KR101123670B1 - Gate valve - Google Patents

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KR101123670B1
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박정훈
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Abstract

본 발명은 에어 샤프트로 실링 플레이트 어세이를 지지하여 승강 구조가 간단해지고, 하우징이 챔버 사이에 설치된 상태에서 실링 플레이트 어세이를 하측으로 분리할 수 있어서 유지 보수 작업이 용이해지는 게이트 밸브에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 게이트 밸브는, 챔버 측벽에 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀과 하측 방향으로 개구된 승강홀을 가지는 하우징; 상기 하우징 내부에 설치되며, 실링판이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 실링 플레이트 어세이(Sealing Plate Assay); 상기 하우징의 하부에서 상기 실링 플레이트 어세이와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이에 에어를 공급하는 에어 샤프트; 상기 에어 샤프트가 관통하는 샤프트 관통홀을 가지며, 상기 하우징의 하부에 결합하여 상기 승강홀을 밀봉하는 하부 플레이트; 상기 에어 샤프트를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이를 승강시키는 승강부;를 포함한다. The present invention relates to a gate valve that supports a sealing plate assay with an air shaft, and thus the lifting structure is simplified, and the sealing plate assay can be separated downward while the housing is installed between the chambers, thereby making maintenance easy. The gate valve according to the present invention comprises: a housing fixed to the sidewall of the chamber so as to correspond to a gate formed on the sidewall of the chamber, the housing having a sealing hole opened in the gate direction and a lifting hole opened downward; A sealing plate assay installed inside the housing, the sealing plate advancing toward the gate to seal the gate; An air shaft coupled to the sealing plate assay at a lower portion of the housing to support the sealing plate assay, and supplying air to the sealing plate assay; A lower plate having a shaft through hole through which the air shaft penetrates, and is coupled to a lower portion of the housing to seal the lifting hole; And an elevating unit for elevating the air shaft to elevate the sealing plate assay.

게이트 밸브, 에어 샤프트, 진공 장비, 실링 플레이트 Gate valve, air shaft, vacuum equipment, sealing plate

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}Gate valve {GATE VALVE}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에어 샤프트로 실링 플레이트 어세이를 지지하여 승강 구조가 간단해지고, 하우징이 챔버 사이에 설치된 상태에서 실링 플레이트 어세이를 하측으로 분리할 수 있어서 유지 보수 작업이 용이해지는 게이트 밸브에 관한 것이다. The present invention relates to a gate valve, and more particularly, the lifting plate structure is simplified by supporting the sealing plate assay with an air shaft, and the sealing plate assay can be separated downward while the housing is installed between the chambers, thereby maintaining It relates to a gate valve that facilitates operation.

일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 고진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용되며, 진공 장비를 진공 장비의 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다. In general, most of the processes for manufacturing LCD substrates or semiconductor devices proceed in a vacuum. Therefore, most of the equipment that performs the process for manufacturing the LCD substrate or semiconductor device is a vacuum equipment, such a vacuum equipment is used to maintain a high vacuum inside the vacuum equipment, the vacuum equipment is used outside the vacuum equipment or other A gate valve is provided to isolate the vacuum equipment.

이러한 게이트 밸브는 진공 장비와 외부 또는 다른 진공 장비 사이에 설치되는 하우징과, 상기 하우징 내에서 상승 및 전후진 운동을 하면서 상기 진공 장비에 형성되어 있는 게이트를 개폐하는 실링 플레이트와, 상기 실링 플레이트를 전후진시키는 전후진 구동부와, 상기 실링 플레이트 및 전후진 구동부를 상하 방향으로 승강시키는 승강 구동부 등을 포함하여 구성된다. The gate valve includes a housing installed between the vacuum equipment and the external or other vacuum equipment, a sealing plate for opening and closing the gate formed in the vacuum equipment while moving up and down in the housing, and the sealing plate. It includes a forward and backward drive unit for advancing, a lift drive unit for raising and lowering the sealing plate and the forward and backward drive unit in the vertical direction.

