KR101628813B1 - Shadow frame - Google Patents

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KR101628813B1
KR101628813B1 KR1020150000584A KR20150000584A KR101628813B1 KR 101628813 B1 KR101628813 B1 KR 101628813B1 KR 1020150000584 A KR1020150000584 A KR 1020150000584A KR 20150000584 A KR20150000584 A KR 20150000584A KR 101628813 B1 KR101628813 B1 KR 101628813B1
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KR1020150000584A
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김상호
조한중
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주식회사 엠에스티엔지니어링
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Abstract

The present invention relates to a shadow frame comprising: a main frame and a sub-frame combined to the main frame. The sub-frame is arranged along the inner surface of the main frame on its combination home. The shadow frame is capable of reducing distortion which may be caused by heat expansion since multiple pieces are formed to be combined to each other. Also, according to an embodiment, the manufacturing cost can be reduced by manufacturing the main frame and sub-frame with different materials, which can prevent arcing. In addition, according to another embodiment, without a separate operational module, the shadow frame can move closely with a substrate in response to a rise or drop of the substrate, by a characterized structure of combination between the main frame and sub-frame. By this composition, damage to the substrate which may be caused by a collision with the shadow frame during the evaporation process can be prevented.

Description

쉐도우 프레임{SHADOW FRAME}Shadow frame {SHADOW FRAME}

본 발명은 기판 및 서셉터 외곽을 덮어 가지는 쉐도우 프레임에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate and a shadow frame covering an outer periphery of the susceptor.

최근의 본격적인 정보화 시대에 발맞추어 각종 전기적 신호에 의한 대용량의 데이터를 시각적 화상으로 표시하는 디스플레이(display) 분야 또한 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화 장점을 지닌 평판표시장치 (Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device:LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등이 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.In view of the recent realization of the information age, the display field for displaying a large amount of data by various electric signals in a visual image has also rapidly developed, and a flat display device Flat (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), an electroluminescent display Electro luminescence Display device (ELD) are introduced to replace CRT (Cathode Ray Tube).

이들 일반적인 평판표시장치는 실질적인 화상 내지는 투과율 차이를 구현하는 평판표시패널(plat display panel)을 공통의 필수 구성요소로 하며, 이는 나란한 두 기판(substrate) 사이로 고유의 형광 또는 편광 물질층을 개재한 형태를 나타내는바, 최근에는 특히 평판표시패널에 화상표현의 기본단위인 화소(pixel)를 행렬로 배열하고 각각을 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와 같은 스위칭 소자로 개별 제어하는 능동행렬 방식(active matrix type)이 동영상 구현능력과 색 재현성에서 뛰어나 널리 이용된다.These general flat panel display devices have a plat display panel that realizes a substantial image or difference in transmittance as a common essential component, and it is a type that has a unique fluorescent or polarizing material layer between two adjacent substrates Recently, there has been proposed an active matrix method in which pixels, which are basic units of image representation, are arranged in a matrix on a flat panel display panel and individually controlled by a switching element such as a thin film transistor (TFT) matrix type) is widely used because of its excellent video rendering capability and color reproducibility.

한편, 일반적인 평판표시장치 제조공정의 대부분은 기판을 대상으로 진행되는데, 예컨대 기판 표면에 소정 박막을 형성하는 박막증착(deposition)공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토리소그라피(photolithography)공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거함으로써 목적하는 형태로 패터닝(patterning) 하는 식각(etching)공정이 수차례 반복되며, 그밖에 세정, 합착, 절단 등의 수많은 공정이 수반된다. 이중에서 박막증착공정은 박막입자를 직접적으로 기판에 충돌 및 흡착시키는 물리적 증착방식의 스퍼터링(sputtering)과, 기판 상부에서 라디컬(radical)의 화학반응을 유도하여 그 반응결과물인 박막입자를 낙하 및 흡착시키는 화학적 증착 방식의 화학기상증착(Chemical Vapour Deposition : CVD)으로 구분될 수 있고, 특히 후자의 대표적인 예로 플라즈마(plasma)의 높은 에너지와 풍부한 라디컬을 이용하는 플라즈마 화학기상증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition : PECVD)을 들 수 있다.Meanwhile, most of the general flat panel display manufacturing process is performed on a substrate, for example, a thin film deposition process for forming a predetermined thin film on a substrate surface, a photolithography process for exposing a selected portion of the thin film, The etching process for patterning the desired pattern by repeating the removal of the exposed portion of the thin film is repeated a number of times and a number of processes such as cleaning, lapping, and cutting are performed. Among them, the thin film deposition process is a process of sputtering a physical vapor deposition method in which thin film particles are directly impinged and adsorbed on a substrate, inducing a chemical reaction of radicals on the substrate, And a chemical vapor deposition (CVD) method in which a metal oxide is adsorbed on the surface of a substrate. In particular, plasma chemical vapor deposition (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) using high energy of plasma and abundant radicals : PECVD).

