KR101164051B1 - Opening and closing apparatus of gate valve - Google Patents

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KR101164051B1
KR101164051B1 KR1020110124188A KR20110124188A KR101164051B1 KR 101164051 B1 KR101164051 B1 KR 101164051B1 KR 1020110124188 A KR1020110124188 A KR 1020110124188A KR 20110124188 A KR20110124188 A KR 20110124188A KR 101164051 B1 KR101164051 B1 KR 101164051B1
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송성태
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Abstract

PURPOSE: An opening and closing device for a gate valve is provided to easily open and close a fluid passage of a valve body part and to improve sealing force when the fluid passage closes by comprising an opening and closing part with a sealing plate and a supporting plate. CONSTITUTION: An opening and closing device for a gate valve comprises a valve body part(10), a housing part(20), an opening and closing part(30), and a driving part(40). A fluid passage is formed in the valve body part. The housing part comprises a first housing coupled in one side of the fluid passage and a second housing coupled in the other side of the fluid passage. The opening and closing part is slid toward the fluid passage inside the valve body part to open and close the fluid passage of the valve body part. The driving part is installed in one end of the valve body part to drive a link device so that the opening and closing part can be slid. The opening and closing part comprises a sealing plate adhered to one side of the fluid passage, a supporting plate adhered to the other side of the fluid passage, a guide plate, a guide ball, and an elastic member. The guide ball controls separation device between the sealing plate and the guide plate and separation distance between the supporting plate and the guide plate.

Description

게이트밸브의 개폐장치{Opening and closing apparatus of gate valve}Opening and closing apparatus of gate valve

본 발명은 게이트밸브의 개폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 게이트밸브의 개폐 동작을 원활하게 수행하는 게이트밸브의 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve opening and closing device, and more particularly to a gate valve opening and closing device for smoothly performing the opening and closing operation of the gate valve provided between the vacuum chamber and the vacuum pump.

일반적으로 LCD(liquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버의 내부의 공기를 제거하여 진공 환경을 형성한다. 이 경우, 적절한 진공도를 설정 및 유지하는 것이 중요한 데, 이 때 반드시 필요한 것이 게이트밸브이다.In general, the air inside the chamber where the work is performed when performing an operation such as an etching process, a deposition process, a sputtering process or a special coating process requiring a vacuum state such as a liquid crystal display (LCD) substrate or a semiconductor wafer. To form a vacuum environment. In this case, it is important to set and maintain an appropriate degree of vacuum, but a gate valve is essential at this time.

게이트밸브는 진공챔버와 진공펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함으로써 진공상태를 유지 또는 해제하는 역할을 한다. 이러한 게이트밸브는 통상 하나의 구동판과 하나의 기밀판의 작동에 의해 챔버쪽으로 연결되는 통로를 밀폐시킴으로써 챔버의 기밀성을 유지하게 된다.The gate valve is positioned in a passage connecting the vacuum chamber and the vacuum pump to maintain or release the vacuum state by opening and closing the passage. Such a gate valve maintains the airtightness of the chamber by closing a passage connected to the chamber by the operation of one drive plate and one airtight plate.

따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다. 따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.Therefore, the vacuum working area of the semiconductor manufacturing apparatus and the airtight technology also have a great influence on the quality of semiconductor products. Therefore, the vacuum valve which is installed between the chamber in which the semiconductor element integration process is performed and the vacuum pump that sucks air in the chamber plays an important role because the vacuum valve for opening and closing the transfer of the suction power of the vacuum pump plays a significant role. Efforts to maintain this problem are also emerging as important issues.

특히, 게이트밸브를 통하여 배출되는 진공챔버 내의 유체는 여러 가지 부산물이 포함된다. 이러한 부산물은 유체의 배출시 게이트밸브의 밸브판을 구동하기 위한 엑츄에이터의 링크나 밸브판이 슬라이딩되는 하우징의 내벽에 지속적으로 부착되어 밸브판의 전후진 작동을 방해하게 되므로, 밸브판이 슬라이딩 되는 공간을 개폐하는 밀폐부재를 필요로 하였다.In particular, the fluid in the vacuum chamber discharged through the gate valve contains various by-products. These by-products are continuously attached to the link of the actuator for driving the valve plate of the gate valve or the inner wall of the housing in which the valve plate slides to prevent the forward and backward operation of the valve plate when the fluid is discharged, thereby opening and closing the space in which the valve plate slides. A sealing member was needed.

이러한 밀폐부재를 구비한 종래의 게이트밸브는 등록특허공보 제10-0497418호 및 등록특허공보 제10-0906572호 등에 개시되어 있다. 이러한 종래의 게이트밸브는 롤러나 볼 및 탄성스프링을 이용하여 밀폐부재를 상하방향으로 이동시킴으로써 롤러나 볼의 이동이 원활하지 못하여 통로의 개폐시 밀착력이 저하되는 문제점이 있었다. Conventional gate valves having such a sealing member are disclosed in Korean Patent Publication No. 10-0497418 and Japanese Patent Publication No. 10-0906572. Such a conventional gate valve has a problem that the roller or the ball and the elastic spring is moved up and down by using the roller or the ball and the elastic spring is not smooth movement of the roller or the ball to reduce the adhesion when opening and closing the passage.

또한, 롤러나 볼의 이동시 진공챔버에서 발생된 파우더 등과 같은 이물질이 밀폐부재에 부착되어 오동작의 원인을 제공하는 문제도 있었다. 또한, 밀폐부재 뿐만 아니라 그의 상부 및 하부에 결합되는 몸체의 통로구간 전체에 이물질이 부착되어 게이트밸브의 밀폐시 오작동을 발생시키는 문제가 있었다.In addition, foreign matters such as powder generated in the vacuum chamber during the movement of the roller or the ball are attached to the sealing member, thereby providing a cause of malfunction. In addition, the foreign matter is attached to the entire passage section of the body coupled to the upper and lower portions as well as the sealing member there is a problem that causes the malfunction of the closing of the gate valve.

