KR101088898B1 - The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same - Google Patents

The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same Download PDF

Info

Publication number
KR101088898B1
KR101088898B1 KR1020080120123A KR20080120123A KR101088898B1 KR 101088898 B1 KR101088898 B1 KR 101088898B1 KR 1020080120123 A KR1020080120123 A KR 1020080120123A KR 20080120123 A KR20080120123 A KR 20080120123A KR 101088898 B1 KR101088898 B1 KR 101088898B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inlet opening
closing
panel
inlet
elevating
Prior art date
Application number
KR1020080120123A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20100061214A (en
Inventor
박영남
고대운
Original Assignee
(주)엘티엘
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)엘티엘 filed Critical (주)엘티엘
Priority to KR1020080120123A priority Critical patent/KR101088898B1/en
Publication of KR20100061214A publication Critical patent/KR20100061214A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101088898B1 publication Critical patent/KR101088898B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67196—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the transfer chamber
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)

Abstract

본 발명은 진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어에 관한 것으로, 진공차단 슬롯 밸브는 승강 장치, 그리고 상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있는 인입구 개폐부를 포함하며, 상기 인입구 개폐부는, 상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널, 상기 승강 패널의 일측에 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널, 상기 승강 패널의 타측에 연결되어 있는 제2 인입구 개폐패널, 상기 승강 패널의 내부에 형성되어 있는 공기 라인, 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제1 피스톤, 그리고 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제2 피스톤을 포함한다.The present invention relates to a vacuum blocking slot valve and a vacuum blocking door having the same, wherein the vacuum blocking slot valve includes an elevating device and an inlet opening and closing part connected to the elevating device to move up and down, and the inlet opening and closing part is the A lifting panel connected to the piston of the lifting device, a first inlet opening / closing panel connected to one side of the elevating panel, a second inlet opening / closing panel connected to the other side of the elevating panel, and formed inside the elevating panel. Air line, one side is connected to the air line, the other side is connected to the first inlet opening and closing panel first piston, and one side is connected to the air line, the other side is connected to the second inlet opening and closing panel And a second piston which is provided.

제조설비, 트랜스챔버, 프로세스챔버, 공정, 진공차단, 슬롯, 밸브, 도어 Manufacturing Equipment, Trans Chamber, Process Chamber, Process, Vacuum Block, Slot, Valve, Door

Description

진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어{The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same}The vacuum isolation slot valve and vacuum isolation door having the same

본 발명은 진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum blocking slot valve and a vacuum blocking door having the same.

일반적으로, 영상표시장치는 화상을 표시하는 액정패널과 상기 액정패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 상부 및 하부기판과, 상기 상부 및 하부기판 사이에 형성된 액정 층으로 구성된다.In general, an image display apparatus may be largely divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel has upper and lower substrates bonded to each other with a predetermined space, and the upper portion. And a liquid crystal layer formed between the lower substrates.

근래 들어, 상술한 영상표시장치 기판이 대구경, 대형화 되면서 영상표시장치를 제조하는 설비의 크기가 커지고 있다.In recent years, as the above-described video display device substrate becomes larger and larger in size, the size of equipment for manufacturing the video display device is increasing.

상기와 같은 영상표시장치를 제조하려면, 전용의 영상표시장치 제조설비와 같이 저진공으로부터 초고진공에 이르는 넓은 진공 영역에서 작업이 가능한 진공차단 슬롯밸브 등과 같은 진공차단 장치를 필요로 한다.In order to manufacture the image display device as described above, a vacuum cutoff device such as a vacuum cutoff slot valve capable of working in a wide vacuum area from low vacuum to ultrahigh vacuum, such as a dedicated image display device manufacturing facility, is required.

그러나, 종래 기술의 진공차단 장치에서는, 영상표시장치 기판을 제조설비에 공급한 상태에서 밸브를 폐쇄하도록 작동시키면, 인입구 개폐패널의 차단부분이 하우징 인입구의 테두리부 둘레를 따라 균일하게 접촉되기 어렵기 때문에, 작동 부분 에 과도한 압력을 가하여 밀착되도록 구성하게 되는데, 이때 인입구 개폐패널과 하우징 인입구사이의 과도한 밀착으로 인하여, 이들 부품이 파손 및 변형되어 고장이 발생하는 문제점이 있었다.However, in the vacuum interrupter of the prior art, when the valve is operated in a state in which the image display device substrate is supplied to the manufacturing facility, it is difficult for the blocking portion of the inlet opening / closing panel to be uniformly contacted along the circumference of the housing inlet. Therefore, it is configured to be in close contact by applying an excessive pressure to the operating part, at this time due to the excessive close contact between the inlet opening and closing panel and the housing inlet, there was a problem that these parts are broken and deformed to cause a failure.

그리고, 종래 기술의 진공차단 장치에서는, 인입구 개폐패널에 가해지는 정압과 역압이 서로 상쇄되지 않으므로 안정적으로 진공차단을 할 수 없는 문제점이 있었다.In the vacuum interrupter of the prior art, since the positive pressure and the reverse pressure applied to the inlet opening and closing panel do not cancel each other, there is a problem that the vacuum interruption cannot be stably performed.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 작동 부분이 파손되지 않으며, 인입구에 균일하게 접촉되어 과도한 작용압력이 가해지지 않고, 제조 설비의 전체적인 크기의 변화에 따른 압력 변화를 일으키지 않을 뿐만 아니라, 하우징 인입구를 안정적으로 진공 차단할 수 있는 진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is that the operating part is not broken, it is uniformly contacted with the inlet, does not apply excessive working pressure, does not cause a pressure change due to the change in the overall size of the manufacturing equipment, It is to provide a vacuum blocking slot valve and a vacuum blocking door having the same can be reliably cut off the vacuum.

