KR101399654B1 - Device for vacuum-balancing between the working chamber and the vacuum isolation apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 챔버와 진공차단장치 내부의 진공도를 서로 맞출 수 있도록 한 진공 밸런싱 장치에 관한 것이다. 본 발명은 실시예로, 내부의 압력이 가변될 수 있는 챔버와, 상기 챔버의 출입구를 개방가능하게 폐쇄하며 내부에 기밀 가능한 작동공간을 갖는 진공차단장치에 장착되는 것으로, 상기 챔버의 내부와 상기 작동공간의 진공도가 같아지도록, 펌프에 의하여 상기 챔버의 내부와 상기 진공차단장치의 작동공간이 동시에 흡입 펌핑 가능한 것을 특징으로 하는 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치를 제시한다.The present invention relates to a vacuum balancing apparatus capable of matching the degree of vacuum between a chamber and a vacuum interrupter. The present invention provides, as an embodiment, a vacuum cleaner having a chamber in which an inner pressure can be varied, and a vacuum interrupter having an operating space communicable with the chamber so as to open and close an entrance of the chamber, And the vacuum space between the chamber and the working space of the vacuum interrupter is sucked and pumped at the same time by the pump so that the vacuum degree of the working space becomes equal.

Description

챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치{Device for vacuum-balancing between the working chamber and the vacuum isolation apparatus}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a vacuum balancing apparatus for a chamber and a vacuum interrupter,

본 발명은 챔버와 진공차단장치 내부의 진공도를 서로 맞출 수 있도록 한 진공 밸런싱 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum balancing apparatus capable of matching the degree of vacuum between a chamber and a vacuum interrupter.

반도체 웨이퍼, 액정기판, 태양전지 셀 등 다양한 부속품들은 제조과정 중에 진공 상태를 요구하며, 이러한 진공 상태를 맞추기 위하여 진공 상태를 유지할 수 있는 챔버들을 연이어 연결한 클러스터 장비가 운영된다. Various components such as semiconductor wafers, liquid crystal substrates, and solar cells require a vacuum state during the manufacturing process. In order to meet such vacuum conditions, a cluster device is connected to the chambers that can maintain a vacuum state.

클러스터 장비의 일례로, 중앙에 위치하는 이송용 로봇이 구비된 반송 챔버를 기준으로, 그 둘레에 복수의 공정 챔버와 로드락 챔버가 위치된다. 각 공정 챔버와 로드락 챔버는 반송 챔버에 연통되어 있으며, 챔버 간 연결통로에는 통로를 폐쇄할 수 있는 진공차단장치가 구비된다. As an example of the cluster equipment, a plurality of process chambers and a load lock chamber are located around a transfer chamber provided with a centrally located transfer robot. Each of the process chambers and the load lock chamber are communicated with the transfer chamber, and the chamber-to-chamber connection passage is provided with a vacuum interrupter capable of closing the passages.

반송 챔버의 이송용 로봇은 로드락 챔버나 작업이 완료된 공정 챔버에서 작업 대상물을 언로딩하며, 다음의 공정 챔버로 로딩한다. 이런 방식으로 다수의 공정 챔버를 거쳐 작업이 완료된 작업 대상물은 이송용 로봇에 의하여 다시 로드락으로 이송된 후 작업자에 의하여 로드락의 외부로 꺼내진다. The transfer robot of the transfer chamber unloads the workpiece in the load lock chamber or the process chamber in which the operation is completed, and loads the next process chamber. The workpiece having been completed through the plurality of process chambers in this manner is transferred to the load lock by the transfer robot, and then taken out of the load lock by the worker.

각 공정 챔버의 작업 조건은 서로 다를 수 있다. 특히, 압력 조건에서 공정 챔버와 반송 챔버 간의 진공도에 차이가 크다. 따라서 공정 챔버와 반송 챔버의 사이에 위치하며 작동하는 진공차단장치는 양단간 진공 압력의 차이로 인하여 어느 한 쪽의 챔버를 향하는 외력이 작용하게 된다. 이러한 외력은 기계적으로 작동하는 진공차단장치의 원활한 작동을 저해시키는 요소로 작용한다.The operating conditions of each process chamber may be different. Particularly, there is a large difference in vacuum degree between the process chamber and the transfer chamber under the pressure condition. Therefore, the vacuum interrupter, which is located between the process chamber and the transfer chamber, operates due to the difference in vacuum pressure between both ends of the vacuum interrupter. Such an external force acts as a factor that hinders the smooth operation of the mechanically operated vacuum interrupter.

또한, 진공차단장치는 연결통로를 개방하거나 폐쇄하도록 기계적 구조를 구비함에 따라 이러한 기계구성들이 작동하기 위한 내부공간을 갖는다. 이 내부공간의 압력 상황은 연결통로의 개방시에 정밀하게 제어되는 공정 챔버의 내부압력에 영향을 미칠 수 있다. In addition, the vacuum interrupter has a mechanical structure to open or close the connection passage, so that the vacuum interrupter has an internal space for operating these mechanical components. The pressure situation in this interior space can affect the internal pressure of the process chamber which is precisely controlled at the time of opening the connection passage.

