KR100954212B1 - Vacuum gate valve - Google Patents

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KR100954212B1 KR1020070115481A KR20070115481A KR100954212B1 KR 100954212 B1 KR100954212 B1 KR 100954212B1 KR 1020070115481 A KR1020070115481 A KR 1020070115481A KR 20070115481 A KR20070115481 A KR 20070115481A KR 100954212 B1 KR100954212 B1 KR 100954212B1
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Abstract

진공챔버와 진공펌프 사이의 유체통로를 개폐하는 진공 게이트밸브가 개시된다. 본 발명의 진공 게이트 밸브는, 유체통로가 형성된 내벽에 유체통로와 수직한 방향으로 슬라이딩공간이 형성된 밸브몸체와, 상기 슬라이딩공간 내로 전후진됨에 따라 유체통로를 개폐하는 밸브판과, 상기 밸브판을 구동시키는 밸브판구동부와, 상기 유체통로에 평행한 방향으로 승하강됨에 따라 슬라이딩공간을 개폐하는 밀폐부재, 상기 밀폐부재를 구동시키는 밀폐부재구동부로 이루어지는 진공 게이트밸브에 있어서, 상기 밸브판은, 상기 슬라이딩공간 내에서 상하로 유동되도록 그 상부면과 하부면의 외곽에서 탄성 지지되며, 상기 슬라이딩공간 상부와 하부에 위치하는 밸브몸체의 대향하는 양쪽 내벽 단면에 의하여 승하강이 제한되고, 상기 밀폐부재는, 밸브판에 역압이 가해지는 경우에 밸브판과 밀폐부재가 상호 밀착되도록 하강시 상기 밀폐부재의 상단면은 상기 슬라이딩공간 하부에 위치하는 밸브몸체의 내벽 상단면 보다 낮게 형성되며, 그 상단에 실링재가 구비된다. 이에 따라 유입부와 유출부 사이의 압력차가 크거나, 특히 역압이 가해지는 경우에도 밸브의 기능이 원활하게 이루어지게 된다.A vacuum gate valve is disclosed that opens and closes a fluid passage between a vacuum chamber and a vacuum pump. The vacuum gate valve of the present invention includes a valve body having a sliding space formed in a direction perpendicular to the fluid passage on an inner wall where the fluid passage is formed, a valve plate for opening and closing the fluid passage as it is advanced back and forth into the sliding space, and the valve plate. In the vacuum gate valve comprising a valve plate driving unit for driving, a sealing member for opening and closing the sliding space as the lifting and lowering in a direction parallel to the fluid passage, and a sealing member driving unit for driving the sealing member, the valve plate, It is elastically supported on the outer side of the upper surface and the lower surface so as to flow up and down in the sliding space, the lifting and lowering is limited by the opposite inner wall cross-section of the valve body located in the upper and lower sliding space, the sealing member is When the back pressure is applied to the valve plate, the valve plate and the sealing member to be in close contact with each other when the sealing The upper end surface of the member is formed lower than the upper end surface of the inner wall of the valve body which is located below the sliding space, the sealing material is provided on the upper end. As a result, even when the pressure difference between the inlet and the outlet is large, or particularly a back pressure is applied, the valve functions smoothly.

밸브판, 밀폐부재, 역압, 탄성스프링, 압축공기유입부 Valve plate, sealing member, back pressure, elastic spring, compressed air inlet

Description

진공 게이트밸브{VACUUM GATE VALVE}VACUUM GATE VALVE

본 발명은 진공 게이트밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 게이트밸브에 있어서, 게이트 밸브의 개폐 동작을 원활하게 수행하기 위한 진공 게이트밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum gate valve, and more particularly to a vacuum gate valve for smoothly performing the opening and closing operation of the gate valve in the gate valve provided between the vacuum chamber and the vacuum pump.

반도체 공정에 사용되는 진공챔버의 진공을 유지하기 위하여 진공 게이트밸브가 사용된다. 진공 게이트밸브를 통하여 배출되는 진공챔버 내의 유체는 여러 가지 부산물이 포함된다. 이러한 부산물은 유체의 배출시 게이트밸브의 밸브판을 구동하기 위한 엑츄에이터의 링크나 밸브판이 슬라이딩되는 하우징의 내벽에 지속적으로 부착되어 밸브판의 전후진 작동을 방해하게 되므로, 밸브판이 슬라이딩 되는 공간을 개폐하는 밀폐부재를 필요로 하였다.Vacuum gate valves are used to maintain the vacuum of the vacuum chamber used in the semiconductor process. The fluid in the vacuum chamber discharged through the vacuum gate valve contains various by-products. These by-products are continuously attached to the link of the actuator for driving the valve plate of the gate valve or the inner wall of the housing in which the valve plate slides to prevent the forward and backward operation of the valve plate when the fluid is discharged, thereby opening and closing the space in which the valve plate slides. A sealing member was needed.

상기 밀폐부재에 대한 기술로서 대한민국 등록특허 제0620726호(발명의 명칭 : 유량조절밸브)와, 상기 특허에 있어서 게이트밸브가 갑자기 개방된 경우 압력차에 의한 밸브 손상을 방지하기 위한 대한민국 등록특허 제0717865호(발명의 명칭 : 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브) 등이 개시되어 있다.As a technology for the sealing member, the Republic of Korea Patent No. 0620726 (name of the invention: flow rate control valve), and the Republic of Korea Patent No. 0717865 for preventing the valve damage due to the pressure difference when the gate valve is suddenly opened in the patent (Name of the invention: improved anti-corrosion vacuum gate valve) and the like.