이 중에서 승강 구동부는 일반적으로 실린더로 구성되는데, 상기 하우징의 하면을 관통하여 상기 실링 플레이트의 하부와 결합된 구조를 가진다. 그러므로 하우징 내부의 기밀을 유지하기 위하여 상기 승강 구동부와 상기 하우징 하면에는 복잡한 구조가 형성된다. 또한 상기 전후진 구동부가 에어를 이용하여 상기 실링 플레이트를 전후진 시키는 경우에는, 상기 실링 플레이트의 하부에 별도의 에어 샤프트가 더 구비되어야 한다. Among these, the lifting driving unit is generally composed of a cylinder, and has a structure coupled to a lower portion of the sealing plate through the lower surface of the housing. Therefore, in order to maintain the airtightness inside the housing, a complicated structure is formed on the lifting drive unit and the lower surface of the housing. In addition, when the forward and backward driving unit advances the sealing plate using air, a separate air shaft should be further provided below the sealing plate.

이렇게 종래의 게이트 밸브는 상기 실링 플레이트의 전후진 및 승강을 위하여 복잡한 구조를 가지고 있으므로, 그 조립 작업 및 기밀 유지가 매우 어려운 문제점이 있다. 또한 상기 게이트 밸브가 챔버와 챔버 사이에 설치된 상태로 운용되다가 유지 보수가 필요한 경우에 게이트 밸브 전체를 해체하여야 하는 어려움도 있다. Thus, since the conventional gate valve has a complicated structure for moving forward and backward of the sealing plate, there is a problem that its assembly work and airtightness is very difficult. In addition, when the gate valve is operated between the chamber and the chamber is operated, there is a difficulty in dismantling the entire gate valve when maintenance is required.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 에어 샤프트로 실링 플레이트 어세이를 지지하여 승강 구조가 간단해지고, 챔버 사이에 설치된 상태에서 실링 플레이트 어세이를 하측으로 분리할 수 있어서 유지 보수 작업이 용이해지는 게이트 밸브를 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to simplify the lifting structure by supporting the sealing plate assay with an air shaft, the gate valve can be separated from the lower side in the state installed between the chambers to facilitate the maintenance work To provide.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 게이트 밸브는, 챔버 측벽에 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀과 하측 방향으로 개구된 승강홀을 가지는 하우징; 상기 하우징 내부에 설치되며, 실링판이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 실링 플레이트 어세이(Sealing Plate Assay); 상기 하우징의 하부에서 상기 실링 플레이트 어세이와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이에 에어를 공급하는 에어 샤프트; 상기 에어 샤프트가 관통하는 샤프트 관통홀을 가지며, 상기 하우징의 하부에 결합하여 상기 승강홀을 밀봉하는 하부 플레이트; 상기 에어 샤프트를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이를 승강시키는 승강부;를 포함한다. The gate valve according to the present invention for achieving the above technical problem, is fixed to the chamber side wall to correspond to the gate formed on the chamber side wall, the sealing hole opened in the gate direction and the lifting hole opened in the lower direction A housing having a; A sealing plate assay installed inside the housing, the sealing plate advancing toward the gate to seal the gate; An air shaft coupled to the sealing plate assay at a lower portion of the housing to support the sealing plate assay, and supplying air to the sealing plate assay; A lower plate having a shaft through hole through which the air shaft penetrates, and is coupled to a lower portion of the housing to seal the lifting hole; And an elevating unit for elevating the air shaft to elevate the sealing plate assay.

본 발명에서 상기 에어 샤프트는 2개가 나란하게 설치되고, 2개의 에어 샤프트 중 하나는 상기 실링 플레이트 어세이에 에어를 공급하고, 나머지 하나는 상기 실링 플레이트 어세이에 공급된 에어를 배출하는 것이, 상기 실링 플레이트 어세이 를 용이하게 지지할 수 있으며, 에어를 효과적으로 공급하고 배출할 수 있어서 바람직하다. In the present invention, two air shafts are installed side by side, one of the two air shafts to supply air to the sealing plate assay, the other is to discharge the air supplied to the sealing plate assay, It is preferable to be able to easily support the sealing plate assay and to effectively supply and discharge the air.

그리고 상기 에어 샤프트는 상기 실링 플레이트 어세이의 중앙 부분에 결합하는 것이 바람직하다. And the air shaft is coupled to a central portion of the sealing plate assay.

