KR102123042B1 - 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 - Google Patents
신규한 화합물 반도체 및 그 활용 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102123042B1 KR102123042B1 KR1020170177275A KR20170177275A KR102123042B1 KR 102123042 B1 KR102123042 B1 KR 102123042B1 KR 1020170177275 A KR1020170177275 A KR 1020170177275A KR 20170177275 A KR20170177275 A KR 20170177275A KR 102123042 B1 KR102123042 B1 KR 102123042B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- compound semiconductor
- compound
- formula
- heat treatment
- mole
- Prior art date
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 107
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 82
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 32
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 229910020712 Co—Sb Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 17
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 29
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 20
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000002490 spark plasma sintering Methods 0.000 description 4
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 3
- 238000000224 chemical solution deposition Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 3
- 230000002087 whitening effect Effects 0.000 description 3
- 241000218033 Hibiscus Species 0.000 description 2
- 235000005206 Hibiscus Nutrition 0.000 description 2
- 235000007185 Hibiscus lunariifolius Nutrition 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical group [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 CdS Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000000313 electron-beam-induced deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002611 ovarian Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B19/00—Selenium; Tellurium; Compounds thereof
- C01B19/007—Tellurides or selenides of metals
-
- H01L49/00—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L31/0264—Inorganic materials
- H01L31/0272—Selenium or tellurium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L31/0264—Inorganic materials
- H01L31/032—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only compounds not provided for in groups H01L31/0272 - H01L31/0312
- H01L31/0321—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only compounds not provided for in groups H01L31/0272 - H01L31/0312 characterised by the doping material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/186—Particular post-treatment for the devices, e.g. annealing, impurity gettering, short-circuit elimination, recrystallisation
-
- H01L35/16—
-
- H01L35/18—
-
- H01L35/34—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/01—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/85—Thermoelectric active materials
- H10N10/851—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/85—Thermoelectric active materials
- H10N10/851—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions
- H10N10/852—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions comprising tellurium, selenium or sulfur
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/85—Thermoelectric active materials
- H10N10/851—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions
- H10N10/853—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions comprising arsenic, antimony or bismuth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/50—Solid solutions
- C01P2002/52—Solid solutions containing elements as dopants
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
- C01P2002/77—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data by unit-cell parameters, atom positions or structure diagrams
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/32—Thermal properties
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/40—Electric properties
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Abstract
본 발명은 태양 전지, 열전 재료 등의 용도로 사용될 수 있는 신규한 화합물 반도체 및 그 활용에 관한 것이다.
Description
본 발명은 태양 전지, 열전 재료 등의 용도로 사용될 수 있는 신규한 화합물 반도체 물질 및 그 제조방법과, 이를 이용한 용도에 관한 것이다.
화합물 반도체는 실리콘이나 게르마늄과 같은 단일 원소가 아닌 2종 이상의 원소가 결합되어 반도체로서 동작하는 화합물이다. 이러한 화합물 반도체는 현재 다양한 종류가 개발되어 다양한 분야에서 사용되고 있다. 대표적으로, 펠티어 효과(Peltier Effect)를 이용한 열전 변환 소자, 광전 변환 효과를 이용한 발광 다이오드나 레이저 다이오드 등의 발광 소자와 태양 전지 등에 화합물 반도체가 이용될 수 있다.
이 중 열전 변환 소자는 열전 변환 발전이나 열전 변환 냉각 등에 적용될 수 있는데, 이 중 열전 변환 발전은 열전 변환 소자에 온도차를 둠으로써 발생하는 열기전력을 이용하여, 열 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 발전 형태이다.
이러한 열전 변환 소자의 에너지 변환 효율은 열전 변환 재료의 성능 지수 값인 ZT에 의존한다. 여기서, ZT는 제벡(Seebeck) 계수, 전기 전도도 및 열 전도도 등에 따라 결정되는데, 보다 구체적으로는 제벡 계수의 제곱 및 전기 전도도에 비례하며, 열전도도에 반비례한다. 따라서, 열전 변환 소자의 에너지 변환 효율을 높이기 위하여, 제백 계수 또는 전기 전도도가 높거나 열전도도가 낮은 열전 변환 재료의 개발이 필요하다.
한편, 태양 전지는 자연에 존재하는 태양광 이외에 별도의 에너지원을 필요로 하지 않는다는 점에서 친환경적이므로, 미래의 대체 에너지원으로 활발히 연구되고 있다. 태양 전지는, 주로 실리콘의 단일 원소를 이용하는 실리콘 태양 전지와, 화합물 반도체를 이용하는 화합물 반도체 태양 전지, 그리고 서로 다른 밴드갭 에너지(bandgap energy)를 갖는 태양 전지를 둘 이상 적층한 적층형(tandem) 태양 전지 등으로 구별될 수 있다.