일반적인 플라즈마 화학기상증착장치에서는 밀폐구조의 챔버 내에 외기와 격리된 고유의 반응영역이 정의되고, 여기에 실장된 기판은 상하의 나란한 제 1 및 제 2 전극 사이에 개재된 형태를 나타낸다. 즉, 일반적인 플라즈마 화학기상 증착장치의 챔버는 상하면과 측면에 의한 밀폐구조를 나타내는바, 하면과 측면을 이루는 베이스프레임과 상면을 이루는 리드프레임으로 구분될 수 있고, 이중 리드프레임에는 RF(Radio Frequency) 전압이 인가되어 플라즈마의 생성 및 유지를 위한 일 전극의 역할을 담당함과 동시에 외부의 반응가스를 챔버 내의 반응영역으로 공급하는 공급포트가 갖추어져 있다.In a typical plasma chemical vapor deposition apparatus, a specific reaction region isolated from the outside air is defined in a chamber of a closed structure, and the substrate mounted thereon is interposed between the first and second electrodes arranged side by side. That is, the chamber of a general plasma chemical vapor deposition apparatus has a sealing structure by the upper and lower surfaces and the side surface, and can be divided into a base frame constituting a lower surface and a lead frame constituting an upper surface, And a supply port for supplying external reaction gas to the reaction region in the chamber is equipped with a function of one electrode for generating and maintaining plasma by applying a voltage.

또한 챔버 내부에는 외부의 엘리베이터어셈블리(elevator assembly)에 의해 최대 하강위치인 홈 포지션(home position)에서부터 최대 상승위치인 공정포지션(process position)까지 승강되는 서셉터(susceptor)가 구비되어 기판을 지지하며, 여기에는 바이어스(bias) 전압이 인가되어 플라즈마의 생성 및 유지를 위한 제 2 전극 역할을 한다. 아울러 리드프레임의 가장자리를 따라서는 반응영역 내부를 배기하는 배기 플레넘이 마련되고, 기판과 리드프레임 사이로는 디퓨져플레이트(diffuser plate)가 종단 설치되어 공급포트의 반응가스를 기판 전면적으로 확산시킨다.The chamber is also provided with a susceptor which is elevated from a home position, which is a maximum falling position, to a process position, which is a maximum rising position, by an external elevator assembly, , And a bias voltage is applied thereto to serve as a second electrode for generation and maintenance of plasma. An exhaust plenum is disposed along the edge of the lead frame to exhaust the inside of the reaction region. A diffuser plate is installed between the substrate and the lead frame to diffuse the reaction gas in the supply port over the entire substrate.

이에 따라 기판이 챔버 내로 반입되어 홈포지션에서 대기 중인 서셉터 상에 안착되면 엘리베이터 어셈블리에 의해 최대높이인 공정포지션까지 상승되고, 그 결과 기판은 디퓨져플레이트와 소정 간격으로 대면된다. 이와 동시에 리드프레임과 서셉터에 각각 RF 전압과 바이어스 전압이 인가되며, 리드프레임의 공급포트로는 반응가스가 공급되어 디퓨저플레이트를 통해 기판 전면적으로 확산되는바, 리드프레임과 서셉터 사이의 전기장에 의해 반응가스는 플라즈마로 여기되어 라디칼의 반응결과물이 기판 상에 박막으로 증착된다. 이후, 박막증착이 완료되면 배기플레넘을 통해 반응영역이 배기되면서 서셉터가 홈포지션으로 하강해서 기판 교체에 따른 새로운 박막증착공정을 준비한다.As a result, when the substrate is brought into the chamber and is placed on the susceptor waiting at the home position, it is elevated to the maximum height position by the elevator assembly, so that the substrate faces the diffuser plate at a predetermined distance. At the same time, the RF voltage and the bias voltage are applied to the lead frame and the susceptor, respectively, and the reaction gas is supplied to the supply port of the lead frame and diffused over the entire substrate through the diffuser plate. In the electric field between the lead frame and the susceptor The reaction gas is excited by the plasma and the reaction product of the radicals is deposited as a thin film on the substrate. Then, when the thin film deposition is completed, the reaction region is exhausted through the exhaust plenum, and the susceptor descends to the home position to prepare a new thin film deposition process according to the substrate replacement.

