KR101384965B1 - Gate valve using slope driving - Google Patents

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Abstract

본 발명은 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브에 관한 것이며, 본 발명의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브는 챔버에 형성되는 개구부를 개폐하기 위한 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버의 외벽과 접촉 또는 접촉해제하여 상기 개구부가 개폐되도록 상기 개구부의 면과 평행한 제1축 또는 상기 개구부의 면과 수직한 제2축 중 어느 하나를 따라서 이동하는 게이트; 상기 제1축 방향의 이동력을 공급하는 구동부; 상기 게이트에 설치되되, 외면에 경사면이 형성되는 웨지부; 상기 챔버의 외벽에 마련되며, 상기 게이트의 단부와 접촉하여 상기 게이트가 상기 개구부와 마주보는 위치인 고정위치에 도달하면 상기 개구부를 차단하도록 상기 제1축 상의 이동을 제한하고 상기 제2축 상으로 이동하도록 상기 게이트의 이동방향을 안내하는 스토퍼; 상기 구동부와 연결되며, 상기 게이트가 상기 고정위치에 도달시 상기 구동부로부터 제공되는 제1축 방향의 이동력이 상기 제2축 방향의 이동력으로 전환되어 상기 게이트에 공급되도록 외면이 상기 웨지부로부터 슬라이딩 이동 가능하게 경사면이 형성되는 방향전환부; 상기 웨지부와 상기 방향전환부를 상호 연결하며, 상기 웨지부와 상기 방향전환부에 서로 끌어당기는 방향의 탄성력을 제공하는 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면, "L" 자 형태의 구동을 통하여 견고한 밀폐가 가능한 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브가 제공된다.The present invention relates to a gate valve using an inclined drive, the gate valve using an inclined drive is a gate valve for opening and closing the opening formed in the chamber, the contact with or release contact with the outer wall of the chamber is the opening A gate moving along one of a first axis parallel to a surface of the opening or a second axis perpendicular to a surface of the opening to be opened and closed; A driving unit supplying a moving force in the first axial direction; A wedge portion installed at the gate and having an inclined surface formed on an outer surface thereof; It is provided on the outer wall of the chamber, when the contact with the end of the gate reaches the fixed position which is a position facing the opening to limit the movement on the first axis to block the opening and onto the second axis A stopper for guiding a moving direction of the gate to move; When the gate reaches the fixed position, the outer surface is connected to the driving unit so that the moving force in the first axial direction provided from the driving unit is converted into the moving force in the second axial direction and supplied to the gate. A direction changing part in which an inclined surface is formed to be slidable; And an elastic member interconnecting the wedge portion and the turning portion and providing an elastic force in a direction in which the wedge portion and the turning portion are attracted to each other. Thus, according to the present invention, there is provided a gate valve using inclined drive that can be tightly sealed through the "L" shaped drive.

Description

경사 구동을 이용하는 게이트 밸브{GATE VALVE USING SLOPE DRIVING}Gate valve using inclined drive {GATE VALVE USING SLOPE DRIVING}

본 발명은 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버 내부공간을 완전하게 밀폐할 수 있는 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve using inclined drive, and more particularly, to a gate valve using inclined drive that can completely seal the chamber internal space.

일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체칩, 웨이퍼, 엘시디 패널과 같은 첨단 장비나 의료기기를 제조하기 위해 사용되는 산업설비 시설이며, 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로 밸브를 순간적으로 열어 챔버공간 내로 반도체칩 등을 이동하고 다시 밸브를 닫아 챔버 내의 기밀상태가 유지되도록 하는 장치이다.In general, a chamber is an industrial facility used to manufacture advanced equipment or medical devices such as semiconductor chips, wafers, and LCD panels requiring a vacuum or high clean working environment, and a gate valve attached to the chamber is an entrance to the chamber. It acts as a device to open the valve momentarily to move the semiconductor chip, etc. into the chamber space and to close the valve again to maintain the airtight state in the chamber.