상기 '개선된 부식방지용 진공 게이트밸브'의 기술적 구성을 도 1(개방된 상 태)과 도 2(밀폐된 상태)을 참조하여 살펴보면, 진공챔버와 진공펌프에 연결되는 유체통로(110)가 형성되고, 상기 유체통로(110)를 직교방향으로 관통하는 슬라이딩공간(130)이 형성된 하우징(100); 상기 슬라이딩공간(130)내에 삽입되어서 상기 유체통로(110)를 개폐하는 밸브판(200); 상기 밸브판(200)을 구동시키는 제1액츄에이터(400); 상기 유체통로(110)와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이딩공간(130)을 개폐시키는 밀폐부재(500); 상기 밀폐부재(500)를 상하방향으로 이동시키는 제2액츄에이터(600);를 포함하는 진공 게이트밸브에 있어서, 상기 제2엑츄에이터(600)는 상기 밀폐부재(500)를 상방향으로 이동시키는 제2압축공기 유입부가 형성되어 있는 중공형 제1몸체(610);와 상기 밀폐부재(500)를 하방향으로 이동시키는 제 3압축공기 유입부가 형성되며, 상단에는 상기 진공챔버로부터 진공펌프로 유체를 이동시키는 하나 이상의 유량조절홈(625)이 형성된 중공형 제2몸체(620);를 포함하여 구성된다.Looking at the technical configuration of the 'improved corrosion prevention vacuum gate valve' with reference to Figure 1 (open state) and Figure 2 (closed state), the fluid passage 110 is connected to the vacuum chamber and the vacuum pump is formed A housing 100 having a sliding space 130 penetrating the fluid passage 110 in an orthogonal direction; A valve plate 200 inserted into the sliding space 130 to open and close the fluid passage 110; A first actuator 400 driving the valve plate 200; A sealing member 500 that vertically moves in a direction parallel to the fluid passage 110 and opens and closes the sliding space 130; And a second actuator (600) for moving the sealing member (500) in a vertical direction. The second actuator (600) includes a second for moving the sealing member (500) in a upward direction. A hollow first body 610 having a compressed air inlet formed therein; and a third compressed air inlet for moving the sealing member 500 downward; a fluid is moved from the vacuum chamber to the vacuum pump at an upper end thereof; It comprises; a hollow second body 620 is formed with one or more flow control grooves 625 to.

특히, 도 3에 도시된 바와 같이, 밸브의 개방시 밸브판(200) 상부의 유체 일부가 유량조절홈(625)을 통하여 하부로 배출되므로 갑작스런 밸브의 개방에 따라 밸브 손상을 방지할 수 있게 된다는 점에 발명의 주된 특징이 있다. 즉, 밸브가 밀폐된 상태에서 정상적인 경우 진공펌프 측의 압력이 진공챔버 측 압력보다 높으므로 압력차에 의하여 밸브판(200)을 상부로 밀게 되면서 기밀을 유지하는 기능을 하게 된다.In particular, as shown in Figure 3, when opening the valve part of the fluid in the upper valve plate 200 is discharged to the lower through the flow control groove 625 it is possible to prevent the valve damage due to the sudden opening of the valve There is a main feature of the invention in this respect. That is, when the valve is normally closed, the pressure of the vacuum pump side is higher than the vacuum chamber side pressure, so that the valve plate 200 is pushed upward by the pressure difference, thereby maintaining the airtightness.

또한, 밸브판(200) 상단에 탄성구(240)가 구비되어 밸브가 밀폐된 상태에서 밀폐부재(500)의 하강시 밸브판(200)이 탄성력에 의하여 하강하므로 밸브판(200)의 전후진시 하우징(100)과의 간섭이 없게 된다는 점에서 다른 특징이 있다.In addition, since the elastic plate 240 is provided at the upper end of the valve plate 200 and the valve plate 200 descends by the elastic force when the sealing member 500 descends while the valve is closed, the valve plate 200 moves forward and backward. Another feature is that there is no interference with the housing 100.

그러나 위 종래 기술은 다음과 같은 점에 문제점이 있다.However, the prior art has a problem in the following points.

첫째, 밸브가 밀폐된 상태에서 정상적인 경우를 제외한 비정상적인 경우 즉, 유입부 내부 압력이 유출부 내부 압력보다 높게 되는 경우(이하에서는, 이러한 경우를 '역압(Back Pressure)'이라 한다.) 밸브판(200)이 하부로 밀리면서 유량조절홈(625)를 통하여 진공챔버 내의 유체가 배출되므로 기밀을 유지할 수 없는 문제점이 있다.First, when the valve is in an abnormal state except the normal case, that is, the inlet pressure is higher than the outlet pressure (hereinafter, this case is referred to as 'Back Pressure') valve plate ( As the 200 is pushed downward, the fluid in the vacuum chamber is discharged through the flow regulating groove 625, so there is a problem in that airtightness cannot be maintained.

둘째, 밸브가 밀폐된 상태에서 정상적인 경우 압력차에 의하여 밸브판(200)이 상부로 힘을 받게 되는데, 압력차가 매우 큰 상태에서는 압력차에 의하여 밸브판(200)을 상부로 미는 힘이 탄성구(240)가 밸브판(200)을 하부로 미는 힘보다 크게 되어, 밸브를 개방하기 위하여 밀폐부재(500)를 하강하더라도 밸브판(200)의 상단이 하우징(100)과 맞닿게 되어 밸브판(200)의 후진을 원활하게 수행할 수 없게 된다.Second, when the valve is normally closed, the valve plate 200 is forced upward by the pressure difference. In the state where the pressure difference is very large, the force pushing the valve plate 200 upward by the pressure difference is the elastic sphere. 240 is greater than the force pushing the valve plate 200 downward, even if the sealing member 500 is lowered in order to open the valve, the upper end of the valve plate 200 abuts the housing 100 to the valve plate ( The reverse of 200 may not be performed smoothly.