한편, 이상과 같은 플라즈마 화학기상 증착장치의 증착 메커니즘에 있어서, 기판을 비롯한 서셉터 외곽으로의 불필요한 박막증착을 배제하고자 챔버 내에는 별도의 쉐도우 프레임이 마련되는데, 이는 서셉터의 상승 시, 기판 및 서셉터 외곽에 밀착 지지되는 사각의 프레임 형상을 나타내며, 서셉터의 하강 시, 챔버 내측면의 수평한 지지단에 얹혀 지지된다.In the deposition mechanism of the plasma chemical vapor deposition apparatus as described above, a separate shadow frame is provided in the chamber in order to exclude the unnecessary thin film deposition to the outer side of the susceptor including the substrate. This is because when the susceptor is lifted, And is supported on a horizontal support end of the inner side surface of the chamber when the susceptor is lowered.

그러나 이 과정 중에 기판과 쉐도우 프레임 사이의 충돌에 의한 기판 파손현상이 빈번하게 나타나는 문제점이 있다.However, there is a problem that a substrate breakage phenomenon frequently occurs due to a collision between the substrate and the shadow frame during this process.

대한민국 공개특허 10-2008-0002240Korean Patent Publication No. 10-2008-0002240

본 발명의 일 목적은 기판의 파손을 방지할 수 있는 쉐도우 프레임을 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a shadow frame capable of preventing breakage of a substrate.

상기와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따르는 쉐도우 프레임은 메인프레임 및 상기 메인프레임의 둘레를 따라 결합되는 서브프레임을 포함하며, 상기 서브프레임은 상기 서브프레임은 상기 메인프레임의 내주면에 형성되는 결합홈에 맞물려 연결된다. According to an aspect of the present invention, there is provided a shadow frame including a main frame and a sub frame coupled along the periphery of the main frame, wherein the sub frame includes an inner circumferential surface As shown in Fig.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 메인프레임과 서브프레임은 서로 다른 재질로 형성된다. According to an embodiment of the present invention, the main frame and the subframe are formed of different materials.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 메인프레임은 알루미늄 재질로 형성되고, 상기 서브프레임은 세라믹 재질로 형성된다. According to an embodiment of the present invention, the main frame is formed of an aluminum material, and the subframe is formed of a ceramic material.

본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 상기 메인프레임과 서브프레임은 서로 같은 재질로 형성된다. According to another embodiment of the present invention, the main frame and the subframe are formed of the same material.

상기 메인프레임 및 서브프레임은 세라믹 재질로 형성될 수 있다. The main frame and the subframe may be formed of a ceramic material.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 서브프레임은 상기 메인프레임의 너비방향으로 연장되는 제1 파트와, 상기 제1 바디의 일측단부에서 상기 너비 방향으로 돌출되어 형성되는 제2 파트 및 상기 제1 바디의 타측단부에서 상기 너비 방향으로 돌출되어 형성되는 제3 파트를 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the subframe includes a first part extending in the width direction of the main frame, a second part protruding in the width direction from one end of the first body, And a third part protruding in the width direction from the other end of the body.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 결합홈은 상기 메인프레임의 너비 방향에서 일정 각도 기울어져 연장되는 연장홈을 포함하고, 상기 제3파트는 상기 연장홈에 삽입되는 연장돌기를 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the engaging groove includes an extending groove which is inclined by a predetermined angle in the width direction of the main frame, and the third part includes an extending projection inserted into the extending groove.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 메인프레임은 상기 너비 방향으로 돌출되어 상기 제1 파트와 오버랩되는 제1 연장부 및 상기 제3 파트와 맞물리도록 형성되는 제2 연장부를 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the main frame includes a first extension part protruding in the width direction and overlapped with the first part, and a second extension part adapted to engage with the third part.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 연장부는 상기 너비 방향과 교차하는 방향으로 돌출되는 돌출돌기를 포함하고, 상기 제1 파트는 상기 돌출돌기와 맞물리는 리세스홈을 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the first extension part includes a protrusion protruding in a direction intersecting with the width direction, and the first part includes a recessed groove engaging with the protrusion protrusion.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 서브프레임은 일단이 서로 연결되도록 형성되는 제1 피스 및 제2 피스를 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the subframe includes a first piece and a second piece, the ends of which are connected to each other.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 피스는 굽은 형상을 취하도록 형성되고, 상기 제2 피스는 직선 형상을 취하도록 형성된다. According to an embodiment of the present invention, the first piece is formed to take a bent shape, and the second piece is formed to take a straight shape.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 피스의 일단에는 길이방향으로 돌출되는 결합돌기가 형성되고, 상기 제2 피스의 일단에는 상기 결합돌기와 맞물리는 맞물림홈을 포함한다. According to an embodiment of the present invention, one end of the first piece is formed with a coupling protrusion protruding in the longitudinal direction, and the one end of the second piece includes an engaging groove engaged with the coupling protrusion.

