KR200466784Y1 - Fixing unit for sealant UV cure machine - Google Patents

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Abstract

본 고안은 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display)용 유리 기판에 도포된 실란트를 경화시키는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛에 관한 것으로서, 일정크기의 사각 틀을 형성하는 고정프레임과 마스크글라스를 진공 흡착시킬 수 있게 고정프레임 내측에 설치되는 다수개의 마스크글라스지지바 및 마스크글라스지지바의 양단에 결합되는 공기배출부로 구성하되, 상기 마스크글라스지지바 사이에는 보조흡착홈이 구비된 다수개의 연결바를 더 구비하여 독립된 다수개의 마스크글라스지지바와 연결바가 마스크글라스를 진공 흡착하여 고정할 수 있게 함으로써, 설비 비용을 절감할 수 있고, 또한 마스크글라스의 처짐을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 마스크글라스의 처짐 방지로 인해 마스크글라스와 기판의 이격거리를 줄일 수 있게 되어 자외선(UV:Ultra Violet)의 조도 손실의 최소화는 물론 경화품질을 향상시킬 수 있는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a mask glass fixing unit of an ultraviolet curing device for curing a sealant applied to a glass substrate for a liquid crystal display (LCD), and vacuums a fixing frame and a mask glass forming a rectangular frame of a predetermined size. It consists of a plurality of mask glass support bar and the air discharge portion coupled to both ends of the mask glass support bar installed inside the fixed frame to be adsorbed, between the mask glass support bar further comprises a plurality of connection bar provided with an auxiliary adsorption groove Independently equipped with a plurality of mask glass support bars and connecting bars can be fixed by vacuum adsorption of the mask glass, to reduce the equipment cost, prevent the mask glass from sagging, and also prevents the mask glass from sagging This reduces the separation distance between the mask glass and the substrate. The present invention relates to a mask glass fixing unit of an ultraviolet curing device capable of minimizing illuminance loss of tra violet) and improving curing quality.

실란트, UV, 마스크글라스, Sealant, UV, mask glass,

Description

자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛{Fixing unit for sealant UV cure machine}Fixing unit for sealant UV cure machine

본 고안은 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display)용 유리 기판에 도포된 실란트를 경화시키는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛에 관한 것으로서, 사각틀을 형성하는 고정프레임의 내측에 다수개의 마스크글라스지지바와 상기 마스크글라스지지바 사이에 연결바를 설치하여 상기 마스크글라스지지바와 연결바에 의해 마스크글라스가 진공 흡착되어 지지될 수 있게 함으로써, 설비 비용 절감은 물론 마스크글라스의 처짐이 방지될 수 있게 하고, 또한 마스크글라스와 기판의 이격거리를 줄일 수 있게 하여 자외선(UV:Ultra Violet)의 조도 손실의 감소와 경화품질의 향상을 얻을 수 있는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a mask glass fixing unit of an ultraviolet curing device for curing a sealant applied to a glass substrate for a liquid crystal display (LCD), comprising a plurality of mask glass support bars inside a fixing frame forming a rectangular frame. By installing a connection bar between the mask glass support bar to allow the mask glass to be vacuum-adsorbed and supported by the mask glass support bar and the connection bar, it is possible to reduce the equipment cost as well as to prevent sagging of the mask glass. The present invention relates to a mask glass fixing unit of an ultraviolet curing device capable of reducing the separation distance between the substrate and the substrate, thereby reducing the illumination loss of the ultraviolet light (UV) and improving the curing quality.

일반적으로 액정표시장치(LCD:liquid crystal display)는 다른 표시장치에 비해 경량일 뿐 아니라, 큰 화면과 높은 해상도를 구현할 수 있어 주요 평판 디스플레이(Flat Pannel Display) 장치로 사용되는 것으로서, 기본적으로 전,후 두 장 의 유리 기판 내에 액정을 주입시킨 후 실란트(sealant)로 밀봉시키고, 각 기판에 설치되는 전극을 통해 전압이나 전류를 부가하여 액정의 배열을 변화시킴으로써 빛을 투과 또는 차폐시켜 표시할 수 있게 하는 장치이다.In general, a liquid crystal display (LCD) is not only lighter than other display devices but also can be used as a main flat panel display device because it can realize a large screen and high resolution. After the liquid crystal is injected into two glass substrates, the liquid crystal is sealed with a sealant, and a voltage or a current is added through an electrode installed on each substrate to change the arrangement of the liquid crystal so that light can be transmitted or shielded and displayed. Device.

이때 기판에 도포되는 밀봉재인 실란트는 두장의 유리기판 사이에 액정을 주입한 후, 기판의 가장자리를 따라 도포되어 기판 내의 액정이 외부로 누출되지 않도록 기판을 밀봉시키는 역할을 한다.At this time, the sealant, which is a sealant applied to the substrate, injects liquid crystal between two glass substrates, and then is applied along the edge of the substrate to seal the substrate so that the liquid crystal in the substrate does not leak to the outside.

자외선 경화장치는 두장의 기판의 가장자리에 도포되는 실란트만을 선택적으로 경화시키기 위한 장치로서, 기판상에 자외선(UV:Ultra Violet)을 조사하여 실란트를 경화시키는 장치이다.The ultraviolet curing device is a device for selectively curing only the sealant applied to the edges of two substrates, and is a device for curing the sealant by irradiating ultraviolet (UV: Ultra Violet) on the substrate.

이때 자외선 경화장치는 실란트를 경화시키는 자외선이 액정을 열화시켜 수명을 단축시키는 문제점이 있기 때문에 자외선이 기판의 실란트에만 선택적으로 조사될 수 있도록 자외선램프와 기판 사이에 마스크글라스가 고정되는 마스크글라스 고정유닛을 설치함으로써, 자외선이 마스크글라스에 의해 실란트에만 국부적으로 조사되어 실란트가 경화될 수 있게 한다.In this case, the ultraviolet curing device has a problem of shortening the lifetime of ultraviolet light by curing the sealant and shortening the lifetime thereof, so that the mask glass fixing unit is fixed between the ultraviolet lamp and the substrate so that the ultraviolet light can be selectively irradiated only on the sealant of the substrate. By providing a, ultraviolet rays are locally irradiated only to the sealant by the mask glass so that the sealant can be cured.

이하 종래의 마스크글라스 고정유닛을 도 1과 도 2를 참조하여 설명한다.Hereinafter, a conventional mask glass fixing unit will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1은 종래의 자외선 경화장치의 개략 단면도를 나타낸 것이고, 도 2는 종래의 자외선 경화장치에 구비된 마스크글라스 고정유닛의 사시도를 나타낸 것이다.Figure 1 shows a schematic cross-sectional view of a conventional ultraviolet curing device, Figure 2 shows a perspective view of a mask glass fixing unit provided in the conventional ultraviolet curing device.

도 1에 도시된 바와 같이 자외선 경화장치는 챔버(1)와 자외선을 조사하는 자외선램프(6)가 구비된 발광부(5)와 마스크글라스(100)를 고정시키는 마스크글라스 고정유닛(120)과 LCD panel인 유리 기판(110)을 로딩하여 지지하는 기판지지 부(10)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the ultraviolet curing apparatus includes a chamber 1 and a mask glass fixing unit 120 fixing the light emitting part 5 and the mask glass 100 provided with the ultraviolet lamp 6 for irradiating ultraviolet rays. It comprises a substrate support 10 for loading and supporting the glass substrate 110 that is the LCD panel.

