KR101502172B1 - 플렉서블 표시장치의 제조 방법 - Google Patents

플렉서블 표시장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 소정 영역에 형성된 페이스트(paste)가 형성된 비가요성의 지지기판상에 플렉서블 기판이 점착하는 단계와, 상기 플렉서블 기판 상에 박막 패턴들을 형성하는 단계와, 상기 페이스트에 약액을 주입하여 상기 플렉서블 기판으로부터 상기 지지 기판을 박리하는 단계를 포함하고, 상기 페이스트는 Ag로 형성되고, 상기 약액은 상기 Ag 페이스트를 녹일 수 있는 솔벤트를 사용한다.
플렉서블

Description

플렉서블 표시장치의 제조 방법{METHOD OF MANUFACTURING A FLEXIBLE DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
표시장치 시장은 CRT(Cathode-Ray Tube)를 대신해 평판 디스플레이(Flat Panel Display:이하 "FPD"라 함) 위주로 급속히 변화해 왔다. FPD에는 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP:Plasma Display Panel), 유기 발광 표시장치(OLED:Organic Electro Luminescence Display)등이 있다. 이러한 FPD는 CRT에 비해 경량 박형이고 대형화에 유리한 장점이 있다. 반면 FPD는 제조 공정 중 발생하는 높은 열을 견딜 수 있도록 유리 기판을 사용하므로 경량 박형화 및 유연성을 부여하는데 한계가 있다.
따라서 최근 기존의 유연성이 없는 유리기판 대신에 플라스틱등과 같이 유연성 있는 재료를 사용하여 구부러질 수 있게 제조된 플렉서블(flexible) 표시장치가 차세대 표시장치로 급부상중이다.
도 1은 종래 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 1을 참조하면, 종래 플렉서블 표시장치의 제조 방법은 크게 점착공정(S1), 패턴 형성 공정(S3) 및 박리 공정(S5)으로 나뉜다.
점착 공정(S1)은 공정상 취급이 용이하도록 플렉서블 표시장치의 기판인 플렉서블 기판의 배면에 비가요성(nonflexible)의 지지 기판(rigid substrate)을 점착하는 공정이다. 지지 기판은 점착층을 통해 플렉서블 기판의 배면에 점착되어, 플렉서블 기판이 공정 중에 쉽게 휘거나 뒤틀리지 않고 고정되도록 한다.
이와 같이 점착 공정(S1)을 통해 형태가 고정된 플렉서블 기판 상에서는 이어지는 패턴 형성 공정(S3)이 보다 정밀하고 안정적으로 진행될 수 있다.
패턴 형성 공정(S3)은 플렉서블 표시장치를 구성하는 각종 패턴을 형성하는 공정이다. 예를 들어, 플렉서블 표시장치가 박막 트랜지스터 어레이를 포함하여 구동되는 경우, 플렉서블 기판 상에는 패턴 형성 공정(S3)을 통해 박막 트랜지스터 어레이가 형성된다.
박리 공정(S5)은 패턴 형성 공정(S3) 후 플렉서블 기판으로부터 점착제 및 지지 기판을 박리하는 공정이다. 플렉서블 표시장치가 유연성을 가지도록 하기 위해서는 패턴 형성 공정(S3) 완료 후, 점착 공정(S1)을 통해 플렉서블 기판에 점착된 지지 기판을 박리하는 공정(S5)이 필수적이다.
이와 같이 종래 플렉서블 표시장치의 제조 공정에 포함된 박리 공정(S5)은 물리적인 힘을 가해 플렉서블 기판으로부터 점착제와 지지기판을 박리함으로써, 수행된다.
그러나, 이와 같이 박리하는 힘에 의해 플렉서블 기판 상에 형성된 박막 패 턴들이 손상될 수 있다. 박리 공정(S5) 중 손상된 박막 패턴은 플렉서블 표시장치의 신뢰성을 저하시키는 원인이 된다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 지지기판과 플렉서블 기판간을 박리하는 박리공정시 플렉서블 기판상에 형성된 박막 패턴의 손상을 방지하는 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 제공함에 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 소정 영역에 형성된 페이스트(paste)가 형성된 비가요성의 지지기판상에 플렉서블 기판이 점착하는 단계와, 상기 플렉서블 기판 상에 박막 패턴들을 형성하는 단계와, 상기 페이스트에 약액을 주입하여 상기 플렉서블 기판으로부터 상기 지지 기판을 박리하는 단계를 포함하고, 상기 페이스트는 Ag로 형성되고, 상기 약액은 상기 Ag 페이스트를 녹일 수 있는 솔벤트를 사용한다.
