KR100918460B1 - A gate-valve operating device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A gate valve driving device for a chamber is provided to maintain air-tightness of the chamber by keeping the location of a center within inside of a housing. CONSTITUTION: A gate valve driving device for a chamber comprises a housing(10), a blade(20), and a blade cover(40), a valve body, a lot of shaft roller(41), a platform, a drive cylinder(70), a guide rod(61), and a nitrogen gas supply port(80). The housing has an inlet and an outlet(12) mutually corresponding to the either side at the both side. The blade moves up and down in the housing in order to open and close the inlet or outlet. The blade is arranged to the outlet side. The blade cover is arranged to the inlet side. The valve body is comprised of a bellows(30). The shaft roller is mounted on the outer wall side of the blade cover corresponding to the housing inner wall surface. The platform is connected to the valve body with a supporting shaft(51). The drive cylinder drives the platform up and down. The guide rod steadily guides the elevating flow of the platform. The nitrogen gas supply outlet supplies the nitrogen gas into the separate space.

Description

챔버용 게이트밸브 구동장치{A GATE-VALVE OPERATING DEVICE}Chamber gate valve driving device {A GATE-VALVE OPERATING DEVICE}

본 발명은 챔버용 게이트밸브 구동장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체칩, 웨이퍼, LCD패널 등을 생산하기 위한 설비인 챔버(Chamber)의 통로로 사용되는 게이트밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve driving apparatus for a chamber, and more particularly, to a gate valve used as a passage of a chamber which is a facility for producing a semiconductor chip, a wafer, an LCD panel, and the like.

일반적으로, 챔버는 진공 또는 고정정의 작업환경이 요구되는 반도체칩, 웨이퍼, LCD패널과 같은 첨단 장비나 의료기기를 제조하기 위해 사용되는 산업설비 시설이며, 챔버에 부착되는 게이트밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로 밸브를 순간적으로 열어 챔버공간 내로 반도체칩 등을 이동하고 다시 밸브를 닫아 챔버 내의 기밀상태가 유지되도록 하는 장치이다.In general, a chamber is an industrial facility used to manufacture advanced equipment such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, or medical devices requiring a vacuum or fixed working environment, and a gate valve attached to the chamber serves as an entrance to the chamber. By opening the valve momentarily to move the semiconductor chip, etc. into the chamber space and close the valve again to maintain the airtight state in the chamber.

이러한 종래 게이트밸브의 기본 구성은 하우징에 형성된 양측 출입구의 개폐를 위한 밸브체가 하우징 내부에 장착되어져 있으며, 상기 밸브체는 구동 실린더의 구동에 의해 승강 유동되어지면서 하우징의 출입구를 선택적으로 개폐시키면서 일측의 챔버에 대한 기밀을 유지하게 된다.The basic configuration of the conventional gate valve is a valve body for opening and closing the opening and closing of both sides formed in the housing is mounted inside the housing, while the valve body is moved up and down by the drive of the drive cylinder while selectively opening and closing the entrance and exit of the housing To maintain airtightness to the chamber.

이와같이, 챔버 내에서 이루어지는 생산 작업에 따라 밸브체는 하우징 내에서 수직으로 수없이 많은 승하강 이동을 하게 되는데, 이러한 반복적인 이동에 의 해 종래 게이트밸브는 다음과 같은 문제가 발생하게 된다.As such, according to the production work performed in the chamber, the valve body moves up and down a number of times vertically in the housing. Due to such repeated movement, the conventional gate valve causes the following problems.

즉, 챔버의 기밀을 유지하기 위하여 블레이드가 전진하여 출구를 막는 동작에 의한 반작용으로 밸브가 하우징 내에서 밀리면서 센터의 위치를 벗어나게 되는데, 이러한 과정이 반복됨에 따라 결국에는 밸브의 센터가 밀린 상태로 유지되어 밸브 및 블레이드가 직각 이동을 할 수 없기 때문에 블레이드가 출구를 제대로 막지 못해 챔버의 기밀을 유지할 수 없는 문제가 발생된다.That is, in order to maintain the airtightness of the chamber, the valve is pushed forward to block the exit, and the valve is pushed out of the housing, leaving the position of the center. As the process is repeated, the center of the valve is pushed. Since the valves and the blades cannot be moved at right angles, the blades do not properly block the exit, and thus the airtightness of the chamber cannot be maintained.