또한, 밸브몸체의 통로구간에 밀폐부재가 밀착되어 폐쇄된 상태에서 반도체 공정 중 공정 트러블로 인하여 구동 상태를 유지하는 질소가 공급되지 않게 되면, 밀폐부재에 작용하는 작용력이 저하되어 통로구간과 밀폐부재 사이의 밀착력이 저하되어 게이트밸브의 폐쇄상태가 풀림으로써, 즉 통로구간과 밀폐부재 사이의 밀착 상태가 해체 됨으로써, 반도체 제조 공정의 불량이 발생하는 문제가 있었다.In addition, when the sealing member is in close contact with the passage section of the valve body and nitrogen is not supplied to maintain the driving state due to the process trouble during the semiconductor process, the action force acting on the sealing member is lowered so that the passage section and the sealing member are reduced. There was a problem that the defects in the semiconductor manufacturing process occurred because the adhesive force between them was lowered and the closed state of the gate valve was released, that is, the adhesive state between the passage section and the sealing member was dismantled.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 밸브몸체부의 유체통로의 개폐를 용이하게 하는 동시에 유체통로의 폐쇄시 밀폐력을 향상시킬 수 있고, 개폐부가 이동하는 밸브몸체부의 내부를 청결하게 유지하여 개폐부의 오동작을 방지할 수 있고, 밸브몸체부의 내부에서 배출된 이물질을 외부로 배출하지 않고 하우징부를 통해 진공챔버로 배출하여 이물질의 외부로의 배출로 인한 오염물질의 외부배출을 차단하며, 밀폐판과 지지판 사이의 이격거리를 미세하게 조절하여 유체통로를 개폐할 수 있고, 가이드판의 이동동작과 밀폐동작을 단계적으로 실시하여 개폐부의 개폐동작의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 게이트밸브의 개폐장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and facilitates the opening and closing of the fluid passage of the valve body portion, and at the same time can improve the sealing force when closing the fluid passage, the inside of the valve body portion that the opening and closing portion is moved It keeps clean and prevents the malfunction of the opening and closing part, and prevents foreign substances discharged from the inside of the valve body part to the vacuum chamber through the housing part without discharging them to the outside and blocks the external discharge of pollutants due to the discharge of foreign substances to the outside. It is possible to open and close the fluid passage by finely controlling the separation distance between the sealing plate and the support plate, and to improve the reliability of the opening / closing operation of the opening and closing part by performing the movement and sealing operation of the guide plate step by step. It is an object to provide a switchgear.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유체통로가 형성된 밸브몸체부; 상기 유체통로의 일방에 결합된 제1 하우징과, 상기 유체통로의 타방에 결합된 제2 하우징으로 이루어진 하우징부; 상기 밸브몸체부의 유체통로를 개폐하도록 상기 밸브몸체부의 내부에 상기 유체통로를 향해 슬라이딩되는 개폐부; 및 상기 밸브몸체부의 일단에 설치되어 상기 개폐부를 슬라이딩시키도록 링크기구를 구동시키는 구동부;를 포함하고, 상기 개폐부는, 상기 유체통로의 일방에 밀착되는 밀폐판과, 상기 유체통로의 타방에 밀착되는 지지판과, 상기 밀폐판과 상기 지지판 사이에 설치되어 이들의 슬라이딩을 가이드하는 가이드판과, 상기 밀폐판과 상기 가이드판의 사이 및 상기 지지판과 상기 가이드판의 사이에 설치되어 이들 사이의 이격거리를 조절하는 가이드볼과, 상기 밀폐판과 상기 지지판 사이에 설치되어 이들을 내향으로 탄지하는 탄성재로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object, the valve body portion formed with a fluid passage; A housing part comprising a first housing coupled to one side of the fluid passageway, and a second housing coupled to the other side of the fluid passage; An opening and closing portion sliding toward the fluid passage in the valve body portion to open and close the fluid passage of the valve body portion; And a driving part installed at one end of the valve body part to drive a link mechanism to slide the opening and closing part, wherein the opening and closing part is in close contact with one side of the fluid passage and the other of the fluid passage. A guide plate installed between the support plate, the sealing plate and the support plate to guide the sliding thereof, and between the sealing plate and the guide plate, and between the support plate and the guide plate, It is characterized in that the guide ball to adjust, and is installed between the sealing plate and the support plate made of an elastic material to hold them inward.

본 발명의 상기 밸브몸체부는, 내부에 유입된 이물질을 배출하도록 배출부가 연통설치되어 있다. 본 발명의 상기 배출부는, 상기 하우징부에 연결되어 있다.The valve body portion of the present invention, the discharge portion is provided in communication with each other to discharge the foreign matter introduced into the inside. The discharge portion of the present invention is connected to the housing portion.

본 발명의 상기 가이드볼은, 상기 가이드판의 양쪽에 형성된 결합홈에 회전가능하게 결합되며, 상기 밀폐판 및 상기 지지판에 만곡 형성된 가이드홈을 따라 상기 밀폐판 및 상기 지지판의 판면으로 이동한다. 본 발명의 상기 가이드홈은, 하우징부 방향의 경사기울기가 구동부 방향의 경사기울기 보다 완만하게 형성되어 있다.The guide ball of the present invention is rotatably coupled to the coupling grooves formed on both sides of the guide plate, and moves along the guide grooves formed in the sealing plate and the support plate to the plate surfaces of the sealing plate and the support plate. In the guide groove of the present invention, the inclined slope in the direction of the housing portion is formed more gently than the inclined slope in the direction of the driving portion.

본 발명의 상기 가이드판은, 상기 밸브몸체부와 접촉하여 슬라이딩하도록 안내롤러가 양쪽 측단에 설치된 외부 가이드판과, 상기 외부 가이드판의 내부에 형성된 안내홈을 따라 슬라이딩하는 내부 가이드판으로 이루어져 있다. 본 발명의 상기 내부 가이드판은, 상기 구동부에 링크기구를 개재해서 결합되어 있다.The guide plate of the present invention includes an outer guide plate provided at both side ends of the guide roller so as to slide in contact with the valve body portion, and an inner guide plate sliding along a guide groove formed in the outer guide plate. The inner guide plate of the present invention is coupled to the drive unit via a link mechanism.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 개폐부가 가이드판을 기준해서 상하로 승강하는 밀폐판과 지지판으로 이루어짐으로써, 밸브몸체부의 유체통로의 개폐를 용이하게 하는 동시에 유체통로의 폐쇄시 밀폐력을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, the present invention is made of a sealing plate and the support plate which the opening and closing portion is moved up and down based on the guide plate, to facilitate the opening and closing of the fluid passage of the valve body portion at the same time can improve the sealing force when the fluid passage is closed. Provide the effect.

밸브몸체부에 유입된 이물질을 배출하도록 밸브몸체부에 배출부를 연결함으로써, 개폐부가 이동하는 밸브몸체부의 내부를 청결하게 유지하여 개폐부의 오동작을 방지할 수 있게 된다.By connecting the discharge portion to the valve body portion to discharge the foreign substances introduced into the valve body portion, it is possible to prevent the malfunction of the opening and closing portion by maintaining the inside of the valve body portion to move the opening and closing portion clean.