상기 플렉서블 기판은 상기 페이스트가 형성된 지지 기판(10)상에 폴리이미드(polyimide)막을 형성하고 열공정을 수행하여 경화시켜 형성한다.
상기 솔벤트는 IPA, 아세톤, PGMEA 및 NMP 중 어느 하나를 사용한다.
상기 박막 패턴은 전기영동표시장치를 구성하는 패턴들 또는 액정표시장치를 구성하는 패턴들이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 Ag 페이스트에 약액을 주입하여 플렉서블 기판과 지지기판을 박리함으로써, 물 리적인 힘이 박리공정에 사용되지 않아 플렉서블 기판 상에 형성된 박막 패턴들이 손상되지 않으므로, 플렉서블 표시장치의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.
이하는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 나타내는 순서도이고, 도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 간략하게 도시한 단면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 Ag 페이스트를 이용한 점착공정(S11)과, 패턴 형성공정(S12), 솔벤트를 이용한 박리공정(S13)으로 나뉜다.
먼저, Ag 페이스트(paste)를 이용한 점착공정(S11)은 Ag 페이스트가 증착된 비가용성의 지지기판 상에 플렉서블 표시장치의 기판인 플렉서블 기판을 점착하는 공정이다.
Ag 페이스트를 이용한 점착공정은 도 3a에 도시된 바와 같이, 지지 기판(10)상에 Ag 페이스트(13)를 형성한다. 이때, 지지 기판으로는 주로 유리 기판을 사용하고, Ag 페이스트(paste)(13)는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 디스펜서법(dispensing method)에 의해 지지기판(10)의 소정영역에 형성된다.
그리고, Ag 페이스트(13)가 형성된 지지기판(10) 상에 플렉서블 기판(12)을 형성한다. 상기 플렉서블 기판(12)는 지지 기판(10)상에 폴리이미드(polyimide)막 을 형성하고 열공정을 수행하여 경화시킨 후, 경화된 폴리이미드막 상에 실리콘 질화막(SiNx)을 증착함으로써 형성된다.
이와 같이 점착 공정(S11)을 통해 형태가 고정된 플렉서블 기판 상에서는 이어지는 패턴 형성 공정(S12)이 보다 정밀하고 안정적으로 진행될 수 있다.
이어, 패턴 형성 공정(S12)은 플렉서블 표시장치를 구성하는 각종 패턴을 형성하는 공정이다.
이러한 패턴 형성공정(S12)는 도 4에 도시된 바와 같이, 플렉서블 표시장치의 구동 소자인 박막 트랜지스터를 구성하는 박막 패턴들(15)이 플렉서블 기판(12)상에 형성된다. 박막 트랜지스터를 구성하는 박막 패턴들은 패턴 형성 공정(S12) 중의 박막 증착 및 패터닝 공정등을 통해 형성된다.
솔벤트를 이용한 박리 공정(S13)은 플렉서블 표시장치가 유연성을 가지도록 하기 위해, 패턴 형성 공정(S12)완료 후 점착공정을 통해 플렉서블 기판에 점착된 지지기판을 박리하는 공정이다.
이러한 솔벤트를 이용한 박리공정(S13)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 박리 공정(S13)은 지지 기판과 플렉서블 기판 사이에 형성된 Ag 페이스트내에 약액을 주입하여 상기 지지기판을 플렉서블 기판으로부터 분리한다.
상기 약액은 IPA, 아세톤, PGMEA, NMP와 같은 솔벤트를 사용한다.
이 때, 상기 약액의 주입은 약액 주입기등을 통하여 이루어지며, 상기 약액은 상기 지지기판과 플렉서블 기판이 닿는 계면간의 점착력을 약화시키거나 Ag 페이스트를 녹일 수 있는 성질을 갖는 성분을 갖는다.
이와 같이, Ag 페이스트에 약액을 주입하여 플렉서블 기판과 지지기판을 박리함으로써, 물리적인 힘이 박리공정에 사용되지 않아 플렉서블 기판 상에 형성된 박막 패턴들이 손상되지 않게 된다.
다음은 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 플렉서블 기판을 사용한 액정표시장치의 제조방법에 적용하여 설명하고자 한다.
다음은 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 플렉서블기판을 사용한 전기영동 표시장치의 제조방법에 적용하여 설명하고자 한다.
