KR102103545B1 - 발판 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

발판 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 Download PDF

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KR102103545B1
KR102103545B1 KR1020180133450A KR20180133450A KR102103545B1 KR 102103545 B1 KR102103545 B1 KR 102103545B1 KR 1020180133450 A KR1020180133450 A KR 1020180133450A KR 20180133450 A KR20180133450 A KR 20180133450A KR 102103545 B1 KR102103545 B1 KR 102103545B1
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이정훈
이슬
강휘재
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세메스 주식회사
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Abstract

본 기재의 발판 유닛은 프레임 및 상기 프레임의 내부에 설치된 동작 장치를 포함하는 기판 처리 장치에 설치될 수 있는 발판 유닛에 있어서, 힌지 부재 및 상기 힌지 부재에 회전 가능하게 결합되고, 상기 프레임에 수납되어 있다가 상기 동작 장치 위에 위치되도록 펼쳐지는 발판 부재를 포함한다.

Description

발판 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Footing board unit and substrate treatment apparatus including the same}
본 발명은 발판 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체의 제조에 사용되는 발판 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자 및 평판표시패널의 제조 공정은 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정들 각각은 복수의 챔버 유닛들이 연결된 하나의 설비에서 진행될 수 있다. 이러한 설비는 각 챔버 유닛의 노후 및 오염으로 인한 손상을 방지하기 위해 주기적으로 유지 보수 작업(Maintenance)이 진행될 수 있다.
챔버 유닛의 유지 보수를 위하여 사용자가 설비의 내부로 진입하는 것이 일반적이다. 그러나, 챔버 유닛들 근처에는 각각의 챔버 유닛으로 처리 대상이 될 수 있는 웨이퍼 또는 웨이퍼 제조에 사용하는 부품을 이송하기 위한 이송 장치가 설치될 수 있다. 따라서, 사용자가 이송 장치 때문에 해당 공간에 진입하기가 어렵다. 이를 해결하고자 이송 장치가 설치된 공간에 별도의 구조물을 설치할 수 있으나, 구조물의 설치 및 해체에 상당한 시간이 소요되어 유지 보수 작업이 장시간 소요될 수 있다.
한국등록특허 제10-1408757호
본 발명의 목적은 사용자가 설비 내부를 안전하게 이동할 수 있는 발판 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 다른 목적은 유지 보수 시간이 단축될 수 있는 발판 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 발판 유닛은 프레임 및 상기 프레임의 내부에 설치된 동작 장치를 포함하는 기판 처리 장치에 설치될 수 있는 발판 유닛에 있어서, 힌지 부재; 및 상기 힌지 부재에 회전 가능하게 결합되고, 상기 프레임에 수납되어 있다가 상기 동작 장치 위에 위치되도록 펼쳐지는 발판 부재;를 포함한다.
한편, 상기 발판 부재는, 사용자가 탑승할 수 있는 회전부; 상기 회전부에 결합된 위치 고정 돌기; 및 상기 회전부에 결합되고, 상기 위치 고정 돌기로부터 이격되게 위치된 이탈 방지 돌기;를 포함하며, 상기 힌지 부재는, 베이스부; 상기 베이스부의 일측에 인입되게 형성되어 상기 발판 부재가 수납된 상태인 경우, 상기 위치 고정 돌기가 삽입되는 고정부; 및 상기 베이스부의 일부분을 관통하도록 이루어져서 상기 발판 부재가 펼쳐지는 과정에서 상기 이탈 방지 돌기의 이동 궤적을 제한하는 가이드부;를 포함할 수 있다.
한편, 상기 힌지 부재 또는 상기 발판 부재에 설치되어 상기 발판 부재의 위치를 감지하는 하나 이상의 센서 부재를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 센서 부재가 상기 발판 부재를 펼쳐진 상태인 것으로 감지한 경우, 상기 동작 장치가 동작되는 것을 제한하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 발판 부재가 수납된 상태를 유지할 수 있게 하는 하나 이상의 분리 방지 부재를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 분리 방지 부재는 상기 발판 부재의 위치를 감지할 수 있다.
한편, 상기 발판 부재가 펼쳐지면 상기 발판 부재의 하측을 지지하는 지지 부재를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 가이드부는 직선 형상, 아크 형상, T 형상 및 L 형상 중 선택된 어느 하나의 형상일 수 있다.