이 중 화합물 반도체 태양 전지는, 태양광을 흡수하여 전자-정공 쌍을 생성하는 광흡수층에 화합물 반도체를 사용하는데, 특히 GaAs, InP, GaAlAs, GaInAs 등의 Ⅴ족 화합물 반도체, CdS, CdTe, ZnS 등의 Ⅵ족 화합물 반도체, CuInSe2로 대표되는 Ⅲ족 화합물 반도체 등을 사용할 수 있다.
태양 전지의 광흡수층은, 장기적인 전기, 광학적 안정성이 우수하고, 광전 변환 효율이 높으며, 조성의 변화나 도핑에 의해 밴드갭 에너지나 도전형을 조절하기가 용이할 것 등이 요구된다. 또한, 실용화를 위해서는 제조 비용이나 수율 등의 요건도 만족해야 한다. 그러나, 종래의 여러 화합물 반도체들은 이러한 요건들을 모두 함께 만족시키지는 못하고 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 열전 변환 소자의 열전 변환 재료, 태양 전지 등과 같이 다양한 용도로 활용될 수 있는 신규한 화합물 반도체 물질과 그 제조 방법, 및 이를 이용한 열전 변환 소자나 태양 전지 등을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명자는 화합물 반도체에 관한 거듭된 연구 끝에 Co-Sb 스커테루다이트 화합물; 상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물의 내부 공극에 포함된 Sn 및 S; 및 상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물의 Sb와 치환된 Q를 포함하고, 하기 화학식 1로 표시되는 화합물 반도체를 합성하는데 성공하고, 이 화합물이 열전 변환 소자의 열전 변환 재료나 태양 전지의 광흡수층 등에 사용될 수 있음을 확인하여 본 발명을 완성하였다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상에 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명은 Co-Sb 스커테루다이트 화합물; 상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물의 내부 공극에 포함된 Sn 및 S; 및 상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물의 Sb와 치환된 Q를 포함하고, 다음과 같은 화학식 1로 표시되는 신규한 화합물 반도체를 제공한다.
[화학식 1]
SnxSyCo4Sb12-zQz
상기 화학식 1에서, Q는 O, Se 및 Te로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상이고, 0<x<0.2, 0<y≤1 및 0<z<12이다. 상기 O, Se 및 Te로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 원소란 O, Se, Te 단독 또는 이들의 2종 이상의 혼합을 의미할 수 있다.
상기 화학식1에서 Sn은 주석(tin) 원소를 표시하는 원소기호이며, S는 황(sulfur) 원소를 표시하는 원소기호이며, Co는 코발트(cobalt) 원소를 표시하는 원소기호이며, Sb는 안티모니(antimony) 원소를 표시하는 원소기호이며, Q는 산소(oxygen), 셀레늄(selenium), 및 텔루륨(tellurium)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 원소를 대신하는 의미로 사용되었다.
또한, 상기 화학식1에서 x는 주석(tin) 원소의 상대적인 몰비율, y는 황(sulfur) 원소의 상대적인 몰비율, z는 산소(oxygen), 셀레늄(selenium), 및 텔루륨(tellurium)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 원소의 상대적인 몰비율을 의미한다.
바람직하게는, 상기 화학식 1에서 Q는 Se 또는 Te일 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 화학식 1에서 Q는 Te일 수 있다.
상기 화학식1에서 Sb 위치에 Q를 치환시킴으로서, 캐리어 농도(carrier concentration)가 증가하고, 이를 통해 상기 화학식1의 화합물 반도체의 전기적 특성이 향상될 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 화학식 1에서 x는, 0.01≤x≤0.18인 것이 좋다.
더욱 바람직하게는, 상기 화학식 1에서 x는, 0.05≤x≤0.15인 것이 좋다.
상기 화학식 1에서 x가 0.2 이상으로 증가할 경우, Sn 및 S가 Co-Sb 격자 내부의 빈 공간에 위치하지 못한채 SnS 등의 이차상을 형성하므로 상기 화학식1의 화합물 반도체의 열전도도가 급격히 증가함에 따라, 열전 성능이 감소할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 화학식 1에서 y는, 0<y≤0.5인 것이 좋다.
본 발명자들은 우수한 열전 성능을 갖는 N 형 스커테루다이트 열전재료에 관한 연구를 진행하여, Co-Sb 스커테루다이트 화합물에 충진재로 Sn 및 S의 원소를 멀티 충진하고,Sb 자리에 특정 전하 보상재를 도핑하는 경우,격자 열전도도가 낮아지고,출력인자가 상승하여 높은 열전변환 효율을 나타냄을 실험을 통하여 확인하고 발명을 완성하였다.
상기 스커테루다이트 화합물은 하기 도2에 나타난 바와 같은 단위격자 구조를 가질 수 있으며, 구체적으로 단위격자 내에서는, 금속원자가 8개의 꼭지점에 위치하고, 내부에 비금속원자 4개가 평면구조를 이루고 있는 정육면체 구조를 6개 함유하고, 금속원자가 8개의 꼭지점에 위치하고, 내부가 비어있는 정육면체 구조를 2개 함유할 수 있다.
