KR100724280B1

KR100724280B1 - Vacuum gate valve

Info

Publication number: KR100724280B1
Application number: KR1020060101679A
Authority: KR
Inventors: 이병호; 황리호; 홍정표; 박해윤; 서창석
Original assignee: 주식회사 비츠로테크
Priority date: 2006-10-19
Filing date: 2006-10-19
Publication date: 2007-06-04

Abstract

A vacuum gate valve is provided to prevent noise and dust from being generated when the valve is operated, by eliminating a stopper and a link from the valve. If pressurized air is introduced in a drive piston(13) positioned at an upper end of a valve to close the valve, the drive piston is compressed by the compressed air, and a piston rod(41) is moved down to transmit the power to a first rod(42) and a second rod(43). A drive frame(20) connected to an end of the second rod is moved down. Since a sealing plate(30) and a drive frame are connected to each other by a spring(31), the drive frame is also moved down. After the drive frame and the sealing plate are fully lowered, a sealing ring is pushed towards an opening(11) by the spring to close the valve.

Description

Vacuum Gate Valve {Vacuum Gate Valve}

제1도는 종래 진공 게이트 밸브의 작동 원리를 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing the principle of operation of a conventional vacuum gate valve.

제2도는 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브의 개폐 상태를 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing the opening and closing state of the vacuum gate valve according to the present invention.

제3도는 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브의 측면 단면도이다.3 is a side cross-sectional view of a vacuum gate valve according to the present invention.

* 도면의 주요부호에 대한 간단한 설명 *Brief description of the main symbols in the drawing

1 : 하부 2 : 상부1: lower 2: upper

10 : 본체 11, 12 : 개구부10: main body 11, 12: opening

13 : 구동 피스톤 20 : 구동 프레임13: drive piston 20: drive frame

21 : 가이드 롤러 30 : 기밀판21: guide roller 30: airtight plate

31 : 스프링 32 : O링31: Spring 32: O-ring

40 : 로드부 41 : 피스톤 로드40: rod portion 41: piston rod

42 : 제1 로드 43 : 제2 로드42: first rod 43: second rod

50 : 차폐부 51 : 차폐링50: shield 51: shield ring

52 : 제1 공압부 53 : 제2 공압부52: first pneumatic part 53: second pneumatic part

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발명의 분야Field of invention

본 발명은 진공 게이트 밸브에 관한 것이다. 보다 구체적으로 종래의 스토퍼를 사용하지 않으며, 밸브 상하부 사이의 차폐가 가능한 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum gate valve. More specifically, the present invention relates to a gate valve capable of shielding between upper and lower parts of a valve without using a conventional stopper.

발명의 배경Background of the Invention

일반적으로 LCD(loquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버의 내부의 공기를 제거하여 진공 환경을 형성한다. 이 경우, 적절한 진공도를 설정 및 유지하는 것이 중요한데, 이 때 반드시 필요한 것이 진공 게이트 밸브이다.In general, the air inside the chamber in which the work is performed when performing an operation such as an etching process, a deposition process, a sputtering process, or a special coating process requiring a vacuum state such as a liquid crystal display (LCD) substrate or a semiconductor wafer. To form a vacuum environment. In this case, it is important to set and maintain an appropriate degree of vacuum, which is necessary at this time.

진공 게이트 밸브는 챔버와 펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함 으로써 진공상태를 유지 또는 해제하는 역할을 한다. 이러한 진공 게이트 밸브는 통상 구동판과 기밀판의 작동에 의해 챔버의 기밀성을 유지하게 된다. The vacuum gate valve is located in a passage connecting the chamber and the pump to open or close the passage to maintain or release the vacuum state. Such a vacuum gate valve normally maintains the airtightness of the chamber by the operation of the drive plate and the airtight plate.