본 발명의 다른 일 측면에 따른 발판 유닛은 프레임 및 상기 프레임의 내부에 설치된 동작 장치를 포함하는 기판 처리 장치에 설치될 수 있는 발판 유닛에 있어서, 상기 프레임에 고정되는 힌지 부재; 및 상기 힌지 부재에 회전 가능하게 결합되고, 상기 프레임에 수납되어 있다가 상기 동작 장치 위에 위치되도록 펼쳐지며, 최대로 펼쳐진 상태에서는 상기 프레임으로부터 좌우 방향으로 이격되게 위치되는 발판 부재;를 포함한다.
본 발명의 일 측면에 따른 기판 처리 장치는 프레임; 상기 프레임의 내부에 설치된 동작 장치; 및 상기 프레임에 수납되어 있다가 상기 동작 장치 위에 위치되도록 펼쳐지는 발판 유닛;을 포함한다.
본 발명에 따른 발판 유닛은 기판 처리 장치와 일체형으로 이루어져 있으므로, 기판 처리 장치의 유지 보수가 필요한 경우, 사용자가 발판 부재를 펼쳐서 동작 장치 위에 위치시킬 수 있다. 이에 따라, 사용자는 로봇 부스 내부로 진입하여 유지 보수 작업을 안전하면서 신속하게 실시할 수 있다.
그러므로, 본 발명에 따른 발판 유닛을 포함하는 기판 처리 장치는 종래와 다르게, 사용자가 진입하기 위한 별도의 구조물을 설치하고 해체하는 작업을 실시하지 않아도 됨으로써, 종래와 비교하여 유지 보수 시간이 현저하게 단축될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 발판 유닛이 설치된 기판 처리 장치를 도시한 평면도이다.
도 2는, 도 1의 기판 처리 장치에서 발판 유닛이 설치된 공간과 발판 유닛을 발췌하여 A방향에서 바라본 사시도이다.
도 3은 도 2에서 발판 유닛을 발췌하여 도시한 분해사시도이다.
도 4은 발판 부재가 프레임에 수납된 상태를 도시한 사시도이다.
도 5는 발판 부재가 프레임으로부터 펼쳐진 상태를 도시한 사시도이다.
도 6 및 도 7은 발판 부재가 수납된 상태에서 펼쳐지는 과정을 순차적으로 도시한 측면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 발판 유닛을 도시한 사시도이다.
도 9 내지 도 11은 도 8의 발판 유닛이 펼쳐지는 과정을 도시한 측면도이다.
도 12는 도 8의 발판 유닛이 최대로 펼쳐지는 과정을 프레임과 함께 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 발판 유닛을 도시한 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 발판 유닛(100)을 설명하기에 앞서, 발판 유닛(100)이 설치될 수 있는 기판 처리 장치(1000)를 간략하게 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(1000)는 프레임(200), 동작 장치(300) 및 발판 유닛(100)을 포함할 수 있다.
프레임(200)은 기판 처리 장치(1000)의 외형이 될 수 있다. 프레임(200)에는 다양한 챔버(600, 700)가 설치될 수 있다. 챔버(600)는 일례로 웨이퍼 제조에 사용되는 마스크(Mask)가 수납된 파드(Pod)가 적재되는 것일 수 있다. 그리고, 챔버(700)는 웨이퍼가 수납된 카세트가 적재되는 것일 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치(1000)는 스토커(Stocker) 장치일 수 있다. 다만, 챔버가 이와 같은 것으로 한정하지는 않으며, 기판 처리에 사용되는 다양한 장비가 될 수 있다.
한편, 하나 이상의 개폐 도어(400)가 프레임(200)에 설치될 수 있다. 개폐 도어(400)를 통하여 사용자가 출입될 수 있다. 그리고, 하나 이상의 출입구(500)가 프레임(200)에 설치될 수 있다. 마스크 또는 웨이퍼가 담긴 보관함(미도시)이 출입구(500)를 통하여 출입될 수 있다. 여기서, 보관함은 사용자가 운반 장치를 사용하여 운반될 수 있다. 이와 다르게, 보관함은 별도의 운반 장치에 의해 운반될 수 있으며, 운반 장치는 일례로 천장 물류 운반 장치(OHT: Overhead Hoist Transport)일 수 있다.