본 발명에서는,Co-Sb 스커테루다이트 화합물 단위격자에 포함된 공극 (void)에 Sn 및 S 원소를 하기 도 1과 같이 충진재 (filler)로 충진하여, 래틀링(ratt1ing)효과를 유발시킴으로써 격자 열전도도를 감소시키고,Sn을 통해 추가 전자를 공급하고, S에 의해 홀을 공급하는 화학적 특성을 통해 전하 운반자 농도를 최적 수준으로 조절할 수 있다. 이와 같이, 격자 열전도도가 감소되고, 출력인자가 향상된 N 형 스커테루다이트 열전재료는 보다 향상된 열전 특성을 나타낼 수 있다.
또한, 상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물에서, Sb 자리에 O, Se 및 Te로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상의 원소가 치환(도핑)될 수 있으며,상기 Sb 자리에 치환(도핑)된 원소의 도핑량 z 는 0<z<12 범위의 값을 갖는다. 특히, 상기 도핑량 z 값이 0.2를 초과하는 경우,이차상의 형성으로 열전특성이 저하될 수 있기 때문에, 0<z≤0.2 인 것이 바람직하다.
이와 같이, Sb 자리에 특정 전하 보상재가 치환(도핑)된 N형 스커테루다이트 열전재료는 전하운반자 농도를 제어하여 최적화할 수 있고, 격자 열전도도를 감소시켜 보다 높은 열전 성능지수 ZT 값을 가질 수 있다.
특히, Sb 자리에 치환(도핑)되는 전하 보상재로는 Te 또는 Se를 사용하는 것이 바람직한데, 이는 N형 스커테루다이트 열전재료에서,Te 또는 Se의 경우 각 원자의 이온화도에 따라 세부적으로는 차이가 있지만, 이로부터 제공되는 전자의 농도가 충분히 높아 추가적인 전자를 제공할 수 있어, 전하운반자 농도를 제어 및 최적화할 수 있기 때문이다.
반면, 상기 Sb 자리에 치환(도핑)되는 전하 보상재로 Sn을 사용하는 경우, Sn으로부터 제공되는 전자의 농도가 작아 추가적인 정공을 제공하게 되어,P형 스커테루다이트 열전재료에 적합하며, N형 스커테루다이트 열전재료로 사용하기 어려운 한계가 있다.
즉, 상기 일 구현예의 화합물 반도체는 Co-Sb 스커테루다이트 화합물; 상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물의 내부 공극에 포함된 Sn 및 S; 및 상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물의 Sb와 치환된 Q를 포함할 수 있다. 또한, 상기 일 구현예의 화합물 반도체는 N형 화합물 반도체로 사용될 수 있다.
한편, 상기 화학식1의 화합물 반도체는 Sn과 S를 함께 포함함에 따라, 고온에서도 산화에 대한 안정성이 높아 공정 비용을 최소화하면서, 열전 모듈 내에서 내구성을 향상시킬수 있을 뿐 아니라, 상기 화학식1의 화합물 반도체의 열전도도를 현저히 감소시켜 향상된 열전성능을 구현할 수 있다.
이때, 상기 화학식 1의 y 1몰에 대한 x의 몰비는 0.1 몰 내지 0.9 몰, 또는 0.2 몰 내지 0.8 몰, 또는 0.25 몰 내지 0.75 몰일 수 있다. 상기 화학식 1의 y 1몰에 대한 x의 몰비가 0.9 초과로 증가할 경우, 상기 화학식1의 화합물 반도체의 열전도도가 급격히 증가함에 따라, 열전 성능이 감소할 수 있다. 또한, 상기 화학식 1의 y 1몰에 대한 x의 몰비가 0.1 미만으로 감소할 경우, 상기 화학식1의 화합물 반도체 내에서 Sn의 함량이 충분치 못해, Sn 첨가에 따른 효과를 충분히 구현하기 어렵다.
바람직하게는, 상기 화학식 1에서 z는, 0<z≤4이다.
더욱 바람직하게는, 상기 화학식 1에서 z는, 0<z≤2.5인 것이 좋다.
가장 바람직하게는, 상기 화학식 1에서 z는, 0<z≤1.5인 것이 좋다.
한편, 상기 화학식 1로 표시되는 화합물 반도체에는, 2차상이 일부 포함될 수 있으며, 그 양은 열처리 조건에 따라 달라질 수 있다.
본 발명에 따른 화합물 반도체는, O, Se 및 Te로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 원소, Sn, S, Co 및 Sb를 포함하는 혼합물을 형성하는 단계 및 이러한 혼합물을 열처리하는 단계를 포함하여 제조될 수 있다. 상기 O, Se 및 Te로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 원소는 O, Se, Te 단독 또는 이들의 2종 이상의 혼합을 의미할 수 있다.
한편, 상기 혼합물 형성 단계에서 혼합되는 각 원료는 분말 형태일 수 있으나, 본 발명이 반드시 이러한 혼합 원료의 특정 형태에 의해 제한되는 것은 아니다.