또한, 진공차단장치의 내부 압력과 챔버 내부의 고진공 압력과 차이가 큰 경우에는 해당 진공차단장치의 오작동에 의한 작동 신뢰성의 저하나, 잦은 실리의 파손 등에 따른 유지보수의 번거로움 등의 단점이 있다. Further, when there is a large difference between the internal pressure of the vacuum interrupter and the high vacuum pressure inside the chamber, there are disadvantages such as a decrease in operation reliability due to malfunction of the vacuum interrupter, and troublesome maintenance due to frequent failures .

본 발명은 전술된 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 챔버와 이에 연결되는 진공차단장치의 압력 조건을 맞출 수 있게 하는 목적을 갖는다. 구체적으로 진공차단장치의 내부 압력을 손쉽게 챔버의 내부 압력과 동조하게 하려는 목적을 갖는다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and has an object to enable a pressure condition of a chamber and a vacuum interrupter connected thereto to be matched. Specifically, it has the purpose of making the internal pressure of the vacuum interrupter easily match the internal pressure of the chamber.

상기 과제를 위하여 본 발명은 실시예로, 내부의 압력이 가변될 수 있는 챔버와, 상기 챔버의 출입구를 개방가능하게 폐쇄하며 내부에 기밀 가능한 작동공간을 갖는 진공차단장치에 장착되는 것으로, 상기 챔버의 내부와 상기 작동공간의 진공도가 같아지도록, 펌프에 의하여 상기 챔버의 내부와 상기 진공차단장치의 작동공간이 동시에 흡입 펌핑 가능한 것을 특징으로 하는 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치를 제시한다.In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides, as an embodiment, a vacuum cleaner having a chamber in which an inner pressure can be varied, and a vacuum interrupter having an airtight working space therein, And the working space of the vacuum interrupter can be sucked and pumped at the same time by the pump so that the vacuum degree of the inside of the vacuum interrupter and the inside of the chamber becomes equal to the vacuum degree of the vacuum interrupter.

구체적인 실시예로, 내부의 압력이 가변될 수 있는 챔버와, 상기 챔버의 출입구를 개방가능하게 폐쇄하며 내부에 기밀 가능한 작동공간을 갖는 진공차단장치에 장착되는 것으로, 펌프, 상기 챔버의 내부와 상기 펌프에 연통되어 있는 제1배관 그리고 상기 진공차단장치의 작동공간과 상기 제1배관에 연통되어 있는 제2배관을 포함하는 것이다. In a specific embodiment, the vacuum pump is mounted on a vacuum interrupter having a chamber in which an inner pressure can be varied, and an operating space in which the chamber is openable and closable, A first pipe communicating with the pump, and a second pipe communicating with the operation space of the vacuum interrupter and the first pipe.

여기서, 상기 제1배관에는 제1개폐밸브가 장착되고, 상기 제2배관에는 제2개폐밸브가 장착될 수 있다. Here, a first on-off valve may be mounted on the first pipe, and a second on-off valve may be mounted on the second pipe.

또한, 상기 제1배관과 연통되는 지점과 상기 제2개폐밸브 사이의 제2배관에는, 체크밸브가 더 구비될 수 있다. In addition, a check valve may be further provided in the second pipe between the point of communication with the first pipe and the second open / close valve.

더하여, 상기 진공차단장치의 작동공간의 압력을 계측하는 압력계가 더 구비될 수 있다. In addition, a pressure gauge may be further provided for measuring the pressure in the working space of the vacuum interrupter.

추가로, 상기 진공차단장치의 작동공간과 연통된 지점과 상기 제2개폐밸브 사이의 제2배관에는 상기 작동공간의 진공 형성에 사용되는 분기배관이 연결되어 있고, 상기 분기배관에는 제3개폐밸브가 구비될 수 있다.Further, a branch pipe used for forming a vacuum of the working space is connected to a second pipe between the point where the vacuum interrupter is communicated with the working space and the second open / close valve, and the branch pipe is connected to the third open / May be provided.

본 발명의 실시예에 따르면, 하나의 펌프를 사용하므로 챔버의 내부와 진공차단장치 내부의 압력을 일치시키기 용이한 것이다. 이로써 별도의 압력비교나 압력조절을 위한 미세 조정 없이 필요 없게 되어 취급이 용이해지는 장점을 갖는다. According to the embodiment of the present invention, since one pump is used, it is easy to match the pressure inside the chamber with the pressure inside the vacuum interrupter. This has the advantage that it is unnecessary without further pressure comparison or fine adjustment for pressure regulation, and handling is facilitated.

더하여, 종래의 기술에서 진공차단장치의 작동 중에 진공차단장치의 내부와 챔버 내부의 압력 차이에 기인하여 진공차단장치에 가해지는 외력을 배제할 수 있게 되고, 이로써 진공차단장치의 수명이 증대되며, 실링 등 소모품의 사용수명을 증대시켜 잦은 유지보수가 필요치 아니하게 되는 장점을 갖는다. In addition, in the prior art, it is possible to eliminate the external force applied to the vacuum interrupter due to the pressure difference between the inside of the vacuum interrupter and the inside of the chamber during operation of the vacuum interrupter, thereby increasing the service life of the vacuum interrupter, The lifetime of the consumables such as the sealing member is increased and frequent maintenance is not required.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치가 적용되는 클러스터 장비를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 2는 본 발명의 실시예가 적용되는 진공차단장치를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예가 적용되는 진공차단장치의 사용 상태를 나타낸 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치를 개략적으로 도시한 도면.FIG. 1 is a plan view schematically illustrating a cluster apparatus to which a vacuum balancing apparatus for a chamber and a vacuum interrupter according to an embodiment of the present invention is applied. FIG.
FIG. 2 is a perspective view schematically showing a vacuum interrupter to which an embodiment of the present invention is applied; FIG.
3 is a cross-sectional view showing a state of use of a vacuum interrupter to which an embodiment of the present invention is applied;
4 is a schematic view of a vacuum balancing apparatus for a chamber and a vacuum interrupter according to an embodiment of the present invention.

