KR101071244B1 - Pull-push assay - Google Patents

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Abstract

본 발명은 게이트 밸브에 구비되어, 실링판을 게이트 방향으로 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이(pull-push assay)에 관한 것으로서, 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이는 중앙판에 고정되어 게이트 밸브의 실링판을 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이에 있어서, 후면에 음각되어 형성되는 이동홈 및 전면을 관통하여 형성되는 관통홀을 가지며, 상기 중앙판에 고정되는 고정 브라켓; 상기 이동홈에 이동가능하게 설치되며, 상기 중앙판에서 공급되는 에어에 의하여 전진하는 실링 블럭; 상기 실링 블럭의 전면 중앙에 일단이 결합되며, 상기 관통홀을 관통하여 타단이 상기 실링판 배면에 결합되는 실링축; 상기 실링 블럭과 고정 브라켓 사이에 배치되어, 상기 실링 블럭을 후진시키는 후진수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a pull-push assay provided in the gate valve to move the sealing plate back and forth in the gate direction, and the pull-push assay according to the present embodiment is fixed to the center plate and the gate A pull-push assay for advancing and reversing a sealing plate of a valve, comprising: a fixing bracket fixed to the center plate and having a through hole formed through a front surface of the groove and a moving groove formed on the rear surface thereof; A sealing block movably installed in the moving groove and advanced by air supplied from the center plate; A sealing shaft having one end coupled to a center of a front surface of the sealing block and having a second end coupled to a rear surface of the sealing plate through the through hole; And a reversing means disposed between the sealing block and the fixing bracket to reverse the sealing block.

게이트, 게이트 밸브, 챔버, 진공, 풀-푸쉬 어세이 Gate, Gate Valve, Chamber, Vacuum, Pull-Push Assay

Description

풀-푸쉬 어세이{PULL-PUSH ASSAY}Full-Push Assay {PULL-PUSH ASSAY}

본 발명은 게이트 밸브에 구비되어, 실링판을 게이트 방향으로 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이(pull-push assay)에 관한 것이다. The present invention relates to a pull-push assay provided in the gate valve to advance the sealing plate back and forth in the gate direction.

일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 고진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용되며, 진공 장비를 진공 장비의 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다. In general, most of the processes for manufacturing LCD substrates or semiconductor devices proceed in a vacuum. Therefore, most of the equipment that performs the process for manufacturing the LCD substrate or semiconductor device is a vacuum equipment, such a vacuum equipment is used to maintain a high vacuum inside the vacuum equipment, the vacuum equipment is used outside the vacuum equipment or other A gate valve is provided to isolate the vacuum equipment.

이러한 게이트 밸브는 진공 장비와 외부 또는 다른 진공 장비 사이에 설치되는 하우징과, 상기 하우징 내에서 상승 및 전후진 운동을 하면서 상기 진공 장비에 형성되어 있는 게이트를 개폐하는 실링 플레이트와, 상기 실링 플레이트를 전후진시키는 전후진 구동부와, 상기 실링 플레이트 및 전후진 구동부를 상하 방향으로 승강시키는 승강 구동부 등을 포함하여 구성된다. The gate valve includes a housing installed between the vacuum equipment and the external or other vacuum equipment, a sealing plate for opening and closing the gate formed in the vacuum equipment while moving up and down in the housing, and the sealing plate. It includes a forward and backward drive unit for advancing, a lift drive unit for raising and lowering the sealing plate and the forward and backward drive unit in the vertical direction.

이 중에서 승강 구동부는 일반적으로 실린더로 구성되는데, 상기 하우징의 하면을 관통하여 상기 실링 플레이트의 하부와 결합된 구조를 가진다. 그러므로 하 우징 내부의 기밀을 유지하기 위하여 상기 승강 구동부와 상기 하우징 하면에는 복잡한 구조가 형성된다. 또한 상기 전후진 구동부가 에어를 이용하여 상기 실링 플레이트를 전후진 시키는 경우에는, 상기 실링 플레이트의 하부에 별도의 에어 샤프트가 더 구비되어야 한다. Among these, the lifting driving unit is generally composed of a cylinder, and has a structure coupled to a lower portion of the sealing plate through the lower surface of the housing. Therefore, in order to maintain the airtight inside the housing complex structure is formed on the lift drive and the lower surface of the housing. In addition, when the forward and backward driving unit advances the sealing plate using air, a separate air shaft should be further provided below the sealing plate.