도1에 도시된 바와 같이 종래에는 서로 분리된 구동판(a)과 기밀판(b)이 링크(c)로 연결되어 있다. 구동판이 구동 피스톤으로부터 로드(d)를 통하여 전달받은 동력에 의하여 상하 운동을 하면, 기밀판(b)은 링크(c)로 연결되어 있으므로 구동판과 함께 상하 운동을 하며, 구동판이 계속 하강 할 때 기밀판 하단에 형성되어 있는 스토퍼(e)가 밸브 바닥에 닿게 되어 기밀판은 더 이상 하강하지 못하게 된다. 이 상태에서 구동판(a)이 계속 하강하게 되면 도1(b)에 도시된 바와 같이 두 판 사이에 유격이 발생하면서 기밀판이 밸브로 통하는 개구부 쪽으로 힘을 받아 개구부를 밀폐하게 됨으로써 밸브의 진공도를 유지할 수 있게 된다.As shown in FIG. 1, a driving plate (a) and an airtight plate (b) separated from each other are connected by a link (c). When the driving plate moves up and down by the power transmitted from the driving piston through the rod (d), the airtight plate (b) is connected by the link (c), so that the driving plate moves up and down together with the driving plate, and the driving plate continues to descend. The stopper e formed at the bottom of the hermetic plate comes into contact with the bottom of the valve so that the hermetic plate can no longer be lowered. If the driving plate (a) continues to descend in this state, as shown in FIG. 1 (b), a gap is generated between the two plates, and the airtight plate is forced to the opening through the valve to close the opening, thereby increasing the vacuum degree of the valve. It can be maintained.

그러나 이러한 종래의 진공 게이트 밸브는 스토퍼(e)를 사용하기 때문에 개폐 시의 소음 문제가 발생하고, 기밀판을 고속으로 하강시킬 경우 밸브 바닥과의 마찰에 의해 금속 입자가 발생하여 클린 룸(clean room)과 같은 작업 환경을 요하는 공정에 있어서는 부적합하게 될 뿐만 아니라 충격으로 인해 장치가 변형되는 등 여러 가지 문제가 있다.However, since the conventional vacuum gate valve uses a stopper (e), a noise problem occurs during opening and closing, and when the airtight plate is lowered at a high speed, metal particles are generated due to friction with the valve bottom, resulting in a clean room. In the process that requires a working environment such as), there are various problems such as not only making the device unsuitable but also deforming the device due to the impact.

그러나 이러한 문제점을 해소하기 위해 하강 속도를 늦추는 것은 고속의 밀폐가 요구되는 반도체 분야에 적합하지 않은 해결 방안일 뿐만 아니라 주변기기 보호에도 적합하지 않다.However, slowing down the speed to solve this problem is not only a solution that is not suitable for semiconductor applications requiring high speed sealing, but also is not suitable for peripheral protection.

또한 종래의 진공 게이트 밸브는 밸브가 열려있는 동안 챔버에서 발생한 분진이 밸브 내에 혼입됨으로써 오랜 시간 사용할 경우 쌓여진 분진으로 인해 구동판 의 상하 운동이 방해받음으로써 밸브의 성능이 떨어지는 문제점도 가지고 있다.In addition, the conventional vacuum gate valve has a problem in that the performance of the valve is deteriorated because dust generated in the chamber while the valve is opened is mixed in the valve, and the vertical movement of the driving plate is hindered by the accumulated dust when used for a long time.

이에 본 발명자는 스토퍼를 사용하지 않음으로써 소음과 분진 발생을 없앰과 동시에 고속 작동이 가능하며, 분진의 밸브 내 혼입을 방지하여 밸브의 성능 저하를 방지할 수 있는 새로운 형태의 진공 게이트 밸브를 개발하기에 이른 것이다.Therefore, the present inventors can eliminate the noise and dust by using a stopper and at the same time enable high-speed operation, and develop a new type of vacuum gate valve which can prevent the performance degradation of the valve by preventing the mixing of dust in the valve. It is early.

본 발명의 목적은 스토퍼 및 링크 없이도 밀폐가 가능한 진공 게이트 밸브를 제공하기 위한 것이다.It is an object of the present invention to provide a vacuum gate valve that can be sealed without a stopper and a link.

