KR20100002918A - Lift pin module of fpd manufacturing machine - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A lift pin module of a flat panel display is provided to prevent corrosion by positioning an elastic unit affected by the process gas outside of a device for manufacturing the flat panel display. CONSTITUTION: A lift pin module is lifted by a lifting plate in a device for manufacturing a flat panel display and supports a substrate. A lift pin(121) is lifted by the lifting plate through a lower wall of a chamber and supports the substrate load on the chamber. A sealing unit(123) surrounds the lift pin protruded to the outside of the lower wall of the chamber. An upper side of the sealing unit is connected to the lower wall of the chamber. The lower side of the sealing unit is connected to the lifting plate. An elastic unit(125) is included in an outer side of the sealing unit and provides the elastic force with regard to the lifting plate.

Description

평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈{LIFT PIN MODULE OF FPD MANUFACTURING MACHINE}LIFT PIN MODULE OF FPD MANUFACTURING MACHINE

본 발명은 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 로딩된 기판을 공정 처리할 위치로 하강시키거나, 공정 완료된 기판을 언로딩 위치까지 상승시키는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a lift pin module of a flat panel display device manufacturing apparatus, and more particularly, a lift of a flat panel display device manufacturing apparatus for lowering a loaded substrate to a process processing position or raising a processed substrate to an unloading position. It relates to a pin module.

일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 평판표시소자 기판을 반입시키고, 플라즈마 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는데 사용된다. 이때, 평판표시소자(Flat Panel Display)는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 말하며, 이러한 평판표시소자 제조장치 중 진공처리용 장치는 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버 및 공정 챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다.In general, a flat panel display device manufacturing apparatus is used to carry in a flat panel display device substrate therein and to perform an etching process using plasma or the like. In this case, the flat panel display refers to a liquid crystal display, a plasma display panel, organic light emitting diodes, and the like. The processing apparatus generally consists of three vacuum chambers: a load lock chamber, a transfer chamber and a process chamber.

종래의 평판표시소자 제조장치는 도 1에 도시된 바와 같이 그 내부는 진공 상태와 대기압 상태를 반복적으로 유지하면서 외부와 접촉되며, 내부에서 공정 처 리가 수행되는 챔버(10)와, 상기 챔버(10)내 상측에 마련되는 상부전극(12)과, 상기 상부전극(12)과 이격된 하측에 마련되어 기판(S)이 적재되는 하부전극(14)으로 구성된다.In the conventional flat panel display device manufacturing apparatus, as shown in FIG. 1, the inside thereof is in contact with the outside while repeatedly maintaining a vacuum state and an atmospheric pressure state, and a chamber 10 in which process processing is performed therein, and the chamber 10. The upper electrode 12 is provided in the upper side and the lower electrode 14 is provided on the lower side spaced apart from the upper electrode 12 to load the substrate (S).

상기 상부전극(12)에는 최하단에 공정 가스가 기판(S)에 분사되는 샤워 헤드(Shower head)가 구비되고, 상기 하부전극(14)은 그 외벽과 상부 영역 가장자리부에 플라즈마로부터 이 하부전극(14)을 보호하는 절연판(도면에 미도시)이 전극의 둘레를 감싸도록 한 다음 다수개의 볼트에 의해 상면 가장자리부와 측면 및 저면에서 각각 체결된다.The upper electrode 12 is provided with a shower head (Shower head) at the bottom of the process gas is injected to the substrate (S), the lower electrode 14 is the lower electrode ( 14) an insulating plate (not shown) protecting the electrode is wrapped around the electrode and then fastened at the top edge, side and bottom by a plurality of bolts, respectively.

그리고 상기 챔버(10)의 소정 부분에는 기판(S) 처리에 이미 사용된 처리 가스와 그 부산물 등을 제거하는 배기수단(도면에 미도시)이 더 구비된다. 물론 이 배기수단은 챔버(10) 내부를 진공분위기로 형성시키기 위하여 챔버(10) 내부의 기체를 배기하는 경우에도 사용된다.In addition, a predetermined portion of the chamber 10 is further provided with an exhaust means (not shown in the figure) for removing the processing gas and its by-products already used to process the substrate (S). Of course, the exhaust means is also used to exhaust the gas inside the chamber 10 to form the inside of the chamber 10 in a vacuum atmosphere.

