KR100828969B1 - A fixing unit for sealant uv cure machine - Google Patents

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이창원
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Abstract

A mask glass fixing unit of a sealant hardening device is provided to reduce manufacturing costs by reducing a size of a mask glass support bar for supporting a mask glass, and improve work efficiency by helping conveyance and installation by minimizing the size and weight of the mask glass support bar. A sealant hardening device comprises a chamber(1), a light emitting unit(5), a mask glass fixing unit(80) and a substrate support unit(10). The mask glass fixing unit comprises a fixing frame(20), plural mask glass support bars(30), and an air inhalation member. The fixing frame forms an outer frame of a predetermined size. The plural mask glass support bars are arranged within the fixing frame as being spaced with a predetermined distance. So as for a mask glass(100) to be vacuum-sucked and supported in a lower side, the mask glass support bars have an air inhalation path for passing through and connecting a loser side and both ends. The air inhalation member is installed in the fixing frame so as to sucking and discharging air by being connected to the air inhalation path of the mask glass support bar. A masking pattern is formed on the mask glass to form a transmissive unit so that applied sealant(115) can correspond to a glass plate(110).

Description

실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛{A fixing unit for sealant UV cure machine}Mask glass fixing unit of sealant curing machine {A fixing unit for sealant UV cure machine}

도 1은 종래의 실란트 경화장치의 개략 단면도,1 is a schematic cross-sectional view of a conventional sealant curing apparatus,

도 2는 종래의 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛의 사시도,Figure 2 is a perspective view of a mask glass fixing unit of a conventional sealant curing device,

도 3은 본 발명의 마스크글라스 고정유닛이 구비된 실란트 경화장치의 개략 단면도,3 is a schematic cross-sectional view of a sealant curing apparatus equipped with a mask glass fixing unit of the present invention;

도 4는 본 발명의 마스크글라스 고정유닛의 부분 분해사시도,4 is a partially exploded perspective view of the mask glass fixing unit of the present invention;

도 5는 도 4의 'A' 의 확대도,5 is an enlarged view of 'A' of FIG. 4,

도 6은 도 4의 마스크글라스지지바와 공기흡입부재가 결합된 상태의 부분 확대도,6 is a partially enlarged view of a state in which the mask glass support bar and the air suction member of FIG. 4 are coupled;

도 7은 본 발명의 마그크글라스지지바의 단면도,7 is a cross-sectional view of the mag glass support bar of the present invention,

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 챔버 5 : 발광부1 chamber 5 light emitting unit

6 : 자외선램프 10 : 기판지지부6: UV lamp 10: Substrate support part

15 : 스테이지 16 : 지지대15: stage 16: support

20,122 : 고정프레임 25 : 지지홈20,122: fixed frame 25: support groove

30 : 마스크글라스지지바 35 : 공기흡입로30: mask glass support bar 35: air suction path

37,127 : 흡착홈 38 : 흡입관37,127: suction groove 38: suction pipe

37a : 만곡면 40 : 고정블럭 37a: curved surface 40: fixed block

41 : 고정부 45 : 실링부재41: fixing part 45: sealing member

46 : 요입홈 48 : 연결관46: groove groove 48: connector

40a,70a : 나사 50 : 배출관40a, 70a: screw 50: discharge pipe

52 : 유입관 53 : 연결구52: inlet pipe 53: connector

60,125 : 공기흡입부재 70 : 고정브라켓60,125: air suction member 70: fixed bracket

80,120 : 마스크글라스 고정유닛 100 : 마스크글라스80,120: Mask glass fixing unit 100: Mask glass

105 : 마스킹패턴 106 : 투과부105: masking pattern 106: transmissive portion

110 : 유리기판 115 : 실란트110: glass substrate 115: sealant

116 : 액정 121 : 마스크지지글라스116 liquid crystal 121 mask support glass

본 발명은 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display)용 유리기판에 도포되는 실란트를 경화시키는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛에 관한 것으로서, 사각틀을 형성하는 고정프레임의 내측에 다수개의 마스크글라스지지바를 이격되게 배열 설치하여 복수의 마스크글라스지지바에 의해 마스크글라스가 진공 흡착되어 지지될 수 있게 함으로써, 제조단가의 절감은 물론 크기와 중량 감소에 따른 작업능률 향상 뿐 아니라, 유지보수가 용이하고, 또한 자외선(UV:Ultra Violet)의 조도 손실을 최소화할 수 있는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a mask glass fixing unit of a sealant curing apparatus for curing a sealant applied to a glass substrate for a liquid crystal display (LCD), wherein a plurality of mask glass support bars are provided on an inner side of a fixing frame forming a rectangular frame. Since the mask glass is vacuum-adsorbed and supported by a plurality of mask glass support bars by arranging them spaced apart from each other, not only the manufacturing cost is reduced but also the work efficiency is improved due to the reduction in size and weight. The present invention relates to a mask glass fixing unit of a sealant curing device capable of minimizing roughness loss of (UV: Ultra Violet).

일반적으로 액정표시장치(LCD:liquid crystal display)는 다른 표시장치에 비해 경량일 뿐 아니라, 큰 화면과 높은 해상도를 구현할 수 있어 주요 평판 디스플레이(Flat Pannel Display) 장치로 사용되는 것으로서, 기본적으로 전,후 두 장의 유리기판 내에 액정을 주입시킨 후 실란트(sealant)로 밀봉시키고, 각 기판에 설치되는 전극을 통해 전압이나 전류를 부가하여 액정의 배열을 변화시킴으로써 빛을 투과 또는 차폐시켜 표시할 수 있게 하는 장치이다.In general, a liquid crystal display (LCD) is not only lighter than other display devices but also can be used as a main flat panel display device because it can realize a large screen and high resolution. After the liquid crystal is injected into two glass substrates, the liquid crystal is sealed with a sealant, and a voltage or a current is added through an electrode installed on each substrate to change the arrangement of the liquid crystal so that light can be transmitted or shielded and displayed. Device.

이때 유리기판에 도포되는 밀봉재인 실란트는 두장의 유리기판 사이에 액정을 주입한 후, 유리기판의 가장자리를 따라 도포되어 유리기판 내의 액정이 외부로 누출되지 않도록 유리기판을 밀봉시키는 역할을 한다.At this time, the sealant, which is a sealant applied to the glass substrate, injects liquid crystal between two glass substrates, and then is applied along the edge of the glass substrate to seal the glass substrate so that the liquid crystal in the glass substrate does not leak to the outside.