또한, 배출부의 일단을 하우징부에 연결함으로써, 밸브몸체부의 내부에서 배출된 이물질을 외부로 배출하지 않고 하우징부를 통해 진공챔버로 배출하여 이물질의 외부로의 배출로 인한 오염물질의 외부배출을 차단하게 된다.In addition, by connecting one end of the discharge portion to the housing portion, the foreign substances discharged from the inside of the valve body portion is discharged to the vacuum chamber through the housing portion without discharging to the outside to block the external discharge of contaminants due to the discharge of foreign substances to the outside. do.

가이드판에 설치된 가이드볼이 밀폐판 및 지지판의 가이드홈의 완만한 경사부위를 따라 이동함으로써, 밀폐판과 지지판 사이의 이격거리를 미세하게 조절하여 유체통로를 개폐할 수 있게 된다.The guide ball installed in the guide plate is moved along the gentle slope of the guide groove of the sealing plate and the support plate, thereby finely adjusting the separation distance between the sealing plate and the support plate to open and close the fluid passage.

가이드판을 외부 가이드판과, 그의 내부에 형성된 안내홈을 따라 구동부에 의해 이동하는 내부 가이드판으로 구성함으로써, 가이드판의 이동동작과 밀폐동작을 단계적으로 실시하여 개폐부의 개폐동작의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.By constructing the guide plate with the outer guide plate and the inner guide plate which is moved by the driving unit along the guide groove formed therein, the movement of the guide plate and the sealing operation can be performed step by step to improve the reliability of the opening and closing operation of the opening and closing portion. It can be effective.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치를 나타내는 분해사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치를 나타내는 평면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 개폐부를 나타내는 평면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 개폐부를 나타내는 단면도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 개방상태를 나타내는 단면도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 이동상태를 나타내는 단면도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 밀폐상태를 나타내는 단면도.1 is a perspective view showing an opening and closing device of a gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view showing the opening and closing device of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view showing the opening and closing device of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view showing the opening and closing device of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view showing the opening and closing portion of the opening and closing device of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a cross-sectional view showing the opening and closing portion of the opening and closing device of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a cross-sectional view showing an open state of the opening and closing device of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
Figure 8 is a cross-sectional view showing a moving state of the opening and closing device of the gate valve according to an embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view showing a closed state of the opening and closing device of the gate valve according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 더욱 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치를 나타내는 분해사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치를 나타내는 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치를 나타내는 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 개폐부를 나타내는 평면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 개폐부를 나타내는 단면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 개방상태를 나타내는 단면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 이동상태를 나타내는 단면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치의 밀폐상태를 나타내는 단면도.1 is a perspective view showing an opening and closing device of a gate valve according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view showing an opening and closing device of a gate valve according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view of the present invention 4 is a plan view illustrating an opening and closing device of a gate valve according to an embodiment, and FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an opening and closing device of a gate valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an opening and closing of the gate valve according to an embodiment of the present invention. 6 is a cross-sectional view illustrating an opening and closing portion of a gate valve opening and closing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an open state of the opening and closing device of a gate valve according to an embodiment of the present invention. 8 is a cross-sectional view showing a moving state of an opening and closing device of a gate valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 9 is an embodiment of the present invention. Sectional drawing which shows the sealing state of the opening-closing apparatus of the gate valve by this.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 게이트밸브의 개폐장치는 밸브몸체부(10), 하우징부(20), 개폐부(30), 구동부(40), 배출부(50)를 포함하여 이루어져, 진공챔버와 진공펌프 사이에 형성된 유체통로(10a)를 개폐하는 게이트밸브의 개폐장치이다.1 and 2, the opening and closing device of the gate valve according to an embodiment of the present invention is the valve body portion 10, the housing portion 20, the opening and closing portion 30, the driving portion 40, the discharge portion ( It comprises 50), the opening and closing device of the gate valve for opening and closing the fluid passage (10a) formed between the vacuum chamber and the vacuum pump.

밸브몸체부(10)는, 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 게이트밸브를 구성하며 일방에 유체통로(10a)가 형성된 사각 박스형상의 구조체로서, 상판(11), 하판(12), 제1 측판(13), 제2 측판(14), 제3 측판(15), 제4 측판(16)으로 이루어져 있다.The valve body portion 10 is a rectangular box-shaped structure which is provided between the vacuum chamber and the vacuum pump to form a gate valve and has a fluid passage 10a formed on one side thereof. The upper plate 11, the lower plate 12, and the first plate are formed. The side plate 13, the second side plate 14, the third side plate 15, and the fourth side plate 16 are formed.

상판(11)은 밸브몸체부(10)의 상면을 구성하며 상판(11)의 일방에는 유체통로(10a)를 구성하는 연결통로(11a)가 형성되어 있고, 하판(12)은 밸브몸체부(10)의 하면을 구성하며 하판(12)의 일방에는 유체통로(10a)를 구성하는 연결통로(12a)가 형성되어 있다. 따라서, 상판(11)의 연결통로(11a)와 하판(12)의 연결통로(12a)는 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a)를 구성하게 된다.The upper plate 11 constitutes an upper surface of the valve body portion 10, and one side of the upper plate 11 is formed with a connecting passage 11a constituting the fluid passage 10a, and the lower plate 12 has a valve body portion ( A connecting passage 12a constituting the bottom surface 12 and constituting the fluid passage 10a is formed at one side of the lower plate 12. Therefore, the connecting passage 11a of the upper plate 11 and the connecting passage 12a of the lower plate 12 constitute the fluid passage 10a of the valve body portion 10.

제1 측판(13)과 제4 측판(16)은 상판(11)과 하판(12) 사이에 결합되어 마주보도록 설치되며 밸브몸체부(10)의 일방 양쪽 측면을 구성하고, 제2 측판(14)과 제3 측판(15)은 상판(11)과 하판(12) 사이에 결합되어 마주보도록 설치되며, 밸브몸체부(10)의 타방 양쪽 측면을 구성하게 된다. 따라서 제1 측판(13), 제2 측판(14), 제3 측판(15), 제4 측판(16)는 상판(11)과 하판(12) 사이에 설치되어 전후좌우 각각의 측면을 구성하게 된다. The first side plate 13 and the fourth side plate 16 are coupled between the upper plate 11 and the lower plate 12 so as to face each other and constitute one side surface of the valve body 10, and the second side plate 14. ) And the third side plate 15 are coupled to face each other between the upper plate 11 and the lower plate 12, and constitute both opposite sides of the valve body part 10. Accordingly, the first side plate 13, the second side plate 14, the third side plate 15, and the fourth side plate 16 are installed between the upper plate 11 and the lower plate 12 to form respective sides of the front, rear, left, and right sides. do.