본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브는, 승강 장치, 그리고 상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있는 인입구 개폐부를 포함하며, 상기 인입구 개폐부는, 상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널, 상기 승강 패널의 일측에 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널, 상기 승강 패널의 타측에 연결되어 있는 제2 인입구 개폐패널, 상기 승강 패널의 내부에 형성되어 있는 공기 라인, 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제1 피스톤, 그리고 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제2 피스톤을 포함한다.Vacuum blocking slot valve according to an embodiment of the present invention, the lifting device and the inlet opening and closing portion which is connected to the elevating device can move up and down, the inlet opening and closing portion, the elevating device is connected to the piston of the elevating device A panel, a first inlet opening and closing panel connected to one side of the elevating panel, a second inlet opening and closing panel connected to the other side of the elevating panel, an air line formed in the elevating panel, and one side of the elevating panel A first piston is connected, the other side is connected to the first inlet opening and closing panel, and the second side is connected to the air line, one side is connected to the second inlet opening and closing panel.

본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 도어는, 일측에 서로 떨어져 있는 한 쌍의 인입구가 형성되어 있는 하우징, 상기 한 쌍의 인입구 사이에 위치하며, 상기 한 쌍의 인입구 하측에 설치되어 있는 승강 장치, 그리고 상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있으며, 상기 한 쌍의 인입구를 개폐하는 인입구 개폐부를 포함한다.Vacuum barrier door according to an embodiment of the present invention, the housing is provided with a pair of inlet spaced apart from each other, the lifting device which is located between the pair of inlet, the pair of inlet lower side And it is connected to the lifting device can move up and down, and includes an inlet opening and closing portion for opening and closing the pair of inlets.

상기 인입구 개폐부는, 상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널, 상기 승강 패널의 양측에 각각 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널 및 제2 인입구 개폐패널, 그리고 상기 승강 패널의 내부에 배치되어 있으며, 상기 제1 인입구 개폐패널 및 상기 제2 인입구 개폐패널을 움직여 상기 인입구를 개폐하는 복수의 인입구 개폐장치를 포함할 수 있다. The inlet opening and closing portion is disposed inside the elevating panel connected to the piston of the elevating device, the first inlet opening and closing panel and the second inlet opening and closing panel connected to both sides of the elevating panel, and the elevating panel, And a plurality of inlet opening and closing devices for opening and closing the inlet by moving the first inlet opening and closing panel and the second inlet opening and closing panel.

상기 인입구 개폐장치는, 상기 승강 패널의 내측에 길이 방향을 따라 배치되어 있는 공기 라인, 그리고 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 적어도 하나의 제1 피스톤, 그리고 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 적어도 하나의 제2 피스톤을 포함하며, 상기 제1 및 제2 피스톤은 상기 공기 라인에서 공급되는 공기의 압력에 움직여 상기 인입구를 막을 수 있다.The inlet opening and closing device, at least one first air line is arranged in the longitudinal direction inside the elevating panel, and one side is connected to the air line, the other side is connected to the first inlet opening and closing panel A piston, and at least one second piston connected at one side to the air line and at the other end connected to the second inlet opening and closing panel, wherein the first and second pistons supply air supplied from the air line. By moving the pressure of the inlet can be blocked.

상기 적어도 하나의 제1 피스톤은 복수 개 형성되어 있으며, 상기 승강 패널의 길이 방향을 따라 기설정된 간격으로 배열되어 있을 수 있다.The at least one first piston may be formed in plural, and may be arranged at predetermined intervals along the longitudinal direction of the elevating panel.

상기 인입구와 마주하는 상기 제1 인입구 개폐패널의 일면에는 패킹 부재가 형성되어 있으며, 상기 패킹 부재는 상기 인입구 테두리부를 따라 밀착될 수 있다.A packing member may be formed on one surface of the first inlet opening / closing panel facing the inlet, and the packing member may be in close contact with the inlet edge.

상기 인입구 개폐부 또는 상기 하우징에 설치되어 있는 압력 센서를 더 포함하며, 상기 압력 센서는 상기 인입구 개폐패널과 상기 인입구 간의 밀착 압력을 측정하고, 상기 압력 센서의 정보에 따라 상기 공기라인에 공급되는 공기의 압력이 조절될 수 있다.And a pressure sensor installed at the inlet opening and closing portion or the housing, wherein the pressure sensor measures the close pressure between the inlet opening and closing panel and the inlet, and measures the pressure of the air supplied to the air line according to the information of the pressure sensor. The pressure can be adjusted.

본 발명의 실시예에 따르면, 승강 장치의 승강 동작에 연동하여 인입구 개폐패널이 하우징 인입구를 개폐하도록 작동되므로, 개폐 동작이 지속되어 작동 부분에 하중이 반복적으로 가해지더라도, 작동 부분이 파손되지 않는다.According to the embodiment of the present invention, since the inlet opening and closing panel is operated to open and close the housing inlet in conjunction with the lifting operation of the elevating device, even if the opening and closing operation is continued and a load is repeatedly applied to the operating portion, the operating portion is not damaged.

그리고, 기 설정된 간격으로 결합된 복수의 인입구 개폐장치가 인입구 개폐패널을 고르게 가압시켜, 인입구 개폐패널의 차단부분이 하우징 인입구의 외측 둘레를 따라 균일하게 접촉되므로, 작동 부분에 과도한 압력을 가할 필요가 없어, 기계의 수명이 단축되는 것을 예방할 수 있다.In addition, the plurality of inlet opening and closing devices coupled at predetermined intervals evenly press the inlet opening and closing panel so that the blocking portion of the inlet opening and closing panel is uniformly contacted along the outer circumference of the housing inlet, so that excessive pressure is required on the operating portion. It is possible to prevent the life of the machine from being shortened.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 한쌍의 인입구 개폐패널이 각각 해당 인입구를 개폐하여 정압과 역압이 서로 상쇄되면서 안정적으로 진공 차단을 할 수 있으므로, 설비가 대형화되어 압력이 변화되더라도, 이에 무관하게 원활한 구동이 이루어질 수 있는 이점이 있다. In addition, according to an embodiment of the present invention, since a pair of inlet opening and closing panels open and close the respective inlets, the positive pressure and the back pressure can cancel each other and stably prevent vacuum, even if the equipment is enlarged and the pressure is changed, regardless of this. There is an advantage that smooth driving can be achieved.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification.

