KR20200001127A - Mono type gate valve system - Google Patents

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KR20200001127A
KR20200001127A KR1020180073696A KR20180073696A KR20200001127A KR 20200001127 A KR20200001127 A KR 20200001127A KR 1020180073696 A KR1020180073696 A KR 1020180073696A KR 20180073696 A KR20180073696 A KR 20180073696A KR 20200001127 A KR20200001127 A KR 20200001127A
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Abstract

The present invention relates to a mono type gate valve system wherein a sealing member is formed to have a stepped portion so as to open and close a passage only with a lifting motion of a door. The mono type gate valve system can comprise: a valve housing having at least one portion on which a passage provided with a first lower surface and a second lower surface is formed and the other portion on which a door replacement area is formed; a mono type door in which a first sealing member corresponding to the first lower surface and the second lower surface of the passage is installed to open and close the passage; a lifting and lowering stand for supporting the door; a lifting and lowering shaft for lifting and lowering the lifting and lowering stand; and a door replacement movement device for opening and closing the passage when the door is lifted and lowered in a first position and moving the door from the first position to a second position to be moved to a door replacement area when the door is lifted and lowered in the second position.

Description

모노 타입 게이트 밸브 시스템{Mono type gate valve system}Mono type gate valve system

본 발명은 모노 타입 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도어의 상승 동작만으로도 통로를 개폐시킬 수 있도록 실링 부재가 단차지게 형성되는 모노 타입 게이트 밸브 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a mono type gate valve system, and more particularly, to a mono type gate valve system in which the sealing member is stepped so as to open and close the passage only by the lifting operation of the door.

일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.In general, chambers are industrial facility facilities used to manufacture advanced semiconductor devices, display devices or other medical devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, etc. that require a vacuum or high clean working environment. The gate valve attached to the gate valve serves as an entrance and exit of the chamber, and is a kind of apparatus for opening a door to move a semiconductor chip or wafer into the chamber space and closing the door to maintain the airtight state in the chamber.

한편, 이러한 종래 게이트 밸브는 일반적으로 오링을 이용하여 기밀 상태를 유지하는 것으로서, 내부의 공정 환경이나 진공, 고압, 고온 등의 악조건에 의해 탄성 재질로 제조되는 오링이 쉽게 마모되거나 변형되어 주기적으로 교환해야 하는 번거로움이 있었다.On the other hand, such a conventional gate valve generally maintains the airtight state using the O-ring, the O-ring made of elastic material is easily worn or deformed by the internal process environment or adverse conditions such as vacuum, high pressure, high temperature, and periodically replaced There was a hassle to do.

이를 해결하고자 하는 종래의 기술로는, 대한민국 공개특허 제10-2006-0069287호에 개시된 바와 같이, 밸브 하우징의 일부분에 설치된 개폐 덮개를 열고, 밸브체로부터 밀봉 부재(오링)만을 교환할 수 있는 기술이 개발된 바 있다.As a conventional technology to solve this problem, as disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2006-0069287, a technique of opening and closing the cover installed in a portion of the valve housing, and can replace only the sealing member (O-ring) from the valve body This has been developed.

그러나, 이러한 오링만을 교환하는 종래의 기술은 최근 추세인 일체형 오링이 적용된 도어에서는 사용할 수 없고, 설사 오링만 교환한다 하더라도 오링을 좁은 오링홈에 끼우는 작업이 매우 번거롭고 수작업으로 이루어지기 때문에 부주의로 인하여 부품이 손상되거나 오링이 불완전하게 설치되어 기밀 유지가 어려웠었던 문제점들이 있었다.However, the conventional technology of replacing only this O-ring cannot be used in a door with an integrated O-ring, which is a recent trend. The damaged or incomplete installation of the O-rings had problems that were difficult to maintain confidentiality.