그리고 상기 전후진 구동부(일명 '풀-푸쉬 어세이'라고도 함)는 전술한 바와 같이, 상기 실링 플레이트를 전후진 시키는 구성요소이며, 일반적으로 고압의 에어를 이용하여 상기 실링 플레이트를 전후진시킨다. 즉, 이 전후진 구동부는 에어로 구동되는 다수개의 실린더로 구성되어 상기 실링 플레이트 배면 다수 지점을 동시에 밀거나 당겨서 실링 플레이트를 전후진시키는 것이다. As described above, the forward and backward driving unit (also referred to as a 'pull-push assay') is a component that advances the sealing plate forward and backward, and generally moves the sealing plate forward and backward using high pressure air. That is, the forward and backward drive part is composed of a plurality of cylinders driven by air, and pushes or pulls the sealing plate back and forth at the same time to advance the sealing plate forward and backward.

이 전후진 구동부는 실링 플레이트를 직접 밀고 당기는 구성요소이므로 전후진 구동부를 구성하는 각 실린더가 정밀하게 제어되어야 상기 실링 플레이트를 정확하게 전후진시킬 수 있다. 그런데 종래의 전후진 구동부는 정확한 동작 제어가 어렵고, 실린더 내부와 실링 플레이트 사이의 차단이 확실하게 이루어지지 않아서 파티클 이슈가 발생하는 문제점이 있었다. Since the forward and backward driving part is a component that pushes and pulls the sealing plate directly, each cylinder constituting the forward and backward driving part must be precisely controlled to accurately move the sealing plate forward and backward. By the way, the conventional forward and backward drive is difficult to control the correct operation, there is a problem that the particle issue occurs because the blocking between the cylinder and the sealing plate is not made reliably.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 정확한 전후진 동작 제어가 가능하고, 실린더 내부와 실링판 사이를 완벽하게 격리하여 파티클 이슈가 발생하지 않는 풀-푸쉬 어세이를 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to provide a full-push assay that is capable of accurate forward and backward motion control and completely isolates the inside of the cylinder and the sealing plate to prevent particle issues.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이는 중앙판에 고정되어 게이트 밸브의 실링판을 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이에 있어서, 후면에 음각되어 형성되는 이동홈 및 전면을 관통하여 형성되는 관통홀을 가지며, 상기 중앙판에 고정되는 고정 브라켓; 상기 이동홈에 이동가능하게 설치되며, 상기 중앙판에서 공급되는 에어에 의하여 전진하는 실링 블럭; 상기 실링 블럭의 전면 중앙에 일단이 결합되며, 상기 관통홀을 관통하여 타단이 상기 실링판 배면에 결합되는 실링축; 상기 실링 블럭과 고정 브라켓 사이에 배치되어, 상기 실링 블럭을 후진시키는 후진수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다. In the pull-push assay according to the present embodiment for achieving the above-described technical problem is fixed to the center plate in the pull-push assay for advancing the sealing plate of the gate valve, the groove is formed intaglio on the rear and A fixing bracket having a through hole formed through the front surface and fixed to the center plate; A sealing block movably installed in the moving groove and advanced by air supplied from the center plate; A sealing shaft having one end coupled to a center of a front surface of the sealing block and having a second end coupled to a rear surface of the sealing plate through the through hole; And a reversing means disposed between the sealing block and the fixing bracket to reverse the sealing block.

본 발명에서 상기 후진 수단은 탄성력에 의하여 상기 실링 블럭을 후진시키는 탄성체인 것을 특징으로 한다. In the present invention, the reversing means is characterized in that the elastic body for reversing the sealing block by the elastic force.

그리고 본 발명의 풀-푸쉬 어세이에는, 일단이 상기 고정 브라켓에 결합되고, 타단은 상기 실링 블럭에 결합되며, 상기 실링축을 감싸서 밀봉하는 벨로우즈가 더 구비되는 것이 바람직하다. And the pull-push assay of the present invention, one end is coupled to the fixing bracket, the other end is preferably coupled to the sealing block, the bellows surrounding the sealing shaft is preferably further provided.

또한 상기 고정 브라켓의 측벽을 관통하여 형성되며, 상기 이동 공간 내의 기체를 배출하는 벤트 통로가 더 형성되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that a vent passage is formed through the side wall of the fixing bracket and discharges gas in the moving space.

본 발명에 따른 풀-푸쉬 어세이는 탄성체로 구성되는 후진 수단을 구비하여 전후진 구동이 정밀하게 제어되며, 실링축을 감싸는 벨로우즈를 구비하여 실린더 내부 공간과 실링판이 위치하는 공간을 완벽하게 격리하여 파티클이 유출될 가능성을 원천적으로 없앤 효과가 있다. The pull-push assay according to the present invention includes a reversing means composed of an elastic body, and the forward and backward driving is precisely controlled, and has a bellows surrounding the sealing shaft to completely isolate the space inside the cylinder and the space where the sealing plate is located, It is effective in eliminating the possibility of this leak.

