KR20090067319A - Lid opening/closing apparatus - Google Patents

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임상준
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Abstract

A lid opening/closing apparatus is provided to eliminate an additional hoist for moving a lid of a chamber to a supporting stand by using a gripper. The separate hoist for moving the lead of the chamber according to support is unnecessary. A lid opening/closing apparatus(300) includes a supporting stand(310), a gripper(330), and a driving source(340). The supporting stand supports a lid of a chamber. The supporting stand is separated from a loadlock chamber, a transfer chamber, and a process chamber in order to be moved independently. The supporting stand includes a rotation unit(320) for rotating a supported lid. The rotation unit is coupled with a center region of the lid of loaded in the supporting stand in order to rotate the lid. The gripper is installed at the supporting stand. The gripper is used for gripping the lid. The driving source is formed to elevate and rotate the gripper.

Description

리드 개폐장치{Lid opening/closing apparatus}Lead opening / closing apparatus

본 발명은 리드 개폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버의 리드를 지지대로 옮기기 위한 별도의 호이스트가 불필요한 리드 개폐장치에 관한 것이다. The present invention relates to a lead opening and closing device, and more particularly to a lead opening and closing device that does not require a separate hoist for moving the lid of the chamber to the support.

일반적으로 LCD, PDP, EL 등의 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치는 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정챔버 등의 진공 챔버가 연결되어 구성된다. In general, a flat panel display device manufacturing apparatus for manufacturing a flat panel display device such as LCD, PDP, EL, etc. is configured by connecting a vacuum chamber such as a loadlock chamber, a transfer chamber and a process chamber.

이때, 로드락 챔버는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아 들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 반송 챔버는 그 내부에 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다. At this time, the load lock chamber serves to accept the unprocessed substrate from the outside or to take out the processed substrate to the outside, the transfer chamber is provided with a robot for transferring the substrate between the chambers therein Transfers the scheduled substrate from the load lock chamber to the process chamber, or transfers the processed substrate from the process chamber to the load lock chamber, and the process chamber forms a film on the substrate using plasma or thermal energy in a vacuum. Serves to perform etching.

도 1은 일반적인 공정챔버(100)를 도시한 것으로서, 하부챔버(110)와 리드(120)로 구성된다. 공정 챔버 내에서는 여러가지 가스나 플라즈마를 이용하므로, 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 공정 챔버 내의 장비들이 손상되거나 오염되 어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서 공정 챔버는 공정 챔버의 내부를 유지 보수할 수 있도록 공정챔버의 상부에 위치하는 리드를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다. 1 shows a general process chamber 100, which is composed of a lower chamber 110 and a lead 120. Since various gases or plasmas are used in the process chamber, if a large number of processes are repeated, equipment in the process chamber may be damaged or contaminated, and replacement or repair thereof is necessary periodically. Therefore, the process chamber is generally configured to be capable of opening and closing a lid located above the process chamber so as to maintain the interior of the process chamber.

따라서 종래에 상기 리드를 개폐하기 위한 장치로서 리드 개폐장치(200)가 개시되었는데, 리드 개폐장치(200)는 리드를 공정챔버의 리드를 들어올려 하부챔버와 분리하는 호이스트(미도시)와, 상기 호이스트에 의해 분리된 리드를 재치하고, 180°회전시키는 지지대(210)로 구성된다. Accordingly, a lead opening and closing device 200 has been disclosed as a device for opening and closing the lead. The lead opening and closing device 200 includes a hoist (not shown) that lifts a lead of the process chamber and separates it from the lower chamber. It consists of the support 210 which mounts the lid separated by the hoist, and rotates 180 degrees.

도 2를 참조하여 지지대(210)를 설명하면, 공정챔버나 로드락 챔버, 반송챔버와 분리되어 이동가능하게 설치되며, 통상 공정챔버에 이웃하여 설치된다. Referring to FIG. 2, the support 210 is installed separately from the process chamber, the load lock chamber, and the transfer chamber, and is installed adjacent to the process chamber.

상기 지지대(210)는 리드의 걸림부(도 3의 121참조)가 안착되는 걸림홈(211)이 형성되고, 재치된 리드를 회전시킬 수 있는 회전부(220)가 구비되고, 또한 승강할 수 있는 구동원(230)이 구비된다. The support 210 has a locking groove 211 is formed to seat the engaging portion of the lead (see 121 of FIG. 3), the rotating portion 220 for rotating the mounted lead is provided, and can be elevated The drive source 230 is provided.