실란트 경화장치는 두장의 유리기판의 가장자리에 도포되는 실란트만을 선택적으로 경화시키기 위한 장치로서, 유리기판상에 자외선(UV:Ultra Violet)을 조사하여 실란트를 경화시키는 장치이다.The sealant curing device is a device for selectively curing only the sealant applied to the edges of two glass substrates, and is a device for curing the sealant by irradiating UV (ultraviolet) onto the glass substrate.

이때 실란트 경화장치는 실란트를 경화시키는 자외선이 액정을 열화시켜 수명을 단축시키는 문제점이 있기 때문에 자외선이 유리기판의 실란트에만 선택적으로 조사될 수 있도록 자외선램프와 유리기판 사이에 마스크글라스가 고정되는 마스크글라스 고정유닛을 설치함으로써, 자외선이 마스크글라스에 의해 실란트에만 국부적으로 조사되어 실란트가 경화될 수 있게 한다.At this time, the sealant curing device has a problem of shortening the lifespan by ultraviolet light deteriorating the liquid crystal, so that the mask glass is fixed between the ultraviolet lamp and the glass substrate so that the ultraviolet light can be selectively irradiated only on the sealant of the glass substrate. By installing the fixing unit, ultraviolet rays are locally irradiated only on the sealant by the mask glass so that the sealant can be cured.

이하 종래의 마스크글라스 고정유닛을 도 1과 도 2를 참조하여 설명한다.Hereinafter, a conventional mask glass fixing unit will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1은 종래의 실란트 경화장치의 개략 단면도를 나타낸 것이고, 도 2는 종래의 실란트 경화장치에 구비된 마스크글라스 고정유닛의 사시도를 나타낸 것이다.Figure 1 shows a schematic cross-sectional view of a conventional sealant curing device, Figure 2 shows a perspective view of a mask glass fixing unit provided in the conventional sealant curing device.

도 1에 도시된 바와 같이 실란트 경화장치는 챔버(1)와 자외선을 조사하는 자외선램프(6)가 구비된 발광부(5)와 마스크글라스(100)를 고정시키는 마스크글라스 고정유닛(120)과 LCD panel인 유리기판(110)을 로딩하여 지지하는 기판지지부(10)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the sealant curing apparatus includes a chamber 1 and a mask glass fixing unit 120 for fixing the light emitting part 5 and the mask glass 100 provided with an ultraviolet lamp 6 for irradiating ultraviolet rays. It comprises a substrate support 10 for loading and supporting the glass substrate 110 which is an LCD panel.

마스크글라스(100)는 마스크글라스 고정유닛(120)의 하측부에 고정 설치되는 것으로서, 발광부(5)에서 조사되는 자외선이 유리기판(110)의 실란트(115)에만 국부적으로 노출될 수 있도록 표면에 마스킹 패턴(105)(도3에 도시함)이 형성되며, 이때 마스킹 패턴(105)은 유리기판(110)의 액정(116)을 밀봉시키는 실란트(115) 도포지점에 대응되게 자외선이 투과될 수 있는 슬롯 형태의 투과부(106)(도3에 도시함)가 형성된다.The mask glass 100 is fixedly installed on the lower side of the mask glass fixing unit 120, and the surface of the mask glass 100 may be exposed only to the sealant 115 of the glass substrate 110. A masking pattern 105 (shown in FIG. 3) is formed on the masking pattern 105, and the masking pattern 105 may transmit ultraviolet rays corresponding to the application point of the sealant 115 that seals the liquid crystal 116 of the glass substrate 110. A transmissive portion 106 (shown in FIG. 3) in the form of a slot is formed.

한편 마스크글라스 고정유닛(120)은 사각 틀을 형성하는 고정프레임(122)과 고정프레임(122)에 설치되는 복수개의 공기흡입부재(125) 및 고정프레임(122) 내측에 고정 설치되는 마스크지지글라스(121)로 구성된다.On the other hand, the mask glass fixing unit 120 is fixed to the frame frame forming a rectangular frame 122 and the plurality of air suction member 125 and the frame support glass is fixed to the inside of the fixed frame 122 is installed on the fixed frame 122 It consists of 121.

마스크지지글라스(121)는 마스크글라스(100)를 하측면에 진공 흡착시켜 고정시킬 수 있게 저면의 가장자리를 따라 흡착홈(127)이 형성되어 있고, 공기흡입부재(125)는 고정프레임(122)에 일정 간격으로 설치하되, 단부가 마스크지지글라스(121) 상부에서 흡착홈(127)과 연통될 수 있게 구비된다.The mask support glass 121 has an adsorption groove 127 formed along the edge of the bottom surface of the mask glass 100 so as to be fixed by vacuum adsorption on the lower surface thereof, and the air suction member 125 has a fixed frame 122. Installed at regular intervals, the end is provided to be in communication with the suction groove 127 in the upper portion of the mask support glass 121.

이때 다수의 공기흡입부재(125)는 서로 연결되어 외부의 진공펌프(도시하지 않음)와 연결되게 된다.At this time, the plurality of air intake members 125 are connected to each other is connected to an external vacuum pump (not shown).

따라서 마스크글라스(100)의 고정은 마스크글라스 고정유닛(120)에 구비된 마스크지지글라스(121)의 저면에 마스크글라스(100)를 밀착시킨 후 공기흡입부재(125)를 통해 흡착홈(127) 내의 공기를 외부로 배출시켜 마스크글라스(100)가 흡착홈(127)에 진공 흡착되게 함으로써 이루어진다.Therefore, the fixing of the mask glass 100 is in close contact with the mask glass 100 on the bottom surface of the mask support glass 121 provided in the mask glass fixing unit 120, the suction groove 127 through the air suction member 125 The mask glass 100 is vacuum-adsorbed to the adsorption groove 127 by discharging the air inside.

이때 기판지지부(10)를 이용하여 지지대(16) 위에 설치된 스테이지(15)에 놓여진 유리기판(110)을 적절한 위치에 로딩시킨 후, 발광부(5)의 자외선램프(6)를 작동시켜 자외선이 마스크지지글라스(121)와 마스크글라스(100)을 통해 유리기판(110)의 실란트(115)에 조사됨으로써 실란트(115)가 경화되게 되는 것이다.At this time, the glass substrate 110 placed on the stage 15 installed on the support 16 using the substrate support 10 is loaded at an appropriate position, and then the ultraviolet lamp 6 of the light emitting unit 5 is operated to emit ultraviolet light. The sealant 115 is cured by irradiating the sealant 115 of the glass substrate 110 through the mask support glass 121 and the mask glass 100.