하우징부(20)는, 진공챔버와 진공펌프 사이에 게이트밸브를 설치하기 위한 원통형상의 연결부재로서, 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a) 일방에 결합된 제1 하우징(21)과, 유체통로(10a)의 타방에 결합된 제2 하우징(22)으로 이루어진다.The housing portion 20 is a cylindrical connecting member for installing a gate valve between the vacuum chamber and the vacuum pump, the first housing 21 coupled to one of the fluid passages 10a of the valve body portion 10, It consists of a second housing 22 coupled to the other side of the fluid passage (10a).

즉, 제1 하우징(21)은 진공챔버와 게이트밸브를 연결하도록 밸브몸체부(10)의 상판(11)에 형성된 연결통로(11a)에 설치되어 유체통로(10a)와 연통되며, 제2 하우징(22)은 진공펌프와 게이트밸브를 연결하도록 밸브몸체부(10)의 하판(12)에 형성된 연결통로(12a)에 설치되어 유체통로(10a)와 연통되어 있다.That is, the first housing 21 is installed in the connecting passage (11a) formed in the upper plate 11 of the valve body portion 10 to connect the vacuum chamber and the gate valve and communicate with the fluid passage (10a), the second housing 22 is provided in the connecting passage 12a formed in the lower plate 12 of the valve body portion 10 so as to connect the vacuum pump and the gate valve, and is in communication with the fluid passage 10a.

개폐부(30)는 도 2, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a)를 개폐하도록 밸브몸체부(10)의 내부에 유체통로(10a)를 향해 슬라이딩되도록 전후진 이동하는 개폐부재로서, 밀폐판(31), 지지판(32), 가이드판(33, 34), 가이드볼(35), 탄성재(36)으로 이루어져 있다.2, 5 and 6, the opening and closing portion 30 slides toward the fluid passage 10a inside the valve body portion 10 to open and close the fluid passage 10a of the valve body portion 10. As the opening and closing member moving forward and backward as possible, it consists of a sealing plate 31, the support plate 32, the guide plates 33 and 34, the guide ball 35, the elastic material 36.

밀폐판(31)은, 개폐부(30)의 상부에 승강하도록 설치되어 밸브몸체부(10)에 형성된 유체통로(10a)의 일방, 즉 상판(11)에 형성된 연결통로(11a)에 밀착되는 판형상의 차단부재이다. The sealing plate 31 is provided to elevate in the upper portion of the opening and closing portion 30 to be in close contact with the one of the fluid passage (10a) formed in the valve body portion 10, that is, the connection passage (11a) formed in the upper plate 11 Blocking member on the top.

밀폐판(31)의 상면에는 상판(11)에 형성된 연결통로(11a)의 개폐시 밀폐력을 향상시키도록 고무 등과 같은 탄성재로 이루어진 O링(31a)이 끼움홈에 끼워맞춤되어 설치되고, 밀폐판(31)의 하면에는 상방으로 만곡형성된 가이드홈(31b)이 전후방에 각각 2개씩 총 4개가 형성되어 있다.On the upper surface of the sealing plate 31, an O-ring 31a made of an elastic material such as rubber is fitted into the fitting groove so as to improve the sealing force when opening and closing the connecting passage 11a formed on the upper plate 11, and is sealed. A total of four guide grooves 31b curved upward are formed on the lower surface of the plate 31, two each in front and rear.

이러한 가이드홈(31b)은 하우징부(20) 방향의 경사기울기가 구동부(40) 방향의 경사기울기 보다 완만하게 형성되어, 여기에 설치되는 가이드볼(35)이 가이드홈(31b)의 하우징부 방향의 완만한 경사부위를 따라 밀폐판(31)의 판면으로 이동하게 되는 것이 바람직하다.The guide groove 31b has a gentle slope in the direction of the housing portion 20 than the slope in the direction of the driving portion 40, so that the guide ball 35 installed therein is directed toward the housing portion of the guide groove 31b. It is preferable to move to the plate surface of the sealing plate 31 along the gentle slope of the.

지지판(32)은, 개폐부(30)의 하부에 승강하도록 설치되어 밸브몸체부(10)에 형성된 유체통로(10a)의 타방, 즉 하판(12)에 형성된 연결통로(12a)와 밀착하여 개폐부(30)의 하부를 지지하는 링형상의 지지부재이다.The support plate 32 is installed to move up and down under the opening and closing portion 30 to be in close contact with the other side of the fluid passage 10a formed in the valve body portion 10, that is, the connection passage 12a formed in the lower plate 12. 30) is a ring-shaped support member for supporting the lower part.

지지판(32)의 상면에는 밀폐판(31)과의 사이에 서로 당기는 탄지력을 부여하도록 코일스프링과 같은 탄성재(36)를 설치하기 위한 끼움편(32a)이 3개 형성되어 있고, 지지판(32)의 상면에는 하방으로 만곡형성된 가이드홈(32b)이 전후방에 각각 2개씩 총 4개가 형성되어 있다.On the upper surface of the support plate 32, three fitting pieces 32a for installing an elastic material 36 such as a coil spring are formed so as to impart a pulling force between the sealing plate 31 and the support plate ( A total of four guide grooves 32b curved downward are formed in front and rear, respectively, on the upper surface of 32).

이러한 가이드홈(32b)은 하우징부(20) 방향의 경사기울기가 구동부(40) 방향의 경사기울기 보다 완만하게 형성되어, 여기에 설치되는 가이드볼(35)이 가이드홈(32b)의 하우징부 방향의 완만한 경사부위를 따라 지지판(32)의 판면으로 이동하게 되는 것이 바람직하다.The guide groove 32b has a gentle slope in the direction of the housing portion 20 than the slope in the direction of the driving portion 40, and the guide ball 35 installed therein is directed toward the housing portion of the guide groove 32b. It is preferable to move to the plate surface of the support plate 32 along the gentle slope of the.

가이드판(33, 34)은 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 설치되어 이들의 슬라이딩을 가이드하는 안내부재로서, 외부 가이드판(33)과 내부 가이드판(34)으로 이루어져 있다.The guide plates 33 and 34 are guide members that are installed between the sealing plate 31 and the support plate 32 to guide the sliding thereof, and are formed of an outer guide plate 33 and an inner guide plate 34.

외부 가이드판(33)은 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 삽입된 사각 형상의 판부재로서, 밸브몸체부(10)와 접촉하여 슬라이딩하도록 안내롤러(33a)가 양쪽 측단에 각각 2개씩 총 4개가 설치되어 있고, 외부 가이드판(33)의 내부 중앙부위에는 내부 가이드판(34)을 전후방으로 슬라이딩하도록 안내하는 사각형상의 안내홈(33b)이 천공형성되어 있다.The outer guide plate 33 is a rectangular plate member inserted between the sealing plate 31 and the support plate 32, and the guide rollers 33a are provided at both sides so as to slide in contact with the valve body 10. A total of four pieces are provided, and a rectangular guide groove 33b for guiding the inner guide plate 34 to slide forward and backward is formed in the inner center portion of the outer guide plate 33.