또한 바람직하게는, 상기 열처리 단계는, 진공 중 또는 수소를 일부 포함하고 있거나 수소를 포함하지 않는 Ar, He, N2 등의 기체를 흘리면서 수행될 수 있다.
이때, 열처리 온도는 400 ℃ 내지 800 ℃일 수 있다. 바람직하게는, 상기 열처리 온도는 450 ℃ 내지 700 ℃ 일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 열처리 온도는 500 ℃ 내지 700 ℃일 수 있다.
한편, 상기 열처리 단계는, 둘 이상의 열처리 단계를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 혼합물을 형성하는 단계, 즉 원료를 혼합하는 단계에서 형성된 혼합물에 대하여, 제1 온도에서 1차 열처리를 수행한 후, 제2 온도에서 2차 열처리를 수행할 수도 있다.
이 경우, 상기 복수의 열처리 단계 중 일부 열처리 단계는, 원료를 혼합하는 상기 혼합물 형성 단계에서 수행될 수 있다.
예를 들어, 상기 열처리 단계는, 1차 열처리 단계, 2차 열처리 단계 및 3차 열처리 단계의 3개의 열처리 단계를 포함할 수 있다. 그리고, 1차 열처리 단계는 400 ℃ 내지 600 ℃의 온도 범위에서 수행될 수 있고, 2차 열처리 단계 및 3차 열처리 단계는 600 ℃ 내지 800 ℃의 온도 범위에서 수행될 수 있다. 이때, 1차 열처리 단계는 원료가 혼합되는 혼합물 형성 단계 중에 수행되고, 2차 열처리 단계 및 3차 열처리 단계는 그 이후에 순차적으로 수행될 수 있다.
상기 열처리 단계 이후에는, 열처리된 혼합물을 냉각시키는 단계를 포함할 수 있다. 상기 냉각단계는 상기 열처리된 혼합물의 온도를 상온(약 20 ℃ 내지 30 ℃)에 이르도록 수행되며, 종래 알려진 다양한 냉각방법 또는 냉각장치를 제한없이 사용할 수 있다.
한편, 상기 열처리 또는 필요에 따라 열처리 후 냉각된 혼합물에 대해서 추가적으로 가압 소결단계를 더 거칠 수 있다. 상기 가압 소결 단계를 진행하는 구체적인 방법의 예가 크게 한정되는 것은 아니나, 바람직하게는 핫프레스 방식 또는 방전 플라즈마 소결 (spark plasma sintering: SPS) 방식을 사용할 수 있다. 상기 가압 소결단계는 구체적으로, 500 ℃ 내지 700 ℃의 온도 및 20 MPa 내지 50 MPa 압력에서 10 분 내지 60 분간 진행될 수 있다.
상기 소결 온도가 500 ℃ 미만이거나 소결시간 및 압력이 낮을 경우 고밀도 의 소결체를 얻을 수 없다. 또한 압력이 높을 경우, 적용 몰드 및 장비의 위험을 초래할 수 있기 때문에 바람직하지 못하다.
특히, 바람직하게는 방전 플라즈마 소결 (spark plasma sintering: SPS) 방식을 사용할 수 있다. 방전플라즈마 소결법 (spark plasma sintering, SPS)은 분말이나 판재를 1축으로 가압하면서 가압방향과 평행한 방향으로 직류필스 전류를 인가하여 소결하는 방법으로서,분말이나 판재에 압력과 저전압 및 대전류를 투입하고 이때 발생하는 스파크에 의해 순식간에 발생하는 플라즈마의 고에너지를 전계확산, 열확산 등에 응용하는 소결법이다. 이러한 방전 플라즈마 소결법은 종래 열간압축법 (Hot Press)에 비해서,소결 온도가 더 낮고, 승온 및 유지시간을 포함하여 단시간에 소결을 완료할 수 있기 때문에, 전력소비가 크게 줄며, 취급이 간편하고, 러닝코스트가 저렴하다. 또한 소결기술에 대한 숙련이 필요하지 않고,난소결재 및 고온에서 가공이 어려운 재료들에 대해서도 적용이 가능하다는 이점이 있다.
상기 가압 소결단계을 진행하기 전에 열처리 또는 필요에 따라 열처리 후 냉각된 혼합물을 분쇄하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 분쇄방법의 예는 크게 한정되지 않으며, 종래 알려진 다양한 분쇄방법 또는 분쇄장치를 제한없이 적용할 수 있다.