그러나 상기와 같은 구조의 종래의 마스크글라스 고정유닛은 다음과 같은 문제점들이 있었다.However, the conventional mask glass fixing unit having the above structure has the following problems.

첫째, 마스크글라스의 고정을 위해 마스크글라스의 크기에 대응되는 대형 마스크지지글라스를 사용해야 됨으로써 제조단가가 현저히 상승되고, 또한 투과율이 높은 수정(Quartz)을 사용하는 것이 곤란한 문제점이 있었다.First, since the large size of the mask support glass corresponding to the size of the mask glass must be used for fixing the mask glass, the manufacturing cost is significantly increased, and it is difficult to use quartz having high transmittance.

둘째, LCD panel인 유리기판이 대형화됨에 따라 마스크글라스가 대형화 되고, 이에 따라 마스크지지글라스 또한 대형화됨으로써, 크기와 중량 증가로 인한 운반 또는 설치가 용이하지 않아 작업능률이 떨어지는 문제점이 있었다.Second, as the glass substrate, which is an LCD panel, is enlarged, the mask glass is enlarged. Accordingly, the mask support glass is also enlarged, and thus, there is a problem in that work efficiency is reduced because it is not easy to transport or install due to an increase in size and weight.

셋째, 마스크지지글라스가 손상되거나 파손되는 경우 마스크지지글라스 전체를 교환해야 됨으로써 유지보수가 용이하지 않고, 유지보수 비용이 현저히 증가되 는 문제점이 있었다.Third, when the mask support glass is damaged or broken, there is a problem in that the maintenance of the mask support glass is not easy and the maintenance cost is significantly increased.

넷째, 공기흡입부재가 마스크지지글라스 내측으로 돌출될 뿐 아니라, 자외선이 모두 마스크지지글라스를 통해 조사됨으로써, 자외선의 조도 손실에 따른 공정속도 증가로 유리기판의 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.Fourth, not only the air suction member protrudes into the mask support glass, but also the ultraviolet light is irradiated through the mask support glass, thereby decreasing the productivity of the glass substrate due to an increase in process speed due to the loss of illuminance of the ultraviolet light.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 다수개의 소형 마스크글라스지지바를 이용하여 마스크글라스를 고정시킴으로써, 제조단가를 절감시킬 수 있는 마스크글라스 고정유닛을 제공하고자 하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a mask glass fixing unit that can reduce the manufacturing cost by fixing the mask glass using a plurality of small mask glass support bar. will be.

본 발명의 다른 목적은 대형 마스크지지글라스를 사용하지 않고 다수개의 소형 마스크글라스지지바를 사용함으로써 운반이나 설치를 용이하게 하여 작업능률을 현저히 상승시킬 수 있게 하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to make it easy to carry or install by using a plurality of small mask glass support bar without using a large mask support glass to significantly increase work efficiency.

본 발명의 또 다른 목적은 마스크글라스지지바를 개별적으로 수리나 교체가 가능하게 하여 유지보수가 간편할 뿐 아니라, 유지보수 비용을 절감할 수 있게 하고자 하는 것이다.Still another object of the present invention is to make it possible to individually repair or replace the mask glass support bar, thereby simplifying the maintenance and reducing the maintenance cost.

본 발명의 또 다른 목적은 자외선의 진행을 최대한 방해하지 않음으로써 자외선의 조도 손실을 최소화하여 공정속도를 향상시킬 수 있는 마스크글라스 고정유닛을 제공하고자 하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a mask glass fixing unit that can improve the processing speed by minimizing the loss of illumination of ultraviolet rays by not disturbing the progress of ultraviolet rays as much as possible.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 일정크기의 외곽 틀을 형성하는 고정프레임과, 상기 고정프레임 내측에 일정거리 이격되게 배열 설치하되, 마스크글라스가 하측면에 진공 흡착되어 지지될 수 있도록 하측면과 양단부를 관통 연결하는 공기흡입로가 내부에 형성되는 다수개의 마스크글라스지지바 및 상기 마스크글라스지지바의 공기흡입로에 연통되어 공기를 흡입 배출시킬 수 있게 상기 고정프레임에 설치되는 공기흡입부재를 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a fixed frame which forms an outer frame of a predetermined size, and is arranged to be spaced apart from the inside of the fixed frame by a predetermined distance, so that the mask glass is vacuum-adsorbed and supported on the lower side and And a plurality of mask glass support bars having an air suction path connecting through both ends thereof, and an air suction member installed in the fixed frame so as to communicate with the air suction paths of the mask glass support bars to suck and discharge air. It is configured by.

본 발명의 상기 고정프레임은 상기 마스크글라스지지바의 양단부가 각각 안착되어 견고하게 지지될 수 있도록 일정깊이의 양측이 개방된 지지홈이 이격되게 다수개가 형성된다.The fixing frame of the present invention is formed with a plurality of spaced apart support grooves are open at both sides of a predetermined depth so that both ends of the mask glass support bar is firmly supported.

또한 본 발명의 상기 공기흡입로는 상기 마스크글라스를 진공 흡착시킬 수 있게 마스크글라스지지바의 길이방향을 따라 하측면에 일정깊이로 형성되는 흡착홈과, 일단은 상기 흡착홈의 양측 바닥면에 연통되고 타단은 마스크글라스지지바의 양단 면에 노출 형성된 흡입관을 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the air suction passage of the present invention and the suction groove is formed in a predetermined depth on the lower side along the longitudinal direction of the mask glass support bar to vacuum suction the mask glass, one end is in communication with the bottom surface of both sides of the suction groove And the other end may be configured to include a suction pipe formed on both sides of the mask glass support bar.

이때 상기 흡착홈의 모서리부는 마스크글라스지지바를 투과하는 자외선이 왜곡되지 않도록 고온 열처리된 만곡면으로 형성될 수 있다.At this time, the corner portion of the adsorption groove may be formed as a curved surface subjected to high temperature heat treatment so that ultraviolet rays passing through the mask glass support bar are not distorted.

또 본 발명의 상기 공기흡입부재는 상기 고정프레임에 형성된 지지홈에 삽입되어 일단부가 상기 마스크글라스지지바의 단부에 밀착되게 설치하되, 상기 흡입관과 일단이 연통되고 타단은 상부면에 노출되는 연결관이 내부에 관통 형성된 고정블럭과, 상기 고정블럭의 연결관의 타단에 연결되는 배출관을 포함하여 구성된다.In addition, the air suction member of the present invention is inserted into the support groove formed in the fixed frame is installed so that one end is in close contact with the end of the mask glass support bar, the suction pipe and one end is in communication with the other end is exposed to the upper surface It includes a fixed block formed through the inside, and the discharge pipe connected to the other end of the connection pipe of the fixed block.