도 6a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 기판을 사용한 전기영동 표시장치의 제조방법을 도시한 순서도이다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 기판을 사용한 전기영동 표시장치의 제조방법은 Ag 페이스트를 이용한 점착공정(S21)와, 전기영동 표시장치를 구성하는 패턴 형성공정(S22)와, 기판 절단공정(S23)와, 모듈공정(S24)와, 솔벤트를 이용한 박리공정(S25)로 나뉜다.
먼저, Ag 페이스트를 이용한 점착공정(S21)은 도 2에 도시된 Ag 페이스트를 이용한 점착공정과 동일하게 진행되므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
이어, 전기영동표시장치를 구성하는 패턴형성공정(S22)는 플렉서블 기판 상에 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display Device : EPD)를 구성하는 각종 패턴들을 형성하는 공정이다. 이 공정을 통해 도 7에 도시된 바와 같은 전기영동 표시소자가 형성된다. 이러한, 전기영동 표시소자의 패턴들은 기판 상에 하부 패턴을 패터닝한 후 상부 어레이를 부착함으로써 형성된다.
도 7를 참조하여 각종 패턴들을 형성하는 공정을 통해 제조된 전기영동 표시장치에 대해 상세히 설명하면, 다음과 같다. 전기영동 표시소자는 하부 어레이부(41)과 상부 어레이부(43)로 구분된다.
상부 어레이부(43)는 플렉서블(flexible)필름 상태인 것이 일반적이다. 이러한 상부 어레이부(43)는 베이스필름(82) 상에 형성된 상부전극(84)과, 상부전극(84) 상에 위치하며 하전 염료 입자(charge pigment particle)를 포함하는 캡슐(85)들을 구비한다. 베이스 필름(82)은 유연성을 가지는 플라스틱 또는 플렉서블한 금속 등으로 이루어진다. 캡슐(85) 내에는 정극성 전압에 반응하는 블랙 염료 입자(85a)와, 부극성 전압에 반응하는 화이트 염료 입자(85b)와, 솔벤트(85c)가 포함된다.
하부 어레이부(41)는 플렉서블 기판(31) 상에 게이트 절연막(33)을 사이에 두고 교차하게 형성된 게이트 라인(미도시) 및 데이터 라인(미도시)과, 그 교차부마다 형성된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor ; 이하 "TFT"라함)(6)와, 그 교차구조로 마련된 셀영역에 형성된 화소 전극(17)을 구비한다. TFT(6)는 게이트 전압이 공급되는 게이트 전극(8)과, 데이터 라인에 접속된 소스 전극(10)과, 화소 전극(17)에 접속된 드레인전극(12)과, 게이트 전극(8)과 중첩되고 소스 전극(10)과 드레인 전극(12) 사이에 채널을 형성하는 활성층(14)을 구비한다. 활성층(14)은 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)과 중첩되게 형성되고 소스 전극(10)과 드레인전극(12) 사이에서 노출되어 채널부를 형성한다. 활성층(14) 위에는 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)과 오믹접촉을 위한 오믹접촉층(16)이 더 형성된다. 통상적으로 활성층(14) 및 오믹접촉층(16)을 반도체 패턴(18)이라 명명한다. 화소전극(17)은 TFT(6)를 보호하는 보호막(35)을 관통하여 드레인 전극(12)을 노출시키는 접촉홀(17)을 통해 드레인 전극(12)과 접촉된다.
이러한 전기 영동 표시소자는 하부 어레이부(41)의 게이트 전극(8)에 공급되는 게이트 전압에 응답하여 데이터라인에 공급되는 화소전압 신호가 TFT(6)의 채널을 경유하여 화소 전극(17)에 충전되고 상부 어레이부(43)의 상부전극(84)에 기준전압이 공급되면, 전기장에 의한 전기영동 현상에 의해 캡슐(85) 내에서의 화이트 염료 입자(85b)와 블랙 염료 입자(85a)가 양분되면서 흑색, 백색 또는 소정의 그레이를 구현할 수 있게 된다. 이러한 구성을 가지는 상부 어레이부(41)와 하부 어레이부(43)는 접착제(adhesive)(86)에 의해 합착된다.
다음으로 진행되는 기판 절단공정(S23)은 전기영동표시소자가 형성된 플렉서블 기판와 합착된 지지기판을 단위 표시 소자별로 규격에 맞게 절단한다. 이러한 기판절단 공정은 스크라이브(Scribe)공정 및 브레이크(break) 공정을 포함한다. 스크라이브 공정은 지지기판의 배면에 컷팅 휠(cutting wheel)로 소정 깊이의 수직 크랙(Crack)을 형성하는 공정이다. 브레이크 공정은 수직 크랙에 힘을 가하여 개개의 단위표시소자별로 절단 분리하는 공정이다.