본 발명에 따른 열전 변환 소자는, 상술한 화합물 반도체를 포함할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 화합물 반도체는 열전 변환 소자의 열전 변환 재료로 이용될 수 있다. 특히, 본 발명에 따른 화합물 반도체는 열전 변환 재료의 성능 지수값인 ZT가 크다. 또한, 제백 계수 및 전기 전도도가 크고, 열 전도도가 낮아 열전 변환 성능이 우수하다. 따라서, 본 발명에 따른 화합물 반도체는, 종래의 열전 변환 재료를 대체하거나 종래의 화합물 반도체에 더하여 열전 변환 소자에 유용하게 이용될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 태양 전지는, 상술한 화합물 반도체를 포함할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 화합물 반도체는 태양 전지, 특히 태양 전지의 광 흡수층으로 이용될 수 있다.
태양 전지는, 태양광이 입사되는 쪽에서부터 순차적으로, 전면 투명 전극, 버퍼층, 광 흡수층, 배면 전극 및 기판 등이 적층된 구조로 제조할 수 있다. 가장 아래에 위치하는 기판은 유리로 이루어질 수 있으며, 그 위에 전면적으로 형성되는 배면 전극은 Mo 등의 금속을 증착함으로써 형성될 수 있다.
이어서, 배면 전극 상부에 본 발명에 따른 화합물 반도체를 전자빔 증착법, 졸-겔(sol-gel)법, PLD(Pulsed Laser Deposition) 등의 방법으로 적층함으로써 상기 광 흡수층을 형성할 수 있다. 이러한 광 흡수층의 상부에는, 전면 투명 전극으로 사용되는 ZnO층과 광 흡수층 간의 격자 상수 차이 및 밴드갭 차이를 완충하는 버퍼층이 존재할 수 있는데, 이러한 버퍼층은 CdS 등의 재료를 CBD(Chemical Bath Deposition) 등의 방법으로 증착함으로써 형성될 수 있다. 다음으로, 버퍼층 위에 ZnO나 ZnO 및 ITO의 적층막으로 전면 투명 전극이 스퍼터링 등의 방법으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 태양 전지는 다양한 변형이 가능할 수 있다. 예를 들어, 본 발명에 따른 화합물 반도체를 광 흡수층으로 사용한 태양 전지를 적층한 적층형 태양 전지를 제조할 수 있다. 그리고, 이와 같이 적층된 다른 태양전지는 실리콘이나 다른 알려진 화합물 반도체를 이용한 태양 전지를 사용할 수 있다.
또한, 본 발명의 화합물 반도체의 밴드 갭을 변화시킴으로써 서로 다른 밴드갭을 가지는 화합물 반도체를 광 흡수층으로 사용하는 복수의 태양 전지를 적층할 수도 있다. 본 발명에 따른 화합물 반도체의 밴드 갭은 이 화합물을 이루는 구성 원소, 특히 Te의 조성비를 변화시킴으로써 조절이 가능할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 화합물 반도체는 적외선을 선택적으로 통과시키는 적외선 윈도우(IR window)나 적외선 센서 등에도 적용될 수 있다.
본 발명에 의하면, 신규한 화합물 반도체 물질이 제공된다. 본 발명의 일 측면에 의하면, 이러한 신규한 화합물 반도체는 종래의 화합물 반도체를 대체하거나 종래의 화합물 반도체에 더하여 또 다른 하나의 소재로서 사용될 수 있다.
더욱이, 본 발명의 일 측면에 의하면, 화합물 반도체의 열전 변환 성능이 양호하여 열전 변환 소자에 유용하게 이용될 수 있다. 특히, 본 발명에 따른 화합물 반도체는 열전 변환 소자의 열전 변환 재료로 이용될 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 측면에 의하면, 화합물 반도체가 태양 전지에 이용될 수 있다. 특히, 본 발명에 따른 화합물 반도체는 태양 전지의 광흡수층으로 이용될 수 있다.
뿐만 아니라, 본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 화합물 반도체가 적외선을 선택적으로 통과시키는 적외선 윈도우(IR window)나 적외선 센서, 마그네틱 소자, 메모리 등에도 이용될 수 있다.
도 1은 실시예1 화합물의 단위격자를 나타낸 것이다.
도 2는 스커테루다이트 화합물의 단위격자를 나타낸 것이다.
도 2는 스커테루다이트 화합물의 단위격자를 나타낸 것이다.
발명을 하기의 실시예에서 보다 상세하게 설명한다. 단, 하기의 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기의 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1 내지 3: 화합물 반도체의 제조>
실시예1
Co4Sb12 스커테루다이트 화합물; 상기 Co4Sb12 스커테루다이트 화합물의 내부 공극에 Sn 및 S이 충진되고, 상기 Co4Sb12 스커테루다이트 화합물의 Sb에 Te가 도핑된 Sn0.05S0.2Co4Sb11.4Te0.6를 다음 방법으로 합성하였다.
파우더 형태의 Sn, S, Co, Sb 및 Te를 칭량한 후, 이들을 알루미나 몰타르(alumina mortar)에 넣고 혼합하였다. 혼합된 재료는 초경 몰드에 넣어 펠렛을 만들고, 퓨즈드 실리카 튜브(fused silica tube) 에 넣고 진공 밀봉하였다. 그리고, 이를 박스 퍼니스(box furnace)에 넣어 680 ℃에서 15시간 가열하고, 이후 실온까지 서서히 식혀 Sn0.05S0.2Co4Sb11.4Te0.6를 합성하였다.