그러면, 본 발명의 한 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비용 진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어에 대하여 도 1 내지 도 5를 참고하여 설명한다.Next, a vacuum blocking slot valve for an image display apparatus manufacturing apparatus and a vacuum blocking door including the same according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5.

본 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브는 영상표시장치 제조설비에 적용된 것을 기초로 하여 설명하였으나, 이는 일실시예에 불과하며 2중 벽면 구조의 하우징 제1면의 인입구를 진공 차단토록 하는 것이라면 어떠한 제조 설비에도 적용될 수 있다.The vacuum cut-off slot valve according to the present embodiment has been described on the basis of being applied to the image display apparatus manufacturing facility. However, this is only an example, and any manufacturing may be performed if the inlet of the first surface of the housing having the double wall structure is to be vacuum-blocked. It can also be applied to installations.

도 1은 본 발명이 적용되는 영상표시장치 제조설비를 나타낸 참고도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브를 나타낸 것으로, 부분 절개된 정면도이고, 도 3은 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 정면도이고, 도 4는 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 평면도이고, 도 5는 도 2에서 인입구 개폐부를 나타낸 사시도이다. 1 is a reference view showing the image display apparatus manufacturing equipment to which the present invention is applied, Figure 2 is a vacuum cut-off slot valve according to an embodiment of the present invention, a partially cut-out front view, Figure 3 is in FIG. 4 is a front view illustrating the inlet opening and closing portion coupled to the elevating device, FIG. 4 is a plan view illustrating the inlet opening and closing portion coupled to the elevating device, and FIG. 5 is a perspective view illustrating the inlet opening and closing portion of FIG. 2.

도 1을 참고하면, 본 발명이 적용되는 영상표시장치 제조설비는, 로드락 챔버 (load lock chamber)(300), 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)(400), 영상표시장치 제조설비용 진공차단 슬롯밸브(100)를 가지는 프로세스 챔버(process chambe r)(500)를 포함한다.Referring to FIG. 1, an image display apparatus manufacturing apparatus to which the present invention is applied includes a load lock chamber 300, a transfer chamber 400, and a vacuum blocking slot valve for an image display apparatus manufacturing apparatus. A process chamber 500 having a 100.

일반적으로, 로드락 챔버 (load lock chamber)(300)는 유리기판 등과 같은 소재가 로딩(loading)되거나 언로딩(unloading)되는 곳으로, 로딩되는 경우에는 대기압으로부터 저진공 또는 고진공(high vacuum : 10 - 6 Torr)으로 만들어서, 대기압 상태로부터 초고진공(ultra high vacuum : 10 - 7 Torr)을 만들기 위한 곳이다.In general, the load lock chamber 300 is a place where a material such as a glass substrate is loaded or unloaded, and when loaded, a low or high vacuum (10) from atmospheric pressure 6 Torr) to create an ultra high vacuum (10-7 Torr) from atmospheric pressure.

그리고, 소재가 언로딩(unloading)되는 경우에는 유리 기판 등과 같은 소재에 대한 모든 증착 공정이 끝난 기판 상에 증착된 박막을 열처리하거나, 고온 상태의 기판을 냉각시키며, 고진공의 상태로부터 대기압 상태로 만드는 곳이다.And, when the material is unloaded (unloading) heat treatment of the thin film deposited on the substrate after all the deposition process for the material, such as a glass substrate, or to cool the substrate in a high temperature state, to make a high vacuum to atmospheric pressure state This is where.

또한, 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)(400)는 고진공(high vacuum : 10 - 6 T orr)상태를 유지하며 내부에 로봇(robot) 주축 및 감지기 등을 구비하고, 로봇의 주축을 중심으로 하는 로봇 암(도시하지 않음)에 의해 상기 로드락 챔버 또는 증착, 식각 등의 여러 공정이 수행되는 프로세스 챔버(process chamber)(500)들 간에 기판 등의 이동을 담당한다.In addition, the transfer chamber 400 maintains a high vacuum (10-6 Torr) state and includes a robot spindle and a sensor therein, and a robot arm centered on the spindle of the robot. (Not shown) is responsible for the movement of the substrate or the like between the load lock chamber or process chambers 500 in which various processes such as deposition and etching are performed.

상기와 같이, 로봇 암을 이용하여 트랜스퍼챔버(400)의 영상표시장치 소재를 프로세스 챔버(500)로 이송하여 해당 공정을 수행하기 위하여, 이송부분에 진공을 차단시키는 진공차단 슬롯밸브(100)를 장착하고, 이송 시에 진공 압력의 누수를 차단하면서, 이송 후에 진공 차단에 의한 개폐 효율을 증대시키도록 한다.As described above, in order to transfer the material of the image display apparatus of the transfer chamber 400 to the process chamber 500 by using a robot arm, a vacuum blocking slot valve 100 for blocking the vacuum in the transfer part is performed. In order to prevent leakage of vacuum pressure at the time of conveyance, it is possible to increase the opening and closing efficiency by vacuum interruption after conveyance.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브를 나타낸 것으로, 부분 절개된 정면도이고, 도 3은 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 정면도이고, 도 4는 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 평면도이고, 도 5는 도 2에서 인입구 개폐부를 나타낸 사시도이다.Figure 2 shows a vacuum cut-off slot valve according to an embodiment of the present invention, a partially cut front view, Figure 3 is a front view showing the inlet opening and closing portion is coupled to the lifting device in Figure 2, Figure 4 is in Figure 2 5 is a plan view illustrating the inlet opening and closing portion coupled to the elevating device, and FIG. 5 is a perspective view of the inlet opening and closing portion of FIG. 2.