본 발명의 일 실시예에 따른 쉐도우 프레임은 복수개의 피스가 서로 맞물리도록 형성되어 열팽창에 의한 뒤틀림을 줄일 수 있다. The shadow frame according to an embodiment of the present invention is formed so that a plurality of pieces are engaged with each other to reduce warping due to thermal expansion.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 메인프레임과 서브프레임의 재질을 다르게 제작하여 제조 단가를 줄임과 동시에 아킹 발생을 방지할 수 있다. Also, according to an embodiment of the present invention, it is possible to reduce manufacturing costs and prevent arcing while manufacturing different materials of the main frame and the subframe.

아울러, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 메인프레임과 서브프레임 사이의 독특한 체결구조에 의하여 별도의 구동 모듈 없이도 기판의 상승/하강에 대응하여 쉐도우 프레임이 기판에 밀착되어 움직인다. 이를 통해 증착 작업 시 기판이 쉐도우 프레임과 충돌하여 파손되는 것을 방지할 수 있다.  In addition, according to an embodiment of the present invention, the shadow frame moves closely to the substrate in response to the rise / fall of the substrate without a separate drive module due to the unique fastening structure between the main frame and the subframe. Accordingly, it is possible to prevent the substrate from colliding with the shadow frame during the vapor deposition operation and being broken.

도 1은 종래의 쉐도우 프레임의 구동을 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따르는 쉐도우 프레임의 개념도이다.
도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 개념도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 라인을 통해 들여다 본 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따르는 서브프레임 간의 체결 구조를 나타낸 개념도이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따르는 서브프레임의 구조를 나타낸 개념도이다. FIG. 1 is a conceptual diagram showing driving of a conventional shadow frame.
2 is a conceptual diagram of a shadow frame according to an embodiment of the present invention.
Fig. 3 is a conceptual view showing an enlarged view of part A of Fig. 2. Fig.
4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG.
FIG. 5 is a conceptual diagram illustrating a coupling structure between subframes according to an embodiment of the present invention. FIG.
6 is a conceptual diagram illustrating a structure of a subframe according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명과 관련된 쉐도우 프레임에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다. 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Hereinafter, a shadow frame related to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. In the present specification, the same or similar reference numerals are given to different embodiments in the same or similar configurations. As used herein, the singular forms "a", "an" and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise.

본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다. 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다.In the present specification, the same or similar reference numerals are given to different embodiments in the same or similar configurations. As used herein, the singular forms "a", "an" and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise. In addition, the suffix "module" and " part "for constituent elements used in the following description are given or mixed in consideration of ease of specification, and do not have their own meaning or role.

본 발명을 설명함에 있어서 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용한다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. In describing the present invention, the terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급되는 경우는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다. 반면, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것을 의미한다.Where an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may be present in between . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it means that no other element exists in between.

도 1은 종래 쉐도우 프레임의 구동을 나타낸 개념도이다. 1 is a conceptual diagram showing driving of a conventional shadow frame.

도 1을 참조하면, 종래 쉐도우 프레임(10)은 기판의 모서리에 걸린다. 즉, 쉐도우 프레임의 중앙 공간(20)에 기판이 배치되고 기판의 상승/하강에 인해 쉐도우 프레임은 화살표 표시와 같이 회전하게 된다. Referring to FIG. 1, the conventional shadow frame 10 is caught on the edge of the substrate. That is, the substrate is disposed in the central space 20 of the shadow frame, and the shadow frame rotates as indicated by the arrow mark due to the rise / fall of the substrate.