본 발명은 상술한 배경기술 중 종래 기술상의 문제점을 해결하고자, 밸브를 개방하고자 하는 경우 밸브판 상하의 압력차를 줄여 밸브판의 후진이 원활하게 이루어지도록 함과 동시에, 밸브가 밀폐된 상태에서 비정상적인 역압이 발생되어 밸브판이 하방으로 이동하더라도 기밀을 유지하도록 밀폐부재의 구성을 개선한 진공 게이트밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the problems of the prior art of the above-mentioned background, when the valve to open the pressure plate to reduce the pressure difference between the upper and lower valve plate to facilitate the reverse, at the same time abnormal back pressure in the closed state valve It is an object of the present invention to provide a vacuum gate valve having an improved structure of the sealing member so that the valve plate is kept airtight even if the valve plate is moved downward.

상술한 바와 같이 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 진공 게이트밸브는, 유체통로가 형성된 내벽에 유체통로와 수직한 방향으로 슬라이딩공간이 형성된 밸브몸체와, 상기 슬라이딩공간 내로 전후진됨에 따라 유체통로를 개폐하는 밸브판과, 상기 밸브판을 구동시키는 밸브판구동부와, 상기 유체통로에 평행한 방향으로 승하강됨에 따라 슬라이딩공간을 개폐하는 밀폐부재, 상기 밀폐부재를 구동시키는 밀폐부재구동부로 이루어지는 진공 게이트밸브에 있어서, 상기 밸브판은, 상기 슬라이딩공간 내에서 상하로 유동되도록 그 상부면과 하부면의 외곽에서 탄성 지지되며, 상기 슬라이딩공간 상부와 하부에 위치하는 밸브몸체의 대향하는 양쪽 내벽 단면에 의하여 승하강이 제한되고, 상기 밀폐부재는, 밸브판에 역압이 가해지는 경우에 밸브판과 밀폐부재가 상호 밀착되도록 하강시 상기 밀폐부재의 상단면은 상기 슬라이딩공간 하부에 위치하는 밸브몸체의 내벽 상단면 보다 낮게 형성되며, 그 상단에 실링재가 구비되는 것을 특징으로 한다.As described above, the vacuum gate valve of the present invention for solving the problems of the background art, the valve body is formed with a sliding space in the direction perpendicular to the fluid passage on the inner wall in which the fluid passage is formed, the fluid as it is advanced back and forth into the sliding space A valve plate for opening and closing a passage, a valve plate driving portion for driving the valve plate, a sealing member for opening and closing a sliding space as it moves up and down in a direction parallel to the fluid passage, and a sealing member driving portion for driving the sealing member. In the vacuum gate valve, the valve plate is elastically supported on the outer side of the upper surface and the lower surface so as to flow up and down in the sliding space, the both inner wall cross-section of the valve body located in the upper and lower sliding space The lifting and lowering is restricted, and the sealing member is valored when a back pressure is applied to the valve plate. The lower surface of the sealing member is lower than the upper surface of the inner wall of the valve body positioned below the sliding space when the lower plate and the sealing member is in close contact with each other, characterized in that the sealing material is provided on the upper end.

또한, 본 발명의 상기 실링재는 오링인 것을 특징으로 한다.In addition, the sealing material of the present invention is characterized in that the O-ring.

또한, 본 발명의 상기 밀폐부재구동부는, 상기 밀폐부재에 탄성력을 가하는 탄성스프링 또는 밀폐부재에 압축력을 가하는 압축공기유입부로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the sealing member driving unit of the present invention is characterized in that it is composed of an elastic spring for applying an elastic force to the sealing member or a compressed air inlet for applying a compressive force to the sealing member.

또한, 본 발명의 상기 밀폐부재를 하강시키도록 밀폐부재 외측 상부와 밸브몸체 사이에 적어도 1 이상의 탄성스프링이 삽입되고, 상기 밀폐부재를 승강시키도록 밀폐부재 외측 하부와 밸브몸체 사이의 공간에 압축공기유입부가 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, at least one elastic spring is inserted between the upper portion of the sealing member and the valve body to lower the sealing member of the present invention, and the compressed air in the space between the lower portion of the sealing member and the valve body to lift the sealing member. Characterized in that the inlet is formed.

또한, 본 발명의 상기 탄성스프링은, 상기 밀폐부재 외측 상부와 밸브몸체 사이의 적어도 3 곳에 등간격을 두고 설치되는 코일스프링 또는 판스프링인 것을 특징으로 한다.In addition, the elastic spring of the present invention is characterized in that the coil spring or the leaf spring is installed at equal intervals between at least three places between the upper portion of the sealing member and the valve body.

본 발명의 진공 게이트밸브에 의하면, 밸브의 개방시 유입부 내부의 유체와 유출부 내부의 압력차가 크더라도 밸브판을 슬라이드공간의 중앙에 위치시킬 수 있으므로 밸브의 개방이 원활하게 이루어지며, 밸브판에 역압이 가해지는 경우에도 밸브판과 밀폐부재가 상호 밀착되어 기밀을 유지함은 물론 밸브의 개방이 원활하게 이루어지는 효과가 있게 된다.According to the vacuum gate valve of the present invention, the valve plate can be positioned in the center of the slide space even if the pressure difference between the fluid in the inlet and the outlet is large when the valve is opened, so that the valve is smoothly opened. Even when a back pressure is applied to the valve plate and the sealing member, the valve plate and the sealing member are in close contact with each other, as well as maintaining the airtightness of the valve.

이하에서는 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 게이트밸브의 개방상태를 나타내는 개략 구성도이고, 도 5는 슬라이딩공간 내에 밸브판이 진입된 상태를 나타내는 단면도이다.Figure 4 is a schematic configuration diagram showing an open state of the gate valve according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a cross-sectional view showing a state in which the valve plate entered the sliding space.