도 2 내지 도 5를 참고하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비용 진공차단 슬롯밸브(100)는, 하우징(10), 승강 장치(20) 그리고 인입구 개폐부(30)를 포함한다. 이때, 제어기(40)를 더 포함할 수 있다.2 to 5, the vacuum blocking slot valve 100 for an image display apparatus manufacturing facility according to an embodiment of the present invention includes a housing 10, a lifting device 20, and an inlet opening and closing unit 30. do. At this time, the controller 40 may further include.

하우징(10)은, 각각의 프로세스 챔버(500)의 외형을 이루며, 고 진공상태에서 각종 공정이 이루어지는 밀폐공간으로서, 일측에는 기판 등의 소재 이동을 위하여 인입구(11)가 관통 형성되어 있는데, 각각의 인입구(11)는 트랜스퍼 챔버(400)를 향하도록 배치되어 있으며, 특히 내외벽면을 가지는 2중 구조의 제1 면에 마주보는 한 쌍의 인입구(11)가 형성된다.The housing 10 is an enclosed space that forms an external shape of each of the process chambers 500 and performs various processes in a high vacuum state, and an inlet 11 is formed through one side to move a material such as a substrate. The inlet 11 of the inlet 11 is disposed to face the transfer chamber 400, and a pair of inlets 11 facing the first surface of the double structure having an inner and outer wall surfaces are formed.

그리고, 인입구(11)는 내외벽면을 가지는 2중 구조의 제1 면에서 서로 마주보도록 배치되어 있으며, 인입구 개폐장치(33)에 의하여 이송되는 한 쌍의 인입구 개폐패널(31)의 작동에 따라 선택적으로 개폐된다. 따라서, 인입구(11)는 트랜스퍼 챔버(400)를 향하는 하우징(10)의 일측면에 대하여서만 선택적으로 개폐되도록 구성되어 있다.In addition, the inlet 11 is disposed to face each other on the first surface of the double structure having inner and outer wall surfaces, and is selectively selected according to the operation of the pair of inlet opening and closing panels 31 conveyed by the inlet opening and closing device 33. It is opened and closed by Therefore, the inlet 11 is configured to selectively open and close only with respect to one side of the housing 10 facing the transfer chamber 400.

승강 장치(20)는, 인입구 개폐부(30)를 승강 시키는 구성요소로서, 승강 장치(20)의 피스톤(21)은 상기 내외벽면에 평행하게 작동한다. 이때, 피스톤(21)의 작동 스트로크는, 한 쌍의 인입구 개폐패널(31)이 한 쌍의 인입구(11)를 진공차단 시킬 수 있는 지점으로부터 인입구(11)의 전방을 개방하여 영상표시장치 기판을 프로세스 챔버(500)에 공급하거나, 프로세스 챔버(500)로부터 영상표시장치 기판을 꺼낼 때 간섭이 발생되지 않는 지점에 이르는 거리에 해당한다.The elevating device 20 is a component for elevating the inlet opening and closing part 30, and the piston 21 of the elevating device 20 operates in parallel with the inner and outer wall surfaces. At this time, the operation stroke of the piston 21 opens the front of the inlet port 11 from the point where the pair of inlet opening / closing panels 31 can vacuum the pair of the inlet ports 11 to open the image display device substrate. When supplied to the process chamber 500 or taken out of the image display substrate from the process chamber 500 corresponds to the distance to the point where the interference does not occur.

승강 장치(20)는 상기 제1 면의 내외벽면 사이에 위치하며, 상기 한 쌍의 인 입구(11)의 하측에 설치되어 있는데, 일정 구간에서 왕복하도록 구동되는 피스톤을 가지는 실린더 장치를 사용하는 것이 일반적이나, 축을 가지며 상기 축을 일정 구간에서 왕복하도록 구동시키는 장치라면 어떠한 것이라도 무방하다. 그리고 승강 장치(20)에는 피스톤(21)을 왕복 작동시키기 위하여 공기를 공급하는 공기라인(50)이 연결된다.The elevating device 20 is located between the inner and outer wall surfaces of the first surface, and is installed below the pair of phosphorus inlets 11, which uses a cylinder device having a piston driven to reciprocate in a predetermined section. In general, any device may be used as long as it has a shaft and drives the shaft to reciprocate in a predetermined section. And the lifting device 20 is connected to the air line 50 for supplying air to reciprocate the piston 21.

인입구 개폐부(30)는, 상기 한 쌍의 인입구(11)를 각각 개폐하여 진공차단을 안정적이며 지속적으로 유지하거나, 유지되고 있던 진공차단을 해지하도록 하는 구성요소로서, 상기 승강 장치(20)에 연결되어 있고, 상기 한 쌍의 인입구(11)를 각각 선택적으로 개폐할 수 있는 한 쌍의 인입구 개폐패널(31)을 가진다.The inlet opening and closing part 30 is a component that opens and closes the pair of inlets 11 to maintain a stable and continuous vacuum interruption or to release the retained vacuum interruption, and is connected to the elevating device 20. And a pair of inlet opening and closing panels 31 capable of selectively opening and closing the pair of inlets 11, respectively.

그리고, 인입구 개폐부(30)는 승강 장치(20)와 연동하며, 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11) 전방에 위치한 후에야 비로소 인입구(11)쪽으로 이송되어, 밀착되면서 진공 차단이 지속적이며 안정적으로 유지된다. In addition, the inlet opening and closing part 30 is interlocked with the elevating device 20, and only after the inlet opening and closing panel 31 is positioned in front of the inlet opening 11, the inlet opening and closing unit 31 is transferred to the inlet opening 11, and closes and closes the vacuum continuously and stably. maintain.