이하의 설명에서 서로 다른 공간의 진공도가 '동일'하다는 의미는, 각 공간의 진공도가 물리적으로 동일한 경우와, 각 공간의 진공도는 서로 차이가 있으나 그 압력 차이는 사용자가 미리 설정한 압력값의 범위 이내인 것을 의미한다. 이때, 상기 압력값의 범위는 어느 한 공간의 진공도에 따라 달라질 수 있다.In the following description, the degree of vacuum in the different spaces is 'same', meaning that the vacuum degree of each space is physically the same and the degree of vacuum of each space is different from each other, but the pressure difference is a range of the pressure value preset by the user . At this time, the range of the pressure value may be changed according to the degree of vacuum of a certain space.

본 발명에 따른 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치는 내부의 압력 조건이 가변될 수 있는 챔버와, 상기 챔버의 출입구를 개방가능하게 폐쇄하며 내부에 기밀 가능한 작동공간을 갖는 진공차단장치에 장착되는 것이다. A vacuum balancing apparatus for a chamber and a vacuum interrupter according to the present invention includes a chamber in which an inner pressure condition can be changed, a vacuum interrupter installed in a vacuum interrupter having an operating space in which the chamber is openably closed, will be.

여기서 챔버는 내부에 공정 진행을 위한 장치가 설비된 것으로 내부는 진공 상태를 유지할 수 있도록 기밀 가능한 작업 공간을 가지는 것이다. 중앙의 반송 챔버가 위치하며, 그 둘레에 복수의 공정 챔버와 하나의 로드락 챔버가 형성되어 있다. 이때, 반송 챔버의 수는 다양하게 변경 가능한 것이다. Here, the chamber is provided with a device for processing the inside of the chamber, and the inside has an airtight working space to maintain a vacuum state. A central transfer chamber is located, and a plurality of process chambers and one load lock chamber are formed around the transfer chamber. At this time, the number of the transfer chambers can be variously changed.

반송 챔버와 다른 챔버들의 연결부분에는 진공차단장치가 구비된다. 이 진공차단장치는 기계적 작동으로 반송 챔버와 다른 챔버들 간을 연통되게 하거나 이를 막는 것이다. A vacuum interrupter is provided at a connecting portion of the transfer chamber and the other chambers. The vacuum interrupter is a mechanical actuation that allows or intercepts the transfer chamber and other chambers.

한편, 챔버들의 배치는 다양하게 변경 가능하다. 일례로 각 공정 챔버는 공정 순서에 따라 순차적으로 연결된 형상일 수 있다. 이런 경우에도 이웃하는 챔버들 간에는 진공차단장치가 설치된다.On the other hand, the arrangement of the chambers can be variously changed. For example, each of the process chambers may be sequentially connected in sequence according to the process sequence. Even in this case, a vacuum interrupter is installed between the adjacent chambers.

공정 챔버들, 로드락 챔버, 반송 챔버 각각의 내부는 압력이 가변될 수 있다. 어느 한 챔버의 압력은 공정에서 요구되는 바에 따라 결정된다. 주로 진공상태로 낮추어지는 압력은 널리 알려진 진공 형성 장치를 통하여 이루어진다. The inside of each of the process chambers, the load lock chamber, and the transfer chamber can be varied in pressure. The pressure in one chamber is determined as required by the process. The pressure, which is mainly reduced to a vacuum, is achieved through a well-known vacuum forming apparatus.

한편, 진공차단장치는 이웃하는 챔버에 전면과 배면이 연결되며 출입구가 형성된 하우징과, 하우징 내부에서 작동되며 출입구를 막거나 개방하는 작동부재를 포함하는 것이다. 이러한 작동부재가 움직이는 작동공간은 외부 대비와는 차폐되는 공간이다. 더하여 작동부재가 출입구를 폐쇄하게 되면 작동공간은 이웃하는 챔버의 내부와도 차폐된 공간이 된다. Meanwhile, the vacuum interrupter includes a housing having a door and a door connected to the front and rear sides of the chamber, and an operation member which is operated inside the housing and closes or opens the door. The operating space in which the operating member moves is a space shielded from the external contrast. In addition, when the operating member closes the doorway, the working space becomes a space that is also shielded from the inside of the neighboring chamber.

