KR102119438B1 - 박리액 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

박리액은 비양자성 극성용매, 아민계 화합물 및 양자성 극성용제를 포함한다. 상기 박리액은 상기 박리액의 총 중량을 기준으로, 상기 비양자성 극성용매 1 내지 90 중량부; 상기 아민계 화합물 1 내지 10 중량부; 및 상기 양자성 극성용제 1 내지 30 중량부를 포함할 수 있다. 상기 박리액에 의하면, 단시간에 포토 레지스트를 박리할 수 있고, 배선 및 컬러 필터 등에 가해지는 손상을 줄일 수 있다.

Description

박리액 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법{STRIPPER AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 박리액 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 포토 레지스트 제거용 박리액 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
최근 기존의 브라운관을 대체하여 액정 표시 장치, 전기 영동 표시 장치 등의 표시 장치가 많이 사용되고 있다.
상기 표시 장치는 서로 대향하는 두 기판과 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층이나 전기 영동층과 같은 영상 표시층을 포함한다. 상기 표시 장치에서는 두 기판이 서로 대향하여 접착되며 두 기판 사이에 상기 영상 표시층이 구비되도록 상기 두 기판 사이의 간격이 유지된다.
상기 영상 표시층이 제1 전극 및 제2 전극에 의해 정의된 터널 상 공동 내에 형성될 때, 상기 터널 상 공동은 희생층을 박리액으로 박리하여 형성된다. 이 때 상기 희생층은 박리액과 전면에 직접 닿을 수 없으므로, 상기 희생층을 박리하기 위해서는, 보다 박리 효과가 우수한 박리액을 필요로 한다.
본 발명의 목적은 단시간에 포토 레지스트를 박리할 수 있고, 배선 및 컬러 필터 등에 가해지는 손상을 줄일 수 있는 박리액을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 단시간에 포토 레지스트를 박리할 수 있고, 배선 및 컬러 필터 등에 가해지는 손상을 줄일 수 있는 표시 장치 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 박리액은 비양자성 극성용매, 아민계 화합물 및 양자성 극성용제를 포함한다.
상기 박리액은 상기 비양자성 극성용매 1 내지 90 중량부; 상기 아민계 화합물 1 내지 10 중량부; 및 상기 양자성 극성용제 1 내지 30 중량부를 포함할 수 있다.
상기 비양자성 극성용매는 디메틸설폭사이드, N-메틸프롬아미드(NMF), N-메틸-2-피롤리돈(NMP), N,N-디메틸아세트아마이드, N,N-디메틸포름아마이드, N,N-디메틸이미다졸, γ-부티로락톤, 설포란, 테트라퍼푸릴알콜(Tetrahydrofurfuryl alcohol), N,N-디메틸 프로피온아미드로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
또한 상기 아민계 화합물은 1-(2-하이드록시에틸)피페라진, 1-(2-아미노에틸)피페라진, 1-(2-하이드록시에틸)메틸피페라진, 2-메틸피페라진, 1-메틸피페라진 및 1-아미노-4-메틸피페라진으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
또한 상기 양자성 극성용제는 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 에틸렌글리콜메틸에테르, 에틸렌글리콜에틸에테르, 에틸렌글리콜부틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르, 디에틸렌글리콜부틸에테르, 트리에틸렌글리콜메틸에테르, 트리에틸렌글리콜에틸에테르, 트리에틸렌글리콜부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르 및 디에틸렌글리콜디메틸에테르로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 포토 레지스트 제거용 박리액은 부식 방지제 또는 표면 친수화제를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법은 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극 상에 제1 방향으로 연장된 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2방향으로 제2 전극을 형성하는 단계; 및 상기 희생층을 박리액으로 박리하여 터널 상 공동을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 박리액은 비양자성 극성용매, 아민계 화합물 및 양자성 극성용제를 포함한다.
상기 희생층은 포토 레지스트로 형성될 수 있다.