또한, 이러한 종래의 오링 교환 기술은 오링을 교환하기 위해서 매우 넓은 영역이 개방되어야 하는 데, 이러한 넓은 영역으로 인하여 장비의 부피가 커져서 장비의 제조 단가가 비싸지는 것은 물론이고, 장비의 내부 공간이 넓어져서 진공압을 형성하는 데에 시간과 비용이 많이 소요되는 등 많은 문제점들이 있었다.In addition, such a conventional O-ring exchange technology requires a very large area to be opened in order to exchange the O-rings. This large area increases the volume of the equipment, which increases the manufacturing cost of the equipment, and also increases the internal space of the equipment. There have been many problems such as time and cost to build a vacuum pressure.

한편, 종래에는 도어의 상승 동작만으로도 통로를 개폐시킬 수 있도록 실링 부재가 단차지게 형성되어 비교적 구조가 간단하고 작동성이 우수한 모노 타입 게이트 밸브 시스템이 널리 적용되고 있다.On the other hand, conventionally, a mono-type gate valve system having a relatively simple structure and excellent operability since the sealing member is stepped so that the passage can be opened and closed only by the upward movement of the door has been widely applied.

본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 모노 타입 도어에서도 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하는 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.The idea of the present invention is to solve these problems, it is possible to replace the entire door including the O-ring even in the mono-type door, which can greatly reduce the replacement cost and time, reduce the volume of the equipment and reduce the cost and equipment of the equipment It is to provide a mono-type gate valve system that can reduce the pneumatic formation time and cost, for example, to enable the door replacement without breaking the overall vacuum of the valve housing. However, these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereby.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어; 상기 도어를 지지하는 승하강대; 상기 승하강대를 승하강시키는 승하강축; 및 상기 도어가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역으로 이동될 수 있도록 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 도어 교체용 이동 장치;를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, a mono-type gate valve system includes: a valve housing having a first lower surface and a second lower surface formed in at least a portion thereof, and a door replacement area formed in the other portion; A mono type door having a first sealing member corresponding to the first lower surface and the second lower surface of the passage so as to open and close the passage; Lifting platform for supporting the door; An elevating shaft for elevating the elevating platform; And a door replacement to move the door from the first position to the second position so that the door can be opened and closed when the door is moved up and down in the first position, and the door can be moved to the door replacement area when the door is moved up and down in the second position. For mobile device; may include.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부분에 개폐문이 설치되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부 또는 상기 승하강대에 상기 도어 교체 영역의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재가 설치될 수 있다.In addition, according to the present invention, the valve housing is the door replacement area is disposed above the passage, the opening and closing door is installed in a portion of the door replacement area, the entrance or the lifting platform of the door replacement area A second sealing member for sealing the door replacement area may be installed.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축에 설치되고, 상기 승하강대를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치일 수 있다.Further, according to the present invention, the door replacement moving device may be installed on the elevating shaft, the elevating platform forward and backward devices for advancing the elevating platform.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device, the lifting shaft forward and backward apparatus for advancing the lifting shaft up and down; may include.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징에 형성되는 승하강축 가이드홀부; 및 상기 승하강축과 상기 밸브 하우징의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징에 설치되는 벨로우즈관;을 더 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device, the lifting shaft guide hole formed in the valve housing to guide the forward and backward movement of the lifting shaft; And a bellows pipe installed in the valve housing so as to surround the elevating shaft guide hole to protect the elevating shaft and the inside of the valve housing.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 도어 교체 영역의 방향에 맞추어 상기 승하강축의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치;를 포함할 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device, the lifting shaft angle adjusting device for adjusting the angle of the lifting shaft in accordance with the direction of the door replacement area; may include.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강대에 설치되고, 상기 도어를 전후진시키는 도어 전후진 장치일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door replacement moving device is installed on the lifting platform, it may be a door forward and backward device for moving the door forward and backward.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 전후진 장치는, 상기 승하강대를 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 또는 상기 승하강대로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입일 수 있다.In addition, according to the present invention, the door forward and backward devices may be a sliding type sliding along the lifting platform or an extension type that is extended or contracted from the lifting platform.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부에 개폐문이 형성되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치가 설치될 수 있다.In addition, according to the present invention, the valve housing has the door replacement area disposed below the passage, the opening and closing door is formed in a part of the door replacement area, the door replacement in the inlet portion of the door replacement area A temporary closure device may be installed to temporarily seal the door replacement area.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 임시 밀폐 장치는, 밀폐문이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치 또는 밀폐문이 회전되는 회전식 밀폐 장치일 수 있다.Further, according to the present invention, the temporary sealing device may be a flexible sealing device in which the sealing door is extended or contracted or a rotary sealing device in which the sealing door is rotated.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.According to some embodiments of the present invention made as described above, it is possible to replace the entire door including the O-ring in the mono-type door can greatly reduce the replacement cost and time, reducing the volume of equipment and It is possible to reduce the time and cost of vacuum formation, and to improve the durability and performance of the equipment by simplifying the operation and operation of the equipment by, for example, replacing the door without breaking the entire vacuum of the valve housing. . Of course, the scope of the present invention is not limited by these effects.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어의 일례를 나타내는 사시도이다.1 and 2 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some embodiments of the present invention.
3 and 4 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
5 and 6 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
7 and 8 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
9 and 10 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
11 and 12 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
13 and 14 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
15 and 16 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
17 is a perspective view illustrating an example of a door of a mono type gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.The embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art, and the following examples can be modified in various other forms, and the scope of the present invention is It is not limited to an Example. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. In addition, the thickness or size of each layer in the drawings is exaggerated for convenience and clarity of description.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms "a", "an" and "the" may include the plural forms as well, unless the context clearly indicates otherwise. Also, as used herein, "comprise" and / or "comprising" specifies the presence of the mentioned shapes, numbers, steps, actions, members, elements and / or groups of these. It is not intended to exclude the presence or the addition of one or more other shapes, numbers, acts, members, elements and / or groups.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings, which schematically illustrate ideal embodiments of the present invention. In the figures, for example, variations in the shape shown may be expected, depending on manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, embodiments of the inventive concept should not be construed as limited to the specific shapes of the regions shown herein, but should include, for example, changes in shape resulting from manufacturing.