도 3을 참조하면, 리드(120)의 상부에는 호이스트가 리드(120)를 용이하게 들어올릴 수 있도록 하기 위한 고리(122)가 다수개 결합되어 있고, 또한 지지대의 상기 회전부와 결합되는 걸림부(121)가 구비된다. Referring to FIG. 3, a plurality of hooks 122 are coupled to an upper portion of the lid 120 to allow the hoist to easily lift the lid 120, and a hook portion coupled to the rotation part of the support ( 121 is provided.

도 4a 내지 도 4c를 참조하여 종래의 리드 개폐장치(200)의 작동을 설명한다. An operation of the conventional lid opening and closing device 200 will be described with reference to FIGS. 4A to 4C.

먼저, 호이스트가 고리(122)를 이용하여 리드(120)를 들어올려 하부챔버(110)로부터 이격시킨 후, 이를 지지대에 재치시킨다(도 4a 참조). First, the hoist lifts the lid 120 using the ring 122 and is spaced apart from the lower chamber 110 and then placed on the support (see FIG. 4A).

다음으로, 상기 걸림부(121)를 회전부(220)에 결합하고, 회전부(220)에 의해 상기 리드(120)를 180°회전시킨다(도 4b 및 도 4c 참조). Next, the engaging portion 121 is coupled to the rotating part 220, and the lead 120 is rotated 180 ° by the rotating part 220 (see Figs. 4b and 4c).

그러나 이와 같은 종래의 리드 개폐장치는 리드 지지대와 별도로 호이스트를 구비해야 하는 문제점이 있었다.However, such a conventional lead opening and closing device has a problem that must be provided with a hoist separate from the lead support.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 챔버의 리드를 지지대로 옮기기 위한 별도의 호이스트가 불필요한 리드 개폐장치를 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a lid opening and closing device that does not need a separate hoist for moving the lid of the chamber to the support.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 리드 개폐장치는 챔버의 리드를 지지하고, 지지된 리드를 회전시킬 수 있는 회전부가 구비되는 지지대; 상기 지지대에 설치되며, 상기 리드를 파지하는 그리퍼; 및 상기 그리퍼를 승강 및 회전시키는 구동원;를 포함한다. In order to solve the above technical problem, the lid opening and closing apparatus according to the present invention supports a lid of the chamber, and a support having a rotating part capable of rotating the supported lead; A gripper installed on the support and gripping the lead; And a driving source for elevating and rotating the gripper.

또한 상기 지지대를 상기 챔버에 고정시키는 고정부재가 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that a fixing member for fixing the support to the chamber is further provided.

또한 상기 회전부는 상기 지지대에 재치된 리드의 중앙 영역과 결합하여 상기 리드를 회전시키는 것이 바람직하다. In addition, the rotation unit is preferably coupled to the center region of the lid mounted on the support to rotate the lead.

또한 상기 지지대는 로드락 챔버, 반송챔버 및 공정챔버와 분리되어 독립적으로 이동가능한 것이 바람직하다. In addition, the support is preferably separated from the load lock chamber, the transfer chamber and the process chamber is movable independently.

본 발명에 따르면, 챔버를 유지보수 하기 위한 지지대에 리드를 파지하고 승강 및 회전할 수 있는 그리퍼를 구비함으로써 챔버의 리드를 지지대로 옮기기 위한 별도의 호이스트가 불필요한 효과가 있다. According to the present invention, a gripper capable of gripping and elevating and rotating the lid on a support for maintaining the chamber has an unnecessary effect of a separate hoist for moving the lid of the chamber to the support.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 리드 개폐장치의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the lid opening and closing apparatus according to the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 리드 개폐장치(300)는 챔버의 리드를 지지하는 지지대(310)가 구비된다. 상기 지지대(310)는 재치된 리드의 중앙영역과 결합하여 상기 리드를 회전시키는 회전부(320)가 구비된다. 또한 상기 지지대(310)는 로드락 챔버, 반송챔버 및 공정챔버와 분리되어 독립적으로 이동가능하도록 바퀴가 구비된다. 5, the lid opening and closing device 300 according to the present invention is provided with a support 310 for supporting the lid of the chamber. The support 310 is provided with a rotating unit 320 to rotate the lead in combination with the center region of the placed lead. In addition, the support 310 is provided with a wheel so as to be movable independently from the load lock chamber, the transfer chamber and the process chamber.

상기 지지대(310)상에는 또한 리드를 파지할 수 있는 그리퍼(330)가 구비된다. The gripper 330 is also provided on the support 310 to hold the lead.

또한 상기 그리퍼(330)를 승강하거나 회전시킬 수 있도록 구동원(340)이 마련된다. In addition, a driving source 340 is provided to elevate or rotate the gripper 330.