천장 물류 운반 장치는 기판 처리 장치(1000)가 설치된 공간의 천장에 설치된 레일을 따라 대상물을 운반하는 장비이다. 다만, 보관함이 천장 물류 운반 장치에 의하여 운반되는 것으로 한정하지는 않으며, 그 이외의 자동 또는 수동으로 운행되는 다양한 물류 이송 장비들이 사용될 수도 있다.
동작 장치(300)는 상기 프레임(200)의 내부에 설치될 수 있다. 기판 처리 장치(1000)는 복수의 작업 공간을 포함할 수 있다. 동작 장치(300)는 일례로 각각의 작업 공간으로 처리 대상물, 예를 들어 보관함을 이송하는 이송 장치일 수 있다. 이러한 이송 장치(300)는 일례로 파지 로봇(320)과, 상기 파지 로봇을 이동시키는 레일(310)을 포함할 수 있다. 다만, 동작 장치(300)가 반드시 이와 같은 이송 장치(300)인 것으로 한정하지는 않으며, 일반적인 기판 처리 장치를 구성하는 다양한 장비일 수 있다.
발판 유닛(100)은 상기 프레임(200)에 수납되어 있다가 상기 동작 장치(300) 위에 위치되도록 펼쳐질 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 발판 유닛(100)에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 발판 유닛(100)은 프레임(200) 및 상기 프레임(200)의 내부에 설치된 동작 장치(300)를 포함하는 기판 처리 장치(1000)에 설치될 수 있는 발판 유닛(100)으로써, 힌지 부재(110)와 발판 부재(120)를 포함한다.
힌지 부재(110)는 지면 또는 프레임(200)에 고정될 수 있다. 힌지 부재(110)는 프레임(200)의 바닥면 또는 벽면에 고정될 수 있다.
힌지 부재(110)는 발판 부재(120)가 원활하게 회전되도록 할 수 있다. 이를 위한 힌지 부재(110)는 일례로 베이스부(111), 고정부(112) 및 가이드부(113a)를 포함할 수 있다.
베이스부(111)는 발판 유닛(100)의 일측면에 설치될 수 있다. 예를 들어, 베이스부(111)는 하나 또는 두 개일 수 있으며, 두 개의 베이스부(111)는 발판 유닛(100)의 양측에 각각 설치될 수 있다.
고정부(112)는 상기 베이스부(111)의 일측에 인입되게 형성될 수 있다. 더욱 상세하게 고정부(112)는 도면에서 바라보는 방향을 기준으로 베이스부(111)의 상측에 상방에서 하방으로 인입될 수 있다. 고정부(112)의 형상은 반원 형상일 수 있다.
상기 발판 부재(120)가 수납된 상태인 경우, 발판 부재(120)에 포함된 위치 고정 돌기(122)가 고정부(112)에 삽입될 수 있다. 여기서, 발판 부재(120)가 수납된 상태라는 것은 발판 부재(120)가 프레임(200)에 인접하게 위치된 상태일 수 있고, 발판 부재(120)의 일부 또는 전체가 프레임(200)에 밀착된 상태일 수도 있다.
이때, 프레임(200)의 일부분은 지면에 대해 수직일 수 있으며, 발판 부재(120)도 지면에 대해 수직으로 위치될 수 있다. 다만, 반드시 프레임(200)과 발판 부재(120)가 수직인 것으로 한정하지는 않는다. 그리고, 도면에 도시하지는 않았으나, 프레임(200)의 일부분이 발판 부재(120)와 대응되는 크기로 인입되어 발판 부재(120)의 적어도 일부분 또는 전체가 프레임(200)의 인입된 부분(미도시)에 수용되도록 이루어진 것도 가능할 수 있다.
가이드부(113a)는 상기 베이스부(111)의 일부분을 관통하도록 이루어져서 상기 발판 부재(120)가 펼쳐지는 과정에서 발판 부재(120)에 포함된 이탈 방지 돌기(123)의 이동 궤적을 제한할 수 있다.
발판 부재(120)는 상기 힌지 부재(110)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 발판 부재(120)는 상기 프레임(200)에 수납되어 있다가 상기 동작 장치(300) 위에 위치되도록 펼쳐질 수 있다.
상기 발판 부재(120)는 일례로 회전부(121), 고정 돌기 및 이탈 방지 돌기(123)를 포함할 수 있다.