또한 본 발명에서는 밴트 통로를 이용하여 실린더 동작 과정에서 발생할 수 있는 실린더 내부의 기체를 안정적으로 외부로 배출하여 실린더 동작을 더욱 정교하고 원활하게 제어할 수 있다. In addition, in the present invention, by using the vent passage to stably discharge the gas inside the cylinder that can occur in the cylinder operation process to the outside it is possible to more precisely and smoothly control the cylinder operation.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a specific embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 하우징(10), 실링 플레이트 어세이(20), 에어 샤프트(40), 하부 플레이트(30) 및 승강부(50)를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 1, the gate valve according to the present exemplary embodiment includes a housing 10, a sealing plate assay 20, an air shaft 40, a lower plate 30, and an elevation 50. do.

먼저 하우징(10)은 본 실시예에 따른 게이트 밸브가 설치될 챔버 측벽 또는 챔버와 챔버 사이의 공간에 개재되어 설치되는 구성요소이며, 다양한 형상을 가질 수 있으며 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 내부에 일정한 공간이 형성되는 육면체 형상을 가질 수 있다. 이 하우징(10)은 챔버 측벽에 기판을 출입을 위하여 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀(12)과 하측 방향으로 개구된 승강홀(14)을 가진다. First, the housing 10 is a component installed interposed in a chamber side wall or a space between the chamber and the chamber in which the gate valve according to the present embodiment is installed, and may have various shapes, for example, as shown in FIG. 1. It may have a hexahedral shape in which a predetermined space is formed inside. The housing 10 is fixed to the side wall of the chamber so as to correspond to a gate formed to enter and exit the substrate on the side wall of the chamber, and as shown in FIGS. 1 and 2, the sealing hole 12 opened in the gate direction. And a lifting hole 14 opened downward.

상기 실링 홀(12)을 통해서는 후술할 실링 플레이트 어세이(20)의 실링판(24)이 관통하여 전후진 하며, 이 실링 홀(12)은 상기 하우징(10)의 전면 또는 후면 중 적어도 일면에 형성된다. 상기 게이트 밸브가 챔버와 챔버 사이에 설치되는 경우에는 상기 하우징(10)의 양면에 실링 홀(12)이 형성되고, 상기 실링 플레이트 어세이도 양 면에 실링판(24)을 가지게 된다. Through the sealing hole 12, the sealing plate 24 of the sealing plate assay 20 to be described later penetrates back and forth, and the sealing hole 12 is at least one surface of the front or rear surface of the housing 10. Is formed. When the gate valve is installed between the chamber and the chamber 10, the sealing hole 12 is formed on both sides of the housing 10, and the sealing plate assay also has a sealing plate 24 on both sides.

상기 승강홀(14)은 실링 플레이트 어세이(20)의 조립시에 상기 실링 플레이트 어세이(20)가 통과하는 통로를 제공하며, 실링 플레이트 어세이(20)의 조립 이후에는 상기 에어 샤프트(40)가 통과하는 공간이기도 하다. 이 승강홀(14)은 후술하는 하부 플레이트(30)에 의하여 밀봉된다. The lifting hole 14 provides a passage through which the sealing plate assay 20 passes when the sealing plate assay 20 is assembled, and after the assembly of the sealing plate assay 20, the air shaft 40. It is also a space where) passes. The lifting hole 14 is sealed by a lower plate 30 to be described later.

본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 상기 하우징(10)의 하면에 형성되어 있는 승강홀(14)과, 상기 승강홀(14)을 하측에서 결합하여 밀봉하는 하부 플레이트(30)를 포함하는 구조로 인하여 상기 하우징(10) 내부에 설치되는 실링 플레이트 어세이(20)에 고장이 발생하는 경우, 하우징(10) 자체를 챔버로부터 분리하지 않고 실링 플레이트 어세이(20) 만을 하우징(10) 하부로 분리할 수 있는 장점이 있다. In the gate valve according to the present embodiment, due to the structure including a lifting hole 14 formed on the lower surface of the housing 10 and a lower plate 30 for sealing the lifting hole 14 by coupling from below. When a failure occurs in the sealing plate assay 20 installed inside the housing 10, the sealing plate assay 20 may be separated only below the housing 10 without separating the housing 10 itself from the chamber. There are advantages to it.

게이트 밸브의 유지 보수 작업을 수행하면서 하우징(10)을 포함하는 게이트 밸브 전체를 챔버로부터 분리하는 작업은 그 자체로도 매우 어려운 작업이며, 상기 챔버에 설치되어 있는 다른 부수 설비와의 간섭 문제 때문에 더욱 어려운 작업이 된다. 그런데 본 실시예에 따른 게이트 밸브는 어떠한 경우에도 상기 하우징(10) 자체를 챔버로부터 분리하지 않고도 유지 보수 작업을 진행할 수 있으므로 매우 유리한 것이다. Removing the entire gate valve including the housing 10 from the chamber while performing the maintenance of the gate valve is a very difficult task in itself, and moreover, due to interference problems with other auxiliary equipment installed in the chamber. It is a difficult task. However, the gate valve according to the present embodiment is very advantageous because the maintenance work can be performed without removing the housing 10 itself from the chamber in any case.