이러한 종래 게이트 밸브의 기본 구성은 하우징에 형성된 양측 출입구의 개폐를 위한 밸브체가 하우징 내부에 장착되어져 있으며, 상기 밸브체는 구동 실린더의 구동에 의해 승강 유동되어 지면서 하우징의 출입구를 선택적으로 개폐시키면서 일측의 챔버에 대한 기밀을 유지하게 된다.The basic configuration of the conventional gate valve is a valve body for opening and closing the opening and closing of both sides formed in the housing is mounted inside the housing, while the valve body is moved up and down by the drive of the drive cylinder while selectively opening and closing the entrance and exit of the housing To maintain airtightness to the chamber.

이와 같이, 챔버 내에서 이루어지는 생산 작업에 따라 밸브체는 하우징 내에서 수직으로 수없이 많은 승하강 이동을 하면서 출입구를 개폐시킴에 있어, 밸브체와 하우징간의 기밀상태가 유지되지 못함으로 챔버의 진공상태를 유지하지 못하는 문제점이 있었다.As such, the valve body moves in and out of the housing while the valve body moves up and down vertically in the housing according to the production work performed in the chamber. There was a problem not maintaining.

이러한 문제를 해결하기 위하여, 링크구조를 이용하여 챔버를 개폐하는 구조의 게이트 밸브가 연구되었으나, 게이트가 챔버에 수직으로 접촉하지 못하여 다량의 분진을 발생시고, 이로 인하여 챔버 내부로부터의 누설이 발생하는 문제가 있었다.In order to solve this problem, a gate valve of a structure that opens and closes a chamber using a link structure has been studied, but a large amount of dust is generated because the gate does not vertically contact the chamber, which causes leakage from the inside of the chamber. There was a problem.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 경사면 구동 방식을 통하여 "L"자 형 구동을 구현함으로써, 견고한 실링이 가능한 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, and to provide a gate valve using an inclined drive capable of a solid sealing by implementing the "L" shaped drive through the inclined surface drive method.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 챔버에 형성되는 개구부를 개폐하기 위한 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버의 외벽과 접촉 또는 접촉해제하여 상기 개구부가 개폐되도록 상기 개구부의 면과 평행한 제1축 또는 상기 개구부의 면과 수직한 제2축 중 어느 하나를 따라서 이동하는 게이트; 상기 제1축 방향의 이동력을 공급하는 구동부; 상기 게이트에 설치되되, 외면에 경사면이 형성되는 웨지부; 상기 챔버의 외벽에 마련되며, 상기 게이트의 단부와 접촉하여 상기 게이트가 상기 개구부와 마주보는 위치인 고정위치에 도달하면 상기 개구부를 차단하도록 상기 제1축 상의 이동을 제한하고 상기 제2축 상으로 이동하도록 상기 게이트의 이동방향을 안내하는 스토퍼; 상기 구동부와 연결되며, 상기 게이트가 상기 고정위치에 도달시 상기 구동부로부터 제공되는 제1축 방향의 이동력이 상기 제2축 방향의 이동력으로 전환되어 상기 게이트에 공급되도록 외면이 상기 웨지부로부터 슬라이딩 이동 가능하게 경사면이 형성되는 방향전환부; 상기 웨지부와 상기 방향전환부를 상호 연결하며, 상기 웨지부와 상기 방향전환부에 서로 끌어당기는 방향의 탄성력을 제공하는 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, in the gate valve for opening and closing the opening formed in the chamber, the first axis or parallel to the surface of the opening or in contact with the outer wall of the chamber to open and close the opening or the A gate moving along any one of a second axis perpendicular to the plane of the opening; A driving unit supplying a moving force in the first axial direction; A wedge portion installed at the gate and having an inclined surface formed on an outer surface thereof; It is provided on the outer wall of the chamber, when the contact with the end of the gate reaches the fixed position which is a position facing the opening to limit the movement on the first axis to block the opening and onto the second axis A stopper for guiding a moving direction of the gate to move; When the gate reaches the fixed position, the outer surface is connected to the driving unit so that the moving force in the first axial direction provided from the driving unit is converted into the moving force in the second axial direction and supplied to the gate. A direction changing part in which an inclined surface is formed to be slidable; And a resilient member interconnecting the wedge portion and the turning portion, the elastic member providing elastic force in a direction in which the wedge portion and the turning portion are attracted to each other. .