본 발명의 진공 게이트밸브는, 도 4, 5에 도시된 바와 같이, 기본적으로 유체통로(11)와 유체통로(11)의 수직한 방향으로 슬라이딩공간(14)이 유체통로(11) 외주연에서 연장 형성된 밸브몸체(10)와, 상기 슬라이딩공간(14) 내에서 전후진됨에 따라 유체통로(11)를 개폐하는 밸브판(20)과, 상기 밸브판(20)을 구동시키는 밸브판구동부(40)와, 상기 유체통로(11)에 평행한 방향으로 승하강됨에 따라 슬라이딩공간(14)을 개폐하는 밀폐부재(50), 상기 밀폐부재(50)를 구동시키는 밀폐부재구동부(60)로 이루어진다.In the vacuum gate valve of the present invention, as shown in FIGS. 4 and 5, the sliding space 14 in the vertical direction of the fluid passage 11 and the fluid passage 11 is basically formed at the outer circumference of the fluid passage 11. An extended valve body 10, a valve plate 20 for opening and closing the fluid passage 11 as it is advanced back and forth within the sliding space 14, and a valve plate driver 40 for driving the valve plate 20. ), And a sealing member 50 for opening and closing the sliding space 14 and a sealing member driving part 60 for driving the sealing member 50 as the lifting and lowering in a direction parallel to the fluid passage 11.

이와 같은 기본적인 구성은 배경기술로서 설명한 종래의 기술과 동일하므로, 이하에서는 종래 기술과 다른 구성과 그에 따른 작용 효과를 중심으로 하여 설명한다.Since this basic configuration is the same as the conventional technology described as the background art, the following description will focus on the configuration different from the prior art and its effects.

본 발명의 특징적인 구성으로 다음과 같은 점이 있다.A characteristic configuration of the present invention has the following points.

(1) 상기 슬라이딩공간(14) 내로 밸브판(20)이 삽입된 상태에서 밸브판(20)이 유체통로(11) 내의 압력차 또는 밀폐부재(50)의 상승력에 의하여 상하로 승하강될 수 있도록 구성된다는 점에 있다.(1) In the state where the valve plate 20 is inserted into the sliding space 14, the valve plate 20 may be moved up and down by the pressure difference in the fluid passage 11 or the lifting force of the sealing member 50. It is configured to be.

구체적으로, 상기 밸브판(20)은 그 상부면과 하부면의 외곽에서 각각 스프링(22)이 스프링체결부재(21)에 의하여 탄성 지지된다. 따라서 밸브판(20)의 상부면 또는 하부면에 외력이 작용하는 경우 즉, 유체통로(11)를 구성하는 유입부(12)와 유출부(13)의 압력차가 발생되거나, 밀폐부재(50)가 상승하는 경우 스프링(22) 에 의하여 상부 또는 하부 신축됨에 따라 승하강 가능하도록 구성된다. 본 발명의 실시예에 의하면 도 4에 도시된 바와 같이 상기 밸브판(20)은 사각 플레이트 형상을 가지며, 스프링(22)과 스프링체결부재(21)는 모서리 4군데에 설치된다. Specifically, the valve plate 20 is the spring 22 is elastically supported by the spring fastening member 21 on the outer side of the upper surface and the lower surface, respectively. Therefore, when an external force acts on the upper or lower surface of the valve plate 20, that is, a pressure difference occurs between the inlet 12 and the outlet 13 constituting the fluid passage 11, or the sealing member 50. When it rises, it is configured to be able to move up and down as it is stretched up or down by the spring 22. According to the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 4, the valve plate 20 has a rectangular plate shape, and the spring 22 and the spring fastening member 21 are installed at four corners.

이때, 상기 밸브판(20)은 슬라이딩공간(14)의 상부와 하부에 위치하는 밸브몸체(10)의 대향하는 양쪽 내벽 단면(15a, 15b)에 의하여 승하강이 제한된다. 따라서 밸브판(20)은 밸브판구동부(40)에 의하여 슬라이딩공간(14) 공간 내를 전후진하고, 전진한 상태 즉, 슬라이딩공간(14)에 삽입된 상태에서 승하강하도록 구성된다.At this time, the valve plate 20 is lifted and lowered by the opposite inner wall end face (15a, 15b) of the valve body 10 located in the upper and lower portions of the sliding space (14). Therefore, the valve plate 20 is configured to move up and down in the sliding space 14 space by the valve plate driving part 40 and move up and down, that is, in the state inserted into the sliding space 14.

(2) 본 발명의 밀폐부재(50)가 최저 위치로 하강시 밀폐부재(50)의 상단면은, 슬라이딩공간(14) 하부에 위치하는 밸브몸체(10)의 내벽 단면(15a) 보다 낮게, 즉 하부에 위치하는 밸브몸체(10)의 내벽 상단면 보다 낮게 형성된다는 점에 있다.(2) When the sealing member 50 of the present invention is lowered to the lowest position, the upper end surface of the sealing member 50 is lower than the inner wall end surface 15a of the valve body 10 located below the sliding space 14, In other words, it is formed lower than the upper end surface of the inner wall of the valve body 10 located in the lower portion.

이는 슬라이딩공간(14)에 삽입된 밸브판(20) 상부면 즉, 유입부(12)에서 유출부(13) 방향으로 압력(이하에서는 이를 '역압(Back Pressure)'이라 함)이 작용하는 경우를 대비하기 위한 것이다. 구체적으로, 상기 역압이 작용하는 상태에서 밸브를 개방하고자 하는 경우 밸브판(20)은 하부의 밀폐부재(50)와 밀착되어 밸브판(20)이 원활하게 후진할 수 없으며, 만약 밸브판(20)을 강제적으로 후진시키는 경우 급격한 압력차로 인하여 밸브의 고장을 초래하므로, 이러한 역압이 작용하는 경우를 대비하기 위한 설계가 필요한 것이다.This is when the pressure (hereinafter referred to as 'back pressure') in the direction of the valve plate 20 inserted into the sliding space 14, that is, in the inlet portion 12 toward the outlet portion 13 (hereinafter referred to as 'back pressure') To prepare. Specifically, when the valve plate 20 is to be opened in the state in which the reverse pressure is applied, the valve plate 20 is in close contact with the sealing member 50 at the lower portion, so that the valve plate 20 cannot be smoothly reversed, and if the valve plate 20 is Forcibly reversing) causes a breakdown of the valve due to a sudden pressure difference, so it is necessary to design for the case of such a back pressure.

