KR20200031278A - Ultra violet rays transmission plate accomodating frame and photopolymeri-zation system including the same - Google Patents

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KR20200031278A
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Abstract

Disclosed are an ultraviolet transmission plate accommodating frame and a photopolymerization system comprising the same. The ultraviolet transmission plate accommodating frame and the photopolymerization system comprising the same according to an embodiment of the present invention are provided with a plurality of accommodating spaces capable of accommodating ultraviolet transmission plates, thereby capable of replacing ultraviolet transmission plates without stopping ongoing photopolymerization.

Description

자외선 투과 플레이트 수용 프레임 및 이를 포함하는 광 중합 반응 시스템{ULTRA VIOLET RAYS TRANSMISSION PLATE ACCOMODATING FRAME AND PHOTOPOLYMERI-ZATION SYSTEM INCLUDING THE SAME}Ultraviolet transmission plate receiving frame and photopolymerization reaction system including the same {ULTRA VIOLET RAYS TRANSMISSION PLATE ACCOMODATING FRAME AND PHOTOPOLYMERI-ZATION SYSTEM INCLUDING THE SAME}

본 발명은 자외선 투과 플레이트 수용 프레임 및 이를 포함하는 광 중합 반응 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an ultraviolet transmission plate receiving frame and a photopolymerization reaction system comprising the same.

고흡수성 수지(SAP, super absorbent polymer)는 흡수력과 보수력이 우수한 특수 고분자 소재로서, 유아 및 성인용 기저귀, 여성용품 등에 널리 사용되며, 이러한 고흡수성 수지를 제조하는 대표적인 방법으로는 라디칼계 광 중합 개시제와 과산화물의 존재 하에서 자외선을 조사하여 중합하는 광 중합 반응이 있다.Super absorbent polymer (SAP) is a special polymer material that has excellent absorbency and water retention, and is widely used in diapers for infants and adults, women's products, etc. As a typical method for manufacturing such super absorbent polymers, a radical photopolymerization initiator and There is a photopolymerization reaction in which polymerization is performed by irradiating ultraviolet rays in the presence of peroxide.

광 중합 반응은 단량체 조성물(이하 '반응물')을 응집시킨 이후 진행되는 단계로서, 상기 반응물이 중합 반응기로 공급되면 도 1에 도시된 바와 같이 중합 반응기(10) 전단 상부에 설치된 복수의 자외선 램프 키트(20)의 하부 영역에서 진행된다. 여기서, 자외선 램프 키트(20)는 내부에는 자외선 램프를 포함하고 하단에는 자외선 램프를 보호하기 위한 자외선 투과 플레이트 또는 자외선 투과 플레이트가 수용된 자외선 투과 플레이트 수용 프레임이 결합된 구조물을 의미할 수 있다. The photo polymerization reaction proceeds after agglomeration of the monomer composition (hereinafter 'reactant'), and when the reactants are supplied to the polymerization reactor, a plurality of UV lamp kits installed on the front end of the polymerization reactor 10 as shown in FIG. It proceeds in the lower region of (20). Here, the UV lamp kit 20 may include a UV lamp therein and a UV transmission plate for protecting the UV lamp at the bottom, or a UV transmission plate receiving frame containing the UV transmission plate.

한편, 광 반응 과정에서는 수증기 및 소량의 단량체 증기류가 부산물로 생성된다. 생성된 부산물을 제거하기 위해 중합 반응기(10)의 측벽면 상부에는 가열 공기를 공급하는 공급 노즐(11) 및 배출 노즐(12)이 형성되어 있으며, 부산물은 중합 반응기 내부로 공급된 가열 공기와 함께 이동하여 외부로 배출된다. Meanwhile, in the photoreaction process, water vapor and a small amount of monomer vapors are generated as by-products. In order to remove the generated by-products, a supply nozzle 11 and a discharge nozzle 12 for supplying heating air are formed on an upper side of the sidewall surface of the polymerization reactor 10, and by-products are supplied together with heating air supplied into the polymerization reactor. It is moved and discharged to the outside.

그러나 일부 부산물은 중합 반응기(10) 내 예기치 못한 기류 형성 등의 이유로 완벽하게 배출되지 못하고, 중합 반응기(10) 내부 온도 대비 상대적으로 낮은 온도가 형성된 중합 반응기(10) 외벽, 자외선 투과 플레이트 등의 표면과 접촉하여 접촉 표면에 스케일을 형성한다. However, some by-products are not completely discharged for reasons such as unexpected airflow formation in the polymerization reactor 10, and the surface of the polymerization reactor 10 outer wall, UV transmission plate, etc. formed at a temperature relatively lower than the temperature inside the polymerization reactor 10 To form a scale on the contact surface.