이와 같은 현상을 방지하고자 블레이드커버에 연질의 미끄럼패드를 부착하여 블레이드가 전진하여 출구를 막을 때 미끄럼패드가 입구쪽 내면에 지지되어 밸브가 센터의 위치를 벗어나지 못하도록 하고 있으나, 밸브가 상하로 이동이 반복됨에 따라 하우징 내의 이동면과의 마찰에 의해 미끄럼패드가 손상되고 이로 인해 밸브가 센터의 위치를 벗어나 결국에는 챔버의 기밀을 유지할 수 없게 되며, 또한 미끄럼패드로 인한 마찰 저항이 발생되어 밸브를 승하각 시키는 실린더에 무리가 가해지면서 실린더를 교체해야 하는 문제가 발생하게 되었다.To prevent this phenomenon, a soft sliding pad is attached to the blade cover to prevent the valve from moving out of the center position because the sliding pad is supported on the inner surface of the inlet when the blade moves forward to block the exit. As it is repeated, the sliding pads are damaged by friction with the moving surface in the housing, which causes the valve to move out of the center and ultimately not to maintain the airtightness of the chamber. As a result of overloading the cylinder, a problem arises that the cylinder needs to be replaced.

본 발명은 상기한 종래 기술에서의 문제점을 개선하기 위해 제안된 것으로서, 게이트밸브 내에서 동작되는 내부 밸브체의 승강 유동이 원활하게 이루어짐과 함께 하우징 내에서 항상 센터의 위치가 유지되어질 수 있도록 하여 챔버의 기밀성이 안정적으로 유지되어질 수 있도록 하는데 목적이 있다.The present invention has been proposed to improve the above-mentioned problems in the prior art, and the chamber can be maintained at the center in the housing at all times while the lifting flow of the inner valve body operated in the gate valve is made smoothly. The purpose is to ensure that the confidentiality of the can be maintained stably.

상기 목적을 이루기 위한 본 발명의 장치는, 양측에 입구와 출구가 상호 대응되는 위치에 형성되어져 있는 하우징과; 상기 하우징 내부에 장착되어져 입.출구의 개폐를 위해 승하강 구동되어지며, 출구측에 배치되는 블레이드와, 입구측에 배치되는 블레이드커버와, 상기 블레이드와 블레이드커버 사이의 이격공간을 외부와 밀폐상태로 유지시키기 위한 벨로즈로 구성되어지는 밸브체와; 상기 하우징 내벽면과 대응되는 블레이드커버의 외벽면에 장착되어진 샤프트롤러와; 상기 밸브체와 지지샤프트에 의해 연결되어진 승강대와; 상기 승강대를 승하강 구동시키기 위한 구동실린더와; 상기 승강대의 승하강 유동을 가이드하기 위한 가이드로드와; 상기 이격공간으로 질소)가스를 공급하기 위한 질소가스 공급구;를 포함하는 구성을 이룸을 특징으로 한다.The apparatus of the present invention for achieving the above object, the housing and the inlet and the outlet which are formed in a position corresponding to each other on both sides; Mounted inside the housing and driven up and down to open and close the entrance and exit, the blade disposed on the outlet side, the blade cover disposed on the inlet side, the spaced space between the blade and the blade cover and the outside sealed state A valve body composed of a bellows for maintaining the furnace; A shaft roller mounted on an outer wall surface of the blade cover corresponding to the inner wall surface of the housing; A lift table connected to the valve body by a support shaft; A driving cylinder for driving up and down the platform; A guide rod for guiding the lifting flow of the lifting platform; And a nitrogen gas supply port for supplying nitrogen) gas to the separation space.

특히, 상기 샤프트롤러는 내부에 관통 압입되어진 샤프트축에 의해 지지되어지는 구조를 이룸을 특징으로 한다.In particular, the shaft roller is characterized in that the structure is supported by the shaft shaft is pressed through the inside.

이러한 본 발명은, 하우징 내에서 승강 구동되어지면서 챔버를 개폐시키는 밸브체의 블레이드커버에 다수의 샤프트 롤러가 구비되어짐으로서 승하강 유동이 원활하게 이루어짐과 함께, 부품 마모현상을 방지할 수 있게 된다.The present invention is provided with a plurality of shaft rollers in the blade cover of the valve body that opens and closes the chamber while being driven up and down within the housing, thereby smoothly raising and lowering the flow, and preventing component wear.

특히, 밸브체의 팽창을 위한 기체로서 기존의 공기 대신 질소가스를 공급시킴으로서, 공기 공급시 발생되어진 물이 챔버측으로 유입됨으로 인한 문제가 개선되어질 수 있게 된다.In particular, by supplying nitrogen gas instead of the conventional air as the gas for expansion of the valve body, it is possible to improve the problem caused by the water generated in the air supply flows into the chamber.