회전부(121)는 힌지 부재(110)에 대해 상하방향으로 회전될 수 있다. 사용자가 회전부(121)에 탑승할 수 있다. 회전부(121)는 일례로 판(plate) 형상일 수 있다. 도면에 도시하지는 않았으나, 미끄럼 방지 패턴(미도시)이 회전부(121)의 일면에 형성될 수 있다. 이러한 미끄럼 방지 패턴은 사용자가 회전부(121)를 밟고 이동하는 과정에서 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
고정 돌기는 상기 회전부(121)에 결합될 수 있다. 고정 돌기가 고정부(112)에 삽입된 상태는 발판 부재(120)가 프레임(200)에 인접하게 위치된 상태일 수 있으며, 발판 부재(120)가 프레임(200)에 수납된 상태일 수 있다. 고정 돌기가 고정부(112)에 삽입되어 있는 상태에서는 외력이 좌우 방향으로 발판 부재(120)에 가해지더라도 발판 부재(120)가 힌지 부재(110)로부터 이탈되지 않을 수 있다. 즉, 고정 돌기는 발판 부재(120)가 프레임(200)에 안정적으로 수납되도록 할 수 있다.
이탈 방지 돌기(123)는 상기 회전부(121)에 결합되고, 상기 위치 고정 돌기(122)로부터 이격되게 위치될 수 있다. 즉, 이탈 방지 돌기(123)와 위치 고정 돌기(122)는 회전부(121)의 일측면에 서로 일정한 거리를 두고 위치될 수 있다.
이러한 이탈 방지 돌기(123)와 고정 돌기는 끝부분이 다른 부분보다 크기(외경)가 상대적으로 큰 볼트와 유사한 형상일 수 있다. 그리고, 가이드부(113a)의 관통된 폭은 이탈 방지 돌기(123)의 끝부분의 크기보다 상대적으로 작을 수 있다. 이에 따라, 발판 부재(120)가 회전되는 과정에서 힌지 부재(110)로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 발판 유닛(100)은 지지 부재(160)를 더 포함할 수 있다. 지지 부재(160)는 상기 발판 부재(120)의 하측을 지지할 수 있다. 이때, 발판 부재(120)는 펼쳐진 상태일 수 있다. 이에 따라, 사용자가 회전부(121) 상에 위치된 상태에서 지지 부재(160)는 회전부(121)를 안정적으로 지지할 수 있다.
이때, 지지 부재(160)는 발판 부재(120)가 지면에 대해 평행이 되도록 발판 부재(120)를 지지할 수 있다. 이에 따라, 사용자가 회전부(121)를 밟고 안정적으로 이동할 수 있다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 발판 유닛(100)은 하나 이상의 센서 부재(130)를 더 포함할 수 있다.
센서 부재(130)는 상기 힌지 부재(110) 또는 상기 발판 부재(120)에 설치되어 상기 발판 부재(120)의 위치를 감지할 수 있다. 이러한 센서 부재(130)는 일례로 발광부(130b)와 수광부(130a)로 구성된 적외선 센서일 수 있다. 발광부(130b)는 프레임(200)에 설치될 수 있고, 수광부(130a)는 발판 부재(120)에 설치될 수 있다. 발판 부재(120)가 프레임(200)에 수납되면, 발광부(130b)에서 조사된 적외선을 수광부(130a)가 감지하고, 센서 부재(130)는 발판 부재(120)가 프레임(200)에 수납된 것으로 판단할 수 있다.
이와 다르게, 센서 부재(130)는 다른 일례로 초음파 센서(미도시)일 수 있다. 초음파 센서는 힌지 부재(110) 및 상기 발판 부재(120) 중 어느 하나에 설치될 수 있다. 발판 부재(120)가 수납되거나 펼쳐지는 과정에서, 초음파 센서는 발판 부재(120)와 프레임(200) 사이의 거리를 감지하여 측정한 거리가 기준 거리 이상이면, 발판 부재(120)가 프레임(200)으로부터 펼쳐진 것으로 판단할 수 있다. 다만, 센서 부재(130)가 적외선 센서나 초음파 센서인 것으로 한정하지는 않으며, 발판 유닛(100)의 위치를 감지할 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 발판 유닛(100)은 제어부(140)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 도 6은 발판 부재(120)가 프레임(200)에 수납된 상태를 도시한 도면이고, 도 7은 발판 부재(120)가 펼쳐진 상태를 도시한 도면이다.