이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100~800)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a mono type gate valve system 100 to 800 according to various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 작동 도면들이다.1 and 2 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 100 in accordance with some embodiments of the present invention.

먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 모노 타입의 도어(20)와, 승하강대(30)와, 승하강축(40) 및 도어 교체용 이동 장치(50)를 포함할 수 있다.First, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the mono type gate valve system 100 according to some embodiments of the present invention has a valve housing 10, a mono type door 20, Steel strip 30, the lifting shaft 40 and the door replacement moving device 50 may be included.

예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 적어도 일부분에 제 1 하면(F1)과 제 2 하면(F2)을 갖는 모노 타입의 통로(10a)가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상술된 상기 도어(20)와, 상기 승하강대(30)와, 상기 승하강축(40) 및 상기 도어 교체용 이동 장치(50) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.For example, as shown in FIGS. 1 and 2, the valve housing 10 has a mono type passage 10a having a first lower surface F1 and a second lower surface F2 at least partially formed therein. A hollow box-like structure in which a door replacement area A is formed at another part, wherein the door 20, the lifting platform 30, the lifting shaft 40, and the door replacement moving device are described above. 50 and the like, and may be a structure having sufficient strength and durability to be connected to various chambers, vacuum lines, gas lines, and the like. However, the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and various types and types of passages or valve housings may be applied.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부분에 개폐문(D)이 설치되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부 또는 상기 승하강대(30)에 상기 도어 교체 영역(A)의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, in the valve housing 10, the door replacement area A is disposed above the passage 10a and the door replacement area is provided. An opening / closing door (D) is installed in a portion of (A), the second sealing member (S2) for sealing the door replacement area (A) to the entrance of the door replacement area (A) or the lifting platform (30). Can be installed.