이하, 도 6 내지 도 9를 참조하여 본 발명에 의한 리드 개폐장치(300)의 작동을 설명한다. Hereinafter, the operation of the lid opening and closing apparatus 300 according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6 to 9.

먼저, 도 6에 도시된 바와 같이, 지지대(310)를 공정챔버의 측면으로 이동한다. 이 때, 이동설치된 지지대가 작업중에 유동하는 것을 방지하기 위하여 상기 지지대를 공정챔버를 지지하는 프레임(130)의 측면에 고정시켜야 한다. 이를 위해 지 지대(310)의 측면하부에는 고정부재(350)가 구비된다. 상기 고정부재(350)는 고정볼트 또는 후크일 수 있다. First, as shown in Figure 6, the support 310 is moved to the side of the process chamber. At this time, in order to prevent the movable support from flowing during operation, the support must be fixed to the side of the frame 130 supporting the process chamber. To this end, the fixing member 350 is provided on the lower side of the support 310. The fixing member 350 may be a fixing bolt or a hook.

이 상태에서 상기 그리퍼(330)를 이용하여 챔버의 리드(120)를 파지하고, 구동원(340)을 구동시켜 들어올려 하부챔버(110)와 이격시킨다. In this state, the gripper 330 is used to hold the lid 120 of the chamber, and the driving source 340 is driven to lift and spaced apart from the lower chamber 110.

다음으로 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 그리퍼(330)를 구동원(340)을 구동시켜 수평방향으로 회전시킨다. 이 때, 상기 구동원(340)의 위치에 따라 180°또는 90°회전시킨다. Next, as shown in FIG. 7, the gripper 330 is driven to drive the driving source 340 to rotate in the horizontal direction. At this time, it rotates 180 ° or 90 ° depending on the position of the drive source 340.

다음으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 구동원(340)을 이용하여 상기 그리퍼(330)를 하강하여 리드(120)를 상기 지지대(310) 상에 재치한다. Next, as shown in FIG. 8, the gripper 330 is lowered using the driving source 340 to place the lid 120 on the support 310.

마지막으로, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 지지대(310)상에 재치된 리드(120)를 회전부(320)를 이용하여 수직방향으로 180°회전시킴으로써 완료한다. Finally, as shown in FIG. 9, the lid 120 mounted on the support 310 is completed by rotating the lead 120 in the vertical direction by using the rotating part 320.

도 1은 일반적인 공정챔버를 도시한 것이다. 1 shows a general process chamber.

도 2는 종래 공정챔버의 리드를 재치하고, 회전시키는 지지대를 도시한 것이다. Figure 2 shows a support for mounting and rotating the lid of the conventional process chamber.

도 3은 종래 공정챔버의 리드를 도시한 것이다. 3 shows a lid of a conventional process chamber.

도 4a 내지 도 4c는 종래 리드 개폐순서를 도시한 것이다. 4A to 4C show a conventional lead opening and closing procedure.

도 5는 본 발명에 의한 리드 개폐장치를 도시한 것이다. Figure 5 shows the lid opening and closing apparatus according to the present invention.

도 6 내지 도 9는 도 5에 도시된 장치를 이용한 리드 개폐순서를 도시한 것이다. 6 to 9 show the lead opening and closing sequence using the apparatus shown in FIG.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

300: 리드 개폐장치 310: 지지대 300: lead opening and closing device 310: support

320: 회전부 330: 그리퍼320: rotating part 330: gripper

340: 구동원 350: 고정부재340: drive source 350: fixed member

Claims (4)

챔버의 리드를 지지하고, 지지된 리드를 회전시킬 수 있는 회전부가 구비되는 지지대;A support for supporting a lid of the chamber and having a rotating part capable of rotating the supported lead; 상기 지지대에 설치되며, 상기 리드를 파지하는 그리퍼; 및 A gripper installed on the support and gripping the lead; And 상기 그리퍼를 승강 및 회전시키는 구동원;를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치. And a drive source for elevating and rotating the gripper. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지대를 상기 챔버에 고정시키는 고정부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치. Reed opening and closing device further comprises a fixing member for fixing the support to the chamber. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 회전부는 상기 지지대에 재치된 리드의 중앙 영역과 결합하여 상기 리드를 회전시키는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치. The rotating unit is coupled to the central region of the lead placed on the support lead opening and closing device, characterized in that for rotating the lead. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 지지대는 로드락 챔버, 반송챔버 및 공정챔버와 분리되어 독립적으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치. The support is separated from the load lock chamber, the transfer chamber and the process chamber lead opening and closing device, characterized in that the movable independently.
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