그리고, 상기 합성된 화합물을 방전 플라즈마 소결용 그라파이트 몰드에 충진한 후, 650 ℃ 온도, 50MPa 압력에서 10 분간 방전 플라즈마 소결하여 상기 실시예1의 화합물 반도체를 제조하였다. 이때, 상기 화합물 반도체의 상대 밀도는 98%이상으로 측정되었다.
실시예2
혼합물 조성을 Sn0.1S0.2Co4Sb11.4Te0.6로 변경한 것을 제외하고, 상기 실시예1과 동일한 방법으로 화합물 반도체를 제조하였다.
실시예3
혼합물 조성을 Sn0.15S0.2Co4Sb11.4Te0.6로 변경한 것을 제외하고, 상기 실시예1과 동일한 방법으로 화합물 반도체를 제조하였다.
<비교예 1 내지 3: 화합물 반도체의 제조>
비교예1
시약으로 S, Co, Sb 및 Te를 준비하고, 혼합물 조성을 S0.2Co4Sb11.4Te0.6로 변경한 것을 제외하고, 상기 실시예1과 동일한 방법으로 화합물 반도체를 제조하였다.
비교예2
시약으로 Sn, Co, Sb 및 Te를 준비하고, 혼합물 조성을 Sn0.05Co4Sb11.4Te0.6로 변경한 것을 제외하고, 상기 실시예1과 동일한 방법으로 화합물 반도체를 제조하였다.
비교예3
혼합물 조성을 Sn0.2S0.2Co4Sb11.4Te0.6로 변경한 것을 제외하고, 상기 실시예1과 동일한 방법으로 화합물 반도체를 제조하였다.
<실험예: 실시예 및 비교예에서 얻어진 화합물 반도체의 물성 측정>
상기 실시예 및 비교에에서 얻어진 화합물 반도체의 물성을 하기 방법으로 측정하였으며, 그 결과를 표1 및 표2에 나타내었다.
1. 격자 열전도도(W/mK)
상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 화합물 반도체를 직경 12.7 mm, 높이 1.5 mm의 coin-type으로 가공하여 시편을 제조하였다. 그리고, 상기 시편에 대하여, 50 ℃에서 500 ℃ 까지의 범위에서 레이저 플래시법(Netzsch, LFA-457)에 의한 열확산도, 비열 그리고 밀도의 측정값으로부터 열전도도를 산출한 다음, 로렌츠 넘버를 계산하고 그 값을 산출된 열전도도에 적용시켜 격자 열전도도 구하였고, 그 결과를 하기 표 1 에 나타내었다.
구분 | 온도(℃) | 격자 열전도도(W/mK) |
실시예1 | 50 | 2.00 |
100 | 1.86 | |
200 | 1.65 | |
300 | 1.49 | |
400 | 1.38 | |
500 | 1.30 | |
실시예2 | 50 | 1.90 |
100 | 1.78 | |
200 | 1.58 | |
300 | 1.43 | |
400 | 1.33 | |
500 | 1.27 | |
실시예3 | 50 | 1.93 |
100 | 1.80 | |
200 | 1.59 | |
300 | 1.44 | |
400 | 1.35 | |
500 | 1.30 | |
비교예1 | 50 | 2.19 |
100 | 2.04 | |
200 | 1.80 | |
300 | 1.62 | |
400 | 1.51 | |
500 | 1.44 | |
비교예2 | 50 | 3.27 |
100 | 3.00 | |
200 | 2.56 | |
300 | 2.23 | |
400 | 1.99 | |
500 | 1.85 | |
비교예3 | 50 | 2.29 |
100 | 2.14 | |
200 | 1.92 | |
300 | 1.78 | |
400 | 1.71 | |
500 | 1.70 |
상기 표1에 나타난 바와 같이, 실시예 1 내지 3의 화합물 반도체는 Sn 및 S가 동시에 충진됨에 따라, 전체 온도 측정 구간에 걸쳐 비교예1 및 2에 비해 격자열전도도가 낮아지는 것을 확인할 수 있었다.
또한, 비교예 3과 같이 Sn을 과량으로 충진시킨 경우, Sn 및 S가 Co-Sb 격자 내부의 빈 공간에 위치하지 못한채 SnS 등의 이차상을 형성하므로 실시예에 비해 격자 열전도도가 높아짐을 확인할 수 있었다.
2. 열전성능지수(ZT)
상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 화합물 반도체를 가로 3 mm, 세로 3 mm, 높이 12 mm의 rectangular-type으로 가공하여 시편을 제조하였다. 그리고, 상기 시편에 대하여 50 ℃ 에서 500 ℃까지의 범위에서 ZEM-3(Ulvac-Rico, Inc)를 사용하여 전기전도도 및 제벡 계수를 측정하였다.