또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 상기 통로(10a)의 상기 제 1 하면(F1)과 상기 제 2 하면(F2)과 대응되는 형상으로 형성되고, 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 모노 타입의 도어(20)일 수 있다.For example, as illustrated in FIGS. 1 and 2, the door 20 has the first lower surface F1 and the second lower surface of the passage 10a so as to open and close the passage 10a. It may be a mono type door 20 formed in a shape corresponding to F2 and provided with a first sealing member S1 such as an O-ring or a gasket for airtightness.

도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어(20)의 일례를 나타내는 사시도이다.17 is a perspective view illustrating an example of a door 20 of a mono type gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.

더욱 구체적으로 예를 들면, 도 17에 도시된 바와 같이, 모노 타입의 도어(20)에 적용되는 상기 제 1 실링 부재(S1)는 상기 도어(20)의 상승 동작만으로 수평 방향으로 형성된 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 3차원적으로 단차지게 형성될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 도어(20)는 도 17에 국한되지 않고, 단일 동작만으로 상기 통로를 개폐시킬 수 있는 모노 타입의 모든 도어들이 모두 적용될 수 있다.More specifically, for example, as shown in FIG. 17, the first sealing member S1 applied to the mono type door 20 may have the passage formed in the horizontal direction only by the lifting operation of the door 20. It may be formed to be stepped in three dimensions to open and close 10a). However, the door 20 is not limited to FIG. 17, and all the doors of the mono type that can open and close the passage with a single operation may be applied.

또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강대(30)는, 상기 도어(20)를 지지할 수 있도록 수평 방향으로 연장되게 형성되는 테이블 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in Figures 1 and 2, the lifting platform 30 may be a table-like structure that is formed to extend in the horizontal direction to support the door 20. However, the present invention is not necessarily limited to the drawings and may be formed in a wide variety of shapes.

또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강축(40)은, 상기 승하강대(30)를 승하강시킬 수 있도록 상기 승하강대(30)의 하면으로부터 수직 방향으로 연장되는 막대 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.In addition, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, the lifting shaft 40 extends in a vertical direction from a lower surface of the lifting platform 30 so that the lifting platform 30 can be lifted. It may be a structure of a form. However, the present invention is not necessarily limited to the drawings and may be formed in a wide variety of shapes.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역(A)으로 이동될 수 있도록 상기 도어(20)를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 장치일 수 있다.Meanwhile, as illustrated in FIGS. 1 and 2, the door replacement moving apparatus 50 may open and close the passage 10a when the door 20 moves up and down from the first position, and the second position. It may be a device for moving the door 20 from the first position to the second position so as to be moved to the door replacement area (A) when descending from.

여기서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)에 설치되고, 상기 승하강대(30)를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치(51)일 수 있다.1 and 2, the door replacement moving device 50 is installed on the elevating shaft 40, and the elevating platform forward and backward devices for advancing the elevating platform 30 forward and backward ( 51).

이러한, 상기 승하강대 전후진 장치(51)는 각종 유압 또는 공압 실린더 장치나, 솔레노이드나, 모터 또는 리니어 모터 등 각종 구동 장치나 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있는 것으로서, 상세한 설명은 생략한다. The above-described lifting platform forward and backward device 51 may be applied to various hydraulic or pneumatic cylinder devices, various driving devices and actuators such as solenoids, motors or linear motors, and detailed description thereof will be omitted.

따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, referring to the operation of the mono type gate valve system 100 according to some embodiments of the present invention, first, as shown in (a) of FIG. 1, when the door is opened, the door 20 is opened. Waits in the state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 1B, the door 20 is the lifting shaft 40. The passage 10a may be closed by a rising operation, that is, a single operation.