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또한, 상기 개구부를 차단하기 위한 상기 구동부 동작시 방향을 따라 상기 웨지부는 점점 높아지는 경사면을 형성하고, 상기 개구부를 차단하기 위한 상기 구동부 동작시 방향을 따라 상기 방향전환부는 점점 낮아지는 경사면을 형성할 수 있다.In addition, the wedge portion may form an inclined surface that increases gradually along a direction when the driving unit operates to block the opening, and the direction changer may form an inclined surface that gradually decreases along the direction when the driving unit operates to block the opening. have.

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또한, 상기 구동부는 공압실린더일 수 있다.In addition, the driving unit may be a pneumatic cylinder.

본 발명에 따르면, 수직 방향으로 전환되는 "L" 자형태의 구동방식을 통하여 챔버 개구부를 밀폐함으로써, 챔버부에 접촉되는 게이트에 균일한 하중이 가해질 수 있으므로 누수 없이 견고한 실링이 가능한 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브가 제공된다.According to the present invention, by closing the chamber opening through the "L" shaped driving method that is switched in the vertical direction, since the uniform load can be applied to the gate in contact with the chamber part, the inclined drive that enables a solid sealing without leakage is used. A gate valve is provided.

또한, 경사면 간의 슬라이딩 이동을 통한 "L" 자형태의 구동을 통하여, 게이트와 챔버부 간 접촉시의 분진 발생을 줄일 수 있다.In addition, through the sliding movement between the inclined surfaces, the L-shaped driving can reduce dust generation during contact between the gate and the chamber.

또한, 개폐 대상이 되는 챔버 외부의 압력 조건에 구애받지 않고 적용될 수 있다.In addition, the present invention can be applied regardless of pressure conditions outside the chamber to be opened and closed.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브의 개략적인 사시도이고,
도 2는 도 1의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브의 개략적인 분해사시도이고,
도 3 내지 도 5는 도 1의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브를 이용한 챔버의 개폐부를 차단하는 동작을 개략적으로 도시한 것이고,
도 6 내지 도 8은 도 1의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브를 이용한 챔버의 개폐부를 개방하는 동작을 개략적으로 도시한 것이다.1 is a schematic perspective view of a gate valve using inclined drive according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a schematic exploded perspective view of a gate valve using the inclined drive of FIG. 1;
3 to 5 schematically show the operation of blocking the opening and closing of the chamber using the gate valve using the inclined drive of FIG.
6 to 8 schematically illustrate an operation of opening and closing the chamber of the chamber using the gate valve using the inclined drive of FIG.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브(100)에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the gate valve 100 using the inclined drive according to an embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings will be described in detail.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브의 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브의 개략적인 분해사시도이다.1 is a schematic perspective view of a gate valve using inclined drive according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic exploded perspective view of the gate valve using inclined drive in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브(100)는 경사면 간의 동력변환 구조를 이용하여 챔버(10)의 개구부(12)를 긴밀하게 밀폐할 수 있는 형태의 게이트 밸브로서, 게이트(110)와 구동부(120)와 웨지부(130)와 방향전환부(140)와 스토퍼(150)와 탄성부재(160)를 포함한다.1 and 2, the gate valve 100 using the inclined drive according to an embodiment of the present invention may tightly seal the opening 12 of the chamber 10 by using a power conversion structure between inclined surfaces. As a gate valve of the present type, it includes a gate 110, the drive unit 120, the wedge unit 130, the turning unit 140, the stopper 150 and the elastic member 160.

한편, 본 실시예에서 후술하는 챔버(10)는 공정에 따라 내부공간이 외부공간으로부터 견고하게 밀폐되기 위한 대상으로서, 외벽에는 개구부(12)가 형성된다. 따라서, 본 실시예의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브(100)는 개구부(12)를 개폐하기 위한 용도로 설명한다.On the other hand, the chamber 10 to be described later in this embodiment is an object for the interior space is tightly sealed from the external space according to the process, the opening 12 is formed on the outer wall. Therefore, the gate valve 100 using the inclined drive of the present embodiment will be described for the purpose of opening and closing the opening 12.

한편, 후술하는 게이트(110)와 접촉하는 챔버(10)의 외벽면에는 견고한 밀폐동작을 위하여 오링(o-ring)(11)이 설치된다.On the other hand, an o-ring 11 is installed on the outer wall surface of the chamber 10 in contact with the gate 110 to be described later for a solid sealing operation.