하지만 이와 같은 구조의 프레임에서는 프레임의 하중이 기판에 전부 실리게 되고, 기판과 쉐도우 프레임 사이의 충돌에 의한 기판 파손현상이 빈번하게 나타나는 문제점이 있다. 이하에서 도 2 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 실시예들을 살펴본다. However, in the frame having such a structure, the load of the frame is entirely loaded on the substrate, and the substrate breakage phenomenon frequently occurs due to the collision between the substrate and the shadow frame. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 6. FIG.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따르는 쉐도우 프레임의 개념도이고, 도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 개념도이다. FIG. 2 is a conceptual diagram of a shadow frame according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a conceptual view of an enlarged view of a portion A in FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 쉐도우 프레임은 메인프레임(100)과, 서브프레임(200)을 포함한다. Referring to FIGS. 2 and 3, the shadow frame of the present invention includes a main frame 100 and a sub-frame 200.

도시된 바에 따르면, 서브프레임(200)은 메인프레임(100)의 안쪽 테두리를 따라 결합된다. 상기 서브프레임(200)은 제1 피스(210)와 제2 피스(220)가 서로 연결되어 형성된다. As shown, the subframe 200 is coupled along the inner rim of the mainframe 100. The subframe 200 is formed by connecting the first piece 210 and the second piece 220 to each other.

설명의 편의 상 제1 피스(210)는 메인프레임(100)의 모서리 부분에 결합되는 피스를 지칭하고, 제2 피스(220)는 메인프레임(100)의 직선부에 결합되는 피스를 지칭한다. 도 3에 도시된 바에 따르면, 제1 피스(210)는 곡선형태를 이루도록 형성되고 제2 피스(220)는 직선형태를 이루도록 형성된다. The first piece 210 refers to a piece coupled to a corner portion of the main frame 100 and the second piece 220 refers to a piece that is coupled to a straight portion of the main frame 100. [ 3, the first piece 210 is formed in a curved shape and the second piece 220 is formed in a linear shape.

메인프레임(100)의 모서리 부분에서는 제1 피스(210)와 제2 피스(220)가 서로 결합되고, 메인프레임(100)의 직선 부분에서는 서로 다른 제2 피스(220)가 서로 결합된다. 각각의 피스들은 서로 맞물리는 돌기와 홈을 포함한다. The first piece 210 and the second piece 220 are coupled to each other at the corner of the main frame 100 and the second pieces 220 are coupled to each other at the straight portion of the main frame 100. Each piece includes a projection and a groove engageable with each other.

메인프레임(100)과 서브프레임(200)은 서로 다른 재질로 형성될 수 있다. The main frame 100 and the subframe 200 may be formed of different materials.

예를 들어, 메인프레임(100)은 알루미늄 재질로 형성되고, 서브프레임(200)은 세라믹 재질로 형성되는 것이 가능하다. 기판과 닿는 부분이 알루미늄 재질로 형성될 경우 아킹이 발생하여 제품의 품질을 저하시킬 수 있는 우려가 있다. 하지만 이러한 문제점을 극복하고자 쉐도우 프레임 전체를 세라믹 재질로 제작하는 경우 비용이 크게 증가하여 제품의 시장 경쟁력이 떨어지게 된다. 따라서, 본 발명에서는 메인프레임(100)과 서브프레임(200)을 분리하고 두 프레임의 재질을 다르게 제작함으로써 두가지 문제점을 모두 해결할 수 있다. For example, the main frame 100 may be formed of an aluminum material, and the subframe 200 may be formed of a ceramic material. When the portion contacting the substrate is formed of aluminum material, arcing may occur, which may lower the quality of the product. However, in order to overcome these problems, when the entire shadow frame is made of a ceramic material, the cost is greatly increased and the market competitiveness of the product is deteriorated. Accordingly, in the present invention, two problems can be solved by separating the main frame 100 and the sub-frame 200 and making the materials of the two frames different.

본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 상기 메인프레임(100)과 서브프레임(200)은 서로 동일한 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 메인프레임(100)과 서브프레임(200)은 모두 세라믹 재질로 형성될 수 있다. According to another embodiment of the present invention, the main frame 100 and the sub-frame 200 may be formed of the same material. For example, the main frame 100 and the subframe 200 may be formed of a ceramic material.

도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 라인을 통해 들여다 본 단면도이다. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG.