이때 상기 고정블럭은 후단부 양측부에 돌출 형성되는 고정부를 각각 구비하여 상기 고정프레임에 상기 고정부가 나사 결합되어 상기 마스크글라스지지바의 단부에 일단부가 밀착되게 할 수 있다.In this case, the fixing block may include fixing parts protruding from both rear end portions thereof, and the fixing parts may be screwed to the fixing frame so that one end thereof may be in close contact with the end of the mask glass support bar.

한편 상기 배출관은 상기 연결관에 연통되게 결합되는 유입관과 인접된 타 배출관이 연결 설치될 수 있게 상기 유입관의 상부 양측에 연결구가 각각 형성될 수 있다.On the other hand, the discharge pipe may be formed on each of the upper both sides of the inlet pipe so that the other inlet pipe and the adjacent inlet pipe coupled to communicate with the connecting pipe can be installed.

또한 본 발명의 상기 마스크글라스지지바의 단부에 밀착되는 상기 고정블럭의 단부 면에는 밀착부에서의 공기 누출이 방지될 수 있게 연결관을 둘러싸는 요입홈을 형성하고, 상기 요입홈에는 실링부재가 설치될 수 있다.In addition, the end surface of the fixing block which is in close contact with the end of the mask glass support bar of the present invention forms a concave groove surrounding the connection pipe to prevent air leakage from the close contact portion, the concave groove is a sealing member Can be installed.

또 본 발명의 상기 고정프레임의 지지홈 상부에는 상기 마스크글라스지지바가 상부로 이탈되는 것이 방지될 수 있게 양측부가 상기 고정프레임에 각각 결합되는 고정브라켓이 더 구비될 수 있다.In addition, the upper side of the fixing groove of the fixing frame of the present invention may be further provided with a fixing bracket that is coupled to each side of the fixing frame so that the mask glass support bar is separated from the upper side.

또 본 발명의 상기 마스크글라스지지바는 자외선의 투과율이 높은 수정(Quartz) 소재로 형성될 수 있다.In addition, the mask glass support bar of the present invention may be formed of a quartz material having a high transmittance of ultraviolet rays.

이하 본 발명에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 마스크글라스 고정유닛(80)이 설치된 실란트 경화장치의 개략 단면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명의 마스크글라스 고정유닛(80)의 부분 분해사시도를 나타낸 것이며, 도 5는 도 4의 'A'의 확대도를 나타낸 것이다.Figure 3 shows a schematic cross-sectional view of the sealant curing apparatus is installed mask glass fixing unit 80 of the present invention, Figure 4 shows a partially exploded perspective view of the mask glass fixing unit 80 of the present invention, Figure 5 4 shows an enlarged view of 'A'.

도 3에 도시된 바와 같이, 실란트 경화장치는 챔버(1), 발광부(5), 마스크글라스 고정유닛(80) 및 기판지지부(10)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 3, the sealant curing apparatus includes a chamber 1, a light emitting part 5, a mask glass fixing unit 80, and a substrate support part 10.

챔버(1)는 일정 크기로 형성되어 실란트 경화작업이 진행되기 위한 공간을 제공하게 된다.The chamber 1 is formed in a predetermined size to provide a space for the sealant curing operation to proceed.

발광부(5)는 자외선램프(6)를 이용하여 자외선(UV:Ultra violet)을 유리기판(110)에 조사하는 것으로서 챔버(1) 내측 상부에 설치되고, 기판지지부(10)는 LCD panel인 유리기판(110)을 로딩시키는 것으로서, 챔버(1) 하측부에 설치된다.The light emitting unit 5 is irradiated with ultraviolet (UV) ultra violet (UV) to the glass substrate 110 by using an ultraviolet lamp 6, and is installed on the inside of the chamber 1, and the substrate support unit 10 is an LCD panel. Loading the glass substrate 110, it is installed on the lower side of the chamber (1).

이때 기판지지부(10)는 상부에 유리기판(110)이 놓여지는 스테이지(15)와 스테이지(15)를 상,하로 승강시켜 유리기판(110)을 적정 위치에 고정시키는 지지대(16)로 구성된다.At this time, the substrate support portion 10 is composed of a stage (15) on which the glass substrate 110 is placed on the top and a support (16) for lifting the stage 15 up and down to fix the glass substrate 110 in a proper position. .

지지대(16)는 피스톤로드의 통상적인 직선 왕복 운동에 의해 스테이지(10)에 설치되는 유리기판(110)을 적정 위치로 로딩시키는 역할을 하게 된다.The support 16 serves to load the glass substrate 110 installed in the stage 10 to a proper position by a conventional linear reciprocating motion of the piston rod.

한편 마스크글라스 고정유닛(80)은 챔버(1) 내의 발광부(5)와 기판지지부(10) 사이에 설치되는 것으로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 고정프레임(20)과 마스크글라스지지바(30) 및 공기흡입부재(60)로 구성된다. On the other hand, the mask glass fixing unit 80 is installed between the light emitting unit 5 and the substrate support unit 10 in the chamber 1, as shown in Figure 4, the fixing frame 20 and the mask glass support bar ( 30) and the air suction member 60.

고정프레임(20)은 일정한 크기의 사각 틀을 형성하여 유리기판(110)의 크기에 대응되는 마스크글라스(100)가 고정되어 지지될 수 있게 내측에 적절한 크기의 공간을 형성하며, 챔버(1) 내측에 고정 설치되어 마스크글라스지지바(30)를 고정시키는 역할을 하게 된다.The fixed frame 20 forms a rectangular frame of a predetermined size to form a space of an appropriate size inside so that the mask glass 100 corresponding to the size of the glass substrate 110 is fixed and supported, and the chamber 1 It is fixedly installed on the inside to serve to fix the mask glass support bar (30).

한편 고정프레임(20)의 양측 상부면에는 마스크글라스지지바(30)의 양단을 지지할 수 있는 양측이 개방된 지지홈(25)(도5에 도시함)이 일정 간격으로 이격되어 서로 마주볼 수 있게 다수개가 각각 형성된다.Meanwhile, support grooves 25 (shown in FIG. 5) having both sides open to support both ends of the mask glass support bar 30 are spaced apart at regular intervals on both upper surfaces of the fixed frame 20 to face each other. A plurality can be formed respectively.