상기 게이트(110)는 개구부(12) 테두리의 챔버(10) 외벽면에 직접적으로 접촉하거나 외벽면으로부터 접촉해제됨으로써, 챔버(10)의 개구부(12)를 선택적으로 개폐하기 위한 것으로서, 판형태로 마련된다. The gate 110 is to directly open or close the opening 12 of the chamber 10 by directly contacting or releasing contact from the outer wall surface of the chamber 10 at the edge of the opening 12, in the form of a plate. Prepared.

상기 구동부(120)는 상술한 게이트(110)에 동력을 제공하기 위한 것으로서, 본 실시예에서는 공압실린더의 형태로 마련되나, 이에 제한되는 것은 아니다.The driving unit 120 is to provide power to the gate 110 described above, but is provided in the form of a pneumatic cylinder in this embodiment, but is not limited thereto.

한편, 본 실시예에서는 개구부(12)의 면, 즉, 개구부(1)가 형성되는 챔버(10)의 외벽면과 평행한 축을 제1축(x1)이라 정의하고, 제1축(x1)과 수직한 축을 제2축(x2)이라 정의하여 설명한다.On the other hand, if the opening 12 in the present embodiment, that is, the opening (1) a first axis as defined, and the first axis (x 1) axis parallel to the outer wall surface of the chamber 10 is formed (x 1 ) Will be described by defining the axis perpendicular to the second axis (x 2 ).

본 실시예에서 공압실린더의 형태로 마련되는 구동부(120)는 제1축(x1)을 따라 승강(乘降)구동되며, 게이트(110)의 "L" 자형태의 2단 구동을 구현하기 위하여 게이트(110)와 직접적으로 결합되지 않고 승강되는 구동부(120)의 종단부는 후술하는 방향전환부(140)에 결합된다.In this embodiment, the driving unit 120 provided in the form of a pneumatic cylinder is driven up and down along the first axis (x 1 ), to implement the "L" shaped two-stage drive of the gate 110 The end of the driving unit 120 which is not directly coupled to the gate 110 to be elevated is coupled to the turning unit 140 to be described later.

상기 웨지부(130)는 후술하는 방향전환부(140)와 작동하여 제1축(x1) 방향으로 구동되는 구동부(120)의 이동력을 제1축(x1) 방향으로 변환하여 게이트(110)에 전달하기 위한 것으로서, 개구부(12)와 대향되는 면의 반대쪽 게이트(110)의 면에 마련된다.Converts the wedge portion 130 is described later direction changing unit 140 and the operation by moving force of the first axis (x 1) driver 120 is driven in a direction of a first axis (x 1) direction of the gate ( It is to be delivered to the 110, it is provided on the surface of the gate 110 opposite to the surface facing the opening 12.

또한, 웨지부(130)는 제1축(x1)을 따라서 개구부(12)로부터 멀어지는 방향으로 갈수록 높이가 낮아지는 형태로 외면에는 경사면이 형성된다. 즉, 다시 설명하면, 개구부(12)를 차단하기 위하여 구동부(120)가 동작하는 방향을 따라서 웨지부(130)의 높이는 점점 높아지는 형태로 형성된다.In addition, the wedge portion 130 has a slope formed on the outer surface of the wedge portion 130 in a form in which the height decreases toward the direction away from the opening 12 along the first axis x 1 . In other words, in order to block the opening 12, the height of the wedge 130 increases along the direction in which the driving unit 120 operates.

한편, 웨지부(130)는 게이트(110)와 별도로 제작되어 게이트(110)와 결합되는 방식으로 마련될 수도 있고, 웨지부(130)와 게이트(110)가 일체형으로 한번에 성형되는 형태로 형성될 수도 있다.Meanwhile, the wedge 130 may be manufactured separately from the gate 110 and provided in a manner of being coupled with the gate 110, and the wedge 130 and the gate 110 may be integrally formed at a time. It may be.

상기 방향전환부(140)는 상술한 웨지부(130)와 결합되어, 제1방향(x1)을 따라 구동되는 구동부(120)의 동력의 방향을 제2방향(x2)의 동력으로 전환하기 위한 것으로서, 구동부(120)의 종단부에 결합된다.The turning unit 140 is coupled to the wedge unit 130 described above, and converts the direction of the power of the driving unit 120 driven along the first direction x 1 to the power of the second direction x 2 . As it is, it is coupled to the end of the drive unit 120.