본 발명의 다른 목적은 스토퍼를 사용하지 않음으로써 밸브 작동시 소음이 발생하지 않는 진공 게이트 밸브를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a vacuum gate valve which does not generate noise during valve operation by using no stopper.

본 발명의 또 다른 목적은 스토퍼를 사용하지 않음으로써 밸브 작동 시 분진이 발생하지 않는 진공 게이트 밸브를 제공하기 위한 것이다.Still another object of the present invention is to provide a vacuum gate valve which does not generate dust during valve operation by using no stopper.

본 발명의 또 다른 목적은 스토퍼를 사용하지 않음으로써 고속도의 밸브 작동이 가능한 진공 게이트 밸브를 제공하기 위한 것이다.Still another object of the present invention is to provide a vacuum gate valve capable of high speed valve operation by using no stopper.

본 발명의 또 다른 목적은 차폐링을 사용함으로써 밸브 내 분진 혼입을 방지할 수 있는 진공 게이트 밸브를 제공하기 위한 것이다.Still another object of the present invention is to provide a vacuum gate valve which can prevent dust incorporation in the valve by using a shielding ring.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 상세히 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described in detail. Hereinafter, the content of the present invention will be described in detail.

발명의 요약Summary of the Invention

본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는 하부 양측에 챔버부 또는 펌프부 각각에 연결되는 개구부가 형성되어 있으며, 상단에 구동 피스톤이 구비되어 있는 밸브 본체; 상기 본체 내부에 위치하고 있으며, 본체 내부에서의 상하 운동을 용이하게 하는 가이드 롤러를 구비한 구동 프레임; 상기 구동 프레임과 스프링으로 연결되어 있으며, 상기 챔버부에 연결되는 개구부를 밀폐하기 위한 O링을 구비한 기밀판; 상기 구동 프레임 상부에 연결되어 있으며, 상기 구동 피스톤에 의해 상기 구동 프레임과 기밀판을 상하 운동시키는 로드부; 상기 본체 하부에 위치하고 있으며, 상기 구동 프레임과 기밀판이 본체 상부에 위치하고 있을 때 본체의 상부를 차단시키고, 상기 구동 프레임과 기밀판이 본체 하부로 이동하였을 때 상기 기밀판이 상기 챔버부에 연결되는 개구부를 밀폐 또는 개방시키도록 압력을 가하거나 해제하는 차폐부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The vacuum gate valve according to the present invention has an opening connected to each of the chamber part or the pump part at both lower sides thereof, and includes a valve body having a driving piston at an upper end thereof; A driving frame positioned inside the main body and having a guide roller to facilitate vertical movement within the main body; An airtight plate connected to the driving frame and a spring and having an O-ring for sealing an opening connected to the chamber; A rod unit connected to an upper portion of the driving frame and configured to vertically move the driving frame and the airtight plate by the driving piston; Located in the lower part of the main body, the upper part of the main body is blocked when the drive frame and the airtight plate are located above the main body, and when the drive frame and the airtight plate move to the lower part of the main body, the opening is connected to the chamber part. Or a shield for pressing or releasing pressure to open.

상기 차폐부는 상기 본체 하부에서 좌우 이동하는 차폐링, 상기 차폐링을 이동시키기 위해 교대로 공압을 주입 또는 제거하는 제1, 2 공압부로 구성될 수 있다.The shielding part may include a shielding ring that moves left and right under the main body, and first and second pneumatic parts that alternately inject or remove pneumatic pressure to move the shielding ring.

상기 가이드 롤러의 일부 또는 전체에 고무링을 형성하여 밸브 본체와의 마찰을 감소시킬 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 상기 구동 피스톤과 차폐부의 작동을 제어하기 위해 콘트롤 박스를 더 포함할 수 있다.It is preferable to form a rubber ring on part or all of the guide rollers so as to reduce friction with the valve body, and may further include a control box to control the operation of the driving piston and the shield.