또한, 밸브체가 블레이드와 블레이드커버 상호간이 벨로즈에 의해 연결되어진 결합구조를 이룸으로서, 질소가스 공급에 따른 내부압력 증가시 안정적인 기밀상태가 유지되어지는 가운데 블레이드의 전,후진 유동이 이루어질 수 있게 된다.In addition, the valve body forms a coupling structure in which the blade and the blade cover are connected to each other by the bellows, so that the flow of the blade forward and backward can be achieved while maintaining a stable airtight state when the internal pressure increases due to the supply of nitrogen gas. .

또한, 샤프트롤러를 지지하기 위한 별도의 롤러 지지구를 하우징 내벽면에 구성시킴으로서, 질소가스 공급에 의한 블레이드의 전진 유동시 이에 대한 반작용으로 밸브체가 밀리는 현상이 방지되어 센터 위치가 항상 유지되어질 수 있게 되고, 이에 따른 챔버의 안정적인 기밀상태가 유지되어질 수 있게 된다.In addition, by configuring a separate roller support for supporting the shaft rollers on the inner wall surface of the housing, the valve body is prevented from being pushed in response to the forward flow of the blade by nitrogen gas supply, so that the center position can be maintained at all times. As a result, a stable airtight state of the chamber can be maintained.

또한, 승강대의 승강 유동시 수평유지블럭에 의해 좌우 수평상태가 유지되어질 수 있게 되며, 완충쇼바로 인해 승강대의 유동시의 충격 전달이 방지되어질 수 있게 된다.In addition, the left and right horizontal state can be maintained by the horizontal holding block during the lifting flow of the platform, and the shock transmission during the flow of the platform can be prevented due to the shock absorber.

이하, 본 발명의 구체적인 실시 예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 살펴보기로 한다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 실시 예에 따른 게이트 밸브 구동장치의 전체적인 구성을 살펴보 면, 일측의 챔버 내로 반도체칩과 같은 생산품의 이송이 가능하도록 양측에 입구(11)와 출구(12)가 각각 형성되어져 있는 하우징(10)은 하부몸체(13) 상부에 안착 결합되어지게 되며, 하우징(10) 내부에는 입,출구(11,12)의 개폐를 위한 밸브체(50)가 구성되어지게 된다.First, referring to the overall configuration of the gate valve driving apparatus according to the present embodiment, the inlet 11 and the outlet 12 are formed on both sides so as to enable the transfer of products such as semiconductor chips into the chamber on one side. 10 is to be seated coupled to the upper body 13, the valve body 50 for opening and closing the inlet, outlet (11, 12) is configured in the housing (10).

밸브체(50)는 판형태의 블레이드(20)와 블레이드커버(40)로 이루어지며, 블레이드(20)와 블레이드커버(40) 사이의 이격공간(S)에는 다수의 벨로즈(30)가 일정 간격으로 결합 구성되어져 있다.The valve body 50 is composed of a blade-shaped blade 20 and the blade cover 40, a plurality of bellows 30 is constant in the space (S) between the blade 20 and the blade cover 40. It is composed of a coupling at intervals.

특히, 블레이드커버(40)는 하우징(10) 내부에서 입구(11)측에 위치되는 것으로서, 도 2 및 도 3에서와 같이 외측면에 샤프트축(41a)에 의해 회동 가능하게 지지되는 다수의 샤프트 롤러(41)가 구성되어져 있으며, 내측면에는 벨로즈(30)가 안착되어질 수 있는 원형의 벨로즈 안착홈(42)이 형성되어져 있고, 벨로즈 안착홈(42)에는 내부 공간으로 질소가스를 공급하기 위한 가스 공급공(42a)이 형성되어져 있다. 미설명 부호 43은 질소가스 공급유로이고, 44는 피스 체결공이며, 45는 커버패킹을 각각 나타낸다.In particular, the blade cover 40 is located on the inlet 11 side in the housing 10, a plurality of shafts rotatably supported by the shaft shaft 41a on the outer surface as shown in Figs. The roller 41 is configured, the inner side surface is formed with a circular bellows seating groove 42 in which the bellows 30 can be seated, and the bellows seating groove 42 has nitrogen gas in the inner space. The gas supply hole 42a for supplying is formed. Reference numeral 43 denotes a nitrogen gas supply passage, 44 denotes a piece fastening hole, and 45 denotes a cover packing.