한편, 방향전환부(140)의 외면은 웨지부(130)의 경사면과 접촉한 상태에서 슬라이딩 이동 가능하도록 웨지부(130)의 경사면과 접촉하는 방향전환부(140)의 면은 경사를 형성한다. 이때, 웨지부(130)와 접촉하는 방향전환부(140)의 경사면은 웨지부(130)의 경사면과 반대방향의 형태로 형성된다.On the other hand, the outer surface of the turning portion 140 is in contact with the inclined surface of the wedge 130, the surface of the turning portion 140 in contact with the inclined surface of the wedge portion 130 so as to be movable sliding forms a slope. . At this time, the inclined surface of the direction change unit 140 in contact with the wedge portion 130 is formed in the shape opposite to the inclined surface of the wedge portion 130.

즉, 방향전환부(140)는 제1축(x1)을 따라서 개구부(12)로부터 멀어지는 방향으로 갈수록 높이가 높아지는 형태로 구비된다. 다시 설명하면, 개구부(12)를 차단하기 위하여 구동부(120)가 동작하는 방향을 따라서 방향전환부(140)의 높이는 점점 낮아지는 형태로 형성된다.That is, the direction change unit 140 is provided in a form in which the height increases toward the direction away from the opening 12 along the first axis x 1 . In other words, the height of the direction changing part 140 along the direction in which the driving part 120 operates to block the opening 12 is gradually reduced.

한편, 웨지부(130)와 방향전환부(140) 간에 원활한 슬라이딩 이동이 가능하도록, 별도의 구동롤러(미도시)가 웨지부(130)와 방향전환부(140) 사이에 개재될 수 있다.On the other hand, a separate drive roller (not shown) may be interposed between the wedge portion 130 and the turning portion 140 to enable a smooth sliding movement between the wedge portion 130 and the turning portion 140.

상기 스토퍼(150)는 구동부(120)로부터 제공되는 구동력에 의하여 게이트(110)의 제1축(x1) 방향으로의 이동을 제한하기 위한 것으로서, 챔버(10)의 외벽면으로부터 외측으로 돌출된다.The stopper 150 is for limiting the movement of the gate 110 in the direction of the first axis (x 1 ) by the driving force provided from the driver 120, and protrudes outward from the outer wall surface of the chamber 10. .

즉, 게이트(110)는 개구부(12)와 마주보는 위치 상에서 제1축(x1) 상에서의 이동이 제한되도록 설계되며, 이러한 게이트(110)의 위치를 고정위치라 정의한다. 따라서, 스토퍼(150)는 챔버(10)의 외벽에 마련되어, 고정위치에서 게이트(110)의 추가적인 상승을 제한한다.That is, the gate 110 is designed to restrict movement on the first axis x 1 in a position facing the opening 12, and defines the position of the gate 110 as a fixed position. Thus, the stopper 150 is provided on the outer wall of the chamber 10 to limit the further rise of the gate 110 in the fixed position.

한편, 스토퍼(150)는 별도의 부품으로 제작되어 챔버(10)의 외벽에 부착되거나 챔버(10)와 일체로 마련될 수도 있다.Meanwhile, the stopper 150 may be manufactured as a separate component and attached to an outer wall of the chamber 10 or may be provided integrally with the chamber 10.

상기 탄성부재(160)는 인장스프링의 형태로서, 웨지부(130)와 방향전환부(140) 사이에 서로 끌어당기는 탄성력을 제공하기 위하여 웨지부(130)와 방향전환부(140)를 상호 연결하는 부재이다. The elastic member 160 is in the form of a tension spring, interconnecting the wedge portion 130 and the turning portion 140 to provide an elastic force attracted to each other between the wedge portion 130 and the turning portion 140. It is a member.