또한 상기 에어 샤프트는 상기 하부 플레이트와의 결합부분이 벨로우즈에 의하여 밀봉된 상태로 상기 하부 플레이트에 결합되는 것이, 상기 하우징 내부의 밀폐 상태를 유지할 수 있어서 바람직하다. In addition, the air shaft is preferably coupled to the lower plate in a state in which the coupling portion with the lower plate is sealed by a bellows, it is preferable to maintain a sealed state inside the housing.

그리고 상기 승강부는, 상기 에어 샤프트의 하단이 고정되는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트와 상기 하부 플레이트 사이에 설치되어, 상기 고정 플레이트를 승강시키는 실린더;를 포함하는 것이 바람직하며, 특히 상기 실린더는 상기 에어 샤프트 외측으로 각각 한개씩 두개가 설치되는 것이 바람직하다. And the lifting unit, the fixing plate is fixed to the lower end of the air shaft; It is preferable to include; and the cylinder is provided between the fixed plate and the lower plate to raise and lower the fixed plate, and in particular, it is preferable that two cylinders, one each installed outside the air shaft.

본 발명에 따른 게이트 밸브는 실링 플레이트 어세이의 전후진 운동을 위하여 반드시 설치되어야 하는 에어 샤프트를 이용하여 상기 실링 플레이트 어세이를 지지하므로, 별도의 실린더에 의하여 실링 플레이트 어세이를 지지하던 종래의 게이트 밸브에 비하여 구조가 단순해지고, 동작 과정에서 고장이 발생하지 않는 효과가 있다. The gate valve according to the present invention supports the sealing plate assay by using an air shaft which must be installed for the forward and backward movement of the sealing plate assay, and thus, the conventional gate that supports the sealing plate assay by a separate cylinder. Compared with the valve, the structure is simplified, and there is an effect that a failure does not occur in the course of operation.

특히, 본 발명에 따른 게이트 밸브를 역압 대응식 밸브로 사용하는 경우에는 종래의 게이트 밸브에서 실린더와 하우징 하면 사이에 과부하가 걸리던 현상이 사 라져서 유지 보수 작업 수요가 획기적으로 감소하는 장점이 있다. In particular, when the gate valve according to the present invention is used as a counter-pressure-responsive valve, the phenomenon that the overload is applied between the cylinder and the lower surface of the housing in the conventional gate valve is eliminated, thereby reducing the demand for maintenance work.

또한 본 발명에 따른 게이트 밸브는 하부 플레이트를 구비하여 하우징 내부의 실링 플레이트 어세이 등에 고장이 발생하는 경우, 게이트 밸브 전체를 챔버로부터 분리하지 않고, 실링 플레이트 어세이 또는 에어 샤프트 등 만을 별도로 챔버 하측으로 분리하여 유지 보수 작업을 용이하게 수행할 수 있는 장점도 있다. In addition, the gate valve according to the present invention is provided with a lower plate, if a failure occurs in the sealing plate assay, etc. in the housing, the entire gate valve is not separated from the chamber, only the sealing plate assay or air shaft, etc. separately to the lower chamber It also has the advantage of being easy to carry out maintenance work.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a specific embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 하우징(10), 실링 플레이트 어세이(20), 에어 샤프트(40), 하부 플레이트(30) 및 승강부(50)를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 1, the gate valve according to the present exemplary embodiment includes a housing 10, a sealing plate assay 20, an air shaft 40, a lower plate 30, and an elevation 50. do.

먼저 하우징(10)은 본 실시예에 따른 게이트 밸브가 설치될 챔버 측벽 또는 챔버와 챔버 사이의 공간에 개재되어 설치되는 구성요소이며, 다양한 형상을 가질 수 있으며 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 내부에 일정한 공간이 형성되는 육면체 형상을 가질 수 있다. 이 하우징(10)은 챔버 측벽에 기판을 출입을 위하여 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀(12)과 하측 방향으로 개구된 승강홀(14)을 가진다. First, the housing 10 is a component installed interposed in a chamber side wall or a space between the chamber and the chamber in which the gate valve according to the present embodiment is installed, and may have various shapes, for example, as shown in FIG. 1. It may have a hexahedral shape in which a predetermined space is formed therein. The housing 10 is fixed to the side wall of the chamber so as to correspond to a gate formed to enter and exit the substrate on the side wall of the chamber, and as shown in FIGS. 1 and 2, the sealing hole 12 opened in the gate direction. And a lifting hole 14 opened downward.