이하 본 발명의 구체적 내용을 하기에 상세히 설명한다.Hereinafter, the specific contents of the present invention will be described in detail.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명Detailed Description of the Invention

도2와 도3에 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브의 개폐 상태를 나타낸 단면도가 도시되어 있다. 도2는 펌프 쪽에서 챔버 쪽 방향으로 진공 게이트 밸브를 바라본 단면도이며, 도 3은 측면 단면도이다.2 and 3 are cross-sectional views showing the opening and closing state of the vacuum gate valve according to the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the vacuum gate valve from the pump side toward the chamber, and FIG. 3 is a side cross-sectional view.

이하 도2와 도3을 참고로 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브의 구성 및 작동을 설명함에 있어 도2에 도시된 바와 같이 도2의 상하 방향을 진공 게이트 밸브의 상하 방향, 도3에 도시된 바와 같이 도3의 좌우 방향을 진공 게이트 밸브의 좌우 방향이라 하며, 구동 프레임(20)과 기밀판(30)이 완전히 상승하였을 때 위치하고 있는 부분을 밸브 본체(10)의 상부(1), 그 아래를 하부(2)로 하기로 한다.In the following description of the configuration and operation of the vacuum gate valve according to the present invention with reference to Figures 2 and 3 as shown in Figure 2 the up and down direction of the vacuum gate valve as shown in FIG. Similarly, the left and right directions of FIG. 3 are referred to as the left and right directions of the vacuum gate valve, and the upper part 1 of the valve body 10 and the bottom thereof are positioned when the drive frame 20 and the airtight plate 30 are fully raised. The lower part 2 will be referred to.

우선 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는 하부 양측에 챔버부 또는 펌프부 각각에 연결되는 개구부(11, 12)가 형성되어 있으며, 상단에 구동 피스톤(13)이 구비되어 있는 밸브 본체(10); 상기 본체 내부에 위치하고 있으며, 본체 내부에서의 상하 운동을 용이하게 하는 가이드 롤러(21)를 구비한 구동 프레임(20); 상기 구동 프레임과 스프링(31)으로 연결되어 있으며, 상기 챔버부에 연결되는 개구부(11)를 밀폐하기 위한 O링(32)을 구비한 기밀판(30); 상기 구동 프레임 상부에 연결되어 있으며, 상기 구동 피스톤에 의해 상기 구동 프레임과 기밀판을 상하 운동시키는 로드부(40); 상기 본체 하부에 위치하고 있으며, 상기 구동 프레임과 기밀판이 본체 상부에 위치하고 있을 때 본체의 상부를 차단시키고, 상기 구동 프레임과 기밀판이 본체 하부로 이동하였을 때 상기 기밀판이 상기 개구부(11)를 밀폐 또는 개방시키도록 압력을 가하거나 해제하는 차폐부(50)를 포함하여 이루어진다.First, the vacuum gate valve according to the present invention includes openings 11 and 12 connected to the chamber part or the pump part respectively at both lower sides thereof, and a valve body 10 having a driving piston 13 at an upper end thereof; A driving frame 20 positioned inside the main body and having a guide roller 21 for facilitating vertical movement within the main body; An airtight plate 30 connected to the driving frame and the spring 31 and having an O-ring 32 for sealing the opening 11 connected to the chamber part; A rod part 40 connected to an upper portion of the driving frame and configured to vertically move the driving frame and the airtight plate by the driving piston; Located in the lower part of the main body, the upper part of the main body is blocked when the drive frame and the airtight plate are located above the main body, and the airtight plate closes or opens the opening 11 when the drive frame and the airtight plate move to the lower part of the main body. It comprises a shield 50 for applying or releasing pressure to make.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는 도2(a)에 도시된 바와 같이 챔버와 펌프 사이의 통로가 개방되어 있어야 할 경우 구동프레임(20)과 기밀판(30)은 밸브 상부(1)에 위치하고 있으며, 챔버의 진공을 유지하기 위해 밸브를 닫아야 할 경우 도2(b)에 도시된 바와 같이 구동프레임과 기밀판이 밸브 하부로 하강하여 챔버쪽으로 연결되는 개구부(11)를 밀폐시키게 된다.In the vacuum gate valve according to the present invention configured as described above, when the passage between the chamber and the pump is to be opened as shown in FIG. In the case where the valve is to be closed to maintain the vacuum of the chamber, as shown in FIG. 2 (b), the driving frame and the airtight plate are lowered below the valve to close the opening 11 connected to the chamber.