즉, 탄성부재(160)에 의하면 구동부(120)의 구동력의 방향을 제2축(x2) 방향으로 전환하기 위하여 웨지부(130)로부터 멀어지는 방향으로 슬라이딩 이동하는 방향전환부(140)에 웨지부(130) 측으로의 탄성력이 제공되며, 이러한 탄성력은 개구부(12)의 개방시에 웨지부(130)를 방향전환부(140) 측으로 이동시키는 동력원이 된다.
That is, according to the elastic member 160, the wedge is moved toward the direction change part 140 slidingly moving away from the wedge part 130 to change the direction of the driving force of the driving part 120 in the direction of the second axis (x 2 ). An elastic force is provided to the side 130, and this elastic force is a power source for moving the wedge 130 to the turning part 140 side when the opening 12 is opened.

지금부터는 상술한 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브(100)의 일실시예의 작동에 대하여 설명한다.The operation of one embodiment of the gate valve 100 using the inclined drive described above will now be described.

본 실시예의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브(100)를 적용하여 챔버(10)의 개구부(12)를 차단하는 동작원리와 개방하는 동작원리를 분리하여 순서대로 후술한다.The operation principle of blocking the opening 12 of the chamber 10 and the operation principle of opening by applying the gate valve 100 using the inclined drive of the present embodiment will be described later in order.

1. 개구부의 차단동작1. Blocking operation of opening

도 3 내지 도 5는 도 1의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브를 이용한 챔버의 개폐부를 차단하는 동작을 개략적으로 도시한 것이다.3 to 5 schematically show an operation of blocking the opening and closing of the chamber using the gate valve using the inclined drive of FIG.

먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 게이트(110)가 개구부(12) 측으로 상승될 수 있도록 구동부(120)를 작동시킨다. 구동부(120)의 작동에 의하여 게이트(110)는 제1축(x1)을 따라 상승하고, 지속적인 구동력에 의하여 게이트(110)는 개구부(12)와 마주보는 위치에 도달하게 된다. First, as shown in FIG. 3, the driving unit 120 is operated so that the gate 110 may be raised toward the opening 12. The gate 110 rises along the first axis x 1 by the operation of the driver 120, and the gate 110 reaches a position facing the opening 12 by the continuous driving force.

도 4에 도시된 바와 같이, 게이트(110)가 개구부(12)와 마주보는 위치, 즉, 고정위치(C)에 도달하면, 게이트(110)의 상단부는 챔버(10)의 외벽에 마련되는 스토퍼(150)와 접촉하고, 구동부(120)으로부터의 지속적인 구동력 제공에도 불구하고 스토퍼(150)와 접촉한 상태의 게이트(110)는 고정위치(C) 상에서 더 이상 상승하지 못하고, 제1축(x1) 방향의 이동은 제한된다.As shown in FIG. 4, when the gate 110 reaches a position facing the opening 12, that is, the fixed position C, the upper end of the gate 110 is a stopper provided on the outer wall of the chamber 10. The gate 110 in contact with the stopper 150 and in contact with the stopper 150 no longer rises on the fixed position C, despite providing continuous driving force from the driver 120, and thus, the first axis x. 1 ) movement in the direction is limited.

제1축(x1) 상에서의 게이트(110) 및 이와 결합된 웨지부(130)의 이동은 제한되나, 구동부(120)의 종단부 및 이와 결합하는 방향전환부(140)는 스토퍼(150)와 상관없이 제1축(x1) 상에서 지속적으로 상승한다.The movement of the gate 110 and the wedge 130 coupled thereto on the first axis x 1 is limited, but the end of the driving unit 120 and the turning unit 140 coupled thereto are the stoppers 150. Irrespective of rising, it continuously rises on the first axis x 1 .

즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 방향전환부(140)는 웨지부(130)와 접촉한 상태에서 추가적으로 상승하되, 제1축(x1) 상에서의 이동이 제한된 웨지부(130) 및 게이트(110)는 방향전환부(140)와의 경사면 간의 접촉에 의하여 제2축(x2)을 따라서 챔버(10)에 근접 이동한다.That is, as shown in FIG. 5, the turning part 140 is further raised in contact with the wedge part 130, but the wedge part 130 and the gate whose movement on the first axis x 1 are restricted. 110 moves close to the chamber 10 along the second axis x 2 by contact between the inclined surfaces with the turning unit 140.