다음으로 실링 플레이트 어세이(Sealing Plate Assay, 20)는 상기 하우징(10) 내부에 설치되며, 실링판(24)이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 구성요소이다. 이를 위하여 본 실시예에 따른 실링 플레이트 어세이(20)는 도 1, 3에 도시된 바와 같이, 중앙판(22), 실링판(24) 및 풀-푸쉬 어세이(26)를 포함하여 구성된다. 먼저 중앙판(22)은 장방형의 플레이트로 구성되며, 실링 플레이트 어세이(20)의 중심을 이룬다. 이 중앙판(22) 하부에 에어 샤프트(40)가 결합된다. 그리고 이 중앙판(22)의 내부에는 에어 샤프트(40)로부터 공급된 에어를 상기 풀-푸쉬 어세이(26)에 공급하기 위한 유로(도면에 미도시)가 형성된다. 이 중앙판(22)은 상기 실링판(24)이 상기 게이트를 단속하기 위하여 전진하는 경우에도 움직이지 않고 자기 위치에 정지한 상태로 머문다. Next, a sealing plate assay 20 is installed in the housing 10, and the sealing plate 24 is a component for advancing toward the gate to seal the gate. To this end, the sealing plate assay 20 according to the present embodiment includes a middle plate 22, a sealing plate 24, and a pull-push assay 26, as shown in FIGS. 1 and 3. . First, the middle plate 22 is composed of a rectangular plate and forms the center of the sealing plate assay 20. The air shaft 40 is coupled to the lower portion of the middle plate 22. In addition, a flow path (not shown) is formed in the middle plate 22 to supply the air supplied from the air shaft 40 to the pull-push assay 26. The middle plate 22 remains stationary at its position without moving even when the sealing plate 24 moves forward to intercept the gate.

다음으로 실링판(24)은 상기 중앙판(22)에 결합된 상태로 구비되며, 상기 게이트 방향으로 전후진하면서 상기 게이트를 단속하는 구성요소이다. 이 실링판(24)의 전면에는 상기 게이트를 밀봉할 경우에 기밀을 유지하기 위하여 오링(도면에 미도시)이 더 구비된다. Next, the sealing plate 24 is provided in a state coupled to the middle plate 22, and is a component for controlling the gate while moving forward and backward in the gate direction. An o-ring (not shown) is further provided on the front surface of the sealing plate 24 to maintain airtightness when sealing the gate.

그리고 이 실링판(24)은 도 3에 도시된 바와 같이, 풀-푸쉬 어세이(26)에 의 하여 상기 중앙판(22)에 결합된다. 이 풀-푸쉬 어세이(26)는 상기 실링판(24)을 상기 중앙판(22)으로부터 상기 게이트 방향으로 전후진 시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 풀-푸쉬 어세이(26)이 상기 에어 샤프트(40)를 통하여 공급되는 고압의 에어에 의하여 상기 실링판(24)을 전후진시키는 구조를 가진다. 구체적으로 본 실시예에서는 다수개의 풀-푸쉬 어세이(26)이 나란하게 배치되어 상기 실링판(24)의 다수 지점을 안정적으로 지지하게 된다. This sealing plate 24 is then coupled to the middle plate 22 by a pull-push assay 26, as shown in FIG. This pull-push assay 26 is a component that advances the sealing plate 24 back and forth from the middle plate 22 in the gate direction. In this embodiment, the pull-push assay 26 has a structure in which the sealing plate 24 is advanced back and forth by the high pressure air supplied through the air shaft 40. Specifically, in the present embodiment, a plurality of pull-push assays 26 are arranged side by side to stably support a plurality of points of the sealing plate 24.

본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이(26)는 도 4에 도시된 바와 같이, 고정 브라켓(26a), 실링 블럭(26b), 실링축(26c) 및 후진수단(26d)을 포함하여 구성된다. 먼저 고정 브라켓(26a)은 후면에 음각되어 형성되는 이동홈 및 전면을 관통하여 형성되는 관통홀을 가지며, 상기 중앙판(22)에 고정되는 구성요소이다. 여기에서 이동홈은 후술하는 실링 블럭(26b)이 설치되어 전후진할 수 있는 공간이고, 상기 관통홀은 후술하는 실링축(26c)이 관통하여 전후진하는 통로를 말한다. As shown in FIG. 4, the pull-push assay 26 according to the present embodiment includes a fixing bracket 26a, a sealing block 26b, a sealing shaft 26c and a reversing means 26d. . First, the fixing bracket 26a has a moving groove that is engraved on the rear surface and a through hole formed through the front surface, and is a component fixed to the middle plate 22. Here, the moving groove is a space in which the sealing block 26b to be described later is installed and moved forward and backward, and the through hole refers to a passage through which the sealing shaft 26c to be described later penetrates and moves forward and backward.