여기서, 상기 하부전극(14)의 가장자리 영역에는 이 하부전극(14)에 탑재된 기판(S)의 저면 가장자리를 지지하도록 하부전극(14)을 두께 방향으로 관통하여 형성된 다수개의 리프트 핀 홀(16)을 통과할 수 있도록 소정 간격을 갖는 리프트 핀 모듈(20)을 각각 구비시켜 이 리프트 핀 모듈(20)의 리프트 핀(24)이 그 리프트 핀 홀(16)을 따라 상승 및 하강하면서 기판(S)을 들어올리거나 챔버(10)의 내부로 반입된 기판(S)을 하부전극(14) 상에 위치시키는 역할을 하게 된다.Here, the plurality of lift pin holes 16 formed in the edge region of the lower electrode 14 to penetrate the lower electrode 14 in the thickness direction to support the bottom edge of the substrate S mounted on the lower electrode 14. Each of the lift pin modules 20 having a predetermined interval so as to pass through them may be provided so that the lift pins 24 of the lift pin module 20 may move up and down along the lift pin holes 16. ) Or to position the substrate (S) carried into the chamber 10 on the lower electrode 14.

즉, 상기 리프트 핀 모듈(20)은 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 상기 챔버(10)의 바닥에 다수 설치되어 챔버(10) 외부에서 운송수단에 의하여 반입된 기 판(S)을 소정 높이만큼 들어올린 후, 운송수단이 챔버(10) 밖으로 퇴피하면 그 기판(S)을 하강시켜 하부전극(14) 상에 적재하는 역할을 한다.That is, the lift pin module 20 is installed on the bottom of the chamber 10, as shown in Figures 2a and 2b a predetermined number of substrates (S) carried by the vehicle from the outside of the chamber (10) After lifting by a height, when the vehicle retracts out of the chamber 10, the substrate S is lowered and loaded on the lower electrode 14.

이때, 상기 리프트 핀 모듈(20)은 상기 챔버(10)의 저면에 연결되는 진공 상태의 몸체(22)와, 상기 몸체(22) 내부에 구비되어 실질적으로 기판(S)을 들어올리고 내리는 리프트 핀(24) 및 상기 리프트 핀(24)의 하측 플랜지부와 몸체(22)의 내부 상면에 접하도록 구비되어 리프트 핀(24)의 하강시 승강 플레이트(30)에 복원력을 제공하는 탄성부재(26)로 이루어진다. 그리고 상기 몸체(22)의 외부인 하측까지 돌출되는 리프트 핀(24)의 하단들에 접하여 일률적으로 승강시키는 승강 플레이트(30)가 승강수단(도면에 미도시)에 의해 승강될 수 있도록 구비되면서 상기 승강 플레이트(20)의 상면 중 상기 리프트 핀(24)과 동심선상 위치마다 서포트(32)가 구비된다.At this time, the lift pin module 20 is a body 22 in a vacuum state connected to the bottom surface of the chamber 10, and a lift pin provided in the body 22 to substantially lift and lower the substrate (S) And an elastic member 26 provided to contact the lower flange portion of the lift pin 24 and the inner upper surface of the body 22 to provide restoring force to the elevating plate 30 when the lift pin 24 is lowered. Is made of. And the elevating plate 30 which is in contact with the lower ends of the lift pin 24 that protrudes to the lower side of the outer body 22, the elevating plate 30 is provided to be elevated by the lifting means (not shown in the figure) while the lifting The support 32 is provided for every position concentric with the lift pin 24 of the upper surface of the plate 20.

그러나 상기 기판(S)을 공정 처리하는 과정에서 상기 챔버(10)의 바닥면에 상기 리프트 핀(24)이 이동하도록 형성되는 홀을 거쳐 상기 몸체(22) 내부로 공정가스가 침투함에 따라 공정가스에 취약한 상기 탄성부재(26)의 부식을 초래하며 이로 인해 탄성부재(26)의 파손 및 부식에 따른 절단 등의 결함이 발생하므로 탄성부재(26)의 표면에 피막을 입혀야 하는 문제점이 있었다.However, as the process gas penetrates into the body 22 through a hole formed to move the lift pin 24 to the bottom surface of the chamber 10 in the process of processing the substrate S. This causes the corrosion of the elastic member 26 which is vulnerable to this, which causes defects such as breakage of the elastic member 26 and cutting due to corrosion, thereby causing a problem of coating the surface of the elastic member 26.