따라서, 방향전환부(140)와 웨지부(130) 간의 경사면 접촉 구조에 의하여, 구동부(120)의 제1축(x1) 방향의 이동력은 이와 수직인 제2축(x2) 방향으로 전환되어 게이트(110)에 전달되고, 게이트(110)는 챔버(10)의 외벽면과 긴밀하게 접촉하여 챔버(10)의 내부공간을 완전 밀폐하게 된다.Therefore, due to the inclined surface contact structure between the turning unit 140 and the wedge unit 130, the moving force in the direction of the first axis (x 1 ) of the drive unit 120 is in the direction of the second axis (x 2 ) perpendicular thereto. The switch is transferred to the gate 110, and the gate 110 is in intimate contact with the outer wall of the chamber 10 to completely seal the inner space of the chamber 10.

한편, 웨지부(130)의 경사면에서 방향전환부(140)가 슬라이딩 이동하여, 웨지부(130)와 방향전환부(140)의 중심간의 간격이 이격되면, 이들을 상호 연결하는 탄성부재(160)에 의하여 방향전환부(140)와 가까워지는 방향으로의 탄성력이 웨지부(130)에 제공된다. On the other hand, when the direction change unit 140 is slid and moved on the inclined surface of the wedge unit 130, the distance between the center of the wedge unit 130 and the direction change unit 140 is spaced apart, the elastic member 160 to interconnect them By the elastic force in the direction closer to the turning portion 140 is provided to the wedge portion 130.

다만, 구동부(120)에 의하여 공급되는 구동력이 탄성부재(160)로부터 제공되는 탄성력을 지지하므로, 게이트(110)가 챔버(10)로부터 접촉해제되지 않고 개구부(12)를 차단한 상태를 유지할 수 있다.However, since the driving force supplied by the driving unit 120 supports the elastic force provided from the elastic member 160, the gate 110 may maintain a state in which the opening 12 is blocked without being released from the chamber 10. have.

2. 개구부의 개방동작2. Opening operation of opening

도 6 내지 도 8은 도 1의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브를 이용한 챔버의 개폐부를 개방하는 동작을 개략적으로 도시한 것이다.6 to 8 schematically illustrate an operation of opening and closing the chamber of the chamber using the gate valve using the inclined drive of FIG.

먼저, 도 6에 도시된 바와 같이, 게이트(110)가 개구부(12)를 차단하기 위하여 이동했던 반대방향을 따라서 이동하도록 구동부(120)를 작동시킨다. 즉, 구동부(120)를 제1축(x1)을 따라서 하강시키면, 이에 연결되는 방향전환부(140)도 하강한다.First, as shown in FIG. 6, the driving unit 120 is operated to move along the opposite direction in which the gate 110 moves to block the opening 12. That is, when the driving unit 120 is lowered along the first axis x 1 , the turning unit 140 connected thereto is also lowered.

이때, 인장스프링의 형태로 마련되는 탄성부재(160)로부터 가해지는 탄성력에 의하여 웨지부(130)는 하강하는 방향전환부(140) 측으로 이동하고, 웨지부(130)와 결합되는 게이트(110)는 챔버(10)의 외벽으로부터 접촉 해제되어 개구부(12)를 개방한다.At this time, the wedge part 130 moves toward the descending direction switching part 140 by the elastic force applied from the elastic member 160 provided in the form of a tension spring, and the gate 110 coupled to the wedge part 130. Is released from the outer wall of the chamber 10 to open the opening 12.

도 7에 도시된 바와 같이, 방향전환부(140)의 지속적인 하강 및 탄성부재(160)로부터의 탄성력에 의하여 방향전환부(140)와 웨지부(130)간의 결합상태가 최초의 상태로 복원된다. As shown in FIG. 7, the engagement state between the turning part 140 and the wedge part 130 is restored to the initial state by the continuous lowering of the turning part 140 and the elastic force from the elastic member 160. .

따라서, 도 8에 도시된 바와 같이, 게이트(110)가 고정위치(C)에 도달하면 방향전환부(140)와 웨지부(130)는 일체로 이동한다. 즉, 제1축(x1) 상에서 하강하는 구동부(120)에 의하여 방향전환부(140)와 웨지부(130)는 일체로 고정위치(C)로부터 이탈하는 동시에 하강하여, 최종적으로 챔버(10)의 개구부(12)는 차단상태가 해제되어 외부에 개방된다.
Therefore, as shown in FIG. 8, when the gate 110 reaches the fixed position C, the direction change unit 140 and the wedge unit 130 move integrally. That is, the turning unit 140 and the wedge unit 130 are pulled down from the fixed position C at the same time by the driving unit 120 descending on the first axis x 1 , and finally descend to the chamber 10. The opening 12 of the) is opened to the outside is released from the blocking state.