내부 가이드판(34)은 외부 가이드판(33)의 내부에 형성된 안내홈(33b)을 따라 슬라이딩하도록 안내홈(33b)에 삽입된 사각형상의 판부재로서, 내부 가이드판(34)의 상면 및 하면에는 가이드볼(35)을 회전가능하게 결합시키도록 결합홈(34a)이 전후면에 각각 4개씩 총 8개가 형성되어 있다. The inner guide plate 34 is a rectangular plate member inserted into the guide groove 33b so as to slide along the guide groove 33b formed inside the outer guide plate 33, and the upper and lower surfaces of the inner guide plate 34. There are a total of eight coupling grooves 34a are formed on the front and rear surfaces, respectively, so as to rotatably couple the guide balls 35.

또한, 내부 가이드판(34)의 상면에 형성된 결합홈(34a)은 밀폐판(31)의 가이드홈(31b)에 대응하도록 배치되어 있고, 내부 가이드판(34)의 하면에 형성된 결합홈(34a)은 지지판(32)의 가이드홈(32b)에 대응하도록 배치되어 있다.In addition, the coupling groove 34a formed on the upper surface of the inner guide plate 34 is disposed to correspond to the guide groove 31b of the sealing plate 31, and the coupling groove 34a formed on the lower surface of the inner guide plate 34. ) Is disposed so as to correspond to the guide groove 32b of the support plate 32.

내부 가이드판(34)의 일단에는 힌지핀을 개재해서 링크기구(43)가 결합되어, 구동부(40)로부터 구동력을 전달받아 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a)를 개폐하도록 개폐부(30)에 구동력을 전달하게 된다.A link mechanism 43 is coupled to one end of the inner guide plate 34 via a hinge pin, and receives the driving force from the driving unit 40 to open and close the opening 30 to open and close the fluid passage 10a of the valve body 10. ) Will transmit the driving force.

가이드볼(35)은 내부 가이드판(34)의 결합홈(34a)에 회전가능하게 결합된 회전안내부재로서, 밀폐판(31)과 내부 가이드판(34) 사이 및 지지판(32)과 내부 가이드판(34) 사이에 각각 설치되어 이들 사이의 상하방향의 이격거리를 조절하게 된다.Guide ball 35 is a rotation guide member rotatably coupled to the coupling groove (34a) of the inner guide plate 34, between the sealing plate 31 and the inner guide plate 34 and the support plate 32 and the inner guide It is installed between the plates 34 to adjust the separation distance in the vertical direction therebetween.

즉, 내부 가이드판(34) 상면의 결합홈(34a)에 결합된 가이드볼(35)은 밀폐판(31)의 하면에 형성된 가이드홈(31b)의 완만한 경사면을 따라 밀폐판(31)의 하면으로 이동하여 밀폐판(31)과 내부 가이드판(34) 사이의 이격거리를 조정하게 되고, 내부 가이드판(34) 하면의 결합홈(34a)에 결합된 가이드볼(35)은 지지판(32)의 상면에 형성된 가이드홈(32b)의 완만한 경사면을 따라 지지판(32)의 상면으로 이동하여 지지판(32)과 내부 가이드판(34) 사이의 이격거리를 조정하게 된다.That is, the guide ball 35 coupled to the coupling groove 34a of the upper surface of the inner guide plate 34 is formed along the gentle slope of the guide groove 31b formed on the lower surface of the sealing plate 31. Moving to the lower surface to adjust the separation distance between the sealing plate 31 and the inner guide plate 34, the guide ball 35 coupled to the coupling groove (34a) of the lower surface of the inner guide plate 34 is the support plate 32 It moves to the upper surface of the support plate 32 along the gentle slope of the guide groove 32b formed on the upper surface of the) to adjust the separation distance between the support plate 32 and the inner guide plate 34.

탄성재(36)는 지지판(32)의 끼움편(32a)에 삽입 설치되어 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 고정설치되므로, 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에서 이들을 서로 당기는 방향, 즉 내향으로 탄지하게 된다. 이러한 탄성재(36)로는 코일스프링을 사용하는 것이 바람직하다.Since the elastic material 36 is inserted into the fitting piece 32a of the support plate 32 and fixedly installed between the seal plate 31 and the support plate 32, the elastic material 36 is disposed between the seal plate 31 and the support plate 32. The direction of pulling, i.e. inward, becomes strong. As the elastic material 36, it is preferable to use a coil spring.

즉, 내부 가이드판(34)에 설치된 가이드볼(35)이 밀폐판(31)의 가이드홈(31b)과 지지판(32)의 가이드홈(32b)에서 이들의 판면으로 이동하여 이들 사이의 이격거리가 확장된 상태, 즉 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a)를 폐쇄한 상태에서는 탄성재(36)가 이완되어 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 내향의 탄지력이 부여된다.That is, the guide ball 35 installed on the inner guide plate 34 moves from the guide groove 31b of the sealing plate 31 and the guide groove 32b of the support plate 32 to the plate surface thereof, and the separation distance therebetween. In the expanded state, that is, the state in which the fluid passage 10a of the valve body portion 10 is closed, the elastic member 36 is relaxed to provide an inward grip force between the sealing plate 31 and the support plate 32. .

따라서, 가이드볼(35)이 밀폐판(31)과 지지판(32)의 판면에서 이들의 가이드홈(31b, 32b)으로 이동하게 되면, 밀폐판(31)과 지지판(32)이 탄성재(36)의 내향 탄지력에 의해 서로 당겨지므로, 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a)와 밀착상태에서 이격상태로 변경되어 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a)를 개방하게 된다.Therefore, when the guide ball 35 moves from the plate surface of the sealing plate 31 and the support plate 32 to their guide grooves 31b and 32b, the sealing plate 31 and the support plate 32 are elastic members 36. Since they are drawn to each other by the inward grip force of the), the fluid passage 10a of the valve body portion 10 is changed to a spaced apart state in close contact to open the fluid passage 10a of the valve body portion 10.

이와 같이, 본 실시예의 개폐부(30)는 밀폐판(31)과 유체통로(10a) 사이의 간극을 적절하게 조절하는 동시에 밀폐판(31)의 상면에 고무 등의 탄성재로 이루어진 O-링을 삽입하여 이들 사이의 밀폐력을 향상시키게 된다.As described above, the opening and closing part 30 of the present embodiment properly adjusts the gap between the sealing plate 31 and the fluid passage 10a, and simultaneously forms an O-ring made of an elastic material such as rubber on the upper surface of the sealing plate 31. Insertion will improve the sealing force between them.