더욱이, 상기 탄성부재(26)가 파손되어 상기 리프트 핀(24)이 정상적으로 하강하지 못하면 상기 하부전극(14) 상에 리프트 핀(24) 상단이 돌출되며 이로 인해 기판(S)이 하부전극(14)에 밀착되지 못하므로 국부적인 기판(S)의 온도 변화로 공정 불량이 발생하는 문제점이 있었다.In addition, when the lift pin 24 is not normally lowered because the elastic member 26 is damaged, the upper part of the lift pin 24 protrudes on the lower electrode 14, which causes the substrate S to lower the lower electrode 14. ), There was a problem that a process defect occurs due to the temperature change of the local substrate (S).

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 공정 가스에 영향을 받는 탄성부재를 평판표시소자 제조장치의 외부에 위치시켜 부식을 방지하고, 이에 부식방지용 피막을 탄성부재에 입히지 않으므로 비용을 절감할 수 있으며, 리프트 핀과 탄성부재를 개별 공간에 구비하여 상호 마찰되는 것을 방지할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈을 제공함에 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, the object is to place the elastic member affected by the process gas to the outside of the flat panel display device manufacturing apparatus to prevent corrosion, thereby preventing the corrosion coating on the elastic member The present invention provides a lift pin module of a flat panel display device manufacturing apparatus, which can reduce costs by coating and prevents mutual friction by providing a lift pin and an elastic member in a separate space.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 제조장치에서 승강 플레이트에 의해 승강되어 기판을 지지하는 리프트 핀 모듈에 있어서, 챔버 하부벽을 통해 승강하여 상기 챔버 내에 놓여진 상기 기판을 지지하는 리프트 핀; 상기 리프트 핀을 감싸는 밀폐부재; 상기 챔버 하부벽과 상기 밀폐부재의 상단을 연결하는 상부 연결부재; 상기 밀폐부재의 하단과 상기 승강 플레이트의 상단을 연결하는 하부 연결부재; 및 상기 밀폐부재의 외측에 구비되는 탄성부재;를 포함하여 상기 탄성부재가 공정 가스에 영향을 받는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.In order to achieve the above object, the present invention is a lift pin module which is lifted by a lifting plate in a flat panel display device manufacturing apparatus to support a substrate, the lift pin supporting the substrate placed in the chamber by lifting through a chamber lower wall ; A sealing member surrounding the lift pin; An upper connecting member connecting the chamber lower wall and an upper end of the sealing member; A lower connection member connecting a lower end of the sealing member and an upper end of the elevating plate; And an elastic member provided on an outer side of the sealing member. There is an advantage of preventing the elastic member from being affected by the process gas.

이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈은, 공정 가스에 영향을 받는 탄성부재를 평판표시소자 제조장치의 외부에 위치시켜 부식을 방지하고, 이에 부식방지용 피막을 탄성부재에 입히지 않으므로 비용을 절감할 수 있으며, 리프트 핀과 탄성부재를 개별 공간에 구비하여 상호 마찰되는 것을 방지하는 효과가 있다.Such a lift pin module of the flat panel display device manufacturing apparatus of the present invention, by placing the elastic member affected by the process gas to the outside of the flat panel display device manufacturing device to prevent corrosion, and thus does not coat the anti-corrosion coating on the elastic member The cost can be reduced, and the lift pin and the elastic member are provided in separate spaces, thereby preventing friction with each other.

이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈을 첨부도면을 참조하여 일 실시 예를 들어 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the lift pin module of the flat panel display device manufacturing apparatus of the present invention will be described with reference to an embodiment.

본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 리프트 핀 모듈은 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 리프트 핀(121), 상, 하부 연결부재(122a, 122b), 밀폐부재(123) 및 탄성부재(125)로 구성된다.Lift pin module according to an embodiment of the present invention is a lift pin 121, the upper and lower connection members 122a and 122b, the sealing member 123 and the elastic member 125 as shown in Figure 3a and 3b It consists of

여기서, 상기 리프트 핀 모듈(120)은 종래와 같이 평판표시소자 제조장치인 챔버(110) 하부벽에 구비되되 각각의 저면에 리프트 핀 모듈(120)을 일률적으로 승강시킬 수 있도록 승강 플레이트(130)가 구비되고 상기 승강 플레이트(130)가 승강수단(도면에 미도시)의 구동에 의해 승강된다.Here, the lift pin module 120 is provided on the lower wall of the chamber 110, which is a flat panel display device manufacturing apparatus as in the prior art, so that the lift pin module 120 can be lifted uniformly on each bottom surface thereof. Is provided and the lifting plate 130 is elevated by the driving of the lifting means (not shown in the figure).