인입구 개폐부(30)는 승강 장치(20)의 피스톤(21)에 연결되어 있는 승강 패널(32), 승강 패널(32)과 상기 내외벽면 사이에 각각 배치되어 있는 한쌍의 인입구 개폐패널(31), 그리고 승강 패널(32)과 제1 인입구 개폐패널과 제2 인입구 개폐패널 즉, 한쌍의 인입구 개폐패널(31)에 각각 연결되어 있으며, 인입구 개폐패널(31)을 움직여 인입구(11)를 개폐할 수 있는 복수의 인입구 개폐장치(33)를 포함한다.The inlet opening / closing portion 30 includes a lifting panel 32 connected to the piston 21 of the lifting device 20, a pair of inlet opening / closing panels 31 disposed between the lifting panel 32 and the inner and outer wall surfaces, respectively. And it is connected to the elevating panel 32, the first inlet opening and closing panel and the second inlet opening and closing panel, that is, a pair of inlet opening and closing panel 31, respectively, can move the inlet opening and closing panel 31 to open and close the inlet (11). It includes a plurality of inlet opening and closing device 33.

이때, 복수의 인입구 개폐장치(33)의 작동에 따라 상기 승강 패널의 양측면에 기설정된 간격 떨어져서 연결되어 있으며, 상기 한쌍의 인입구 개폐패널이 상기 한 쌍의 인입구를 동시에 개폐된다.At this time, according to the operation of the plurality of inlet opening and closing device 33 is connected to both sides of the elevating panel at a predetermined interval apart, the pair of inlet opening and closing panel opens and closes the pair of inlet at the same time.

인입구 개폐장치(33)도 승강 장치(20)와 마찬가지로 일정 구간에서 왕복하도록 각각 구동되는 제1 및 제2피스톤을 가지는 실린더 장치를 사용하는 것이 일반적이나, 축을 가지며 상기 축을 일정 구간에서 왕복하도록 구동시키는 장치라면 어떠한 것이라도 무방하며, 인입구 개폐장치(33)에도 피스톤을 왕복작동시키기 위하여 공기를 공급하는 공기라인(50)이 연결된다.Like the lifting device 20, the inlet opening and closing device 33 also uses a cylinder device having first and second pistons that are driven to reciprocate in a predetermined section, but has a shaft and drives the reciprocating in a certain section. Any device can be used, and the air inlet opening and closing device 33 is connected to an air line 50 for supplying air for reciprocating the piston.

복수의 인입구 개폐장치(33)는, 승강 패널(32)의 전후 양측면에 각각 기 설정된 간격 떨어져서 연결되어 있으며, 공기 라인의 구성을 고려하여 도 4에서와 같이 전후면을 기준으로 평면도상에서 교대로 배치된다.The plurality of inlet opening and closing devices 33 are connected to the front and rear sides of the elevating panel 32 at predetermined intervals, respectively, and are alternately arranged on the top and rear surfaces as shown in FIG. 4 in consideration of the configuration of the air line. do.

이와 같이, 복수개의 인입구 개폐장치(33)를 승강 패널(32)의 전후 양측면에 각각 기 설정된 간격 떨어져서 연결하므로써, 인입구 개폐패널(31)의 차단부분이 하우징 인입구(11)의 외측 둘레를 따라 균일하게 접촉되어, 작동 부분에 과도한 압력을 가할 필요가 없어, 기계의 수명이 단축되는 것을 예방할 수 있다. As such, by connecting the plurality of inlet opening and closing devices 33 to the front and rear sides of the elevating panel 32 at predetermined intervals, the blocking portion of the inlet opening and closing panel 31 is uniform along the outer circumference of the housing inlet 11. Contact, it is not necessary to apply excessive pressure to the operating part, it is possible to prevent the life of the machine is shortened.

그리고, 한쌍의 인입구 개폐패널(31)이 각각 해당 인입구(11)를 개폐하여 정압과 역압이 서로 상쇄되면서 안정적으로 진공 차단을 할 수 있으며, 인입구 개폐패널(31)의 인입구 테두리부에 대응되는 위치에 밀폐가능한 패킹 부재(34)를 가지므로, 기밀이 유지되어 진공 차단이 지속적으로 이루어진다. 그리고, 승강 패널(32)의 양측 단부는 하우징(10)의 내부 일측에 형성된 가이드 부재(G)에 안내되어 승강하므로, 승강 동작이 안정적으로 이루어진다. In addition, the pair of inlet opening and closing panel 31 opens and closes the corresponding inlet 11 so that the positive pressure and the back pressure cancel each other, thereby stably blocking the vacuum, and the position corresponding to the inlet edge of the inlet opening and closing panel 31. Since it has a sealing member 34 sealable in the airtight, the airtightness is maintained and vacuum interruption is made continuously. And, since both end portions of the elevating panel 32 are guided and lifted by the guide member G formed at one inner side of the housing 10, the elevating operation is made stable.

또한, 인입구 개폐부(30)는, 압력 센서(도시하지 않음)를 더 포함하여, 인입구 개폐패널(31)과 인입구(11) 사이의 밀착 압력을 측정하는데, 압력 센서의 정보 에 따라 인입구 개폐장치(33)의 작동력이 결정된다. 즉, 인입구 개폐패널(31)과 인입구(11) 사이의 밀착 압력을 측정하고, 그 측정 결과에 따라 공기 라인의 공기를 기 설정된 범위에서 제어하여, 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)와 최적의 밀착상태를 지속적으로 유지할 수 있도록 한다.In addition, the inlet opening and closing unit 30 further includes a pressure sensor (not shown), and measures the close pressure between the inlet opening and closing panel 31 and the inlet opening 11, according to the information of the pressure sensor. The operating force of 33) is determined. That is, the adhesion pressure between the inlet opening and closing panel 31 and the inlet 11 is measured, and the air in the air line is controlled in a preset range according to the measurement result, so that the inlet opening and closing panel 31 is connected to the inlet 11. Make sure that the optimum closeness is maintained.