도 4를 참조하면, 서브프레임(200)은 메인프레임(100)의 너비 방향으로 연장되고 메인 바디를 이루는 제1 파트(201)와, 상기 제1 파트(201)의 일측 단부에서 상기 너비 방향으로 돌출되어 기판을 지지하는 제2 파트(202)와, 상기 제1 파트(201)의 타측 단부에서 상기 너비 방향으로 돌출되어 형성되는 제3 파트(203) 등을 포함한다. 4, the subframe 200 includes a first part 201 extending in the width direction of the main frame 100 and forming a main body, and a second part 201 extending in the width direction from one end of the first part 201 A second part 202 protruding to support the substrate, and a third part 203 protruding in the width direction from the other end of the first part 201.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2 파트(202)는 제1 파트(201)의 상부쪽에 형성되고 제3 파트(203)는 제1 파트(201)의 하부쪽에 형성될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the second part 202 may be formed on the upper part of the first part 201 and the third part 203 may be formed on the lower part of the first part 201.

제3 파트(203)는 상기 너비 방향으로부터 일정 각도 기울어져서 연장되는 연장돌기(204)를 포함할 수 있다. 다시 말해, 상기 제3 파트(203)는 제1 파트(201)의 하부로부터 위쪽 방향으로 향해 비스듬하게 연장되는 돌기를 더 포함할 수 있다. 이러한 돌기의 형상에 기인하여, 기판이 상승할 때 서브프레임(200)은 비스듬하게 기울어져 기판에 가하는 힘을 감소시킬 수 있다. 즉, 비스듬하게 연장되는 제3 파트(203)의 구조에 기인하여 제2 파트(202) 부분이 화살표 방향으로 왕복운동 할 수 있게 형성된다. The third part 203 may include an extension protrusion 204 extending at an angle from the width direction at an angle. In other words, the third part 203 may further include protrusions that extend obliquely upward from the lower part of the first part 201. [ Due to the shape of these protrusions, the sub-frame 200 can be inclined at an angle when the substrate is lifted to reduce the force applied to the substrate. That is, the portion of the second part 202 can be reciprocated in the direction of the arrow due to the structure of the third part 203 extending diagonally.

또한, 도시된 바에 따르면, 메인프레임(100)은 너비 방향으로 돌출되어 상기 제1 파트(201)를 지지하는 제1 연장부(102)와, 상기 제3 파트(203)가 맞물리도록 돌출되는 제2 연장부(103)를 포함한다. The main body 100 includes a first extension portion 102 projecting in the width direction and supporting the first portion 201 and a second extension portion 102 projecting to engage the third portion 203 2 extending portion 103. [0035]

제2 연장부(103)는 너비 방향으로 연장되는 부분(103a)과, 상기 연장되는 부분(103a)의 일단부에 형성되어 상기 연장돌기(204)를 고정시키는 부분(103b)를 포함한다. The second extending portion 103 includes a portion 103a extending in the width direction and a portion 103b formed at one end of the extending portion 103a to fix the extending projection 204. [

다시 말해, 메인프레임(100)의 내주 면에는 결합홈(104a)이 형성되고, 결합홈(104a)의 일단에서 비스듬하게 연장되는 연장홈(104b)이 더 형성되어 연장돌기(204)가 맞물려 결합될 수 있게 한다. 연장홈(104b)과 연장돌기(204) 사이에는 이격공간(104c)이 형성될 수 있다. 상기 이격공간(104c)은 기판이 상하로 이동할 때 서브프레임(200)이 화살표 방향으로 진동하는 것을 용이하게 한다. In other words, a coupling groove 104a is formed on the inner peripheral surface of the main frame 100, and an extending groove 104b extending obliquely from one end of the coupling groove 104a is further formed, . A spacing space 104c may be formed between the extending groove 104b and the extending projection 204. [ The spacing space 104c facilitates vibrating the sub-frame 200 in the direction of the arrow when the substrate moves up and down.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따르는 서브프레임(200) 간의 체결 구조를 나타낸 개념도이다.5 is a conceptual view illustrating a fastening structure between subframes 200 according to an embodiment of the present invention.