이와 같은 역압이 작용하는 상태에서 상기 밀폐부재(50)가 최저 위치로 하강하게 되면, 유입부(12) 내의 유체가 슬라이딩공간(14)을 거쳐 유출부(13) 내로 소량 배출됨에 따라 유입부(12)와 유출부(13) 상호간의 압력차를 점차 감소됨에 따라 밸브판(20)은 탄성력에 의하여 슬라이딩공간(14) 중앙에 위치하게 되므로 밸브판(20)의 후진이 원활하게 이루어지게 된다.When the sealing member 50 is lowered to the lowest position in such a state that the reverse pressure is applied, the inlet portion (10) is discharged as a small amount of fluid in the inlet portion 12 is discharged into the outlet portion 13 through the sliding space (14). As the pressure difference between 12 and the outlet part 13 is gradually reduced, the valve plate 20 is positioned at the center of the sliding space 14 by the elastic force, so that the reverse of the valve plate 20 is smoothly performed.

한편, 상기 밀폐부재(50)의 상단에는 실링재가 설치된다. 본 발명의 실시예에 따르면, 실링재로서 오링을 사용하였으나 이에 한정되지 않음은 물론이다. 이는 밸브의 밀폐상태에서 밸브판(20) 하부면과 밀폐부재(50) 상단의 오링을 밀착시켜 완벽한 기밀을 유지하기 위함이다.On the other hand, a sealing material is installed on the upper end of the sealing member 50. According to the embodiment of the present invention, the O-ring is used as the sealing material, but is not limited thereto. This is in order to maintain perfect air tightness by bringing the O-ring of the lower surface of the valve plate 20 and the sealing member 50 in close contact with the valve.

(3) 상기 밀폐부재(50)를 승하강시키기 위한 밀폐부재구동부(60)는, 탄성력을 가하는 탄성스프링(61)으로 구성하거나, 외부로부터 공급되는 압축공기유입부(62)를 형성할 수 있으며, 이들 구성을 조합하여 사용할 수 있다.(3) The sealing member driving part 60 for raising and lowering the sealing member 50 may be constituted by an elastic spring 61 that exerts an elastic force, or may form a compressed air inlet 62 that is supplied from the outside. And these structures can be used in combination.

본 발명의 일실시예에 의하면, 밀폐부재(50)를 하강시키기 위한 구성으로서 밀폐부재(50)의 외측 상부와 밸브몸체(10) 사이에 탄성스프링(61)을 삽입되고, 반대로 밀폐부재(60)를 상승시키기 위한 구성으로서 밀폐부재(50)의 외측 하부와 밸브몸체(10) 사이에 압축공기유입부(62)를 형성된다. 따라서 상기 압축공기유입부(62)로 압축공기를 공급하게 되면 밀폐부재(50)는 상승하여 밸브판(20)과 밀착되며, 밸브판(20)에 외력이 가해지지 않은 상태에서는 상기 탄성스프링(61)에 의하여 밸브판(20)이 하강하게 된다.According to one embodiment of the present invention, the elastic spring 61 is inserted between the outer upper portion of the sealing member 50 and the valve body 10 as a configuration for lowering the sealing member 50, on the contrary, the sealing member 60 Compressed air inlet portion 62 is formed between the outer lower portion of the sealing member 50 and the valve body 10 as a configuration for raising (). Therefore, when compressed air is supplied to the compressed air inlet 62, the sealing member 50 is raised to be in close contact with the valve plate 20, and the elastic spring is not applied to the valve plate 20. The valve plate 20 is lowered by 61.

한편, 상기 탄성스프링(61)은 도 5에 도시된 바와 같이, 밀폐부재(50)의 외측 상부와 밸브몸체(10) 사이에 유체통로(11)보다 직경이 큰 하나의 코일스프링으로 구성할 수 있으나, 이에 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. Meanwhile, as shown in FIG. 5, the elastic spring 61 may be configured as one coil spring having a larger diameter than the fluid passage 11 between the outer upper portion of the sealing member 50 and the valve body 10. However, the present invention is not limited thereto.

본 발명의 다른 일실시예에 의하면, 밀폐부재(50) 외측 상부와 밸브몸체(10) 사이의 적어도 3 곳에 등간격을 두고 판스프링(63)을 설치하고, 판스프링(63)의 상단에 형성된 홀더(64)가 밀폐부재(50)를 하강시키는 탄성력을 부여하게 할 수도 있다. 이때, 판스프링(63)을 3 곳 이상 설치하는 이유는 밀폐부재(50)에 균등한 힘을 가하기 위한 것이다. 도 8은 상기 판스프링(63) 6개를 등간격을 두고 설치한 상태를 나타낸다.According to another embodiment of the present invention, the plate spring 63 is installed at equal intervals between at least three places between the upper portion of the sealing member 50 and the valve body 10, and formed at the upper end of the plate spring 63. The holder 64 may be given an elastic force that lowers the sealing member 50. At this time, the reason for installing three or more leaf springs 63 is to apply an even force to the sealing member (50). 8 shows a state in which the six leaf springs 63 are installed at equal intervals.