그러나 자외선 투과 플레이트의 경우 증발되는 부산물로 인한 오염이 불가피하며, 자외선 투과 플레이트의 오염으로 인해 반응물로 적절한 양의 자외선이 도달하지 못하여 중합 반응 진행에 적합한 환경이 형성되지 못하는 경우가 발생하게 된다. 이에 주기적으로 자외선 투과 플레이트를 세척해주어야 하는데, 자외선 투과 플레이트를 세척하거나 교체하기 위해서는 자외선 램프 키트(20)를 중합 반응기(10)로부터 분리하는 과정을 거쳐야 하는 번거로움이 있었다. 또한, 자외선 램프 키트(20)를 중합 반응기(10)에서 분리시킨 경우 계속적으로 광 반응 공정을 진행할 수 없어 먼저 공정을 중단하고 자외선 투과 플레이트를 교체한 후 다시 공정을 진행하여야 하는 바, 공정을 중단함에 따른 비용 손실도 발생한다. However, in the case of the UV-transmitting plate, contamination due to evaporation by-products is inevitable, and due to the contamination of the UV-transmitting plate, an appropriate amount of UV light cannot be reached as a reactant, so that a suitable environment for the polymerization reaction cannot be formed. Accordingly, the UV-transmitting plate needs to be periodically cleaned. In order to wash or replace the UV-transmitting plate, there has been a hassle of going through the process of separating the UV lamp kit 20 from the polymerization reactor 10. In addition, when the UV lamp kit 20 is separated from the polymerization reactor 10, the photoreaction process cannot be continuously performed, so the process must be stopped first, and the UV transmission plate must be replaced, and then the process must be performed again. Cost losses also occur.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 진행 중인 광 중합 반응을 중단시키지 않고 자외선 투과 플레이트를 교체할 수 있는 자외선 투과 플레이트 수용 프레임 및 이를 포함하는 광 중합 반응 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is designed to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a photopolymerization reaction system including the UV-transmitting plate receiving frame and the same that can replace the UV-transmitting plate without stopping the photopolymerization in progress. .

본 발명의 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임은 자외선 램프의 하부에 배치되는 본체를 포함하며, 본체는 자외선 램프의 조사 방향을 따라 복수의 자외선 투과 플레이트를 분리하여 수용할 수 있는 복수의 수용공간으로 구획되어 있으며, 수용공간으로 자외선 투과 플레이트를 삽입할 수 있도록 개구부가 형성될 수 있다. The ultraviolet transmitting plate accommodating frame according to the embodiment of the present invention includes a body disposed under the ultraviolet lamp, and the main body includes a plurality of accommodating spaces capable of separating and accommodating a plurality of ultraviolet transmitting plates along the irradiation direction of the ultraviolet lamp. It is divided into, and an opening may be formed to insert a UV transmission plate into the accommodation space.

본 실시예에 있어서, 본체는 복수의 자외선 투과 플레이트 중 어느 하나를 그 하부에 위치한 자외선 투과 플레이트로부터 이격하여 지지하기 위해, 본체의 서로 대향되어 있는 양 측면으로부터 본체의 내측으로 각각 돌출 연장된 돌출부를 포함할 수 있다. In the present embodiment, the main body protrudes from the opposite side surfaces of the main body to the inside of the main body, respectively, protrudingly extending to support any one of the plurality of UV-transmitting plates apart from the UV-transmitting plate located at the bottom thereof. It can contain.

본 실시예에 있어서, 개구부는 본체의 적어도 하나의 측면에 형성될 수 있다.In this embodiment, the opening may be formed on at least one side of the body.

본 실시예에 있어서, 본체의 양 측면 및 본체의 양 측면으로부터 본체의 내측으로 돌출된 돌출부는 상호 협력하여, 개구부를 통해 삽입되는 자외선 투과 플레이트의 슬라이딩 이동을 가이드 할 수 있다. In this embodiment, both side surfaces of the main body and protrusions protruding from the both side surfaces of the main body to the inside of the main body can cooperate with each other to guide sliding movement of the UV-transmitting plate inserted through the opening.

본 발명의 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템은 자외선 램프 및 자외선 투과 플레이트가 수용된 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 자외선 램프 키트를 포함하고, 자외선 램프 키트의 하부에는 반응물이 배치되며, 자외선 램프로부터 조사되어 자외선 투과 플레이트를 투과한 빛에 의해 반응물의 중합 반응이 진행될 수 있다. The photopolymerization reaction system according to an embodiment of the present invention includes an ultraviolet lamp kit including an ultraviolet lamp and an ultraviolet transmitting plate receiving frame in which an ultraviolet transmitting plate is accommodated, and a reactant is disposed under the ultraviolet lamp kit, and irradiated from the ultraviolet lamp The polymerization reaction of the reactants may be performed by the light transmitted through the UV transmission plate.

본 실시예에 있어서, 광 중합 반응은 자외선 투과 플레이트 수용 프레임의 복수의 수용공간 중 어느 하나의 수용공간에 제1자외선 투과 플레이트가 삽입된 상태에서 진행되며, 광 중합 반응이 진행되는 동안 복수의 수용공간 중 다른 수용공간에 제2자외선 투과 플레이트가 삽입되고, 기 삽입되었던 제1자외선 투과 플레이트는 수용공간으로부터 제거됨으로써 자외선 투과 플레이트의 교체가 이루어질 수 있다.In the present embodiment, the photopolymerization reaction proceeds in a state in which the first ultraviolet transmission plate is inserted into any one of the plurality of accommodation spaces of the UV transmission plate accommodating frame, while the photopolymerization reaction proceeds. The second ultraviolet transmission plate is inserted into another receiving space among the spaces, and the first ultraviolet transmission plate that has been previously inserted is removed from the receiving space, so that the ultraviolet transmission plate can be replaced.