진공차단장치의 작동공간은 출입구를 개방한 때에 공정 챔버 및 반송 챔버의 내부와 연통되므로 챔버와 동일한 압력이 된다. 이후 출입구가 차단되어 진공차단장치의 작동공간이 공정 챔버의 내부와 차폐된 후에 공정 챔버의 내부의 압력 변화에 따라, 진공차단장치의 작동공간과 챔버 내부와의 진공도가 서로 달라지게 된다. Since the working space of the vacuum interrupter communicates with the inside of the process chamber and the transfer chamber when the door is opened, the same pressure as that of the chamber is obtained. Thereafter, the operating space of the vacuum interrupter is shielded from the inside of the process chamber and the vacuum interrupter of the vacuum interrupter is different from the vacuum interrupter of the vacuum interrupter according to the pressure change inside the process chamber.

더하여, 챔버들이 방사상으로 형성된 클러스터 장비에서 반송 챔버는 다른 공정 챔버의 내부에 따라 수시로 압력이 변화되므로 진공차단장치의 작동공간과 반송 챔버의 내부와의 압력 차이는 수시로 변화된다. In addition, in the cluster equipment in which the chambers are formed radially, the pressure difference between the working space of the vacuum interrupter and the inside of the transfer chamber changes from time to time as the pressure of the transfer chamber changes from time to time according to the inside of the other process chamber.

진공 밸런싱 장치는 어느 한 챔버의 내부와 진공차단장치의 작동공간에 대한 흡입 펌핑을 하나의 펌프로 진행함으로써, 챔버의 내부와 진공차단장치의 작동공간의 진공도를 일치시키는 것이다. The vacuum balancing apparatus is adapted to perform the suction pumping for the inside of any one of the chambers and the working space of the vacuum interrupter with one pump so as to match the vacuum degree of the inside of the chamber and the working space of the vacuum interrupter.

이와 같이 챔버의 내부와 진공차단장치 내부 작동공간의 진공도가 맞추어짐으로써 챔버 내부와 진공차단장치 내부간 비산물의 유동이 없게 되는 장점을 갖게 된다. 또한, 압력차에 따라 출입구를 막고 있는 진공차단장치의 작동부재에 작용하는 외력이 없게 되어 진공차단장치의 원활한 작동이 보장되며, 작동부재의 수명이 증대되는 효과도 갖게 된다.
In this way, since the vacuum degree of the inside of the chamber and the working space inside the vacuum interrupter are matched with each other, there is no flow of the scrap between the chamber and the inside of the vacuum interrupter. In addition, there is no external force acting on the operating member of the vacuum interrupter blocking the entrance according to the pressure difference, so that smooth operation of the vacuum interrupter is ensured, and the service life of the operating member is also increased.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 따른, 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치의 구성, 기능 및 작용을 설명한다. Hereinafter, the configuration, function, and operation of the chamber and the vacuum balancing apparatus of the vacuum interrupter according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에는 본 발명의 실시예에 따른 진공 밸런싱 장치가 적용되는 클러스터 장비(100)가 개략적으로 도시되어 있다. 도면에서 반송 챔버(110)는 중앙에 위치하고 있으며, 그 둘레에는 3개의 공정 챔버(120)가 구비되며, 나머지 하나는 로드락 챔버(130)이다. 로드락 챔버(130)는 대기압인 외부에서 수시로 작업 대상물을 반입하거나 반출하는 챔버이다. FIG. 1 schematically shows a cluster apparatus 100 to which a vacuum balancing apparatus according to an embodiment of the present invention is applied. In the drawing, the transfer chamber 110 is located at the center, and three process chambers 120 are provided around the transfer chamber 110, and the other is the load lock chamber 130. The load lock chamber 130 is a chamber for loading or unloading a workpiece at any time from outside, which is atmospheric pressure.

반송 챔버(110)와 다른 챔버들 사이에는 진공차단장치(200)가 구비되어 있다. 따라서 어느 한 진공차단장치(200)가 개방되면 반송 챔버(110)와 그 진공차단장치(200)가 구비된 챔버는 서로 연통된다. A vacuum interrupter 200 is provided between the transfer chamber 110 and the other chambers. Accordingly, when one of the vacuum interrupters 200 is opened, the transfer chamber 110 and the chamber provided with the vacuum interrupter 200 are communicated with each other.

도 2에는 진공차단장치가 개략적으로 도시되어 있다. 진공차단장치(200)는 내부에 작동공간을 갖는 하우징(210)과, 작동공간에 구비되는 작동부재(220)를 포함한다. 2 schematically shows a vacuum interrupter. The vacuum interrupter 200 includes a housing 210 having an operation space therein and an operation member 220 provided in the operation space.

하우징(210)은 서로 이격된 전면패널(211)과 후면패널(212)을 가지며, 이 전면패널(211)과 후면패널(212)에는 대응되는 위치에 출입구(214)가 형성되어 있다. The housing 210 has a front panel 211 and a rear panel 212 spaced from each other and an entrance 214 is formed at a corresponding position in the front panel 211 and the rear panel 212.

또한, 하우징(210)의 일측을 형성하는 바닥패널(213)은 하우징(210)에서 분리가능하게 구비되며, 이 바닥패널(213)에는 작동부재(220)가 결합되어 있다. 작동부재에 구비되는 실링 등 소모품의 교체나 기타 유지보수는 바닥패널을 하우징에서 분리하여 이루어진다. A floor panel 213 forming one side of the housing 210 is detachably provided in the housing 210 and an operation member 220 is coupled to the floor panel 213. Replacement or other maintenance of consumables such as the sealing light provided in the operating member is accomplished by separating the floor panel from the housing.