도 9는 상기 판스프링(63)을 설치한 게이트밸브를 나타내는데, 그 좌측 부분은 판스프링(63)의 탄성력에 의하여 밀폐부재(50)를 하강시킨 상태에서 밸브판(20)이 전진한 상태를 나타내고, 우측 부분은 밸브판(20)이 후진한 상태에서 압축공기유입부(62)로 압축공기가 공급되어 판스프링(63)의 탄성력을 이기고 밀폐부재(50)가 상승한 상태를 나타낸다.9 illustrates a gate valve in which the leaf spring 63 is installed, and the left part of the valve valve 20 moves forward while the sealing member 50 is lowered by the elastic force of the leaf spring 63. The right part shows a state in which the compressed air is supplied to the compressed air inlet 62 while the valve plate 20 is reversed to overcome the elastic force of the leaf spring 63 and the sealing member 50 is raised.

이하에서는 상술한 바와 같이 구성된 본 발명 중 탄성스프링(61)으로서 하나의 코일스프링을 사용한 진공 게이트밸브를 이용한 밸브의 개폐동작을 도 6a 내지 도 6b와, 도 5를 참조하여 설명한다. 참고로, 도 9와 같이 판스프링(63)을 사용한 게이트밸브의 경우에도 그 개폐동작은 이하의 설명과 동일하므로 그 설명은 생략한다.Hereinafter, the opening / closing operation of a valve using a vacuum gate valve using one coil spring as the elastic spring 61 of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 6A to 6B and FIG. 5. For reference, even in the case of the gate valve using the leaf spring 63 as shown in FIG. 9, the opening and closing operation is the same as the description below, the description thereof will be omitted.

먼저 도 6a에 도시된 바와 같이, 밸브가 개방된 상태에서는 압축공기유입부(62)로 압축공기가 공급되어 밀폐부재(50)는 상승하여 상단이 슬라이드공간(14) 상부의 밸브몸체(10)의 내벽 단면(15b)에 밀착되어, 슬라이드공간(14)은 밀폐된 상태를 유지하게 된다.First, as shown in FIG. 6A, in the open state of the valve, compressed air is supplied to the compressed air inlet part 62 so that the sealing member 50 is raised so that the upper end of the valve body 10 is located above the slide space 14. In close contact with the inner wall end surface 15b of the slide space 14 to maintain a closed state.

다음, 도 6b에 도시된 바와 같이, 밸브의 밀폐를 위하여 압축공기 유입을 차 단하면 탄성스프링(61)의 탄성력에 의하여 밀폐부재(50)는 하강하게 되어 슬라이드 공간(14)이 개방된다.Next, as shown in FIG. 6B, when the compressed air is blocked to close the valve, the sealing member 50 is lowered due to the elastic force of the elastic spring 61 to open the slide space 14.

그 다음, 도 6c에 도시된 바와 같이, 밸브판(20)이 전진하여 슬라이드공간(14) 내부 중앙으로 삽입된다.Then, as shown in FIG. 6C, the valve plate 20 is advanced and inserted into the inner center of the slide space 14.

마지막으로, 도 6d에 도시된 바와 같이, 압축공기유입부(62)에 압축공기를 공급하게 되면 밀폐부재(50)는 상승하면서 상부의 탄성스프링(61)을 압축시키고, 이어서 밸브판(20) 상부면 외곽에 설치된 스프링(22)을 압축시킴으로써 유체통로(11)의 기밀을 유지하며 밸브의 밀폐 동작을 완료하게 된다.Finally, as shown in FIG. 6D, when compressed air is supplied to the compressed air inlet 62, the sealing member 50 rises to compress the upper elastic spring 61 and then the valve plate 20. By compressing the spring 22 installed on the outer surface of the upper surface to maintain the airtight of the fluid passage 11 to complete the closing operation of the valve.

이때 밸브판(20) 하부에 표시된 3개의 화살표는 밸브판(20)에 미치는 힘의 방향을 나타내는데, 이는 통상 진공상태를 유지하는 진공챔버(미도시됨)와 연결된 유입부(12)와 진공펌프(미도시됨)와 연결된 유출부(13) 간의 압력차에 기인한다.At this time, the three arrows displayed at the bottom of the valve plate 20 indicate the direction of the force applied to the valve plate 20, which is usually connected to the inlet part 12 and the vacuum pump connected to the vacuum chamber (not shown) to maintain a vacuum state. This is due to the pressure difference between the outlet 13 connected (not shown).

이상의 밸브의 밀폐 동작과는 반대로 밸브의 개방 동작은, 이상에서 동작과는 반대로 도 6d → 도 6c → 도 6b → 도 6a 순으로 진행된다. 본 발명에 의하면, 도 6d와 같이 밸브판(20) 하부에서 상부로 힘이 작용하더라도, 도 6c와 같이 밀폐부재(50)가 하강함에 따라 유출부(13) 내부의 유체가 슬라이딩공간(14)를 거쳐 유입부(12)로 배출되므로 유출부(13)와 유입부(12)의 압력차가 해소되어 밸브판(20)은 슬라이딩 공간의 중앙에 위치하게 된다. 따라서 밸브판(20)이 아무런 간섭없이 후진할 수 있어 밸브의 개방 역시 원활하게 이루어진다.Contrary to the above-mentioned valve closing operation, the valve opening operation proceeds in the order of Figs. 6D → 6C → 6B → 6A in contrast to the above operation. According to the present invention, even if a force acts from the bottom of the valve plate 20 to the upper portion as shown in FIG. Since it is discharged to the inlet 12 through the pressure difference between the outlet 13 and the inlet 12 is eliminated so that the valve plate 20 is located in the center of the sliding space. Therefore, the valve plate 20 can be reversed without any interference, so the valve is opened smoothly.