이때, 최적의 밀착상태를 유지하지 위한 압력은, 인입구 개폐패널(31)과 하우징 인입구(11)사이의 밀착으로 인하여 이들 부품에 파손 및 변형이 발생하지 않도록 하는 범위에서 설정된다. 그리고, 제어기(40)는 승강 장치(20) 및 인입구 개폐부(30)가 원활하게 작동되도록 이들을 제어한다.At this time, the pressure for maintaining the optimum close state is set in a range such that damage and deformation do not occur in these parts due to the close contact between the inlet opening and closing panel 31 and the housing inlet 11. Then, the controller 40 controls the lifting device 20 and the inlet opening and closing part 30 so as to operate smoothly.

인입구 개폐부(30)가 승강하는 상태에 대하여, 도 6 내지 도 8을 참고하여 설명한다.The state in which the inlet opening and closing portion 30 is elevated will be described with reference to FIGS. 6 to 8.

도 6은 승강 패널이 하강하고, 인입구 개폐패널이 인입구를 막은 상태를 해지한 것을 나타낸 측단면도이고, 도 7는 승강 패널이 상승한 상태를 나타낸 측단면도이고, 도 8는 도 7에서 승강 패널이 상승하는 것을 멈춘 후, 인입구 개폐패널이 각 인입구에 밀착되어 진공 차단한 것을 나타낸 측단면도이다.Figure 6 is a side cross-sectional view showing that the lifting panel is lowered, the inlet opening and closing panel closed the inlet state, Figure 7 is a side cross-sectional view showing the lifting panel is raised, Figure 8 is a lifting panel is raised in FIG. The side cross-sectional view which showed that the inlet opening-closing panel closely contacted each inlet and then vacuum-blocked after stopping to do it.

도 6 내지 도 8을 참고하면, 인입구 개폐패널(31)로 하여금 인입구(11)로부터 밀착상태를 해지하여 하강시키기 위해서는, 우선 인입구 개폐장치(33)를 작동시켜 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)로부터 최대한 이격되도록 이송시키고, 그 다음 상기와 같이 이격된 상태를 유지함과 동시에 승강 장치(20)의 피스톤(21)을 하강시키되, 인입구(11)의 전방에서 기판 등의 이동이 간섭되지 않을 정도로 충분한 지점에 이르기까지 하강시킨다.6 to 8, in order for the inlet opening / closing panel 31 to be released from the inlet 11 by being in close contact with the inlet 11, the inlet opening / closing device 33 is operated to open the inlet opening / closing panel 31. 11) to be spaced apart as far as possible, and then while maintaining the spaced state as described above and at the same time lowering the piston 21 of the lifting device 20, the movement of the substrate or the like in front of the inlet (11) does not interfere. Descend to enough point.

승강 패널(32)이 상승하는 상태에 대하여 도 7 내지 도 8을 참고하여 설명한다.The state in which the lifting panel 32 rises will be described with reference to FIGS. 7 to 8.

도 7 내지 도 8을 참고하면, 승강 장치(20)의 피스톤(21)이 최고점에 이르기까지는 인입구 개폐패널(31)이 승강 패널(32)에 최대한 근접하도록 인입구 개폐장치(33)가 작동된 상태에서 상승되도록 하고, 승강 장치(20)의 피스톤(21)이 최고점에 다다른 시점에서, 비로소 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)를 진공차단 시킬 수 있도록 인입구 개폐장치(33)를 작동시켜 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)에 밀착되면, 오링(O-Ring)과 같은 패킹부재(34)에 의하여 진공 차단이 확실하게 유지된다.7 to 8, the inlet opening and closing device 33 is operated so that the inlet opening and closing panel 31 is as close to the elevating panel 32 as possible until the piston 21 of the elevating device 20 reaches the highest point. At the time when the piston 21 of the elevating device 20 reaches the highest point, the inlet opening / closing device 33 is operated so that the inlet opening / closing panel 31 can vacuum inlet 11. When the inlet opening / closing panel 31 is in close contact with the inlet 11, vacuum interruption is reliably maintained by the packing member 34 such as an O-ring.

이때, 인입구 개폐장치(33)에 결합되어 있는 압력 센서가 인입구 개폐패널(31)와 인입구(11)간의 밀착 압력을 측정하고, 측정 결과에 따라 공기 라인의 공기를 기 설정된 범위에서 제어하여, 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)와 최적의 밀착상태를 지속적으로 유지할 수 있도록 한다.At this time, the pressure sensor coupled to the inlet opening and closing device 33 measures the close pressure between the inlet opening and closing panel 31 and the inlet 11, and controls the air of the air line in the preset range according to the measurement result, Opening and closing panel 31 to maintain the inlet 11 and the optimum close state.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of the present invention.

도 1은 본 발명이 적용되는 영상표시장치 제조설비를 나타낸 참고도이고,1 is a reference diagram showing an image display apparatus manufacturing equipment to which the present invention is applied;

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브를 나타낸 것으로, 부분 절개된 정면도이고,Figure 2 shows a vacuum cut-off slot valve according to an embodiment of the present invention, a partial cutaway front view,

도 3은 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 정면도이고,3 is a front view showing that the inlet opening and closing portion is coupled to the lifting device in FIG.

도 4는 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 평면도이고,Figure 4 is a plan view showing that the inlet opening and closing portion is coupled to the lifting device in Figure 2,

도 5는 도 2에서 인입구 개폐부를 나타낸 사시도이고,5 is a perspective view showing the inlet opening and closing portion in FIG.