상기 표시 장치 제조방법은 상기 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있고, 상기 기판 상에 컬러 필터를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 또한 상기 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 또한 상기 터널 상 공동에 영상 표시층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
한편 상기 박리액은 상기 비양자성 극성용매 1 내지 90 중량부; 상기 아민계 화합물 1 내지 10 중량부; 및 상기 양자성 극성용제 1 내지 30 중량부를 포함할 수 있다.
상기 비양자성 극성용매는 디메틸설폭사이드, N-메틸프롬아미드(NMF), N-메틸-2-피롤리돈(NMP), N,N-디메틸아세트아마이드, N,N-디메틸포름아마이드, N,N-디메틸이미다졸, γ-부티로락톤, 설포란, 테트라퍼푸릴알콜(Tetrahydrofurfuryl alcohol), N,N-디메틸 프로피온아미드로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
또한 상기 아민계 화합물은 1-(2-하이드록시에틸)피페라진, 1-(2-아미노에틸)피페라진, 1-(2-하이드록시에틸)메틸피페라진, 2-메틸피페라진, 1-메틸피페라진 및 1-아미노-4-메틸피페라진으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
또한 상기 양자성 극성용제는 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 에틸렌글리콜메틸에테르, 에틸렌글리콜에틸에테르, 에틸렌글리콜부틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르, 디에틸렌글리콜부틸에테르, 트리에틸렌글리콜메틸에테르, 트리에틸렌글리콜에틸에테르, 트리에틸렌글리콜부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르 및 디에틸렌글리콜디메틸에테르로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 박리액은 부식 방지제 또는 표면 친수화제를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 박리액에 의하면, 단시간에 포토 레지스트를 박리할 수 있고, 배선 및 컬러 필터 등에 가해지는 손상을 줄일 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법에 의하면, 단시간에 포토 레지스트를 박리할 수 있고, 배선 및 컬러 필터 등에 가해지는 손상을 줄인 표시 장치를 제조할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법을 나타낸 흐름도이다.
도 2a 내지 도 6a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법을 순차적으로 나타낸 평면도이다.
도 2b 내지 도 6b는 각각 도 2a 내지 도 6a의 I-I'선에 대응되는 단면도이다.
도 2c 내지 도 6c는 각각 도 2a 내지 도 6a의 Ⅱ-Ⅱ' 선에 대응되는 단면도이다.
이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
이하에서는 본 발명의 제1 실시예에 따른 박리액에 대하여 설명한다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 박리액은 비양자성 극성용매, 아민계 화합물 및 양자성 극성용제를 포함한다.
상기 박리액은 상기 비양자성 극성용매 1 내지 90 중량부; 상기 아민계 화합물 1 내지 10 중량부; 및 상기 양자성 극성용제 1 내지 30 중량부를 포함할 수 있다.
본 발명의 비양자성 극성용매는 포토 레지스트가 형성된 층과 상기 포토 레지스트가 형성된 층 및 상기 포토 레지스트 간의 결합력을 약화시켜, 상기 포토 레지스트가 형성된 층으로부터 상기 포토 레지스트가 용이하게 박리되도록 한다. 상기 비양자성 극성용매는 통상적으로 사용하는 것이라면 특별히 한정하지 않으나, 디메틸설폭사이드, N-메틸프롬아미드(NMF), N-메틸-2-피롤리돈(NMP), N,N-디메틸아세트아마이드, N,N-디메틸포름아마이드, N,N-디메틸이미다졸, γ-부티로락톤, 설포란, 테트라퍼푸릴알콜(Tetrahydrofurfuryl alcohol), N,N-디메틸 프로피온아미드로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다. 보다 바람직하게는 상기 비양자성 극성용매는 박리력이 강한 N,N-디메틸 프로피온아미드를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 박리액은 박리력이 강한 상기 비양자성 극성용매를 포함함으로써, 단시간에 포토 레지스트를 박리할 수 있다.
상기 비양자성 극성 용매는 1 내지 90 중량부 포함되는 것이 바람직하다. 상기 비양자성 극성 용매가 1 중량부 미만이면, 포토 레지스트 박리 성능이 저하될 수 있고, 90 중량부를 초과하면 포토 레지스트 잔사가 발생할 수 있고, 박리액 제조 원가가 상승하여 생산성이 떨어진다.