또한, 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 서로 당기도록 설치된 탄성재(36)로서 코일스프링의 탄지력을 적절하게 조절하고, 가이드볼(35)이 안내되는 밀폐판(31)의 가이드홈(31b)과 지지판(32)의 가이드홈(32b)의 사이즈를 적절하게 조절함으로써, 가이드볼(35)이 가이드홈(31b, 32b)을 이탈하여 밀폐판(31) 및 지지판(32)의 판면으로 이동하여 밀폐판(31)과 내부 가이드판(34) 사이 및 지지판(32)과 내부 가이드판(34) 사이에 삽입되고 끼임상태로 유지되므로, 질소가스가 제거되어도 유체통로(10a)를 폐쇄상태로 유지하게 된다.In addition, as the elastic material 36 provided to pull each other between the sealing plate 31 and the support plate 32, the holding force of the coil spring is appropriately adjusted, and the guide of the sealing plate 31 through which the guide ball 35 is guided. By appropriately adjusting the size of the groove 31b and the guide groove 32b of the support plate 32, the guide ball 35 leaves the guide grooves 31b and 32b so that the sealing plate 31 and the support plate 32 may be separated. Since it moves to the plate surface and is inserted between the sealing plate 31 and the inner guide plate 34 and between the support plate 32 and the inner guide plate 34 and held in the pinched state, the fluid passage 10a is removed even if nitrogen gas is removed. Will remain closed.

이와 같이 밀폐판(31)이 유체통로(10a)에 밀착하여 폐쇄상태를 유지하게 되는 이유는 O-링의 탄성력과, 탄성재(26)로서 코일스프링의 반발력과, 가이드볼(35)이 가이드홈(31b, 32b)을 완전한 이탈로 인하여 판 사이 간극의 여유공간을 완전히 제거하기 때문이다.The reason why the sealing plate 31 is in close contact with the fluid passage 10a to maintain the closed state is that the elastic force of the O-ring, the repulsive force of the coil spring as the elastic material 26, and the guide ball 35 are guided. This is because the free space of the gap between the plates is completely removed by completely removing the grooves 31b and 32b.

또한, 유체통로(10a)의 개방시에는 가이드홈(31b, 32b)으로부터 이탈한 가이드볼(35)이 가이드홈(31b, 32b)으로 복귀하는 미세한 작용력만 부여하면, 밀폐판(31)의 밀착이 해제되는 동시에 코일스프링의 반발력에 의해 개방상태로 전환된다.In addition, when the fluid passage 10a is opened, if the guide ball 35 detached from the guide grooves 31b and 32b gives only a small action force to return to the guide grooves 31b and 32b, the sealing plate 31 may be in close contact. This is released and at the same time, it is switched to the open state by the repulsive force of the coil spring.

이와 같이, 가이드볼(35)의 이동을 안내하는 가이드홈(31b, 32b)의 완만한 경사부위의 경사기울기는, 상하높이와 수평이동거리의 비율이 1:4～1:5로 유지되는 것이 바람직하며, 그 이유는 가이드볼(35)의 이동을 원활하게 하는 동시에 밀폐판(31)의 승강높이에 따른 밀폐력을 유지할 수 있기 때문이다. In this way, the inclined slope of the gentle inclined portion of the guide grooves 31b and 32b for guiding the movement of the guide ball 35 is such that the ratio between the vertical height and the horizontal moving distance is 1: 4 to 1: 5. Preferably, the reason is that the sealing force according to the lifting height of the sealing plate 31 can be maintained while smoothly moving the guide ball 35.

특히, 밀폐판(31)의 최적의 밀폐상태를 유지하기 위해서는, 가이드홈(31b, 32b)의 완만한 경사부위의 상하높이와 수평이동거리의 비율을 1:4.6 으로 유지하는 것이 더욱 바람직하다.In particular, in order to maintain the optimal sealing state of the sealing plate 31, it is more preferable to maintain the ratio of the vertical height and the horizontal moving distance of the gentle inclined portions of the guide grooves 31b and 32b at 1: 4.6.

따라서, 유체통로(10a)의 밀폐시 질소가스가 제거되어도 밀폐판의 밀폐력을 유지할 수 있는 효과를 제공한다.Therefore, even when nitrogen gas is removed when the fluid passage 10a is sealed, it provides an effect of maintaining the sealing force of the sealing plate.

구동부(40)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어 개폐부(30)를 슬라이딩시키는 액츄에이터로서, 실린더(41), 피스톤(42), 링크기구(43)로 이루어져 있다.As shown in FIG. 3, the driving part 40 is an actuator provided at one end of the valve body part 10 and sliding the opening / closing part 30. The driving part 40 includes a cylinder 41, a piston 42, and a link mechanism 43. have.

실린더(41)와 피스톤(42)은 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되며 별도의 유공압설비에 접속되어 이들의 제어에 의해 직선왕복운동을 하게 되며, 피스톤(42)의 단부에는 링크기구(43)가 연결되어 피스톤의 왕복운동을 개폐부(30)로 전달하게 된다.The cylinder 41 and the piston 42 are installed at one end of the valve body portion 10 and are connected to a separate hydraulic and pneumatic equipment to perform a linear reciprocating motion by their control, and at the end of the piston 42 a link mechanism ( 43 is connected to transfer the reciprocating motion of the piston to the opening and closing portion (30).

이러한 링크기구(43)는 피스톤(42)의 선단에 힌지핀을 개재해서 연결된 제1 링크(43a)와, 이 제1 링크(43a)가 중간부위에 힌지결합되어 일단에 설치된 회전축에 의해 선회하는 제2 링크(43b)와, 이 제2 링크(43b)의 타단에 힌지 결합되며 일단이 개폐부(30)의 내부 가이드판(34)에 힌지결합된 제3 링크(43c)로 이루어져 있다.The link mechanism 43 is pivoted by a first link 43a connected to a distal end of the piston 42 via a hinge pin, and the first link 43a is hinged to an intermediate portion and rotated by a rotating shaft provided at one end thereof. A second link 43b and a third link 43c hinged to the other end of the second link 43b and one end hinged to the inner guide plate 34 of the opening / closing portion 30.

배출부(50)는 도 4에 나타낸 바와 같이, 밸브몸체부(10)의 내부에 유입된 이물질을 배출하도록 밸브몸체부(10)에 연통 설치된 배출부재로서, 개폐밸브(51), 제1 연결관(52), 제2 연결관(53)으로 이루어져 있다.As shown in FIG. 4, the discharge part 50 is a discharge member installed in communication with the valve body part 10 to discharge foreign substances introduced into the valve body part 10, and the open / close valve 51 and the first connection part. It consists of a pipe 52 and a second connecting pipe 53.