서브프레임(200)은 일단이 서로 결합되는 여러 개의 피스들이 연결되어 형성된다. 도 5를 참조하면, 제1 피스(210)의 일단에는 상기 제1 피스(210)의 길이 방향으로 돌출되는 결합돌기(212)가 형성되고, 제2 피스(220)의 일단에는 상기 결합돌기(212)와 맞물리는 홈(224)이 형성된다. 즉, 제1 피스(210)의 일단부는 제2 피스(220)에 의하여 둘러쌓인다. 이러한 구조를 통해 제1 피스(210)와 제2 피스(220)가 서로 견고하게 결합됨과 동시에 피스간 단절에 의한 아킹이 발생하는 것을 방지할 수 있다. The subframe 200 is formed by connecting a plurality of pieces, one ends of which are coupled to each other. 5, a coupling protrusion 212 protruding in the longitudinal direction of the first piece 210 is formed at one end of the first piece 210, and the coupling protrusion 212 is formed at one end of the second piece 220 212 are formed. That is, one end of the first piece 210 is surrounded by the second piece 220. With this structure, it is possible to prevent the first piece 210 and the second piece 220 from being firmly coupled to each other and arcing due to the inter-piece disconnection.

도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따르는 서브프레임(200)의 구조를 나타낸 개념도이다. 6 is a conceptual diagram illustrating a structure of a subframe 200 according to another embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 메인프레임(100)은 너비 방향으로 돌출되어 상기 제1 파트(201)를 지지하는 제1 연장부(102)와, 상기 제3 파트(203)가 맞물리도록 돌출되는 제2 연장부(103)를 포함한다. 제1 연장부(102)는 상기 너비 방향과 교차하는 방향으로 돌출되는 돌출돌기(102a)를 더 포함한다. 6, the main frame 100 includes a first extension portion 102 projecting in a width direction and supporting the first part 201, and a second extension portion 102 projecting in a second direction And an extension portion 103. The first extension portion 102 further includes a protrusion 102a protruding in a direction intersecting with the width direction.

서브프레임(200)은 메인프레임(100)의 너비 방향으로 연장되고 메인 바디를 이루는 제1 파트(201)와, 상기 제1 파트(201)의 일측 단부에서 상기 너비 방향으로 돌출되어 기판을 지지하는 제2 파트(202)와, 상기 제1 파트(201)의 타측 단부에서 상기 너비 방향으로 돌출되어 형성되는 제3 파트(203) 등을 포함한다. 상기 제1 파트(201)는 상기 돌출돌기와 맞물리는 리세스홈을 더 포함할 수 있다. 상기 리세스홈이 존재함으로 인해 제1 파트(201)와 구분되는 지지파트(202a)가 더 형성될 수 있다. 도시된 바와 같이 기판이 상승할 때 제2 파트(202) 및 지지파트(202a)가 함께 상하로 이동하여 기판이 손상되는 것을 방지한다. The subframe 200 includes a first part 201 extending in the width direction of the main frame 100 and forming a main body and a second part 201 projecting in the width direction from one end of the first part 201 to support the substrate A second part 202 and a third part 203 protruding in the width direction from the other end of the first part 201. The first part 201 may further include a recessed groove engaging with the protrusion. The support part 202a may be further formed to be separated from the first part 201 due to the existence of the recessed groove. As shown, when the substrate rises, the second part 202 and the support part 202a move up and down together to prevent the substrate from being damaged.

본 발명의 일 실시예에 따른 쉐도우 프레임은 복수개의 피스가 서로 맞물리도록 형성되어 열팽창에 의한 뒤틀림을 줄일 수 있다. The shadow frame according to an embodiment of the present invention is formed so that a plurality of pieces are engaged with each other to reduce warping due to thermal expansion.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 메인프레임(100)과 서브프레임(200)의 재질을 다르게 제작하여 제조 단가를 줄임과 동시에 아킹 발생을 방지할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the main frame 100 and the subframe 200 may be made of different materials to reduce manufacturing cost and prevent arcing.

아울러, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 메인프레임(100)과 서브프레임(200) 사이의 독특한 체결구조에 의하여 별도의 구동 모듈 없이도 기판의 상승/하강에 대응하여 쉐도우 프레임이 기판에 밀착되어 움직인다. 이를 통해 증착 작업 시 기판이 쉐도우 프레임과 충돌하여 파손되는 것을 방지할 수 있다.  According to an embodiment of the present invention, the shadow frame is moved in close contact with the substrate corresponding to the rise / fall of the substrate without a separate drive module by a unique fastening structure between the main frame 100 and the sub frame 200 . Accordingly, it is possible to prevent the substrate from colliding with the shadow frame during the vapor deposition operation and being broken.

이상에서 설명한 쉐도우 프레임은 위에서 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.The above-described shadow frame is not limited to the configuration and method of the embodiments described above, but the embodiments may be configured by selectively combining all or a part of each embodiment so that various modifications can be made.