본 발명의 아민계 화합물은 포토 레지스트의 내부에 침투하여 포토 레지스트 간의 결합을 깨는 역할을 한다. 상기 아민계 화합물은 1 내지 10 중량부 포함되는 것이 바람직하다. 상기 아민계 화합물이 1 중량부 미만이면, 포토 레지스트 박리 성능이 저하될 수 있고, 10 중량부를 초과하면 포토 레지스트 잔사가 발생할 수 있다.
상기 아민계 화합물은 통상적으로 사용하는 것이라면 특별히 한정하지 않으나, 1-(2-하이드록시에틸)피페라진, 1-(2-아미노에틸)피페라진, 1-(2-하이드록시에틸)메틸피페라진, 2-메틸피페라진, 1-메틸피페라진 및 1-아미노-4-메틸피페라진으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
또한 본 발명의 양자성 극성용제는 포토 레지스트의 용해력을 증가시키며, 높은 온도에서 박리액을 사용할 때 휘발에 의한 박리액의 손실을 최소화하는 역할을 한다. 상기 양자성 극성용제는 통상적으로 사용하는 것이라면 특별히 한정하지 않으나, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 에틸렌글리콜메틸에테르, 에틸렌글리콜에틸에테르, 에틸렌글리콜부틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르, 디에틸렌글리콜부틸에테르, 트리에틸렌글리콜메틸에테르, 트리에틸렌글리콜에틸에테르, 트리에틸렌글리콜부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르 및 디에틸렌글리콜디메틸에테르로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 양자성 극성용제는 1 내지 30 중량부 포함되는 것이 바람직하다. 상기 양자성 극성용제가 1 중량부 미만이면 고분자를 용해시키는 능력이 부족해 포토 레지스트의 박리 성능이 저하될 수도 있고, 30 중량부를 초과하면 포토 레지스트의 잔사 제거 능력이 저하될 수 있다.
또한 본 발명의 제1 실시예에 따른 박리액은 물을 더 포함할 수 있다. 상기 물은 탈이온수인 것이 바람직하며, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박리액을 제조할 때 투입되는 수용성 고체 화합물을 용해한다.
이하에서는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법을 나타낸 흐름도이다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법은 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계(s10); 상기 제1 전극 상에 제1 방향으로 연장된 희생층을 형성하는 단계(s20); 상기 희생층 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2방향으로 제2 전극을 형성하는 단계(s30); 및 상기 희생층을 박리액으로 박리하여 터널 상 공동을 형성하는 단계(s40)를 포함한다.
상기 박리액은 비양자성 극성용매, 아민계 화합물 및 양자성 극성용제를 포함한다. 상기 박리액은 상기 박리액의 총 중량을 기준으로, 상기 비양자성 극성용매 1 내지 90 중량부; 상기 아민계 화합물 1 내지 10 중량부; 및 상기 양자성 극성용제 1 내지 30 중량부를 포함할 수 있다.
도 2a 내지 도 6a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법을 순차적으로 나타낸 평면도이다. 또한 도 2b 내지 도 6b는 각각 도 2a 내지 도 6a의 I-I'선에 대응되는 단면도이고, 도 2c 내지 도 6c는 각각 도 2a 내지 도 6a의 Ⅱ-Ⅱ' 선에 대응되는 단면도이다.
먼저 도 1, 도 2a, 도 2b 및 도 2c를 참조하면, 기판(1000) 상에 제1 전극(1100)을 형성한다(s10). 상기 제1 전극(1100)은 영상 표시층을 제어하는 역할을 수행하는 것으로써, 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝함으로써 형성될 수 있다. 상기 제1 전극(1100)은 ITO나 IZO와 같은 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 이 때 상기 기판(1000)은 투명 또는 불투명한 절연 기판으로, 실리콘 기판, 유리 기판, 플라스틱 기판 등일 수 있으나 이에 한정하는 것은 아니다.
다음으로, 도 1, 도 2a, 도 2b 및 도 2c를 참조하면, 상기 제1 전극(1100) 상에 절연막(1200)을 형성한다. 상기 절연막(1200)은 제1 전극(1100)을 보호한다.