도 6은 승강 패널이 하강하고, 인입구 개폐패널이 인입구를 막은 상태를 해지한 것을 나타낸 측단면도이고,6 is a side cross-sectional view showing that the elevating panel is lowered and the inlet opening and closing panel is released from blocking the inlet;

도 7는 승강 패널이 상승한 상태를 나타낸 측단면도이고, 7 is a side cross-sectional view showing a state in which a lifting panel is raised,

도 8는 도 7에서 승강 패널이 상승하는 것을 멈춘 후, 인입구 개폐패널이 각 인입구에 밀착되어 진공 차단한 것을 나타낸 측단면도이다.8 is a side cross-sectional view showing that the inlet opening and closing panel closes to each inlet and is vacuum-blocked after the lifting panel stops rising in FIG. 7.

<도면에 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts in the drawings>

10 : 하우징 11 : 인입구10 housing 11 inlet

20 : 승강 장치 21 : 피스톤20: lifting device 21: piston

30 : 인입구 개폐부 31 : 인입구 개폐패널 30: entrance opening and closing part 31: entrance opening and closing panel

32 : 승강 패널 33 : 인입구 개폐장치32: lifting panel 33: entrance opening and closing device

34 : 패킹부재 40 : 제어기34: packing member 40: controller

50 : 공기라인 100 : 진공차단 슬롯밸브50: air line 100: vacuum blocking slot valve

G : 가이드부재G: guide member

Claims (7)

일측에 서로 떨어져 있는 한 쌍의 인입구가 형성되어 있는 하우징,A housing having a pair of inlets spaced apart from each other on one side, 상기 한 쌍의 인입구 사이에 위치하며, 상기 한 쌍의 인입구 하측에 설치되어 있는 승강 장치, Located between the pair of inlets, the elevating device is provided below the pair of inlets, 상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있으며, 상기 한 쌍의 인입구를 개폐하는 인입구 개폐부,An inlet opening and closing part connected to the elevating device and movable up and down, opening and closing the pair of inlets; 상기 인입구 개폐부와 상기 하우징 사이의 밀착 압력을 측정하는 압력 센서, 그리고A pressure sensor for measuring a close contact pressure between the inlet opening and closing portion and the housing; 상기 압력 센서로부터 정보를 전달받고, 상기 인입구 개폐부가 기설정된 밀착 압력으로 상기 인입구를 막도록 제어하는 제어기 The controller receives the information from the pressure sensor, and controls the inlet opening and closing unit to block the inlet at a predetermined close contact pressure. 를 포함하는 진공차단 도어.Vacuum blocking door comprising a. 제1항에서,In claim 1, 상기 인입구 개폐부는, The inlet opening and closing portion, 상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널,A lifting panel connected to the piston of the lifting device, 상기 승강 패널의 양측에 각각 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널 및 제2 인입구 개폐패널, 그리고A first inlet opening and closing panel and a second inlet opening and closing panel respectively connected to both sides of the elevating panel, and 상기 승강 패널의 내부에 배치되어 있으며, 상기 제1 인입구 개폐패널 및 상기 제2 인입구 개폐패널을 움직여 상기 인입구를 개폐하는 복수의 인입구 개폐장치A plurality of inlet opening and closing devices which are disposed inside the elevating panel and move the first inlet opening and closing panel and the second inlet opening and closing panel to open and close the inlet. 를 포함하며,Including; 상기 인입구 개폐장치는 상기 제1 인입구 개폐패널 또는 상기 제2 인입구 개폐패널 중 어느 하나를 선택적으로 개폐할 수 있는 진공차단 도어.The inlet opening and closing device is a vacuum blocking door that can selectively open and close any one of the first inlet opening and closing panel or the second inlet opening and closing panel. 제2항에서,3. The method of claim 2, 상기 인입구 개폐장치는,The inlet opening and closing device, 상기 승강 패널의 내측에 길이 방향을 따라 배치되어 있는 공기 라인, 그리고An air line disposed in the longitudinal direction of the elevating panel, and 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 적어도 하나의 제1 피스톤, 그리고At least one first piston having one side connected to the air line and the other side connected to the first inlet opening and closing panel, and 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 적어도 하나의 제2 피스톤At least one second piston having one side connected to the air line and the other side connected to the second inlet opening and closing panel. 을 포함하며,Including; 상기 제1 및 제2 피스톤은 상기 공기 라인에서 공급되는 공기의 압력에 의해 움직여 상기 인입구를 막는The first and second pistons are moved by the pressure of the air supplied from the air line to block the inlet. 진공차단 도어.Vacuum shut off door. 제3항에서,4. The method of claim 3, 상기 적어도 하나의 제1 피스톤은 복수 개 형성되어 있으며, 상기 승강 패널의 길이 방향을 따라 기설정된 간격으로 배열되어 있는 진공차단 도어.A plurality of the at least one first piston is formed, the vacuum blocking door is arranged at a predetermined interval along the longitudinal direction of the elevating panel. 제3항에서, 4. The method of claim 3, 상기 인입구와 마주하는 상기 제1 인입구 개폐패널의 일면에는 패킹 부재가 형성되어 있으며, 상기 패킹 부재는 상기 인입구 테두리부를 따라 밀착되는 진공차단 도어.A packing member is formed on one surface of the first inlet opening / closing panel facing the inlet, and the packing member is in close contact with the inlet edge. 제5항에서,The method of claim 5, 상기 압력 센서는 상기 인입구 개폐패널과 상기 인입구 간의 밀착 압력을 측정하고, 상기 압력 센서의 정보에 따라 상기 공기라인에 공급되는 공기의 압력이 조절되는 진공차단 도어.The pressure sensor measures a close pressure between the inlet opening and closing panel and the inlet, and the pressure of the air is supplied to the air line in accordance with the information of the pressure sensor is a vacuum blocking door. 진공 차단 도어의 하우징에 형성된 인입구를 막는 것으로서,By blocking the inlet formed in the housing of the vacuum blocking door, 승강 장치, 그리고Lifting device, and 상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있는 인입구 개폐부Inlet opening and closing portion that is connected to the lifting device can move up and down 를 포함하며,Including; 상기 인입구 개폐부는,The inlet opening and closing portion, 상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널,A lifting panel connected to the piston of the lifting device, 상기 승강 패널의 일측에 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널,A first entrance opening and closing panel connected to one side of the elevating panel, 상기 승강 패널의 타측에 연결되어 있는 제2 인입구 개폐패널, A second inlet opening and closing panel connected to the other side of the elevating panel, 상기 승강 패널의 내부에 형성되어 있는 공기 라인,An air line formed in the elevating panel; 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제1 피스톤, 그리고A first piston having one side connected to the air line and the other side connected to the first inlet opening and closing panel; and 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제2 피스톤A second piston having one side connected to the air line and the other side connected to the second inlet opening and closing panel; 을 포함하고 있으며,It contains, 상기 인입구 개폐부와 상기 하우징 사이의 밀착 압력을 측정하는 압력 센서의 압력값에 근거하여, 상기 인입구 개폐부가 기설정된 밀착 압력으로 상기 인입구를 막도록 제어되는 진공차단 슬롯 밸브.And the inlet opening and closing portion is controlled to close the inlet opening with a predetermined contact pressure based on a pressure value of a pressure sensor that measures the adhesion pressure between the inlet opening and closing portion and the housing.
KR1020080120123A 2008-11-28 2008-11-28 The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same KR101088898B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080120123A KR101088898B1 (en) 2008-11-28 2008-11-28 The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080120123A KR101088898B1 (en) 2008-11-28 2008-11-28 The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100061214A KR20100061214A (en) 2010-06-07
KR101088898B1 true KR101088898B1 (en) 2011-12-07