그리고, 상기 측정된 전기전도도, 제백 계수와, 상술한 실험예1의 열전도도 값을 이용하여 하기 수학식을 통해 열전성능지수(ZT)를 산출하고 그 결과를 하기 표2에 나타내었다.
[수학식]
ZT = σS2T/K
여기서, ZT는 열전성능지수, σ는 전기 전도도, S는 제벡 계수, T는 온도, K는 열전도도를 나타낸다.
구분 | 온도(℃) | 열전성능지수 |
실시예1 | 50 | 0.26 |
100 | 0.35 | |
200 | 0.57 | |
300 | 0.81 | |
400 | 1.04 | |
500 | 1.24 | |
실시예2 | 50 | 0.27 |
100 | 0.36 | |
200 | 0.58 | |
300 | 0.82 | |
400 | 1.05 | |
500 | 1.26 | |
실시예3 | 50 | 0.28 |
100 | 0.37 | |
200 | 0.60 | |
300 | 0.84 | |
400 | 1.08 | |
500 | 1.28 | |
비교예1 | 50 | 0.25 |
100 | 0.34 | |
200 | 0.54 | |
300 | 0.76 | |
400 | 0.98 | |
500 | 1.18 | |
비교예2 | 50 | 0.19 |
100 | 0.26 | |
200 | 0.43 | |
300 | 0.61 | |
400 | 0.81 | |
500 | 0.99 | |
비교예3 | 50 | 0.23 |
100 | 0.31 | |
200 | 0.50 | |
300 | 0.70 | |
400 | 0.88 | |
500 | 1.03 |
상기 표2에 나타난 바와 같이, 실시예 1 내지 3의 화합물 반도체는 Sn 및 S가 동시에 충진됨에 따라, 전체 온도 측정 구간에 걸쳐 비교예1 및 2에 비해 열전성능지수가 향상되는 것을 확인할 수 있었다.
또한, 비교예 3과 같이 Sn을 과량으로 충진시킨 경우, 실시예에 비해 열전성능지수가 현저히 낮아져 열전재료로서 적용이 어렵다는 점을 확인할 수 있었다.
Claims (14)
- Co-Sb 스커테루다이트 화합물; 상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물의 내부 공극에 포함된 Sn 및 S; 및 상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물의 Sb와 치환된 Q를 포함하고, 하기 화학식 1로 표시되는 화합물 반도체:
[화학식 1]
SnxSyCo4Sb12-zQz
상기 화학식 1에서, Q는 O, Se 및 Te로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상이고, 0<x<0.2, 0<y≤1 및 0<z<12이고,
상기 화학식 1의 y 1몰에 대한 x의 몰비는 0.2 몰 내지 0.8 몰이다.
- 삭제
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 화학식 1의 z는 0<z≤4인, 화합물 반도체.
- 제1항에 있어서,
상기 화학식 1의 z 1몰에 대한 x의 몰비는 0.01 몰 내지 0.5 몰인, 화합물 반도체.
- 제1항에 있어서,
상기 화학식 1의 z 1몰에 대한 x의 몰비는 0.05 몰 내지 0.3 몰인, 화합물 반도체.
- 제1항에 있어서,
상기 Co-Sb 스커테루다이트 화합물은 단위격자당 2개의 공극을 포함하는, 화합물 반도체.
- 제1항에 있어서,
상기 화합물 반도체는,
N형 화합물 반도체인, 화합물 반도체.
- O, Se 및 Te로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 원소, Sn, S, Co 및 Sb를 포함하는 혼합물을 형성하는 단계; 및
상기 혼합물을 열처리하는 단계를 포함하는 제1항의 화합물 반도체의 제조 방법.
- 제9항에 있어서,
상기 열처리 단계는, 400 ℃ 내지 800 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체의 제조 방법.
- 제9항에 있어서,
상기 열처리 단계는, 둘 이상의 열처리 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체의 제조 방법.
- 제9항에 있어서,
상기 혼합물을 열처리 단계 이후, 가압 소결 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체의 제조 방법.
- 제1항, 제4항, 제5항, 제6항, 제7항, 또는 제8항 중 어느 한 항에 따른 화합물 반도체를 포함하는 열전 변환 소자.