본 발명의 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임 및 이를 포함하는 광 중합 반응 시스템은 자외선 투과 플레이트가 수용될 수 있는 수용공간이 복수로 구비되어 자외선 램프 키트를 중합 반응기로부터 분리시키지 않고 자외선 투과 플레이트를 교체할 수 있으며, 연속적으로 공정 진행이 가능하므로 공정 중단으로 인한 비용 손실을 절감할 수 있는 효과가 있다.The ultraviolet transmission plate accommodating frame and the photopolymerization reaction system including the same according to the embodiment of the present invention are provided with a plurality of accommodating spaces in which the ultraviolet transmission plate can be accommodated. It can be replaced, and since the process can be continuously performed, it is possible to reduce the cost loss due to process interruption.

또한, 자외선 투과 플레이트 수용 프레임은 슬라이딩 방식으로 자외선 투과 플레이트의 삽입 및 제거가 가능한 구조로서 교체의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. In addition, the UV-transmitting plate accommodating frame has a structure capable of inserting and removing the UV-transmitting plate in a sliding manner, thereby improving the efficiency of replacement.

도 1은 자외선 램프 키트가 결합된 중합 반응기를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 광 중합 반응 시스템을 나타낸 도면이다.
도 4의 (a)는 종래 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 광 중합 반응 시스템을, 도 4의 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 광 중합 반응 시스템을 나타낸 도 3의 A-A'을 취한 단면도이다.
도 5의 (a) 내지 도 5의 (c)는 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 광 중합 반응 시스템 하에서 자외선 투과 플레이트를 교체하는 과정을 순서대로 나타낸 도면이다.
1 is a view showing a polymerization reactor combined with a UV lamp kit.
2 is a view showing an ultraviolet transmission plate receiving frame according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a photopolymerization reaction system including an ultraviolet transmission plate receiving frame according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 (a) is a conventional photopolymerization reaction system comprising a UV-transmitting plate receiving frame, Figure 4 (b) is a photopolymerization reaction system comprising a UV-transmitting plate receiving frame according to an embodiment of the present invention It is sectional drawing which taken A-A 'of FIG.
5 (a) to 5 (c) are views sequentially showing a process of replacing the ultraviolet transmitting plate under the photopolymerization reaction system including the ultraviolet transmitting plate receiving frame according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 자외선 투과 플레이트 수용 프레임 및 이를 포함하는 광 중합 반응 시스템에 관한 것으로, 이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 보다 상세하게 설명하기로 한다. The present invention relates to a UV-transmitting plate accommodating frame and a photopolymerization reaction system including the same, hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 명세서에서, '광 중합 반응 시스템'은 중합 반응기와, 상기 중합 반응기 전단 상부에 설치된 자외선 램프 키트, 그리고 상기 중합 반응기로 공급되는 반응물(또는 반응물이 공급된 기판) 등 광 중합 반응을 위한 모든 구성을 포함하는 것으로 해석될 수 있다. In the present specification, the 'photopolymerization reaction system' includes all components for a photopolymerization reaction such as a polymerization reactor, a UV lamp kit installed at an upper end of the polymerization reactor, and a reactant (or a substrate supplied with a reactant) supplied to the polymerization reactor. It can be interpreted as including.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 나타낸 도면이다. 2 is a view showing an ultraviolet transmission plate receiving frame according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)은 광 중합 반응 시 자외선 램프(340)를 보호하기 위해 사용되는 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)가 배치되는 공간이 형성되는 구조물로서, 자외선 램프(340) 하부에 배치되는 본체(110)를 포함할 수 있다. The ultraviolet transmitting plate accommodating frame 100 according to an embodiment of the present invention is a structure in which a space in which the ultraviolet transmitting plates 200a and 200b used to protect the ultraviolet lamp 340 is disposed during a photopolymerization reaction is formed. The UV lamp 340 may include a body 110 disposed below.

본체(110)는 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)의 외연을 이루는 구조체이며, 본체(110)는 자외선 램프(340)의 조사 방향을 따라 복수의 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)를 분리하여 수용할 수 있는 복수의 수용공간 (111)으로 구획될 수 있다. 수용공간(111)은 자외선 투과 플레이트(200a, 200b) 보다 큰 규격의 공간으로 본체(110)의 중앙부에 마련될 수 있으며, 수용공간 (111)은 본체(110) 및 후술할 돌출부(113)에 의해 구획되어 복수의 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)가 분리하여 수용될 수 있다. 한편, 본체(110)는 자외선 램프(340)의 조사 방향을 따라 개구되어 있어 수용공간(111)에 삽입된 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)로 자외선이 조사될 수 있다.The main body 110 is a structure forming the outer edge of the UV-transmitting plate receiving frame 100, and the main body 110 separates and accommodates a plurality of UV-transmitting plates 200a and 200b along the irradiation direction of the UV lamp 340. It can be divided into a plurality of accommodation spaces (111). The accommodation space 111 may be provided in a central portion of the main body 110 as a space having a larger size than the UV transmitting plates 200a and 200b, and the accommodation space 111 may be provided in the main body 110 and the protrusions 113 to be described later. It is divided by a plurality of UV transmission plate (200a, 200b) can be accommodated separately. On the other hand, the main body 110 is opened along the irradiation direction of the ultraviolet lamp 340 may be irradiated with ultraviolet rays to the ultraviolet transmission plate (200a, 200b) inserted into the receiving space 111.