그리고, 밸브체(50)의 상승시 샤프트 롤러(41)와 대응되는 하우징(10)의 내벽면에는 홈부(16)가 형성되어져 있으며, 이러한 각 홈부(16)에는 롤러 지지구(14)가 구성되어져 있는데, 이러한 롤러 지지구(14)는 하우징(10)의 내벽면 보다 약간 돌출된 구조를 이루도록 함으로서 밸브체(50) 팽창시 블레이드커버(40)가 밀리지 않도록 샤프트 롤러(41)를 안정적으로 지지할 수 있게 된다.In addition, a groove portion 16 is formed on an inner wall surface of the housing 10 corresponding to the shaft roller 41 when the valve body 50 rises, and each of the groove portions 16 includes a roller support 14. Although the roller support 14 is formed to protrude slightly from the inner wall surface of the housing 10, the shaft roller 41 is stably supported so that the blade cover 40 does not push when the valve body 50 is expanded. You can do it.

그리고 블레이드(20)는 벨로즈(30)와 결합되어지는 벨로즈 결합부(22)가 원 형의 형상으로 돌출 구비되었다. 미설명 부호 21은 밸브패킹을 나타낸다.And the blade 20 is provided with a bellows coupling portion 22 which is coupled to the bellows 30 protruding in a circular shape. Reference numeral 21 indicates valve packing.

또한, 벨로즈(30)는 블레이드(20)와 결합되어지는 유동판(31)과, 블레이드커버(40)와 결합되어지는 고정플렌지(32)이 각각 양단에 연결 구비되어져 있다. 미설명 부호 37은 나사체결공이고, 38은 너트공을 각각 나타낸다.In addition, the bellows 30 is provided with a fluid plate 31 coupled to the blade 20 and a fixed flange 32 coupled to the blade cover 40 at both ends thereof. Reference numeral 37 denotes a screw fastening hole, and 38 denotes a nut hole.

한편, 상기와 같은 결합구조를 이루는 밸브체(50)는 지지샤프트(51)에 의해 지지되어지며, 지지샤프트(51)는 구동 실린더(70)에 의해 승강 구동되어지는 승강대(60)에 양측에 수직방향으로 고정 결합된 구성을 이루고 있다.On the other hand, the valve body 50 constituting the coupling structure as described above is supported by the support shaft 51, the support shaft 51 on both sides of the lifting table 60 which is driven up and down by the drive cylinder 70 It consists of a fixed combination in the vertical direction.

그리고, 양측 지지샤프트(51) 각각의 하부에는 좌우 수평유지를 위한 수평유지블럭(53)이 구성되어져 있으며, 수평유지블럭(53) 상부에는 지지샤프트(51)를 감싸는 형태로 질소가스 공급유로의 기밀을 유지시키기 위한 기밀 벨로즈(52)가 구성되어져 있음을 확인할 수 있다. 지지샤프트(51)에는 질소가스 공급유로(43)와 연통되는 내부 유로(미도시)를 형성함으로서, 질소가스의 공급 또는 압축공기의 배출이 이루어질 수 있게 된다.In addition, a lower portion of each of the support shafts 51 is provided with a horizontal holding block 53 for horizontally holding the left and right, and the upper portion of the horizontal holding block 53 has a nitrogen gas supply passage in the form of surrounding the supporting shaft 51. It can be confirmed that the airtight bellows 52 are configured to maintain the airtightness. By forming an internal flow path (not shown) in communication with the nitrogen gas supply passage 43, the support shaft 51 can supply nitrogen gas or discharge compressed air.

또한, 승강대(60)의 승강 유동을 안내하기 위한 가이드로드(61)가 하부 받침대(90)와 하부몸체(13) 사이에 수직방향으로 연결 설치되어져 있으며, 하부에는 질소(N2)가스를 밸브체(50)로 공급하기 위한 질소가스 공급구(80)가 플렉시블 재질로 구성되어져 있다.In addition, the guide rod 61 for guiding the lifting flow of the lifting table 60 is installed in the vertical direction between the lower pedestal 90 and the lower body 13, the lower portion of the nitrogen (N 2 ) gas valve The nitrogen gas supply port 80 for supplying the sieve 50 is comprised from the flexible material.

이와 더불어, 가이드 로드(61) 일측에는 도 8에서와 같이 상하방향으로 안내레일(61b)이 돌출 구비되었고, 상기 안내레일(61b)을 따라 안내되어지는 안내블 럭(64)이 승강대(60)에 고정 설치되어져 있어 보다 안정적인 승강대(60)의 승강 유동이 이루어질 수 있도록 하였다.In addition, one side of the guide rod 61 is provided with a guide rail (61b) protruding in the vertical direction as shown in Figure 8, the guide block 64 guided along the guide rail (61b) platform 60 It is fixed to the so that the lifting flow of the more stable platform 60 can be made.