상기 실링 홀(12)을 통해서는 후술할 실링 플레이트 어세이(20)의 실링판(24)이 관통하여 전후진 하며, 이 실링 홀(12)은 상기 하우징(10)의 전면 또는 후면 중 적어도 일면에 형성된다. 상기 게이트 밸브가 챔버와 챔버 사이에 설치되는 경우에는 상기 하우징(10)의 양면에 실링 홀(12)이 형성되고, 상기 실링 플레이트 어세이도 양 면에 실링판(24)을 가지게 된다. Through the sealing hole 12, the sealing plate 24 of the sealing plate assay 20 to be described later penetrates back and forth, and the sealing hole 12 is at least one surface of the front or rear surface of the housing 10. Is formed. When the gate valve is installed between the chamber and the chamber 10, the sealing hole 12 is formed on both sides of the housing 10, and the sealing plate assay also has a sealing plate 24 on both sides.

상기 승강홀(14)은 실링 플레이트 어세이(20)의 조립시에 상기 실링 플레이트 어세이(20)가 통과하는 통로를 제공하며, 실링 플레이트 어세이(20)의 조립 이후에는 상기 에어 샤프트(40)가 통과하는 공간이기도 하다. 이 승강홀(14)은 후술하는 하부 플레이트(30)에 의하여 밀봉된다. The lifting hole 14 provides a passage through which the sealing plate assay 20 passes when the sealing plate assay 20 is assembled, and after the assembly of the sealing plate assay 20, the air shaft 40. It is also a space where) passes. The lifting hole 14 is sealed by a lower plate 30 to be described later.

본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 상기 하우징(10)의 하면에 형성되어 있는 승강홀(14)과, 상기 승강홀(14)을 하측에서 결합하여 밀봉하는 하부 플레이트(30)를 포함하는 구조로 인하여 상기 하우징(10) 내부에 설치되는 실링 플레이트 어세이(20)에 고장이 발생하는 경우, 하우징(10) 자체를 챔버로부터 분리하지 않고 실링 플레이트 어세이(20) 만을 하우징(10) 하부로 분리할 수 있는 장점이 있다. In the gate valve according to the present embodiment, due to the structure including a lifting hole 14 formed on the lower surface of the housing 10 and a lower plate 30 for sealing the lifting hole 14 by coupling from below. When a failure occurs in the sealing plate assay 20 installed inside the housing 10, the sealing plate assay 20 may be separated only below the housing 10 without separating the housing 10 itself from the chamber. There are advantages to it.

게이트 밸브의 유지 보수 작업을 수행하면서 하우징(10)을 포함하는 게이트 밸브 전체를 챔버로부터 분리하는 작업은 그 자체로도 매우 어려운 작업이며, 상기 챔버에 설치되어 있는 다른 부수 설비와의 간섭 문제 때문에 더욱 어려운 작업이 된다. 그런데 본 실시예에 따른 게이트 밸브는 어떠한 경우에도 상기 하우징(10) 자체를 챔버로부터 분리하지 않고도 유지 보수 작업을 진행할 수 있으므로 매우 유리한 것이다. Removing the entire gate valve including the housing 10 from the chamber while performing the maintenance of the gate valve is a very difficult task in itself, and moreover, due to interference problems with other auxiliary equipment installed in the chamber. This is a difficult task. However, the gate valve according to the present embodiment is very advantageous because the maintenance work can be performed without removing the housing 10 itself from the chamber in any case.