한편, 도 7a에 도시된 바와 같이, 유입부(12)와 유출부(13) 사이의 압력차로 인하여 밸브판(20)에 밸브판(20) 하부 외측의 스프링(22)의 탄성력보다 큰 역압이 가해지는 경우, 밸브판(20)의 하부면은 슬라이드공간(14) 하부의 내벽 단면(15a)에 밀착된다. 그러나 이러한 역압은 도 7b에 도시된 바와 같이, 밀폐부재(50) 외측 상부의 탄성스프링(61)에 의하여 밀폐부재(50)가 하강함에 따라 유입부(12) 내부의 고압의 유체가 슬라이딩공간(14)을 거쳐 유출부(13) 내부로 배출됨에 따라 유입부(12)와 유출부(13) 상호간의 압력차가 해소된다. 그 후, 도 7c에 도시된 바와 같이, 밸브판(20) 하부면 외측에 설치된 스프링(22)의 탄성력에 의하여 밸브판(20)은 슬라이딩공간(14)의 중앙에 위치하게 된다. 따라서 이후의 밸브의 개방을 위한 밸브판(20)의 후진이 원활하게 이루어질 수 있게 된다.On the other hand, as shown in Figure 7a, due to the pressure difference between the inlet portion 12 and the outlet portion 13 back pressure greater than the elastic force of the spring 22 of the lower outer side of the valve plate 20 to the valve plate 20 When applied, the lower surface of the valve plate 20 is in close contact with the inner wall end face 15a of the lower slide space 14. However, as shown in FIG. 7B, as the sealing member 50 is lowered by the elastic spring 61 of the upper part of the sealing member 50, the high pressure fluid inside the inlet part 12 slides in the sliding space ( The pressure difference between the inlet 12 and the outlet 13 is eliminated as it is discharged into the outlet 13 through 14. Thereafter, as shown in FIG. 7C, the valve plate 20 is positioned at the center of the sliding space 14 by the elastic force of the spring 22 provided outside the lower surface of the valve plate 20. Therefore, the reverse of the valve plate 20 for the later opening of the valve can be made smoothly.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용은 단지 본 발명의 구체적인 예시적인 것이며, 본 고안의 기술적 사상의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다.As described above, specific details for the implementation of the present invention are merely specific examples of the present invention, and various modifications may be made without departing from the scope of the technical idea of the present invention.

본 발명의 진공 게이트밸브는 진공챔버에 수반되는 장치로서 특히 반도체와 LCD 장비산업에 유용하게 이용될 수 있다.The vacuum gate valve of the present invention can be usefully used in the semiconductor and LCD equipment industry as a device accompanying a vacuum chamber.

도 1은 종래 게이트밸브의 개방상태를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view showing an open state of a conventional gate valve.

도 2는 종래 게이트밸브의 밀폐상태를 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view showing a sealed state of a conventional gate valve.

도 3은 종래 게이트밸브의 밀폐상태에서 개방을 위하여 밀폐부재를 하강시 유량조절홈을 통하여 유체가 이동하는 상태를 나타내는 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing a state in which the fluid moves through the flow control groove when lowering the sealing member for opening in a closed state of the conventional gate valve.

도 4와 도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 게이트밸브의 개방상태를 나타내는 개략 구성도와, 슬라이딩공간 내로 밸브판이 전진한 상태를 나타내는 단면도.4 and 5 are schematic configuration diagrams showing an open state of a gate valve according to an embodiment of the present invention, and a sectional view showing a state in which the valve plate is advanced into the sliding space.

도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 일실시예에 의한 게이트밸브의 작동 순서를 나타내는 단면도.6a to 6d are cross-sectional views showing the operation sequence of the gate valve according to an embodiment of the present invention.

도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 일실시예에 의한 게이트밸브의 밀폐상태에서 역압이 걸린 경우 작동 순서를 나타내는 단면도.7A to 7C are cross-sectional views showing an operation sequence when a back pressure is applied in a closed state of a gate valve according to an embodiment of the present invention.

도 8과 도 9는 본 발명의 다른 일실시예로서 밀폐부재 외측 상부와 밸브몸체 사이에 판스프링이 설치된 상태를 나타내는 개략 구성도와, 슬라이딩공간 내로 밸브판이 전진한 상태(좌측)와 후진한 상태(우측)을 함께 나타낸 단면도.8 and 9 are schematic configuration diagrams showing a state in which the leaf spring is installed between the upper portion of the sealing member and the valve body as another embodiment of the present invention, and the state in which the valve plate is advanced (left) and retracted into the sliding space ( Cross-sectional view of the right side).

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10 : 밸브몸체10: valve body

11 : 유체통로11: fluid passage

12 : 유입부12: inlet

13 : 유출부13: outlet

14 : 슬라이딩공간14: sliding space

15a, 15b : 내벽 단면15a, 15b: inner wall cross section

20 : 밸브판20: valve plate

21 : 스프링체결부재21: spring fastening member

22 : 스프링22: spring

30 : 링크부재30: link member

40 : 밸브판구동부40: valve plate driving part

50 : 밀폐부재50: sealing member

60 : 밀폐부재구동부60: sealing member drive unit

61 : 탄성스프링61: elastic spring

62 : 압축공기유입부62: compressed air inlet

63 : 판스프링63: leaf spring

Claims (5)

