 역압 대응 게이트 밸브.And a guide means for guiding a forward and backward movement direction of the movement bracket between the movement bracket and the fixed bracket. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 실링 플레이트 어세이의 배면에는 신축성이 있는 소재로 이루어지는 완충수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 역압 대응 게이트 밸브.And a buffering means made of an elastic material on the rear surface of the sealing plate assay. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 완충수단은 피크(PEEK) 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 역압 대응 게이트 밸브.The buffer means is a reverse pressure response gate valve, characterized in that made of PEEK material.
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