마스크글라스(100)는 마스크글라스 고정유닛(120)의 하측부에 고정 설치되는 것으로서, 발광부(5)에서 조사되는 자외선이 기판(110)의 실란트(115)에만 국부적으로 노출될 수 있도록 표면에 마스킹 패턴(105)이 형성되며, 이때 마스킹 패턴(105)은 기판(110)의 액정(116)을 밀봉시키는 실란트(115) 도포지점에 대응되게 자외선이 투과될 수 있는 슬롯 형태의 투과부(106)가 형성된다.The mask glass 100 is fixedly installed on the lower side of the mask glass fixing unit 120, and the ultraviolet rays emitted from the light emitting unit 5 may be locally exposed only on the sealant 115 of the substrate 110. A masking pattern 105 is formed, in which the masking pattern 105 is a slot-shaped transmissive portion 106 through which ultraviolet rays can be transmitted to correspond to the application point of the sealant 115 that seals the liquid crystal 116 of the substrate 110. Is formed.

한편 마스크글라스 고정유닛(120)은 사각 틀을 형성하는 고정프레임(122)과 고정프레임(122)에 설치되는 복수의 공기배출부(125) 및 고정프레임(122) 내측에 고정 설치되는 마스크지지글라스(121)로 구성된다.On the other hand, the mask glass fixing unit 120 is fixed to the frame fixed frame 122 and the fixed frame 122 to form a plurality of air discharge portion 125 and the frame support glass is installed fixed inside the fixing frame 122 It consists of 121.

마스크지지글라스(121)는 마스크글라스(100)를 하측면에 진공 흡착시켜 고정시킬 수 있게 저면의 가장자리를 따라 흡착홈(127)이 형성되어 있고, 공기배출부(125)는 고정프레임(122)에 일정 간격으로 설치하되, 단부가 마스크지지글라스(121) 상부에서 흡착홈(127)과 연통될 수 있게 구비된다.The mask support glass 121 has a suction groove 127 formed along the edge of the bottom surface of the mask glass 100 so as to be fixed by vacuum adsorption on the lower surface of the mask glass 100, and the air discharge unit 125 has a fixed frame 122. Installed at regular intervals, the end is provided to be in communication with the suction groove 127 in the upper portion of the mask support glass 121.

이때 다수의 공기배출부(125)는 서로 연결되어 외부의 진공펌프(도시하지 않음)와 연결되게 된다.In this case, the plurality of air discharge parts 125 are connected to each other and are connected to an external vacuum pump (not shown).

따라서 마스크글라스(100)의 고정은 마스크글라스 고정유닛(120)에 구비된 마스크지지글라스(121)의 저면에 마스크글라스(100)를 밀착시킨 후 공기배출부(125)를 통해 흡착홈(127) 내의 공기를 외부로 배출시켜 마스크글라스(100)가 흡착홈(127)에 진공 흡착되게 함으로써 이루어진다.Therefore, the fixing of the mask glass 100 is in close contact with the mask glass 100 on the bottom surface of the mask support glass 121 provided in the mask glass fixing unit 120, the suction groove 127 through the air discharge unit 125 The mask glass 100 is vacuum-adsorbed to the adsorption groove 127 by discharging the air inside.

이때 기판지지부(10)를 이용하여 지지대(16) 위에 설치된 스테이지(15)에 놓 여진 기판(110)을 적절한 위치에 로딩시킨 후, 발광부(5)의 자외선램프(6)를 작동시켜 자외선이 마스크지지글라스(121)와 마스크글라스(100)을 통해 기판(110)의 실란트(115)에 조사됨으로써 실란트(115)를 경화시키게 되는 것이다.At this time, the substrate 110 placed on the stage 15 installed on the support 16 using the substrate support 10 is loaded at an appropriate position, and then the ultraviolet lamp 6 of the light emitting unit 5 is operated to emit ultraviolet light. The sealant 115 is cured by being irradiated to the sealant 115 of the substrate 110 through the mask support glass 121 and the mask glass 100.

그러나 상기와 같은 구조의 종래의 마스크글라스 고정유닛은 다음과 같은 문제점들이 있었다.However, the conventional mask glass fixing unit having the above structure has the following problems.

첫째, 마스크글라스의 고정을 위해 마스크글라스의 크기에 대응되는 대형 마스크지지글라스를 사용해야 됨으로써 제조단가가 현저히 상승되고, 크기와 중량 증가로 인한 운반 또는 설치가 용이하지 않아 작업능률이 떨어지는 문제점이 있었다.First, the manufacturing cost is remarkably increased due to the use of a large size mask support glass corresponding to the size of the mask glass for fixing the mask glass, there is a problem that the operation efficiency is not easy to carry or install due to the increase in size and weight.

둘째, 마스크지지글라스가 손상되거나 파손되는 경우 마스크지지글라스 전체를 교환해야됨으로써 유지보수가 용이하지 않고, 유지보수 비용이 현저히 증가되는 문제점이 있었다.Second, when the mask support glass is damaged or broken, there is a problem in that the maintenance is not easy and the maintenance cost is significantly increased by replacing the entire mask support glass.

셋째, 기판의 대형화 추세에 따라 마스크글라스도 대형화됨으로써, 마스크글라스의 자체 중량에 의한 처짐이 발생되는 문제점이 있었다.Third, there is a problem that the mask glass is also enlarged according to the trend of increasing the size of the substrate, causing sagging due to its own weight.

넷째, 공기배출부가 마스크지지글라스 내측으로 돌출될 뿐 아니라, 자외선이 모두 마스크지지글라스를 통해 조사됨으로써, 자외선의 조도 손실에 따른 공정시간 증가는 물론 경화품질이 저하되는 문제점이 있었다.Fourth, not only the air discharge portion protrudes into the mask support glass, but also the ultraviolet light is irradiated through the mask support glass, thereby increasing the processing time due to the loss of illuminance of the ultraviolet light as well as deteriorating the curing quality.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 고안의 목적은 다수개의 마스크글라스지지바와 연결바를 구비하여 마스크글라스지지바와 연결바가 마스크글라스를 동시에 진공 흡착하여 고정할 수 있게 함으로써, 설비 비용 절감은 물론 크기와 중량 감소로 인해 운반 또는 설치를 용이하게 하여 작업능률을 향상시키고자 하는 것이다.The present invention has been made in order to solve the above problems, the object of the present invention is to provide a plurality of mask glass support bar and the connection bar by allowing the mask glass support bar and the connection bar to vacuum suction the mask glass at the same time, installation In addition to reducing costs, the size and weight are reduced to facilitate transport or installation, thereby improving work efficiency.

또한 본 고안의 다른 목적은 마스크글라스지지바 사이에서 발생되는 마스크글라스의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하여 마스크글라스의 손상이나 변형이 방지될 수 있게 하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to prevent the deflection due to the self-load of the mask glass generated between the mask glass support bar to prevent damage or deformation of the mask glass.