다음으로 실링 플레이트 어세이(Sealing Plate Assay, 20)는 상기 하우징(10) 내부에 설치되며, 실링판(24)이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 구성요소이다. 이를 위하여 본 실시예에 따른 실링 플레이트 어세이(20)는 도 1, 3에 도시된 바와 같이, 중앙판(22), 실링판(24) 및 이동수단(26)을 포함하여 구성된다. 먼저 중앙판(22)은 장방형의 플레이트로 구성되며, 실링 플레이트 어세이(20)의 중심을 이룬다. 이 중앙판(22) 하부에 에어 샤프트(40)가 결합된다. 그리고 이 중앙판(22)의 내부에는 에어 샤프트(40)로부터 공급된 에어를 상기 이동수단(26)에 공급하기 위한 유로(도면에 미도시)가 형성된다. 이 중앙판(22)은 상기 실링판(24)이 상기 게이트를 단속하기 위하여 전진하는 경우에도 움직이지 않고 자기 위치에 정지한 상태로 머문다. Next, a sealing plate assay 20 is installed in the housing 10, and the sealing plate 24 is a component for advancing toward the gate to seal the gate. To this end, the sealing plate assay 20 according to the present embodiment includes a middle plate 22, a sealing plate 24, and a moving unit 26, as shown in FIGS. 1 and 3. First, the middle plate 22 is composed of a rectangular plate and forms the center of the sealing plate assay 20. The air shaft 40 is coupled to the lower portion of the middle plate 22. In addition, a flow path (not shown) for supplying air supplied from the air shaft 40 to the moving means 26 is formed inside the central plate 22. The middle plate 22 remains stationary at its position without moving even when the sealing plate 24 moves forward to intercept the gate.

다음으로 실링판(24)은 상기 중앙판(22)에 결합된 상태로 구비되며, 상기 게이트 방향으로 전후진하면서 상기 게이트를 단속하는 구성요소이다. 이 실링판(24)의 전면에는 상기 게이트를 밀봉할 경우에 기밀을 유지하기 위하여 오링(도면에 미도시)이 더 구비된다. Next, the sealing plate 24 is provided in a state coupled to the middle plate 22, and is a component for controlling the gate while moving forward and backward in the gate direction. An o-ring (not shown) is further provided on the front surface of the sealing plate 24 to maintain airtightness when sealing the gate.

그리고 이 실링판(24)은 도 3에 도시된 바와 같이, 이동수단(26)에 의하여 상기 중앙판(22)에 결합된다. 이 이동수단(26)은 상기 실링판(24)을 상기 중앙판(22)으로부터 상기 게이트 방향으로 전후진 시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 이동수단(26)이 상기 에어 샤프트(40)를 통하여 공급되는 고압의 에어에 의하여 상기 실링판(24)을 전후진시키는 구조를 가진다. 구체적으로 본 실시예에서는 다수개의 이동수단(26)이 나란하게 배치되어 상기 실링판(24)의 다수 지점을 안정 적으로 지지하게 된다. And the sealing plate 24 is coupled to the center plate 22 by the moving means 26, as shown in FIG. The moving means 26 is a component that moves the sealing plate 24 back and forth from the center plate 22 in the gate direction. In this embodiment, the moving means 26 has a structure in which the sealing plate 24 is moved forward and backward by the high pressure air supplied through the air shaft 40. Specifically, in the present embodiment, a plurality of moving means 26 are arranged side by side to stably support a plurality of points of the sealing plate 24.

그리고 상기 게이트를 밀봉하는 과정에서는 상기 챔버 벽면과 평행한 상태에서 상기 실링판(24)의 모든 면에 대해 균일하게 힘이 가해지도록 한다. 특히, 본 실시예에서는 상기 에어 샤프트(40)가 상기 중앙판(22) 중앙 부분에 결합되므로, 에어 샤프트(40)에 공급되는 고압의 에어가 상기 실링판(22)의 중앙 부분부터 가압하게 된다. 따라서 상기 게이트의 밀봉 과정에서 가장 많은 힘을 받아서 변형되기 쉬운 부분인 중앙 부분을 가장 강하게 가압하게 되어 상기 실링판(24)의 변형을 방지하고, 확실하게 게이트를 밀봉하는 효과가 있다. In the sealing of the gate, force is applied uniformly to all surfaces of the sealing plate 24 in a state parallel to the chamber wall. In particular, in the present embodiment, since the air shaft 40 is coupled to the center portion of the middle plate 22, the high pressure air supplied to the air shaft 40 is pressurized from the center portion of the sealing plate 22. . Therefore, in the sealing process of the gate, the center part, which is a part which is easily deformed due to the most force, is pressed most strongly, thereby preventing deformation of the sealing plate 24 and reliably sealing the gate.