다음으로, 도 1, 도 3a, 도 3b 및 도 3c를 참조하면, 상기 제1 전극(1100) 상에, 보다 구체적으로는 상기 제1 전극(1100) 상에 형성된 상기 절연막(1200) 상에 제1 방향(예를 들어, DR1 방향)으로 연장된 희생층(1300)을 형성한다(s20). 상기 희생층(1300)은 포토 레지스트로 형성될 수 있으며, 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝함으로써 형성할 수 있다. 상기 포토 레지스트는 통상적으로 사용하는 것이라면 특별히 한정하지 않으나, 유기 고분자 물질을 사용할 수 있다.
상기 희생층(1300)은 이후 제거되어 상기 터널 상 공동을 형성하기 위한 것으로서, 이후 영상 표시층이 형성될 위치에 상기 터널 상 공동의 폭과 높이에 대응하는 폭과 높이로 형성된다.
다음으로, 도 1, 도 4a, 도 4b 및 도 4c를 참조하면, 상기 희생층(1300) 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2방향(예를 들어, DR2 방향)으로 제2 전극(1400)을 형성한다(s30). 상기 제2 전극(1400)은 평면상에서 볼 때 상기 제1 전극(1100)과 중첩된다. 상기 제2 전극(1400)은 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝함으로써 형성할 수 있다. 상기 제2 전극(1400)은 ITO나 IZO와 같은 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다.
다음으로, 도 1, 도 5a, 도 5b 및 도 5c를 참조하면, 도 4a 내지 도 4c의 상기 희생층(1300)을 박리액으로 박리하여 터널 상 공동(TSC)을 형성한다(s40). 상기 희생층(1300)은 상기 박리액에 의해 상기 희생층(1300)의 노출된 상면으로부터 상기 희생층(1300)의 내부까지 순차적으로 박리된다. 이에 따라 상기 제1 전극(1100)의 상면 및 상기 제2 전극(1400)의 하면에 의해 정의되는 터널 상 공동(TSC)이 형성된다.
이 때 상기 박리액은 비양자성 극성용매, 아민계 화합물 및 양자성 극성용제를 포함한다. 상기 박리액은 상기 박리액의 총 중량을 기준으로, 상기 비양자성 극성용매 1 내지 90 중량부; 상기 아민계 화합물 1 내지 10 중량부; 및 상기 양자성 극성용제 1 내지 30 중량부를 포함할 수 있다. 상기 비양자성 극성용매, 상기 아민계 화합물, 상기 양자성 극성용제의 구체적인 예는 앞서 언급한 바, 이하에서는 구체적인 설명은 생략한다.
상기 박리액에 포함되는 상기 비양자성 극성용매는 포토 레지스트가 형성된 층과 상기 포토 레지스트가 형성된 층 및 상기 포토 레지스트 간의 결합력을 약화시켜, 상기 포토 레지스트가 형성된 층으로부터 상기 포토 레지스트가 용이하게 박리되도록 한다. 또한 상기 박리액에 포함되는 상기 아민계 화합물은 포토 레지스트의 내부에 침투하여 포토 레지스트 간의 결합을 깨는 역할을 하고, 상기 박리액에 포함되는 상기 양자성 극성용제는 포토 레지스트의 용해력을 증가시키며, 높은 온도에서 박리액을 사용할 때 휘발에 의한 박리액의 손실을 최소화하는 역할을 한다.
상기 희생층(1300)은 상기 제1 전극(1100) 및 상기 제2 전극(1400)에 의해 둘러싸여, 박리액과 전면에 직접 닿을 수 없으므로, 상기 희생층(1300)을 박리하기 위해서는 보다 박리효과가 뛰어난 박리액을 요한다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 박리액은 상기 비양자성 극성용매, 보다 구체적으로는 박리력이 강한 N,N-디메틸 프로피온아미드를 포함함으로써, 상기 희생층(1300)을 단시간에 박리할 수 있다. 상기 희생층(1300)을 상기 박리액으로 박리함으로써, 상기 터널 상 공동(TSC)을 형성한다.