이때 지지홈(25)은 마스크글라스지지바(30)의 높이와 폭에 대응되게 사각형상으로 형성된다.At this time, the support groove 25 is formed in a rectangular shape corresponding to the height and width of the mask glass support bar (30).

한편 마스크글라스지지바(30)는 사각형의 바 형상으로서, 양단이 고정프레임(20)의 지지홈(25)에 삽입되어 고정프레임(20)의 내측에 일정 간격으로 이격되어 배열 설치되며, 이때 양단은 지지홈(25)의 중앙부까지 삽입되어 끼워지게 된다.Meanwhile, the mask glass support bar 30 has a rectangular bar shape, and both ends thereof are inserted into the support groove 25 of the fixed frame 20 to be spaced apart at regular intervals inside the fixed frame 20. Is inserted into the center of the support groove 25 is inserted.

따라서 마스크글라스지지바(30)는 자외선의 진행 경로상의 최소한의 면적만 차지하게 된다.Therefore, the mask glass support bar 30 occupies only a minimum area on the path of the ultraviolet rays.

마스크글라스지지바(30)는 일반적으로 빛의 투과가 용이한 투명 유리판 즉, 마스크 지지용 글라스를 사용할 수 있으며, 가격이 고가이나 물리적인 변형이 적고 자외선의 투과율이 일반 투명 유리보다 높은 수정(석영, Quartz)를 사용하는 것이 더욱 바람직하다.The mask glass support bar 30 may generally use a transparent glass plate that is easy to transmit light, that is, a mask support glass, and has a high price but low physical deformation and high UV transmittance than that of a general transparent glass (quartz). , Quartz) is more preferable.

또한 마스크글라스지지바(30)는 마스크글라스(100)를 하측면에 진공 흡착시킬 수 있게 하측면과 양단부가 연통되도록 공기흡입로(35)가 관통 형성된다.In addition, the mask glass support bar 30 is formed through the air suction passage 35 so that the lower surface and both ends communicate with each other so that the mask glass 100 in a vacuum suction.

공기흡입로(35)는 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 형성되는 흡착홈(37)과 내부에 관통 형성되는 흡입관(38)으로 구성된다.Air suction path 35 is composed of a suction groove 37 formed in the lower side of the mask glass support bar 30 and a suction pipe 38 formed therein.

흡착홈(37)은 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 길이방향을 따라 일정깊이로 형성되고, 흡입관(38)은 일단이 흡착홈(37)의 양측 단부의 바닥면과 연통되고 타단은 외부에 노출될 수 있게 마스크글라스지지바(30)의 양단 면에 형성되도록 내부에 관통 형성된다.Suction groove 37 is formed in the lower side of the mask glass support bar 30 in a predetermined depth along the longitudinal direction, one end of the suction pipe 38 is in communication with the bottom surface of both ends of the suction groove 37 and the other end is It is formed through the inside so as to be formed on both sides of the mask glass support bar 30 so as to be exposed to the outside.

또한 흡착홈(37)은 마스크글라스지지바(30)를 투과하는 자외선이 왜곡되지 않도록 모서리부는 만곡면(37a)(도7에 도시함)으로 형성시키고, 고온 열처리를 통해 표면이 매끄럽게 유지될 수 있게 하는 것이 바람직하다.In addition, the suction groove 37 may be formed with a curved surface 37a (shown in FIG. 7) so that ultraviolet rays passing through the mask glass support bar 30 are not distorted, and the surface may be smoothly maintained by high temperature heat treatment. It is desirable to have.

한편 공기흡입부재(60)는 고정블럭(40)과 고정블럭(40) 상부에 결합되는 배출관(50)으로 구성된다.On the other hand, the air suction member 60 is composed of a fixed block 40 and the discharge pipe 50 is coupled to the top of the fixed block 40.

고정블럭(40)은 고정프레임(20)의 지지홈(25)에 일단부가 끼워져 마스크글라스지지바(30)의 단부에 밀착되어 마스크글라스지지바(30)를 고정시키는 것으로서, 지지홈(25)에 대응되는 크기의 사각형태로 형성되며, 후단부 양측에는 고정프레임(20)에 나사결합 될 수 있게 절곡되어 돌출 형성된 고정부(41)가 각각 구비된다.The fixed block 40 has one end inserted into the support groove 25 of the fixed frame 20 to be in close contact with the end of the mask glass support bar 30 to fix the mask glass support bar 30. It is formed in a rectangular shape of a size corresponding to, and both ends of the rear end is provided with fixing portions 41 are bent and protruded to be screwed to the fixing frame 20, respectively.

또한 고정블럭(40) 내부에는 일단이 마스크글라스지지바(30)의 양단 면에 노출된 흡입관(38)의 단부와 연통될 수 있게 마스크글라스지지바(30)에 밀착되는 면의 중앙부에 노출 형성되고 타단은 상부면에 노출되는 연결관(48)이 관통 형성된다.In addition, the fixed block 40 has an exposed portion at the center of the surface in close contact with the mask glass support bar 30 so that one end thereof can communicate with the end of the suction pipe 38 exposed at both end surfaces of the mask glass support bar 30. And the other end is formed through the connecting pipe 48 exposed to the upper surface.

한편 마스크글라스지지바(30)와 고정블럭(40)이 밀착되는 부위에는 공기의 누출이 방지될 수 있게 고정블럭(40)의 단면에 연결관(48)의 둘레를 따라 일정 깊이의 원형 띠 형상의 요입홈(46)이 형성되고, 이 요입홈(46)에는 공기 누출을 방지할 수 있는 실링부재(45)가 설치된다.On the other hand, the mask glass support bar 30 and the fixed block 40 is in close contact with the circular band shape of a certain depth along the circumference of the connection pipe 48 on the cross section of the fixed block 40 to prevent the leakage of air The concave groove 46 is formed, the concave groove 46 is provided with a sealing member 45 to prevent air leakage.

실링부재(45)는 오링(O-ring) 등을 사용할 수 있으며, 공기 누출 방지 패드 등을 고정블럭(40)의 단부에 설치할 수도 있을 것이다.The sealing member 45 may use an O-ring, or the like, and an air leakage preventing pad may be installed at the end of the fixed block 40.

또한 마스크글라스지지바(30)가 상부로 이탈되는 것이 방지될 수 있게 마스크글라스지지바(30)의 단부 상측에는 양측이 고정프레임(20)에 나사(70a)로 결합되 는 고정브라켓(70)이 구비되는 것이 바람직하다.In addition, the fixing bracket 70 is coupled to both sides of the mask glass support bar 30 by the screws 70a on the fixing frame 20 so that the mask glass support bar 30 can be prevented from being separated upward. It is preferable that this is provided.