- 제1항, 제4항, 제5항, 제6항, 제7항, 또는 제8항 중 어느 한 항에 따른 화합물 반도체를 포함하는 태양 전지.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201780025805.3A CN109275341B (zh) | 2016-12-28 | 2017-12-22 | 化合物半导体及其用途 |
JP2018552661A JP6775841B2 (ja) | 2016-12-28 | 2017-12-22 | 新規な化合物半導体およびその活用 |
EP17886732.1A EP3447812B1 (en) | 2016-12-28 | 2017-12-22 | Novel compound semiconductor and use thereof |
PCT/KR2017/015374 WO2018124660A1 (ko) | 2016-12-28 | 2017-12-22 | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 |
US16/095,029 US11072530B2 (en) | 2016-12-28 | 2017-12-22 | Compound semiconductor and use thereof |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160181147 | 2016-12-28 | ||
KR20160181147 | 2016-12-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180077040A KR20180077040A (ko) | 2018-07-06 |
KR102123042B1 true KR102123042B1 (ko) | 2020-06-15 |
Family
ID=62921148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020170177275A KR102123042B1 (ko) | 2016-12-28 | 2017-12-21 | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11072530B2 (ko) |
EP (1) | EP3447812B1 (ko) |
JP (1) | JP6775841B2 (ko) |
KR (1) | KR102123042B1 (ko) |
CN (1) | CN109275341B (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102509270B1 (ko) * | 2019-04-11 | 2023-03-10 | 주식회사 엘지화학 | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6207888B1 (en) | 1997-10-10 | 2001-03-27 | Marlow Industries, Inc. | Semiconductor materials with skutterudite type crystal lattice structures optimized for selected thermoelectric properties and methods of preparation |
US6369314B1 (en) | 1997-10-10 | 2002-04-09 | Marlow Industries, Inc. | Semiconductor materials with partially filled skutterudite crystal lattice structures optimized for selected thermoelectric properties and methods of preparation |
JP4309005B2 (ja) | 2000-01-14 | 2009-08-05 | 株式会社東芝 | 熱電材料とその設計法 |
US7648552B2 (en) | 2004-07-23 | 2010-01-19 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Filled skutterudites for advanced thermoelectric applications |
KR100910158B1 (ko) * | 2007-09-10 | 2009-07-30 | 충주대학교 산학협력단 | Sn 충진 및 Te 도핑된 스커테루다이트계 열전재료 및그 제조방법 |
KR100910173B1 (ko) * | 2007-09-10 | 2009-07-30 | 충주대학교 산학협력단 | CoSb3 스커테루다이트계 열전재료 및 그 제조방법 |
WO2009093455A1 (ja) * | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Furukawa Co., Ltd. | 熱電変換材料および熱電変換モジュール |
KR20120070124A (ko) | 2010-12-21 | 2012-06-29 | 한국세라믹기술원 | 동시도핑된 코발트-안티몬 열전 조성물 및 그 제조방법 |
KR101179010B1 (ko) | 2011-02-01 | 2012-08-31 | 연세대학교 산학협력단 | 칼코겐화물 반도체 박막 및 그 제조방법 |
JP5852228B2 (ja) | 2011-05-13 | 2016-02-03 | エルジー・ケム・リミテッド | 新規な化合物半導体及びその活用 |
EP2708498B1 (en) * | 2011-05-13 | 2017-08-16 | LG Chem, Ltd. | Novel compound semiconductor and usage for same |
WO2012157904A1 (ko) | 2011-05-13 | 2012-11-22 | 주식회사 엘지화학 | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 |
KR101614062B1 (ko) * | 2013-10-04 | 2016-04-20 | 주식회사 엘지화학 | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 |
US11001504B2 (en) * | 2014-09-29 | 2021-05-11 | Lg Chem, Ltd. | Compound semiconductor and manufacturing method thereof |
JP6567847B2 (ja) | 2015-03-19 | 2019-08-28 | 古河機械金属株式会社 | 熱電変換材料、熱電変換素子、熱電変換モジュール、熱電発電装置、熱電変換システム、および熱電変換材料の製造方法 |
CN106025056A (zh) | 2016-06-12 | 2016-10-12 | 电子科技大学 | 一种锡硫化合物热电材料的制备方法 |
-
2017
- 2017-12-21 KR KR1020170177275A patent/KR102123042B1/ko active IP Right Grant
- 2017-12-22 JP JP2018552661A patent/JP6775841B2/ja active Active
- 2017-12-22 EP EP17886732.1A patent/EP3447812B1/en active Active
- 2017-12-22 CN CN201780025805.3A patent/CN109275341B/zh active Active
- 2017-12-22 US US16/095,029 patent/US11072530B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3447812B1 (en) | 2020-05-27 |
US20190144277A1 (en) | 2019-05-16 |
KR20180077040A (ko) | 2018-07-06 |
JP6775841B2 (ja) | 2020-10-28 |
CN109275341B (zh) | 2022-03-15 |
JP2019519092A (ja) | 2019-07-04 |
CN109275341A (zh) | 2019-01-25 |
EP3447812A1 (en) | 2019-02-27 |
EP3447812A4 (en) | 2019-06-12 |
US11072530B2 (en) | 2021-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101614062B1 (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR20120127303A (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR20120122932A (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR102123042B1 (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR101357159B1 (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR102122573B1 (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR20120127300A (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR102003352B1 (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR102122572B1 (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
WO2018124660A1 (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR101711527B1 (ko) | 화합물 반도체 및 그 제조 방법 | |
KR20120127322A (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 | |
KR20120127313A (ko) | 신규한 화합물 반도체 및 그 활용 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
GRNT | Written decision to grant |