100 : 메인프레임 102 : 제1 연장부
102a : 돌출돌기 103 : 제2 연장부
104a : 결합홈 104b : 연장홈
200 : 서브프레임 201 : 제1 파트
202 : 제2 파트 203 : 제3 파트
204 : 연장돌기 210 : 제1 피스
220 : 제2 피스100: main frame 102: first extension part
102a: projecting projection 103: second extending portion
104a: coupling groove 104b: extended groove
200: Sub-frame 201: First part
202: Part 2 203: Part 3
204: extension protrusion 210: first piece
220: Second piece

Claims (12)

메인프레임; 및
상기 메인프레임의 둘레를 따라 결합되는 서브프레임을 포함하고,
상기 서브프레임은,
상기 메인프레임의 너비방향으로 연장되는 제1 파트;
상기 제1 파트의 일측단부에서 상기 너비 방향으로 돌출되어 형성되는 제2 파트; 및
상기 제1 파트의 타측단부에서 상기 너비 방향으로 돌출되어 형성되는 제3 파트를 포함하며,
상기 서브프레임은 상기 메인프레임의 내주면에 형성되는 결합홈에 맞물려 연결되는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임.Mainframe; And
And a subframe coupled along the periphery of the main frame,
The sub-
A first part extending in a width direction of the main frame;
A second part protruding from the one end of the first part in the width direction; And
And a third part protruding in the width direction from the other end of the first part,
Wherein the subframe is engaged with an engaging groove formed on an inner circumferential surface of the main frame. 제1항에 있어서,
상기 메인프레임과 서브프레임은 서로 다른 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임.The method according to claim 1,
Wherein the main frame and the sub-frame are formed of different materials. 제2항에 있어서,
상기 메인프레임은 알루미늄 재질로 형성되고,
상기 서브프레임은 세라믹 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임. 3. The method of claim 2,
The main frame is made of aluminum,
Wherein the subframe is formed of a ceramic material. 제1항에 있어서,
상기 메인프레임과 서브프레임은 서로 같은 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임.The method according to claim 1,
Wherein the main frame and the sub-frame are formed of the same material. 제4항에 있어서,
상기 메인프레임 및 서브프레임은 세라믹 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임.5. The method of claim 4,
Wherein the main frame and the subframe are formed of a ceramic material. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 결합홈은 상기 메인프레임의 너비 방향에서 일정 각도 기울어져 연장되는 연장홈을 포함하고,
상기 제3 파트는 상기 연장홈에 삽입되는 연장돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임. The method according to claim 1,
Wherein the engaging groove includes an elongated groove which is inclined at a predetermined angle in the width direction of the main frame,
And the third part includes an extending projection inserted into the extending groove. 제1항에 있어서,
상기 메인프레임은,
상기 너비 방향으로 돌출되어 상기 제1 파트와 오버랩되는 제1 연장부; 및
상기 제3 파트와 맞물리도록 형성되는 제2 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임. The method according to claim 1,
The main frame includes:
A first extension part protruding in the width direction and overlapped with the first part; And
And a second extension formed to be engaged with the third part. 제8항에 있어서,
상기 제1 연장부는 상기 너비 방향과 교차하는 방향으로 돌출되는 돌출돌기를 포함하고,
상기 제1 파트는 상기 돌출돌기와 맞물리는 리세스홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임. 9. The method of claim 8,
Wherein the first extending portion includes a protrusion protruding in a direction intersecting with the width direction,
Wherein the first part includes a recessed groove engaging with the protruding projection. 제1항에 있어서,
상기 서브프레임은,
일단이 서로 연결되도록 형성되는 제1 피스 및 제2 피스를 포함하는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임. The method according to claim 1,
The sub-
And a first piece and a second piece which are formed such that one ends thereof are connected to each other. 제10항에 있어서,
상기 제1 피스는 굽은 형상을 취하도록 형성되고,
상기 제2 피스는 직선 형상을 취하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임.11. The method of claim 10,
The first piece is formed to take a bent shape,
And the second piece is formed to take a linear shape. 제11항에 있어서,
상기 제1 피스의 일단에는 길이방향으로 돌출되는 결합돌기가 형성되고,
상기 제2 피스의 일단에는 상기 결합돌기와 맞물리는 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 쉐도우 프레임.
12. The method of claim 11,
Wherein one end of the first piece is formed with a coupling protrusion protruding in the longitudinal direction,
And one end of the second piece includes a groove engaging with the engaging projection.
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