한편 배출관(50)은 유입관(52)과 유입관(52) 상부 양측에 대칭되게 형성되는 연결구(53)가 구비되어 'T' 자 형태로 형성되며, 이때 유입관(52)의 단부는 고정블럭(40)의 상부면에 노출된 연결관(48)의 단부에 연통될 수 있게 결합된다.On the other hand, the discharge pipe 50 is provided with a connector 53 formed symmetrically on both sides of the inlet pipe 52 and the inlet pipe 52 is formed in a 'T' shape, the end of the inlet pipe 52 is fixed It is coupled so as to be in communication with the end of the connector 48 exposed on the upper surface of the block 40.

이때 유입관(52)은 연결관(48)의 단부에 나사 결합될 수 있다.At this time, the inlet pipe 52 may be screwed to the end of the connection pipe (48).

또한 배출관(50)은 인접된 배출관(50)과 연통될 수 있게 연결구(53)를 별도의 외부 연결관(도시하지 않음)으로 서로 연결시키고, 이 외부 연결관은 하나 또는 다수의 진공펌프(도시하지 않음)와 연결시킨다.In addition, the discharge pipe 50 connects the connector 53 with each other by a separate external connection pipe (not shown) so as to be in communication with an adjacent discharge pipe 50, and the external connection pipe is one or more vacuum pumps (not shown). Not connected).

따라서 진공펌프는 다수개의 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 밀착된 마스크글라스(100)에 의해 밀폐되는 다수개의 흡착홈(37) 내부의 공기를 외부로 배출시켜 마스크글라스(100)를 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 진공 흡착시키게 되는 것이다.Accordingly, the vacuum pump masks the mask glass 100 by discharging the air inside the plurality of suction grooves 37 sealed by the mask glass 100 in close contact with the lower surfaces of the plurality of mask glass support bars 30 to the outside. It is to be vacuum-adsorbed to the lower side of the glass support bar (30).

한편 마스크글라스(100)는 도 4에 도시된 바와 같이, 표면에 마스킹 패턴(105)이 형성된다.On the other hand, the mask glass 100, as shown in Figure 4, the masking pattern 105 is formed on the surface.

이때 마스킹 패턴(105)은 유리기판(110)(도3에 도시함)의 가장자리를 따라 도포되는 실란트(115)의 위치에 대응되게 자외선이 투과될 수 있도록 슬롯 형태의 투과부(106)가 형성되도록 마스크글라스(100) 표면에 형성된다.In this case, the masking pattern 105 may have a slot-like transmissive portion 106 formed therein so that ultraviolet rays may be transmitted to correspond to the position of the sealant 115 applied along the edge of the glass substrate 110 (shown in FIG. 3). The mask glass 100 is formed on the surface.

따라서 자외선은 투과부(106)를 통해서만 투과되어 투과부(106) 하측에 위치하게 되는 유리기판(110)의 실란트(115)에만 국부적으로 조사됨으로써, 실란트(115)를 경화시키게 되는 것이다.Accordingly, the ultraviolet rays are locally irradiated only to the sealant 115 of the glass substrate 110 that is transmitted only through the transmission part 106 and is positioned below the transmission part 106, thereby curing the sealant 115.

또한 LCD Panel의 생산성을 높이기 위하여 대형 유리기판에 복수개의 액정이 주입될 수 있게 실란트(115)가 도포된 경우에는 도시된 바와 같이, 마스크글라스(100)도 이에 대응되게 복수의 투과부(106)가 형성될 수 있게 마스킹 패턴(105)이 표면에 형성되게 된다.In addition, when the sealant 115 is coated so that a plurality of liquid crystals may be injected into a large glass substrate in order to increase the productivity of the LCD panel, as illustrated, the mask glass 100 may also correspond to the plurality of transmission parts 106. The masking pattern 105 is formed on the surface to be formed.

한편, 도 6은 도 4의 마스크글라스지지바(30)와 공기흡입부재(60)가 결합된 상태를 나타낸 확대도이고, 도 7은 마스크글라스지지바(30)의 단면도를 나타낸 것이다.6 is an enlarged view illustrating a state in which the mask glass support bar 30 and the air suction member 60 of FIG. 4 are coupled, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the mask glass support bar 30.

도 6에 도시된 바와 같이, 마스크글라스지지바(30)의 단부는 고정프레임(20)의 지지홈(25)의 중앙부에 위치하게 되고, 공기흡입부재(60)는 고정블럭(40)을 지지홈(25)에 삽입하여 단부가 마스크글라스지지바(30)의 단부에 밀착되게 고정프레임(20)의 측면에 나사 결합시킴으로써 고정된다.As shown in Figure 6, the end of the mask glass support bar 30 is located in the center of the support groove 25 of the fixed frame 20, the air suction member 60 supports the fixed block 40 Inserted into the groove 25 is fixed by screwing to the side of the fixing frame 20 so that the end is in close contact with the end of the mask glass support bar (30).

이때 마스크글라스지지바(30)가 상부로 이탈되는 것은 고정프레임(20)의 상부면에 결합되는 고정브라켓(70)(도5에 도시함)이 방지하게 된다.In this case, the mask glass support bar 30 is separated from the upper part of the fixing bracket 70 (shown in FIG. 5) coupled to the upper surface of the fixing frame 20.

따라서 도 7에 도시된 바와 같이, 고정프레임(20)에 마스크글라스지지바(30)와 공기흡입부재(60)가 결합되면, 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 형성된 흡착홈(37)과 내부를 관통하는 흡입관(38) 및 고정블럭(40)에 형성된 연결관(48)이 연통되게 되고, 연결관(48)은 고정블럭(40) 상부에 결합된 배출관(50)의 유입관(52)과 연통되게 된다.Therefore, as shown in FIG. 7, when the mask glass support bar 30 and the air suction member 60 are coupled to the fixed frame 20, the suction groove 37 formed on the lower side of the mask glass support bar 30. And a connection pipe 48 formed in the suction pipe 38 and the fixed block 40 penetrating the inside thereof, and the connection pipe 48 is connected to the inlet pipe of the discharge pipe 50 coupled to the upper portion of the fixed block 40. 52).

따라서 배출관(50)의 연결구(53)에 연결되는 진공펌프는 흡착홈(37) 내부의 공기를 흡입함으로써 진공 상태를 형성할 수 있게 된다.Therefore, the vacuum pump connected to the connection port 53 of the discharge pipe 50 may form a vacuum state by sucking the air in the suction groove 37.