다음으로 실링 블럭(26b)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 이동홈에 이동가능하게 설치되며, 상기 중앙판(22)에서 공급되는 에어에 의하여 전진하고, 후술하는 후진 수단(26d)에 의하여 후진하는 구성요소이다. 이 실링 블럭(26b)은 상기 고정 브라켓(26a)에 형성되어 있는 이동홈 내에 삽입되어 전후진되므로, 상기 이동홈 내경과 동일하거나 약간 작게 형성된다. 그리고 이 실링 블럭(26b)과 이동홈 내면 사이에는, 상기 실링 블럭이 설치된 상태에서 이동홈과 실링 블럭 사이의 틈을 밀봉하고, 상기 실링 블럭의 원활한 전후진을 위하여 웨어링이 더 구비된다. Next, as shown in FIG. 4, the sealing block 26b is movably installed in the movable groove, is advanced by air supplied from the middle plate 22, and is reversed by the reverse means 26d described later. It is a backwarding component. Since the sealing block 26b is inserted into the moving groove formed in the fixing bracket 26a and moved back and forth, the sealing block 26b is formed to be equal to or slightly smaller than the inside diameter of the moving groove. And between the sealing block 26b and the inner surface of the movable groove, the gap between the movable groove and the sealing block is sealed while the sealing block is installed, and a wear ring is further provided for smooth forward and backward movement of the sealing block.

다음으로 실링축(26c)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 실링 블럭(26b)의 전면 중앙에 일단이 결합되며, 상기 관통홀을 관통하여 타단이 상기 실링판(24) 배면에 결합되는 구성요소이다. Next, as shown in FIG. 4, one end of the sealing shaft 26c is coupled to the center of the front surface of the sealing block 26b, and the other end of the sealing shaft 26c is coupled to the rear surface of the sealing plate 24. Element.

그리고 후진 수단(26d)은 상기 실링 블럭(26b)과 고정 브라켓(26a) 사이에 배치되어, 상기 실링 블럭(26b)을 후진시키는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 후진 수단(26d)은 탄성체, 예를 들어 용수철로 구성될 수 있다. 따라서 상기 실링 블럭(26b)이 전진하는 경우에는 상기 실링 블럭(26b)의 배면을 가압하는 고압의 에어에 의하여 가압되고, 이때, 상기 실링 블럭(26b)과 고정 브라켓(26a) 사이에 배치된 후진 수단(26d)이 압축되어 탄성력이 발생한다. 그리고 상기 실링 블럭(26b)이 후진하는 경우에는 상기 실링 블럭(26b)의 배면을 가압하는 고압의 에어가 차단되고, 압축되어 탄성력을 가지고 있던 상기 후진 수단(26d)에 의하여 상기 실링 블럭(26b)이 후진하는 것이다. The reversing means 26d is disposed between the sealing block 26b and the fixing bracket 26a, and is a component for reversing the sealing block 26b. In the present embodiment this reversing means 26d may be composed of an elastic body, for example a spring. Therefore, when the sealing block 26b moves forward, the sealing block 26b is pressurized by high pressure air that pressurizes the rear surface of the sealing block 26b. In this case, the reverse block disposed between the sealing block 26b and the fixing bracket 26a is reversed. The means 26d is compressed to generate an elastic force. When the sealing block 26b moves backward, the high pressure air pressurizing the back surface of the sealing block 26b is blocked, and the sealing block 26b is compressed by the reverse means 26d, which has been compressed and has elasticity. This is to reverse.

따라서 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이(26)에서는 별도로 상기 실링 블럭(26b)의 후진을 위하여 구동수단이나 펌핑 수단을 구비할 필요가 없으며, 간단한 구조의 후진 수단(26d)에 의하여 실링 블럭이 후진하는 것이다. Therefore, in the pull-push assay 26 according to the present embodiment, it is not necessary to separately provide a driving means or a pumping means for reversing the sealing block 26b, and the sealing block is provided by the reversing means 26d having a simple structure. This is to reverse.

또한 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이(26)에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 일단이 상기 고정 브라켓(26a)에 결합되고, 타단은 상기 실링 블럭(26b)에 결합되며, 상기 실링축(26c)을 감싸서 밀봉하는 벨로우즈(26e)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 벨로우즈(26e)는 상기 실링축(26c)을 감싸서 상기 이동홈 내부 공간과 실링축(26c)이 배치되는 공간을 차단한다. 따라서 이동홈 내부에서 발생되는 파티클이 실링축(26c) 및 실링판(24) 측 공간으로 유출될 가능성이 원천적으로 없 어지는 것이다. In addition, in the pull-push assay 26 according to the present embodiment, as shown in FIG. 4, one end is coupled to the fixing bracket 26a, and the other end is coupled to the sealing block 26b. It is preferable that the bellows 26e which wraps and seals the shaft 26c is further provided. The bellows 26e surrounds the sealing shaft 26c to block the space in which the movable groove inner space and the sealing shaft 26c are disposed. Therefore, there is no possibility that particles generated in the moving grooves leak out into the sealing shaft 26c and the sealing plate 24 space.