또 본 고안의 다른 목적은 마스크글라스가 처짐 없이 견고하게 고정될 수 있게 하여 마스크글라스와 기판 사이의 이격거리를 줄일 수 있게 함으로써, 자외선의 조도 손실이 최소화될 수 있게 할 뿐 아니라, 실란트의 경화품질을 향상시킬 수 있게 하고자 하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to allow the mask glass to be firmly fixed without sag, thereby reducing the separation distance between the mask glass and the substrate, thereby minimizing the loss of illuminance of the ultraviolet light, as well as the curing quality of the sealant. It is to be able to improve.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 일정크기의 외곽 틀을 형성하는 고정프레임과, 상기 고정프레임 내측에 일정거리 이격되게 배열 설치하되 하측면에는 마스크글라스가 진공 흡착되어 지지될 수 있게 하측면과 양단부를 관통 연결하는 공기흡입로가 내부에 형성되는 다수개의 마스크글라스지지바와, 상기 마스크글라스 지지바 사이에 설치하되 양단이 인접된 마스크글라스지지바의 측면에 각각 결합되고, 하측면에는 상기 공기흡입로와 연통되도록 보조흡착홈이 형성되는 연결바, 및 상기 마스크글라스지지바의 흡입관에 연통되어 공기를 흡입 배출시킬 수 있게 상기 고정프레임에 설치되는 공기배출부를 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a fixed frame which forms an outer frame of a predetermined size, and is arranged to be spaced apart by a predetermined distance inside the fixed frame, but the lower side and both ends of the lower surface of the glass frame can be supported by vacuum suction. An air suction path for connecting through the plurality of mask glass support bar is formed therein, and installed between the mask glass support bar, each end is coupled to the side of the adjacent mask glass support bar, the lower side is the air suction path And a connection bar having an auxiliary suction groove formed therein so as to communicate with the suction bar, and an air discharge unit installed in the fixed frame so as to communicate with the suction pipe of the mask glass support bar to suck and discharge air.

또한 본 고안의 상기 고정프레임은 상기 마스크글라스지지바의 양단부가 각각 안착되어 견고하게 지지될 수 있도록 일정깊이의 양측이 개방된 지지홈이 이격되어 다수개가 형성된다.In addition, the fixing frame of the present invention is formed with a plurality of spaced apart support grooves are open at both sides of a predetermined depth so that both ends of the mask glass support bar is firmly supported.

또 상기 공기흡입로는 상기 마스크글라스를 진공 흡착시킬 수 있게 상기 마스크글라스지지바의 길이 방향을 따라 하측면에 일정깊이로 형성되는 흡착홈 및 일단은 상기 흡착홈의 양측 바닥면 일단부에 연통되고, 타단은 상기 마스크글라스지지바의 양단면에 노출 형성되는 흡입관으로 구성된다.In addition, the air suction path and the suction groove and one end is formed in a predetermined depth on the lower side along the longitudinal direction of the mask glass support bar so that the vacuum suction the mask glass is in communication with one end of both sides of the suction groove. , The other end is composed of a suction pipe exposed to both end surfaces of the mask glass support bar.

이때 상기 흡착홈의 모서리부는 마스크글라스지지바를 투과하는 자외선이 왜곡되지 않도록 고온 열처리된 만곡면으로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the corner portion of the adsorption groove is preferably formed of a curved surface subjected to high temperature heat treatment so that the ultraviolet rays passing through the mask glass support bar are not distorted.

한편 본 고안의 상기 공기배출부는 상기 고정프레임에 형성된 지지홈에 삽입되어 일단부가 상기 마스크글라스지지바의 단부에 밀착되게 설치하되, 상기 흡입관과 일단이 연통되고 타단은 상부면에 노출되는 연결관이 내부에 관통 형성된 고정블럭과 및 상기 고정블럭의 연결관의 타단에 연결되는 배출관으로 구성된다.Meanwhile, the air discharge part of the present invention is inserted into the support groove formed in the fixing frame so that one end is installed to be in close contact with the end of the mask glass support bar, and one end is connected to the suction pipe and the other end is connected to the upper surface. It consists of a fixed block formed through the inside and the discharge pipe connected to the other end of the connection pipe of the fixed block.

또한 상기 고정블럭은 후단부 양측부에 돌출 형성되는 고정부를 각각 구비하여 상기 고정부가 상기 고정프레임에 나사 결합되게 할 수 있다.In addition, the fixing block may be provided with fixing portions protruding from both side portions of the rear end portion so that the fixing portion is screwed to the fixing frame.

또 상기 배출관은 상기 연결관에 연통되게 결합되는 유입관 및 인접된 타 배 출관이 서로 연결될 수 있게 상기 유입관의 상부 양측에 형성되는 연결구로구성될 수 있다.In addition, the discharge pipe may be composed of a connector formed in the upper both sides of the inlet pipe so that the inlet pipe and the adjacent other discharge pipe is coupled to communicate with the connecting pipe can be connected to each other.

또 상기 마스크글라스지지바의 단부에 밀착되는 상기 고정블럭의 일단면에는 밀착부에서의 공기 누출이 방지될 수 있게 연결관을 둘러싸는 요입홈을 형성하고, 상기 요입홈에는 실링부재가 설치되어 공기의 누출이 방지되게 할 수 있다.In addition, one end surface of the fixing block which is in close contact with the end of the mask glass support bar is formed with a recess groove surrounding the connecting pipe to prevent air leakage from the close contact portion, the sealing member is installed in the recess groove Can be prevented from leaking.

또 상기 고정프레임의 지지홈 상부에는 상기 마스크글라스지지바가 상부로 이탈되는 것이 방지될 수 있게 양측부가 상기 고정프레임에 각각 결합되는 고정브라켓이 더 구비될 수 있다.In addition, a fixing bracket may be further provided at both sides of the support groove of the fixing frame so that both sides thereof are coupled to the fixing frame so that the mask glass support bar is prevented from being separated upward.

또 상기 마스크글라스지지바의 흡착홈에는 마스크글라스지지바의 일측면과 연통되도록 일정 깊이의 연결홈이 형성되고, 상기 연결바의 보조흡착홈은 상기 연결홈과 연통되도록 길이 방향을 따라 일정 깊이로 형성된다.In addition, the suction groove of the mask glass support bar is formed with a connection groove having a predetermined depth so as to communicate with one side of the mask glass support bar, the auxiliary suction groove of the connection bar to a predetermined depth along the longitudinal direction so as to communicate with the connection groove. Is formed.

또한 상기 연결바는 상기 마스크글라스지지바 사이에 하나 건너씩 설치하되, 마스크글라스지지바의 길이 방향을 따라 이격되게 다수개가 설치될 수 있다.In addition, the connecting bar may be installed between the mask glass support bar one by one, a plurality of spaced apart along the longitudinal direction of the mask glass support bar.

또 상기 연결바는 상기 마스크글라스지지바 사이에 각각 설치하되, 마스크글라스지지바의 길이 방향을 따라 이격되게 다수개가 설치되어 격자형상으로 구비될 수도 있다.In addition, the connection bar may be installed between the mask glass support bars, respectively, a plurality of spaced apart in the longitudinal direction of the mask glass support bar may be provided in a grid shape.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안은 첫째, 다수개의 마스크글라스지지바와 연결바가 마스크글라스를 진공 흡착하여 고정할 수 있어 설비 비용을 절감할 수 있을 뿐 아니라, 운반 또는 설치가 용이하여 작업능률을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention is, firstly, a plurality of mask glass support bars and connecting bars can be fixed by vacuum adsorption of the mask glass can not only reduce the equipment cost, but also easy to transport or install to improve the work efficiency It can be effective.