또한, 승강대(60)에는 승하강 동작시 상,하부 구조물과 충격을 흡수하기 위한 완충쇼바(62,63)가 상부와 하부에 각각 구비되어져 있으며, 가이드로드(61) 중단에는 승강대(60)의 상승높이를 제한하기 위한 걸림턱(61a)이 구비되어져 있다.In addition, the lifting table 60 is provided with upper and lower buffer shock absorbers 62 and 63, respectively, for absorbing the upper and lower structures and the shock during the lifting and lowering operation. A locking jaw 61a for limiting the lift height is provided.

따라서, 승강대(60)의 상승시에는 상부 완충쇼바(62)가 걸림턱(61a)과 대응되어짐으로서 접촉소음 및 손상 발생이 방지되어지고, 승강대(60)의 하강시에는 하부 완충쇼바(63)가 하부 받침대(90)와 대응되어짐으로서 접촉소음 및 손상발생이 방지되어질 수 있게 된다.Accordingly, when the platform 60 is raised, the upper shock absorber 62 corresponds to the locking jaw 61a, thereby preventing contact noise and damage, and when the platform 60 is lowered, the lower shock absorber 63 is lowered. By being in correspondence with the lower pedestal 90, contact noise and damage can be prevented.

미설명 부호 80은 밸브체(50)측으로 질소가스를 공급하기 위한 질소가스 공급구이고, 81은 공급되는 질소가스에 포함된 불순물 제거를 위한 에어 석션필터이며, 82는 가스압력을 일정하게 유지시키기 위한 진공 레귤레이터이고, 83은 유로 개폐를 위한 약액용 에어 오퍼레이드 밸브이며, 84는 진공압의 역류 방지를 위한 체크밸브이고, 85는 개폐밸브를 각각 나타낸다.Reference numeral 80 is a nitrogen gas supply port for supplying nitrogen gas to the valve body 50 side, 81 is an air suction filter for removing impurities contained in the supplied nitrogen gas, 82 is to maintain a constant gas pressure Is a vacuum regulator, 83 is a chemical air operation valve for opening and closing the flow path, 84 is a check valve for preventing the reverse flow of vacuum pressure, and 85 is an opening / closing valve, respectively.

이와 같은 구성을 이루는 본 발명 게이트 밸브 구동장치의 동작에 따른 작용효과를 살펴보기로 한다.The effect of the operation of the gate valve driving apparatus of the present invention constituting such a configuration will be described.

먼저, 밸브체(50)의 상승구동시에는 도 4에서와 같이 구동실린더(70)의 동작에 의해 승강대(60)가 상승되어짐으로서 지지샤프트(51)에 의해 지지되고 있는 밸브체(50)가 도 5에서와 같이 하우징(10) 내부에서 상승하여 입,출구(11,12)를 폐쇄시킨 상태를 이루게 된다.First, at the time of driving up the valve body 50, as shown in FIG. 4, as the lift table 60 is raised by the operation of the drive cylinder 70, the valve body 50 supported by the support shaft 51 is As shown in FIG. 5, the inside of the housing 10 is raised to achieve a state in which the inlets and outlets 11 and 12 are closed.

이러한 밸브체(50) 상승 과정에서 블레이드커버(40)에 구성되어져 있는 샤프트 롤러(41)가 하우징(10)의 내벽면을 따라 유동되어짐으로서 원활한 상승 구동이 이루어질 수 있게 된다.In the process of raising the valve body 50, the shaft roller 41 configured in the blade cover 40 is flowed along the inner wall surface of the housing 10, so that a smooth upward driving can be performed.

한편, 밸브체(50)의 상승구동 후에는 챔버 내부 공간의 밀폐를 위한 질밸브체(50)의 압착동작이 이루어지게 된다.On the other hand, after the upward drive of the valve body 50, the pressing operation of the vaginal valve body 50 for sealing the interior space of the chamber is made.