따라서, 본 실시예의 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브에 의하면, 경사면 구조를 이용하여 구동 방향을 전환함으로써, 완전히 분리된 "L" 자 형태의 개폐구동을 구현할 수 있다.
Therefore, according to the gate valve using the inclined drive of the present embodiment, by switching the drive direction using the inclined surface structure, it is possible to implement a fully separated "L" shaped opening and closing drive.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.

110 : 게이트 120 : 구동부
130 : 웨지부 140 : 방향전환부
150 : 스토퍼 160 : 탄성부재110: gate 120: driver
130: wedge portion 140: direction change portion
150: stopper 160: elastic member

Claims (6)

챔버에 형성되는 개구부를 개폐하기 위한 게이트 밸브에 있어서,
상기 챔버의 외벽과 접촉 또는 접촉해제하여 상기 개구부가 개폐되도록 상기 개구부의 면과 평행한 제1축 또는 상기 개구부의 면과 수직한 제2축 중 어느 하나를 따라서 이동하는 게이트;
상기 제1축 방향의 이동력을 공급하는 구동부;
상기 게이트에 설치되되, 외면에 경사면이 형성되는 웨지부;
상기 챔버의 외벽에 마련되며, 상기 게이트의 단부와 접촉하여 상기 게이트가 상기 개구부와 마주보는 위치인 고정위치에 도달하면 상기 개구부를 차단하도록 상기 제1축 상의 이동을 제한하고 상기 제2축 상으로 이동하도록 상기 게이트의 이동방향을 안내하는 스토퍼;
상기 구동부와 연결되며, 상기 게이트가 상기 고정위치에 도달시 상기 구동부로부터 제공되는 제1축 방향의 이동력이 상기 제2축 방향의 이동력으로 전환되어 상기 게이트에 공급되도록 외면이 상기 웨지부로부터 슬라이딩 이동 가능하게 경사면이 형성되는 방향전환부; 상기 웨지부와 상기 방향전환부를 상호 연결하며, 상기 웨지부와 상기 방향전환부에 서로 끌어당기는 방향의 탄성력을 제공하는 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브.In the gate valve for opening and closing the opening formed in the chamber,
A gate moving along either one of a first axis parallel to the plane of the opening or a second axis perpendicular to the plane of the opening such that the opening is opened or closed by contacting or releasing the outer wall of the chamber;
A driving unit supplying a moving force in the first axial direction;
A wedge portion installed at the gate and having an inclined surface formed on an outer surface thereof;
It is provided on the outer wall of the chamber, when the contact with the end of the gate reaches the fixed position which is a position facing the opening to limit the movement on the first axis to block the opening and onto the second axis A stopper for guiding a moving direction of the gate to move;
When the gate reaches the fixed position, the outer surface is connected to the driving unit so that the moving force in the first axial direction provided from the driving unit is converted into the moving force in the second axial direction and supplied to the gate. A direction changing part in which an inclined surface is formed to be slidable; And an elastic member interconnecting the wedge portion and the turning portion and providing an elastic force in a direction in which the wedge portion and the turning portion are attracted to each other. 제1항에 있어서,
상기 개구부를 차단하기 위한 상기 구동부 동작시 방향을 따라 상기 웨지부는 점점 높아지는 경사면을 형성하고,
상기 개구부를 차단하기 위한 상기 구동부 동작시 방향을 따라 상기 방향전환부는 점점 낮아지는 경사면을 형성하는 것을 특징으로 하는 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브.The method of claim 1,
The wedge portion forms an inclined surface that gradually increases along a direction during the operation of the driving unit for blocking the opening,
The gate valve using the inclined drive, characterized in that for forming the inclined surface is gradually lowered in the direction change unit during the operation of the drive unit for blocking the opening. 제2항에 있어서,
상기 구동부는 공압실린더인 것을 특징으로 하는 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브.3. The method of claim 2,
The drive unit is a gate valve using inclined drive, characterized in that the pneumatic cylinder. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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