다음으로 진행되는 모듈조립공정(S24)은 단위표시소자별로 분리된 패널에 PCB를 일체로 조립하는 공정이다.
이어, 진행되는 솔벤트를 이용한 박리공정(S25)은 도 2에 도시된 솔벤트를 이용한 박리공정과 동일하게 진행되므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
다음은 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 플렉서블기판을 사용한 액정표시장치의 제조방법에 적용하여 설명하고자 한다.
도 6b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 기판을 사용한 액정표시장치의 제조방법을 도시한 순서도이다.
도 6b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 기판을 사용한 액정표시장치의 제조방법은 Ag 페이스트를 이용한 점착공정(S31)와, 액정표시장치 패턴 형성공정(S32)와, 합착공정(S33), 기판 절단공정(S34), 액정주입공정(S35), 모듈공정(S36), 솔벤트를 이용한 박리공정(S37)으로 나뉜다.
먼저, Ag 페이스트를 이용한 점착공정(S31)은 도 2에 도시된 Ag 페이스트를 이용한 점착공정과 동일하게 진행되므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
이어, 진행되는 액정표시장치 패턴 형성공정(S32)은 플렉서블 기판 상에 액정표시장치를 구성하는 각종 패턴들을 형성하는 공정이다. 이 공정을 통해 도 8에 도시된 바와 같은 액정표시장치가 형성된다.
도 8을 참조하여, 각종 패턴들을 형성하는 공정을 통해 제조된 액정표시장치에 대해 상세히 설명하면, 다음과 같다. 액정표시장치는 제 1 플렉서블 기판(110) 및 제 2 플렉서블 기판(105)을 포함한다. 여기서, 상기 제 1 플렉서블 기판(110)은 어레이 기판이고, 상기 제 2 플렉서블 기판(105)은 컬러필터 기판이다. 여기서, 상기 어레이 기판(110)의 일면에는 제 1 지지기판이 Ag 페이스트에 의해 점착되고, 상기 컬러필터 기판(110)의 일면에는 제 2 지지기판이 Ag 페이스트에 의해 점착된다. 이러한 액정표시장치의 패턴들은 플렉서블한 컬러필터 기판과 플렉서블한 어레이기판에 각각 형성된다.
삭제
상기 컬러필터 기판(105)은 적(Red; R), 녹(Green; G), 청(Blue; B)색의 서브 컬러필터(107)로 구성되는 컬러필터(C)와 상기 서브컬러필터(107) 사이를 구분 하고 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix)(106)로 이루어져 있다.
상기 어레이 기판(110)에는 종횡으로 배열되어 화소영역(P)을 정의하는 게이트라인(116)과 데이터라인(117)이 형성되어 있다. 이때, 상기 게이트라인(116)과 데이터라인(117)의 교차영역에는 스위칭소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)(T)가 형성되어 있으며, 상기 각 화소영역(P)에는 화소전극(118) 및 공통전극(미도시)이 형성되어 있다.
상기 화소영역(P)은 컬러필터 기판(105)의 하나의 서브컬러필터(107)에 대응하는 서브화소(sub pixel)로 컬러화상은 상기 적, 녹, 청의 세 종류의 서브컬러필터(107)를 조합하여 얻어진다. 즉, 적, 녹, 청의 세 개의 서브화소가 모여서 한 개의 화소를 이루며, 박막 트랜지스터(T)는 상기 적, 녹 청의 서브화소에 각각 연결되어 있다.
이어 진행되는 합착공정(S33)은 실런트(Sealent)를 액정 주입구 이외의 영역에 인쇄하고, 컬러필터 기판 및 어레이 기판을 정렬하여 합착하는 공정이다. 컬러필터 기판 및 어레이 기판을 합착할 때, 각각의 기판에 형성된 합착키를 기준으로 컬러필터 기판 및 어레이 기판을 오정렬(misalign)없이 합착한다.
다음으로 진행되는 기판 절단공정(S34)은 합착된 컬러필터 기판 및 어레이 기판을 단위 표시 소자별로 규격에 맞게 절단한다. 이러한 기판절단 공정은 스크라이브(Scribe)공정 및 브레이크(break) 공정을 포함한다. 스크라이브 공정은 합착된 두 기판의 어느 하나의 배면에 컷팅 휠(cutting wheel)로 소정 깊이의 수직 크랙(Crack)을 형성하는 공정이다. 브레이크 공정은 수직 크랙에 힘을 가하여 개개의 단위표시소자별로 절단 분리하는 공정이다.