즉, 이때에는 외부로 부터 질소가스 공급구(80)를 통해 질소가스가 공급되어지면, 공급된 질소가스는 에어 석션필터(81)와 진공 레귤레이터(82) 그리고 약액용 에어오퍼레이드 밸브(83)를 통해 전달되어진 후, 지지샤프트(51) 내부의 내부 유로를 거쳐 밸브체(50)측으로 안내되어지고, 밸브체(50) 에서는 블레이드커버(40) 내부에 형성되어져 있는 질소 공급유로(43)와 가스 공급공(42a)을 통해 벨로즈 안착홈(42)으로 공급되어지게 된다.That is, at this time, when nitrogen gas is supplied from the outside through the nitrogen gas supply port 80, the supplied nitrogen gas is the air suction filter 81, the vacuum regulator 82 and the chemical liquid air operation valve 83 After being delivered through the, it is guided to the valve body 50 side through the internal flow path inside the support shaft 51, in the valve body 50 and the nitrogen supply passage 43 formed in the blade cover 40 and It is supplied to the bellows seating groove 42 through the gas supply hole (42a).

이와 같이 공급되어진 질소가스에 의한 내부압력이 증대되어짐으로 인해 블레이드(20)와 블레이드커버(40) 상호간의 이격공간(S)이 증대되어지면서 벨로즈(30)가 수축되어지게 되고, 이에 따라 블레이드(20)가 전진되어지면서 출구(12)를 막게 되는 것이다.As the internal pressure by the supplied nitrogen gas is increased, the space S between the blades 20 and the blade cover 40 is increased, and the bellows 30 is contracted. As the 20 is advanced, the outlet 12 is blocked.

이때, 블레이드(20)가 출구(12)측 내벽면에 밀착되어짐에 따른 반작용으로 블레이드커버(40)는 입구(11)측 내벽면 방향으로 밀리는 힘을 받게 되는데, 이때 샤프트 롤러(41)가 롤러 지지구(14)에 의해 지지되어지게 된다.At this time, in response to the blade 20 being in close contact with the inner wall surface of the outlet 12 side, the blade cover 40 is pushed toward the inner wall surface of the inlet 11 side, wherein the shaft roller 41 is a roller It is supported by the support 14.

따라서, 샤프트 롤러(41)가 하우징(10) 내벽면과 직접 적인 접촉이 이루어지지 않는 가운데 롤러 지지구(14)에 의해 안정적인 지지상태가 유지되어지게 됨으 로, 하우징(10) 내벽면의 손상이 방지되어짐과 함께 밸브체(50)의 센터의 위치가 유지되어질 수 있게 된다.Therefore, since the shaft roller 41 is not in direct contact with the inner wall of the housing 10, a stable supporting state is maintained by the roller support 14, so that the damage of the inner wall of the housing 10 is prevented. While being prevented, the position of the center of the valve body 50 can be maintained.

한편, 게이트밸브를 개방시키고자 하는 경우에는, 먼저 밸브체(50) 내부에 충진되어져 있는 질소가스를 베큠노즐(미도시)을 통하여 강제 배출시킴으로 내부 압력을 감소시켜 밸브체(50)와 하우징(10) 상호간의 밀착상태를 해제시킨 후 도 6 및 도 7에서와 같이 밸브체(50)를 하강시키게 된다.On the other hand, to open the gate valve, first, by forcibly discharging the nitrogen gas filled in the valve body 50 through a vacuum nozzle (not shown) to reduce the internal pressure to reduce the valve body 50 and the housing ( 10) After releasing close contact with each other, the valve body 50 is lowered as shown in FIGS. 6 and 7.

즉, 이때에는 상기에서와 역방향으로 진공압이 걸려지게 되면 내부에 충진되어진 질소가스가 질소 공급유로(43)를 통해 강제 배출되어지게 되면서 블레이드(20)와 블레이드커버(40) 사이의 이격공간(S)에 음압이 걸려지게 되고, 이에 따라 벨로즈(30)가 이완되어지면서 하우징(10) 내벽면에 밀착되어져 있던 블레이드(20)가 후진되어지게 된다.That is, in this case, when the vacuum pressure is applied in the reverse direction as described above, the nitrogen gas filled therein is forcibly discharged through the nitrogen supply passage 43 and the space between the blade 20 and the blade cover 40 ( A negative pressure is applied to S), and as a result, the bellows 30 is relaxed, and the blade 20 which is in close contact with the inner wall of the housing 10 is reversed.

이후, 구동 실린더(70)의 구동에 의해 밸브체(50)가 하강 구동되어지게 되며, 이러한 하강 구동시 샤프트 롤러(41)에 의해 밸브체(50)의 하강이 원활하게 이루어질 수 있게 되는 것이다.Thereafter, the valve body 50 is driven to be driven downward by the driving of the driving cylinder 70, and the valve body 50 can be smoothly lowered by the shaft roller 41 during such driving.