개폐밸브(51)는 밸브몸체부(10)의 내부에 유입된 이물질의 배출여부를 제어하는 제어수단으로서, 하우징부(20)의 제1 하우징(21)에 접속된 제1 연결관(52)과 밸브몸체부(10)의 상판(11)에 접속된 제2 연결관(53) 사이에 설치되어, 밸브몸체부(10)의 내부로부터 하우징부(20)로 이물질의 배출여부를 제어하게 된다.The on-off valve 51 is a control means for controlling the discharge of foreign matter introduced into the valve body portion 10, the first connecting pipe 52 connected to the first housing 21 of the housing portion 20 And a second connection pipe 53 connected to the upper plate 11 of the valve body portion 10, thereby controlling whether or not the foreign substance is discharged from the inside of the valve body portion 10 to the housing portion 20. .

이하 도 7 내지 도 9를 참조해서 본 실시예의 게이트밸브의 개폐장치의 동작에 대해서 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the operation of the opening and closing device of the gate valve of the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 7 to 9.

도 7에 나타낸 바와 같이, 개폐부(30)가 밸브몸체부(10)의 내부에서 구동부(40)에 의해 일방으로 이동하여, 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a)를 개방하는 개방상태를 나타낸 것이다.As shown in FIG. 7, the opening / closing part 30 is moved to one side by the drive part 40 from the inside of the valve body part 10, and the opening state which opens the fluid passage 10a of the valve body part 10 is shown. It is shown.

이때, 내부 가이드판(34)에 설치된 가이드볼(35)이 밀폐판(31)의 가이드홈(31b)과 지지판(32)의 가이드홈(32b)에 위치하여, 밀폐판(31)과 지지판(32)이 탄성재(36)에 의해 서로 당겨지는 방향으로 탄지력에 의해 이들 사이의 이격거리가 좁아진 상태로 유지된다.At this time, the guide ball 35 installed on the inner guide plate 34 is located in the guide groove 31b of the sealing plate 31 and the guide groove 32b of the support plate 32, and thus the sealing plate 31 and the support plate ( 32 is maintained in a state in which the separation distance between them is narrowed by the finger force in the direction pulled by the elastic material 36.

도 8에 나타낸 바와 같이, 개폐부(30)가 밸브몸체부(10)의 내부에서 구동부(40)에 의해 타방으로 이동하는 개폐부(30)의 이동상태를 나타낸 것으로서, 개폐부(30)의 외부 가이드판(33)과 내부 가이드판(34)이 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a)로 이동하게 된다.As shown in FIG. 8, the opening and closing portion 30 shows a moving state of the opening and closing portion 30 which is moved to the other side by the driving portion 40 from the inside of the valve body portion 10, and the outer guide plate of the opening and closing portion 30. (33) and the inner guide plate 34 is moved to the fluid passage (10a) of the valve body portion (10).

이때, 내부 가이드판(34)에 설치된 가이드볼(35)이 밀폐판(31)의 가이드홈(31b) 및 지지판(32)의 가이드홈(32b)의 완만한 경사부위에 위치하여, 밀폐판(31)과 지지판(32)이 탄성재(36)에 의해 서로 당겨지는 방향으로 탄지된 상태에서 가이드볼(35)의 이동에 의해 이들 사이의 이격거리가 확장되는 동시에 탄성재(36)가 이완된 상태로 유지된다.At this time, the guide ball 35 installed on the inner guide plate 34 is located at a gentle inclined portion of the guide groove 31b of the sealing plate 31 and the guide groove 32b of the support plate 32, thereby closing the sealing plate ( 31 and the support plate 32 are extended in the direction pulled from each other by the elastic member 36 by the movement of the guide ball 35, the separation distance between them is extended and at the same time the elastic member 36 is relaxed Stays in the state.

도 9에 나타낸 바와 같이, 개폐부(30)가 밸브몸체부(10)의 내부에서 구동부(40)에 의해 이동하여 밸브몸체부(10)의 유체통로(10a)를 폐쇄하는 개폐부(30)의 폐쇄상태를 나타낸 것으로서, 개폐부(30)의 외부 가이드판(33)이 밸브몸체부(10)의 제1 측판(13)에 접촉하여 이동을 정지하고, 내부 가이드판(34)이 외부 가이드판(33)에 형성된 안내홈(33b)을 따라 이동하게 된다.As shown in FIG. 9, the opening and closing portion 30 is moved by the driving portion 40 inside the valve body portion 10 to close the opening and closing portion 30 closing the fluid passage 10a of the valve body portion 10. As shown in the state, the outer guide plate 33 of the opening and closing portion 30 contacts the first side plate 13 of the valve body portion 10 to stop the movement, and the inner guide plate 34 is the outer guide plate 33. It moves along the guide groove (33b) formed in the.

이때, 내부 가이드판(34)에 설치된 가이드볼(35)이 밀폐판(31) 및 지지판(32)의 판면에 위치하여, 밀폐판(31)과 지지판(32)이 탄성재(36)에 의해 서로 당겨지는 방향으로 탄지된 상태에서 가이드볼(35)의 이동에 의해 이들 사이의 이격거리가 확장되는 동시에 밀폐판(31)가 유체통로(10a)에 밀착되어 폐쇄상태로 유지된다. At this time, the guide ball 35 installed on the inner guide plate 34 is located on the plate surface of the sealing plate 31 and the support plate 32, the sealing plate 31 and the support plate 32 by the elastic material 36 The separation distance between them is extended by the movement of the guide ball 35 in a state in which the guide ball 35 is pulled in the direction to be pulled together and the sealing plate 31 is kept in close contact with the fluid passage 10a.

이와 같이 개폐부(30)가 개방상태에서 밀폐상태로 이동하는 동작을 설명했으며 밀폐상태에서 개방상태로의 이동은 이와 반대의 작용으로 이루어지므로, 구체적인 설명은 생략한다.As described above, the operation of the opening and closing part 30 is moved from the open state to the closed state, and the movement from the closed state to the open state is performed in the opposite operation, and thus, detailed description thereof will be omitted.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 개폐부가 가이드판을 기준해서 상하로 승강하는 밀폐판과 지지판으로 이루어짐으로써, 밸브몸체부의 유체통로의 개폐를 용이하게 하는 동시에 유체통로의 폐쇄시 밀폐력을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, according to the present invention, the opening and closing part is made up of a sealing plate and a support plate which are lifted up and down on the basis of the guide plate, thereby facilitating opening and closing of the fluid passage of the valve body and at the same time improving the sealing force when the fluid passage is closed. Provide the effect.