다음으로 에어 샤프트(40)는 상기 하우징(10)의 하부에서 상기 실링 플레이트 어세이(20)와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이(20)에 에어를 공급하는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 에어 샤프트(40)는 2개가 나란하게 설치되는 것이, 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 안정적으로 지지할 수 있어서 바람직하다. 이렇게 상기 에어 샤프트(40)가 2개로 구비되는 경우에는, 하나의 에어 샤프트(40)는 상기 실링 플레이트 어세이(20)에 에어를 공급하고, 나머지 하나는 공급된 에어를 배출하는 역할을 나누어 수행하는 것이 바람직하다. 이를 위하여 상기 에어 샤프트(40)의 상단은 상기 실링 플레이트 어세이(20)의 중앙판(22) 하면에 결합되고, 상기 에어 샤프트(40)의 하단은 후술하는 고정 플레이트(52)에 결합되며, 그 이 후에 별도로 구비되는 에어 공급 배출 라인(도면에 미도시)에 결합된다. Next, the air shaft 40 is coupled to the sealing plate assay 20 at the bottom of the housing 10 to support the sealing plate assay 20, and supplies air to the sealing plate assay 20. Supply component. In this embodiment, two air shafts 40 are preferably installed side by side, it is possible to stably support the sealing plate assay 20. In this case, when the air shaft 40 is provided with two, one air shaft 40 supplies air to the sealing plate assay 20, and the other one divides the role of discharging the supplied air. It is desirable to. To this end, an upper end of the air shaft 40 is coupled to a lower surface of the middle plate 22 of the sealing plate assay 20, and a lower end of the air shaft 40 is coupled to a fixing plate 52 to be described later. Thereafter it is coupled to a separate air supply discharge line (not shown in the figure).

그리고 상기 에어 샤프트(40)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 실링 플레이 트 어세이(20)의 중앙 부분에 결합되는 것이, 상기 실링판(22)을 안정적으로 가압할 수 있고, 상기 실린더(54)의 설치 위치를 용이하게 확보할 수 있어서 바람직하다. 또한 상기 에어 샤프트(40)는 상기 하부 플레이트(30)에 형성되어 잇는 샤프트 관통홀(34)을 관통하여 설치되는데, 이때 상기 하우징(10) 내부의 기밀을 유지하기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 하부 플레이트(30)와의 결합부분이 벨로우즈(44)에 의하여 밀봉된 상태로 결합되는 것이 바람직하다. And the air shaft 40 is coupled to the center portion of the sealing plate assay 20, as shown in Figure 1, it can stably press the sealing plate 22, the cylinder ( It is preferable because the installation position of 54) can be easily secured. In addition, the air shaft 40 is installed through the shaft through-hole 34 formed in the lower plate 30, as shown in Figure 1 to maintain the airtight inside the housing 10 It is preferable that the coupling portion with the lower plate 30 is coupled in a sealed state by the bellows 44.

다음으로 하부 플레이트(30)는 상기 에어 샤프트(40)가 관통하는 샤프트 관통홀(34)을 가지며, 상기 하우징(10)의 하부에 결합하여 상기 승강홀(14)을 밀봉하는 구성요소이다. 즉, 이 하부 플레이트(30)는 상기 하우징(10)의 일부를 구성하는 세부 구성요소로도 볼 수 있으며, 상기 하우징(10) 중 하측으로 개방된 부분인 승강홀(14)을 밀봉하며, 이 하부 플레이트(30)는 상기 하우징(10)에 탈착가능한 구조로 결합된다. Next, the lower plate 30 has a shaft through hole 34 through which the air shaft 40 penetrates, and is coupled to a lower portion of the housing 10 to seal the lifting hole 14. That is, the lower plate 30 can also be seen as a detailed component constituting a part of the housing 10, and seals the lifting hole 14, which is an open portion of the housing 10 to the lower side. The lower plate 30 is coupled to the housing 10 in a removable structure.