그리고 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이(26)에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 고정 브라켓(26a)의 측벽을 관통하여 형성되며, 상기 이동 공간 내의 기체를 배출하는 벤트 통로(26f)가 더 형성되는 것이 바람직하다. 이 벤트 통로(26f)를 통해서는 상기 이동홈 내부의 기체가 외부로 배출될 수 있어서, 상기 실링 블럭(26b)의 전진 과정에서 이동홈 내부의 기체가 배출될 수 있는 통로를 제공하여, 상기 실링 블럭(26b)의 더 원활한 전진을 도모할 수 있다. 또한 상기 이동홈 내의 기체를 관리 가능한 공간으로 배출시켜 이동홈 내부에 존재하는 파티클이 다른 공간으로 유출되는 것을 방지할 수 있다. In the pull-push assay 26 according to the present embodiment, as illustrated in FIG. 4, the vent passage 26f is formed through the sidewall of the fixing bracket 26a and discharges gas in the moving space. ) Is preferably further formed. The vent passage 26f may allow gas inside the moving groove to be discharged to the outside, thereby providing a passage through which the gas inside the moving groove may be discharged during the advancing of the sealing block 26b, and thus sealing the gas. Smoother forward of the block 26b can be achieved. In addition, by discharging the gas in the moving groove into a manageable space, it is possible to prevent particles present in the moving groove from leaking to other spaces.

상기 게이트를 밀봉하는 과정에서는 상기 챔버 벽면과 평행한 상태에서 상기 실링판(24)의 모든 면에 대해 균일하게 힘이 가해지도록 한다. 특히, 본 실시예에서는 상기 에어 샤프트(40)가 상기 중앙판(22) 중앙 부분에 결합되므로, 에어 샤프트(40)에 공급되는 고압의 에어가 상기 실링판(22)의 중앙 부분부터 가압하게 된다. 따라서 상기 게이트의 밀봉 과정에서 가장 많은 힘을 받아서 변형되기 쉬운 부분인 중앙 부분을 가장 강하게 가압하게 되어 상기 실링판(24)의 변형을 방지하고, 확실하게 게이트를 밀봉하는 효과가 있다. In the process of sealing the gate, force is applied uniformly to all surfaces of the sealing plate 24 in a state parallel to the chamber wall surface. In particular, in the present embodiment, since the air shaft 40 is coupled to the center portion of the middle plate 22, the high pressure air supplied to the air shaft 40 is pressurized from the center portion of the sealing plate 22. . Therefore, in the sealing process of the gate, the center part, which is a part which is easily deformed due to the most force, is pressed most strongly, thereby preventing deformation of the sealing plate 24 and reliably sealing the gate.

다음으로 에어 샤프트(40)는 상기 하우징(10)의 하부에서 상기 실링 플레이트 어세이(20)와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이(20)에 에어를 공급하는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 에어 샤프트(40)는 2개가 나란하게 설치되는 것이, 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 안정 적으로 지지할 수 있어서 바람직하다. 이렇게 상기 에어 샤프트(40)가 2개로 구비되는 경우에는, 하나의 에어 샤프트(40)는 상기 실링 플레이트 어세이(20)에 에어를 공급하고, 나머지 하나는 공급된 에어를 배출하는 역할을 나누어 수행하는 것이 바람직하다. 이를 위하여 상기 에어 샤프트(40)의 상단은 상기 실링 플레이트 어세이(20)의 중앙판(22) 하면에 결합되고, 상기 에어 샤프트(40)의 하단은 후술하는 고정 플레이트(52)에 결합되며, 그 이 후에 별도로 구비되는 에어 공급 배출 라인(도면에 미도시)에 결합된다. Next, the air shaft 40 is coupled to the sealing plate assay 20 at the bottom of the housing 10 to support the sealing plate assay 20, and supplies air to the sealing plate assay 20. Supply component. In the present embodiment, it is preferable that two air shafts 40 are installed side by side, so that the sealing plate assay 20 can be stably supported. In this case, when the air shaft 40 is provided with two, one air shaft 40 supplies air to the sealing plate assay 20, and the other one divides the role of discharging the supplied air. It is desirable to. To this end, an upper end of the air shaft 40 is coupled to a lower surface of the middle plate 22 of the sealing plate assay 20, and a lower end of the air shaft 40 is coupled to a fixing plate 52 to be described later. Thereafter it is coupled to a separate air supply discharge line (not shown in the figure).