이어서, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강대 전후진 장치(51)에 의해서, 상기 승하강대(30)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 2의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.Subsequently, as shown in FIG. 2C, when the door is replaced, the lifting platform 30 may be reversed from the first position to the second position by the lifting platform forward and backward device 51. . At this time, as shown in (d) of FIG. 2, the door 20 may also be reversed to the second position.

이어서, 도 2의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 2E, when the door 20 reaches the second position, the door 20 is moved toward the door replacement area A by the lifting shaft 40. And the door replacement area A may be sealed by the second sealing member S2 provided at the inlet of the door replacement area A, and thus not break the vacuum environment of the valve housing 10. It is possible to replace the door 20 with a new one by making only the door replacement area A in a standby state.

그러므로, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있다.Therefore, it is possible to replace the entire door including the O-ring in the mono type door, which can greatly reduce the replacement cost and time, and reduce the unit cost and the vacuum pressure forming time and cost by reducing the volume of the equipment, for example, By simply lowering the movable platform, the door can be replaced without breaking the overall vacuum of the valve housing, simplifying the operation and operation of the machine and improving the durability and performance of the machine.

도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)을 나타내는 작동 도면들이다.3 and 4 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 200 in accordance with some other embodiments of the present invention.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치(52)와, 상기 승하강축(40)의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)에 형성되는 승하강축 가이드홀부(53) 및 상기 승하강축(40)과 상기 밸브 하우징(10)의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부(53)를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징(10)에 설치되는 벨로우즈관(54)을 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 3 and 4, the door replacement moving device 50 of the mono type gate valve system 200 according to some other embodiments of the present invention is configured to move the lifting shaft 40 forward and backward. The elevating shaft forward and backward device 52 and the elevating shaft guide hole 53 formed in the valve housing 10 to guide the forward and backward movement of the elevating shaft 40 and the elevating shaft 40 and the It may include a bellows pipe 54 installed in the valve housing 10 in a shape surrounding the elevating shaft guide hole 53 so as to protect the inside of the valve housing 10.

따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, referring to the operation of the mono type gate valve system 200 according to some embodiments of the present invention, first, as shown in FIG. Waits in a state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 3B, the door 20 is the lifting shaft 40. The passage 10a may be closed by a rising operation, that is, a single operation.

이어서, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 전후진 장치(52)에 의해서, 상기 승하강축(40)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.Subsequently, as illustrated in FIG. 4C, when the door is replaced, the elevating shaft 40 may be reversed from the first position to the second position by the elevating shaft forward and backward device 52. . At this time, as shown in (d) of FIG. 4, the door 20 may also be reversed to the second position.

이어서, 도 4의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 4E, when the door 20 reaches the second position, the door 20 is moved toward the door replacement area A by the lifting shaft 40. And the door replacement area A may be sealed by the second sealing member S2 provided at the inlet of the door replacement area A, and thus not break the vacuum environment of the valve housing 10. It is possible to replace the door 20 with a new one by making only the door replacement area A in a standby state.

도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)을 나타내는 작동 도면들이다.5 and 6 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 300 in accordance with some further embodiments of the present invention.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어 교체 영역(A)의 방향에 맞추어 상기 승하강축(40)의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치(55)를 포함할 수 있다.5 and 6, the door replacement moving device 50 of the mono type gate valve system 300 according to some other embodiments of the present invention is directed in the direction of the door replacement area A. It may include a lifting shaft angle adjusting device 55 to adjust the angle of the lifting shaft 40 in accordance with.

따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, referring to the operation of the mono type gate valve system 300 according to some embodiments of the present invention, first, as shown in (a) of FIG. 5, when the door is opened, the door 20 is opened. Waits in the state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 5B, the door 20 is the lifting shaft 40. The passage 10a may be closed by a rising operation, that is, a single operation.

이어서, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 각도 조절 장치(55)에 의해 수직으로 세워진 상기 승하강축(40)이 도 6의 (d)에 도시된 바와 같이, 제 1 위치(제 1 각도)에서 제 2 위치(제 2 각도)로 기울어질 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 6, when the door is replaced, the lifting shaft 40 vertically erected by the lifting shaft angle adjusting device 55 is as shown in FIG. 6 (d). Likewise, it can be tilted from the first position (first angle) to the second position (second angle).