둘째, 마스크글라스지지바 사이에서 발생되는 마스크글라스의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하여 마스크글라스의 손상이나 변형을 방지함으로써, 불량률을 감소시킬 수 있다.Second, by preventing the sagging of the mask glass due to its own load generated between the mask glass support bar to prevent damage or deformation of the mask glass, it is possible to reduce the defective rate.

셋째, 마스크글라스와 기판 사이의 이격거리를 최소화할 수 있어 자외선의 조도 손실이 감소됨으로써, 공정시간 단축으로 인해 유리기판의 생산성이 향상될 뿐 아니라, 실란트의 경화품질 또한 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Third, since the separation distance between the mask glass and the substrate can be minimized, the loss of illumination intensity of the ultraviolet ray is reduced, and thus the productivity of the glass substrate can be improved due to the shortening of the process time, and the curing quality of the sealant can also be improved. .

이하 본 고안에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3은 본 고안의 마스크글라스 고정유닛(20)이 설치된 자외선 경화장치의 개략 단면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 고안의 마스크글라스 고정유닛(20)의 부분 분해사시도를 나타낸 것이며, 도 5는 마스크글라스지지바(30)의 단면도를 나타낸 것이다.Figure 3 shows a schematic cross-sectional view of the ultraviolet curing device installed mask glass fixing unit 20 of the present invention, Figure 4 shows a partial exploded perspective view of the mask glass fixing unit 20 of the present invention, Figure 5 is a mask The cross section of the glass support bar 30 is shown.

도 3에 도시된 바와 같이, 자외선 경화장치는 챔버(1), 발광부(5), 마스크글라스 고정유닛(20) 및 기판지지부(10)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 3, the ultraviolet curing apparatus includes a chamber 1, a light emitting part 5, a mask glass fixing unit 20, and a substrate support part 10.

챔버(1)는 일정 크기로 형성되어 자외선 경화작업이 진행되기 위한 공간을 제공하게 되고, 발광부(5)는 자외선램프(6)를 이용하여 자외선(UV:Ultra violet)을 기판(110)에 조사하는 것으로서 챔버(1) 내측 상부에 설치되며, 기판지지부(10)는 기판(110)을 로딩시키는 것으로서, 챔버(1) 하측부에 설치된다.The chamber 1 is formed to have a predetermined size to provide a space for the ultraviolet curing operation, and the light emitting unit 5 transmits ultraviolet (UV) ultraviolet (UV) to the substrate 110 using the ultraviolet lamp 6. It is installed in the upper part inside the chamber 1 as it irradiates, and the board | substrate support part 10 loads the board | substrate 110, and is installed in the lower part of the chamber 1.

이때 기판지지부(10)는 상부에 기판(110)이 놓여지는 스테이지(15)와 스테이지(15)를 상,하로 승강시켜 기판(110)을 적정 위치에 고정시키는 지지대(16)로 구성된다.In this case, the substrate support part 10 includes a stage 15 on which the substrate 110 is placed on an upper portion thereof, and a support 16 that lifts the stage 15 up and down to fix the substrate 110 at a proper position.

지지대(16)는 피스톤로드의 통상적인 직선 왕복 운동에 의해 스테이지(10)에 설치되는 유리기판(110)을 적정 위치로 로딩시키는 역할을 하게 된다.The support 16 serves to load the glass substrate 110 installed in the stage 10 to a proper position by a conventional linear reciprocating motion of the piston rod.

한편 마스크글라스 고정유닛(20)은 챔버(1) 내의 발광부(5)와 기판(110) 사이에 설치되는 것으로서, 도시된 바와 같이, 고정프레임(60), 마스크글라스지지바(30), 연결바(40) 및 공기배출부(50)로 구성된다. On the other hand, the mask glass fixing unit 20 is installed between the light emitting unit 5 and the substrate 110 in the chamber 1, as shown, the fixing frame 60, the mask glass support bar 30, the connection It consists of a bar 40 and an air discharge unit 50.

고정프레임(60)은 일정한 크기의 사각 틀을 형성하여 마스크글라스(100)가 고정되어 지지될 수 있게 내측에 적절한 크기의 공간을 형성하며, 챔버(1) 내측에 수평 상태로 설치되어 마스크글라스지지바(30)를 고정시키게 된다.The fixed frame 60 forms a rectangular frame of a predetermined size to form a space of a suitable size inside so that the mask glass 100 can be fixed and supported, and is installed in a horizontal state inside the chamber 1 to support the mask glass. The bar 30 is fixed.

한편 고정프레임(60)의 양측 상부면에는 마스크글라스지지바(30)의 양단을 지지할 수 있는 양측이 개방된 지지홈(65)(도8에 도시함)이 일정 간격으로 이격되어 서로 마주볼 수 있게 다수개가 각각 형성된다.Meanwhile, support grooves 65 (shown in FIG. 8) having both sides open to support both ends of the mask glass support bar 30 are spaced apart at regular intervals on both upper surfaces of the fixing frame 60 to face each other. A plurality can be formed respectively.

이때 지지홈(65)은 마스크글라스지지바(30)의 높이와 폭에 대응되게 사각형상으로 형성된다.At this time, the support groove 65 is formed in a rectangular shape corresponding to the height and width of the mask glass support bar (30).

한편 마스크글라스지지바(30)는 사각형의 바 형상으로서, 양단이 고정프레임(60)의 지지홈(65)에 삽입되어 고정프레임(60)의 내측에 일정 간격으로 이격되어 배열 설치되며, 이때 양단은 지지홈(65)의 중앙부까지 삽입되어 끼워지게 된다.On the other hand, the mask glass support bar 30 has a rectangular bar shape, both ends of which are inserted into the support grooves 65 of the fixed frame 60 so as to be spaced apart at regular intervals inside the fixed frame 60, and both ends are installed. Is inserted into the center of the support groove 65 is inserted.

따라서 마스크글라스지지바(30)는 자외선의 진행 경로상의 최소한의 면적만 차지하게 된다.Therefore, the mask glass support bar 30 occupies only a minimum area on the path of the ultraviolet rays.

마스크글라스지지바(30)는 일반적으로 빛의 투과가 용이한 투명 유리판 즉, 마스크 지지용 글라스를 사용할 수 있으며, 가격이 고가이나 물리적인 변형이 적고 자외선의 투과율이 일반 투명 유리보다 높은 수정(석영, Quartz)을 사용하는 것이 더욱 바람직하다.The mask glass support bar 30 may generally use a transparent glass plate that is easy to transmit light, that is, a mask support glass, and has a high price but low physical deformation and high UV transmittance than that of a general transparent glass (quartz). , Quartz) is more preferable.

또한 마스크글라스지지바(30)의 양측부에는 마스크글라스(100)를 하측면에 진공 흡착시킬 수 있게 하측면과 양단부를 관통 연결하는 공기흡입로(36)가 각각 형성된다.In addition, air suction passages 36 are formed at both sides of the mask glass support bar 30 to connect the lower surface and both ends to vacuum suction the mask glass 100 to the lower surface.

이때 공기흡입로(36)는 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 형성되는 흡착홈(32)과 일단이 흡착홈(32)과 연통되는 흡입관(35)으로 구성된다.At this time, the air suction path 36 is composed of a suction groove (32) formed at the lower side of the mask glass support bar 30 and one end is in communication with the suction groove (32).