그리고 상기 에어 샤프트(40)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 실링 플레이트 어세이(20)의 중앙 부분에 결합되는 것이, 상기 실링판(22)을 안정적으로 가압할 수 있고, 상기 실린더(54)의 설치 위치를 용이하게 확보할 수 있어서 바람직하다. 또한 상기 에어 샤프트(40)는 상기 하부 플레이트(30)에 형성되어 잇는 샤프트 관통홀(34)을 관통하여 설치되는데, 이때 상기 하우징(10) 내부의 기밀을 유지하기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 하부 플레이트(30)와의 결합부분이 벨로우즈(44)에 의하여 밀봉된 상태로 결합되는 것이 바람직하다. And the air shaft 40 is coupled to the central portion of the sealing plate assay 20, as shown in Figure 1, can stably press the sealing plate 22, the cylinder 54 It is preferable to be able to easily secure the mounting position. In addition, the air shaft 40 is installed through the shaft through-hole 34 formed in the lower plate 30, as shown in Figure 1 to maintain the airtight inside the housing 10 It is preferable that the coupling portion with the lower plate 30 is coupled in a sealed state by the bellows 44.

다음으로 하부 플레이트(30)는 상기 에어 샤프트(40)가 관통하는 샤프트 관통홀(34)을 가지며, 상기 하우징(10)의 하부에 결합하여 상기 승강홀(14)을 밀봉하는 구성요소이다. 즉, 이 하부 플레이트(30)는 상기 하우징(10)의 일부를 구성하는 세부 구성요소로도 볼 수 있으며, 상기 하우징(10) 중 하측으로 개방된 부분인 승강홀(14)을 밀봉하며, 이 하부 플레이트(30)는 상기 하우징(10)에 탈착가능한 구조로 결합된다. Next, the lower plate 30 has a shaft through hole 34 through which the air shaft 40 penetrates, and is coupled to a lower portion of the housing 10 to seal the lifting hole 14. That is, the lower plate 30 can also be seen as a detailed component constituting a part of the housing 10, and seals the lifting hole 14, which is an open portion of the housing 10 to the lower side. The lower plate 30 is coupled to the housing 10 in a removable structure.

또한 상기 하부 플레이트(30)와 하우징(10)의 결합면에는 상기 하우징(10) 내부의 기밀을 유지하기 위하여 오링(32)이 더 구비될 수 있다. 이와 같이, 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 이렇게 상기 하우징(10)의 하부가 개방되는 구조를 가지므로 상기 게이트 밸브가 챔버 측벽에 설치된 후 사용과정에서 유지 보수를 위하여 하우징(10)을 분리하지 않고, 상기 하부 플레이트(30)를 분리하여 상기 하우징(10) 내부의 실링 플레이트 어세이(20)를 유지 보수할 수 있는 장점이 있다. In addition, an O-ring 32 may be further provided at a coupling surface of the lower plate 30 and the housing 10 to maintain the airtightness inside the housing 10. As described above, in the gate valve according to the present exemplary embodiment, since the lower portion of the housing 10 is opened, the gate valve is installed on the sidewall of the chamber, and thus the housing 10 is not separated for maintenance during use. The separation of the lower plate 30 has the advantage of maintaining the sealing plate assay 20 inside the housing 10.

다음으로 승강부(50)는 상기 에어 샤프트(40)를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 승강시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 상기 승강부(50)가 직접적으로 상기 실링 플레이트 어세이(20)와 결합하여 이를 승강하는 것이 아니라, 상기 에어 샤프트(40)를 통하여 간접적으로 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 승강시키는 것이다. 이를 위하여 상기 승강부(50)는 도 1, 4에 도시된 바와 같이, 고정 플레이트(52)와 실린더(56)를 포함하여 구성된다. Next, the lifting unit 50 is a component for elevating the sealing plate assay 20 by elevating the air shaft 40. In the present embodiment, the lifting unit 50 is not directly coupled with the sealing plate assay 20 to elevate it, but indirectly lifts the sealing plate assay 20 through the air shaft 40. It is to let. To this end, the lifting unit 50 is configured to include a fixed plate 52 and the cylinder 56, as shown in Figs.

여기에서 상기 고정 플레이트(52)는 상기 에어 샤프트(40)의 하단이 고정되며, 상기 에어 샤프트(40)와 함께 승강하는 구성요소이다. 이 고정 플레이트(52)에는 도 1, 4에 도시된 바와 같이, 중앙 부분에 상기 에어 샤프트(40)의 하단이 결합되고, 말단 부분에는 상기 실린더(54)의 하단이 결합된다. Here, the fixing plate 52 is a lower end of the air shaft 40 is fixed, it is a component that is elevated with the air shaft 40. 1 and 4, the lower end of the air shaft 40 is coupled to the center portion, and the lower end of the cylinder 54 is coupled to the distal portion.