이하 마스크글라스(100)가 마스크글라스 고정유닛(80)에 고정 설치되는 과정을 설명한다.Hereinafter, the process of fixing the mask glass 100 to the mask glass fixing unit 80 will be described.

배출관(50)의 연결구(53)에 연결되는 진공펌프에 의해 공기가 흡입되어 외부로 배출되면 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 밀착되는 마스크글라스(100)에 의해 밀폐된 흡착홈(37) 내부의 공기는 화살표와 같이 흡입관(38)을 통과하여 고정블럭(40)의 연결관(48)으로 이동한 후, 배출관(50)을 통해 배출된다.When the air is sucked by the vacuum pump connected to the connection port 53 of the discharge pipe 50 and discharged to the outside, the suction groove 37 sealed by the mask glass 100 that is in close contact with the lower surface of the mask glass support bar 30. The inside of the air is passed through the suction pipe 38 as shown by the arrow to the connection pipe 48 of the fixed block 40, and then discharged through the discharge pipe (50).

따라서 흡착홈(37) 내부는 진공상태가 되어 마스크글라스(100)는 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 진공 흡착되어 고정되게 되는 것이다.Accordingly, the inside of the suction groove 37 is in a vacuum state, and the mask glass 100 is vacuum-adsorbed to the lower side of the mask glass support bar 30 to be fixed.

이하, 본 발명의 마스크글라스 고정유닛(80)이 구비된 실란트 경화장치의 작동 과정을 설명한다.Hereinafter, an operation process of a sealant curing apparatus equipped with the mask glass fixing unit 80 of the present invention will be described.

발광부(5)에 구비되는 자외선램프(6)는 챔버(1) 상부에서 기판지지부(10)의 스테이지(15)에 설치된 유리기판(110) 전체에 대해 자외선을 조사할 수 있도록 셋팅된다.The ultraviolet lamp 6 provided in the light emitting part 5 is set to irradiate ultraviolet rays to the entire glass substrate 110 installed in the stage 15 of the substrate support part 10 in the upper chamber 1.

마스크글라스(100)는 도4에 도시된 바와 같이, 유리기판(110)에 도포된 실란트(115)에 대응되도록 투과부(106)가 형성될 수 있게 표면에 마스킹 패턴(105)이 형성되고, 별도의 마스크글라스(100) 셋팅 툴(도시하지 않음)에 의해 마스크글라스 고정유닛(80)의 하부에 설치된다.As shown in FIG. 4, the mask glass 100 has a masking pattern 105 formed on the surface of the mask glass 100 so that the transmission part 106 may be formed to correspond to the sealant 115 applied to the glass substrate 110. The mask glass 100 is installed in the lower portion of the mask glass fixing unit 80 by a setting tool (not shown).

이때 흡착홈(37)은 마스크글라스(100)에 의해 밀폐되게 된다.At this time, the suction groove 37 is sealed by the mask glass (100).

따라서 마스크글라스(100)는 본 발명의 마스크글라스 고정유닛(80)에 구비된 다수개의 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 상부면이 밀착되어 기판지지부(10)에 설치된 유리기판(110)에 도포된 실란트(115)의 위치와 투과부(106)가 일치될 수 있게 셋팅된다.Therefore, the mask glass 100 is a glass substrate 110 installed on the substrate support 10 by the upper surface is in close contact with the lower surface of the plurality of mask glass support bar 30 provided in the mask glass fixing unit 80 of the present invention. The position of the sealant 115 applied to the transmissive portion 106 is set to match.

이때 마스크글라스지지바(30)의 흡착홈(37) 내부의 공기는 진공펌프가 작동되면 흡입관(38)과 공기흡입부재(60)의 연결관(48)을 통해 배출관(50)의 유입관(52)으로 유입되어 외부로 배출된다.At this time, the air inside the suction groove 37 of the mask glass support bar 30 is the inlet pipe of the discharge pipe 50 through the connection pipe 48 of the suction pipe 38 and the air suction member 60 when the vacuum pump is operated ( 52) and is discharged to the outside.

따라서, 마스크글라스지지바(30)는 마스크글라스(100)를 흡착홈(37)에 진공 흡착시켜 고정시키게 되고, 발광부(5)의 자외선램프(6)로 부터 조사되는 자외선은 마스크글라스(100)의 투과부(106)를 통해 유리기판(110)의 실란트(115)에만 국부적으로 조사됨으로써 실란트(115)를 경화시킬 수 있게 된다.Accordingly, the mask glass support bar 30 is fixed to the mask glass 100 by vacuum adsorption to the adsorption groove 37, and the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet lamp 6 of the light emitting unit 5 are the mask glass 100. By locally irradiating only the sealant 115 of the glass substrate 110 through the transmission portion 106 of the) it is possible to cure the sealant 115.

따라서 본 발명의 마스크글라스 고정유닛(80)은 다수개의 소형의 마스크글라스지지바(30)를 이용하여 마스크글라스(100)를 고정시키게 됨으로써, 제작단가 절감은 물론 유지보수를 용이하게 할 뿐 아니라, 마스크글라스지지바(30)의 크기와 중량이 소형화 되어 작업능률이 향상되고 또한 마스크글라스지지바(30)가 자외선의 경로상에 최소한의 부분만 차지할 뿐 아니라 공기흡입부재(60)가 고정프레임(20) 내측으로 돌출 형성되지 않아 자외선의 조도 손실을 최소화할 수 있게 되는 것이다.Therefore, the mask glass fixing unit 80 of the present invention is to fix the mask glass 100 by using a plurality of small mask glass support bar 30, not only to reduce the manufacturing cost but also to facilitate maintenance, The size and weight of the mask glass support bar 30 are reduced in size, thereby improving work efficiency, and the mask glass support bar 30 not only occupies a minimum portion in the path of ultraviolet rays, but also the air suction member 60 has a fixed frame ( 20) Since it does not protrude inwardly, it is possible to minimize the loss of illumination of ultraviolet rays.

이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불과하므로 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다.As described above, the above embodiments are merely described as examples for convenience of description and are not intended to limit the scope of the claims.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 첫째, 마스크글라스를 지지하는 마스크글라스지지바의 크기가 소형화되어 제작단가를 절감할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention, firstly, the size of the mask glass support bar for supporting the mask glass is reduced in size has the effect of reducing the manufacturing cost.