이때, 상기 평판표시소자 제조장치의 구성요소 중 상기 리프트 핀 모듈(120)을 제외한 나머지는 종래의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.At this time, the rest of the components of the flat panel display device manufacturing apparatus except for the lift pin module 120 has the same structure and function as that of the conventional, detailed description thereof will be omitted.

상기 리프트 핀(121)은 하부전극(114)의 가장자리 등에 하부전극(114)에 탑재된 기판(S)의 가장자리 등을 지지할 수 있도록 상기 하부전극(114)을 두께 방향으로 관통하여 다수개의 리프트 핀 홀(116)이 형성되며, 상기 리프트 핀 홀(116)의 위치마다 대응되도록 각각 구비되어 상기 리프트 핀 홀(116)을 따라 상승 및 하강하면서 기판(S)을 들어올리거나 하부전극(114) 상에 안착시키는 역할을 하게 된다.The lift pin 121 penetrates the lower electrode 114 in the thickness direction so as to support the edge of the substrate S mounted on the lower electrode 114 at the edge of the lower electrode 114 and the like. A pin hole 116 is formed, and is provided to correspond to each position of the lift pin hole 116 to lift or lower the substrate S while lifting and lowering along the lift pin hole 116 or on the lower electrode 114. It will serve to settle on.

이때, 상기 리프트 핀(121)은 그 상단이 상기 챔버(110)의 내부에 위치되고 그 하단이 챔버(110)의 바닥을 통해 외부로 노출되도록 위치된다.In this case, the lift pin 121 is positioned such that its upper end is located inside the chamber 110 and its lower end is exposed to the outside through the bottom of the chamber 110.

특히, 상기 리프트 핀(121)은 상기 승강 플레이트(130)에 상기 승강수단의 상승력을 부가하여 이 승강 플레이트(130)에 의해 상승하게 하지만, 하강할 경우에는 승강수단의 구동력에 의해 하강하는 것이 아니고 자중 및 탄성부재(125)의 복원력에 의해 원위치로 복귀하는 것이다. In particular, the lift pin 121 adds the lifting force of the lifting means to the lifting plate 130 to be lifted by the lifting plate 130, but when lowering, the lift pin 121 is not lowered by the driving force of the lifting means. It returns to its original position by the self-weight and the restoring force of the elastic member 125.

그리고 상기 리프트 핀(121)은 하단에 플랜지부가 형성되며, 상기 플랜지부가 상기 하부 연결부재(122b)의 바닥면에 형성된 홈에 결합되어 상기 승강 플레이트(130) 상에 리프트 핀(121)이 고정 설치된다.And the lift pin 121 is a flange portion is formed at the bottom, the flange portion is coupled to the groove formed on the bottom surface of the lower connecting member 122b is fixed to the lift pin 121 is installed on the elevating plate 130 do.

여기서, 상기 챔버(110)의 바닥과 그와 대향되는 승강 플레이트(130)의 상면에는 후술할 밀폐부재(123) 및 탄성부재(125)를 지지할 수 있도록 원판 형상 등으로 구비되는 상, 하부 연결부재(122a, 122b)가 상기 리프트 핀 모듈(120)이 구비될 위치마다 각각 구비된다.Here, the bottom of the chamber 110 and the upper surface of the elevating plate 130 facing the upper and lower connections provided in the shape of a disc to support the sealing member 123 and the elastic member 125 to be described later Members 122a and 122b are provided for each position where the lift pin module 120 is to be provided.

상기 상부 연결부재(122a)는 상기 챔버(110) 하부벽과 상기 밀폐부재(123)의 상단을 연결하고, 상기 하부 연결부재(122b)는 상기 밀폐부재(123)의 하단과 상기 승강 플레이트(130)의 상단을 연결한다.The upper connecting member 122a connects the lower wall of the chamber 110 to the upper end of the sealing member 123, and the lower connecting member 122b connects to the lower end of the sealing member 123 and the lifting plate 130. Connect the top of the).