그리고, 상기에서 본 발명의 특정한 실시 예가 설명 및 도시되었지만 본 발명의 게이트밸브 구조가 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 수 있음은 자명한 일이다.In addition, although specific embodiments of the present invention have been described and illustrated above, it is obvious that the gate valve structure of the present invention may be variously modified and implemented by those skilled in the art.

그러나, 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 범위로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 첨부된 특허청구범위 내에 포함된다 해야 할 것이다.However, such modified embodiments should not be understood individually from the spirit or scope of the present invention, such modified embodiments will be included within the appended claims of the present invention.

도 1은 본 발명 게이트밸브 구동장치의 하우징 분리시 외관 사시도.1 is an external perspective view of the housing of the gate valve driving apparatus of the present invention.

도 2는 본 발명 게이트밸브의 밸브체 분해도를 나타낸 것으로서,Figure 2 shows an exploded view of the valve body of the gate valve of the present invention,

2a는 외관 사시도.2a is an external perspective view.

2b는 요부 확대도.2b is an enlarged view of the main part.

도 3은 본 발명 게이트밸브의 밸브체 결합상태 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view of the valve body coupled state of the gate valve of the present invention.

도 4는 본 발명 게이트밸브 구동장치의 상승 구동시 상태도.Figure 4 is a state diagram at the time of driving the gate valve drive device of the present invention.

도 5는 도 4의 A-A부 단면도.5 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 6은 본 발명 게이트밸브 구동장치의 하강 구동시 상태도.Figure 6 is a state diagram when the driving down the gate valve drive device of the present invention.

도 7은 도 6의 B-B부 단면도.FIG. 7 is a sectional view taken along the line B-B in FIG. 6; FIG.

도 8은 본 발명에서의 승강대 가이드 구성부 구조도.8 is a structural diagram of the platform guide configuration in the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 하우징 11 : 입구10 housing 11 inlet

12 : 출구 13 : 하부몸체12 outlet 13 lower body

14 : 롤러 지지구 15 : 몸체패킹14 roller supporter 15 body packing

20 : 블레이드 21 : 밸브패킹20: blade 21: valve packing

22 : 벨로즈 결합부 30 : 벨로즈22: bellows coupling portion 30: bellows

31 : 유동판 32 : 고정플랜지31: flow plate 32: fixed flange

33 : 체결플레이트 37 : 나사체결공33: fastening plate 37: screw fastening

38 : 너트공 40 : 블레이드커버38: nut ball 40: blade cover

41 : 샤프트 롤러 41a: 샤프트축41: shaft roller 41a: shaft axis

42 : 벨로즈 안착홈 42a: 가스 공급공42: bellows seating groove 42a: gas supply hole

43 : 질소 공급유로 44 : 피스 체결공43: nitrogen supply passage 44: piece fastening hole

50 : 밸브체 51 : 지지샤프트50: valve body 51: support shaft

52 : 기밀 벨로즈 53 : 수평유지블럭52: airtight bellows 53: horizontal block

60 : 승강대 61 : 가이드 로드60: platform 61: guide rod

61b: 안내레일 62,63 : 완충쇼바61b: guide rail 62,63: shock absorber

64 : 안내블럭 70 : 구동 실린더64: guide block 70: driving cylinder

80 : 질소가스 공급구 81 : 에어 석션필터80: nitrogen gas supply port 81: air suction filter

82 : 진공 레귤레이터 83 : 약액용 에어 오퍼레이드 밸브82: vacuum regulator 83: chemical liquid air operation valve

84 : 체크밸브 85 : 개폐밸브84: check valve 85: on-off valve

90 : 하부 받침대90: lower pedestal

Claims (7)