본체(110)는 수용공간(111)으로 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)를 삽입할 수 있도록 형성된 개구부(112a, 112b)를 포함할 수 있다. 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)는 수용공간(111)과 연통된 개구부(112a, 112b)를 통해 수용공간(111)으로 삽입될 수 있으며, 개구부(112a, 112b) 또한 본체(110) 및 후술할 돌출부(113)에 의해 복수의 수용공간(111)에 각각 대응하도록 구획될 수 있다. 또한, 개구부(112a, 112b)는 본체(110)의 적어도 하나의 측면에 형성될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)이 후술할 슬라이딩 방식으로 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)를 삽입 또는 제거할 수 있는 구조임을 고려하였을 때, 본체(110)의 하나의 측면에 형성되거나 서로 대향하는 양측면에 형성되는 것이 바람직하다. The main body 110 may include openings 112a and 112b formed to insert the UV transmitting plates 200a and 200b into the accommodation space 111. The UV-transmitting plates 200a and 200b may be inserted into the accommodation space 111 through the openings 112a and 112b communicating with the accommodation space 111, and the openings 112a and 112b are also the main body 110 and will be described later. Each of the receiving spaces 111 may be partitioned by the protrusions 113. In addition, the openings 112a and 112b may be formed on at least one side surface of the main body 110, and the ultraviolet transmitting plate receiving frame 100 according to an embodiment of the present invention is a sliding method that will be described later. , 200b) considering that the structure can be inserted or removed, it is preferably formed on one side of the body 110 or formed on both sides facing each other.

본체(110)는 복수의 자외선 투과 플레이트(200a, 200b) 중 어느 하나를 그 하부에 위치한 자외선 투과 플레이트(200b)로부터 이격하여 지지하기 위해, 본체(110)의 서로 대향되어 있는 양측면으로부터 본체(110)의 내측으로 각각 돌출 연장된 돌출부(113)를 포함할 수 있다. The main body 110 is the main body 110 from both sides facing each other of the main body 110, in order to support any one of the plurality of UV-transmitting plates (200a, 200b) away from the UV-transmitting plate (200b) located thereunder ) May include protruding parts 113 protruding from each other.

예를 들어, 도 2와 같이 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)이 상부 및 하부 2개의 수용공간(111)으로 구획된 경우, 돌출부(113)는 상부 및 하부의 수용공간(111)을 구획하는 지점에 형성될 수 있으며, 각각의 측면으로부터 돌출 연장된 돌출부(113)는 서로 연결되어 일체로 형성되지 않을 수 있다. 다만, 도 2와 같이 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)가 삽입되는 개구부(112a, 112b) 측의 돌출부(113)는 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)가 서로 다른 수용공간(111)에 걸쳐서 삽입되는 것을 방지하기 위해 돌출부(113)가 서로 연결되어 일체로 형성되는 것이 바람직하다. For example, as shown in FIG. 2, when the UV-transmitting plate receiving frame 100 is divided into two upper and lower receiving spaces 111, the protrusion 113 points to divide the upper and lower receiving spaces 111 It may be formed on, protruding portion 113 extending from each side is connected to each other may not be formed integrally. However, as shown in Figure 2, the projections 113 on the side of the openings 112a and 112b where the UV transmitting plates 200a and 200b are inserted are inserted through the receiving spaces 111 where the UV transmitting plates 200a and 200b are different. In order to prevent it, it is preferable that the protrusions 113 are integrally formed by being connected to each other.

한편, 본체(110)의 양측면 및 본체(110)의 양측면으로부터 본체(110)의 내측으로 돌출 연장된 돌출부(113)는 상호 협력하여 개구부(112a, 112b)를 통해 삽입되는 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)의 슬라이딩 이동을 가이드 할 수 있다. On the other hand, both side surfaces of the main body 110 and the protruding portions 113 protruding from the both side surfaces of the main body 110 to the inside of the body 110 cooperate with each other and are inserted through the openings 112a and 112b, the ultraviolet transmitting plate 200a, It can guide the sliding movement of 200b).

또한, 본체(110)는 삽입되는 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)의 슬라이딩 이동을 원활하게 하기 위한 구성을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 본체(110)의 내측에 볼 베어링을 구비할 수 있으며, 본체(110)의 내측 및/또는 본체(110)의 내측과 접하는 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)면에 윤활물질을 도포하거나 기타 매끄러운 소재로 코팅할 수 있다. 이외에도 본체(110)와 삽입되는 자외선 투과 플레이트(200a, 200b) 사이의 마찰력을 감소시킬 수 있는 다양한 방식이 적용될 수 있다. In addition, the main body 110 may further include a configuration for facilitating sliding movement of the UV transmission plates 200a and 200b to be inserted. For example, a ball bearing may be provided inside the main body 110, and a lubricant is applied to the inside of the main body 110 and / or the surfaces of the ultraviolet transmitting plates 200a and 200b contacting the inside of the main body 110. Or other smooth materials. In addition, various methods that can reduce the friction between the body 110 and the UV transmission plates 200a and 200b to be inserted may be applied.