작동부재(220)는 바닥패널(213)에 장착되는 액추에이터(221), 상기 액추에이터(221)에 결합되어 하우징(210)의 작동공간 상에서 출입구의 높이까지 승강되는 지지부(222), 상기 지지부의 일단에 장착되어 출입구 주변의 전면패널에 접할 수 있는 밸브판(223)을 포함한다.The operation member 220 includes an actuator 221 mounted on the floor panel 213, a support 222 coupled to the actuator 221 to be lifted up to the height of the entrance and exit on the operation space of the housing 210, And a valve plate 223 that can be brought into contact with the front panel around the doorway.

이때, 밸브판(223)은 지지부(222)의 양면에 모두에 구비되어, 어느 한 밸브판(223)은 전면패널(211)에 형성된 출입구(214)를 단속하고, 나머지 밸브판(223)은 후면패널(212)에 형성된 출입구(214)를 단속하도록 구성된다. 이와 달리, 지지부의 일면에만 밸브판이 구비되어 전면패널에 형성된 출입구를 단속하고, 후면패널에 형성된 출입구는 지지부의 타면이 접촉하여 단속하도록 구성할 수도 있다. At this time, the valve plate 223 is provided on both sides of the support part 222, and one of the valve plates 223 interrupts the entrance 214 formed in the front panel 211 and the other valve plate 223 And the door 214 formed in the rear panel 212 is interrupted. Alternatively, a valve plate may be provided on only one side of the support portion to intermittently control an entrance formed on the front panel, and an entrance formed on the rear panel may be configured to contact the other surface of the support portion.

밸브판(223)에는 출입구 주변부에 대어지는 실링(224)이 장착되어 있다. 밸브판(223)의 작동은 지지부(222)의 내부에 구비된 에어실린더와 밸브판의 후면에 결합되어 있으며 상기 에어실린더에 연결되는 에어피스톤에 의하여 이루어진다. The valve plate 223 is provided with a sealing ring 224 which is fitted to the periphery of the doorway. The operation of the valve plate 223 is performed by an air cylinder provided in the support part 222 and an air piston coupled to the rear surface of the valve plate and connected to the air cylinder.

에어실린더의 공급되는 에어는 액추에이터의 피스톤 내부를 통하여 공급되며 지지부 내의 유로를 거쳐 공급된다. 이러한 작동부재의 구성은 다른 널리 알려진 구성으로 대체가능한 것이다. The air supplied from the air cylinder is supplied through the inside of the piston of the actuator and supplied through the flow path in the support. The construction of such an actuating member can be replaced by other widely known configurations.

도 3에 도시된 바와 같이, 출입구(214)를 차단한 때에는 액추에이터(221)의 작동에 의해 지지부(222)와 밸브판(223)은 출입구(214)의 높이로 승강되며 밸브판(223)이 지지부(222)에서 돌출되어 출입구(214) 주변을 가압 밀착하게 된다. 3, the support portion 222 and the valve plate 223 are raised and lowered to the height of the entrance 214 by the operation of the actuator 221 when the entrance 214 is shut off, and the valve plate 223 Protrudes from the support portion 222 and presses and adheres to the vicinity of the entrance 214.

반대로 출입구를 개방한 때에 밸브판은 지지부를 향하여 신축된 상태이고, 액추에이터의 작동에 의하여 지지부와 밸브판은 바닥패널에 가깝게 내려간 상태가 된다. On the other hand, when the door is opened, the valve plate is stretched toward the support portion, and the support portion and the valve plate are brought close to the floor panel by the operation of the actuator.

도 4에는 본 발명의 실시예에 따른 진공 밸런싱 장치의 구성이 도시되어 있다. 도면에서 챔버(C)와 진공차단장치(200)는 개략적으로 도시되어 있다. FIG. 4 shows a configuration of a vacuum balancing apparatus according to an embodiment of the present invention. In the drawing, the chamber C and the vacuum interrupter 200 are schematically illustrated.

이때, 진공차단장치(200)의 양측에 연결된 챔버 중 하나는 반송 챔버이고, 나머지는 공정 챔버 또는 로드락 챔버이다. 또는 도 1과 달리 배치되는 챔버들에 본 발명이 적용된다면 진공차단장치의 양측에 연결되는 챔버는 전술된 바와 같거나, 모두 공정 챔버일 수 있다. 이와 같이, 클러스터 장비의 구성에 따라 챔버는 달라질 수 있기에, 본 발명에서 진공차단장치에 연결되는 챔버는 한정되지 아니한다. At this time, one of the chambers connected to both sides of the vacuum interrupter 200 is a transfer chamber, and the other is a process chamber or a load lock chamber. Or the chambers connected to both sides of the vacuum interrupter may be as described above, or both may be process chambers, if the present invention is applied to chambers that are disposed differently than in Fig. As described above, since the chamber may be changed depending on the configuration of the cluster equipment, the chamber connected to the vacuum interrupter in the present invention is not limited.