구체적으로 상기 실린더(54)는 상기 고정 플레이트(52)와 상기 하부 플레이트(30) 사이에 설치되어, 상기 고정 플레이트(52)를 승강시키는 구성요소이다. 이 실린더(54)는 종래의 실린더와 달리 거꾸로 설치되어 상기 고정 플레이트(52)를 상하 방향으로 승강시킨다. 여기에서 상기 실린더(52)의 상단은 상기 하부 플레이 트(30)의 하면에 단순 결합된다. 여기에서 단순 결합된다 함은, 별도의 실링을 위한 구조를 가지지 않고, 단순히 볼트와 같은 체결 수단에 의하여 고정되는 것을 말한다. Specifically, the cylinder 54 is installed between the fixed plate 52 and the lower plate 30, and is a component for elevating the fixed plate 52. Unlike the conventional cylinder, the cylinder 54 is installed upside down to raise and lower the fixing plate 52 in the vertical direction. Here, the upper end of the cylinder 52 is simply coupled to the lower surface of the lower plate 30. Here, the simple coupling means not having a structure for a separate sealing, but simply fixed by a fastening means such as a bolt.

본 실시예에서는 전술한 바와 같이, 상기 에어 샤프트(40)를 이용하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 지지하므로, 상기 실린더(54)는 복잡한 구조를 가지지 않고 단순한 구조로 상기 하부 플레이트(30)와 결합할 수 있다. 이렇게 단순 구조로 하부 플레이트(30)와 결합되면, 상기 게이트 밸브가 역압 대응 밸브로 구성되는 경우, 상기 실링 플레이트 어세이(20) 자체가 동작 과정에서 전 후 방향으로 약간 밀리더라도 고장이 발생할 가능성이 없으므로 바람직하다. In the present embodiment, as described above, since the sealing plate assay 20 is supported using the air shaft 40, the cylinder 54 does not have a complicated structure and the lower plate 30 has a simple structure. Can be combined with When combined with the lower plate 30 in such a simple structure, when the gate valve is composed of a counter-pressure valve, there is a possibility that a failure occurs even if the sealing plate assay 20 itself is slightly pushed back and forth in the operation process It is preferable because there is no.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 구조를 도시하는 분해 사시도이다. 1 is an exploded perspective view showing the structure of a gate valve according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하우징의 하부 구조를 도시하는 저면도이다. 2 is a bottom view illustrating a lower structure of a housing according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 플레이트 어세이의 구조를 도시하는 측면도이다. 3 is a side view showing the structure of a sealing plate assay according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이의 구조를 도시하는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing the structure of a pull-push assay according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 샤프트 및 승강부의 결합 구조를 도시하는 도면이다. 5 is a view showing a coupling structure of the air shaft and the lifting unit according to an embodiment of the present invention.

Claims (4)

중앙판에 고정되어 게이트 밸브의 실링판을 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이에 있어서, In the pull-push assay fixed to the middle plate to advance the sealing plate of the gate valve forward and backward, 후면에 음각되어 형성되는 이동홈 및 전면을 관통하여 형성되는 관통홀을 가지며, 상기 중앙판에 고정되는 고정 브라켓;A fixed bracket having a moving groove formed on the rear surface and a through hole formed through the front surface, and fixed to the center plate; 상기 이동홈에 이동가능하게 설치되며, 상기 중앙판에서 공급되는 에어에 의하여 전진하는 실링 블럭;A sealing block movably installed in the moving groove and advanced by air supplied from the center plate; 상기 실링 블럭의 전면 중앙에 일단이 결합되며, 상기 관통홀을 관통하여 타단이 상기 실링판 배면에 결합되는 실링축;A sealing shaft having one end coupled to a center of a front surface of the sealing block and having a second end coupled to a rear surface of the sealing plate through the through hole; 상기 실링 블럭과 고정 브라켓 사이에 배치되어, 상기 실링 블럭을 후진시키는 후진수단; 및 A reversing means disposed between the sealing block and the fixing bracket to reverse the sealing block; And 상기 고정 브라켓의 측벽을 관통하여 형성되며, 상기 이동 공간 내의 기체를 배출하는 벤트 통로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 풀-푸쉬 어세이.And a vent passage formed through the side wall of the fixing bracket and for discharging the gas in the moving space. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 후진 수단은 탄성체인 것을 특징으로 하는 풀-푸쉬 어세이.A pull-push assay, characterized in that the reverse means is an elastic body. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 일단이 상기 고정 브라켓에 결합되고, 타단은 상기 실링 블럭에 결합되며, 상기 실링축을 감싸서 밀봉하는 벨로우즈가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 풀-푸쉬 어세이.One end is coupled to the fixing bracket, the other end is coupled to the sealing block, the pull-push assay characterized in that the bellows is further provided to seal the sealing shaft. 삭제delete
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