또한, 밸브몸체부에 유입된 이물질을 배출하도록 밸브몸체부에 배출부를 연결함으로써, 개폐부가 이동하는 밸브몸체부의 내부를 청결하게 유지하여 개폐부의 오동작을 방지할 수 있게 된다.In addition, by connecting the discharge portion to the valve body portion to discharge the foreign substances introduced into the valve body portion, it is possible to prevent the malfunction of the opening and closing portion by maintaining the inside of the valve body portion to move the opening and closing portion clean.

또한, 배출부의 일단을 하우징부에 연결함으로써, 밸브몸체부의 내부에서 배출된 이물질을 외부로 배출하지 않고 하우징부를 통해 진공챔버로 배출하여 이물질의 외부로의 배출로 인한 오염물질의 외부배출을 차단하고, 가이드판에 설치된 가이드볼이 밀폐판 및 지지판의 가이드홈의 완만한 경사부위를 따라 이동함으로써, 밀폐판과 지지판 사이의 이격거리를 미세하게 조절하여 유체통로를 개폐할 수 있게 된다.In addition, by connecting one end of the discharge portion to the housing portion, the foreign substance discharged from the inside of the valve body portion is discharged to the vacuum chamber through the housing portion without blocking the external discharge of contaminants caused by the discharge of the foreign substance to the outside , The guide ball installed in the guide plate is moved along the gentle slope of the guide groove of the sealing plate and the support plate, thereby finely adjusting the separation distance between the sealing plate and the support plate to open and close the fluid passage.

또한, 가이드판을 외부 가이드판과, 그의 내부에 형성된 안내홈을 따라 구동부에 의해 이동하는 내부 가이드판으로 구성함으로써, 가이드판의 이동동작과 밀폐동작을 단계적으로 실시하여 개폐부의 개폐동작의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, the guide plate is composed of an outer guide plate and an inner guide plate which is moved by the driving unit along the guide groove formed therein, so that the movement of the guide plate and the sealing operation can be carried out step by step to improve the reliability of the opening and closing operation of the opening and closing portion. It provides an effect that can be improved.

이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다. The present invention described above can be embodied in many other forms without departing from the spirit or main features thereof. Therefore, the above embodiments are merely examples in all respects and should not be interpreted limitedly.

10: 밸브몸체부 20: 하우징부
30: 개폐부 40: 구동부
50: 배출부10: valve body portion 20: housing portion
30: opening and closing part 40: driving part
50: discharge part

Claims (7)

유체통로가 형성된 밸브몸체부;
상기 유체통로의 일방에 결합된 제1 하우징과, 상기 유체통로의 타방에 결합된 제2 하우징으로 이루어진 하우징부;
상기 밸브몸체부의 유체통로를 개폐하도록 상기 밸브몸체부의 내부에 상기 유체통로를 향해 슬라이딩되는 개폐부; 및
상기 밸브몸체부의 일단에 설치되어 상기 개폐부를 슬라이딩시키도록 링크기구를 구동시키는 구동부;를 포함하고,
상기 개폐부는, 상기 유체통로의 일방에 밀착되는 밀폐판과, 상기 유체통로의 타방에 밀착되는 지지판과, 상기 밀폐판과 상기 지지판 사이에 설치되어 이들의 슬라이딩을 가이드하는 가이드판과, 상기 밀폐판과 상기 가이드판의 사이 및 상기 지지판과 상기 가이드판의 사이에 설치되어 이들 사이의 이격거리를 조절하는 가이드볼과, 상기 밀폐판과 상기 지지판 사이에 설치되어 이들을 내향으로 탄지하는 탄성재로 이루어져 있고,
상기 가이드판은, 상기 밸브몸체부와 접촉하여 슬라이딩하도록 안내롤러가 양쪽 측단에 설치된 외부 가이드판과, 상기 외부 가이드판의 내부에 형성된 안내홈을 따라 슬라이딩하는 내부 가이드판으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 게이트밸브의 개폐장치.A valve body portion in which a fluid passage is formed;
A housing part comprising a first housing coupled to one side of the fluid passageway, and a second housing coupled to the other side of the fluid passage;
An opening and closing portion sliding toward the fluid passage in the valve body portion to open and close the fluid passage of the valve body portion; And
A driving part installed at one end of the valve body part to drive a link mechanism to slide the opening / closing part;
The opening and closing portion is a sealing plate in close contact with one side of the fluid passage, a support plate in close contact with the other side of the fluid passage, a guide plate provided between the sealing plate and the support plate to guide sliding thereof, and the sealing plate. And a guide ball installed between the guide plate and between the support plate and the guide plate to adjust the separation distance therebetween, and an elastic material installed between the sealing plate and the support plate and supporting them inwardly. ,
The guide plate is characterized in that the guide roller is provided with an outer guide plate installed on both side ends so as to slide in contact with the valve body portion, and an inner guide plate sliding along the guide groove formed in the outer guide plate. Opening and closing device of gate valve. 제 1 항에 있어서,
상기 밸브몸체부는, 내부에 유입된 이물질을 배출하도록 배출부가 연통설치되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트밸브의 개폐장치.The method of claim 1,
The valve body part, the opening and closing device of the gate valve, characterized in that the discharge portion is installed in communication so as to discharge the foreign matter introduced into the inside. 제 2 항에 있어서,
상기 배출부는, 상기 하우징부에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트밸브의 개폐장치.The method of claim 2,
The discharge unit, the opening and closing device of the gate valve, characterized in that connected to the housing. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드볼은, 상기 가이드판의 양쪽에 형성된 결합홈에 회전가능하게 결합되며, 상기 밀폐판 및 상기 지지판에 만곡 형성된 가이드홈을 따라 상기 밀폐판 및 상기 지지판의 판면으로 이동하는 것을 것을 특징으로 하는 게이트밸브의 개폐장치.The method of claim 1,
The guide ball is rotatably coupled to the coupling grooves formed on both sides of the guide plate, and moves along the guide grooves formed in the sealing plate and the support plate to the plate surfaces of the sealing plate and the support plate. Opening and closing device of gate valve. 제 4 항에 있어서,
상기 가이드홈은, 하우징부 방향의 경사기울기가 구동부 방향의 경사기울기 보다 완만하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트밸브의 개폐장치.The method of claim 4, wherein
The guide groove, the opening and closing device of the gate valve, characterized in that the inclined slope in the direction of the housing portion is formed more smoothly than the inclined slope in the drive unit direction. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 내부 가이드판은, 상기 구동부에 링크기구를 개재해서 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트밸브의 개폐장치.The method of claim 1,
And the inner guide plate is coupled to the driving unit via a link mechanism.
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