다음으로 진행되는 액정주입공정(S35)은 액정주입구를 통해 두 기판 사이에 액정을 주입한 후, 액정 주입구를 봉지하는 공정이다.
다음으로 진행되는 모듈조립공정(S36)은 단위표시소자별로 분리된 패널에 광원모듈 및 PCB를 일체로 조립하는 공정이다.
이어, 진행되는 솔벤트를 이용한 박리공정(S37)은 도 2에 도시된 솔벤트를 이용한 박리공정과 동일하게 진행되므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
도 1은 종래 기술에 따른 플렉서블 표시장치의 조 방법을 나타내는 순서도
도 2는 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 나타내는 순서도
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 간략하게 도시한 단면도이다.
도 6a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 나타내는 순서도
도 6b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 나타내는 순서도

Claims (12)

  1. 소정 영역에 페이스트(paste)가 형성된 비가요성의 지지기판 상에 플렉서블 기판을 점착하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 상에 전기영동 표시장치 패턴을 형성하는 단계;
    상기 전기영동 표시장치 패턴을 구비하는 플렉서블 기판과 합착된 지지기판을 절단하는 단계;
    상기 전기영동 표시장치의 모듈을 형성하는 단계; 및상기 페이스트에 약액을 주입하여 상기 플렉서블 기판으로부터 상기 지지 기판을 박리하는 단계;를 포함하고,
    상기 페이스트는 Ag로 형성되고, 상기 약액은 상기 Ag 페이스트를 녹일 수 있는 솔벤트를 사용하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 플렉서블 기판은
    상기 페이스트가 형성된 지지 기판 상에 폴리이미드(polyimide)막을 형성하고 열공정을 수행하여 경화시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 솔벤트는
    IPA, 아세톤, PGMEA 및 NMP 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서, 상기 전기영동 표시장치 패턴은
    박막 트랜지스터 및 화소전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 박막 트랜지스터는
    플렉서블 기판 상에 배치되는 게이트 전극;
    상기 게이트 전극 상에 배치되는 게이트 절연막;
    상기 게이트 절연막 상에 배치되는 반도체 패턴; 및
    상기 반도체 패턴 상에 중첩되는 소스전극 및 드레인 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 플렉서블 표시장치는
    상기 전기영동 표시장치 패턴을 포함하는 플렉서블 기판 상에
    상부전극과 상기 상부전극 상에 위치하는 하전 염료 입자를 포함하는 캡슐을 구비하는 플렉서블 필름을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  8. 소정 영역에 페이스트(paste)가 형성된 비가요성의 제 1 및 제 2 지지기판 상에 제 1 및 제 2 플렉서블 기판을 점착하는 단계;
    상기 제 1 플렉서블 기판 및 제 2 플렉서블 기판 상에 액정표시장치 패턴을 형성하는 단계;
    상기 제 1 플렉서블 기판 및 제 2 플렉서블 기판을 합착하는 단계;
    상기 제 1 플렉서블 기판을 구비하는 제 1 지지기판 및 상기 제 2 플렉서블 기판을 구비하는 제 2 지지기판을 절단하는 단계;
    상기 제 1 플렉서블 기판과 제 2 플렉서블 기판 사이에 액정층을 주입하는 단계; 및
    상기 페이스트에 약액을 주입하여 상기 제 1 및 제 2 플렉서블 기판으로부터 상기 제 1 및 제 2 지지 기판을 박리하는 단계;를 포함하고,
    상기 페이스트는 Ag로 형성되고, 상기 약액은 상기 Ag 페이스트를 녹일 수 있는 솔벤트를 사용하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  9. 제8 항에 있어서, 상기 플렉서블 기판은
    상기 페이스트가 형성된 지지 기판상에 폴리이미드(polyimide)막을 형성하고 열공정을 수행하여 경화시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  10. 제9 항에 있어서, 상기 솔벤트는
    IPA, 아세톤, PGMEA 및 NMP 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  11. 제8 항에 있어서, 상기 제 1 플렉서블 기판은
    게이트 라인과 데이터 라인의 교차영역에 형성되는 박막 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
  12. 제8 항에 있어서, 상기 제 2 플렉서블 기판은
    적, 녹 및 청색의 서브 컬러필터를 포함하는 컬러필터 및 상기 서브 컬러필터 사이에 배치되는 블랙매트릭스를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
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