흡착홈(32)은 마스크글라스지지바(30)의 하측면 중앙부의 길이방향을 따라 일정깊이로 형성되고, 마스크글라스지지바(30)를 투과하는 자외선이 왜곡되지 않도록 모서리부는 만곡면(38)으로 형성되며, 고온 열처리를 통해 표면이 매끄럽게 유지될 수 있게 하는 것이 바람직하다.Adsorption groove 32 is formed in a predetermined depth along the longitudinal direction of the lower side of the mask glass support bar 30, the corner portion curved surface 38 so that the ultraviolet light transmitted through the mask glass support bar 30 is not distorted. It is preferably formed so that the surface can be kept smooth through high temperature heat treatment.

또한 흡입관(35)은 일단이 흡착홈(32)의 양단부 바닥면에 수직 방향으로 연통되고, 타단은 마스크글라스지지바(30)의 양단면에 노출되도록 마스크글라스지지바(30)의 양측부 내측에 절곡되어 관통 형성된다. In addition, the suction pipe 35 has one end communicating with the bottom surface of the both ends of the suction groove 32 in the vertical direction, and the other end inside both sides of the mask glass support bar 30 so as to be exposed to both end surfaces of the mask glass support bar 30. It is bent to form a through.

한편 연결바(40)는 서로 인접된 마스크글라스지지바(30) 사이에 하나 건너씩 설치되어 고정되는 것으로서, 마스크글라스지지바(30)와 동일한 사각바 형상이며, 하측면은 마스크글라스지지바(30)의 하측면과 동일 평면상에 위치하게 되며, 하측면 중앙부에는 길이방향을 따라 일정 깊이의 보조흡착홈(42)이 형성된다.On the other hand, the connection bar 40 is installed and fixed one by one between the adjacent pairs of the mask glass support bar 30, has the same rectangular bar shape as the mask glass support bar 30, the lower side is a mask glass support bar ( It is located on the same plane as the lower side of 30, the secondary side suction groove 42 of a predetermined depth is formed in the central portion of the lower side.

연결바(40)는 서로 인접된 마스크글라스지지바(30)의 측면에 양단면이 각각 결합되어 수직 방향으로 고정 설치되며, 마스크글라스지지바(30)의 길이 방향을 따라 다수개가 이격되게 배열되도록 설치될 수 있다.Both ends of the connection bar 40 are coupled to the side surfaces of the mask glass support bar 30 adjacent to each other, and fixedly installed in the vertical direction. Can be installed.

이때 연결바(40)와 마스크글라스지지바(30)의 결합면은 자외선의 왜곡이 발생되지 않게 연마 가공을 하여 열 융착시키는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the bonding surface of the connection bar 40 and the mask glass support bar 30 is thermally fused by polishing to prevent distortion of ultraviolet rays.

한편 연결바(40)의 보조흡착홈(42)은 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 형성된 흡착홈(32)과 연통되도록 형성되는 것으로서, 흡착홈(32)과 동일한 형상으로 구비된다.Meanwhile, the auxiliary adsorption groove 42 of the connection bar 40 is formed to communicate with the adsorption groove 32 formed on the lower side of the mask glass support bar 30, and is provided in the same shape as the adsorption groove 32.

한편 도 6은 본 고안의 마스크글라스 고정유닛(20)의 배면도를 나타낸 것으로서, 도시된 바와 같이, 마스크글라스지지바(30)의 하측면에 형성된 흡착홈(32)과 연결바(40)의 하측면에 형성된 보조흡착홈(42)은 서로 연통되도록 연결되며, 이때 흡착홈(32)에는 보조흡착홈(42)과 연통되도록 보조흡착홈(42)의 위치에 대응되게 연결홈(33)이 각각 형성된다.6 is a rear view of the mask glass fixing unit 20 of the present invention, as shown, the suction groove 32 and the connection bar 40 formed on the lower side of the mask glass support bar 30. The auxiliary suction grooves 42 formed on the lower side are connected to communicate with each other, and the connection grooves 33 are connected to the suction grooves 32 so as to correspond to the positions of the auxiliary suction grooves 42 so as to communicate with the auxiliary suction grooves 42. Each is formed.

따라서, 마스크글라스(100)는 종방향으로 설치되는 마스크글라스지지바(30)와 횡방향으로 설치되는 연결바(40)에 각각 형성되는 흡착홈(32)과 보조흡착홈(42)에 의해 견고하게 흡착되어 고정되게 되는 것이다.Therefore, the mask glass 100 is firmly formed by the adsorption grooves 32 and the auxiliary adsorption grooves 42 formed in the mask glass support bars 30 installed in the longitudinal direction and the connection bars 40 installed in the transverse direction, respectively. Will be adsorbed and fixed.

한편 마스크글라스지지바(30)와 연결바(40)의 하측면은 평탄도가 유지될 수 있도록 광학(optical) 연마를 실시하는 것이 바람직하다.On the other hand, the lower surface of the mask glass support bar 30 and the connection bar 40, it is preferable to perform an optical polishing to maintain the flatness.

한편 도 7은 본 고안의 마스크글라스 고정유닛(20)의 다른 실시예를 나타낸 것으로서, 도시된 바와 같이, 연결바(40)는 마스크글라스지지바(30)의 각각의 사이에 설치되어 격자형상을 이루도록 구비될 수도 있을 것이다.On the other hand Figure 7 shows another embodiment of the mask glass fixing unit 20 of the present invention, as shown, the connection bar 40 is installed between each of the mask glass support bar 30 to form a grid shape It may be provided to achieve.

이하 도 8과 도 9를 참조하여 본 고안의 공기배출부(50)를 상세히 설명한다.Hereinafter, the air discharge unit 50 of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 8 and 9.

도 8은 본 고안의 공기배출부(50)의 분해사시도의 확대도를 나타낸 것이고, 도 9는 공기배출부(50)가 고정프레임(60)에 결합된 상태의 확대도를 나타낸 것이다.8 is an enlarged view of an exploded perspective view of the air discharge unit 50 of the present invention, Figure 9 shows an enlarged view of a state in which the air discharge unit 50 is coupled to the fixed frame 60.

도시된 바와 같이, 공기배출부(50)는 고정블럭(51)과 고정블럭(51) 상부에 결합되는 배출관(57)으로 구성된다.As shown, the air discharge unit 50 is composed of a fixed block 51 and the discharge pipe 57 is coupled to the top of the fixed block 51.

고정블럭(51)은 고정프레임(60)의 지지홈(65)에 일단부가 끼워져 마스크글라스지지바(30)의 단부에 밀착됨으로써, 마스크글라스지지바(30)를 고정시키는 것으로서, 지지홈(65)에 대응되는 크기의 사각 형상이며, 후단부 양측에는 고정프레임(60)에 나사(50a)로 결합될 수 있게 고정부(55)가 절곡되어 돌출 형성된다.The fixed block 51 has one end fitted into the support groove 65 of the fixed frame 60 to be in close contact with the end of the mask glass support bar 30, thereby fixing the mask glass support bar 30, thereby supporting the support groove 65. It has a square shape of a size corresponding to the), and both sides of the rear end is formed to be bent and projected by the fixing part 55 to be coupled to the fixing frame 60 with a screw 50a.

또한 고정블럭(51) 내부에는 연결관(52)이 관통 형성된다.In addition, the connection pipe 52 is formed through the fixing block 51.