보다 구체적으로 설명하면, 밸브가 닫혀야 할 경우 밸브 상단에 위치한 구동 피스톤(13)에 공압이 주입되고, 공압에 의해 구동 피스톤이 압축되면 피스톤 로드(41)가 하강하면서 제1 로드(42) 및 제2 로드(43)가 동력을 전달 받아 제2 로드의 한 쪽 끝에 연결된 구동프레임(20)을 하강시킨다. 이 때 기밀판(30)과 구동프레임은 스프링(31)에 의해 서로 연결되어 있기 때문에 기밀판 역시 구동프레임과 함께 하강하게 된다.More specifically, when the valve needs to be closed, pneumatic pressure is injected into the drive piston 13 located at the top of the valve, and when the drive piston is compressed by pneumatic pressure, the piston rod 41 descends while the first rod 42 and The second rod 43 receives power to lower the drive frame 20 connected to one end of the second rod. At this time, since the airtight plate 30 and the drive frame are connected to each other by the spring 31, the airtight plate is also lowered together with the drive frame.

구동프레임과 기밀판이 완전히 하강한 후 차폐링(51, 도3 참고)이 상기 스프링에 의한 장력보다 큰 힘으로 기밀판을 챔버로 통하는 개구부(11) 쪽으로 밀어줌으로써 기밀판이 개구부와 밀착되어 밸브가 닫힌 상태가 된다. 이 때 기밀판에는 개구부 보다 조금 더 큰 직경의 O링(32)이 구비되어 있어 개구부를 확실히 밀폐시킬 수 있다.After the drive frame and the airtight plate are completely lowered, the shielding ring (see Fig. 3) pushes the airtight plate toward the opening 11 through the chamber with a force greater than the tension by the spring, so that the airtight plate is in close contact with the opening and the valve is closed. It becomes a state. At this time, the sealing plate is provided with an O-ring 32 having a diameter slightly larger than that of the opening, so that the opening can be reliably sealed.

또한 구동프레임(20)에는 가이드 롤러(21)가 구비되어 있어 본체 내부에서의 상하 운동을 용이하게 할 수 있으며, 이 때 본체와 맞닿는 가이드 롤러의 일부 또는 전체에 고무링을 구비하여 본체 내부와의 마찰로 인한 소음 및 분진 등을 감소시키는 것이 바람직하다.In addition, the drive frame 20 is provided with a guide roller 21 to facilitate vertical movement within the main body, and at this time, a part or the whole of the guide roller in contact with the main body is provided with a rubber ring to It is desirable to reduce noise, dust and the like due to friction.

비록 도면에는 구동프레임을 상하 운동 시키는 구동기구로서 구동 피스톤(13)을 사용되고 있으나 통상 사용되는 다른 어떤 구동기구들도 사용될 수 있으며, 로드부(40)는 피스톤 로드(41), 제1 로드(42), 제2 로드(43)로 구성되어 있으나 당업자는 구동기구의 동력을 전달할 수 있는 다른 형태로 변형 및 변경할 수 있다.Although the driving piston 13 is used as a driving mechanism for vertically moving the driving frame in the drawing, any other driving mechanisms commonly used may be used, and the rod part 40 may include the piston rod 41 and the first rod 42. ), But the second rod 43, but those skilled in the art can be modified and changed to other forms that can transmit the power of the drive mechanism.

도3을 참고로 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브가 작동하여 진공을 형성하는 과정을 보다 상세히 살펴보면 다음과 같다.Referring to Figure 3 in more detail the process of forming a vacuum by operating the vacuum gate valve according to the present invention.