양측에 입구(11)와 출구(12)가 상호 대응되는 위치에 형성되어져 있는 하우징(10)과;A housing 10 formed at positions in which inlet 11 and outlet 12 correspond to each other; 상기 하우징(10) 내부에 장착되어져 입.출구(11,12)의 개폐를 위해 승하강 구동되어지며, 출구(12)측에 배치되는 블레이드(20)와, 입구(11)측에 배치되는 블레이드커버(40)와, 상기 블레이드(20)와 블레이드커버(40) 사이의 이격공간(S)을 외부와 밀폐상태로 유지시키기 위해 결합되어진 벨로즈(30)로 구성되어지는 밸브체(50)와;Mounted inside the housing 10 is driven up and down to open and close the entrance and exit 11, 12, the blade 20 is disposed on the outlet 12 side and the blade disposed on the inlet 11 side The valve body 50 is composed of a cover 40, the bellows 30 is coupled to maintain the space (S) between the blade 20 and the blade cover 40 in a sealed state with the outside; ; 상기 하우징(10) 내벽면과 대응되는 블레이드커버(40)의 외벽면에 장착되어진 다수의 샤프트롤러(41)와;A plurality of shaft rollers 41 mounted on the outer wall of the blade cover 40 corresponding to the inner wall of the housing 10; 상기 밸브체(50)와 지지샤프트(51)에 의해 연결되어진 승강대(60)와;A lift table 60 connected by the valve body 50 and the support shaft 51; 상기 승강대(60)를 승하강 구동시키기 위한 구동실린더(70)와;A driving cylinder 70 for driving the lifting table 60 up and down; 상기 승강대(60)의 승하강 유동을 안정적으로 가이드하기 위한 가이드로드(61)와;A guide rod (61) for stably guiding the lifting flow of the lifting table (60); 상기 이격공간(S)으로 질소(N2)가스를 공급하기 위한 질소가스 공급구(80);A nitrogen gas supply port 80 for supplying nitrogen (N 2 ) gas to the separation space (S); 를 포함하는 구성을 이룸을 특징으로 하는 챔버용 게이트밸브 구동장치.Gate valve drive device for a chamber comprising a configuration comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 샤프트롤러(41)는 내부에 관통 압입되어진 샤프트축(41a)에 의해 지지되어지는 구조를 이룸을 특징으로 하는 챔버용 게이트밸브 구동장치.The shaft roller 41 is a chamber gate valve driving apparatus characterized in that the structure is supported by the shaft shaft (41a) that is penetrated through the inside. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 벨로즈(30)는 블레이드(20)와 결합되어지는 유동판(31)과, 블레이드커버(40)와 결합되어지는 고정플렌지(32)이 각각 양단에 연결 구비되어져 있으며;The bellows 30 is provided with a fluid plate 31 coupled to the blade 20 and a fixed flange 32 coupled to the blade cover 40 at both ends thereof; 상기 고정플렌지(32)와 결합되어지는 블레이드커버(40)는 벨로즈(30)가 안착되어질 수 있는 벨로즈 안착홈(42)이 형성되어짐과 함께, 벨로즈 안착홈(42) 내벽에는 질소가스가 공급되어지는 가스 공급공(42a)이 형성되어져 있고;The blade cover 40 coupled to the fixed flange 32 is formed with a bellows seating groove 42 through which the bellows 30 can be seated, and nitrogen gas is formed on the inner wall of the bellows seating groove 42. A gas supply hole 42a to which is supplied is formed; 상기 유동판(31)과 결합되어질 수 있도록 블레이드(20)에는 원형의 형상으로 돌출 구비되어진 벨로즈 결합부(22)가 구비되어진 것을 특징으로 하는 챔버용 게이트밸브 구동장치.Blade valve 20 has a bellows coupling portion 22 is provided with a protruding in a circular shape so that the fluid plate 31 can be coupled to the flow plate (31). 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 하우징(10)의 내벽면에는 입구(11)측 상부와 하부에 다수의 홈부(16)가 일정 간격으로 형성되어져 있으며, 상기 각 홈부(16)에는 밸브체(50)의 상승시 샤프트 롤러(41)를 지지하기 위한 롤러 지지구(14)가 구성되어되, 상기 롤러 지지구(14)는 하우징(10) 내벽면 보다 일정 높이 돌출 구비되어진 것을 특징으로 하는 챔버용 게이트밸브 구동장치.A plurality of grooves 16 are formed on the inner wall surface of the housing 10 at upper and lower portions of the inlet 11 side at regular intervals, and each of the grooves 16 has a shaft roller when the valve body 50 is raised. The roller support (14) is configured to support the 41, wherein the roller support (14) is characterized in that the chamber valve valve drive device characterized in that provided with a predetermined height than the inner wall surface (10). 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 가이드 로드(61) 중단에는 승강대(60)의 승강높이를 제한하기 위한 걸림턱(61a)이 구비되었으며,At the stop of the guide rod 61, a locking step 61a for limiting the lifting height of the platform 60 is provided. 가이드 로드(61) 일측에는 상하방향으로 안내레일(61b)이 돌출 구비되었고;One side of the guide rod 61 has a guide rail 61b protruding upward and downward; 상기 안내레일(61b)을 따라 안내되어지는 안내블럭(64)이 승강대(60)에 고정 설치되어진 것을 특징으로 하는 챔버용 게이트밸브 구동장치.The guide block (64) guided along the guide rail (61b) is fixed to the platform 60, the gate valve drive device for the chamber. 삭제delete 삭제delete
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