제어부(140)는 동작 장치(300)의 동작을 제한할 수 있다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 센서 부재(130)가 상기 발판 부재(120)를 펼쳐진 상태인 것으로 감지하면, 제어부(140)는 상기 동작 장치(300)가 동작되는 것을 제한할 수 있다.
따라서, 도 7에 도시된 바와 같이, 발판 부재(120)가 프레임(200)으로부터 펼쳐진 경우, 센서 부재(130)가 발판 부재(120)의 위치를 감지한다. 이때, 다른 사용자가 외부에서 조작하여 동작 장치(300)를 동작 시키더라도 제어부(140)는 동작 장치(300)가 동작되지 않도록 할 수 있다. 그러므로, 사용자가 발판 부재(120) 상에 위치된 상태에서 동작 장치(300)가 동작되면서 안전사고가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 힌지 부재(110)에 포함된 가이드부(113a)는 다양한 형상으로 이루어질 수 있다. 가이드부(113a)는 일례로 직선 형상, 아크 형상, T 형상 및 L 형상 중 선택된 어느 하나의 형상일 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 일실시예에 따른 발판 유닛(100A)에 포함된 가이드부(113b)는 다양한 형상들 중에서 L 형상으로 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 발판 부재(120)가 최대로 펼쳐진 상태(도 11 참조)가 되면, 발판 부재(120)는 상기 프레임(200)으로부터 좌우 방향으로 일정 거리만큼 이격되게 위치될 수 있다. 발판 부재(120)가 이와 같은 가이드부(113b)에 의하여 이동되는 과정을 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
우선, 도 9에 도시된 바와 같이, 발판 부재(120)가 도면에서 바라보는 방향을 기준으로 아래에서 위로 이동되고, 위치 고정 돌기(122)가 고정부(112)로부터 분리될 수 있다. 이때, 이탈 방지 돌기(123)는 가이드부(113b)에서 상하방향으로 이루어진 부분을 따라서 아래에서 위로 이동될 수 있다.
다음으로, 도 10에 도시된 바와 같이, 발판 부재(120)가 이탈 방지 돌기(123)를 중심으로 회전될 수 있다. 이때, 발판 부재(120)는 지지 부재(160, 도 8 참조)에 의해 지지될 수 있다.
최종적으로, 도 11에 도시된 바와 같이, 발판 부재(120)가 X방향으로 일정 거리만큼 이동될 수 있다. 이때, 이탈 방지 돌기(123)는 가이드부(113b)에서 좌우방향으로 이루어진 부분을 따라서 X방향으로 이동될 수 있다.
도 12를 참조하면, 본 발명의 다른 일실시예에 따른 발판 유닛(100A)은 발판 부재(120)가 X방향으로 이동될 수 있다. 그러므로, 도면에서 바라보는 방향을 기준으로 발판 부재(120)의 폭(H1)이 동작 장치(300)가 설치된 공간(R, 이하 '로봇 부스'라 함)의 폭(H2)보다 작더라도, 발판 부재(120)가 로봇 부스(R)의 대부분의 공간에 대응될 수 있다. 따라서, 사용자가 로봇 부스(R) 안에서 이동이 어려운 공간이 없이 자유롭게 이동할 수 있다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 발판 유닛(100B)은 하나 이상의 분리 방지 부재(150)를 더 포함할 수 있다.
분리 방지 부재(150)는 상기 발판 부재(120)가 프레임(200)에 수납된 상태를 유지되도록 할 수 있다. 이를 위한 분리 방지 부재(150)는 일례로 영구 자석일 수 있다. 발판 부재(120)가 프레임(200)에 수납된 상태인 경우, 프레임(200)은 금속 소재일 수 있으므로, 특정 크기의 외력이 발판 부재(120)에 가해지기 전까지 발판 부재(120)는 분리 방지 부재(150)에 의하여 프레임(200)에 접촉되거나 프레임(200)에 인접한 상태를 유지할 수 있다.