연결관(52)은 일단이 마스크글라스지지바(30)의 양단 면에 노출된 흡입관(35)의 단부와 연통될 수 있게 마스크글라스지지바(30)에 밀착되는 면의 중앙부에 노출 형성되고 타단은 상부면에 노출되도록 형성된다.The connection pipe 52 is formed at the other end of the surface in close contact with the mask glass support bar 30 so as to be in communication with the end of the suction pipe 35 exposed at both ends of the mask glass support bar 30 and the other end. Is formed to be exposed to the top surface.

한편 마스크글라스지지바(30)와 고정블럭(51)이 밀착되는 부위에는 공기의 누출이 방지될 수 있게 고정블럭(51)의 단면에 연결관(52)의 둘레를 따라 일정 깊이의 원형 띠 형상의 요입홈(53)이 형성되고, 이 요입홈(53)에는 공기 누출을 방지 할 수 있는 실링부재(54)가 설치된다.On the other hand, the mask glass support bar 30 and the fixed block 51 is in close contact with the circular band shape of a certain depth along the circumference of the connection pipe 52 on the cross section of the fixed block 51 to prevent the leakage of air The concave groove 53 is formed, the concave groove 53 is provided with a sealing member 54 to prevent air leakage.

실링부재(54)는 오링(O-ring) 등을 사용할 수 있으며, 공기 누출 방지 패드 등을 고정블럭(51)의 단부에 설치할 수도 있을 것이다.The sealing member 54 may use an O-ring or the like, and an air leakage preventing pad or the like may be installed at the end of the fixed block 51.

또한 마스크글라스지지바(30)가 상부로 이탈되는 것이 방지될 수 있게 마스크글라스지지바(30)의 단부 상측에는 양측이 고정프레임(60)에 나사(70a)로 결합되는 고정브라켓(70)이 구비되는 것이 바람직하다.In addition, the fixing bracket 70 is coupled to both sides of the fixing frame 60 by screws 70a on the upper end of the mask glass support bar 30 so that the mask glass support bar 30 can be prevented from being separated upward. It is preferred to be provided.

한편 배출관(57)은 유입관(58)과 유입관(58) 상부 양측에 대칭되게 형성되는 연결구(59)가 구비되어 'T' 자 형태로 형성되며, 이때 유입관(58)의 단부는 고정블럭(51)의 상부면에 노출된 연결관(52)의 단부와 연통될 수 있게 고정블럭(51)에 용접되거나 또는 연결관(52)에 나사 결합될 수 있을 것이다.On the other hand, the discharge pipe 57 is provided with a connector 59 formed symmetrically on both sides of the inlet pipe 58 and the inlet pipe 58 is formed in a 'T' shape, the end of the inlet pipe 58 is fixed It may be welded to the stationary block 51 or screwed to the connector 52 so as to be in communication with the end of the connector 52 exposed on the upper surface of the block 51.

한편 마스크글라스지지바(30)의 단부는 고정프레임(60)의 지지홈(65)의 중앙부에 위치하게 되고, 공기배출부(50)의 고정블럭(51)은 지지홈(65)에 삽입되어 단부가 마스크글라스지지바(30)의 단부에 밀착되어 고정된다.On the other hand, the end portion of the mask glass support bar 30 is positioned in the center of the support groove 65 of the fixed frame 60, the fixed block 51 of the air discharge unit 50 is inserted into the support groove 65 The end is fixed in close contact with the end of the mask glass support bar (30).

따라서 도 5에 도시된 바와 같이, 고정프레임(60)에 마스크글라스지지바(30)와 공기배출부(50)가 결합되면, 마스크글라스지지바(30)의 흡착홈(32)과 흡입관(35) 및 고정블럭(51)에 형성된 연결관(52)이 연통되고, 연결관(52)은 고정블럭(51) 상부에 결합된 배출관(57)의 유입관(58)과 연통되게 되는 것이다.Therefore, as shown in FIG. 5, when the mask glass support bar 30 and the air discharge unit 50 are coupled to the fixing frame 60, the suction groove 32 and the suction pipe 35 of the mask glass support bar 30 are combined. ) And the connection pipe 52 formed on the fixed block 51 are in communication with each other, and the connection pipe 52 is in communication with the inlet pipe 58 of the discharge pipe 57 coupled to the upper part of the fixed block 51.

이때 연결바(40)의 보조흡착홈(42)은 마스크글라스지지바(30)의 흡착홈(32)과 연통된다.At this time, the auxiliary suction groove 42 of the connection bar 40 is in communication with the suction groove 32 of the mask glass support bar (30).

한편 각각의 배출관(57)의 연결구(59)는 별도의 외부 연결관(도시하지 않음) 과 서로 연결되고, 이 외부 연결관은 하나 또는 다수의 진공펌프(도시하지 않음)와 연결된다.Meanwhile, the connector 59 of each discharge pipe 57 is connected to a separate external connection pipe (not shown), and the external connection pipe is connected to one or a plurality of vacuum pumps (not shown).

따라서 진공펌프는 마스크글라스(100)의 밀착에 의해 밀폐되는 다수개의 마스크글라스지지바(30)의 흡착홈(32)과 연결바(40)의 보조흡착홈(42)의 내부 공기를 외부로 배출시켜 마스크글라스(100)를 마스크글라스지지바(30)와 연결바(40)의 하측면에 진공 흡착시키게 되는 것이다.Therefore, the vacuum pump discharges the air inside the suction grooves 32 of the plurality of mask glass support bars 30 and the auxiliary suction grooves 42 of the connection bar 40, which are sealed by the close contact with the mask glass 100 to the outside. In this case, the mask glass 100 is vacuum-adsorbed to the lower surface of the mask glass support bar 30 and the connection bar 40.

한편 마스크글라스(100)는 도 2에 도시된 바와 같이, 표면에 마스킹 패턴(105)이 형성된다.Meanwhile, the mask glass 100 has a masking pattern 105 formed on its surface, as shown in FIG. 2.

이때 마스킹 패턴(105)은 기판(110)의 가장자리를 따라 도포되는 실란트(115)의 위치에 대응되게 자외선이 투과될 수 있도록 슬롯 형태의 투과부(106)가 형성되도록 마스크글라스(100) 표면에 형성된다.In this case, the masking pattern 105 is formed on the surface of the mask glass 100 so that a slot-shaped transmissive portion 106 is formed so that ultraviolet rays can be transmitted to correspond to the position of the sealant 115 applied along the edge of the substrate 110. do.

따라서 자외선은 투과부(106)를 통해서만 투과되어 기판(110)의 실란트(115)에만 국부적으로 조사됨으로써, 실란트(115)를 경화시키게 되는 것이다.Therefore, the ultraviolet light is transmitted only through the transmission part 106 and is locally irradiated only to the sealant 115 of the substrate 110, thereby curing the sealant 115.

또한 LCD Panel의 생산성을 높이기 위하여 대형 유리 기판에 복수의 액정(116)과 실란트(115)가 각각 도포된 경우에는 도 2에 도시된 바와 같이, 마스크글라스(100)도 이에 대응되게 투과부(106)가 형성된다.In addition, when a plurality of liquid crystals 116 and sealants 115 are coated on a large glass substrate to increase productivity of the LCD panel, as shown in FIG. 2, the mask glass 100 also corresponds to the transmissive portion 106. Is formed.

이하 도 5를 참조하여 마스크글라스(100)가 마스크글라스 고정유닛(20)에 고정되는 과정을 설명한다.Hereinafter, a process of fixing the mask glass 100 to the mask glass fixing unit 20 will be described with reference to FIG. 5.