또한 상기 하부 플레이트(30)와 하우징(10)의 결합면에는 상기 하우징(10) 내부의 기밀을 유지하기 위하여 오링(32)이 더 구비될 수 있다. 이와 같이, 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 이렇게 상기 하우징(10)의 하부가 개방되는 구조를 가지므로 상기 게이트 밸브가 챔버 측벽에 설치된 후 사용과정에서 유지 보수를 위하여 하우징(10)을 분리하지 않고, 상기 하부 플레이트(30)를 분리하여 상기 하우징(10) 내부의 실링 플레이트 어세이(20)를 유지 보수할 수 있는 장점이 있다. In addition, an O-ring 32 may be further provided at a coupling surface of the lower plate 30 and the housing 10 to maintain the airtightness inside the housing 10. As described above, in the gate valve according to the present exemplary embodiment, since the lower portion of the housing 10 is opened, the gate valve is installed on the sidewall of the chamber, and thus the housing 10 is not separated for maintenance during use. The separation of the lower plate 30 has the advantage of maintaining the sealing plate assay 20 inside the housing 10.

다음으로 승강부(50)는 상기 에어 샤프트(40)를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 승강시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 상기 승강부(50)가 직 접적으로 상기 실링 플레이트 어세이(20)와 결합하여 이를 승강하는 것이 아니라, 상기 에어 샤프트(40)를 통하여 간접적으로 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 승강시키는 것이다. 이를 위하여 상기 승강부(50)는 도 1, 4에 도시된 바와 같이, 고정 플레이트(52)와 실린더(56)를 포함하여 구성된다. Next, the lifting unit 50 is a component for elevating the sealing plate assay 20 by elevating the air shaft 40. In the present embodiment, the lifting unit 50 is not directly coupled with the sealing plate assay 20 to elevate it, but indirectly through the air shaft 40 to seal the sealing plate assay 20. It is to elevate. To this end, the lifting unit 50 is configured to include a fixed plate 52 and the cylinder 56, as shown in Figs.

여기에서 상기 고정 플레이트(52)는 상기 에어 샤프트(40)의 하단이 고정되며, 상기 에어 샤프트(40)와 함께 승강하는 구성요소이다. 이 고정 플레이트(52)에는 도 1, 4에 도시된 바와 같이, 중앙 부분에 상기 에어 샤프트(40)의 하단이 결합되고, 말단 부분에는 상기 실린더(54)의 하단이 결합된다. Here, the fixing plate 52 is a lower end of the air shaft 40 is fixed, it is a component that is elevated with the air shaft 40. 1 and 4, the lower end of the air shaft 40 is coupled to the center portion, and the lower end of the cylinder 54 is coupled to the distal portion.

구체적으로 상기 실린더(54)는 상기 고정 플레이트(52)와 상기 하부 플레이트(30) 사이에 설치되어, 상기 고정 플레이트(52)를 승강시키는 구성요소이다. 이 실린더(54)는 종래의 실린더와 달리 거꾸로 설치되어 상기 고정 플레이트(52)를 상하 방향으로 승강시킨다. 여기에서 상기 실린더(52)의 상단은 상기 하부 플레이트(30)의 하면에 단순 결합된다. 여기에서 단순 결합된다 함은, 별도의 실링을 위한 구조를 가지지 않고, 단순히 볼트와 같은 체결 수단에 의하여 고정되는 것을 말한다. Specifically, the cylinder 54 is installed between the fixed plate 52 and the lower plate 30, and is a component for elevating the fixed plate 52. Unlike the conventional cylinder, the cylinder 54 is installed upside down to raise and lower the fixing plate 52 in the vertical direction. Here, the upper end of the cylinder 52 is simply coupled to the lower surface of the lower plate 30. Here, the simple coupling means not having a structure for a separate sealing, but simply fixed by a fastening means such as a bolt.