한편, 상기 분리 방지 부재(150)는 상기 발판 부재(120)의 위치를 감지하는 것도 가능할 수 있다. 즉, 분리 방지 부재(150)는 일례로 영구 자석과 특정 대상물의 위치를 감시하는 센서가 일체로 이루어질 수 있다. 이러한 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 발판 유닛(100B)은 별도의 전술한 센서 부재(130, 도 4 참조)가 구비되어 있지 않더라도, 분리 방지 부재(150)가 분리 방지 기능을 하면서 발판 부재(120)가 펼쳐졌는지 여부를 감지할 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 발판 유닛(100B)의 구조가 단순화될 수 있으므로, 고장 발생 가능성을 낮출 수 있다. 뿐만 아니라, 발판 유닛(100)의 제조 공정을 단축시켜서 제조 비용을 절감할 수 있다.
전술한 본 발명에 따른 발판 유닛(100, 100A, 100B)은 기판 처리 장치(1000)와 일체형으로 이루어져 있으므로, 기판 처리 장치(1000)의 유지 보수가 필요한 경우, 사용자가 발판 부재(120)를 펼쳐서 동작 장치(300) 위에 위치시킬 수 있다. 이에 따라, 사용자는 로봇 부스(R, 도 1 참조) 내부로 진입하여 유지 보수 작업을 안전하면서 신속하게 실시할 수 있다.
그러므로, 본 발명에 따른 발판 유닛(100, 100A, 100B)을 포함하는 기판 처리 장치(1000)는 종래와 다르게, 사용자가 진입하기 위한 별도의 구조물을 설치하고 해체하는 작업을 실시하지 않아도 됨으로써, 종래와 비교하여 유지 보수 시간이 현저하게 단축될 수 있다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1000: 기판 처리 장치
100: 발판 유닛 110: 힌지 부재
111: 베이스부 112: 고정부
113a, 113b: 가이드부 120: 발판 부재
121: 회전부 122: 위치 고정 돌기
123: 이탈 방지 돌기 130: 센서 부재
140: 제어부 150: 분리 방지 부재
160: 지지 부재 200: 프레임
300: 동작 장치

Claims (10)

  1. 프레임 및 상기 프레임의 내부에 설치된 동작 장치를 포함하는 기판 처리 장치에 설치될 수 있는 발판 유닛에 있어서,
    힌지 부재; 및
    상기 힌지 부재에 회전 가능하게 결합되고, 상기 프레임에 수납되어 있다가 상기 동작 장치 위에 위치되도록 펼쳐지며, 최대로 펼쳐진 상태에서는 상기 프레임으로부터 좌우 방향으로 이격되게 위치되는 발판 부재;를 포함하고,
    상기 발판 부재는,
    사용자가 탑승할 수 있는 회전부;
    상기 회전부에 결합된 위치 고정 돌기; 및
    상기 회전부에 결합되고, 상기 위치 고정 돌기로부터 이격되게 위치된 이탈 방지 돌기;를 포함하며,
    상기 힌지 부재는,
    베이스부;
    상기 베이스부의 일측에 인입되게 형성되어 상기 발판 부재가 수납된 상태인 경우, 상기 위치 고정 돌기가 삽입되는 고정부;
    상기 베이스부의 일부분을 관통하도록 이루어져서 상기 발판 부재가 펼쳐지는 과정에서 상기 이탈 방지 돌기의 이동 궤적을 제한하는 가이드부;를 포함하는 발판 유닛.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 힌지 부재 또는 상기 발판 부재에 설치되어 상기 발판 부재의 위치를 감지하는 하나 이상의 센서 부재를 더 포함하는 발판 유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 센서 부재가 상기 발판 부재를 펼쳐진 상태인 것으로 감지한 경우, 상기 동작 장치가 동작되는 것을 제한하는 제어부를 더 포함하는 발판 유닛.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 발판 부재가 수납된 상태를 유지할 수 있게 하는 하나 이상의 분리 방지 부재를 더 포함하는 발판 유닛.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 분리 방지 부재는 상기 발판 부재의 위치를 감지하는 발판 유닛.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 발판 부재가 펼쳐지면 상기 발판 부재의 하측을 지지하는 지지 부재를 더 포함하는 발판 유닛.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 직선 형상, 아크 형상, T 형상 및 L 형상 중 선택된 어느 하나의 형상인 발판 유닛.
  9. 삭제
  10. 프레임;
    상기 프레임의 내부에 설치된 동작 장치; 및
    상기 프레임에 수납되어 있다가 상기 동작 장치 위에 위치되도록 펼쳐지는 발판 유닛;을 포함하고,
    상기 발판 유닛은 제1항, 제3항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 발판 유닛인 기판 처리 장치.
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