도2(a)와 같이 밸브가 완전히 열려있으면 챔버쪽 개구부(11)와 펌프쪽 개구부(12)는 완전히 개방된 상태로서 챔버와 펌프는 서로 연결된다. 이 때 펌프부 내 진공펌프가 작동하여 챔버를 작업에 적합한 고진공 상태로 만들게 되며, 진공 게이트 밸브는 챔버 쪽에서 발생한 분진 등이 밸브 상부로 유입되는 것을 막기 위해 차폐부(50)에 의해 밸브 상부(1)가 차단되어 있다(도3(a) 참조). When the valve is completely open as shown in Fig. 2 (a), the chamber side opening 11 and the pump side opening 12 are completely open, and the chamber and the pump are connected to each other. At this time, the vacuum pump in the pump unit is operated to make the chamber in a high vacuum state suitable for the operation, and the vacuum gate valve is provided by the shield 50 to prevent the inflow of dust generated from the chamber side to the upper part of the valve (1). ) Is blocked (see Fig. 3 (a)).

상기 밸브 상부는 제2 공압부(53)에 공압을 주입함으로써 본체 하부에 설치되어 있는 차폐링(51)이 왼쪽 즉, 챔버쪽으로 이동함으로써 차단된다. 상기 차폐링의 크기는 개구부(11)와 동일하거나 조금 큰 것이 바람직하며, 밸브 상부를 보다 확실히 차단하기 위해 O링을 구비하는 것도 바람직하다.The upper part of the valve is blocked by injecting pneumatic pressure into the second pneumatic part 53 by moving the shielding ring 51 installed in the lower part of the main body to the left, that is, toward the chamber. The size of the shielding ring is preferably the same as or slightly larger than the opening 11, and it is also preferable to have an O-ring to more reliably block the upper part of the valve.

챔버가 적합한 고진공 상태에 도달하면 도3(b)에 도시된 바와 같이 차폐부(50)의 제1 공압부(52)에 공압을 주입함으로써 차폐링(51)을 오른쪽으로 이동시켜 밸브 상부를 개방함과 동시에 구동 피스톤(13)에 공압을 주입함으로써 구동프레임(20)과 기밀판(30)을 하강 시킨다. 이 때 구동프레임은 종래의 진공 게이트 밸브와 달리 밸브 본체 바닥과 부딪히는 스토퍼를 구비하고 있지 않고 완전히 하강한 경우에도 바닥과 이격되어 있기 때문에 고속으로 하강하더라도 소음이나 분진을 발생시키지 않으며, 충격으로 인한 변형을 가져오지 않는다.When the chamber reaches a suitable high vacuum condition, as shown in Fig. 3 (b), air pressure is injected into the first pneumatic part 52 of the shield 50 to move the shield ring 51 to the right to open the upper part of the valve. At the same time, the driving frame 20 and the hermetic plate 30 are lowered by injecting pneumatic pressure into the driving piston 13. At this time, unlike the conventional vacuum gate valve, the drive frame does not have a stopper that collides with the bottom of the valve body and is spaced apart from the bottom even when fully lowered. Therefore, the drive frame does not generate noise or dust even when descending at high speed, and is deformed by impact. Does not bring

구동프레임과 기밀판이 완전히 하강하면 도3(c)에 도시된 바와 같이 차폐부의 제2 공압부(53)에 다시 공압을 주입함으로써 차폐링(51)을 왼쪽으로 이동시킨다. 왼쪽으로 이동된 차폐링은 기밀판(30)을 개구부(11)쪽으로 스프링(31)의 장력보다 큰 힘으로 밀어줌으로써 기밀판이 개구부를 밀폐시킬 수 있게 된다.When the driving frame and the airtight plate are completely lowered, the shield ring 51 is moved to the left side by injecting air again into the second pneumatic part 53 of the shield as shown in FIG. The shielding ring moved to the left pushes the airtight plate 30 toward the opening 11 with a force greater than the tension of the spring 31 so that the airtight plate can seal the opening.

본 발명에 따른 진공 게이트 밸브의 구동프레임은 차폐링이 기밀판을 개구부 쪽으로 밀어주기 위해 종래의 진공 게이트 밸브와 달리 판형상이 아닌 사각의 프레임으로 구성되어 있으며, 차폐링의 크기는 구동프레임의 개구 보다 작아야 한다. The drive frame of the vacuum gate valve according to the present invention is composed of a rectangular frame rather than a plate shape, unlike the conventional vacuum gate valve for the shielding ring to push the airtight plate toward the opening, the size of the shielding ring than the opening of the drive frame Should be small.