이어서, 도 6의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치(각도)로 기울어지면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 6E, when the door 20 is inclined to the second position (angle), the door 20 is moved by the lifting shaft 40 to the door replacement area ( Raised in the direction A), by the second sealing member S2 provided at the inlet of the door replacement area (A), the door replacement area (A) can be sealed, the vacuum of the valve housing 10 It is possible to replace the door 20 with a new one by making only the door replacement area A stand by without breaking the environment.

도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)을 나타내는 작동 도면들이다.7 and 8 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 400 in accordance with some further embodiments of the present invention.

도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강대(30)에 설치되고, 상기 도어(20)를 전후진시키는 도어 전후진 장치(56)를 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 7 and 8, the door replacement moving device 50 of the mono type gate valve system 400 according to some other embodiments of the present invention is installed on the lifting platform 30. And, it may include a door forward and backward device 56 for moving forward and backward the door 20.

따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, referring to the operation of the mono type gate valve system 400 according to some other embodiments of the present invention, first, as shown in FIG. 20 waits in a state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 7B, the door 20 has the lifting shaft ( The passage 10a can be closed by the upward motion of the 40, i.e., a single motion.

이어서, 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 도어 전후진 장치(56)에 의해서, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다.Subsequently, as illustrated in FIG. 8C, when the door is replaced, the door 20 may be retracted from the first position to the second position by the door back and forth device 56.

이어서, 도 8의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 승하강대(30)에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 8E, when the door 20 reaches the second position, the door 20 is moved toward the door replacement area A by the lifting shaft 40. By the second sealing member S2 installed in the lifting platform 30, the door replacement area A may be sealed, and the door replacement may be performed without breaking the vacuum environment of the valve housing 10. Only the area A can be made standby so that the door 20 can be replaced with a new one.

여기서, 상기 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 하단부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-1)일 수 있다.Here, the door forward and backward device 56 may be a sliding type door forward and backward device 56-1 sliding in connection with the lower end of the door 20 along the lifting platform 30.

도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)을 나타내는 작동 도면들이다.9 and 10 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 500 in accordance with some further embodiments of the present invention.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)의 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-2)일 수 있다.As shown in FIGS. 9 and 10, the door forward and rearward device 56 of the mono type gate valve system 500 according to some other embodiments of the present invention may include the door along the platform 30. It may be a sliding type door forward and backward device 56-2 sliding in connection with the middle portion of the (20).

도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)을 나타내는 작동 도면들이다.11 and 12 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 600 in accordance with some further embodiments of the present invention.

또한, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 도어 전후진 장치(56)는, 또는 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 상기 승하강대(30)로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입 도어 전후진 장치(56-3)일 수 있다.In addition, as shown in FIGS. 11 and 12, the door forward and rearward device 56 of the mono type gate valve system 600, according to some other embodiments of the present invention, or in the middle of the door 20. It may be a stretch type door forward and backward device 56-3 which is connected to a portion and is extended or contracted from the lifting platform 30.

따라서, 이러한 상기 도어 전후진 장치(56)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 각종 동력 전달 장치나, 실린더나 모터나 리니어 모터 등 매우 다양한 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.Accordingly, the door forward and backward devices 56 are not necessarily limited to the drawings, and various power transmission devices having a wide variety of shapes, and a wide variety of actuators such as cylinders, motors, and linear motors may be applied.

도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)을 나타내는 작동 도면들이다.13 and 14 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 700 in accordance with some further embodiments of the present invention.