둘째, 마스크글라스지지바의 크기와 중량이 최소화 됨으로써 운반 및 설치가 용이하여 작업능률을 향상시키는 효과가 있다.Second, since the size and weight of the mask glass support bar is minimized, it is easy to transport and install, thereby improving work efficiency.

셋째, 다수개의 마스크글라스지지바에 의해 마스크글라스를 고정시킴으로써 손상이나 파손시 개별적인 수리 또는 교체가 가능하여 유지보수가 용이하고 또한 유지보수 비용이 현저히 절감되는 효과가 있다.Third, by fixing the mask glass by a plurality of mask glass support bar can be individually repaired or replaced in case of damage or breakage, there is an effect that the maintenance is easy and the maintenance cost is significantly reduced.

넷째, 자외선의 조도 손실이 낮아 공정시간을 단축시킬 수 있어 생산성 증대의 효과가 있을 뿐 아니라, 상대적으로 자외선의 조도를 낮출 수 있어 LAMP HOUSE의 제조단가를 절감할 수 있는 효과가 있다.Fourth, it is possible to shorten the process time due to the low illumination loss of the ultraviolet light, and not only to increase productivity, but also to lower the illumination intensity of the ultraviolet light, thereby reducing the manufacturing cost of the lamp house.

Claims (10)

일정크기의 외곽 틀을 형성하는 고정프레임;A fixed frame forming an outer frame of a predetermined size; 상기 고정프레임 내측에 일정거리 이격되게 배열 설치하되, 마스크글라스가 하측면에 진공 흡착되어 지지될 수 있도록 하측면과 양단부를 관통 연결하는 공기흡입로가 내부에 형성되는 다수개의 마스크글라스지지바; 및A plurality of mask glass support bars installed in the fixing frame to be spaced apart from each other by a predetermined distance, and having an air suction path connecting the lower side and both ends thereof so that the mask glass is vacuum-adsorbed to the lower side; And 상기 마스크글라스지지바의 공기흡입로에 연통되어 공기를 흡입 배출시킬 수 있게 상기 고정프레임에 설치되는 공기흡입부재; 를 포함하여 구성된 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.An air suction member connected to the air suction path of the mask glass support bar and installed in the fixed frame to suck and discharge air; Mask glass fixing unit of the sealant curing device configured to include. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정프레임은,The fixed frame, 상기 마스크글라스지지바의 양단부가 각각 안착되어 견고하게 지지될 수 있도록 일정깊이의 양측이 개방된 지지홈이 이격되어 다수개가 형성되는 것을 특징으로 하는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The mask glass fixing unit of the sealant curing apparatus, characterized in that a plurality of support grooves are opened at both sides of a predetermined depth so that both ends of the mask glass support bar are seated and firmly supported. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 공기흡입로는,The air suction path, 상기 마스크글라스를 진공 흡착시킬 수 있게 마스크글라스지지바의 길이방향을 따라 하측면에 일정깊이로 형성되는 흡착홈과;An adsorption groove formed at a predetermined depth on a lower surface of the mask glass support bar to vacuum-adsorb the mask glass; 일단은 상기 흡착홈의 양측 바닥면에 연통되고 타단은 마스크글라스지지바의 양단면에 노출 형성된 흡입관; 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.A suction pipe having one end connected to both bottom surfaces of the suction groove and the other end exposed to both end surfaces of the mask glass support bar; Mask glass fixing unit of the sealant curing device comprising a. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 흡착홈의 모서리부는 마스크글라스지지바를 투과하는 자외선이 왜곡되지 않도록 고온 열처리된 만곡면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The edge portion of the adsorption groove mask glass fixing unit of the sealant curing apparatus, characterized in that formed on the curved surface of the high temperature heat treatment so that the ultraviolet rays passing through the mask glass support bar is not distorted. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 공기흡입부재는,The air suction member, 상기 고정프레임에 형성된 지지홈에 삽입되어 일단부가 상기 마스크글라스지지바의 단부에 밀착되게 설치하되, 상기 흡입관과 일단이 연통되고 타단은 상부면에 노출되는 연결관이 내부에 관통 형성된 고정블럭과;A fixing block inserted into the support groove formed in the fixing frame so that one end thereof is in close contact with the end of the mask glass support bar, and a connection tube having one end communicating with the suction pipe and the other end penetrated therein; 상기 고정블럭의 연결관의 타단에 연결되는 배출관;을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.Mask glass fixing unit of the sealant curing apparatus comprising a; discharge pipe connected to the other end of the connection pipe of the fixed block. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 고정블럭은,The fixed block is, 후단부 양측부에 돌출 형성되는 고정부를 각각 구비하여 상기 고정프레임에 상기 고정부가 나사 결합되어 상기 마스크글라스지지바의 단부에 일단부가 밀착되게 한 것을 특징으로 하는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.And a fixing portion protruding from both rear portions of the rear end portion, wherein the fixing portion is screwed to the fixing frame such that one end is in close contact with an end portion of the mask glass support bar. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 배출관은 상기 연결관에 연통되게 결합되는 유입관과 인접된 타 배출관이 연결 설치될 수 있게 상기 유입관의 상부 양측에 연결구가 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The discharge pipe is a mask glass fixing unit of the sealant curing apparatus, characterized in that the connector is formed on each of the upper both sides of the inlet pipe to be connected to the other inlet pipe and the adjacent inlet pipe coupled to the connection pipe. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 마스크글라스지지바의 단부에 밀착되는 상기 고정블럭의 단부 면에는 밀착부에서의 공기 누출이 방지될 수 있게 연결관을 둘러싸는 요입홈을 형성하고, 상기 요입홈에는 실링부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.An end surface of the fixing block which is in close contact with the end of the mask glass support bar is formed with a recess groove surrounding the connection pipe to prevent air leakage from the contact portion, the sealing member is installed in the recess groove Mask glass fixing unit for sealant curing apparatus. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 고정프레임의 지지홈 상부에는 상기 마스크글라스지지바가 상부로 이탈되는 것이 방지될 수 있게 양측부가 상기 고정프레임에 각각 결합되는 고정브라켓이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The upper portion of the fixing groove of the fixing frame mask glass fixing unit of the sealant curing device, characterized in that the fixing bracket is further provided on both sides are respectively coupled to the fixing frame to prevent the mask glass support bar is separated from the upper portion. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 9, 상기 마스크글라스지지바는 자외선의 투과율이 높은 수정(Quartz) 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 실란트 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The mask glass support bar is a mask glass fixing unit of the sealant curing device, characterized in that formed of quartz (Quartz) material having a high transmittance of ultraviolet rays.
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