유체통로가 형성된 내벽에 유체통로와 수직한 방향으로 슬라이딩공간이 형성된 밸브몸체와, 상기 슬라이딩공간 내로 전후진됨에 따라 유체통로를 개폐하는 밸브판과, 상기 밸브판을 구동시키는 밸브판구동부와, 상기 유체통로에 평행한 방향으로 승하강됨에 따라 슬라이딩공간을 개폐하는 밀폐부재, 상기 밀폐부재를 구동시키는 밀폐부재구동부로 이루어지는 진공 게이트밸브에 있어서,A valve body having a sliding space formed in a direction perpendicular to the fluid passage on the inner wall where the fluid passage is formed, a valve plate for opening and closing the fluid passage as it is advanced back and forth into the sliding space, a valve plate driving portion for driving the valve plate, and In the vacuum gate valve comprising a sealing member for opening and closing the sliding space as the lifting and lowering in a direction parallel to the fluid passage, and a sealing member driving unit for driving the sealing member, 상기 밸브판은, 상기 슬라이딩공간 내에서 상하로 유동되도록 그 상부면과 하부면의 외곽에서 탄성 지지되며, 상기 슬라이딩공간 상부와 하부에 위치하는 밸브몸체의 대향하는 양쪽 내벽 단면에 의하여 승하강이 제한되고,The valve plate is elastically supported on the outer side of the upper surface and the lower surface so as to flow up and down in the sliding space, the lifting and lowering is limited by both inner wall sections of the valve body located on the upper and lower sliding space. Become, 상기 밀폐부재는, 밸브판에 역압이 가해지는 경우에 밸브판과 밀폐부재가 상호 밀착되도록 하강시 상기 밀폐부재의 상단면은 상기 슬라이딩공간 하부에 위치하는 밸브몸체의 내벽 상단면 보다 낮게 형성되며, 그 상단에 실링재가 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브.When the sealing member is lowered such that the valve plate and the sealing member are in close contact with each other when a back pressure is applied to the valve plate, the upper end surface of the sealing member is formed lower than the upper end surface of the inner wall of the valve body located below the sliding space. Vacuum gate valve, characterized in that the sealing material is provided on the top. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 실링재는 오링인 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브.The sealing material is a vacuum gate valve, characterized in that the O-ring. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 밀폐부재구동부는, 상기 밀폐부재에 탄성력을 가하는 탄성스프링 또는 밀폐부재에 압축력을 가하는 압축공기유입부로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브.The sealing member driving unit is a vacuum gate valve, characterized in that composed of an elastic spring for applying an elastic force to the sealing member or a compressed air inlet for applying a compressive force to the sealing member. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 밀폐부재를 하강시키도록 밀폐부재 외측 상부와 밸브몸체 사이에 적어도 1 이상의 탄성스프링이 삽입되고, 상기 밀폐부재를 승강시키도록 밀폐부재 외측 하부와 밸브몸체 사이의 공간에 압축공기유입부가 형성된 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브.At least one elastic spring is inserted between the upper end of the sealing member and the valve body to lower the sealing member, and the compressed air inlet is formed in the space between the lower end of the sealing member and the valve body to raise and lower the sealing member. Vacuum gate valve. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 탄성스프링은, 상기 밀폐부재 외측 상부와 밸브몸체 사이의 적어도 3 곳에 등간격을 두고 설치되는 코일스프링 또는 판스프링인 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브.The elastic spring is a vacuum gate valve, characterized in that the coil spring or a leaf spring is installed at at least three places between the upper portion of the sealing member and the valve body at equal intervals.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160132155A (en) 2015-05-06 2016-11-17 주식회사 에스알티 Gate valves
CN111577912A (en) * 2019-02-19 2020-08-25 茶山株式会社 Vacuum sluice valve
KR20200102716A (en) 2019-02-22 2020-09-01 주식회사 티에스디 Gate valve and gate valve control system
KR20200123970A (en) 2019-04-23 2020-11-02 (주)다산이엔지 Vacuum Gate Valve
KR20220129788A (en) 2021-03-17 2022-09-26 정승수 Vacuum gate valve with multistage slow pump valve
KR20230032030A (en) 2021-08-30 2023-03-07 (주)배큠올 Gate valve with contamination-protection function

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100979688B1 (en) * 2010-02-03 2010-09-02 주식회사 에스알티 A gate valve
TWI548107B (en) * 2014-08-25 2016-09-01 財團法人工業技術研究院 A sealing assembly, apparatus thereof and leak detection method thereof
CN109737215B (en) * 2019-02-12 2024-03-22 河南能微新材料科技股份有限公司 Special bidirectional sealing high-temperature gate valve for nano materials

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4383546A (en) 1980-12-01 1983-05-17 Ecolaire Incorporated High temperature, high pressure valve
JPH11257512A (en) 1998-03-13 1999-09-21 Tlv Co Ltd Wafer check valve
KR100492099B1 (en) * 2000-12-14 2005-06-02 이리에 고켕 가부시키가이샤 Gate valve
KR100717865B1 (en) * 2006-02-01 2007-05-14 주식회사 에스티에스 Improved protection vacuum gate valve

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4383546A (en) 1980-12-01 1983-05-17 Ecolaire Incorporated High temperature, high pressure valve
JPH11257512A (en) 1998-03-13 1999-09-21 Tlv Co Ltd Wafer check valve
KR100492099B1 (en) * 2000-12-14 2005-06-02 이리에 고켕 가부시키가이샤 Gate valve
KR100717865B1 (en) * 2006-02-01 2007-05-14 주식회사 에스티에스 Improved protection vacuum gate valve

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160132155A (en) 2015-05-06 2016-11-17 주식회사 에스알티 Gate valves
CN111577912A (en) * 2019-02-19 2020-08-25 茶山株式会社 Vacuum sluice valve
KR20200101005A (en) 2019-02-19 2020-08-27 (주)다산이엔지 Vacuum Gate Valve
CN111577912B (en) * 2019-02-19 2022-04-08 茶山株式会社 Vacuum sluice valve
KR20200102716A (en) 2019-02-22 2020-09-01 주식회사 티에스디 Gate valve and gate valve control system
KR20200123970A (en) 2019-04-23 2020-11-02 (주)다산이엔지 Vacuum Gate Valve
KR20220129788A (en) 2021-03-17 2022-09-26 정승수 Vacuum gate valve with multistage slow pump valve
KR20230032030A (en) 2021-08-30 2023-03-07 (주)배큠올 Gate valve with contamination-protection function

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