한편, 전술한 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)에 배치되는 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)는 자외선 램프(340)로부터 조사되는 자외선을 높은 투과율로 투과시킬 수 있는 것이면 특별히 한정하지 않으며, 예를 들어 석영판이 사용될 수 있다. Meanwhile, the UV transmission plates 200a and 200b disposed on the UV transmission plate accommodating frame 100 described above are not particularly limited as long as they can transmit UV rays emitted from the UV lamp 340 at a high transmittance. Quartz plates can be used.

이하에서는, 도 3 내지 도 5를 참조하여 전술한 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)을 포함하는 자외선 램프 키트(300) 및 광 중합 반응 시스템 (1000)에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, the UV lamp kit 300 and the photopolymerization reaction system 1000 including the UV transmission plate accommodating frame 100 described above with reference to FIGS. 3 to 5 will be described.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 광 중합 반응 시스템을 나타낸 도면이고, 도 4의 (a)는 종래 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 광 중합 반응 시스템을, 도 4의 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 광 중합 반응 시스템을 나타낸 도 3의 A-A'을 취한 단면도이고, 도 5의 (a) 내지 도 5의 (c)는 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 광 중합 반응 시스템 하에서 자외선 투과 플레이트를 교체하는 과정을 순서대로 나타낸 도면이다. Figure 3 is a view showing a photopolymerization reaction system comprising a UV-transmitting plate receiving frame according to an embodiment of the present invention, Figure 4 (a) is a conventional photopolymerization reaction system comprising a UV-transmitting plate receiving frame, FIG. 4 (b) is a cross-sectional view taken along line A-A 'of FIG. 3 showing a photopolymerization reaction system including an ultraviolet transmission plate receiving frame according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 5 (a) to 5 (C) is a view sequentially showing the process of replacing the ultraviolet transmitting plate under the photopolymerization reaction system including the ultraviolet transmitting plate accommodating frame according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 램프 키트(300)는 중합 반응기의 전단 상부에 설치되며, 광원인 자외선 램프(340), 전술한 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)가 수용된 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)을 포함할 수 있다. 자외선 램프 키트(300)의 하부에는 중합을 위한 반응물이 배치되어, 자외선 램프(340)로부터 조사되어 자외선 투과 플레이트 (200a, 200b)를 투과한 빛에 의해 광 중합 반응이 진행될 수 있다. 예를 들어, 반응물은 기판(400) 상에 공급되어, 하단에 자외선 투과 플레이트(200a, 200b) 가 수용된 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)이 결합된 자외선 램프 키트(300)의 하부로 제공 및 배치될 수 있다. 한편, 도면 2 내지 5에는 광 중합 반응 시스템(1000)의 일 구성인 중합 반응기가 별도로 도시되어 있지 않으나, 전술한 바와 같이 자외선 램프 키트(300)는 중합 반응기의 상단에 설치되고, 반응물은 중합 반응기의 하부로 제공되므로, 자외선 램프 키트(300)와 반응물 사이의 공간이 중합 반응기 영역에 해당하는 것으로 볼 수 있다. First, referring to Figure 3, the ultraviolet lamp kit 300 according to an embodiment of the present invention is installed on the upper end of the polymerization reactor, the ultraviolet lamp 340 as a light source, the above-described ultraviolet transmission plate (200a, 200b) It may include a UV transmission plate receiving frame 100 is accommodated. A reactant for polymerization is disposed under the ultraviolet lamp kit 300, and a photopolymerization reaction may be performed by light transmitted from the ultraviolet lamp 340 and transmitted through the ultraviolet transmitting plates 200a and 200b. For example, the reactant is supplied on the substrate 400 and provided and disposed under the UV lamp kit 300 in which the UV transmission plate receiving frame 100 in which the UV transmission plates 200a and 200b are accommodated is coupled at the bottom. Can be. On the other hand, in Figures 2 to 5, the polymerization reactor, which is one component of the photopolymerization reaction system 1000, is not separately shown, but as described above, the ultraviolet lamp kit 300 is installed on the top of the polymerization reactor, and the reactants are polymerization reactors. Since it is provided as the lower portion, the space between the UV lamp kit 300 and the reactants may be considered to correspond to the polymerization reactor region.

자외선 램프(340)는 자외선 램프(340)로부터 조사되는 빛의 방향을 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)가 배치된 하부로 반사시키기 위해 자외선 램프(340)의 외측에 구비된 반사갓(350)과 함께 하우징(310) 내부에 구비될 수 있다. 반사갓(350)은 빛을 반사시킬 수 있는 소재, 예를 들어 알루미늄 소재 등으로 구비될 수 있다.The ultraviolet lamp 340 is provided with a reflector 350 provided on the outside of the ultraviolet lamp 340 to reflect the direction of light irradiated from the ultraviolet lamp 340 to the lower portion where the ultraviolet transmitting plates 200a and 200b are disposed. It may be provided inside the housing 310. The reflector 350 may be provided with a material that can reflect light, for example, an aluminum material.