진공 밸런싱 장치는 펌프(8), 상기 챔버(C)의 내부와 상기 펌프에 연통되어 있는 제1배관(1) 그리고 상기 진공차단장치(200)의 작동공간과 상기 제1배관(1)에 연통되어 있는 제2배관(2)을 포함할 수 있다. The vacuum balancing apparatus includes a pump 8, a first pipe 1 communicating with the pump C and the interior of the chamber C, and an operating space of the vacuum interrupter 200 and a second pipe 1 communicating with the first pipe 1, And a second pipe 2 that is connected to the second pipe 2.

펌프(8)는 널리 알려진 바와 같이, 챔버를 진공 상태로 형성하기 위해 사용되는 유체 펌프로, 드라이 펌프일 수 있다. 이와 달리 부스터 펌프를 더 포함할 수 있으며, 챔버를 요구되는 공정 조건에 따라 진공 상태로 형성할 수 있다면 그 종류를 한정하지 아니한다. The pump 8 is, as is well known, a fluid pump used to form a chamber in a vacuum state, and may be a dry pump. Alternatively, the booster pump may be further included, and the type of the chamber is not limited as long as the chamber can be formed in a vacuum state according to a required process condition.

제1배관(1)은 일단이 챔버(C)의 내부에 연통되며 타단은 펌프(8)에 연통되어 있다. The first pipe 1 has one end communicating with the inside of the chamber C and the other end communicating with the pump 8.

또한, 제2배관(2)의 일단은 진공차단장치(200)의 작동공간에 연통되며 타단은 제1배관(1)과 연통되어 있다. One end of the second pipe 2 communicates with the working space of the vacuum interrupter 200, and the other end communicates with the first pipe 1.

더하여, 제1배관(1)에는 제1개폐밸브(4)가 장착되고, 제2배관(2)에는 제2개폐밸브(5)가 장착된다. 이때, 제1개폐밸브(4)는 고진공을 유지해야하는 챔버 내부의 진공조건에 맞추어 고진공 대응용 밸브가 사용될 수 있다. In addition, a first on-off valve 4 is mounted on the first pipe 1, and a second on-off valve 5 is mounted on the second pipe 2. At this time, the first opening / closing valve 4 can be used with a high vacuum applying valve in accordance with the vacuum condition inside the chamber where high vacuum should be maintained.

제1개폐밸브(4)와 제2개폐밸브(5)가 더 구비됨으로써 제1배관(1)이나 제2배관(2)을 선택적으로 차폐하고, 챔버의 내부 또는 진공차단장치의 작동공간에 대한 진공도를 조절할 수 있게 된다. The first piping 1 and the second piping 2 are selectively shielded by providing the first opening and closing valve 4 and the second opening and closing valve 5 so that the inside of the chamber or the operating space of the vacuum interrupter The vacuum degree can be adjusted.

더하여, 제1배관(1)과 연통되는 지점과 상기 제2개폐밸브(5) 사이의 제2배관(2)에는 체크밸브(7)가 더 구비된다. 이 체크밸브(7)는 펌프의 작동에 의하여 진공차단장치(200)의 작동공간에 대한 흡입 작용을 허용하면서, 역으로 제1배관(1) 쪽에서 제2배관(2)을 거쳐 진공차단장치(200)의 작동공간으로 에어가 유입되는 것을 차단하는 것이다. In addition, a check valve 7 is further provided in the second piping 2 between the point where it communicates with the first pipe 1 and the second opening / closing valve 5. The check valve 7 is connected to the vacuum interrupter 200 via the second pipe 2 from the side of the first pipe 1 while allowing the suction action of the vacuum interrupter 200 to the operating space by the operation of the pump 200 to prevent the inflow of air into the working space.

체크밸브는 제1개방밸브가 개방된 경우라 해도 챔버 내의 압력 저하나 펌프의 기능저하 등의 돌변 상황에 따라 체크 벨브의 압력 변화시에 진공차단장치의 작동공간으로 역류흐름이 발생되지 않게 하는 것이다. The check valve prevents the flow of backflow to the working space of the vacuum interrupter at the time of pressure change of the check valve depending on the state of the abrupt change of the pressure in the chamber or the function of the pump even when the first opening valve is opened .

더하여, 진공차단장치(200)의 작동공간의 압력을 계측하는 압력계(9)가 더 구비된다. 압력계(9)는 작동공간의 압력을 계측함으로써 사용자가 챔버의 내부 압력과 대비할 수 있게 한다. 이러한 압력계는 진공차단장치의 작동공간의 압력을 측정할 수 있다면, 종류를 가리지 아니하는 것이다. In addition, a pressure gauge 9 for measuring the pressure in the working space of the vacuum interrupter 200 is further provided. The pressure gauge 9 allows the user to compare the internal pressure of the chamber by measuring the pressure in the working space. These pressure gauges do not discriminate if the pressure in the working space of the vacuum interrupter can be measured.

또한, 진공차단장치(200)의 작동공간과 연통된 지점과 제2개폐밸브(5) 사이의 제2배관(2)에는, 분기배관(3)이 더 연결된다. 더하여 분기배관(3)에는 제3개폐밸브(6)가 구비된다. The branch piping 3 is further connected to the second piping 2 between the point of communication with the operating space of the vacuum interrupter 200 and the second open / close valve 5. In addition, the branch pipe (3) is provided with a third opening / closing valve (6).