배출관(57)의 연결구(59)에 연결된 진공펌프에 의해 공기가 흡입되어 외부로 배출되면 마스크글라스(100)에 의해 밀폐된 마스크글라스지지바(30)의 흡착홈(32) 과 연결바(40)의 보조흡착홈(42) 내부의 공기는 화살표와 같이 흡입관(35)을 통과하여 고정블럭(51)의 연결관(52)으로 이동한 후, 배출관(57)을 통해 배출된다.When the air is sucked by the vacuum pump connected to the connector 59 of the discharge pipe 57 and discharged to the outside, the suction groove 32 and the connection bar 40 of the mask glass support bar 30 sealed by the mask glass 100 are separated. The air inside the auxiliary adsorption groove 42 of) passes through the suction pipe 35 and moves to the connection pipe 52 of the fixed block 51 as shown by an arrow, and then is discharged through the discharge pipe 57.

따라서 흡착홈(32)과 보조흡착홈(42)은 내부가 진공상태가 되어 마스크글라스(100)를 하측부에 진공 흡착시키게 되는 것이다.Therefore, the adsorption groove 32 and the auxiliary adsorption groove 42 is a vacuum inside the suction of the mask glass 100 to the lower side.

이하, 본 고안의 마스크글라스 고정유닛(20)이 구비된 자외선 경화장치의 작동 과정을 간략히 설명한다.Hereinafter, the operation process of the ultraviolet curing device equipped with the mask glass fixing unit 20 of the present invention will be briefly described.

발광부(5)의 자외선램프(6)는 챔버(1) 상부에서 기판지지부(10)의 스테이지(15)에 로딩된 기판(110) 전체 면에 대해 자외선을 조사할 수 있도록 셋팅되고, 마스킹패턴(105)이 형성된 마스크글라스(100)는 별도의 마스크글라스(100) 셋팅 툴(도시하지 않음)에 의해 마스크글라스 고정유닛(20)의 하부에 설치된다.The ultraviolet lamp 6 of the light emitting part 5 is set to irradiate ultraviolet rays to the entire surface of the substrate 110 loaded on the stage 15 of the substrate support part 10 on the chamber 1, and a masking pattern The mask glass 100 having the 105 formed thereon is installed below the mask glass fixing unit 20 by a separate mask glass 100 setting tool (not shown).

이때 흡착홈(32)과 보조흡착홈(42)은 마스크글라스(100)에 의해 밀폐되게 된다.At this time, the suction groove 32 and the auxiliary suction groove 42 is sealed by the mask glass (100).

한편 공기배출부(50)와 연결된 진공펌프는 마스크글라스지지바(30)의 흡착홈(32)과 연결바(40)의 보조흡착홈(42) 내부의 공기를 외부로 배출시키게 되고, 마스크글라스지지바(30)와 연결바(40)는 마스크글라스(100)를 진공 흡착시켜 고정시키게 되며, 이때 발광부(5)의 자외선램프(6)로 부터 조사되는 자외선은 마스크글라스(100)의 투과부(106)를 통해 기판(110)의 실란트(115)에만 국부적으로 조사됨으로써 실란트(115)를 경화시키게 되는 것이다.Meanwhile, the vacuum pump connected to the air discharge unit 50 discharges the air in the suction groove 32 of the mask glass support bar 30 and the auxiliary suction groove 42 of the connection bar 40 to the outside, and the mask glass. The support bar 30 and the connection bar 40 are fixed to the mask glass 100 by vacuum adsorption, wherein the ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp 6 of the light emitting unit 5 is transmitted through the mask glass 100. By locally irradiating only the sealant 115 of the substrate 110 through the 106, the sealant 115 is cured.

따라서 본 고안은 다수개의 마스크글라스지지바(30)와 연결바(40)를 이용하여 마스크글라스(100)를 효과적으로 균일하게 흡착 고정시킬 수 있어, 크기와 중량 을 감소시킬 수 있고, 또한 마스크글라스(100)의 자체 하중에 의한 처짐을 방지하여 마스크글라스(100)의 손상이나 변형을 방지할 뿐 아니라, 마스크글라스(100)와 기판(110) 사이의 이격거리를 줄일 수 있어 자외선의 조도 손실을 감소시킬 수 있게 되는 것이다.Therefore, the present invention can effectively and uniformly fix the mask glass 100 by using the plurality of mask glass support bars 30 and the connection bar 40, thereby reducing the size and weight, and also the mask glass ( By preventing the deflection due to the self load of the 100, not only to prevent damage or deformation of the mask glass 100, but also to reduce the separation distance between the mask glass 100 and the substrate 110 to reduce the loss of roughness of ultraviolet light. You will be able to.

이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불과하므로 실용신안등록청구범위를 한정하는 것은 아니다.As mentioned above, since the above embodiments are merely described as examples for convenience of description, they do not limit the utility model registration claims.

도 1은 종래의 자외선 경화장치의 개략 단면도,1 is a schematic cross-sectional view of a conventional ultraviolet curing device,

도 2는 종래의 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛과 마스크글라스의 분해사시도,2 is an exploded perspective view of a mask glass fixing unit and a mask glass of a conventional ultraviolet curing device;

도 3은 본 고안의 마스크글라스 고정유닛이 구비된 자외선 경화장치의 개략 단면도,3 is a schematic cross-sectional view of an ultraviolet curing device equipped with a mask glass fixing unit of the present invention,

도 4는 본 고안의 마스크글라스 고정유닛의 부분 분해사시도,4 is a partially exploded perspective view of the mask glass fixing unit of the present invention,

도 5는 본 고안의 마스크글라스와 공기배출부의 단면도,5 is a cross-sectional view of the mask glass and the air discharge of the present invention,

도 6은 본 고안의 마스크글라스 고정유닛의 배면도,6 is a rear view of the mask glass fixing unit of the present invention,

도 7은 본 고안의 다른 실시예의 사시도,7 is a perspective view of another embodiment of the present invention,

도 8은 본 고안의 공기배출부의 분해사시도,8 is an exploded perspective view of the air discharge unit of the present invention,

도 9는 본 고안의 공기배출부가 결합된 상태의 부분 확대도이다.9 is a partially enlarged view of a state in which the air discharge unit of the present invention is coupled.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 챔버 5 : 발광부1 chamber 5 light emitting unit

6 : 자외선램프 10 : 기판지지부6: UV lamp 10: Substrate support part

15 : 스테이지 16 : 지지대15: stage 16: support

20,120 : 마스크글라스 고정유닛20,120: Mask glass fixing unit

30 : 마스크글라스지지바 32,127 : 흡착홈30: mask glass support bar 32,127: adsorption groove

33 : 연결홈 36 : 공기흡입로33: connecting groove 36: air suction path

40 : 연결바 42 : 보조흡착홈40: connection bar 42: auxiliary adsorption groove

50,125 : 공기배출부 51 : 고정블록50,125: air discharge part 51: fixed block

52 : 연결관 53 : 요입홈52: connector 53: recessed groove

54 : 실링부재 55 : 고정부54 sealing member 55 fixed part

57 : 배출관 58 : 유입관57: discharge pipe 58: inlet pipe

59 : 연결구 50a,70a : 나사59: connector 50a, 70a: screw

60,122 : 고정프레임 70 : 고정브라켓60,122: fixed frame 70: fixed bracket

100 : 마스크글라스 105 : 마스킹패턴100: mask glass 105: masking pattern

106 : 투과부 110 : 기판 106: transmissive portion 110: substrate

115 : 실란트 116 : 액정115: sealant 116: liquid crystal

121 : 마스크지지글라스121: mask support glass

Claims (12)