하우징(310)은 하부가 개구된 형상으로 하우징(310)의 하부에는 전술한 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)이 결합될 수 있다. 하우징(310)과 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)은 볼트, 접착제 등에 의해 결합될 수 있으며, 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)과 하우징(310)이 일체로 형성될 수도 있다. 한편, 본 발명의 실시예에 있어서 자외선 램프(340)는 수은, 메탈 할라이드계 물질 등의 방전을 이용하여 자외선을 방출하는 관 등을 사용할 수 있으며, 광 중합 반응 진행 중 자외선 램프(340)의 표면 온도는 약 400℃ 내지 950℃까지 상승할 수 있다. 이에 하우징(310)은 고온의 자외선 램프(340)를 제열하기 위한 구성으로, 외부로부터 공기가 공급되는 급기구(320)와 제열 후 공기가 배출되는 배기구(330)를 구비할 수 있다. The housing 310 has a shape in which a lower portion is opened, and the above-described ultraviolet transmission plate receiving frame 100 may be coupled to a lower portion of the housing 310. The housing 310 and the UV-transmitting plate accommodating frame 100 may be combined by bolts, adhesives, etc., and the UV-transmitting plate accommodating frame 100 and the housing 310 may be integrally formed. On the other hand, in the embodiment of the present invention, the ultraviolet lamp 340 may use a tube or the like that emits ultraviolet rays using discharge of mercury, metal halide-based materials, etc., and the surface of the ultraviolet lamp 340 during the photopolymerization reaction is in progress. The temperature can rise from about 400 ° C to 950 ° C. Accordingly, the housing 310 is configured to heat the ultraviolet lamp 340 at a high temperature, and may include an air supply port 320 through which air is supplied from the outside and an exhaust port 330 through which air is discharged after heat removal.

도 4의 (a)는 종래 광 중합 반응 시스템을 나타낸 것이다. 도 4의 (a)를 참조하면 자외선 램프 키트(21) 하부에 결합된 종래 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(26)은 하나의 자외선 투과 플레이트(200)만 수용 가능하였으며, 고정 브라켓(27)을 이용하여 자외선 투과 플레이트(200)와 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(26)을 고정하였다. Figure 4 (a) shows a conventional photopolymerization reaction system. Referring to Figure 4 (a), the conventional UV transmission plate receiving frame 26 coupled to the lower portion of the UV lamp kit 21 was able to accommodate only one UV transmission plate 200, using a fixed bracket (27) The UV transmission plate 200 and the UV transmission plate receiving frame 26 were fixed.

도 4의 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 중합 반응 시스템을 나타낸 것이다. 도 4의 (b)를 참조하면 자외선 램프 키트(300) 하부에 결합된 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)은 복수의 자외선 투과 플레이트 (200a, 200b)를 수용할 수 있는 공간이 구비되어 있고, 개구부(112a, 112b)를 통해 자외선 투과 플레이트(200b)를 하나의 수용공간(111)으로 삽입시킬 수 있다. 구체적으로, 자외선 투과 플레이트(200b)는 본체(110)의 양측면과 돌출부(113)의 상호 협력에 의해 슬라이딩 방식으로 수용공간(111)에 삽입될 수 있다. 도 4의 (b)에는 자외선 투과 플레이트(200)를 수용할 수 있는 공간이 2개 마련된 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)이 도시되어 있으나, 자외선 램프(340)로부터 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100) 하부에 배치된 반응물로 광 중합 반응 전개를 위한 적절한 양의 빛이 도달할 수 있다면 자외선 투과 플레이트(200)를 수용할 수 있는 공간을 3개 이상 구비하는 것도 가능하다. Figure 4 (b) shows a photo polymerization reaction system according to an embodiment of the present invention. Referring to (b) of FIG. 4, the UV transmission plate receiving frame 100 according to an embodiment of the present invention coupled to the lower portion of the UV lamp kit 300 can accommodate a plurality of UV transmission plates 200a and 200b. A space is provided, and the UV transmitting plate 200b can be inserted into one receiving space 111 through the openings 112a and 112b. Specifically, the ultraviolet transmission plate 200b may be inserted into the accommodation space 111 in a sliding manner by mutual cooperation of both side surfaces of the main body 110 and the protrusion 113. In FIG. 4B, the UV transmission plate receiving frame 100 is provided with two spaces for accommodating the UV transmission plate 200, but the UV transmission plate receiving frame 100 from the UV lamp 340 is shown. It is also possible to provide three or more spaces for accommodating the ultraviolet transmitting plate 200 if an appropriate amount of light can be reached for developing the photopolymerization reaction with the reactants disposed at the bottom.

한편, 광 중합 반응 시 생성되는 수증기 및 단량체 증기류 등의 부산물은 반응물이 공급된 기판(400) 상부의 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)를 향해 증발하여 자외선 투과 플레이트(200a, 200b) 하부를 오염시키며, 이에 일정 주기 간격으로 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)를 교체해주어야 한다. On the other hand, by-products such as water vapor and monomer vapors generated during the photopolymerization reaction contaminate the lower portion of the UV transmission plates 200a and 200b by evaporating toward the UV transmission plates 200a and 200b above the substrate 400 supplied with the reactants. In this case, UV transmission plates 200a and 200b should be replaced at regular intervals.