더욱이, 상기 챔버(110)의 하부벽에 접하는 상기 상부 연결부재(122a)의 중심부에는 공정 수행시 직진성을 갖는 공정가스가 상기 밀폐부재(123)의 내부로 침투하는 것을 방지하는 절연체(Insulator: 122c)가 단차 형태로 구비된다.In addition, an insulator 122c may be formed at a central portion of the upper connection member 122a in contact with the lower wall of the chamber 110 to prevent process gas having a straightness during the process from penetrating into the sealing member 123. ) Is provided in a stepped form.

상기 밀폐부재(123)는 상기 챔버(110)의 하부벽을 통해 노출되는 상기 리프 트 핀(121)의 하단을 감싸 밀폐시켜 공정 수행 중 공정가스가 챔버(110)에서 침투하여도 탄성부재(125)가 영향을 받지 않도록 구비되며, 상기 상, 하부 연결부재(122a, 122b)의 중심부 대향 면에 그 상, 하단이 고정된다. 이때, 상기 밀폐부재(123)는 벨로우즈(Bellows) 등이 접목된다.The sealing member 123 surrounds and seals a lower end of the lift pin 121 exposed through the lower wall of the chamber 110 so that the elastic member 125 may pass through the chamber 110 during the process. ) Is provided so as not to be affected, and the upper and lower ends of the upper and lower connecting members 122a and 122b are fixed to the center facing surfaces. At this time, the sealing member 123 is grafted with bellows.

즉, 상기 밀폐부재(123)는 다수개의 리프트 핀(121) 상승시 수축하게 되고 이 리프트 핀(121)의 하강시 이완하게 되며, 내부가 진공 상태를 유지한다.That is, the sealing member 123 is contracted when the plurality of lift pins 121 are raised and is relaxed when the lift pins 121 are lowered, and the inside maintains a vacuum state.

상기 탄성부재(125)는 상기 밀폐부재(123)를 기점으로 그 외부에 다수 구비되어 상기 리프트 핀(121)의 하강시 리프트 핀(121)이 하강할 수 있도록 복원력을 제공한다.The elastic member 125 is provided on the outside of the sealing member 123 to provide a restoring force so that the lift pin 121 can be lowered when the lift pin 121 is lowered.

이때, 상기 탄성부재(125)는 상기 리프트 핀(121)을 기준으로 대칭되게 배치되며, 상기 상, 하부 연결부재(122a, 122b)의 수직선상인 대향면 가장자리에 구비되는 단차 형상의 고정부재(124a, 124b) 사이에 삽입 고정된다. At this time, the elastic member 125 is arranged symmetrically with respect to the lift pin 121, the step-shaped fixing member 124a which is provided at the edge of the opposite surface that is in the vertical line of the upper, lower connection members (122a, 122b) 124b) is inserted and fixed.

결국, 상기 고정부재(124a, 124b)는 상기 탄성부재(125)의 상, 하단을 지지하는 구성요소이다.As a result, the fixing members 124a and 124b are components for supporting the upper and lower ends of the elastic member 125.

그러므로 본 발명에 의한 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈의 작동 상태는 외부의 운송수단(도면에 미도시)에 의해 기판(S)이 챔버(110)의 내부로 반입되면 상기 리프트 핀(121)의 최선단이 하부전극(114)의 상면과 거의 일치한 상태로 위치되어 있다가 각각의 리프트 핀 모듈(120) 하부에 구비되는 승강 플레이트(130)가 승강수단의 구동에 의해 상승하면서 상기 밀폐부재(123)가 수축된다.Therefore, the operation state of the lift pin module of the flat panel display device manufacturing apparatus according to the present invention is the lift pin 121 when the substrate S is brought into the chamber 110 by an external transport means (not shown). The uppermost end of is positioned in a state substantially coincident with the upper surface of the lower electrode 114, while the lifting plate 130 provided under each lift pin module 120 is lifted by the driving of the lifting means, the sealing member 123 is contracted.

이때, 상기 리프트 핀(121)이 상승하여 상기 챔버(110) 내부에 적정 높이로 반입된 기판(S)의 저면에 접촉하면서 지지하면 운송수단은 챔버(110) 외부로 빠져나간다.At this time, when the lift pin 121 is raised to support the bottom surface of the substrate (S) brought into the chamber 110 at an appropriate height, the transport means exits to the outside of the chamber (110).