본 실시예에서는 전술한 바와 같이, 상기 에어 샤프트(40)를 이용하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 지지하므로, 상기 실린더(54)는 복잡한 구조를 가지지 않고 단순한 구조로 상기 하부 플레이트(30)와 결합할 수 있다. 이렇게 단순 구조로 하부 플레이트(30)와 결합되면, 상기 게이트 밸브가 역압 대응 밸브로 구성되는 경우, 상기 실링 플레이트 어세이(20) 자체가 동작 과정에서 전 후 방향으로 약간 밀리더라도 고장이 발생할 가능성이 없으므로 바람직하다. In the present embodiment, as described above, since the sealing plate assay 20 is supported using the air shaft 40, the cylinder 54 does not have a complicated structure and the lower plate 30 has a simple structure. Can be combined with When combined with the lower plate 30 in such a simple structure, when the gate valve is composed of a counter-pressure valve, there is a possibility that a failure occurs even if the sealing plate assay 20 itself is slightly pushed back and forth in the operation process It is preferable because there is no.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 구조를 도시하는 분해 사시도이다. 1 is an exploded perspective view showing the structure of a gate valve according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하우징의 하부 구조를 도시하는 저면도이다. 2 is a bottom view illustrating a lower structure of a housing according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 플레이트 어세이의 구조를 도시하는 측면도이다. 3 is a side view showing the structure of a sealing plate assay according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 샤프트 및 승강부의 결합 구조를 도시하는 도면이다. 4 is a view showing a coupling structure of the air shaft and the lifting unit according to an embodiment of the present invention.

Claims (7)

챔버 측벽에 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀과 하측 방향으로 개구된 승강홀을 가지는 하우징;A housing fixed to the sidewall of the chamber so as to correspond to a gate formed on the sidewall of the chamber, the housing having a sealing hole opened in the gate direction and a lifting hole opened in the lower direction; 상기 하우징 내부에 설치되며, 실링판이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 실링 플레이트 어세이(Sealing Plate Assay);A sealing plate assay installed inside the housing, the sealing plate advancing toward the gate to seal the gate; 상기 하우징의 하부에서 상기 실링 플레이트 어세이와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이에 에어를 공급하는 에어 샤프트;An air shaft coupled to the sealing plate assay at a lower portion of the housing to support the sealing plate assay, and supplying air to the sealing plate assay; 상기 에어 샤프트가 관통하는 샤프트 관통홀을 가지며, 상기 하우징의 하부에 결합하여 상기 승강홀을 밀봉하는 하부 플레이트;A lower plate having a shaft through hole through which the air shaft penetrates, and is coupled to a lower portion of the housing to seal the lifting hole; 상기 에어 샤프트를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이를 승강시키는 승강부;를 포함하는 게이트 밸브.And an elevating unit configured to elevate the air shaft to elevate the sealing plate assay. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 에어 샤프트는 2개가 나란하게 설치되고, 2개의 에어 샤프트 중 하나는 상기 실링 플레이트 어세이에 에어를 공급하고, 나머지 하나는 상기 실링 플레이트 어세이에 공급된 에어를 배출하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The two air shafts are installed side by side, one of the two air shafts to supply air to the sealing plate assay, the other one of the gate valve to discharge the air supplied to the sealing plate assay . 제2항에 있어서, 3. The method of claim 2, 상기 에어 샤프트는 상기 실링 플레이트 어세이의 중앙 부분에 결합하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.And the air shaft couples to a central portion of the sealing plate assay. 제2항에 있어서, 3. The method of claim 2, 상기 에어 샤프트는 상기 하부 플레이트와의 결합부분이 벨로우즈에 의하여 밀봉된 상태로 상기 하부 플레이트에 결합되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.And the air shaft is coupled to the lower plate in a state in which a coupling portion with the lower plate is sealed by a bellows. 제2항에 있어서, 상기 승강부는, The method of claim 2, wherein the lifting unit, 상기 에어 샤프트의 하단이 고정되는 고정 플레이트;A fixed plate to which the lower end of the air shaft is fixed; 상기 고정 플레이트와 상기 하부 플레이트 사이에 설치되어, 상기 고정 플레이트를 승강시키는 실린더;를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.And a cylinder installed between the fixed plate and the lower plate to lift the fixed plate. 제5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 실린더는 상기 에어 샤프트 외측으로 각각 한개씩 두개가 설치되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The cylinder is a gate valve, characterized in that two are provided each one to the outside of the air shaft. 제5항에 있어서, 상기 실린더는, The method of claim 5, wherein the cylinder, 일단이 상기 하부 플레이트의 하면에 고정되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.A gate valve, characterized in that one end is fixed to the lower surface of the lower plate.
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