이로써 제3개폐밸브를 개방하고 분기배관에 연결된 별도의 펌프를 작동함으로써, 제1배관에 연결된 챔버의 진공상태를 유지하면서 진공차단장치의 자동공간의 진공도를 낮출 수 있게 된다. 이 경우, 챔버를 진공으로 유지하는 펌프와 분기배관을 통하여 진공으로 형성하는 펌프는 서로 다르게 된다. 따라서 진공차단장치에 구비된 압력계로 챔버 내부의 진공도와 진공차단장치의 작동공간의 진공도가 동일한지 확인 후에 진공차단장치를 개방 작동시켜야 한다.
Thus, by opening the third opening / closing valve and operating a separate pump connected to the branch pipe, the degree of vacuum of the automatic space of the vacuum interrupter can be lowered while maintaining the vacuum state of the chamber connected to the first pipe. In this case, the pump for maintaining the chamber in vacuum and the pump for forming the vacuum through the branch pipe are different from each other. Therefore, after confirming that the degree of vacuum in the chamber is equal to the degree of vacuum in the working space of the vacuum interrupter by using a pressure gauge provided in the vacuum interrupter, the vacuum interrupter must be opened.

이후, 본 발명의 실시예에 따른 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치의 작동을 설명한다. Hereinafter, operation of the vacuum balancing apparatus of the chamber and the vacuum interrupter according to the embodiment of the present invention will be described.

제1배관(1)이 연결된 챔버(C)는 진공차단장치(200)보다 상대적으로 고압일 수 있다. 일례로, 상기 챔버(C)가 로드락 챔버인 경우에, 작업 대상물이 외부에서 반입되거나 반출되면 챔버의 내부는 대기압 상태가 된다. 이에 비하여 진공차단장치의 작동공간과 다른 쪽 챔버는 여전히 진공 상태로 유지된다. The chamber C to which the first pipe 1 is connected may be relatively higher in pressure than the vacuum interrupter 200. For example, when the chamber C is a load lock chamber, the inside of the chamber becomes atmospheric pressure when the workpiece is carried in or out from the outside. On the other hand, the working space of the vacuum interrupter and the other chamber are still kept in a vacuum state.

내부가 대기압 상태인 챔버(C)를 진공상태로 낮추기 위하여, 제1개폐밸브(4)는 열고 제2개폐밸브(5)는 닫은 후에 펌프(8)를 작동하여, 챔버의 내부를 진공상태로 낮춘다. In order to lower the chamber C in the atmospheric pressure state to a vacuum state, the first open / close valve 4 is opened and the second open / close valve 5 is closed, and then the pump 8 is operated, Lower.

챔버(C) 내부의 압력이 낮아지면서, 진공차단장치(200)의 작동공간의 압력과 대비하여, 최종 요구되는 진공도보다 상기 작동공간의 압력이 높은 경우에 제2개폐밸브(5)를 추가 개방하고 펌프를 작동시킴으로써 챔버(C)와 진공차단장치(200)의 진공도를 동일하게 할 수 있다. When the pressure inside the chamber C is lowered and the pressure in the working space is higher than the pressure in the working space of the vacuum interrupter 200 than the final required vacuum degree, the second opening / closing valve 5 is further opened The vacuum degree of the chamber C and the vacuum interrupter 200 can be made equal by operating the pump.

이와 같이 하나의 펌프를 사용하기에, 펌프의 작동시에 챔버와 내부와 진공차단장치의 내부는 동시에 진공으로 형성된다. 특히 하나의 펌프에 의하여 진공 흡입이 이루어지므로 챔버의 내부와 진공차단장치의 작동공간의 진공도는 쉽게 일치할 수 있게 된다. By using one pump in this way, the chamber and the interior of the vacuum interrupter are simultaneously evacuated during operation of the pump. In particular, since the vacuum suction is performed by one pump, the degree of vacuum of the inside of the chamber and the working space of the vacuum interrupter can be easily matched.

한편, 실링, 밸브판 등 작동부재의 구성물을 교체하거나 수리하는 경우에는 바닥패널을 하우징과 분리하여야 한다. 이러한 일련의 작업 과정을 거친 후에 진공차단장치의 작동공간은 대기압 상태가 되어, 이웃하는 다른 챔버와 진공도에서 차이가 생기게 된다. 또는 어느 챔버의 공정 진행에 따라 진공차단장치와 연결된 일부 챔버와 진공도와 차이가 발생되기도 하며, 이웃하는 챔버들에 비하여 진공차단장치의 내부 압력이 더 상승되기도 한다. On the other hand, when replacing or repairing the components of the actuating member such as sealing, valve plate, etc., the bottom panel should be separated from the housing. After this series of work processes, the working space of the vacuum interrupter becomes atmospheric pressure, which results in a difference in vacuum degree from other neighboring chambers. Or the degree of vacuum may be different from that of some of the chambers connected to the vacuum interrupter depending on the progress of the chamber, and the internal pressure of the vacuum interrupter may be further increased compared to the neighboring chambers.