종래에는 자외선 투과 플레이트(200) 교체 시 진행 중인 광 중합 반응 공정을 중단시킨 후 중합 반응기로부터 자외선 램프 키트(21)를 분리하여 광 중합 반응에 사용되었던 자외선 투과 플레이트(200)를 제거한 후 새로운 자외선 투과 플레이트(200)로 교체하였다. Conventionally, when replacing the UV-transmitting plate 200, after stopping the ongoing photo-polymerization reaction process, the UV lamp kit 21 is separated from the polymerization reactor to remove the UV-transmitting plate 200 used in the photo-polymerization reaction, and then the new UV-transmitting is performed. It was replaced with a plate 200.

그러나 본 발명의 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임 (100)은 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)가 수용될 수 있는 복수의 수용공간 (111)이 마련되어 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)가 삽입되어 있지 않은 수용공간(111)을 통해 새로운 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)를 삽입하고, 기존에 사용하고 있던 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)를 제거할 수 있다. However, the ultraviolet transmitting plate accommodating frame 100 according to the embodiment of the present invention is provided with a plurality of receiving spaces 111 in which the ultraviolet transmitting plates 200a and 200b can be accommodated, and the ultraviolet transmitting plates 200a and 200b are inserted. The new UV-transmitting plates 200a and 200b may be inserted through the non-accommodating space 111 and the previously used UV-transmitting plates 200a and 200b may be removed.

구체적으로, 도 5의 (a)와 같이 상부 수용공간(111)에 자외선 투과 플레이트(200a) 삽입하여 진행 중인 광 중합 반응에 있어서, 삽입된 자외선 투과 플레이트(200a) 하부가 광 중합 반응에 따른 부산물에 의해 오염되어 자외선 투과 플레이트(200a)를 교체하고자 하는 경우, 하부 개방부(112b)를 통해 비어 있는 수용공간(111)으로 새로운 자외선 투과 플레이트(200b)를 삽입할 수 있다. 새로운 자외선 투과 플레이트(200b)의 삽입이 완료되면 교체하고자 하는 자외선 투과 플레이트(200a)를 제거하며, 이러한 방식으로 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)를 계속적으로 교체할 수 있다. Specifically, in the photopolymerization reaction in progress by inserting the ultraviolet transmission plate 200a into the upper accommodation space 111 as shown in FIG. 5 (a), the lower portion of the inserted ultraviolet transmission plate 200a is a by-product of the photopolymerization reaction. If it is contaminated by and wants to replace the UV transmission plate 200a, a new UV transmission plate 200b can be inserted into the empty receiving space 111 through the lower opening 112b. When the insertion of the new UV transmission plate 200b is completed, the UV transmission plate 200a to be replaced is removed, and the UV transmission plates 200a and 200b can be continuously replaced in this manner.

전술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100) 및 이를 포함하는 광 중합 반응 시스템(1000)은 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)가 수용될 수 있는 수용공간(111)이 복수로 구비되어, 자외선 램프 키트(300)를 중합 반응기로부터 분리시키지 않고 자외선 투과 플레이트 (200a, 200b)를 교체할 수 있으며, 연속적으로 공정 진행이 가능하므로, 공정 중단으로 인한 비용 손실을 절감할 수 있는 효과가 있다.As described above, the UV-transmitting plate accommodating frame 100 and the photopolymerization reaction system 1000 including the UV-transmitting plate according to an embodiment of the present invention include an accommodating space 111 in which UV-transmitting plates 200a and 200b can be accommodated. ) Is provided in a plurality, it is possible to replace the UV-transmitting plate (200a, 200b) without separating the UV lamp kit 300 from the polymerization reactor, it is possible to continuously process, reducing the cost loss due to process interruption There is an effect that can be done.

또한, 자외선 투과 플레이트 수용 프레임(100)은 슬라이딩 방식으로 자외선 투과 플레이트(200a, 200b)의 삽입 및 제거가 가능한 구조로서 교체의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. In addition, the UV-transmitting plate receiving frame 100 is a structure capable of inserting and removing the UV-transmitting plates 200a and 200b in a sliding manner, thereby improving the efficiency of replacement.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시 예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the preferred embodiments mentioned above, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Therefore, the scope of the appended claims will include such modifications or variations as long as they belong to the subject matter of the present invention.

1000: 광 중합 반응 시스템
100: 자외선 투과 플레이트 수용 프레임
110: 본체 111: 수용공간
112a, 112b: 개구부 113: 돌출부
200a, 200b: 자외선 투과 플레이트
300: 자외선 램프 키트 310: 하우징
320: 급기구 330: 배기구
340: 자외선 램프 350: 반사갓
400: 기판
1000: photopolymerization reaction system
100: UV transmission plate receiving frame
110: main body 111: accommodation space
112a, 112b: opening 113: protrusion
200a, 200b: UV transmission plate
300: UV lamp kit 310: housing
320: air supply 330: exhaust
340: UV lamp 350: reflector
400: substrate

Claims (6)