Family

ID=42362021

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080120123A KR101088898B1 (en) 2008-11-28 2008-11-28 The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101088898B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8815616B2 (en) 2012-10-16 2014-08-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Slit valve unit and film forming apparatus having the same
KR102305418B1 (en) 2020-10-12 2021-09-29 코스텍시스템(주) Gatevalve

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101123299B1 (en) * 2010-02-04 2012-03-20 (주)엘티엘 Vacuum isolation apparatus and manufacturing equipment for display device having the same
KR101380178B1 (en) * 2011-03-03 2014-03-31 (주)엘티엘 Vacuum isolation apparatus for a high-degree vacuum situation
KR101313083B1 (en) * 2011-03-03 2013-10-01 (주)엘티엘 Vacuum isolation apparatus
KR101335666B1 (en) * 2011-04-13 2013-12-06 (주)엘티엘 Sealing device for the valve-door and vacuum isolation apparatus using it
US9086173B2 (en) 2012-07-19 2015-07-21 Vat Holding Ag Vacuum valve
US9086172B2 (en) 2012-07-19 2015-07-21 Vat Holding Ag Vacuum valve
WO2016139073A1 (en) 2015-03-05 2016-09-09 Vat Holding Ag Vacuum valve

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006070948A (en) 2004-08-31 2006-03-16 Nippon Valqua Ind Ltd Gate valve for vacuum
KR200413024Y1 (en) 2006-01-11 2006-04-05 박웅기 Vacuum Gate Valve
US20060225811A1 (en) 2005-03-30 2006-10-12 Alexei Sheydayi Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006070948A (en) 2004-08-31 2006-03-16 Nippon Valqua Ind Ltd Gate valve for vacuum
US20060225811A1 (en) 2005-03-30 2006-10-12 Alexei Sheydayi Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels
KR200413024Y1 (en) 2006-01-11 2006-04-05 박웅기 Vacuum Gate Valve

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8815616B2 (en) 2012-10-16 2014-08-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Slit valve unit and film forming apparatus having the same
KR102305418B1 (en) 2020-10-12 2021-09-29 코스텍시스템(주) Gatevalve

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100061214A (en) 2010-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101088898B1 (en) The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same
US6095741A (en) Dual sided slot valve and method for implementing the same
JP4642608B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing system
KR100822843B1 (en) Substrate lamination apparatus
US10612130B2 (en) Vacuum processing apparatus
KR20070026241A (en) Vacuum processing apparatus, method for discharging a vacuum prechamber and method for elevating the pressure of a vacuum prechamber
JP2005320622A (en) Convertible maintenance valve
KR101123299B1 (en) Vacuum isolation apparatus and manufacturing equipment for display device having the same
TWI471896B (en) Vacuum device, vacuum treatment system and vacuum chamber pressure control method
KR20110091687A (en) In/out door for a vacuum chamber
JP5926694B2 (en) Substrate relay device, substrate relay method, substrate processing apparatus
KR102267964B1 (en) Dodecagonal transfer chamber and processing system having same
KR101007876B1 (en) Vacuum gate valve
US9180445B2 (en) Vacuum processing apparatus having a means for preventing counter-pressure between chambers
CN112413151B (en) Valve device and film forming device
CN115264099A (en) Gate valve for semiconductor and flat panel display device
KR102133007B1 (en) Saving space type gate valve system
KR102131283B1 (en) Mono type gate valve system
KR102131284B1 (en) Door exchange type gate valve system
KR101468388B1 (en) Gate valve and FPD manufacturing machine having the same
KR20170025943A (en) Protection apparatus of gate valve
JP2001355745A (en) Gate valve
KR101739557B1 (en) Opening and closing apparatus of gate valve
KR20100051376A (en) Vacuum isolation door
KR20190136700A (en) Saving space type multi-plunger gate valve system

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150209

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151022

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170824

Year of fee payment: 6

R401 Registration of restoration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190827

Year of fee payment: 8

R401 Registration of restoration