챔버(C)의 내부와 진공차단장치(200)의 내부의 진공도 차이를 줄이거나, 양 진공도를 동일하게 하기 위해서, 분기배관(3)을 이용한 진공 흡입이 진행될 수 있다. Vacuum suction using the branch pipe 3 can proceed in order to reduce the difference in vacuum degree between the inside of the chamber C and the inside of the vacuum interrupter 200, or to make the vacuum degree equal to both.

구체적으로, 제1개폐밸브(4)는 열리고, 제2개폐밸브(5)는 닫힌 상태에서 제1배관(1)에 연결된 펌프(8)가 작동되어 챔버(C)의 내부는 진공 상태를 유지할 수 있다. 이때, 분기배관(3)의 제3개폐밸브(6)는 개방되고, 분기배관(3)에 연결된 별도의 펌프(도시 생략)를 작동하여 진공차단장치(200)의 작동공간에 대한 진공도를 조절할 수 있다. Specifically, the first opening / closing valve 4 is opened and the pump 8 connected to the first pipe 1 is operated in the closed state of the second opening / closing valve 5, so that the inside of the chamber C is maintained in a vacuum state . At this time, the third on-off valve 6 of the branch pipe 3 is opened and a separate pump (not shown) connected to the branch pipe 3 is operated to adjust the degree of vacuum of the operating space of the vacuum interrupter 200 .

이후 압력계(9)를 통하여 진공차단장치(200) 내부의 진공도를 확인하여, 챔버(C)의 내부의 진공도와 동일하게 맞추어짐을 확인하고 진공차단장치(200)를 작동시켜 하우징의 출입구를 개방하고 양 챔버를 연통되게 할 수 있다. Thereafter, the degree of vacuum in the vacuum interrupter 200 is confirmed through the pressure gauge 9, and it is confirmed that the degree of vacuum is the same as the degree of vacuum in the chamber C, and the vacuum interrupter 200 is operated to open the entrance of the housing So that both chambers can communicate with each other.

1 : 제1배관 2 : 제2배관 3 : 분기배관
4 : 제1개폐밸브 5 : 제2개폐밸브 6 : 제3개폐밸브
7 : 체크밸브 8 : 펌프 9 : 압력계
100 : 클러스터 장비
110 : 반송 챔버 120 : 공정 챔버 130 : 로드락 챔버 C : 챔버
200 : 진공차단장치
210 : 하우징 211 : 전방패널 212 : 후방패널
213 : 바닥패널 214 : 출입구
220 : 작동부재 221 : 액추에이터 222 : 지지부
223 : 밸브판 224 : 실링1: first piping 2: second piping 3: branch piping
4: first opening / closing valve 5: second opening / closing valve 6: third opening / closing valve
7: Check valve 8: Pump 9: Pressure gauge
100: Cluster equipment
110: transfer chamber 120: process chamber 130: load lock chamber C: chamber
200: Vacuum interrupter
210: housing 211: front panel 212: rear panel
213: floor panel 214: doorway
220: actuating member 221: actuator 222:
223: valve plate 224: sealing

Claims (6)

삭제delete 내부의 압력이 가변될 수 있는 챔버와, 상기 챔버의 출입구를 개방가능하게 폐쇄하며 내부에 기밀 가능한 작동공간을 갖는 진공차단장치에 장착되는 것으로,
펌프,
상기 챔버의 내부와 상기 펌프에 연통되어 있고, 제1개폐밸브가 장착된 제1배관,
상기 진공차단장치의 작동공간과 상기 제1배관에 연통되어 있고, 제2개폐밸브가 장착되어 있는 제2배관, 그리고
상기 진공차단장치의 작동공간과 연통된 지점과 상기 제2개폐밸브 사이의 제2배관에 연결되어 있고, 제3 개폐밸브가 장착되어 있으며, 상기 작동공간의 진공 형성에 사용되는 분기배관
을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치.A chamber in which an internal pressure can be varied, and a vacuum interrupter having an operating space communicable with the chamber so as to open and close an entrance of the chamber,
Pump,
A first pipeline communicating with the inside of the chamber and the pump,
A second pipe communicating with the working space of the vacuum interrupter and the first pipe and having a second opening / closing valve mounted thereon, and
Closing valve, which is connected to a second piping between the second open / close valve and a point communicating with the operating space of the vacuum interrupter, is equipped with a third open / close valve,
And a vacuum balancing device for vacuum interrupting the chamber and the vacuum interrupter. 제2항에서,
상기 제1배관에 장착된 상기 제1개폐밸브는, 상기 제1배관이 상기 챔버의 내부와 연통된 지점과 상기 제2배관이 연통된 지점 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the first on-off valve mounted on the first pipe is located between a point where the first pipe communicates with the inside of the chamber and a point where the second pipe communicates with the chamber. Vacuum balancing device. 제3항에서,
상기 제1배관과 연통되는 지점과 상기 제2개폐밸브 사이의 제2배관에는,
체크밸브가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치.4. The method of claim 3,
And a second pipe connected between a point of communication with the first pipe and the second open / close valve,
And a check valve is further provided on the vacuum chamber. 제3항에서,
상기 진공차단장치의 작동공간의 압력을 계측하는 압력계가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버와 진공차단장치의 진공 밸런싱 장치.4. The method of claim 3,
Further comprising a pressure gauge for measuring the pressure of the working space of the vacuum interrupter. 삭제delete
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