상기와 같이 구성함으로써 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는 스토퍼 및 링크와 같은 종래의 구성요소 없이도 챔버 쪽의 개구를 밀폐시킬 수 있으며, 소음, 분진 및 충격으로 인한 변형 없이 고속의 개폐가 가능하다.By configuring as described above, the vacuum gate valve according to the present invention can seal the opening on the chamber side without the conventional components such as the stopper and the link, and can be opened and closed at high speed without deformation due to noise, dust, and impact.

본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는 또한 위의 설명 순서와 반대로 도3(c)에서 도3(a)의 순서로 작동을 진행함으로써 진공 상태를 해소하게 할 수 있다. The vacuum gate valve according to the present invention can also eliminate the vacuum state by proceeding the operation in the order of Fig. 3 (c) to Fig. 3 (a) as opposed to the above-described order.

위와 같이 진공 게이트 밸브의 개폐는 구동 피스톤(13)과 차폐부(50) 즉, 제1, 2 공압부(52, 53)에 공압을 주입하고 제거하는 시간을 적절히 조절함으로써 이루어질 수 있으므로 진공 게이트 밸브의 개폐를 용이하게 작동시키기 위해 구동 피스톤 및 차폐부의 작동을 제어할 수 있는 콘트롤 박스(도시되어 있지 않음)를 구비하는 것이 바람직하다.As described above, the opening and closing of the vacuum gate valve may be performed by appropriately adjusting the time for injecting and removing the pneumatic pressure into the driving piston 13 and the shield 50, that is, the first and second pneumatic parts 52 and 53. It is desirable to have a control box (not shown) that can control the operation of the drive piston and shield to facilitate opening and closing of the.

본 발명은 스토퍼 및 링크 없이도 밀폐가 가능하며, 밸브 작동시 소음이 발생하지 않고, 밸브 작동 시 분진이 발생하지 않고, 고속도로 밸브 작동이 가능하며, 차폐링을 사용함으로써 밸브 내 분진 혼입을 방지할 수 있는 진공 게이트 밸브를 제공하는 효과를 갖는다.The present invention can be sealed without a stopper and a link, no noise is generated when the valve is operated, no dust is generated when the valve is operated, the highway valve can be operated, and dust can be prevented from entering the valve by using a shielding ring. Which has the effect of providing a vacuum gate valve.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시 될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications or changes of the present invention can be easily carried out by those skilled in the art, and all such modifications or changes can be seen to be included in the scope of the present invention.

Claims

Openings 11 and 12 connected to the chamber part or the pump part, respectively, on both lower sides thereof, and a valve body 10 having a driving piston 13 at an upper end thereof;

A driving frame 20 positioned inside the main body and having a guide roller 21 for facilitating vertical movement within the main body;

An airtight plate 30 connected to the driving frame and the spring 31 and having an O-ring 32 for sealing the opening 11 connected to the chamber part;

A rod part 40 connected to an upper portion of the driving frame and configured to vertically move the driving frame and the airtight plate by the driving piston; And

Located in the lower part of the main body, the upper part of the main body is blocked when the drive frame and the airtight plate are located above the main body, and the airtight plate closes or opens the opening 11 when the drive frame and the airtight plate move to the lower part of the main body. A shielding part 50 for applying or releasing pressure to make it possible;

Vacuum gate valve, characterized in that consisting of.

According to claim 1, wherein the shield consists of a shield ring 51 to move left and right in the lower body, the first and second pneumatic portion (52, 53) for alternately injecting or removing the pneumatic to move the shield ring There is a vacuum gate valve.

The vacuum gate valve according to claim 1 or 2, wherein a rubber ring is formed on a part or the whole of the guide roller (21).

The vacuum gate valve according to claim 1 or 2, further comprising a control box for controlling the operation of the driving piston and the shield.