도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부에 개폐문(D)이 형성되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치(60)가 설치될 수 있다.As shown in FIGS. 13 and 14, the valve housing 10 of the mono type gate valve system 700 according to some other embodiments of the present invention has the door replacement area A in the passage 10a. It is disposed on the basis of the lower side, the opening and closing door (D) is formed in a part of the door replacement area (A), the temporary sealing to temporarily seal the door replacement area when replacing the door at the entrance of the door replacement area (A) Device 60 may be installed.

여기서, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치(61)일 수 있다. 13 and 14, the temporary sealing device 60 may be a flexible sealing device 61 in which the sealing door G is extended or contracted.

따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 13의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 13의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, referring to the operation of the mono type gate valve system 700 according to some other embodiments of the present invention, first, as shown in FIG. 13A, when the door is opened, the door ( 20 waits in a state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 13B, the door 20 has the lifting shaft ( The passage 10a can be closed by the upward motion of the 40, i.e., a single motion.

이어서, 도 14의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 14의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 14의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 신장되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 14, when the door is replaced, the door 20 as shown in (d) of FIG. 14, in the first position state in which the elevating shaft 40 is raised. ) Is lowered to the second position, and as shown in FIG. 14E, the sealing door G of the temporary sealing device 60 is extended to temporarily seal the door replacement area A. The door 20 may be replaced with a new one by bringing only the door replacement area A into a standby state without breaking the vacuum environment of the valve housing 10.

도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)을 나타내는 작동 도면들이다.15 and 16 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 800 in accordance with some further embodiments of the present invention.

도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 회전되는 회전식 밀폐 장치(62)일 수 있다.As shown in FIGS. 15 and 16, the temporary closure device 60 of the mono type gate valve system 800 according to some other embodiments of the present invention is a rotary closure device in which the closure door G is rotated. (62).

따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 15의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 15의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.Therefore, referring to the operation of the mono type gate valve system 800 according to some other embodiments of the present invention, first, as shown in (a) of FIG. 15, when the door is opened, the door ( 20 waits in a state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 15B, the door 20 has the lifting shaft ( The passage 10a can be closed by the upward motion of the 40, i.e., a single motion.

이어서, 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 16의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 16의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 회전되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.Subsequently, as shown in (c) of FIG. 16, when the door is replaced, the door 20 is shown in (d) of FIG. 16 in the first position state in which the elevating shaft 40 is raised. ) Is lowered to the second position, and as shown in (e) of FIG. 16, the sealing door G of the temporary sealing device 60 is rotated to temporarily seal the door replacement area A. The door 20 may be replaced with a new one by bringing only the door replacement area A into a standby state without breaking the vacuum environment of the valve housing 10.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

10: 밸브 하우징
10a: 통로
A: 도어 교체 영역
D: 개폐문
F1: 제 1 하면
F2: 제 2 하면
S1: 제 1 실링 부재
S2: 제 2 실링 부재
20: 도어
30: 승하강대
40: 승하강축
50: 도어 교체용 이동 장치
51: 승하강대 전후진 장치
52: 승하강축 전후진 장치
53: 승하강축 가이드홀부
54: 벨로우즈관
55: 승하강축 각도 조절 장치
56: 도어 전후진 장치
56-1, 56-2: 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치
56-3: 신축 타입 도어 전후진 장치
60: 임시 밀폐 장치
G: 밀폐문
61: 신축식 밀폐 장치
62: 회전식 밀폐 장치
100~800: 모노 타입 게이트 밸브 시스템10: valve housing
10a: passage
A: Door replacement area
D: open / close door
F1: First
F2: second hand
S1: first sealing member
S2: second sealing member
20: door
30: platform
40: up and down axis
50: shifter for door replacement
51: lifting platform back and forth
52: up and down shaft forward and backward device
53: lifting shaft guide hole
54: bellows tube
55: lifting shaft angle adjusting device
56: door forward and backward device
56-1, 56-2: sliding door forward and backward device
56-3: extension type door forward and backward device
60: temporary sealing device
G: sealed door
61: telescopic seal
62: rotary seal
100 to 800: mono type gate valve system

Claims (10)