그리고 상기 기판(S)을 지지한 상기 리프트 핀(121)이 하강하면 기판(S) 저면이 하부전극(114) 상에 접한 상태로 안착된다.When the lift pin 121 supporting the substrate S is lowered, the bottom surface of the substrate S is seated in contact with the lower electrode 114.

그 후, 상기 기판(S)에 공정처리가 시작되며 공정가스가 상기 밀폐부재(123)의 내부로 침투하더라도 공정가스에 취약한 탄성부재(125)가 상기 챔버(110)의 외부에 위치되므로 공정가스에 의한 부식 및 부식에 의한 파손 등을 방지할 수 있다.After that, the process is started on the substrate (S), even if the process gas penetrates into the sealing member 123, the elastic member 125, which is vulnerable to the process gas, is located outside the chamber 110, so that the process gas Corrosion by this and damage by corrosion can be prevented.

다음으로, 상기 기판(S)의 공정처리가 완료되면 상기 리프트 핀 모듈(120)의 리프트 핀(121) 각각이 승강 플레이트(130)에 의해 일률적으로 상승되어 안착된 기판(S) 역시 상승되게 하고 반출 높이까지 도달하면 외부의 운송수단에 의해 상기 기판(S)을 외부로 이동한다.Next, when the process of the substrate (S) is completed, each of the lift pins 121 of the lift pin module 120 is uniformly raised by the elevating plate 130 so that the seated substrate (S) is also raised. When the transport height is reached, the substrate S is moved to the outside by an external vehicle.

도 1은 종래의 리프트 핀 모듈이 평판표시소자 제조장치에 구비된 상태를 도시한 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a state in which a conventional lift pin module is provided in a flat panel display device manufacturing apparatus.

도 2a 및 도 2b는 상기 리프트 핀 모듈의 작동 상태를 확대 도시한 측단면도이다.2A and 2B are enlarged side cross-sectional views illustrating an operating state of the lift pin module.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 의한 리프트 핀 모듈의 작동 상태를 도시한 측단면도이다.3A and 3B are side cross-sectional views showing an operating state of the lift pin module according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

120: 리프트 핀 모듈 121: 리프트 핀120: lift pin module 121: lift pin

123: 밀폐부재 125: 탄성부재123: sealing member 125: elastic member

130: 승강 플레이트130: elevating plate

Claims (5)

평판표시소자 제조장치에서 승강 플레이트에 의해 승강하여 기판을 지지하는 리프트 핀 모듈에 있어서,A lift pin module for supporting a substrate by lifting by a lifting plate in a flat panel display device manufacturing apparatus, 상기 승강 플레이트에 의해 챔버 하부벽을 통해 승강하여 상기 챔버 내에 놓여진 상기 기판을 지지하는 리프트 핀;A lift pin which is lifted through the lower wall of the chamber by the lifting plate to support the substrate placed in the chamber; 상기 챔버 하부벽의 외부로 돌출된 상기 리프트 핀을 감싸며, 상단은 상기 챔버 하부벽에 연결되고 하단은 상기 승강 플레이트에 연결되는 밀폐부재; 및A sealing member surrounding the lift pin protruding to the outside of the chamber lower wall, an upper end of which is connected to the lower wall of the chamber, and a lower end of which is connected to the lifting plate; And 상기 밀폐부재의 외측에 구비되어 상기 승강 플레이트에 대하여 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈.Lift pin module of the flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that it comprises an elastic member provided on the outside of the sealing member to provide an elastic force to the lifting plate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 챔버 하부벽과 상기 밀폐부재의 상기 상단을 연결하는 상부연결부재; 및An upper connecting member connecting the lower wall of the chamber to the upper end of the sealing member; And 상기 밀폐부재의 상기 하단과 상기 승강플레이트를 연결하며, 상기 승강플레이트에 의해 승강하는 하부연결부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈.The lower pin of the sealing member and the lifting plate, the lift pin module of the flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that it further comprises a lower connection member for lifting by the lifting plate. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 밀폐부재는 벨로우즈인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈.The sealing member is a lift pin module of the flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the bellows. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 탄성부재는 상기 리프트 핀을 기준으로 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈.The elastic pin is a lift pin module of the flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that arranged symmetrically with respect to the lift pin. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 리프트 핀의 하단은 상기 하부 연결부재에 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 리프트 핀 모듈.Lift pin module of the flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the lower end of the lift pin is fixed to the lower connection member.
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