일정크기의 외곽 틀을 형성하는 고정프레임;A fixed frame forming an outer frame of a predetermined size; 상기 고정프레임 내측에 일정거리 이격되게 배열 설치하되, 하측면에는 마스크글라스가 진공 흡착되어 지지될 수 있게 하측면과 양단부를 관통 연결하는 공기흡입로가 내부에 형성되는 다수개의 마스크글라스지지바; A plurality of mask glass support bars installed in the fixing frame to be spaced apart from each other by a predetermined distance, and having an air suction path connecting the lower side and both ends thereof to support the mask glass under vacuum suction; 상기 마스크글라스지지바 사이에 설치하되, 양단이 인접된 마스크글라스지지바의 측면에 각각 결합되고, 하측면에는 상기 공기흡입로와 연통되도록 보조흡착홈이 형성되는 연결바; 및A connection bar installed between the mask glass support bars, each end of which is coupled to a side of an adjacent mask glass support bar, and an auxiliary suction groove formed at a lower side thereof so as to communicate with the air suction path; And 상기 마스크글라스지지바의 흡입관에 연통되어 공기를 흡입 배출시킬 수 있게 상기 고정프레임에 설치되는 공기배출부;An air discharge part connected to the suction pipe of the mask glass support bar and installed in the fixed frame to suck and discharge air; 를 포함하여 구성된 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.Mask glass fixing unit of the ultraviolet curing device configured to include. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정프레임은 상기 마스크글라스지지바의 양단부가 각각 안착되어 견고하게 지지될 수 있도록 일정깊이의 양측이 개방된 지지홈이 이격되어 다수개가 형성되는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The fixing frame is a mask glass fixing unit of the ultraviolet curing device, characterized in that a plurality of support grooves are opened at both sides of a predetermined depth spaced apart so that both ends of the mask glass support bar is seated firmly supported. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 공기흡입로는,The air suction path, 상기 마스크글라스를 진공 흡착시킬 수 있게 상기 마스크글라스지지바의 길이 방향을 따라 하측면에 일정깊이로 형성되는 흡착홈; 및An adsorption groove formed at a predetermined depth on a lower surface of the mask glass support bar in a length direction of the mask glass support bar so as to vacuum-adsorb the mask glass; And 일단은 상기 흡착홈의 양측 바닥면 일단부에 연통되고, 타단은 상기 마스크글라스지지바의 양단면에 노출 형성되는 흡입관;A suction tube having one end connected to one end of both bottom surfaces of the suction groove, and the other end exposed to both end surfaces of the mask glass support bar; 으로 구성되는 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.Mask glass fixing unit of the ultraviolet curing device characterized in that consisting of. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 흡착홈의 모서리부는 마스크글라스지지바를 투과하는 자외선이 왜곡되지 않도록 고온 열처리된 만곡면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The edge portion of the suction groove is a mask glass fixing unit of the ultraviolet curing device, characterized in that formed in the curved surface high temperature heat treatment so as not to distort the ultraviolet light passing through the mask glass support bar. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 공기배출부는,The air exhaust unit, 상기 고정프레임에 형성된 지지홈에 삽입되어 일단부가 상기 마스크글라스지지바의 단부에 밀착되게 설치하되, 상기 흡입관과 일단이 연통되고 타단은 상부면에 노출되는 연결관이 내부에 관통 형성된 고정블럭과; 및A fixing block inserted into the support groove formed in the fixing frame so that one end thereof is in close contact with the end of the mask glass support bar, and a connection tube having one end communicating with the suction pipe and the other end penetrated therein; And 상기 고정블럭의 연결관의 타단에 연결되는 배출관;A discharge pipe connected to the other end of the connection pipe of the fixed block; 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.Mask glass fixing unit of the ultraviolet curing device comprising a. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 고정블럭은 후단부 양측부에 돌출 형성되는 고정부를 각각 구비하여 상기 고정부가 상기 고정프레임에 나사 결합되게 한 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The fixing block is provided with a fixing portion protruding on both sides of the rear end of the mask glass fixing unit of the ultraviolet curing device, characterized in that the fixing portion is screwed to the fixing frame. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 배출관은,The discharge pipe, 상기 연결관에 연통되게 결합되는 유입관; 및An inlet pipe coupled to the connection pipe; And 인접된 타 배출관이 서로 연결될 수 있게 상기 유입관의 상부 양측에 형성되는 연결구; 로 구성되는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.Connectors formed on both sides of the upper side of the inlet pipe so that adjacent other outlet pipes can be connected to each other; Mask glass fixing unit of the ultraviolet curing device, characterized in that consisting of. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 마스크글라스지지바의 단부에 밀착되는 상기 고정블럭의 일단면에는 밀착부에서의 공기 누출이 방지될 수 있게 연결관을 둘러싸는 요입홈을 형성하고, 상기 요입홈에는 실링부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.One end surface of the fixing block which is in close contact with the end of the mask glass support bar is formed with a recess groove surrounding the connection pipe to prevent air leakage from the contact portion, the sealing member is installed in the recess groove Mask glass fixing unit for ultraviolet curing device. 제8항에 있어서,9. The method of claim 8, 상기 고정프레임의 지지홈 상부에는 상기 마스크글라스지지바가 상부로 이탈 되는 것이 방지될 수 있게 양측부가 상기 고정프레임에 각각 결합되는 고정브라켓이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The fixing portion of the mask glass fixing unit of the UV curing apparatus, characterized in that the fixing brackets are coupled to both sides of the fixing frame on the upper side of the fixing groove of the fixing frame to prevent the mask glass support bar from being separated upward. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 9, 상기 마스크글라스지지바의 흡착홈에는 마스크글라스지지바의 일측면과 연통되도록 일정 깊이의 연결홈이 형성되고,The suction groove of the mask glass support bar is formed with a connection groove of a predetermined depth to communicate with one side of the mask glass support bar, 상기 연결바의 보조흡착홈은 상기 연결홈과 연통되도록 길이 방향을 따라 일정 깊이로 형성되는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.Auxiliary adsorption groove of the connection bar is a mask glass fixing unit of the ultraviolet curing device, characterized in that formed in a predetermined depth along the longitudinal direction so as to communicate with the connection groove. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 연결바는 상기 마스크글라스지지바 사이에 하나 건너씩 설치하되, 마스크글라스지지바의 길이 방향을 따라 이격되게 다수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The connecting bar is installed between the mask glass support bar one by one, the mask glass fixing unit of the ultraviolet curing device, characterized in that a plurality is installed spaced apart along the longitudinal direction of the mask glass support bar. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 연결바는 상기 마스크글라스지지바 사이에 각각 설치하되, 마스크글라스지지바의 길이 방향을 따라 이격되게 다수개가 설치되어 격자형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치의 마스크글라스 고정유닛.The connecting bar is installed between each of the mask glass support bar, a plurality of mask glass fixing unit of the UV curing apparatus, characterized in that provided in a lattice shape spaced apart along the longitudinal direction of the mask glass support bar.
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