한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법은 상기 기판(1000) 상에 박막 트랜지스터(미도시)를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터(미도시)는 도시하지 않았으나, 게이트 라인, 데이터 라인, 게이트 전극, 반도체 패턴, 소스 전극, 및 드레인 전극을 포함할 수 있다.
또한 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법은 상기 기판(1000) 상에 컬러 필터(미도시)를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 컬러 필터(미도시)는 상기 박막 트랜지스터(미도시) 상에 형성될 수 있다. 상기 컬러 필터(미도시)는 상기 기판(1000) 상에 적색, 녹색, 청색, 또는 기타 색을 나타내는 컬러층을 형성하고, 상기 컬러층을 포토리소그래피를 이용하여 패터닝함으로써 형성할 수 있다. 상기 컬러 필터(미도시)의 형성 방법은 이에 한정되는 것은 아니며, 잉크젯 방법 등으로 형성할 수 있음은 물론이다.
또한 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법은 상기 기판(1000) 상에 블랙 매트릭스(미도시)를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(미도시)는 상기 박막 트랜지스터(미도시) 상에 형성될 수 있고, 상기 컬러 필터(미도시)를 형성하는 단계 이전, 이후 또는 동시에 형성될 수 있다. 상기 블랙매트릭스는 상기 기판(1000) 상에 광을 흡수하는 차광층을 형성하고 상기 차광층을 포토리고스래피를 이용하여 패터닝함으로써 형성할 수 있으며, 선택적으로 다른 방법, 예를 들어 잉크젯 방법 등으로도 형성할 수 있다.
또한 도 6a 내지 도 6c를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치 제조방법은 상기 터널 상 공동(TSC)에 영상 표시층(DSP)을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 영상 표시층(DSP)은 서로 대향하는 상기 제1 전극(1100)과 상기 제2 전극(1400) 사이에 제공되며, 영상 표시층(DSP)는 상기 전계에 의해 제어되어 영상을 표시한다. 상기 영상 표시층(DSP)은 전계에 따라 영상을 표시할 수 있는 것으로서, 액상을 갖는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 상기 영상 표시층(DSP)은 전기 영동층이나 액정층일 수 있다.
이하, 구체적인 실시예를 통해 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. 하기 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 예시에 불과하며, 본 발명의 범위가 이에 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1>
비양자성 극성용매로 N,N-디메틸 프로피온아미드 60 중량부 및 N-메틸-2-피롤리돈 20 중량부, 아민계 화합물로 1-(2-하이드록시에틸)피페라진 2 중량부 , 양자성 극성용제로 디에틸렌글리콜을 18 중량부 포함하는 박리액을 제조하였다.
<비교예 1>
비양자성 극성용매 N-메틸-2-피롤리돈 10 중량부, 양자성 극성용제로 디에틸렌글리콜을 38 중량부 포함하는 박리액을 제조하였다.
<박리 속도 측정>
유리 기판 상에 포토 레지스트가 도포된 기판을 다이아몬드 칼을 이용하여 300×400㎜로 잘라 시편을 제조하였다.
상기 시편의 포토 레지스트를 실시예 1 및 비교예 1의 박리액을 사용하여 박리하였다.
상기 실시예 1의 박리액을 사용할 경우, 박리 속도가 129.8μm/min 로 측정되었으나, 상기 비교예 1의 박리액을 사용할 경우, 박리 속도가 34.0μm/min 로 측정되었다.
<컬러 필터의 스웰링(swelling) 측정>
유리 기판 상에 컬러 필터 및 블랙 매트릭스를 형성하였고, 상기 컬리 필터 및 블랙 매트릭스 상에 포토 레지스트를 도포하였다. 상기 포토 레지스트를 도포한 기판을 다이아몬드 칼을 이용하여 300×400㎜로 잘라 시편을 제조하였다.
상기 시편의 포토 레지스트를 실시예 1 및 비교예 1의 박리액을 사용하여 박리하였고, 30분 후에 컬러 필터 RGB의 스웰링 정도를 측정하였다.