자외선 램프의 하부에 배치되는 본체를 포함하며,
상기 본체는,
상기 자외선 램프의 조사 방향을 따라 복수의 자외선 투과 플레이트를 분리하여 수용할 수 있는 복수의 수용공간으로 구획되어 있으며,
상기 수용공간으로 상기 자외선 투과 플레이트를 삽입할 수 있도록 개구부가 형성된, 자외선 투과 플레이트 수용 프레임.
It includes a body disposed under the UV lamp,
The main body,
It is divided into a plurality of accommodation spaces capable of separating and accommodating a plurality of UV transmission plates along the irradiation direction of the UV lamp,
The UV-transmitting plate accommodating frame having an opening formed to insert the UV-transmitting plate into the accommodating space.
제1항에 있어서,
상기 본체는,
상기 복수의 자외선 투과 플레이트 중 어느 하나를 그 하부에 위치한 자외선 투과 플레이트로부터 이격하여 지지하기 위해, 상기 본체의 서로 대향되어 있는 양 측면으로부터 상기 본체의 내측으로 각각 돌출 연장된 돌출부를 포함하는, 자외선 투과 플레이트 수용 프레임.
According to claim 1,
The main body,
In order to support any one of the plurality of UV-transmitting plates away from the UV-transmitting plate located at the bottom thereof, the UV-transmitting includes projections extending from the opposite sides of the main body to the inside of the main body, respectively. Plate receiving frame.
제1항에 있어서,
상기 개구부는,
상기 본체의 적어도 하나의 측면에 형성된, 자외선 투과 플레이트 수용 프레임.
According to claim 1,
The opening,
UV transmission plate receiving frame formed on at least one side of the body.
제2항에 있어서,
상기 본체의 양 측면 및 상기 본체의 양 측면으로부터 상기 본체의 내측으로 돌출된 돌출부는 상호 협력하여, 상기 개구부를 통해 삽입되는 상기 자외선 투과 플레이트의 슬라이딩 이동을 가이드 하는, 자외선 투과 플레이트 수용 프레임.
According to claim 2,
The ultraviolet transmission plate accommodating frame, which guides sliding movement of the ultraviolet transmission plate inserted through the opening, in cooperation with each other, on both sides of the main body and protrusions protruding from the both sides of the main body to the inside of the main body.
자외선 램프; 및
자외선 투과 플레이트가 수용된 상기 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 자외선 투과 플레이트 수용 프레임을 포함하는 자외선 램프 키트를 포함하고,
상기 자외선 램프 키트의 하부에는 반응물이 배치되며,
상기 자외선 램프로부터 조사되어 상기 자외선 투과 플레이트를 투과한 빛에 의해 반응물의 중합 반응이 진행되는, 광 중합 반응 시스템.
Ultraviolet lamps; And
A UV lamp kit comprising the UV-transmitting plate receiving frame according to any one of claims 1 to 4, wherein the UV-transmitting plate is accommodated,
The reactant is disposed under the ultraviolet lamp kit,
A photopolymerization reaction system in which a polymerization reaction of a reactant proceeds by light transmitted from the UV lamp and transmitted through the UV transmission plate.
제5항에 있어서,
상기 광 중합 반응은 상기 자외선 투과 플레이트 수용 프레임의 상기 복수의 수용공간 중 어느 하나의 수용공간에 제1자외선 투과 플레이트가 삽입된 상태에서 진행되며,
상기 광 중합 반응이 진행되는 동안 상기 복수의 수용공간 중 다른 수용공간에 제2자외선 투과 플레이트가 삽입되고, 기 삽입되었던 상기 제1자외선 투과 플레이트는 상기 수용공간으로부터 제거됨으로써 자외선 투과 플레이트의 교체가 이루어지는, 광 중합 반응 시스템.
The method of claim 5,
The photopolymerization reaction proceeds in a state in which a first ultraviolet transmission plate is inserted into any one of the plurality of accommodation spaces of the UV transmission plate accommodation frame,
During the photopolymerization reaction, a second ultraviolet transmission plate is inserted into another accommodation space among the plurality of accommodation spaces, and the first ultraviolet transmission plate which has been previously inserted is removed from the accommodation space to thereby replace the ultraviolet transmission plate. , Photo polymerization reaction system.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050027360A (en) * 2003-09-15 2005-03-21 엘지.필립스 엘시디 주식회사 The device for hardening sealant and the method for hardening the sealant using the same
KR200466784Y1 (en) * 2008-09-26 2013-05-14 주식회사 디엠에스 Fixing unit for sealant UV cure machine
KR101372932B1 (en) * 2013-04-30 2014-03-12 한국생산기술연구원 PHOTO-ALIGNMENT APPARATUS USING PULSE ?c?
KR20160086279A (en) * 2015-01-09 2016-07-19 이와사키 덴끼 가부시키가이샤 Light irradiation apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050027360A (en) * 2003-09-15 2005-03-21 엘지.필립스 엘시디 주식회사 The device for hardening sealant and the method for hardening the sealant using the same
KR200466784Y1 (en) * 2008-09-26 2013-05-14 주식회사 디엠에스 Fixing unit for sealant UV cure machine
KR101372932B1 (en) * 2013-04-30 2014-03-12 한국생산기술연구원 PHOTO-ALIGNMENT APPARATUS USING PULSE ?c?
KR20160086279A (en) * 2015-01-09 2016-07-19 이와사키 덴끼 가부시키가이샤 Light irradiation apparatus

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