적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징;
상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어;
상기 도어를 지지하는 승하강대;
상기 승하강대를 승하강시키는 승하강축; 및
상기 도어가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역으로 이동될 수 있도록 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 도어 교체용 이동 장치;
를 포함하는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템. A valve housing having a first lower surface and a second lower surface at least partially formed therein, and a door replacing area formed at another portion thereof;
A mono type door having a first sealing member corresponding to the first lower surface and the second lower surface of the passage so as to open and close the passage;
Lifting platform for supporting the door;
An elevating shaft for elevating the elevating platform; And
For replacing the door to move the door from the first position to the second position to open and close the passage when the door is moved up and down in the first position, and to move to the door replacement area when the door is moved up and down in the second position Mobile devices;
Including, a mono type gate valve system. 제 1 항에 있어서,
상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부분에 개폐문이 설치되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부 또는 상기 승하강대에 상기 도어 교체 영역의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재가 설치되는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
In the valve housing, the door replacement area is disposed above the passage, an opening / closing door is installed at a part of the door replacement area, and the door replacement area is sealed at the entrance of the door replacement area or the lifting platform. A mono type gate valve system, in which a second sealing member is installed. 제 2 항에 있어서,
상기 도어 교체용 이동 장치는,
상기 승하강축에 설치되고, 상기 승하강대를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치인, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 2,
The door replacement moving device,
A mono type gate valve system, which is provided on the elevating shaft, and which is an elevating device for moving up and down the platform. 제 2 항에 있어서,
상기 도어 교체용 이동 장치는,
상기 승하강축을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치;를 포함하는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 2,
The door replacement moving device,
And a lifting shaft forward and backward device for advancing the lifting shaft forward and backward. 제 4 항에 있어서,
상기 도어 교체용 이동 장치는,
상기 승하강축의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징에 형성되는 승하강축 가이드홀부; 및
상기 승하강축과 상기 밸브 하우징의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징에 설치되는 벨로우즈관;
을 더 포함하는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 4, wherein
The door replacement moving device,
A lifting shaft guide hole portion formed in the valve housing to guide the forward and backward movement of the lifting shaft; And
A bellows pipe installed in the valve housing so as to surround the elevating shaft guide hole to protect the elevating shaft and the inside of the valve housing;
Further comprising, the mono type gate valve system. 제 2 항에 있어서,
상기 도어 교체용 이동 장치는,
상기 도어 교체 영역의 방향에 맞추어 상기 승하강축의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치;를 포함하는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 2,
The door replacement moving device,
And a lift shaft angle adjusting device for adjusting the lift shaft angle in accordance with a direction of the door replacement area. 제 2 항에 있어서,
상기 도어 교체용 이동 장치는,
상기 승하강대에 설치되고, 상기 도어를 전후진시키는 도어 전후진 장치인, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 2,
The door replacement moving device,
A mono type gate valve system, which is provided on the lifting platform, and is a door forward and backward device that moves the door forward and backward. 제 7 항에 있어서,
상기 도어 전후진 장치는, 상기 승하강대를 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 또는 상기 승하강대로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입인, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 7, wherein
And said door forward and backward device is a sliding type sliding along said lifting platform or a telescopic type extending or contracting from said lifting platform. 제 1 항에 있어서,
상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부에 개폐문이 형성되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치가 설치되는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 1,
The valve housing has the door replacement area disposed below the passage, an opening / closing door is formed in a part of the door replacement area, and temporarily seals the door replacement area when the door is replaced at an entrance of the door replacement area. Mono type gate valve system, with temporary sealing device installed. 제 9 항에 있어서,
상기 임시 밀폐 장치는, 밀폐문이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치 또는 밀폐문이 회전되는 회전식 밀폐 장치인, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.The method of claim 9,
The temporary closing device is a mono type gate valve system, which is a telescopic sealing device in which the sealing door is extended or contracted or a rotary sealing device in which the sealing door is rotated.
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