실시예 1의 박리액을 사용할 경우, R: 0.06%, G: 0.79%, B: 0.88%의 스웰링이 각각 발생하였으나, 비교예 1의 박리액을 사용할 경우, R: 1.23%, G: 1.95%, B: 1.35%의 스웰링이 발생하였다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징으로 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1000: 기판 1100: 제1 전극
1200: 절연막 1300: 희생층
1400: 제2 전극 TSC: 터널 상 공동
DSP: 영상 표시층

Claims (17)

  1. 비양자성 극성용매, 아민계 화합물 및 양자성 극성용제를 포함하고,
    상기 비양자성 극성용매는 N-메틸-2-피롤리돈(NMP) 및 N,N-디메틸 프로피온아미드를 포함하는 포토 레지스트 제거용 박리액.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 비양자성 극성용매 1 내지 90 중량부;
    상기 아민계 화합물 1 내지 10 중량부; 및
    상기 양자성 극성용제 1 내지 30 중량부를 포함하는 포토 레지스트 제거용 박리액.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 아민계 화합물은 1-(2-하이드록시에틸)피페라진, 1-(2-아미노에틸)피페라진, 1-(2-하이드록시에틸)메틸피페라진, 2-메틸피페라진, 1-메틸피페라진 및 1-아미노-4-메틸피페라진으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 포토 레지스트 제거용 박리액.
  5. 제1항에 있어서, 상기 양자성 극성용제는 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 에틸렌글리콜메틸에테르, 에틸렌글리콜에틸에테르, 에틸렌글리콜부틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르, 디에틸렌글리콜부틸에테르, 트리에틸렌글리콜메틸에테르, 트리에틸렌글리콜에틸에테르, 트리에틸렌글리콜부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르 및 디에틸렌글리콜디메틸에테르로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 포토 레지스트 제거용 박리액.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 포토 레지스트 제거용 박리액은 부식 방지제 또는 표면 친수화제를 더 포함하는 것인 포토 레지스트 제거용 박리액.
  7. 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계;
    상기 제1 전극 상에 제1 방향으로 연장된 희생층을 형성하는 단계;
    상기 희생층 상에 상기 제1 방향과 교차하는 제2방향으로 제2 전극을 형성하는 단계; 및
    상기 희생층을 박리액으로 박리하여 터널 상 공동을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 박리액은 비양자성 극성용매, 아민계 화합물 및 양자성 극성용제를 포함하고,
    상기 비양자성 극성용매는 N-메틸-2-피롤리돈 및 N,N-디메틸 프로피온아미드를 포함하는 표시 장치 제조방법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 희생층은 포토레지스트로 형성된 것인 표시 장치 제조방법.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치 제조방법.
  10. 제 7항에 있어서, 상기 기판 상에 컬러 필터를 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치 제조방법.
  11. 제 7항에 있어서, 상기 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치 제조방법.
  12. 제 7항에 있어서, 상기 터널 상 공동에 영상 표시층을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치 제조방법.
  13. 제 7항에 있어서,
    상기 박리액은
    상기 비양자성 극성용매 1 내지 90 중량부;
    상기 아민계 화합물 1 내지 10 중량부; 및
    상기 양자성 극성용제 1 내지 30 중량부를 포함하는 표시 장치 제조방법.
  14. 삭제
  15. 제 7항에 있어서, 상기 아민계 화합물은 1-(2-하이드록시에틸)피페라진, 1-(2-아미노에틸)피페라진, 1-(2-하이드록시에틸)메틸피페라진, 2-메틸피페라진, 1-메틸피페라진 및 1-아미노-4-메틸피페라진으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 표시 장치 제조방법.
  16. 제 7항에 있어서, 상기 양자성 극성용제는 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 에틸렌글리콜메틸에테르, 에틸렌글리콜에틸에테르, 에틸렌글리콜부틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르, 디에틸렌글리콜부틸에테르, 트리에틸렌글리콜메틸에테르, 트리에틸렌글리콜에틸에테르, 트리에틸렌글리콜부틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르 및 디에틸렌글리콜디메틸에테르로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 표시 장치 제조방법.
  17. 제 7항에 있어서, 상기 박리액은 부식 방지제 또는 표면 친수화제를 더 포함하는 것인 표시 장치 제조방법.
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